KR20110120008A - 기판 이송 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법 - Google Patents

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KR20110120008A
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박상현
허준연
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Abstract

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는 기판의 양측 가장자리를 지지하며, 기판의 이송 방향을 따라 배치된 진공홀들을 갖는 이송 가이드, 기판의 양측 가장자리에 접촉되도록 이송 가이드에 이동가능하게 구비되는 이송 벨트, 이송 벨트에 놓여진 기판이 이송 방향을 따라 이동되도록, 이송 벨트를 구동시키는 구동부재, 그리고 진공홀들로 진공압을 제공하는 진공압 제공부재를 포함하되, 이송 벨트는 기판이 놓여지는 로딩부 및 로딩부에 한정되어 형성되며 진공홀들에 상응하는 관통홀들을 갖는다.

Description

기판 이송 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법{APPARATUS FOR TRANSFERING A SUBSTRATE AND METHOD FOR TRANSERING THE SUBSTRATE WITH THE SAEM}
본 발명은 기판 이송 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 진공 흡착 방식으로 기판을 이송하는 기판 이송 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 집적회로 칩 제조 공정, 평판 디스플레이 제조 공정, 그리고 전자 부품을 패키징하는 패키지 공정은 다양한 종류의 기판 이송 장치들을 사용하여, 공정 장치들 간에 소정의 기판을 이송한다. 예컨대, 반도체 패키지 공정은 인쇄회로기판 또는 상기 인쇄회로기판의 제조를 위한 다양한 종류의 절연 기판 등과 같은 기판들을 이송하기 위한 장치를 구비하여, 각각의 공정 장치들 간에 상기 박판들을 이송한다.
최근 반도체 패키지의 집적화 및 슬림화가 점차 진행되는 추세에 있으며, 이에 대응하여, 상기 인쇄회로기판 및 상기 절연 기판 등의 기판들의 두께 또한 매우 얇아지고 있다. 이러한 박판 형태의 기판들은 쉽게 휘어지거나 쳐지게 되므로, 상기 기판들을 이송하는 과정에서, 상기 기판들의 이송 정확도가 떨어지거나, 상기 기판들의 이송 장치로부터 이탈되어 손상되는 현상이 발생된다. 이를 방지하기 위해서는 상기 기판을 편평한 상태로 이송할 수 있는 기판 이송 장치가 요구된다.
또한, 상기 박판들에는 극미세 회로 배선들이 형성되어 있으므로, 상기 박판들의 처리 과정에서 엄격한 오염 통제가 요구된다. 예컨대, 상술한 기판들은 상기 회로 배선들이 형성된 활성 영역 부분에는 상기 기판의 이송 과정에서, 다른 구성들에 의해 접촉되지 않아야 한다. 이를 위해서는 상기 기판들을 최소한의 물리적인 접촉만으로 지지하여, 이송할 수 있는 기판 이송 장치가 요구된다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판의 쳐짐을 방지하면서, 박막의 기판을 효율적으로 이송시키는 기판 이송 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판에 대한 물리적인 접촉을 최소화하면서, 상기 기판을 이송시키는 기판 이송 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판의 쳐짐을 방지하면서, 박막의 기판을 효율적으로 이송시키는 기판 이송 방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 상기 기판에 대한 물리적인 접촉을 최소화하면서, 상기 기판을 이송시키는 기판 이송 방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치는 기판의 양측 가장자리를 지지하고 상기 기판의 이송 방향을 따라 배치된 진공홀들을 갖는 이송 가이드, 상기 기판의 양측 가장자리에 접촉되도록 상기 이송 가이드에 구비되는 이송 벨트, 상기 이송 벨트에 놓여진 상기 기판이 상기 이송 방향을 따라 이동되도록, 상기 이송 벨트를 구동시키는 구동부재, 그리고 상기 진공홀들로 진공압을 제공하는 진공압 제공부재를 포함하되, 상기 이송 벨트는 상기 기판이 놓여지는 로딩부 및 상기 로딩부에 한정되어 형성되며, 상기 진공홀들에 상응하는 관통홀들을 가진다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 이송 가이드는 상기 이송 벨트의 양측이 지지되도록 상기 이송 벨트가 삽입되어 배치되는 트렌치를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 이송 가이드는 상기 기판의 일측 가장자리를 지지하는 제1 가이드 및 상기 기판의 타측 가장자리를 지지하며, 상기 제1 가이드에 평행하게 배치되는 제2 가이드를 포함하고, 상기 이송 벨트는 상기 제1 가이드에 배치되며, 상기 기판의 일측 가장자리에 접촉되는 제1 벨트 및 상기 제2 가이드에 배치되며, 상기 기판의 타측 가장자리에 접촉되는 제2 벨트를 포함하며, 상기 구동부재는 상기 제1 가이드의 전후에 각각 배치되며, 상기 제1 벨트에 의해 감겨지는 제1 롤러들 및 상기 제2 가이드의 전후에 각각 배치되며, 상기 제2 벨트의 의해 감겨진 제2 롤러들을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송 방법은 기판의 양측 가장자리를 지지하는 이송 가이드, 상기 이송 가이드에 구비되며 상기 기판의 양측 가장자리에 접촉되는 이송 벨트, 상기 이송 벨트를 구동시키는 구동부재, 그리고 상기 진공홀들로 진공압을 제공하는 진공압 제공부재를 구비하여 상기 기판을 이송하되, 상기 진공압 제공부재가 상기 진공홀들로 진공압을 제공하여, 상기 기판을 상기 이송 벨트에 진공흡착시키는 단계 및 상기 기판이 상기 이송벨트에 진공흡착된 상태를 유지하면서, 상기 구동부재가 상기 이송 벨트를 구동하여, 상기 기판을 이송하는 단계를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 이송 벨트는 상기 기판이 놓여지는 로딩부를 포함하되, 상기 기판을 이송하는 단계는 상기 기판이 이송되는 과정에서 상기 진공압이 상기 로딩부에 한정되어 가해지도록 하여, 상기 기판의 이송을 수행할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 이송 가이드는 상기 기판의 이송 방향을 따라 형성되며, 상기 진공압 제공부재에 의해 상기 진공압을 제공받는 진공홀들을 가지고, 상기 로딩부는 상기 기판이 놓여지는 영역에 한정되어 형성되며, 상기 진공홀들에 상응하는 관통홀들을 포함하되, 상기 기판이 상기 이송 벨트에 진공흡착된 상태를 유지하면서, 상기 기판을 이송하는 단계는 상기 이송 방향을 따라 이동되는 상기 이송 벨트의 상기 관통홀들이 상기 진공홀들에 차례로 일치되도록 할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치는 기판의 양측 가장자리의 최소한의 접촉만으로 상기 기판을 이송할 수 있도록 구성됨으로써, 상기 기판의 이송시 상기 기판의 물리적인 오염을 최소화할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치는 상기 기판의 양측 가장자리에 진공압을 제공하여, 상기 기판에 양측 방향으로 당기는 힘이 가해지도록 함으로써, 상기 기판을 편평한 상태로 이송시킬 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 방법은 상기 기판의 양측 가장자리를 최소한으로 접촉하여 지지하는 것으로, 상기 기판을 이송함으로써, 상기 기판의 이송시 상기 기판의 물리적인 오염을 최소화할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 방법은 상기 기판의 양측 가장자리에 진공압을 제공하여, 상기 기판에 양측 방향으로 당기는 힘이 가해지도록 함으로써, 상기 기판을 편평한 상태로 이송시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 I-I'선을 따라 절단한 모습을 보여주는 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단한 모습을 보여주는 단면도이다.
도 4 내지 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 기판 이송 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 사시도이다.
도 8은 도 1에 도시된 Ⅲ-Ⅲ'선을 따라 절단한 모습을 보여주는 단면도이다.
도 9는 도 1에 도시된 Ⅳ-Ⅳ'선을 따라 절단한 모습을 보여주는 단면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면들과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공될 수 있다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
본 명세서에서 사용된 용어들은 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprise)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법에 대해 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치를 보여주는 사시도이다. 그리고, 도 2는 도 1에 도시된 I-I'선을 따라 절단한 단면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 절단한 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 기판 이송 장치(100)는 이송 가이드(110), 이송 벨트(120), 구동 부재(130), 그리고 진공압 제공부재(140)를 포함할 수 있다.
상기 이송 가이드(110)는 기판(10)의 이송을 안내할 수 있다. 예컨대, 상기 이송 가이드(110)는 상기 기판(10)의 양측 가장자리를 지지하도록 구성될 수 있다. 일 예로서, 상기 이송 가이드(110)는 상기 기판(10)의 이송 방향(20)을 따라 길게 놓여지며, 서로 일정간격이 이격되어 평행하게 배치되는 제1 가이드(112) 및 제2 가이드(114)를 포함할 수 있다. 상기 제1 가이드(112)는 상기 기판(10)의 일측 가장자리를 지지하고, 상기 제2 가이드(114)는 상기 기판(10)의 타측 가장자리를 지지할 수 있다. 상기 제1 및 제2 가이드들(112, 114)에는 진공홀들(116)이 형성될 수 있다. 상기 진공홀들(116)은 상기 이송 방향(20)을 따라 일정한 간격이 이격되어 형성될 수 있다. 또는, 상기 진공홀들(116)은 선택적으로 일정하지 않은 간격으로 배치될 수도 있다.
상기 이송 벨트(120)는 상기 이송 가이드(110)에 구비되며, 상기 기판(10)과 직접 접촉하여 상기 기판(10)을 이송시킬 수 있다. 상기 이송 벨트(120)는 상기 제1 가이드(112)에 구비되는 제1 벨트(122) 및 상기 제2 가이드(114)에 구비되는 제2 벨트(124)를 포함할 수 있다. 상기 제1 벨트(122) 및 상기 제2 벨트(124)가 상기 이송 가이드(110)로부터 측방향으로 이탈되는 것을 방지하기 위해, 상기 이송 가이드(110)는 상기 제1 및 제2 벨트들(122, 124)이 삽입되어 배치되는 트렌치(118)를 가질 수 있다. 상기 트렌치(118)는 상기 이송 방향(20)을 따라 상기 제1 및 제2 가이드들(112, 114)에 형성될 수 있다. 상기 트렌치(118)는 상기 제1 및 제2 벨트들(122, 124)의 측면을 지지하여, 상기 기판(10)의 이송시, 상기 제1 및 제2 벨트들(122, 124)의 이탈을 방지할 수 있다.
한편, 상기 이송 벨트(120)는 상기 기판(10)이 안착되는 로딩부(121)를 가질 수 있다. 상기 로딩부(121)는 상기 기판(10)에 집적 접촉되어 지지하는 상기 이송 벨트(120)의 일 부분일 수 있다. 이에 따라, 상기 로딩부(121)는 상기 기판(10)의 전후 길이에 비해 같거나 작은 상기 이송 벨트(120)의 일 부분으로 제공될 수 있다. 여기서, 상기 로딩부(121)는 상기 기판(10)의 이송시, 상기 이송 가이드(110)의 상기 진공홀들(116)을 통한 진공압이 상기 기판(10)에 한정되어 가해지도록, 제공될 수 있다. 예컨대, 상기 로딩부(121)는 상기 진공홀들(116)에 상응하는 관통홀들(126)을 구비할 수 있다. 즉, 상기 관통홀들(126)은 상기 이송 벨트(120)를 상하로 관통하며, 상기 진공홀들(116)의 간격과 동일한 간격을 가지며, 그 형상 또한 상기 진공홀들(116)에 대체로 동일 또는 유사하게 구비될 수 있다. 이에 더하여, 상기 관통홀들(126)은 상기 기판(10)의 상기 전후 길이에 비해 작은 상기 이송 벨트(120)의 영역에 한정되어 배치될 수 있다.
상기 구동부(130)는 상기 제1 가이드(112)의 전후 끝단 부분 각각에 회전가능하게 구비된 제1 롤러들(132), 상기 제2 가이드(114)의 전후 끝단 부분 각각에 회전가능하게 구비된 제2 롤러들(134), 그리고 상기 제1 및 제2 롤러들(132, 134)을 구동시키는 구동 모터(미도시됨)를 포함할 수 있다. 상기 제1 벨트(122)는 상기 제1 롤러들(132)을 감싸도록 배치됨으로써, 상기 제1 롤러들(132)의 회전에 의해 구동될 수 있다. 동일한 방식으로, 상기 제2 벨트(124)는 상기 제2 롤러들(134)을 감싸도록 배치됨으로써, 상기 제2 롤러들(134)의 회전에 의해 구동될 수 있다.
상기 진공압 제공부재(140)는 상기 이송 가이드(110)에 진공압을 제공할 수 있다. 예컨대, 상기 진공압 제공부재(140)는 상기 이송 가이드(110)의 상기 진공홀들(116)에 연결되는 진공 라인(142) 및 상기 진공 라인(142)에 구비된 감압 부재(144)를 포함할 수 있다. 상기 감압 부재(144)로는 소정의 진공 펌프가 사용될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 기판(10)의 양측 가장자리를 지지하며, 상기 기판(10)의 이송 방향(20)을 따라 배치된 진공홀들(116)을 갖는 이송 가이드(110), 상기 기판(10)의 양측 가장자리에 접촉되도록 상기 이송 가이드(110)에 이동가능하게 구비되는 이송 벨트(120), 상기 이송 벨트(120)에 놓여진 상기 기판(10)이 상기 이송 방향(20)을 따라 이동되도록, 상기 이송 벨트(120)를 구동시키는 구동부재(130), 그리고 상기 진공홀들(116)로 진공압을 제공하는 진공압 제공부재(140)를 포함하되, 상기 이송 벨트(120)는 상기 기판(10)이 놓여지는 로딩부(121) 및 상기 로딩부(121)에 한정되어 형성되며, 상기 진공홀들(116)에 상응하는 관통홀들(126)을 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 기판 이송 장치(100)는 상기 기판(10)의 양측 가장자리의 최소한의 접촉만으로 상기 기판(10)을 이송하므로, 상기 기판(10)의 이송시 상기 기판(10)의 물리적인 오염을 최소화하는 구조를 가질 수 있다. 이에 더하여, 상기 기판 이송 장치(100)는 상기 진공압 제공부재(140)가 가동되면, 상기 로딩부(121)에 놓여진 상기 기판(10)이 상기 이송 방향(20)에 수직하는 양측 방향(30)으로 상기 기판(10)을 당기는 힘이 가해지도록 하여, 상기 기판(10)을 편평하게 유지시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 기판 이송 장치(100)는 상기 기판(10)이 편평한 상태가 유지되면서 상기 기판(10)을 이송시키는 구조를 가질 수 있다.
계속해서, 앞서 살펴본 기판 이송 장치(100)를 이용하여 기판을 이송하는 방법에 대해 상세히 설명한다. 여기서, 상술한 기판 이송 장치(100)에 대해 중복되는 내용들은 생략하거나 간소화할 수 있다.
도 4 내지 도 6은 앞서 살펴본 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 기판 이송 과정의 일 예를 설명하기 위한 도면들이다.
도 4를 참조하면, 기판(10)을 이송 벨트(120)에 로딩(loading)시킬 수 있다. 예컨대, 구동부(130)의 구동 모터는 제1 및 제2 롤러들(132, 134)을 구동하여, 제1 및 제2 벨트들(122, 124)을 회전시킴으로써, 상기 로딩부(121)를 상기 로딩 위치(a)에 위치시킬 수 있다. 상기 로딩 위치(a)는 상기 기판(10)이 로딩(loading)되는 상기 로딩부(121)의 위치일 수 있다. 상기 로딩부(121)가 상기 로딩 위치(a)에 위치되면, 상기 기판(10)을 상기 로딩부(121) 상에 위치시킬 수 있다.
진공압 제공부재(140)는 상기 기판(10)을 상기 로딩부(121)에 흡착고정시킬 수 있다. 예컨대, 감압 부재(144)가 가동되어, 상기 진공 라인(142)에 연결된 진공홀들(116)에 진공압이 가해질 수 있다. 이때, 상기 로딩부(121)에 형성된 관통홀들(126)은 상기 진공홀들(116)과 연통될 수 있으며, 이에 따라, 상기 관통홀들(126)에 상기 진공압이 가해져, 상기 기판(10)이 상기 로딩부(121)에 진공흡착될 수 있다.
한편, 상기 기판(10)은 두께가 매우 얇은 박막 형태의 기판일 수 있다. 예컨대, 상기 기판(10)은 다양한 종류의 인쇄회로기판(Printed Circuit Board:PCB) 또는 상기 인쇄회로기판의 제조를 위한 절연 시트(sheet)일 수 있다. 이와 같이, 상기 기판(10)이 매우 얇은 두께를 갖는 경우, 상기 로딩부(121)에 의해 상기 기판(10)의 양측 가장자리가 지지되었을 때, 상기 기판(10)의 중앙 부분이 아래로 쳐지는 현상이 발생될 수 있다. 그러나, 상기 관통홀들(126)을 통한 진공압에 의해 상기 기판(10)의 양측이 이송 가이드(110의 제1 및 제2 가이드들(112, 114)에 진공 흡착되어 지지됨으로써, 상기 기판(10)은 팽팽한 상태로, 상기 로딩부(121)에 지지될 수 있다. 이를 위해, 상기 진공압은 상기 기판(10)이 상기 이송 가이드(110) 상에서 편평한 상태로 상기 이송 벨트(120)에 흡착되어 지지될 수 있도록, 그 크기가 조절될 수 있다.
도 5를 참조하면, 기판(10)을 로딩 위치(a)로부터 언로딩 위치(b)로 이송시킬 수 있다. 상기 언로딩 위치(b)는 상기 기판(10)이 언로딩(unloading)되는 상기 로딩부(121)의 위치일 수 있다. 예컨대, 구동부재(130)는 구동 모터를 가동하여, 제1 및 제2 롤러들(132, 134)을 회전시킴으로써, 상기 로딩부(121)를 상기 로딩 위치(a)로부터 상기 언로딩 위치(b)로 이송시킬 수 있다. 상기 로딩부(121)가 이송 방향(X)을 따라 이동되면, 상기 로딩부(121)의 관통홀들(126)은 제1 및 제2 가이드들(112, 114)의 진공홀들(116)에 차례로 맞추어지면서 전진할 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 관통홀들(126) 중 전방에 배치된 관통홀은 상기 진공홀들(116)에 차례로 맞추어지면서, 상기 기판(10)으로 진공압이 제공되도록 할 수 있다. 또한, 상기 관통홀들(126) 중 후방에 배치된 관통홀들은 상기 전방에 배치된 관통홀들을 뒤따라 가면서, 상기 전방에 배치된 관통홀들에 연통되었던 상기 진공홀들(126)에 차례로 연통되면서, 상기 기판(10)으로 진공압이 제공되도록 할 수 있다. 이에 따라, 상기 진공압은 상기 기판(10)이 상기 로딩부(121)에 진공흡착되어 이동되는 과정에서, 상기 기판(10)에 대해서만 한정되어 가해질 수 있다.
상기 기판(10)이 언로딩 위치(b)에 위치되면, 진공압 제공부재(140)의 감압 부재(144)의 가동이 중단되어, 상기 기판(10)에 대한 상기 이송 벨트(120)의 진공 흡착이 해제될 수 있다. 그리고, 별도의 기판 이송 장치(미도시됨)에 의해, 상기 기판(10)은 로딩부(121)로부터 언로딩되어, 후속 공정이 수행되는 공정 장치로 이송될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 방법은 상기 기판(10)의 양측 가장자리를 지지하는 이송 가이드(110), 상기 이송 가이드(110)에 구비되며 상기 기판(10)의 양측 가장자리에 접촉되는 이송 벨트(120), 상기 이송 벨트(120)를 구동시키는 구동부재(130), 그리고 상기 진공홀들(116)로 진공압을 제공하는 진공압 제공부재(140)를 구비하여 상기 기판(10)을 이송하되, 상기 기판(10)이 상기 이송벨트(120)에 진공흡착된 상태를 유지하면서 이송되도록 할 수 있다. 이에 따라, 상기 기판 이송 방법은 상기 기판(10)의 양측 가장자리의 최소한의 접촉만으로 상기 기판(10)을 이송할 수 있으므로, 상기 기판(10)의 물리적인 오염을 최소화하면서 상기 기판(10)의 이송을 수행할 수 있다. 또한, 상기 기판 이송 방법은 상기 기판(10)의 양측 가장자리에 진공압을 제공하여, 상기 기판(10)이 양측 방향으로 당기는 힘이 가해지도록 하여, 상기 기판(10)이 편평한 상태가 유지되면서 이송시킬 수 있다.
이하, 본 발명의 변형예에 따른 기판 이송 장치에 대해 상세히 설명한다. 여기서, 앞서 살펴본 기판 이송 장치(100)에 대해 중복되는 내용은 생략하거나 간소화할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 사시도이고, 도 8은 도 1에 도시된 Ⅲ-Ⅲ'선을 따라 절단한 모습을 보여주는 단면도이다. 그리고, 도 9는 도 1에 도시된 Ⅳ-Ⅳ'선을 따라 절단한 모습을 보여주는 단면도이다.
도 7 내지 도 9를 참조하면, 기판 이송 장치(100a)는 이송 가이드(110a), 이송 벨트(120), 구동 부재(130), 그리고 진공압 제공부재(140)를 포함할 수 있다. 상기 이송 벨트(120), 상기 구동 부재(130) 및 상기 진공압 제공부재(140)는 앞서 도 1 내지 도 3을 참조하여 살펴본 기판 이송 장치(100)의 구성들(120, 130, 140)과 동일하며, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
상기 이송 가이드(110a)는 상기 기판(10)의 이송 방향(20)을 따라 길게 놓여지며, 서로 일정간격이 이격되어 평행하게 배치되는 제1 가이드(112a) 및 제2 가이드(114a)를 포함할 수 있다. 상기 제1 가이드(112a)는 상기 기판(10)의 일측 가장자리를 지지하고, 상기 제2 가이드(114a)는 상기 기판(10)의 타측 가장자리를 지지할 수 있다. 상기 제1 및 제2 가이드들(112a, 114a)에는 진공홀들(116)이 형성될 수 있다. 상기 진공홀들(116)은 상기 이송 방향(20)을 따라 일정한 간격이 이격되어 형성될 수 있다. 또는, 상기 진공홀들(116)은 선택적으로 일정하지 않은 간격으로 배치될 수도 있다.
한편, 상기 이송 가이드(110a)는 상기 진공홀들(116)을 연결하는 진공 슬롯(118)을 더 가질 수 있다. 예컨대, 상기 제1 및 제2 가이드들(112a, 114a) 각각에는 상기 진공홀들(116)을 연결하며, 상기 이송 방향(20)을 따라 길게 배치되는 진공 슬롯(118)을 포함할 수 있다. 상기 진공 슬롯(118)은 상기 이송 벨트(120)의 로딩부(121)에 형성된 관통홀들(126)과 대응되는 영역에 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 기판(10)의 이송시, 상기 관통홀들(126)은 상기 진공 슬롯(118)이 형성된 영역에 대응되어 이동되어, 상기 진공 슬롯(118)의 진공압이 상기 기판(10)에 가해지도록 할 수 있다.
상기와 같은 구조의 기판 이송 장치(100a)는 상기 구동 부재(130)의 제1 및 제2 롤러들(122, 124)의 회전에 의해, 상기 이송 벨트(120)에 놓여진 상기 기판(10)을 이송할 때, 상기 진공압 제공부재(140)가 상기 진공홀들(116)로 제공하는 진공압이 상기 진공 슬롯(118)에 가해질 수 있다. 상기 진공 슬롯(118)에 가해진 상기 진공압은 상기 이송 벨트(120)의 상기 관통홀들(126)에 가해져, 상기 기판(10)을 상기 이송 벨트(120)에 진공 흡착시킬 수 있다. 여기서, 상기 진공 슬롯(118)은 상기 관통홀들(126)에 지속적으로 진공압이 가해지도록 할 수 있다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)의 경우, 상기 기판(10)의 이송시, 상기 진공홀들(116)과 상기 관통홀들(126)이 차례로 일치되도록 함으로써, 상기 기판(10)을 상기 이송 벨트(120)에 진공 흡착시킬 수 있다. 그러나, 이 경우 상기 진공홀들(116)과 상기 관통홀들(126)이 서로 일치하지 않는 순간이 있을 수 있다. 이에 반해, 상기 기판 이송 장치(100a)는 상기 기판(10)의 이송시, 상기 진공 슬롯(118)에 의해 상기 관통홀들(126)에 상기 진공압이 가해지도록 할 수 있으므로, 상기 기판(10)의 진공 흡착 효율을 안정적으로 할 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 단계으로 해석되어야 한다.
a : 로딩 위치
b : 언로딩 위치
10 : 기판
100 : 기판 이송 장치
110 : 이송 가이드
112 : 제1 가이드
114 : 제2 가이드
116 : 진공홀들
120 : 이송 벨트
121 : 로딩부
122 : 제1 벨트
124 : 제2 벨트
126 : 관통홀들
130 : 구동부재
140 : 진공압 제공부재
142 : 진공 라인
144 : 감압 부재

Claims (7)

  1. 기판의 양측 가장자리를 지지하고, 상기 기판의 이송 방향을 따라 배치된 진공홀들을 갖는 이송 가이드;
    상기 기판의 양측 가장자리에 접촉되도록, 상기 이송 가이드에 구비되는 이송 벨트;
    상기 이송 벨트에 놓여진 상기 기판이 상기 이송 방향을 따라 이동되도록, 상기 이송 벨트를 구동시키는 구동부재; 및
    상기 진공홀들로 진공압을 제공하는 진공압 제공부재를 포함하되,
    상기 이송 벨트는:
    상기 기판이 놓여지는 로딩부; 및
    상기 로딩부에 한정되어 형성되며, 상기 진공홀들에 상응하는 관통홀들을 갖는 기판 이송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 이송 가이드는 상기 이송 벨트의 양측이 지지되도록 상기 이송 벨트가 삽입되어 배치되는 트렌치를 포함하는 기판 이송 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 이송 가이드는 상기 진공홀들을 상기 기판의 이송 방향을 따라 연결하고, 상기 관통홀들에 대응하도록 형성된 진공 슬롯을 포함하는 기판 이송 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이송 가이드는:
    상기 기판의 일측 가장자리를 지지하는 제1 가이드; 및
    상기 기판의 타측 가장자리를 지지하며, 상기 제1 가이드에 평행하게 배치되는 제2 가이드를 포함하고,
    상기 이송 벨트는:
    상기 제1 가이드에 배치되며, 상기 기판의 일측 가장자리에 접촉되는 제1 벨트; 및
    상기 제2 가이드에 배치되며, 상기 기판의 타측 가장자리에 접촉되는 제2 벨트를 포함하며,
    상기 구동부재는:
    상기 제1 가이드의 전후에 각각 배치되며, 상기 제1 벨트에 의해 감겨지는 제1 롤러들; 및
    상기 제2 가이드의 전후에 각각 배치되며, 상기 제2 벨트의 의해 감겨진 제2 롤러들을 포함하는 기판 이송 장치.
  5. 기판의 양측 가장자리를 지지하는 이송 가이드, 상기 이송 가이드에 구비되며 상기 기판의 양측 가장자리에 접촉되는 이송 벨트, 상기 이송 벨트를 구동시키는 구동부재, 그리고 상기 진공홀들로 진공압을 제공하는 진공압 제공부재를 구비하여 상기 기판을 이송하되,
    상기 진공압 제공부재가 상기 진공홀들로 진공압을 제공하여, 상기 기판을 상기 이송 벨트에 진공흡착시키는 단계; 및
    상기 기판이 상기 이송벨트에 진공흡착된 상태를 유지하면서, 상기 구동부재가 상기 이송 벨트를 구동하여, 상기 기판을 이송하는 단계를 포함하는 기판 이송 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 이송 벨트는 상기 기판이 놓여지는 로딩부를 포함하되,
    상기 기판을 이송하는 단계는 상기 기판이 이송되는 과정에서 상기 진공압이 상기 로딩부에 한정되어 가해지도록 하여, 상기 기판의 이송을 수행하는 기판 이송 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 이송 가이드는 상기 기판의 이송 방향을 따라 형성되며, 상기 진공압 제공부재에 의해 상기 진공압을 제공받는 진공홀들을 가지고,
    상기 로딩부는 상기 기판이 놓여지는 영역에 한정되어 형성되며, 상기 진공홀들에 상응하는 관통홀들을 포함하되,
    상기 기판이 상기 이송 벨트에 진공흡착된 상태를 유지하면서, 상기 기판을 이송하는 단계는 상기 이송 방향을 따라 이동되는 상기 이송 벨트의 상기 관통홀들이 상기 진공홀들에 차례로 일치되도록 하는 기판 이송 방법.
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