CN108792690B - 搬运装置及层叠体的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供能将片状构件以平坦状态搬运、抑制向片状构件产生褶皱且使存在于片状构件的褶皱伸展的搬运装置、以及包括使用该搬运装置来搬运片状构件的工序的层叠体的制造方法。搬运装置用于搬运片状构件，具有：带状构件，其用于载置片状构件并将片状构件沿着搬运方向搬运，且具有在厚度方向上贯穿的多个孔；吸引部，其相对于带状构件配置在与载置片状构件这侧相反的一侧，吸引部对周围气氛进行吸引，从而利用通过带状构件的所述孔的吸引力来将片状构件相对于带状构件进行保持，所述搬运装置具有使片状构件被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同的搬运区域。

Description

搬运装置及层叠体的制造方法
技术领域
本发明涉及用于搬运片状构件的搬运装置及层叠体的制造方法。
背景技术
片状构件例如在吸附构件、印制布线基板及光学构件等各种领域中使用。这样的片状构件大多在包含其的层叠体的制造工序等中使用带状构件来搬运。
然而，当使用带状构件搬运片状构件时，片状构件有时会晃动。若片状构件晃动，则有时在片状构件产生卷曲或产生褶皱。
近年来，多使用薄型的片状构件，薄型的片状构件尤其容易产生褶皱、卷曲。当在片状构件产生褶皱、卷曲等时，作业效率变差，有可能对产品的成品率产生不良影响。
例如，在专利文献1(日本特开2008-53572号公报)中，作为抑制在多层印制布线基板的制造所使用的预浸材料片产生褶皱的尝试，公开了预浸材料片固定装置。
具体而言，公开了如下内容：使用包括对预浸材料片进行真空吸附的吸附工作台和抓住所述预浸材料片的周边部而使所述预浸材料片向所述吸附工作台上移动的移动部的预浸材料片固定装置，在预浸材料片固定装置中，所述吸附工作台具有一边赋予时间差一边独立地进行真空吸附的多个真空吸附部(专利文献1的权利要求1)。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2008-53572号公报
然而，在采用专利文献1所公开的抓住预浸材料片的周边部而将其向吸附工作台上吸附的技术的情况下，有时不能将片状构件载置为平坦的状态并搬运。另外，在采用专利文献1所公开的固定装置的情况下，存在不能去除在搬运中产生的褶皱这一问题。
另外，近年来，片状构件的厚度变薄，例如就光学层叠体所使用的片状构件而言，存在厚度为50～300μm的片状构件，要求能够以平坦的状态搬运、能够减少或抑制褶皱的产生且能够将所产生的褶皱伸展的搬运装置。
发明内容
因此，本发明的目的在于，提供能够将片状构件以平坦的状态搬运、另外能够抑制向片状构件产生褶皱且能够使存在于片状构件的褶皱伸展的搬运装置。而且，本发明提供包括使用这样的搬运装置来搬运片状构件的工序的层叠体的制造方法。
用于解决课题的方案
本发明包括以下内容。
[1]一种搬运装置，其用于搬运片状构件，
所述搬运装置的特征在于，具有：
带状构件，其用于载置片状构件并将片状构件沿着搬运方向搬运，所述带状构件具有在厚度方向上贯穿的多个孔；以及
吸引部，其相对于带状构件配置在与载置片状构件这侧相反的一侧，所述吸引部对周围气氛进行吸引，从而利用通过带状构件的所述孔的吸引力来将片状构件相对于带状构件进行保持，
并且，所述搬运装置具有使片状构件被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同的搬运区域。
[2]根据[1]所记载的搬运装置，其中，在搬运方向上作用于片状构件的下游侧的区域的吸引力比作用于片状构件的上游侧的区域的吸引力大。
[3]根据[1]或[2]所记载的搬运装置，其中，作用于片状构件的吸引力在与搬运方向平行的方向上阶段性分布。
[4]根据[3]所记载的搬运装置，其中，与所述阶段对应地，吸引部通过包括多个吸引部而成。
[5]根据[1]或[2]所记载的搬运装置，其中，作用于片状构件的吸引力在与搬运方向平行的方向上连续性分布。
[6]根据[1]至[5]中任一项所记载的搬运装置，其中，作用于片状构件的吸引力在与搬运方向垂直的方向上的至少两个区域中不同。
[7]根据[1]至[6]中任一项所记载的搬运装置，其中，所述搬运装置还具有辊，所述辊相对于带状构件配置在载置片状构件这侧的上方，且配置为在片状构件被搬运时使该辊一边旋转一边与带状构件上的片状构件接触。
[8]一种层叠体的制造方法，所述层叠体具有第一片状构件和第二片状构件，所述层叠体的制造方法的特征在于，包括如下工序：使用上述[1]至[7]中任一项所记载的搬运装置来搬运第一片状构件；以及将该第一片状构件与第二片状构件贴合。
[9]一种层叠体的制造方法，所述层叠体具有片状构件和长条状构件，所述层叠体的制造方法的特征在于，包括如下工序：使用[1]至[7]中任一项所记载的搬运装置来搬运片状构件；以及将该片状构件与长条状构件贴合。
发明效果
本发明能够将片状构件以平坦的状态搬运，另外能够抑制向片状构件产生褶皱且能够使存在于片状构件的褶皱伸展。
附图说明
图1是表示本发明的搬运装置的概要的俯视图。
图2是表示上述方案中的搬运装置的概要的侧视图。
图3是表示本发明的搬运装置的一方案的概要的俯视图。
图4是表示上述本发明的一方案中的搬运装置的概要的侧视图。
图5是表示本发明的搬运装置的一方案的概要的俯视图。
图6是表示上述本发明的一方案中的搬运装置的概要的侧视图。
图7是表示本发明的搬运装置的一方案的概要的俯视图。
图8是表示上述本发明的一方案中的搬运装置的概要的侧视图。
附图标记说明
1 搬运装置
10 带状构件
11 带状构件的沿着厚度方向贯穿的孔
12 搬运区域
20 片状构件
21 片状构件(长条状构件)中的一区域
22 片状构件(长条状构件)中的另一区域
23 吸引力的分界部
24 长条状构件中的又一区域
25 长条状构件
30 吸引部
31 第一吸引部
32 第二吸引部
33 第三吸引部
41 第一吸引部的吸引力
42 第二吸引部的吸引力
43 第三吸引部的吸引力
44 上游侧的吸引力
45 中游部的吸引力
46 下游侧的吸引力
50 尾辊
51 贴合辊
52 辊
53 送出辊
60 搬运方向
70 第二片状构件
80 层叠体
具体实施方式
根据本发明，提供一种搬运装置，其用于搬运片状构件，
所述搬运装置的特征在于，具有：
带状构件，其用于载置片状构件并将片状构件沿着搬运方向搬运，所述带状构件具有在厚度方向上贯穿的多个孔；以及
吸引部，其相对于带状构件配置在与载置片状构件这侧相反的一侧，所述吸引部对周围气氛进行吸引，从而利用通过带状构件的所述孔的吸引力来将片状构件相对于带状构件进行保持，
并且，所述搬运装置具有使片状构件被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同的搬运区域。
以下，参照附图来说明本发明的用于搬运片状构件的搬运装置。
图1是表示本发明的搬运装置的概要的俯视图。另外，图2是表示上述方案中的搬运装置的概要的侧视图。在图1及图2中，1为搬运装置，10为带状构件，11为带状构件10的沿着厚度方向贯穿的孔，20为片状构件，21为片状构件20中的一区域，22为片状构件20中的另一区域，30为吸引部，41a为一区域的吸引力，41b为另一区域的吸引力，50为尾辊，60为搬运方向。
搬运装置1具有使片状构件被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同的搬运区域12。
在此，搬运区域12为利用通过带状构件10中的孔11的吸引力来对片状构件20一边进行吸引一边进行搬运的区域，与带状构件10面对吸引部30的区域一致。
例如，在图1及图2所示的方案中，搬运区域12为经由带状构件10的孔11而作用从吸引部30向片状构件20的吸引力(41a、41b)的区域。在这样的搬运区域12中，片状构件被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同。需要说明的是，带状构件10也可以具有不对片状构件作用吸引力的区域。即，在本发明的搬运装置中，也可以是，在搬运片状构件时对片状构件作用吸引力的区域和实质上不作用吸引力的区域混合存在。
带状构件10为用于载置片状构件20并沿着搬运方向搬运的构件，带状构件10能够从上游侧朝向下游侧行进，并且将载置于带状构件10的片状构件20搬运规定的距离。需要说明的是，上游侧为向搬运装置载置片状构件的一侧，下游侧例如为贴合工序等其他工序能够继续的一侧。
在此，带状构件10具有多个沿着厚度方向贯穿的孔11。通过具有沿着厚度方向贯穿的孔11，由此，经由相对于带状构件10配置在与载置片状构件20这侧相反的一侧的吸引部30来对周围气氛进行吸引，从而能够利用通过带状构件10的孔11的吸引力(例如图2中的吸引力41a及吸引力41b)将片状构件20相对于带状构件10进行保持。
由于能够经由吸引力将片状构件20相对于带状构件10进行保持，因此能够减少或抑制在片状构件的搬运中有可能产生的晃动。另外，能够抑制搬运中的片的偏移。由此，例如即便是薄型(厚度100μm左右)的片状构件20，也能够稳定地搬运，能够致使生产工序缩短。
带状构件10的材质可以根据搬运的片状构件20所包含的成分而适当选择。例如，可以是合成橡胶制、硅橡胶制，也可以是金属制。另外，带状构件10的宽度等也可以根据搬运的片状构件而适当选择。在某一方案中，带状构件10也可以是网眼状的合成橡胶带、树脂制带。由此，例如，在薄型的片状构件20搬运时能够抑制在片状构件产生伤痕。
沿着厚度方向贯穿的孔11的形状、即存在于带状构件10的搬运面的孔的形状不特别限定，例如可以是圆形形状、椭圆形状、多边形等，也可以是沿着与带状构件10的搬运方向垂直的方向延伸的形状(例如狭缝状)，还可以是相对于带状构件10的搬运方向设有规定的角度地配置的形状。另外，孔的尺寸不特别限定，例如在为四边形的情况下，一边处于0.35mm～5.0mm的范围内，在为圆的情况下，直径可以处于0.4mm～3.0mm的范围内。
在某一方案中，带状构件10的沿着厚度方向贯穿的孔11至少沿着与片状构件20的搬运方向垂直的方向(片状构件20的宽度方向)均等地配置。由此，片状构件20被以均等的力吸引。
沿着厚度方向贯穿的孔11的数量不作限定，可以以使片状构件被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同的方式适当配置。例如，以能够均等地吸引片状构件的整面的方式配置孔11。
根据本发明的搬运装置，相对于带状构件配置在与载置片状构件这侧相反的一侧的吸引部30通过吸引周围气氛，能够利用通过带状构件的所述孔11的吸引力(例如图2中的吸引力41a及吸引力41b)来将片状构件20相对于带状构件10进行保持。
根据本发明的搬运装置，片状构件20被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同。
例如，在图1及图2中，片状构件20的一区域21的吸引力与片状构件20的另一区域22的吸引力不同。
在本说明书中，片状构件20中的一区域是指片状构件中的任意的区域，另一区域是指同一片状构件或其他片状构件中的与上述一区域不同的任意的区域。
需要说明的是，对于在一个吸引部中产生吸引力的差异，能够通过在该技术领域中已知的方法来进行。
这样，通过作用于片状构件的吸引力(例如图2中的吸引力41a及吸引力41b)在该片状构件的至少两个区域中不同，由此能够抑制片状构件20被一下子被吸引，能够抑制对片状构件产生褶皱。
另外，能够将片状构件以平坦的状态搬运，能够抑制片状构件的卷曲。而且，即便是薄型(厚度50～300μm)程度的片状构件，也能够在搬运中使片伸展，能够抑制卷曲的产生。
例如，在为薄的片状构件20的情况下，能够防止搬运时的褶皱，能够在片的位置对准调整前将片保持为平坦的状态。因而，通过使用本发明的搬运装置，能够高精度地进行片状构件的位置对准。例如，通过利用本发明的搬运装置来搬运预先调整贴合轴后的片状构件，能够更高精度地进行片状构件的位置对准。
只要使片状构件被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同，作用的吸引力的大小就不作限定，例如吸引力也可以处于0.01～55kPa的范围内。可以在这样的范围内将吸引力适当设定成使吸引力在片状构件的至少两个区域中不同。
例如，可以是，图1及图2中的位于下游侧的片状构件的区域22的吸引力与位于上游侧的片状构件的区域21的吸引力不同，将下游侧的吸引力设定在0.02～55kPa的范围内，将上游侧的吸引力设定在0.01～50kPa的范围内。
通过像这样使片状构件被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同，能够抑制片状构件的晃动，将片状构件以平坦的状态搬运，另外能够抑制在搬运时向片状构件产生褶皱，而且能够使有可能存在于片状构件的褶皱伸展。
另外，例如，在与另一片状构件贴合时，能够提高贴合轴的位置对准精度，能够致使生产节拍时间缩短。
在某一方案中，片状构件被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同是指，作用于片状构件的吸引力的差的绝对值处于0.01～50kPa、例如0.1～20kPa的范围内。
例如，在采用在搬运方向上作用于片状构件的下游侧的区域的吸引力比作用于片状构件的上游侧的区域的吸引力大的方案的情况下，从作用于下游侧的区域的吸引力减去作用于上游侧的区域的吸引力而得到的值处于0.01～50kPa、例如0.1～20kPa的范围内。
通过在这样的范围内设置吸引力的差，能够抑制吸引力急剧地变化，能够将片状构件以平坦的状态搬运，另外能够抑制在搬运时向片状构件产生褶皱，能够使有可能存在于片状构件的褶皱伸展。
另外，例如，在片状构件20中的从另一区域22起的下游侧作用于片状构件的吸引力可以与区域22的吸引力相同，也可以阶段性分布，或者还可以连续性分布。
在本说明书中，阶段性分布是指随着从上游侧朝向下游侧而吸引力呈阶层性变化。例如是指，吸引力以规定的间隔或任意的间隔变化，下一区域的吸引力与前一区域的吸引力不同。另一方面，连续性分布是指，随着从上游侧朝向下游侧而吸引力的变化梯度固定。
能够由本发明搬运的片状构件例如可举出吸附构件、印制布线基板及光学构件等，可以优选利用于薄且容易产生卷曲、褶皱等的构件。在某一方案中，片状构件为光学构件，例如可以使用厚度50～500μm的光学构件。片状构件的尺寸例如为宽度30cm～150cm、长度30cm～150cm。
光学构件例如可以具有从相位差膜、偏振膜、防反射膜、视角提高膜、增亮膜等中选择出的至少一个光学膜。光学构件可以是这些光学膜的单层构造，也可以是包含上述那样的光学膜在内的层叠多个膜而成的多层构造。
根据本发明，不同的区域的吸引力不同，由此例如能够对如厚度120μm以下的片状构件以及具有多层构造的构件那样容易产生卷曲、褶皱等的结构的(层叠)构件进行稳定的搬运。例如，即便是具有偏振膜的多层构造的片状构件等，也能够得到这样显著的效果。
另外，若采用本发明的搬运装置，则能够搬运作为片状构件的变形例的例如后述的图7及图8所示的那样的长条状构件25。在本发明中，可以在全部的方案中使用长条状构件。若采用本发明的搬运装置，则能够使长条状构件的褶皱有效地伸展，另外能够将长条状构件以平坦的状态搬运。
在某一方案中，通过设置多个吸引部，来使片状构件20被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同。例如，图3及图4是表示包含多个吸引部而成的搬运装置的方案的简要图。
在图3及图4中，10为带状构件，11为带状构件的沿着厚度方向贯穿的孔，20为片状构件，21为片状构件20中的一区域，22为片状构件20中的另一区域，23为吸引力的分界部，31为第一吸引部，32为第二吸引部，41为第一吸引部的吸引力，42为第二吸引部的吸引力，50为尾辊，60为搬运方向。
搬运装置1具有使片状构件20被搬运时作用于片状构件20的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同的搬运区域(12a、12b)。
在此，搬运区域12a为利用通过带状构件10中的孔11的吸引力来对片状构件20一边进行吸引一边进行搬运的区域，与带状构件10面对第一吸引部31的区域一致。
搬运区域12b为利用通过带状构件10中的孔11的吸引力来对片状构件20一边进行吸引一边进行搬运的区域，与带状构件10面对第二吸引部32的区域一致。
例如，在图3及图4所示的方案中，搬运区域(12a、12b)为经由带状构件10的孔11而从吸引部(31、32)向片状构件20作用吸引力(41、42)的区域。在这样的搬运区域12中，片状构件被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同。
另外，带状构件10也可以具有不向片状构件作用吸引力的区域。即，在本发明的搬运装置中，也可以是，在搬运片状构件时对片状构件作用吸引力的区域和实质上不作用吸引力的区域混合存在。
需要说明的是，在图3及图4中所示的方案中，也可以是第一吸引部31与第二吸引部32具有不同的吸引力的实施方式。在另一方案中，也可以是，在与第一吸引部31对应的搬运区域12a内，作用于片状构件的吸引力在至少两个区域中不同。另外，也可以是，在与第二吸引部32对应的搬运区域12b内，作用于片状构件的吸引力在至少两个区域中不同。
在具有多个吸引部的方案中，例如如图3及图4所示，可以使第一吸引部31的吸引力41与第二吸引部32的吸引力42不同。在某一方案中，可举出下游侧的吸引部的吸引力比上游侧的吸引部的吸引力大的方案。
根据图3及图4，例如第二吸引部32的吸引力42比第一吸引部31的吸引力41大。
例如，可以将下游侧的吸引力设定在0.02～55kPa的范围内，将上游侧的吸引力设定在0.01～50kPa的范围内。
另外，在采用在搬运方向上作用于片状构件的下游侧的区域的吸引力比作用于片状构件的上游侧的区域的吸引力大的方案的情况下，从作用于下游侧的区域的吸引力减去作用于上游侧的区域的吸引力而得到的值处于0.01～50kPa例如0.1～20kPa的范围内。
通过在这样的范围内设置吸引力的差，能够抑制吸引力急剧地变化，能够将片状构件以平坦的状态搬运，另外能够抑制在搬运时向片状构件产生褶皱，能够使有可能存在于片状构件的褶皱伸展。
在具有多个吸引部的方案中，也可以是，从同一吸引部的上游侧朝向下游侧而使吸引力变化。
另外，在设置多个吸引部的情况下，也可以在一吸引部与另一吸引部之间设置吸引力的分界部23。通过设置分界部，能够更高效地使片状构件伸展，能够进行褶皱的去除、片状构件的平坦化。吸引力的分界部23可以通过将相邻的吸引部分开间隔地配置来设置。
在某一方案中，作用于片状构件的吸引力在与搬运方向平行的方向上阶段性分布。图5是表示本发明的搬运装置的一方案的概要的俯视图，图6是表示上述本发明的一方案中的搬运装置的概要的侧视图。在图5及图6中，10为带状构件，11为带状构件的沿着厚度方向贯穿的孔，20为片状构件，21为片状构件20中的一区域，22为片状构件20中的另一区域，23为吸引力的分界部，31为第一吸引部，32为第二吸引部，33为第三吸引部，41为第一吸引部的吸引力，42为第二吸引部的吸引力，43为第三吸引部的吸引力，50为尾辊，51为贴合辊，52为辊，53为送出辊，60为搬运方向，70为第二片状构件，80为层叠体。
搬运装置1具有使片状构件20被搬运时作用于片状构件20的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同的搬运区域(12a、12b、12c)。可以是搬运区域(12a、12b、12c)中的至少两个搬运区域的吸引力不同的方案，例如也可以是在搬运区域(12a、12b、12c)中的至少一个搬运区域内使吸引力不同的方案。
在此，搬运区域12a是利用通过带状构件10中的孔11的吸引力来对片状构件20一边进行吸引一边进行搬运的区域，与带状构件10面对第一吸引部31的区域一致。
搬运区域12b是利用通过带状构件10中的孔11的吸引力来对片状构件20一边进行吸引一边进行搬运的区域，与带状构件10面对第二吸引部32的区域一致。
搬运区域12c是利用通过带状构件10中的孔11的吸引力来对片状构件20一边进行吸引一边进行搬运的区域，与带状构件10面对第三吸引部33的区域一致。
在这样的搬运区域12中，片状构件被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同。
另外，带状构件10也可以具有不向片状构件作用吸引力的区域。即，在本发明的搬运装置中，也可以是，在搬运片状构件时对片状构件作用吸引力的区域与实质上不作用吸引力的区域混合存在。
需要说明的是，在图5及图6中示出的方案中，如后所述，也可以是第一吸引部31、第二吸引部32及第三吸引部33具有不同的吸引力的方案。在另一方案中，也可以是，在与第一吸引部31对应的搬运区域12a内，作用于片状构件的吸引力在至少两个区域中不同。另外，也可以是，在与第二吸引部32对应的搬运区域12b内，作用于片状构件的吸引力在至少两个区域中不同。而且，也可以是，在与第三吸引部33对应的搬运区域12c内，作用于片状构件的吸引力至少在两个区域中不同。
在作用于片状构件的吸引力在与搬运方向平行的方向上阶段性分布的方案中，例如如图5及图6所示，本发明的搬运装置可以具有第一吸引部31、第二吸引部32及第三吸引部33。
在这样的方案中，片状构件被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同。例如，也可以是，第一吸引部31的吸引力41、第二吸引部32的吸引力42及第三吸引部33的吸引力43分别显示不同的吸引力。另外，也可以是，第一吸引部31的吸引力41与第二吸引部32的吸引力42显示同一吸引力，第三吸引部33的吸引力43显示与另外两个吸引部的吸引力不同的吸引力。
在某一方案中，按从下游侧的第三吸引部33的吸引力到第二吸引部32的吸引力、再到上游侧的第一吸引部31的吸引力的顺序，使吸引力变大。通过以这样的关系具有吸引力，能够从片状构件阶段性地使褶皱伸展而进行更稳定的搬运。
例如，在作用于片状构件的吸引力在与搬运方向平行的方向上阶段性分布的方案中，配置于最下游的吸引部的吸引力处于0.02～55kPa的范围内，配置于最上游侧的吸引部的吸引力处于0.01～50kPa的范围内。另外，在某一方案中，除了上述关系以外，配置于最下游侧的吸引部的吸引力比配置于最上游侧的吸引部的吸引力大。
在作用于片状构件的吸引力在与搬运方向平行的方向上阶段性分布的方案中，只要至少是使片状构件被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同，则能够根据使用的片状构件的性质、厚度等，来适当调整在配置于最下游侧的吸引部和配置于最上游侧的吸引部之间配置的吸引部的吸引力。
在某一方案中，本发明的搬运装置还具有如下辊，该辊相对于带状构件配置在载置片状构件这侧的上方，且配置为在片状构件被搬运时该辊一边旋转一边与带状构件上的片状构件接触。例如，图5及图6中的辊52相当于配置为与带状构件上的片状构件接触的辊。
通过具有该辊，能够更有效地去除片状构件的褶皱。以与带状构件上的片状构件接触的方式配置的辊52可以配置于任意的部位。例如，也可以设置于吸引力的分界部23的下游侧。若配置于这样的位置，则能够更有效地去除片状构件的褶皱，褶皱伸展效果优异。另外，可以配置多个辊52，可以将各辊配置于任意位置。
在某一方案中，在片状构件的搬运路径配置辊的情况下，也可以在通过辊的前后调整吸引力。例如，也可以如下调整：加强片状构件通过辊之前的吸引力，减弱片状构件通过辊时的吸引力，加强通过辊之后的吸引力。这样，加强通过辊的前后的吸引力并减弱辊与片状构件接触期间的吸引力，由此能够在通过辊时使褶皱有效地伸展，在通过辊后牢固地吸引，从而能够更加效率良好地进行片状构件的平坦化。
另外，在存在隔离膜剥离等处理工序的情况下，也可以在该处理工序的前后调整吸引力。在该方案中，也是通过加强处理工序的前后的吸引力并减弱处理工序期间的吸引力，从而能够在处理工序期间使褶皱有效地伸展，在处理工序之后牢固地吸引，由此能够更加效率良好地进行片状构件的平坦化。
在某一方案中，作用于片状构件的吸引力在与搬运方向平行的方向上连续性分布。图7是表示本发明的搬运装置的一方案的概要的俯视图、图8是表示上述本发明的一方案中的搬运装置的概要的侧视图。在图7及图8中，10为带状构件，11为带状构件的沿着厚度方向贯穿的孔，25为长条状构件，21为长条状构件25中的一区域，22为长条状构件25中的另一区域，24为长条状构件25中的又一区域，30为吸引部，44为吸引部30的上游侧的吸引力，45为吸引部30的中游部的吸引力，46为吸引部30的下游侧的吸引力，50为尾辊，51为贴合辊，60为搬运方向。
搬运装置1具有使作为片状构件的一方案的长条状构件25被搬运时作用于长条状构件25的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同的搬运区域12。
在此，搬运区域12是利用通过带状构件10中的孔11的吸引力来对长条状构件25一边进行吸引一边进行搬运的区域，与带状构件10面对吸引部30的区域一致。
在这样的搬运区域12中，片状构件(长条状构件)被搬运时作用于片状构件(长条状构件)的吸引力在该片状构件(长条状构件)的至少两个区域中不同。
另外，带状构件10也可以具有不向片状构件(长条状构件)作用吸引力的区域。即，在本发明的搬运装置中，也可以是，在搬运片状构件时对片状构件(长条状构件)作用吸引力的区域与实质上不作用吸引力的区域混合存在。
在作用于片状构件的吸引力在与搬运方向平行的方向上连续性分布的方案中，例如从吸引部30的上游侧的吸引力44朝向吸引部30的中游部的吸引力45及吸引部30的下游侧的吸引力46而使吸引力连续性分布。例如，以吸引部30的上游侧的吸引力44弱且下游侧的吸引力46强的方式使吸引力连续性分布。
通过作用于片状构件的吸引力在与搬运方向平行的方向上连续性分布，从而除了能够使片状构件的褶皱伸展而进行更稳定的搬运以外，尤其是在搬运长条状构件的情况下还能够更加效率良好地搬运。另外，通过连续地进行吸引，能够对容易产生翘曲的片状构件、产生了翘曲(卷曲大)的片状构件更高效地搬运，能够防止翘曲(卷曲)、弯折且恢复为平坦的状态。
另外，在搬运长条状构件的情况下，能够更平坦地搬运长条状构件。
在该方案中，可以是，上游侧的吸引力处于0.01～50kPa的范围内，下游区域的吸引力处于0.02～55kPa的范围内。另外，在某一方案中，也可以是，除了上述关系以外，下游区域的吸引力比上游侧的吸引力大。
在作用于片状构件的吸引力在与搬运方向平行的方向上连续性分布的方案中，只要至少使片状构件被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同，就能够根据使用的片状构件的性质、厚度等来适当调整下游区域的吸引力和上游侧的吸引力。
在某一方案中，提供作用于片状构件的吸引力在与搬运方向垂直的方向上的至少两个区域中不同的搬运装置。通过在与搬运方向垂直的方向上的至少两个区域中使吸引力不同，能够防止片状构件的卷曲，能够使褶皱有效地伸展，另外能够将片状构件以平坦的状态搬运。例如，也可以对片状构件中的长边方向周边部的吸引力与片状构件中的沿着长边方向的中心区域的吸引力设置差异。
<层叠体的制造方法>
根据本发明的另一方案，提供一种层叠体的制造方法，所述层叠体具有第一片状构件和第二片状构件，所述层叠体的制造方法的特征在于，包括如下工序：使用上述本发明的搬运装置来搬运第一片状构件；以及将该第一片状构件与第二片状构件贴合。
在另一方案中，提供一种层叠体的制造方法，所述层叠体具有片状构件和长条状构件，所述层叠体的制造方法的特征在于，包括如下工序：使用上述本发明的搬运装置来搬运片状构件；以及将该片状构件与长条状构件贴合。
以下，一边参照上述的图5及图6一边进行说明。在图5及图6中，20为片状构件，51为贴合辊，53为送出辊，60为搬运方向，70为第二片状构件，80为层叠体。通过使用本发明的搬运装置进行搬运，能够使用贴合辊51将褶皱被伸展了的片状构件(第一片状构件)20与第二片状构件70贴合，从而制造层叠体80。
通过使用本发明的搬运装置来搬运第一片状构件，能够使第一片状构件的褶皱伸展而变得平坦。而且，能够不受第一片状构件的卷曲的影响地进行位置对准，能够高精度地进行第一片状构件与第二片状构件的贴合。
在某一方案中，第二片状构件也可以是长条状构件，第一片状构件也可以是长条状构件，另外第一片状构件及第二片状构件也可以均为长条状构件。
第二片状构件不作特别限定，例如可以为隔离膜、保护膜、光学构件。
产业上的可利用性
本发明提供能够将片状构件以平坦的状态搬运、另外能够抑制向片状构件产生褶皱且能够使存在于片状构件的褶皱伸展的搬运装置。而且，本发明提供包括使用这样的搬运装置来搬运片状构件的工序的层叠体的制造方法。

Claims (9)

1.一种搬运装置，其用于搬运片状构件，
所述搬运装置的特征在于，具有：
带状构件，其用于载置片状构件并将片状构件沿着搬运方向搬运，所述带状构件具有在厚度方向上贯穿的多个孔；以及
多个吸引部，其相对于带状构件配置在与载置片状构件这侧相反的一侧，所述吸引部对周围气氛进行吸引，从而利用通过带状构件的所述孔的吸引力来将片状构件相对于带状构件进行保持，
并且，所述搬运装置具有使片状构件被搬运时作用于片状构件的吸引力在该片状构件的至少两个区域中不同的搬运区域，
所述带状构件的所述孔至少沿着与片状构件的搬运方向垂直的方向均等地配置，
在一个吸引部与另一吸引部之间存在吸引力的分界部。
2.根据权利要求1所述的搬运装置，其中，
在搬运方向上作用于片状构件的下游侧的区域的吸引力比作用于片状构件的上游侧的区域的吸引力大。
3.根据权利要求1所述的搬运装置，其中，
作用于片状构件的吸引力在与搬运方向平行的方向上阶段性分布。
4.根据权利要求3所述的搬运装置，其中，
与所述阶段性分布对应地包括所述多个吸引部。
5.根据权利要求1所述的搬运装置，其中，
作用于片状构件的吸引力在与搬运方向平行的方向上连续性分布。
6.根据权利要求1所述的搬运装置，其中，
作用于片状构件的吸引力在与搬运方向垂直的方向上的至少两个区域中不同。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的搬运装置，其中，
所述搬运装置还具有辊，所述辊相对于带状构件配置在载置片状构件这侧的上方，且配置为在片状构件被搬运时该辊一边旋转一边与带状构件上的片状构件接触。
8.一种层叠体的制造方法，所述层叠体具有第一片状构件和第二片状构件，
所述层叠体的制造方法的特征在于，包括如下工序：
使用权利要求1至7中任一项所述的搬运装置来搬运第一片状构件；以及
将该第一片状构件与第二片状构件贴合。
9.一种层叠体的制造方法，所述层叠体具有片状构件和长条状构件，
所述层叠体的制造方法的特征在于，包括如下工序：
使用权利要求1至7中任一项所述的搬运装置来搬运片状构件；以及
将该片状构件与长条状构件贴合。
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