JP2020093873A

JP2020093873A - フィルム剥離装置

Info

Publication number: JP2020093873A
Application number: JP2018231562A
Authority: JP
Inventors: 健太川島; Kenta Kawashima; 宏典石川; Hironori Ishikawa
Original assignee: Toppan Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 2018-12-11
Filing date: 2018-12-11
Publication date: 2020-06-18

Abstract

【課題】装置の構造を極力単純にして省スペース化を実現し、かつ粘着テープや粘着ローラーなどの段取替えの必要がなく、基材に積層されたフィルムを自動で剥離するフィルム剥離装置を提供する。【解決手段】押し込み手段１３によってフィルム剥離機構１がフィルム５面に押し込むことで閉空間１２２が形成され、円筒曲面１１が弾性変形して閉空間１２２の空気が抜けて閉空間１２２の体積が減少する。次にフィルム剥離機構回転手段１４によってフィルム剥離機構１が回転して弾性変形した円筒曲面１１はもとの状態に復元し、閉空間１２２の回転中内圧Ｐ２が大気圧Ｐに比べて減少し、この圧力差によってフィルム５をフィルム剥離機構１に保持させて、フィルム剥離機構回転手段１４によりフィルム５を剥離機構１に巻き取りながら基材４から剥離し、フィルム回収機構２でフィルムを回収できるフィルム剥離装置。【選択図】図６

Description

本発明は、基材に積層されたフィルムを基材から剥離する装置に関する。

電子デバイスの微細パターンを作製する際には、一般的には枚葉基材にフォトレジストを積層した後、露光、現像する工程がある。フォトレジストを枚葉基材に積層させる方法には、フィルムにフォトレジスト層が形成されているドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）をラミネートする方法と、液状のフォトレジストを電子デバイスに塗布する方法とが広く使用されている。そして積層したフォトレジストを露光する際に、酸素による重合反応の阻害を防止するために、フォトレジストをフィルムでラミネートする必要がある。また、電子デバイスに絶縁層を形成するために、フィルムに絶縁樹脂が積層されている絶縁樹脂積層フィルムを電子デバイスに積層させる工程がある。

そして上記のような枚葉基材に積層したフィルムを、現像前には剥離する必要がある。また、絶縁樹脂を積層させるために使用するフィルムは、絶縁樹脂を枚葉基材へ転写後に、剥離する必要がある。

これまで、枚葉基材からフィルムを剥離する方法や装置が多く提案されている。
例えば特許文献１に示すように、剥離したフィルムをフィルム把持機構により把持して、フィルム回収容器まで搬送して回収するフィルム剥離装置や、特許文献２および３に示すように、剥離したフィルムを把持して水平に重ねて回収するフィルム剥離装置、特許文献４に示すように、フィルムと枚葉基材の界面に線形切断機を挿入してフィルムを部分的に浮かせた後に、穴の開いているローラーをフィルムに接触させてから真空ポンプを用いてフィルムを吸着して巻き取るようにフィルムを剥離する装置、あるいは特許文献５に示すように、粘着ローラーをフィルムが積層された基材上を転がすことでフィルムを剥離する装置などがある。

フィルムを枚葉基材から剥離する工程は、フォトレジストや絶縁樹脂を枚葉基材に転写、または保護するための副資材であるフィルムを剥離する工程であって、積極的に製品に付加価値を生むものではない。しかしながら、副資材であるフィルムを使用してフォトレジストや絶縁樹脂の枚葉基材への積層を行うことは、簡易的にフォトレジスト層や絶縁樹脂層を枚葉基材へ形成できるメリットがある。
そのため、副資材であるフィルムを枚葉基材から剥離する工程は必要不可欠ではあるが、フィルム剥離装置の構造が複雑であるため大型であったり、粘着テープや粘着ローラーなどの段取替えが必要であったりする。

また、２種類以上のフィルムが積層された基材から１つのフィルムを連続的に剥離する生産工程も多くある。

例えば、近年、ナノ薄膜層を皮膚に付着するためのナノ薄膜が注目されている。またさらに、創傷被服剤として皮膚表面や臓器創面に対して貼付する医療用のナノ薄膜が提案されている。

これに対し、特許文献６に示すように、シート状のナノ薄膜の構造として、吸水性基材にナノ薄膜層が積層された構成や、特許文献７に示すように、第１の浸透性基材とナノ薄膜層と第２の浸透性基材をこの順に積層した構造が提案されている。

上記のような薄膜およびシート状に複数積層された積層体に関する巻物の一般的な製作手段としては、特許文献８に示すように、分離された積層体に張力を与えることで分離前の積層体を密着している層と層を任意に引き剥がし続け、所望の層を取得する方法が挙げられる。

また、特許文献９に示すように、支持基材に生成された薄膜を、負圧作用させて通気性を有したキャリアフィルムに移動させる方法も提案されている。

特開２０１４−８８２５５号公報特開２００２−２３４６６７号公報特開２０１０−７６８７５号公報特開２０１５−２６８１８号公報特開平２−１０６５６０号公報特開２０１７−１９９１６号公報特開２０１５−１６６１２号公報特開２００９−２７５０６０号公報特許第５９６０４１５号公報

しかしながら、これまで提案されているフィルム剥離装置は、構成する要素が多く複雑な構造となり、広い装置スペースが必要となってしまい、簡単に導入できる設備ではなかった。また装置の粘着テープや粘着ローラーなどの段取替えの時間が必要であり、作業時間の点でも工程上の負荷が大きかった。

本発明は、上記問題点を鑑み、装置の構造を極力単純かつ簡素にして省スペース化を実現し、かつ粘着テープや粘着ローラーなどの段取替えの必要がない、基材に積層されたフィルムを自動で剥離するフィルム剥離装置を提供することを目的とする。

本発明の請求項１記載の発明は、基材に積層されたフィルムを基材から剥がすフィルム剥離装置であって、前記フィルムを保持して巻き取りながら剥離する円筒形状のフィルム剥離機構と、前記フィルム剥離機構で剥離したフィルムを保持して巻き取りながら回収するフィルム回収機構と、基材を支持しながらフィルム剥離機構まで搬送する基材支持搬送機構と、が少なくとも具備されていることを特徴とするフィルム剥離装置を提供する。

本発明の請求項２記載の発明は、前記フィルム剥離機構の円筒曲面は、可撓性を有する材料からなることを特徴とする請求項１に記載のフィルム剥離装置を提供する。

本発明の請求項３記載の発明は、前記フィルム剥離機構の円筒曲面に開口部を有する１つ以上の窪みから成る吸着手段を具備していることを特徴とする請求項１または２に記載のフィルム剥離装置を提供する。

本発明の請求項４記載の発明は、前記フィルム剥離機構は、前記吸着手段を基材に積層されたフィルム面に対して押し込む押し込み手段と、前記押し込み手段の力を調整する押し込み力調整部を具備していることを特徴とする請求項３に記載のフィルム剥離装置を提供する。

本発明の請求項５記載の発明は、前記フィルム剥離機構は、前記フィルム剥離機構の円筒中心を通るフィルム剥離機構中心軸と、前記フィルム剥離機構中心軸回りに回転させるフィルム剥離機構回転手段と、を具備しており、前記フィルム剥離機構中心軸は前記基材支持搬送機構による基材搬送方向と直交する位置に設置されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のフィルム剥離装置を提供する。

本発明の請求項６記載の発明は、前記フィルム回収機構は、円筒形状であり、円筒中心を通るフィルム回収機構中心軸と、前記フィルム回収機構中心軸回りに回転させるフィルム回収機構回転手段と、を具備しており、前記フィルム回収機構中心軸は前記フィルム剥離機構中心軸と平行な位置にあることを特徴とする請求項５に記載のフィルム剥離装置を提供する。

本発明の請求項７記載の発明は、前記フィルム剥離機構中心軸と前記フィルム回収機構中心軸の軸間距離は、フィルム剥離機構の円筒半径とフィルム回収機構の円筒半径とフィルムの厚みの総和以下で設置されていることを特徴とする請求項６に記載のフィルム剥離装置を提供する。

本発明の請求項８記載の発明は、前記フィルム剥離機構回転手段の回転方向は、前記フィルム回収機構回転手段の回転方向と逆向きであることを特徴とする請求項６または７に記載のフィルム剥離装置を提供する。

本発明の請求項９記載の発明は、前記フィルム回収機構の円筒曲面に、開口部を有する１つ以上の窪みから成る吸着手段を具備していることを特徴とする請求項６〜８に記載のフィルム剥離装置を提供する。

本発明の請求項１０記載の発明は、前記フィルム回収機構の円筒曲面は、前記フィルム剥離機構の円筒曲面を構成する材料よりも弾性率が低い材料からなることを特徴とする請求項６〜９に記載のフィルム剥離装置を提供する。

本発明の請求項１１記載の発明は、前記フィルム剥離機構によりフィルムを保持する力よりも、前記フィルム回収機構によりフィルムを保持する力の方が大きいことを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載のフィルム剥離装置を提供する。

本発明のフィルム剥離装置によれば、装置の構造を極力単純にして省スペース化を実現し、かつ粘着テープや粘着ローラーなどの段取替えの必要がなく、基材に積層されたフィルムを自動でフィルムを剥離することができる。

本発明のフィルム剥離装置の概略の一例を示す模式図である。本発明に係るフィルム剥離機構の円筒曲面の部分拡大図を示す模式図である。本発明に係るフィルム剥離機構の円筒曲面に形成された窪みのパターンの一例を示した模式図である。本発明のフィルム剥離機構に具備された押し込み手段と、押し込み力調整部の一例を示す模式図である。本発明に係るフィルム剥離機構の吸着手段を示す模式図である。本発明に係るフィルム剥離工程の状態を示す模式図である。本発明に係る基材とフィルム剥離機構およびフィルム回収機構の位置関係の一例を示す模式図である。本発明に係るフィルム剥離機構とフィルム回収機構の位置関係の一例を示す模式図である。本発明のフィルム剥離装置を用いてフィルムを剥離する際の装置の動作の一例を示す模式図である。本発明のフィルム剥離装置の変形例を示す模式図である。

本発明によるフィルム剥離装置の実施形態については、図を用いて説明する。ただし、以下に示す実施形態は、本発明の技術的思考を具体化するための装置や方法を例示するものであって、構成部品の材質、形状、構造、配置などを下記の実施形態に特定するものではない。

図１に示すように、フィルム剥離装置の一実施形態は、フィルム５が積層された基材４を支持しながら搬送する支持搬送機構３と、フィルム剥離機構１と、フィルム回収機構２と、から構成される。なお、図１（ａ）は本装置の側面図、（ｂ）は鳥瞰図である。

フィルム剥離機構１の円筒曲面１１を構成する材料は、可撓性を有する材料が好ましい。例えば、天然ゴム、クロロプレンゴム、エチレンプロピレンゴム、ブチルゴム、二トリルゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴムなどが考えられるが、この限りではない。また、円筒曲面１１の構成はこれら材料を複数組み合わせてもよい。

基材４の形状は限定されるものではなく、円形、多角形などいかなる形状の基材１１であってもよい。また、枚葉であっても巻物のように連続的な基材であってもよい。

図２は、フィルム剥離機構１の一例を示す鳥瞰図であり、円筒曲面１１の部分拡大図を示している。図２に示すように、フィルム剥離機構１の円筒曲面１１には吸着手段１２を具備しており、吸着手段１２は１つ以上の窪み１２１の配列から構成されている。

図３は、フィルム剥離機構１の円筒曲面１１に形成された窪み１２１のパターン形状の一例を示した鳥瞰図であり、図３（ａ）に示すような四角柱形状、図３（ｂ）に示すような四角錐状、図３（ｃ）に示すような円柱形状、図３（ｄ）に示すような円錐形状などが考えられるが、これに限定するものではない。好ましくは、加工性の観点から図３（ｂ）または（ｄ）のような錐形状がよい。

図４はフィルム剥離機構１に具備された押し込み手段１３と、押し込み力調整部１３１の一例を示す概略図である。
図４に示すように、基材支持搬送機構３上に基材１及びフィルム５が載せられている。
フィルム剥離機構１は、基材４に積層されたフィルム５面に対して押し込むことのできる押し込み手段１３が具備されており、前記押し込み手段１３には押し込み力調整部１３１が具備されている。
押し込み手段１３は特に制限しないが、具体的には例えばエアシリンダなどが考えられ、その場合押し込み力調整部１３１は圧力レギュレーターなどが相当する。圧力レギュレーターにて、エアシリンダへ供給する圧力を上昇させることで押し込み力を増加させることができる。

押し込み力調整部１３１は、基材４に積層されたフィルム５面に対して押し込むことのできる押し込み手段１３の押し込み力を調整できるものである。押し込み力を大きくすることでフィルム剥離機構１がフィルムを保持する力をより大きくすることができ、基材４とフィルム５の組み合わせによって最適な押し込み力を調整することができる。

図５は、フィルム剥離機構１の円筒曲面１１に形成された吸着手段１２の窪み１２１とフィルム５の状態の一例を表す図であり、（ａ）は上記断面の側面図、（ｂ）は鳥瞰図である。図５に示すように、吸着手段１２の窪み１２１は、フィルム剥離機構１の円筒曲面１１が基材４に積層されたフィルム５に接して押し込まれることで、フィルム５面が窪み１２１に追従して、窪み１２１とフィルム５の間に閉空間１２２を作ることができる。

図６は、フィルム剥離開始時におけるフィルム剥離機構１とフィルム５の状態を示した一例であり、（ａ）はフィルム剥離機構１の円筒曲面１１がフィルム５に接する前の状態を示し、（ｂ）は前記円筒曲面１１が押し込み手段１３により押し込まれた時の状態を示し、（ｃ）はフィルム剥離機構回転手段１４によってフィルム５が巻き取られた状態を示している。

図６（ａ）に示すように、フィルム剥離機構１の円筒曲面１１がフィルム５に接する前の状態において、吸着手段１２の窪み１２１内の圧力は、大気圧Ｐと等しい。

次に図６（ｂ）に示すように、押し込み手段１３によってフィルム剥離機構１が基材４に積層されているフィルム５面に押し込むことで閉空間１２２が形成され、円筒曲面１１が弾性変形することで閉空間１２２の空気が抜けて閉空間１２２の体積が減少し、閉空間１２２内の圧力は押し込み時内圧Ｐ_１となり、内圧Ｐ１は大気圧Ｐより圧力が大きくなる。
ここで、円筒曲面１１を構成する材料が可撓性がある、即ち弾性変形しやすい材料である場合には、閉空間１２２の体積がより減少し、閉空間１２２内の圧力Ｐ１はより大きくなる。

次に図６（ｃ）に示すように、フィルム剥離機構回転手段１４によってフィルム剥離機構１が回転することで、押し込み手段１３により押し込まれる部分が移動し、図６（ｂ）の状態の弾性変形した円筒曲面１１は押し込み手段１３による圧力がなくなり、もとの状態に復元し、これにより閉空間１２２の回転時内圧Ｐ_２が大気圧Ｐに比べて減少し、この圧力差によってフィルム５をフィルム剥離機構１に保持する力が発生する。

フィルム剥離機構１の押し込み手段１３とフィルム剥離機構回転手段１４とによって、閉空間１２２の回転時内圧Ｐ_２はフィルム剥離機構１の回転中は維持されるため、フィルム５に対して保持する力を与えることができる。

図６（ａ）、（ｂ）および（ｃ）の状態をこの順につくることで、フィルム５をフィルム剥離機構１に保持する力を生むことができるが、図６（ａ）に示すような状態はこの事例に限定されるものではない。

フィルム剥離機構１の円筒曲面１１をフィルム５面に押し込むことによって発生したフィルム剥離機構１の吸着手段１２がフィルムを保持する力は、基材４からフィルム５を剥離するのに必要な力より大きくなければならない。前記フィルム剥離機構１の吸着手段１２がフィルムを保持する力が、基材４からフィルム５を剥離するのに必要な力より小さいときは、フィルム５を基材４から剥離することはできない。

前記フィルム剥離機構１の吸着手段１２がフィルムを保持する力を上昇させるためには、押し込み力調整部１３１によって押し込み力を上昇させて、図６（ｂ）の状態において閉空間１２２の体積をより減少させておき、図６（ｂ）から図６（ｃ）の状態へ移る際に閉空間１２２の体積変化を大きくすることで可能となる。

前記押し込み力を上昇させてもフィルム５を基材４から剥離できない際には、フィルム
剥離機構１の円筒曲面１１に、より弾性率の低い材料を用いることなどが考えられる。弾性率が低いということは変形しやすいということであり、同じ押し込み力でも閉空間１２２の体積をより減少させることができるため、フィルムを保持する力が大きくなるからである。

図７は基材４とフィルム剥離機構１およびフィルム回収機構２の位置関係の一例を示した一例であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は鳥瞰図である。
図７（ａ）に示すようにフィルム剥離機構１は、フィルム剥離機構の円筒中心を通るフィルム剥離機構中心軸１４１と、前記フィルム剥離機構中心軸１４１回りに回転するフィルム剥離機構回転手段１４とを具備している。
また、フィルム回収機構２は、フィルム回収機構中心軸２１１と、この中心軸回りに回転するフィルム回収機構回転手段２１とを具備している。

図７（ｂ）に示すように、フィルム剥離機構中心軸１４１は、基材支持搬送機構３の基材搬送方向３１と直交する位置に設置されている。また、基材搬送方向３１に対する基材４の向きは特に限定しない。

図８にフィルム剥離機構１とフィルム回収機構２の軸間距離Ｌの関係を側面図で示す。軸間距離Ｌがフィルム剥離機構の円筒半径Ｒ_１とフィルム回収機構の円筒半径Ｒ_２とフィルムの厚みｔの総和以下になるように軸間距離Ｌを調整し、設計することで、フィルム剥離機構１に巻き取って剥離したフィルムをフィルム回収機構２に受け渡すことができる。
例えば、フィルム剥離機構１の円筒曲面１１とフィルム回収機構２の円筒曲面２２が接していてもよいし、ニップ機構のようにフィルム回収機構２の円筒曲面２２がフィルム剥離機構１の円筒曲面１１に押し込まれているような軸間距離Ｌで設置されていても構わない。

軸間距離Ｌがフィルム剥離機構１の円筒半径Ｒ_１とフィルム回収機構の円筒半径Ｒ_２とフィルムの厚みｔの総和より大きい場合には、フィルム剥離機構１に巻き取られたフィルム５はフィルム回収機構２に移動することができない。

図９に、本発明のフィルム剥離装置を用いてフィルムを剥離する際の装置の動作の一例を示す。
まず図９（ａ）のように、フィルム５が積層された基材４がフィルム剥離機構１に接していない状態から、図９（ｂ）のように押し込み手段１３によりフィルム剥離機構１をフィルム５面に押し込む。次に図９（ｃ）のように、フィルム剥離機構回転手段１４によりフィルム剥離機構１が回転しながらフィルム５を剥離し、図９（ｄ）に示すように剥離したフィルム５が、フィルム回収機構回転手段２１によってフィルム回収機構２が回転することで、フィルム回収機構２に巻き取られながら回収される。

その後、図９（ｅ）に示すように基材４から剥離されたフィルム５をさらにフィルム回収機構２で巻取り、図９（ｆ）に示すようにフィルム回収機構２にフィルム５が完全に回収される。そして枚葉基材の場合には、図９（ｇ）に示すようにフィルム回収機構２に巻き取られたフィルム５をフィルム離脱機構６によってフィルム回収機構２からフィルムを離脱させ、フィルム廃棄機構７によって廃棄される動作を行う。

フィルム回収機構回転手段２１は、独立した駆動機構を持たなくても、フィルム剥離機構回転手段１４の駆動を、フィルムを介して従動するような構造でもよい。また、フィルム剥離機構回転手段１４とフィルム回収機構回転手段２１の回転方向は互いに逆向きである必要がある。

フィルム剥離機構１の吸着手段１２よりもフィルム回収機構２の方がフィルムを保持する力が低い場合、フィルム剥離機構１に巻き取られたフィルム５は、フィルム回収機構２へ移動することができない。

フィルム回収機構２は、フィルム剥離機構１と同様に円筒曲面２２に窪みを持つような構造の吸着手段を有するローラーであって、フィルム回収機構２の円筒曲面２２を構成する材料の弾性率や窪みのパターンやサイズを設計することで、フィルム剥離機構１で保持しているフィルム５をフィルム回収機構２に移動させることができる。
移動させるためには、例えば、フィルム剥離機構１の円筒曲面１１を構成する材料よりも弾性率の低い材料をフィルム回収機構２の円筒曲面２２に用いることが考えられる。弾性率が低いと、円筒曲面は押し込み力に対してより変形しやすくなり、窪み内の閉空間の体積がより減少するので、フィルム剥離機構１の吸着力よりもフィルム回収機構２の吸着力が大きくなるからである。

基材支持搬送機構３は、基材の形態、フィルムの積層面などによっていかなる構造も取りうる。図１０に、基材からフィルムを剥離する際に考えられる装置構成の一例を示す。基材４に積層された片面のフィルム５を剥がす場合は、図１０（ａ）に示すように、基材支持搬送機構３はステージのように板状の形状をしている装置構成が考えられる。
図１０（ｂ）に示すように、基材支持搬送機構３がロールのような形をしており、基材４を搬送し、フィルム剥離機構１の真下に前記ロールの一つが配置されていて、前記ロールとフィルム剥離機構１とでフィルム５が積層された基材４をニップするような装置構成であっても良い。

基材４の両面にフィルム５が積層されている基材４から両面のフィルム５を同時に剥がす場合は、図１０（ｃ）に示すようにフィルム剥離機構１とフィルム回収機構２とが基材５の表裏に２対設置されており、基材５の表面側に設置されたフィルム剥離機構１と、基材５の裏面側に設置されたフィルム剥離機構１とで基材５をニップするような装置構成であれば、基材４の両面に積層されたフィルム５を同時に剥離することができる。
図１０（ｄ）は巻物のように連続的な基材４に積層されたフィルム５を剥がす場合の例である。この場合も図１０（ｃ）と同様に、フィルム剥離機構１とフィルム回収機構２とが基材４の表裏に２対設置されており、基材４の表面側に設置されたフィルム剥離機構１と、基材４の裏面側に設置されたフィルム剥離機構１とで基材４をニップし、かつ、前記フィルム剥離機構１のいずれかが基材支持搬送機構３を兼ねている装置構成にすることで、基材４の両面に積層されたフィルム５を同時に剥離することができる。

基材４の両面にフィルム５が積層されている基材４からフィルムを片面ずつ剥がす場合には、図１０（ａ）、（ｂ）、（ｃ）いずれの場合も適用可能である。

以下に本発明の実施例を示すが、本発明はこの実施例に限定されるものではない。

ステンレス板に、９０度剥離：０．１Ｎ／４０ｍｍ程度の剥離強度で微弱に密着している幅１７０ｍｍのポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）製のフィルム（４０μｍ厚）を、図１０（ａ）に示す構造で剥離した。
フィルム剥離機構１の窪み１２１の形状は正六角形の柱状であり、その1辺の長さは４ｍｍであり、深さは５ｍｍである。フィルム剥離機構の円筒半径Ｒ_１は６０ｍｍであり、直径１００ｍｍのアルミ製の軸にシリコーンゴムを巻きつけた構造であった。また、前記シリコーンゴムに窪み１２１が１３５０個形成した構造であった。
この剥離機構１を使用して上記のステンレス板上のＰＥＴフィルムを剥離したところ、剥離途中でのＰＥＴフィルムの断裂などがなく、剥離を行うことができた。

１・・・フィルム剥離機構
２・・・フィルム回収機構
３・・・基材支持搬送機構
４・・・基材
５・・・フィルム
６・・・フィルム離脱機構
７・・・フィルム廃棄手段
１１・・・円筒曲面
１２・・・吸着手段
１３・・・押し込み手段
１４・・・フィルム剥離機構回転手段
２１・・・フィルム回収機構回収手段
２２・・・円筒曲面
３１・・・基材搬送方向
１２１・・・窪み
１２２・・・密閉空間
１３１・・・押し込み力調整部
１４１・・・フィルム剥離機構中心軸
２１１・・・フィルム回収機構中心軸
Ｐ・・・大気圧
Ｐ_１・・・押し込み時内圧
Ｐ_２・・・回転時内圧
Ｒ_１・・・フィルム剥離機構の円筒半径
Ｒ_２・・・フィルム回収機構の円筒半径
Ｌ・・・軸間距離
ｔ・・・フィルムの厚み

Claims

基材に積層されたフィルムを基材から剥がすフィルム剥離装置であって、前記フィルムを保持して巻き取りながら剥離する円筒形状のフィルム剥離機構と、前記フィルム剥離機構で剥離したフィルムを保持して巻き取りながら回収するフィルム回収機構と、基材を支持しながらフィルム剥離機構まで搬送する基材支持搬送機構と、が少なくとも具備されていることを特徴とするフィルム剥離装置。
前記フィルム剥離機構の円筒曲面が、可撓性を有する材料からなることを特徴とする請求項１に記載のフィルム剥離装置。
前記フィルム剥離機構の円筒曲面に、開口部を有する１つ以上の窪みから成る吸着手段を具備していることを特徴とする請求項１または２に記載のフィルム剥離装置。
前記フィルム剥離機構は、前記吸着手段を基材に積層されたフィルム面に対して押し込む押し込み手段と、前記押し込み手段の力を調整する押し込み力調整部を具備していることを特徴とする請求項３に記載のフィルム剥離装置。
前記フィルム剥離機構は、前記フィルム剥離機構の円筒中心を通るフィルム剥離機構中心軸と、前記フィルム剥離機構中心軸回りに回転させるフィルム剥離機構回転手段と、を具備しており、前記フィルム剥離機構中心軸は前記基材支持搬送機構による基材搬送方向と直交する位置に設置されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のフィルム剥離装置。
前記フィルム回収機構は、円筒形状であり、円筒中心を通るフィルム回収機構中心軸と、前記フィルム回収機構中心軸回りに回転させるフィルム回収機構回転手段と、を具備しており、前記フィルム回収機構中心軸は前記フィルム剥離機構中心軸と平行な位置にあることを特徴とする請求項５に記載のフィルム剥離装置。
前記フィルム剥離機構中心軸と前記フィルム回収機構中心軸の軸間距離は、フィルム剥離機構の円筒半径とフィルム回収機構の円筒半径とフィルムの厚みの総和以下で設置されていることを特徴とする請求項６に記載のフィルム剥離装置。
前記フィルム剥離機構回転手段の回転方向は、前記フィルム回収機構回転手段の回転方向と逆向きであることを特徴とする請求項６または７に記載のフィルム剥離装置。
前記フィルム回収機構の円筒曲面に、開口部を有する１つ以上の窪みから成る吸着手段を具備していることを特徴とする請求項６〜８に記載のフィルム剥離装置。
前記フィルム回収機構の円筒曲面は、前記フィルム剥離機構の円筒曲面を構成する材料よりも弾性率が低い材料からなることを特徴とする請求項６〜９に記載のフィルム剥離装置。
前記フィルム剥離機構によりフィルムを保持する力よりも、前記フィルム回収機構によりフィルムを保持する力の方が大きいことを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載のフィルム剥離装置。