KR101525917B1 - 기판 오븐 장치 - Google Patents

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KR101525917B1 KR1020150021548A KR20150021548A KR101525917B1 KR 101525917 B1 KR101525917 B1 KR 101525917B1 KR 1020150021548 A KR1020150021548 A KR 1020150021548A KR 20150021548 A KR20150021548 A KR 20150021548A KR 101525917 B1 KR101525917 B1 KR 101525917B1
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Abstract

본 발명에 의한 기판 오븐 장치는, 오븐 챔버; 상기 오븐 챔버의 내부를 관통하도록 나란하게 설치되는 한 쌍의 이송레일; 상기 이송레일과 나란하도록 상기 한 쌍의 이송레일 사이에 설치되며, 상기 이송레일의 길이방향으로 일렬로 이격 배열되는 다수 개의 진공홀이 측면에 마련되는 진공레일; 내부공간과 연통된 흡착공이 상면에 형성되는 안착판과, 상기 안착판의 좌우측에 결합되어 상기 이송레일을 타고 구르는 구름롤러와, 상기 안착판의 저면으로부터 하향으로 연장되며 상기 안착판과 내부공간이 연통되는 체결브라켓과, 상기 체결브라켓과 내부공간이 연통되도록 상기 체결브라켓에 장착되되 일측면이 상기 진공레일의 측면 중 진공홀이 형성된 부위에 접촉되며 상기 진공홀 배열영역과 대응되는 지점에 배출구가 형성되어 상기 안착판과 상기 진공레일의 내부공간을 연통시키는 슬라이드블록을 구비하는 진공척;을 포함하여 구성된다.

Description

기판 오븐 장치 {Substrate oven device}
본 발명은 반도체 기판을 이송시키면서 가열하기 위한 오븐 장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 진공압을 이용하여 기판을 안착판에 고정시킬 수 있고, 상기 안착판이 진공압이 형성된 상태를 유지하면서 일방향으로 이송될 수 있는 기판 오븐 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 공정은 일반적으로 기판에 패턴을 형성시키거나 박막을 형성시키는 공정을 포함한다. 이와 같은 패턴 또는 박막 형성은 액상의 도료를 인쇄하거나 코팅하는 공정에 의해 이루어지며, 이러한 공정 후에는 패턴 또는 박막을 건조시키거나 솔더링을 하는 공정이 이루어지는데, 이와 같은 경우 기판을 가열하는 공정이 필수적으로 요구된다.
이러한 건조 및 가열 공정은 전체 공정 시간의 단축을 위해 인쇄된 기판들을 컨베이어 등의 이송 장치를 이용하여 오븐 내에 순차적으로 투입하도록 이루어질 수 있다. 그러나 상기 언급한 바와 같이 기판이 컨베이어 상에 안착된 상태에서 이송되는 경우, 기판과 컨베이어 간의 슬립이 발생될 수 있을 뿐만 아니라, 기판의 이송거리를 정확하게 제어하기 어렵다는 문제점이 있다. 특히, 오븐 내로 투입되는 기판이나 박판이 가열되는 경우, 뒤틀림 및 변형이 발생되어 위치 이동이 발생될 수 있다. 이와 같이 이송 과정에서 기판이 흔들리거나, 뒤틀림, 변형이 발생될 경우 상기 기판이 손상되거나 정상적인 건조 및 가열이 이루어지지 아니할 수 있다.
따라서 상기 기판은 안착판 상에 안착된 상태로 이송됨이 바람직하다. 이때, 클램프 등과 같은 별도의 고정유닛을 이용하여 기판을 안착판에 고정시키면 상기 기판에 클램프 자국이 생기는 등의 손상 우려가 있고, 접착테이프를 이용하여 기판을 안착판에 고정시키면 접착테이프를 붙이고 떼는 작업에 많은 시간이 소요되므로 생산성이 저하된다는 문제점이 있다. 따라서 안착판에 흡착공을 형성시켜 진공압으로 기판을 안착판에 고정시키는 방법이 제안된 바 있는데, 상기 흡착공에 진공압을 형성시키기 위해서는 안착판에 별도의 진공호스를 연결시켜야 하므로 내부 구조가 복잡해지고 안착판 이송 시 상기 진공호스가 간섭될 수 있다는 문제점이 있다.
KR 10-1209772 B1
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 기판의 이송거리를 정확하게 제어할 수 있고, 기판에 진동이 인가되더가 비틀림이 발생되더라도 진공압을 이용하여 기판을 안착판에 고정시킬 수 있으며, 다른 부품과의 간섭 우려 없이 기판을 안정적으로 이송시킬 수 있는 기판 오븐 장치를 제공하는데 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 기판 오븐 장치는, 오븐 챔버; 상기 오븐 챔버의 내부를 관통하도록 나란하게 설치되는 한 쌍의 이송레일; 상기 이송레일과 나란하도록 상기 한 쌍의 이송레일 사이에 설치되며, 상기 이송레일의 길이방향으로 일렬로 이격 배열되는 다수 개의 진공홀이 측면에 마련되는 진공레일; 내부공간과 연통된 흡착공이 상면에 형성되는 안착판과, 상기 안착판의 좌우측에 결합되어 상기 이송레일을 타고 구르는 구름롤러와, 상기 안착판의 저면으로부터 하향으로 연장되며 상기 안착판과 내부공간이 연통되는 체결브라켓과, 상기 체결브라켓과 내부공간이 연통되도록 상기 체결브라켓에 장착되되 일측면이 상기 진공레일의 측면 중 진공홀이 형성된 부위에 접촉되며 상기 진공홀 배열영역과 대응되는 지점에 배출구가 형성되어 상기 안착판과 상기 진공레일의 내부공간을 연통시키는 슬라이드블록을 구비하는 진공척;을 포함하여 구성된다.
일측이 상기 진공레일의 측면 중 상기 진공홀이 마련된 지점의 상부에 회전 가능한 구조로 결합되어, 별도의 외력이 인가되지 아니하는 한 상기 진공홀을 덮는 회전덮개를 더 포함하고,
상기 슬라이드블록은 상기 진공홀의 배열방향을 따라 이송될 때 선단이 상기 회전덮개를 밀어 올려 회전시킴으로써, 상기 진공홀과 배출구를 연통시킨다.
상기 진공홀은 상기 진공레일 좌우 측면에 각각 형성되고, 상기 체결브라켓 및 슬라이드블록은 상기 진공레일의 좌우 측면과 대응되는 지점에 각각 구비되며,
상기 안착판의 저면 중 상기 진공레일의 상면과 대응되는 지점에는, 상기 진공레일의 상면을 타고 구르는 센터롤러가 추가로 구비된다.
상기 슬라이드블록과 상기 체결브라켓은 상기 진공레일의 폭방향으로 이격되고,
상기 진공척은, 상기 슬라이드블록 중 상기 체결브라켓을 향하는 면에 밀착되는 이동브라켓과, 일단이 슬라이딩 가능한 구조로 상기 체결브라켓의 내부에 삽입되고 타단이 상기 슬라이드블록의 내부와 연통되도록 상기 이동브라켓을 관통하여 장착되는 연결관과, 상기 이동브라켓과 상기 체결브라켓 사이에 압입되는 탄성체를 더 포함하여,
상기 슬라이드블록 및 이동브라켓은 상기 연결관의 길이방향으로 이동 가능하도록 구성된다.
상기 상기 안착판은 상기 구름롤러가 결합되는 사이드프레임(320)을 더 포함하되, 상기 사이드프레임은 상기 안착판(310)의 좌우 측단에 결합되어 상기 다수 개의 구름롤러(322)가 회전 가능한 구조로 결합되며 하향으로 돌출되는 걸림부(324)를 구비하고, 상기 이송레일(200)의 길이방향으로 연장되어 다수 개의 구동스프라켓에 의해 이송되는 이송체인(220)과, 상기 이송체인(220)의 일부에 고정 결합되되 상기 걸림부(324)에 걸리도록 상향으로 연장되어 상기 사이드프레임(320)을 상기 이송체인(220) 이송방향으로 견인하는 견인블록(230)을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 슬라이드블록의 선단측에는 하향 경사진 경사부가 형성된다.
본 발명에 의한 기판 오븐 장치를 이용하면, 기판의 이송거리를 정확하게 제어할 수 있어 기판의 가열도가 균일해지고, 기판에 진동이 인가되더가 비틀림이 발생되더라도 진공압을 이용하여 기판을 안착판에 고정시킬 수 있으므로 기판 및 안착판의 손상을 방지할 수 있으며, 진공압 형성을 위해 각각의 안착판마다 진공호스를 설치할 필요가 없으므로 다른 부품과의 간섭 우려 없이 기판을 안정적으로 이송시킬 수 있다는 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 의한 기판 오븐 장치의 측면도이다.
도 2는 안착판 장착 구조를 도시하는 부분사시도이다.
도 3은 이송레일과 진공레일과 이송체인의 구조를 도시하는 부분사시도이다.
도 4는 이송체인과 사이드프레임의 연결 구조를 도시하는 측면도이다.
도 5 및 도 6은 진공척의 정면도 및 저면도이다.
도 7은 슬라이드블록의 측면도이다.
도 8 및 도 9는 진공레일의 회전덮개가 회전되는 구조를 도시하는 측면도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 기판 오븐 장치의 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 의한 기판 오븐 장치의 측면도이고, 도 2는 안착판 장착 구조를 도시하는 부분사시도이며, 도 3은 이송레일과 진공레일과 이송체인의 구조를 도시하는 부분사시도이고, 도 4는 이송체인과 사이드프레임의 연결 구조를 도시하는 측면도이다. 또한, 도 5 및 도 6은 진공척의 정면도 및 저면도이고, 도 7은 슬라이드블록의 측면도이다.
본 발명에 의한 기판 오븐 장치는 내부에 발열수단을 갖는 오븐 챔버(100) 내측으로 다수 개의 기판이 연이어 통과하도록 함으로써 상기 다수 개의 기판을 연속적으로 가열하기 위한 가열장치의 일종으로서, 기판이 통과할 수 있도록 내부공간을 갖는 오븐 챔버(100)와, 상기 오븐 챔버(100)의 내부를 관통하도록 나란하게 설치되는 한 쌍의 이송레일(200)과, 상기 이송레일(200)과 나란하도록 상기 한 쌍의 이송레일(200) 사이에 설치되며 상기 이송레일(200)의 길이방향으로 일렬로 이격 배열되는 다수 개의 진공홀(402)이 측면에 마련되는 진공레일(400)과, 상기 한 쌍의 이송레일(200)을 타고 이송되되 상기 진공레일(400)의 진공홀(402)과 연통된 상태를 지속적으로 유지함으로써 상면에 안착된 기판을 진공압으로 고정시키는 진공척(300)을 포함하여 구성된다. 또한, 오븐 챔버(100) 내부의 질소를 여과한 후 오븐 챔버(100)로 재공급하는 여과기(40)와, 질소를 저장하는 질소탱크(미도시)가 구비될 수도 있다.
상기 진공척(300)은, 상면에 기판이 안착될 수 있도록 상면이 평평한 플레이트 형상으로 형성되되 내부공간과 연통된 흡착공(312)이 상면에 형성되는 안착판(310)과, 상기 안착판(310)의 좌우측에 결합되어 상기 이송레일(200)의 측면으로부터 돌출된 구름판(210)을 타고 구르는 구름롤러(322)와, 상기 안착판(310)의 저면으로부터 하향으로 연장되며 상기 안착판(310)과 내부공간이 연통되는 체결브라켓(330)과, 상기 체결브라켓(330)과 내부공간이 연통되도록 상기 체결브라켓(330)에 장착되되 일측면이 상기 진공레일(400)의 측면 중 진공홀(402)이 형성된 부위에 접촉되며 상기 진공홀(402) 배열영역과 대응되는 지점에 배출구(342)가 형성되는 슬라이드블록(340)을 포함하여 구성된다.
상기와 같이 진공레일(400)의 내부공간은 상기 안착판(310)의 내부공간과 연통되면, 상기 진공레일(400)의 내부공간에 진공압이 형성될 때 안착판(310)의 흡착공(312)으로 공기가 흡입되고, 안착판(310) 상에 안착된 기판은 흡착공(312)의 공기 흡입력에 의해 안착판(310) 상면에 고정된 상태를 유지하게 된다. 또한, 진공레일(400)의 내부공간에 형성되었던 진공압이 해제되면 안착판(310)의 흡착공(312)으로는 더 이상 공기가 흡입되지 아니하므로, 안착판(310) 상에 안착된 기판은 안착판(310)으로부터 쉽게 탈거될 수 있다. 상기 언급한 바와 같이 안착판(310)에 안착된 기판이 진공압에 의해 고정되도록 구성되면, 별도의 고정클립이나 접착테이프를 사용하지 아니하더라도 기판의 고정 및 고정해제가 가능해지므로, 기판 및 안착판(310)의 손상을 방지할 수 있다는 장점이 있다. 이와 같이 진공압을 이용하여 기판을 안착판(310)에 고정시키는 기술적 사상은 반도체 제조장치에서 이미 널리 상용화되어 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
이때, 종래의 반도체 제조장치는 안착판(310) 내부에 진공압을 형성하기 위해 다수 개의 진공호스가 안착판(310)에 결합되는 구조로 제작되는데, 본 발명에 의한 기판 오븐 장치와 같이 안착판(310)의 개수가 많은 경우에는 진공호스의 개수 여기 많아지므로 내부 구조가 복잡해진다는 문제점이 있다. 특히, 일렬로 이송되는 다수 개의 안착판(310)에 모두 진공호스를 결합시키면, 다수 개의 안착판(310)이 이송하는 동안 상기 진공호스가 다른 구성요소에 걸려 엉키거나, 진공호스가 손상되는 경우가 발생될 수 있다는 단점이 있다. 물론, 안착판(310)의 하측 공간을 매우 넓게 확보하면 진공호스가 다른 구성요소에 걸려 엉키는 현상을 줄일 수 있지만, 이와 같은 경우 기판 오븐 장치의 크기가 매우 커지므로 장비 설치공간 확보에 어려움이 있다는 문제점이 있다.
이에 비해 본 발명에 의한 기판 오븐 장치는 진공척(300)이 이송레일(200)을 타고 이송될 때, 안착판(310)의 내부공간과 연통된 슬라이드블록(340)이 진공홀(402)을 덮고 있는 상태를 유지하면서 진공레일(400) 측면을 타고 슬라이딩되는바, 상기 안착판(310)은 상면에 안착된 기판을 항상 흡착하고 있는 상태를 유지할 수 있게 된다. 즉, 본 발명에 포함되는 진공척(300)은 안착판(310)에 별도의 진공호스를 설치하지 아니하더라도 기판이 안착판(310)에 흡착된 상태를 유지하면서 이송레일(200)을 따라 진공챔버를 지날 수 있으므로, 진공호스로 인해 발생되는 문제점을 근본적으로 해결할 수 있다는 장점이 있다.
한편, 진공척(300)의 이송속도 및 이송거리가 정확하게 제어될 수 있도록, 상기 진공척(300)을 견인하는 이송체인(220) 및 견인블록(230)이 추가로 구비될 수 있다. 즉, 본 발명에 의한 기판 오븐 장치는, 상기 안착판(310)의 좌우 측단에 결합되며 하향으로 돌출되는 걸림부(324)를 구비하는 사이드프레임(320)과, 상기 이송레일(200)의 길이방향으로 연장되어 다수 개의 구동스프라켓에 의해 이송되는 이송체인(220)과, 상기 이송체인(220)의 일부에 고정 결합되되 상기 걸림부(324)에 걸리도록 상향으로 연장되어 상기 사이드프레임(320)을 상기 이송체인(220) 이송방향으로 견인하는 견인블록(230)을 더 포함할 수 있다.
이와 같이 견인블록(230)이 사이드프레임(320)의 걸림부(324)에 걸리도록 구성되면, 스프로킷 회전에 따라 이송체인(220)이 이송될 때 상기 사이드프레임(320)이 이송체인(220)과 일체로 이송되는바, 스프로킷의 회전속도를 조절함으로써 진공척(300)의 이송속도 및 이송거리를 정확하게 제어할 수 있게 된다.
한편, 구름롤러(322)는 안착판(310)의 좌우측단에 직접 결합될 수도 있으나, 이와 같이 구름롤러(322)가 안착판(310)의 좌우측단에 결합되기 해서는 안착판(310)이 두꺼워져야 하는 문제가 있으므로, 상기 구름롤러(322)는 본 실시예에 도시된 바와 같이 사이드프레임(320)에 회전 가능한 구조로 결합됨이 바람직하다. 특히, 사이드프레임(320) 중 구름롤러(322)의 회전축이 결합되는 부위는 일정 두께 이상으로 두껍게 제작되어야 하는바, 상기 구름롤러(322)의 회전축은 걸림부(324)가 형성된 지점에 결합됨이 바람직하다. 즉, 상기 안착판은 상기 구름롤러가 결합되는 사이드프레임(320)을 더 포함하되, 상기 사이드프레임은 상기 안착판(310)의 좌우 측단에 결합되어 상기 다수 개의 구름롤러(322)가 회전 가능한 구조로 결합되며 하향으로 돌출되는 걸림부(324)를 구비하고, 상기 이송레일(200)의 길이방향으로 연장되어 다수 개의 구동스프라켓에 의해 이송되는 이송체인(220)과, 상기 이송체인(220)의 일부에 고정 결합되되 상기 걸림부(324)에 걸리도록 상향으로 연장되어 상기 사이드프레임(320)을 상기 이송체인(220) 이송방향으로 견인하는 견인블록(230)을 더 포함한다.
진공레일(400) 내부에서 발생되는 진공압을 안착판(310)의 흡착공(312)으로 전달하기 위한 슬라이드블록(340) 및 체결브라켓(330)이 진공레일(400)의 어느 일측에만 구비되면, 안착판(310) 상면에 형성된 흡착공(312) 중 슬라이드블록(340) 및 체결브라켓(330)이 구비된 측의 흡착공(312)에만 높은 진공압이 형성될 수 있다. 따라서 상기 진공홀(402)은 상기 진공레일(400) 좌우 측면에 각각 형성되고, 상기 체결브라켓(330) 및 슬라이드블록(340)은 상기 진공레일(400)의 좌우 측면과 대응되는 지점에 각각 구비됨이 바람직하다.
또한, 안착판(310)의 규격이 커지면 안착판(310)의 가운데 부위가 아래로 처질 수 있다. 이와 같이 안착판(310)의 가운데 부위가 아래로 처지면 안착판(310) 상면에 안착된 기판과 안착판(310) 간의 밀착성이 떨어져 상기 기판이 안착판(310)에 안정적으로 고정되지 못할 수 있다는 문제점이 있다. 따라서 본 발명에 의한 기판 오븐 장치는 상기와 같은 문제점을 해결할 수 있도록, 안착판(310)의 저면 중 진공레일(400)의 상면과 대응되는 지점에 상기 진공레일(400)의 상면을 타고 구르는 센터롤러(326)가 추가됨이 바람직하다.
한편, 이송레일(200)을 타고 구르는 구름롤러(322)는 이송레일(200)의 길이방향을 따라서만 직선으로 굴러야 하지만, 실제 작업 현장에서는 구름롤러(322)가 폭방향으로 약간씩 움직이게 된다. 이때 상기 슬라이드블록(340)이 안착판(310)에 고정 결합되면, 진공척(300)이 좌우로 약간씩 움직임에 따라 슬라이드블록(340)이 진공레일(400) 측면으로부터 이격되므로, 진공레일(400) 내부의 진공압이 안착판(310)으로 전달되지 못하는 문제가 발생된다.
물론, 한 쌍의 슬라이드블록(340)이 진공레일(400)의 좌우 양측면에 밀착되도록 위치가 정확하게 제작되면 상기와 같은 문제가 해결될 수 있지만, 슬라이드블록(340)의 장착 위치에 약간의 오차가 발생되더라도 진공레일(400)이 한 쌍의 슬라이드블록(340) 사이로 삽입되지 못하거나, 한 쌍의 슬라이드블록(340) 중 적어도 어느 하나는 진공레일(400)의 측면에 밀착되지 못하는 경우가 발생될 수 있다.
따라서 본 발명에 의한 기판 오븐 장치는, 슬라이드블록(340)이 폭방향으로 탄성적으로 움직일 수 있도록 결합되어, 한 쌍의 슬라이드블록(340)이 항상 진공레일(400)의 좌우 양측면에 밀착될 수 있도록 구성됨이 바람직하다. 즉, 상기 슬라이드블록(340)과 상기 체결브라켓(330)은 상기 진공레일(400)의 폭방향으로 이격되며, 슬라이드블록(340) 중 상기 체결브라켓(330)을 향하는 면에 밀착되는 이동브라켓(350)과, 일단(도 5에서는 우측단)이 슬라이딩 가능한 구조로 상기 체결브라켓(330)의 내부에 삽입되고 타단(도 5에서는 좌측단)이 상기 슬라이드블록(340)의 내부와 연통되도록 상기 이동브라켓(350)을 관통하여 장착되는 연결관(352)과, 상기 이동브라켓(350)과 상기 체결브라켓(330) 사이에 압입되는 탄성체(360)를 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 연결관(352)은, 체결브라켓(330) 내부로 인입된 일단의 외경이 다른 부위보다 크게 제작되어, 좌우방향으로 슬라이딩될 수는 있지만 체결브라켓(330)으로부터 분리되지는 아니하게 된다.
이와 같이 이동브라켓(350) 및 연결관(352)에 의해 체결브라켓(330)에 연결된 슬라이드블록(340)은, 좌우방향으로 움직일 수 있으면서 진공레일(400)의 측면에 밀착되는 방향으로 탄성체(360)의 탄성력을 받게 되므로, 진공척(300)이 폭방향으로 약간 흔들리더라도 항상 진공레일(400)의 측면에 밀착된 상태를 유지할 수 있고, 이에 따라 진공레일(400) 내부의 진공압이 항상 안착판(310)으로 전달될 수 있다는 장점이 있다.
도 8 및 도 9는 진공레일(400)의 회전덮개(410)가 회전되는 구조를 도시하는 측면도이다.
진공레일(400)의 측면에 형성된 진공홀(402)이 항상 개방되어 있으면, 진공레일(400) 내부에 진공압을 형성시킬 때 개방된 진공홀(402)을 통해 진공레일(400) 내부로 공기가 유입되므로 안착판(310)의 흡착공(312)에는 기판을 고정시킬 수 있을 만큼의 진공압이 발생되기 어렵다는 문제점이 있다. 물론, 진공레일(400) 내부의 진공압을 매우 크게 형성시키면, 개방된 진공홀(402)을 통해 진공레일(400) 내부로 어느 정도의 공기가 유입되더라도 안착판(310)의 흡착공(312)에 기준치 이상의 진공압이 발생될 수 있으나, 이와 같은 경우 진공압 형성을 위해 과다한 전력이 소모된다는 문제가 발생된다.
따라서 상기 진공레일(400)은, 슬라이드블록(340)이 접촉된 지점의 진공홀(402)만이 개방되고 나머지 진공홀(402)은 폐쇄된 상태를 유지하도록 구성됨이 바람직하다. 즉, 상기 진공레일(400)은, 일측(본 실시예에서는 상측)이 상기 진공레일(400)의 측면 중 상기 진공홀(402)이 마련된 지점의 상부에 회전 가능한 구조로 결합되어, 별도의 외력이 인가되지 아니하는 한 상기 진공홀(402)을 덮는 회전덮개(410)를 추가로 구비함이 바람직하다.
상기 회전덮개(410)는 별도의 외력이 인가되지 아니하는 한 자중에 의해 타측이 아래를 향하도록 배열되어 진공홀(402)을 폐쇄시킨 상태를 유지하게 된다. 그러나 도 9에 도시된 바와 같이 슬라이드블록이 진공홀(402)의 배열방향을 따라 슬라이딩될 때 상기 슬라이드블록의 선단은 회전덮개(410)를 밀어 올려 회전시키므로, 슬라이드블록(340)이 접촉된 지점의 진공홀(402)은 개방되고, 이에 따라 진공레일(400)의 진공압이 안착판(310)으로 전달될 수 있게 된다. 또한, 슬라이드블록(340)이 지난 지점의 회전덮개(410)는 자중에 의해 원상태로 복귀되어 해당 진공홀(402)을 폐쇄시키게 된다.
한편, 슬라이드블록(340)의 선단에 의해 밀려 회전되는 회전덮개(410)가 용이하게 슬라이드블록(340)의 상면에 올라탈 수 있도록, 슬라이드블록(340)의 선단측에는 하향 경사진 경사부(344)가 형성됨이 바람직하다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.
100 : 오븐 챔버 200 : 이송레일
210 : 구름판 220 : 이송체인
230 : 견인블록 300 : 진공척
310 : 안착판 312 : 흡착공
320 : 사이드프레임 322 : 구름롤러
324 : 걸림부 326 : 센터롤러
330 : 체결브라켓 340 : 슬라이드블록
342 : 배출구 350 : 이동브라켓
352 : 연결관 360 : 탄성체
400 : 진공레일 402 : 진공홀
410 : 회전덮개

Claims (8)

  1. 오븐 챔버(100);
    상기 오븐 챔버(100)의 내부를 관통하도록 나란하게 설치되는 한 쌍의 이송레일(200);
    상기 이송레일(200)과 나란하도록 상기 한 쌍의 이송레일(200) 사이에 설치되며, 상기 이송레일(200)의 길이방향으로 일렬로 이격 배열되는 다수 개의 진공홀(402)이 측면에 마련되는 진공레일(400);
    내부공간과 연통된 흡착공(312)이 상면에 형성되는 안착판(310)과, 상기 안착판(310)의 좌우측에 결합되어 상기 이송레일(200)을 타고 구르는 구름롤러(322)와, 상기 안착판(310)의 저면으로부터 하향으로 연장되며 상기 안착판(310)과 내부공간이 연통되는 체결브라켓(330)과, 상기 체결브라켓(330)과 내부공간이 연통되도록 상기 체결브라켓(330)에 장착되되 일측면이 상기 진공레일(400)의 측면 중 진공홀(402)이 형성된 부위에 접촉되며 상기 진공홀(402) 배열영역과 대응되는 지점에 배출구(342)가 형성되어 상기 안착판(310)과 상기 진공레일(400)의 내부공간을 연통시키는 슬라이드블록(340)을 구비하는 진공척(300);
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 오븐 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    일측이 상기 진공레일(400)의 측면 중 상기 진공홀(402)이 마련된 지점의 상부에 회전 가능한 구조로 결합되어, 별도의 외력이 인가되지 아니하는 한 상기 진공홀(402)을 덮는 회전덮개(410)를 더 포함하고,
    상기 슬라이드블록(340)은 상기 진공홀(402)의 배열방향을 따라 이송될 때 선단이 상기 회전덮개(410)를 밀어 올려 회전시킴으로써, 상기 진공홀(402)과 배출구(342)를 연통시키는 것을 특징으로 하는 기판 오븐 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    슬라이드블록(340)의 선단측에는 하향 경사진 경사부(344)가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 오븐 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 진공홀(402)은 상기 진공레일(400) 좌우 측면에 각각 형성되고, 상기 체결브라켓(330) 및 슬라이드블록(340)은 상기 진공레일(400)의 좌우 측면과 대응되는 지점에 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 오븐 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 안착판(310)의 저면 중 상기 진공레일(400)의 상면과 대응되는 지점에는, 상기 진공레일(400)의 상면을 타고 구르는 센터롤러(326)가 추가로 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 오븐 장치.
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 슬라이드블록(340)과 상기 체결브라켓(330)은 상기 진공레일(400)의 폭방향으로 이격되고,
    상기 진공척(300)은, 상기 슬라이드블록(340) 중 상기 체결브라켓(330)을 향하는 면에 밀착되는 이동브라켓(350)과, 일단이 슬라이딩 가능한 구조로 상기 체결브라켓(330)의 내부에 삽입되고 타단이 상기 슬라이드블록(340)의 내부와 연통되도록 상기 이동브라켓(350)을 관통하여 장착되는 연결관(352)을 더 포함하여,
    상기 슬라이드블록(340) 및 이동브라켓(350)은 상기 연결관(352)의 길이방향으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 기판 오븐 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 진공척(300)은, 상기 이동브라켓(350)과 상기 체결브라켓(330) 사이에 압입되는 탄성체(360)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 오븐 장치.
  8. 청구항 4에 있어서,
    상기 안착판은 상기 구름롤러가 결합되는 사이드프레임(320)을 더 포함하되, 상기 사이드프레임은 상기 안착판(310)의 좌우 측단에 결합되어 상기 다수 개의 구름롤러(322)가 회전 가능한 구조로 결합되며 하향으로 돌출되는 걸림부(324)를 구비하고,
    상기 이송레일(200)의 길이방향으로 연장되어 다수 개의 구동스프라켓에 의해 이송되는 이송체인(220)과, 상기 이송체인(220)의 일부에 고정 결합되되 상기 걸림부(324)에 걸리도록 상향으로 연장되어 상기 사이드프레임(320)을 상기 이송체인(220) 이송방향으로 견인하는 견인블록(230)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 오븐 장치.
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