JP3083423B2

JP3083423B2 - 基板とフィルムとの密着方法および密着装置

Info

Publication number: JP3083423B2
Application number: JP05067679A
Authority: JP
Inventors: 丈美秋元; 昭廣鈴木; 満鹿野; 和夫磯部
Original assignee: Alps Electric Co Ltd
Current assignee: Alps Alpine Co Ltd
Priority date: 1993-03-02
Filing date: 1993-03-02
Publication date: 2000-09-04
Anticipated expiration: 2015-09-04
Also published as: JPH06255063A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば液晶セルなどの
基板に対し、偏光板やその他の光学フィルムなどのフィ
ルム（一定の厚さを有する軟質シートを含む）を徐々に
密着させていき必要に応じて両者を接着する基板とフィ
ルムとの密着方法および密着装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図５は従来の基板とフィルムとを密着さ
せる方法および装置の一例として、液晶セル２に偏光板
などの光学フィルム４を密着させ且つ接着するものを示
している。図５において、符号１はセルステージであ
り、このセルステージ１上に液晶セル２が固定される。
光学フィルム４はその表面に粘着層（接着層）が形成さ
れ且つその表面に剥離シート４Ａが添着されたものであ
る。

【０００３】吸着台５は軸６を支点として鎖線で示す
（イ）の位置から実線で示す（ロ）の位置へ回動できる
ものであり、その一面には複数の吸着穴５Ａが形成され
ている。図示しない負圧供給部が吸着穴５Ａに接続さ
れ、光学フィルム４は吸着台５に吸着保持される。また
セルステージ１の上方には、このセルステージ１に沿っ
て図示右方向へ移動する押圧ローラ３が設けられてい
る。上記装置を使用した密着方法では、まず、吸着穴５
Ａの吸着力により光学フィルム４を吸着台５に吸着保持
させる。吸着台５が（イ）で示す状態にあるとき、図示
しない剥離機構により光学フィルム４の表面から剥離シ
ート４Ａを剥離して除去する。

【０００４】次に、前記吸着台５を軸６を支点として反
時計方向に回転し（ロ）で示す姿勢とする。なお光学フ
ィルム４の端部（ａ）を、予め吸着台５からはみ出させ
ておくことにより、吸着台５が（ロ）で示す姿勢に回動
したときに、前記端部（ａ）がセルステージ１上の液晶
セル２の一端に接着層を介して設置され、この端部
（ａ）が密着（接着）始点となる。このとき押圧ローラ
３を前記端部（ａ）に移動させ、所定の圧力Ｐにて光学
フィルム４の端部（ａ）を液晶セル２の端部に加圧す
る。その後軸６を水平方向（Ｘ方向）へ移動させ、これ
に伴い押圧ローラ３を図示右方向へ転動させていく。こ
のとき、押圧ローラ３の移動により液晶セル２と光学フ
ィルム４との押圧位置が図示右方向へ移動していき密着
面積が増加していく。吸着台５に保持された光学フィル
ム４は、吸着台５を摺動していく状態で押圧ローラ３と
液晶セル２との間に徐々に挟まれていく。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記の基板とフィルム
との密着方法および装置は、以下に示す問題が生じる。（１）光学フィルム４が吸着台５から摺動して引き離さ
れるため、光学フィルム４に大量の静電気が発生し、剥
離シート４Ａが除去された粘着（接着）層にほこりなど
が吸着されてしまう。このほこりが液晶セル２と光学フ
ィルム４との密着面に介在すると、液晶セル２と光学フ
ィルム４と境界面にて光学的な機能が悪化することにな
る。

【０００６】（２）吸着台５は軸６と共にＸ方向へ移動
するが、これに対抗して光学フィルム４を吸着台５から
引きずるようにして剥がさなくてはならないため、１５
０ｍｍ角の光学フィルムを用いた場合押圧ローラ３で光
学フィルム４と液晶セル２とを約１０ｋｇの強い力Ｐで
加圧しなくてはならなくなる。そのため押圧ローラ３を
光学フィルム４から離し、前記力Ｐを開放するときに、
光学フィルム４の表面に静電気が発生し、光学フィルム
４の表面にほこりなどが付着しやすくなる。

【０００７】（３）軸６がＸ方向へ移動し密着面積が広
がっていくにしたがって、吸着台５が光学フィルム４に
与える引っ張り力が変動し、引っ張り力が開放されたと
きの収縮などにより液晶セル２に密着する光学フィルム
４に皺が寄ったり、さらにはこの皺により、液晶セル２
と光学フィルム４との間に気泡が介在することがある。

【０００８】（４）軸６がＸ方向へ進み吸着台５による
光学フィルム４の吸着面積が小さくなるため、吸着台５
から光学フィルム４が剥がれて落下しやすくなる。この
離れた部分の光学フィルム４は皺が寄ったりまたは撓ん
だ状態で液晶セル２に粘着されてしまう。

【０００９】本発明は上記従来の課題を解決するもので
あり、フィルムに常に安定した張力を与えながら基板に
密着させることができ、フィルムに皺がよるなどの問題
が生じることがなく、またフィルムに静電気が発生しに
くくした基板とフィルムとの密着方法および密着装置を
提供することを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明による基板とフィ
ルムとの密着方法は、基板とフィルムとを密着始点にて
合せ、基板とフィルムとの押圧位置を移動させて密着面
積を広げていくに際し、密着していない部分のフィルム
に与える張力がほぼ一定になるようにフィルムを保持
し、密着していない部分での基板とフィルムの対向面の
開き角度がほぼ一定になるように基板とフィルムとの相
対位置を変えていく基板とフィルムとの密着方法におい
て、基板またはフィルムの表面に粘着層とこの粘着層を
覆う剥離シートが積層されており、前記剥離シートの剥
離開始時から基板とフィルムとの密着を開始するまでの
いずれかの時期に、基板またはフィルムに発生した静電
気を除去する工程を有することを特徴とするものであ
る。

【００１１】または、所定曲率の周表面にフィルムを保
持させ、このフィルムの表面と基板とを密着始点にて合
せ、前記周表面と基板との接触位置を移動させていくこ
とにより、基板とフィルムとの密着面積を広げていく基
板とフィルムとの密着方法において、基板またはフィル
ムの表面に粘着層とこの粘着層を覆う剥離シートが積層
されており、前記剥離シートの剥離開始時から基板とフ
ィルムとの密着を開始するまでのいずれかの時期に、基
板またはフィルムに発生した静電気を除去する工程を有
することを特徴とするものである。

【００１２】上記いずれかの方法において、基板とフィ
ルムとの密着動作が、減圧雰囲気にて行われることが好
ましい。

【００１３】

【００１４】本発明による基板とフィルムとの密着装置
は、基板を設置するステージと、前記ステージ上方位置
に粘着層とこの粘着層を覆う剥離シートとが積層された
フィルムを搬送する搬送手段と、前記搬送手段によるフ
ィルムの搬送経路において前記剥離シートをフィルムか
ら剥離する機構と、前記剥離シートの剥離開始時からス
テージ上方位置へと至るまでのフィルムの搬送経路にお
いて前記フィルムの静電気を除去する静電気除去手段
と、前記搬送手段によりステージ上に搬送されその端部
が粘着層を介して基板へと粘着させられたフィルムの他
の端部を保持するフィルム保持部材と、密着始点から基
板とフィルムとの密着面積を広げていく押圧部材と、密
着していない部分での基板とフィルムの対向面の開き角
度がほぼ一定になるように、且つ密着していない部分の
フィルムに与える張力が密着工程中ほぼ一定になるよう
に前記ステージとフィルム保持部材との相対位置を制御
する制御部とを有することを特徴とするものである。

【００１５】上記装置は減圧室内に設置され、減圧雰囲
気内にて密着作業が行なわれることが好ましい。

【００１６】

【００１７】

【作用】上記手段では、密着していない部分での基板と
フィルムの対向面の開き角度がほぼ一定になるように基
板とフィルムとの相対位置を変えていきながら、基板と
フィルムとを密着させることにより、または、フィルム
が保持された周表面と基板との接触位置を移動させてい
くことにより、基板とフィルムとの密着面積が増加して
いく間、フィルムに与えられる張力は常に一定になり、
フィルムに皺が寄ったり、基板とフィルムとの間に気泡
が介在することがなくなる。またフィルムに摺動力が作
用しないため、静電気の発生も抑えることができる。

【００１８】さらに、剥離シートを剥がすとき以降に基
板またはフィルムに発生した静電気を除去する工程を設
けることにより、密着作業の全工程にてフィルムでの静
電気の発生を防止できる。

【００１９】あるいは、基板とフィルムとの密着動作
を、減圧雰囲気にて行なうことにより、基板とフィルム
との間に気泡が介在することを完全に防止でき、さらに
ほこりの吸着も防止できる。

【００２０】また、上記方法を達成するための装置とし
ては、基板を設置するステージと、フィルムを搬送する
搬送手段と、剥離シートをフィルムから剥離する機構
と、フィルムの静電気を除去する静電気除去手段と、フ
ィルム保持部材と、押圧部材と、ステージとフィルム保
持部材との相対位置を制御する制御部を設けることによ
り構成できる。この装置を減圧室内に設置することで、
減圧雰囲気内にて密着作業が行える。

【００２１】

【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。図１は本
発明の第１実施例として液晶セルと光学フィルムとの密
着（接着）方法および密着装置を説明するものであり、
（Ａ）は光学フィルムの密着始端を液晶セルに密着させ
た状態を示す装置側面図、（Ｂ）は密着面積を増加させ
ていく過程を示す装置側面図である。図２は光学フィル
ムの構造を示す拡大断面図である。

【００２２】図１において、符号１１は基板としての液
晶セル１２が吸着などの手段により固定されるセルステ
ージである。このセルステージ１１は、Ｘ１およびＸ２
の方向に駆動される。この移動のための機構の一例とし
ては、例えばセルステージ１１が架台上にてＸ１−Ｘ２
方向へ移動自在に支持され、セルステージ１１の下部が
螺装される送りスクリュー１８が設けられており、この
送りスクリュー１８がサーボモータやステッピングモー
タなどのモータＭａにより駆動されるように構成され
る。前記液晶セル１２に密着され且つ接着される光学フ
ィルム１４は例えばフィルム状の偏光板である。図２に
拡大して示すように、この光学フィルム１４はその表面
に保護シート１４Ａが設置され、また液晶セル１２への
密着面には塩ビ系などの粘着層（接着層）１４Ｂが積層
され、さらにその表面は剥離シート１４Ｃが添装されて
いる。

【００２３】符号１５は光学フィルム１４の図示右端を
上方から吸着する吸着パッドである。この吸着パッド１
５には吸着穴が形成され、この吸着穴からの吸引負圧に
より光学フィルム１４の端部が吸着される。吸着パッド
１５は軸１５ａにより昇降台１７に支持されており、必
要に応じ回動可能状態と固定状態とを選択できる。な
お、吸着パッド１５が重くなりすぎる場合には軸１５ａ
に対して反対側に釣合い重りの役目をするおもり部材１
５ｂを付設してもよい。この昇降台１７は垂直方向（Ｙ
１−Ｙ２方向）へ昇降駆動されるようになっている。こ
の昇降のための機構の一例としては、例えば昇降台１７
が図示しない支持部材によりＹ１−Ｙ２方向へ昇降自在
に支持され、またこの昇降台１７が螺装される送りスク
リュー１９が設けられている。この送りスクリュー１９
はサーボモータやステッピングモータなどのモータＭｂ
により駆動される。そして前記２つのモータＭａとＭｂ
は制御部２０により駆動制御される。

【００２４】符号１６は搬送用の吸着パッドである。光
学フィルム１４はこの吸着パッド１６により複数箇所に
て吸着保持されて、セルステージ１１の上に搬送され
る。この吸着パッド１６にて光学フィルム１４は保護シ
ート１４Ａが設けられている面から吸着されて搬送され
る。セルステージ１１までの搬送経路において、光学フ
ィルム１４から剥離シート１４Ｃを剥離する機構が設け
られている。さらにこの剥離シート１４Ｃを剥離してい
る時からセルステージ１１の上方位置へ光学フィルム１
４が搬送される経路には、静電気を除去する工程が付加
される。この静電気を除去する工程では、例えば光学フ
ィルム１４に静電防止用の薬品が散布され、または電導
性のよい金属ブラシなどが光学フィルム１４の保護シー
ト１４Ａの面を払拭する、あるいは除電ブロア，イオン
バーを用いるなどにより、光学フィルム１４の帯電が除
去される。

【００２５】符号１３は押圧ローラである。この押圧ロ
ーラ１３は表面がゴムやプラスチックなどのやや弾性を
有する材料により形成されている。押圧ローラ１３は、
光学フィルム１４の搬入工程ではセルステージ１１の上
方へ離れており、光学フィルム１４の一端（ａ）が液晶
セル１２の一端に設置されたときに、所定の圧力Ｐａに
て光学フィルム１３に加圧される。その後圧力Ｐａを維
持したままセルステージ１１がＸ２方向へ駆動され、押
圧ローラ１３は軸１３ａに対して自由回転しながら、液
晶セル１２に密着する光学フィルム１４の表面に沿って
転動する。圧力Ｐａは、フィルムの張力小さくほぼ一定
であるため１５０ｍｍ角の光学フィルムを用いた場合、
５ｋｇから１００ｇ程度で自在に設定できる。なお、図
１（Ａ）に示す装置全体は、減圧室内に設置され、減圧
雰囲気内にて密着作業が行われることが好ましい。

【００２６】次に、図１に示した密着装置を使用した液
晶セル１２と光学フィルム１４との密着方法について説
明する。光学フィルム１４はその複数箇所が搬送用の吸
着パッド１６により吸着されてセルステージ１１の上方
へ搬入される。この途中で、光学フィルム１４から剥離
シート１４Ｃが剥離されて粘着層１４Ｂが下面側に露出
する。また前述の静電気除去工程にて光学フィルム１４
の帯電が除去される。光学フィルム１４は吸着パッド１
６に保持され、傾斜した状態で液晶セル１２の上に送ら
れ、まず密着始点となる図示左側の端部が粘着層１４Ｂ
により液晶セル１２の図示左端の上面に粘着させられ
る。また光学フィルム１４の図示右側の端部（ｂ）は、
保護シート１４Ａが設けられている側から吸着パッド１
５により吸着される。

【００２７】次に押圧ローラ１３が下降して、光学フィ
ルム１４の一端（ａ）が液晶セル１２の端部に圧力Ｐａ
にて加圧される。１５０ｍｍ角の光学フィルムを用いた
場合、圧力Ｐａは、３ｋｇから３００ｇ程度の範囲で設
定されることが好ましいが、前述のように５ｋｇから１
００ｇ程度に設定されることがさらに好ましい。なお、
この圧力Ｐａは、大きすぎると静電気の発生が増加し、
小さすぎると気泡のまき込みが増す。このとき、制御部
２０からの指令によりモータＭａとＭｂが制御され、ま
ず吸着パッド１５のＹ１−Ｙ２方向への昇降位置が決め
られ、液晶セル１２と光学フィルム１４との対向面の角
度θが所定値となるように決められる。さらにセルステ
ージ１１にはＸ２方向への軽い駆動力が与えられ、光学
フィルム１４に適度な張力Ｔが与えられる。上記角度θ
と張力Ｔは、使用する光学フィルム１４の材質、光学フ
ィルム１４と液晶セル１２との密着面積などに応じて経
験則的に決められる。そして、搬送用の吸着パッド１６
が光学フィルム１４を離し、セルステージ１１の上方か
ら退避する。

【００２８】次にセルステージ１１がＸ２方向へ駆動さ
れ、圧力Ｐａによる光学フィルム１４と液晶セル１２と
の加圧点が密着始点（ａ）から徐々にＸ１方向へ移動し
ていく。このとき制御部２０からのモータＭｂの制御に
より昇降台１７がＹ２方向へ徐々に下降させられ、吸着
パッド１５に保持されている光学フィルム１４と液晶セ
ル１２とのまだ密着していない対向面の開き角度が常に
同じ値θに維持されるように制御される。またこれに伴
い、光学フィルム１４の張力Ｔが常に一定になるように
制御される。

【００２９】上記昇降台１７のＹ２方向への下降速度
は、セルステージ１１のＸ２方向への移動速度に応じ
て、制御部２０にて幾何学的に算出される。そして、光
学フィルム１４の端部（ｂ）が液晶セル１２の上面に密
着したときに、吸着パッド１５の吸着力を除去し、モー
タＭｂにより吸着パッド１５を上昇させ、引き続き押圧
ローラ１３により、光学フィルム１４の端部（ｂ）と液
晶セル１２とを加圧し、密着（接着）作業を完了する。

【００３０】上記実施例では、光学フィルム１４と液晶
セル１２との密着が完了するまでの間、終始光学フィル
ム１４には同じ張力Ｔが作用し、また液晶セル１２との
開き角度θが一定の状態に維持され、押圧ローラ１３に
より液晶セル１２と光学フィルム１４との密着面積が徐
々に増加するように加圧される。よって、液晶セル１２
に密着した状態において、光学フィルム１４には無理な
張力が終始作用することはなく、よって皺などが生じな
い。また液晶セル１２と光学フィルム１４との密着面に
気泡などが介在することがない。特に減圧雰囲気内にお
いて上記の密着作業を行えば、上記気泡の存在は全くな
くなり、またほこりの無い雰囲気で作業ができる。さら
に光学フィルム１４はセルステージ１１の上に搬入され
た状態で静電気が除去され、さらに密着作業の間、光学
フィルム１４には摺動力が作用しないため、光学フィル
ム１４が帯電することがない。

【００３１】本実施例ではセルステージ１１が移動する
機構を用いたが、押圧ローラ１３の軸１３ａが光学フィ
ルム１４と液晶セル１２との密着面積を増加するように
移動してもよい。この場合にも前記開き角度θが常に一
定になるように、昇降台１７の高さ位置が制御される。
また、押圧ローラ１３により光学フィルム１４の図示左
側の端部（ａ）を、液晶セル１２の図示左端の上面に、
押圧して粘着してもよい。

【００３２】次に、図３は本発明の第２実施例を示して
いる。この実施例では同図（Ａ）に示すように、所定の
曲率半径Ｒの周表面２１Ｂを有するフィルム保持台２１
が設けられている。このフィルム保持台２１の周表面２
１Ｂには周方向に複数の吸着穴２１Ａが並んで設けられ
ている。吸着穴２１Ａは図示しないエアー負圧供給部管
に接続されており、吸着穴２１Ａの吸着力により光学フ
ィルム１４がフィルム保持台２１の周表面２１Ｂに吸着
保持されるようになっている。光学フィルム１４は保護
シート１４Ａが周表面２１Ｂに密着し、剥離シート１４
Ｃが表面に向けられた状態で吸着保持される。

【００３３】図３（Ｂ）（Ｃ）に示すように、フィルム
保持台２１の周表面２１Ｂには、この周表面２１Ｂに設
置される液晶セル１２に対して所定の圧力Ｐａにより加
圧される押圧ローラ１３が設けられている。この押圧ロ
ーラ１３も表面が弾性体により構成され、軸１３ａに対
して回転自在に取付けられている。軸１３ａは図示しな
い駆動機構により前記圧力Ｐａを維持しながら周表面２
１Ｂに沿って移動するように駆動され、これに伴い押圧
ローラ１３が周表面２１Ｂに沿って転動できるようにな
っている。また符号２２は、液晶セル１２を搬入するた
めの吸着パッドである。この装置も減圧室内にて運転さ
れることが好ましい。

【００３４】次に図３に示す装置を使用した液晶セル１
２と光学フィルム１４との密着（接着）作業について説
明する。光学フィルム１４は、フィルム保持台２１の周
表面２１Ｂに設置され、吸着穴２１Ａからの吸着力によ
り保持される。光学フィルム１４は保護シート１４Ａが
周表面２１Ｂに対面して周表面２１Ｂに沿って吸着保持
される。光学フィルム１４の表面には剥離シート１４Ｃ
が向けられているため、まずこの剥離シート１４Ｃを除
去し、粘着（接着）層１４Ｂを露出させる。このとき、
帯電防止用の薬品が散布されるなどして静電気除去処理
が施される。

【００３５】次に、押圧ローラ１３を周表面２１Ｂから
離しておき、搬送用の吸着パッド２２により液晶セル１
２を吸着し、図３（Ｂ）に示す角度にて液晶セル１２を
搬入し、まず液晶セル１２の傾斜側下端を光学フィルム
１４の一端（ａ）に密着させる。このとき押圧ローラ１
３を液晶セル１２の表面に当て、圧力Ｐａにて加圧させ
る。そして、前記圧力Ｐａを維持したまま軸１３ａを周
表面２１Ｂに沿って移動させ、押圧ローラ１３を液晶セ
ル１２の表面に転動させながら移動させる。これにより
図３（Ｃ）に示すように、液晶セル１２と光学フィルム
１４との密着面積が前記（ａ）で示す密着始点から広が
っていく。このとき液晶セル１２との密着が完了した位
置において吸着穴２１Ａの吸着を順番に止めていくと、
液晶セル１２に密着した光学フィルム１４は周表面２１
Ｂから確実に離れていく。

【００３６】なお、押圧ローラ１３の移動に伴って液晶
セル１２の傾斜角度が変化し、すなわち液晶セル１２は
図示反時計方向へ徐々に回転していく。しかも液晶セル
１２は押圧ローラ１３のみにより支持されていることに
なり、不安定であるため、例えば吸着パッド２２により
液晶セル１２を吸着したままの状態で、液晶セル１２の
傾斜の変化にしたがって吸着パッド２２を下降させても
よい。あるいは吸着パッド２２以外の支持部材により液
晶セル１２を支持してもよい。

【００３７】この実施例では常に液晶セル１２がフィル
ム保持台２１の周表面２１Ｂの接線方向に向けられなが
ら光学フィルム１４との密着面積が増加していくため、
光学フィルム１４と液晶セル１２との接着部における両
者の対向関係は常に一定である。よって全密着面におい
て、液晶セル１２と光学フィルム１４とが同じ状態で密
着（接着）され、光学フィルム１４に皺がよるなどの問
題は生じない。また光学フィルム１４に無理な張力が作
用しない。さらに静電気も発生しない。特に減圧雰囲気
内にて作業を行えば、液晶セル１２と光学フィルム１４
との間に気泡が介在することもない。本実施例では、密
着面積を広げるように押圧ローラ１３を転動させたが、
逆に液晶セル１２の表面に対してフィルム保持台２１が
転動するようにしてもよい。

【００３８】図４は本発明の第３実施例を示している。
この実施例では、２個のローラ３１とローラ３２とが対
向しており、それぞれを支持する軸Ｏ１，Ｏ２に回転力
が与えられ、ローラ３１と３２が図の方向へ回転駆動さ
れる。ローラ３１と３２の少なくとも表面は弾性変形可
能なゴムなどの弾性材により形成されている。そして両
ローラ３１と３２との間に液晶セル１２および光学フィ
ルム１４，１４が挟持された状態で、ローラ３１と３２
の表面が弾性変形し、この弾性変形した角度範囲（２・
θ１）にて液晶セル１２と光学フィルム１４，１４とが
加圧されるようになっている。この押圧角度範囲にて、
液晶セル１２と光学フィルム１４，１４とが一定の力に
より押圧される。

【００３９】また上記押圧角度範囲（２・θ１）によ
り、これから密着する液晶セル１２と光学フィルム１４
との開き角度θが決められる。このθ１およびθは、光
学フィルム１４の材質などに応じて決められるが、この
角度値を決める要素は、ローラ３１と３２の表面の材
質、ローラ３１，３２の径寸法などである。また両ロー
ラ３１，３２の表面には光学フィルム１４が保持され
る。この保持力を発揮させるために、ローラ３１と３２
の表面に吸着穴を設け、負圧により光学フィルム１４を
吸着してもよいが、ローラ３１と３２の表面を弱い粘着
力を有するゴムなどにより構成しておき、光学フィルム
１４の保護シート１４Ａをローラ表面に軽く粘着させて
おいてもよい。

【００４０】またこの装置を、減圧雰囲気内で運転させ
ることが好ましい。この装置では、まず両ローラ３１と
３２の表面に光学フィルム１４をそれぞれ巻き付けるよ
うにして保持させる。このとき剥離シート１４Ｃが表面
に向けられているため、まずこれを除去し、さらに帯電
除去処理する。液晶セル１２は垂直の向きで上方からロ
ーラ３１と３２の間に挿入される。このとき光学フィル
ム１４の一端（ａ）が液晶セル１２の下端の両表面に密
着し、両ローラ３１と３２により力Ｆにて加圧される。
そしてローラ３１と３２を回転駆動すると、両ローラ間
に挟まれた液晶セル１２が下方へ送られ、その両表面に
力Ｆにて光学フィルム１４，１４が徐々に密着（接着）
させられる。

【００４１】この実施例においても、光学フィルム１４
に無理な張力が作用しない。また密着面積が徐々に広が
っていく際、液晶セル１２と光学フィルム１４との密着
部の対面関係（開き角度θ）が常に一定であるため、終
始同じ条件で密着（接着）が行われる。なお、図４の実
施例では両ローラ３１と３２に光学フィルム１４が保持
され、液晶セル１２の両表面に光学フィルム１４が密着
（接着）させられるが、図４の装置を使用して、液晶セ
ル１２の一方の表面にのみ光学フィルム１４を密着させ
てもよい。

【００４２】なお、上記実施例では基板として液晶セル
１２を、またフィルムとして光学フィルム１４を例にし
て説明したが、本発明の方法および装置は、これ以外の
基板とフィルムとの密着作業に実施できる。さらに上記
の実施例では、フィルムに粘着層（接着層）が形成され
ているが、基板側に粘着（接着）層が形成されていても
よい。また粘着（接着）層が設けられておらず、単に基
板とフィルムとが密着するだけの場合であっても実施可
能である。

【００４３】

【発明の効果】以上のように請求項１〜３記載の発明で
は、フィルムの張力がほぼ一定となり、基板とフィルム
の対向面の開き角度がほぼ一定になるようにして互いに
密着させられ、あるいは、周表面と基板との接触位置を
移動させていくことにより、基板とフィルムとの密着面
積を広げていくため、フィルムの過剰な張力が作用せ
ず、また皺がよることなく基板に密着させることがで
き、その上、フィルムに静電気が発生せず、さらには密
着面にほこりなどが介在することがない。

【００４４】

【００４５】

【００４６】請求項４記載の発明では、簡単な構造でフ
ィルムの張力及び基板とフィルムの対向面の開き角度を
ほぼ一定にでき、フィルムの静電気を除去できる密着装
置を提供できる。さらに請求項５記載の発明では、上記
装置を減圧室内に設置することで、減圧雰囲気内にて密
着作業が行える。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）（Ｂ）は、本発明の第１実施例に係る基
板とフィルムの密着装置を動作別に示す側面図である。

【図２】フィルムの構造の一例を示す拡大断面図であ
る。

【図３】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は本発明の第２実施例に係
る基板とフィルムの密着装置を動作別に示す側面図であ
る。

【図４】（Ａ）は本発明の第３実施例に係る基板とフィ
ルムの密着装置を示す側面図、（Ｂ）は（Ａ）の部分拡
大図である。

【図５】従来の液晶セルと光学フィルムとの密着装置を
示す説明図である。

【符号の説明】

１１セルステージ１２液晶セル１３押圧ローラ１４光学フィルム１４Ｂ粘着層（接着層）１４Ｃ剥離シート１５吸着パッド１６搬送用の吸着パッド１７昇降台２１フィルム保持台２１Ａ吸着穴２１Ｂ周表面３１，３２ローラ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者磯部和夫東京都大田区雪谷大塚町１番７号アルプス電気株式会社内 (56)参考文献特開昭61−263752（ＪＰ，Ａ) 特開平４−345843（ＪＰ，Ａ) 特公昭62−9027（ＪＰ，Ｂ２) 特公昭54−2900（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B32B 1/00 - 35/00 B29C 65/48 G02F 1/1333 500

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】基板とフィルムとを密着始点にて合せ、
基板とフィルムとの押圧位置を移動させて密着面積を広
げていくに際し、密着していない部分のフィルムに与え
る張力がほぼ一定になるようにフィルムを保持し、密着
していない部分での基板とフィルムの対向面の開き角度
がほぼ一定になるように基板とフィルムとの相対位置を
変えていく基板とフィルムとの密着方法において、基板
またはフィルムの表面に粘着層とこの粘着層を覆う剥離
シートが積層されており、前記剥離シートの剥離開始時
から基板とフィルムとの密着を開始するまでのいずれか
の時期に、基板またはフィルムに発生した静電気を除去
する工程を有することを特徴とする基板とフィルムとの
密着方法。
【請求項２】所定曲率の周表面にフィルムを保持さ
せ、このフィルムの表面と基板とを密着始点にて合せ、
前記周表面と基板との接触位置を移動させていくことに
より、基板とフィルムとの密着面積を広げていく基板と
フィルムとの密着方法において、基板またはフィルムの
表面に粘着層とこの粘着層を覆う剥離シートが積層され
ており、前記剥離シートの剥離開始時から基板とフィル
ムとの密着を開始するまでのいずれかの時期に、基板ま
たはフィルムに発生した静電気を除去する工程を有する
ことを特徴とする基板とフィルムとの密着方法。
【請求項３】基板とフィルムとの密着動作が、減圧雰
囲気にて行われる請求項１又は２記載の基板とフィルム
との密着方法。
【請求項４】基板を設置するステージと、前記ステー
ジ上方位置に粘着層とこの粘着層を覆う剥離シートとが
積層されたフィルムを搬送する搬送手段と、前記搬送手
段によるフィルムの搬送経路において前記剥離シートを
フィルムから剥離する機構と、前記剥離シートの剥離開
始時からステージ上方位置へと至るまでのフィルムの搬
送経路において前記フィルムの静電気を除去する静電気
除去手段と、前記搬送手段によりステージ上に搬送され
その端部が粘着層を介して基板へと粘着させられたフィ
ルムの他の端部を保持するフィルム保持部材と、密着始
点から基板とフィルムとの密着面積を広げていく押圧部
材と、密着していない部分での基板とフィルムの対向面
の開き角度がほぼ一定になるように、且つ密着していな
い部分のフィルムに与える張力が密着工程中ほぼ一定に
なるように前記ステージとフィルム保持部材との相対位
置を制御する制御部とを有することを特徴とする基板と
フィルムとの密着装置。
【請求項５】減圧室内に設置され、減圧雰囲気内にて
密着作業を行う請求項４記載の基板とフィルムとの密着
装置。