KR102000988B1 - 박막필름 이송장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 공정에 의해 회로 패턴이 형성되는 박막필름의 이송시 사행(meandering) 및 손상을 방지하면서도, 박막필름을 파지하는 자력식 클램핑 유닛에 의한 가림 현상을 제거함으로써 박막필름 전체 표면에 표면처리를 가능하게 하는 박막필름 이송장치에 관한 것이다.

Description

박막필름 이송장치{Thin film transfering apparatus}
본 발명은 반도체 공정에 의해 회로 패턴이 형성되는 박막필름의 이송시 사행(meandering) 및 손상을 방지하면서도, 박막필름을 파지하는 자력식 클램핑 유닛에 의한 가림 현상을 제거함으로써 박막필름 전체 표면에 표면처리를 가능하게 하는 박막필름 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 회로기판은 동박면 등으로 이루어지는 도체층에 포토레지스트를 도포하여 배선 회로 패턴을 감광(노광)시키고, 그 후 현상 및 에칭하는 단계를 거쳐 회로패턴을 형성한다.
이와 같이 포토레지스트를 이용하여 회로패턴을 형성하는 소위 서브트랙티브(subtractive) 공법에 의하면 포토마스크를 이용하여 회로패턴을 인쇄하고, 현상액을 이용하여 포토레지스트를 현상한다.
그 후 에칭액을 이용하여 노출된 도체층을 에칭처리하면 그 도체층만 소정 깊이로 파이게 되고, 최종적으로는 포토레지스트에 덮여 있던 도체층만 남게 된다. 그 외 다른 부분의 도체층은 제거되어 절연층이 노출된다.
그런데 상기한 서브트랙티브 방법에 의해 회로패턴을 형성하게 되면, 회로패턴의 상부 폭과 바닥부의 폭에 차이가 나게 되고, 절연층과 회로패턴의 경계 부분에서 정밀하게 에칭처리가 되지 않게 된다.
따라서, 서브트랙티브(subtractive) 공법에 의한 회로패턴 형성 방법을 적용하면 미세 회로의 형성이 어려우며, 회로 패턴의 두께 편차가 클 뿐만 아니라 그 형태가 불균일한 단점이 있다.
이러한 문제점으로 인하여 최근에는 소위 애디티브(additive) 공법에 의하여 박막필름 상에 미세회로를 형성하는 방법이 사용되고 있으며, 특히 반도체 리드간 피치가 훨씬 미세하고 얇도록 가요성 칩온 필름(COF)이 널리 사용되고 있다.
이러한 박막필름은 릴투릴(Reel to Reel) 방식으로 일측 릴에서 타측 릴로 풀리면서 표면이 처리되어 제조될 수 있지만, 통상적으로는 소정 단위 길이로 절단된 상태로 이송되면서 개별적으로 가공처리된다.
한편, 소정 단위 길이로 절단된 상태로 이송되는 박막의 가요성 필름의 경우 기존에는 이송롤러를 이용하여 박막필름의 양측 테두리부와 접촉하면서 이송시키는 것이 일반적이었다.
그런데, 이송롤러를 이용하여 박막필름의 양측 테두리부분을 잡아 이송하는 경우 박막필름에 처짐 현상이 발생함은 물론, 이송 중 정확한 자세를 유지하지 못하여 사행 현상이 발생하고 심하면 이탈현상이 발생한다.
또한, 상하 한 쌍의 이송롤러에 의해 클램핑되는 박막필름의 양측 테두리 부분에 큰 응력이 작용하게 되므로, 그 클램핑 된 부분에서 크랙이나 찢김 현상 등 손상이 발생하는 문제점이 있었다.
또한, 클램핑된 상태로 이송되면서 박막필름의 표면에 화학처리 등을 하게 될 경우, 이송롤러에 의해 클램핑 된 부분은 가려지기 때문에 그 외 노출된 부분과 달리 화학처리가 이루어지지 않게 된다.
이와 같이 박막필름의 표면 전체가 균일하게 화학처리되지 못하게 되면, 표면처리가 이루어지지 않은 부분을 후속으로 공정시 불량 발생의 원인이 되어 결국은 반도체 제품의 신뢰성이 저하되는 문제점이 있다.
예컨대, 박막필름에 패턴을 형성하고 그 에지 부분을 통해서 동작전원을 공급받는 경우, 클램핑 부분(에지 부분)의 포토레지스트가 현상되지 않으면 에지부분을 통해 동작전원을 원활하게 공급할 수 없게 되는 문제점이 있다.
대한민국 등록특허 제10-0728889호 대한민국 등록실용신안 제20-0424380호
본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 박막필름의 이송 중 사행을 방지하면서도 안전하게 박막필름을 이송시킬 수 있도록 구조가 개선된 박막필름 이송장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 표면처리를 하는 구간에 박막필름이 통과하는 동안 그 표면이 모두 순차 노출되도록 함으로써 표면 전체에 고른 처리가 이루어질 수 있도록 구조가 개선된 박막필름 이송장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
이를 위해, 본 발명에 따른 박막필름 이송장치는 박막필름을 이송시키는 파레트(pallet)와; 상기 파레트에 구비되되, 이송 방향과 나란한 양측부를 따라 각각 다수개 구비되며 자력에 의해 닫혀 상기 박막필름의 양측 단부를 파지하는 자력식 클램핑 유닛; 및 이송중인 상기 박막필름을 위한 표면처리장치의 이송라인을 따라 설치되며, 상기 다수개의 자력식 클램핑 유닛 중 일부에 자력을 가해 상기 자력식 클램핑 유닛의 파지를 해제시키는 해제 유닛;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 파레트는 상기 이송 방향과 나란한 양측부에 서로 이격 배치된 한 쌍의 측부프레임과; 상기 측부프레임의 전후방측 단부를 각각 연결하는 연결프레임과; 상기 측부프레임의 상면 또는 하면 중 어느 한 면 이상에 형성되며, 길이 방향을 따라 연속 형성되어 로울러가 맞물려 끼워지는 안내홈; 및 상기 측부프레임의 내측면에 구비되며, 상기 자력식 클램핑 유닛이 끼워져 조립되는 슬롯장치;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 자력식 클램핑 유닛은 상기 박막필름의 테두리 저면에 접하는 제1 잠금 마그네트와; 상기 제1 잠금 마그네트와 반대의 극성을 가짐에 따라 인력에 의해 회동시 상기 제1 잠금 마그네트에 부착되면서 상기 박막필름을 파지하는 제2 잠금 마그네트; 및 상기 제2 잠금 마그네트에 고정 설치되며, 상기 제2 잠금 마그네트의 단부로부터 내측 방향으로 연장되도록 설치된 작동부;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 자력식 클램핑 유닛 중 상기 파렛트의 진행 방향을 기준으로 전후방향 양끝단에 각각 구비된 자력식 클램핑 유닛은 상기 작동부를 제외한 제1 잠금 마그네트 및 제2 잠금 마그네트만을 포함하여 항상 상기 박막필름의 네 모서리를 파지하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제2 잠금 마그네트에 고정설치된 작동부는 제3 마그네트이고, 상기 해제 유닛은 상기 이송중인 파레트에 구비된 다수개의 자력식 클램핑 유닛 중 일부하고만 동시에 겹치는 제4 마그네트를 포함하며, 상기 제3 마그네트 및 제4 마그네트는 척력이 작용하도록 서로 동일한 자극을 가지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 표면처리장치의 이송라인을 따라 양측에 2열로 배치되어 상기 파레트의 양측 테두리부를 지지하는 로울러를 포함하되, 상기 해제 유닛에 의해 상기 자력식 클램핑 유닛이 상기 박막필름의 파지를 해제시키는 구간에는 상기 파레트의 저면을 지지하는 하부 로울러 및 상기 파레트의 상면을 가압하는 상부 로울러를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 파레트의 양측 테두리부에 2열로 배치되되, 가상의 직선상에 서로 마주보게 배치되는 제1 정렬 마그네트; 및 상기 표면처리장치의 이송라인을 따라 양측에 2열로 배치되되, 가상의 직선상에 서로 마주보게 배치되는 제2 정렬 마그네트;를 더 포함하되, 상기 제1 정렬 마그네트와 제2 정렬 마그네트는 서로 간에 척력이 작용하도록 동일한 자극을 갖도록 구성됨에 따라, 상기 파레트의 이송 중 자세가 틀어지는 경우 상기 제1 정렬 마그네트와 제2 정렬 마그네트의 척력에 의해 정자세로 보정되는 것이 바람직하다.
이상과 같은 본 발명은 박막필름을 파레트에 로딩한 상태에서 로울러로 이송시킴에 따라 사행(meandering)이나 처짐을 방지하면서도 손상없이 안전하게 필름을 이송시킬 수 있게 한다.
또한, 본 발명은 표면처리를 하는 구간에 박막필름이 통과하는 동안 파레트의 클램프들이 박막필름의 파지를 순차로 해제함으로써 표면이 모두 노출된다. 따라서, 박막필름 표면 전체에 고른 처리가 이루어질 수 있게 한다.
도 1은 본 발명에 따른 박막필름 이송장치의 적용예를 나타낸 사시도이다.
도 2는 상기 도 1의 인입장치 부분을 나타낸 부분 확대도이다.
도 3은 본 발명에 따른 박막필름 이송장치의 구동장치를 나타낸 부분도이다.
도 4는 본 발명에 따른 박막필름 이송장치의 파레트를 나타낸 사시도이다.
도 5는 상기 도 4의 파레트에 박막필름이 로딩된 상태를 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 박막필름 이송장치의 자력식 클램핑 유닛을 나타낸 도이다.
도 7은 본 발명에 따른 박막필름 이송장치의 해제 유닛을 나타낸 도이다.
도 8은 본 발명에 따른 박막필름 이송장치를 구성하는 자력식 클램핑 유닛의 동작 상태도이다.
도 9는 본 발명에 적용가능한 표면처리장치를 나타낸 정면 투시도이다.
도 10 상기 도 9의 표면처리장치에 의한 박막필름 표면처리 상태를 나타낸 도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 박막필름 이송장치에 대해 상세히 설명한다.
도 1과 같이, 본 발명에 따른 박막필름 이송장치는 박막필름을 이송시키는 파레트(100)와, 상기 파레트(100)에 구비되며 박막필름(T-F)의 양측 단부를 파지하는 자력식 클램핑 유닛(200) 및 표면처리장치(10)에 설치되며, 자력식 클램핑 유닛(200) 중 일부에 자력을 가해 파지를 해제시키는 해제 유닛(300)을 포함한다.
이상과 같이 구성된 본 발명은 박막필름(T-F)을 파레트(100)에 로딩한 상태에서 로울러(41)에 의해 이송시킴에 따라 박막필름(T-F)이 로울러(41)와 비접촉된 상태에서 이송이 이루어진다. 또한, 비접촉식 이송 중 사행(meandering)이나 처짐을 방지하면서도 안전하게 필름을 이송시킬 수 있게 한다.
특히, 본 발명은 박막필름(T-F)이 표면처리를 하는 구간을 통과하는 동안 파레트(100)에 구비된 자력식 클램핑 유닛(200)들이 박막필름(T-F)의 파지를 순차로 해제함으로써 표면이 모두 노출된다. 따라서, 박막필름(T-F) 표면 전체에 고른 처리가 이루어질 수 있게 한다.
한편, 박막필름(T-F)의 표면을 표면처리하기 위한 표면처리장치(10)로는 바람직한 실시예로써 박막필름(T-F)이 표면을 세척하는 세척 공정을 비롯하여 포토레지스트를 도포하는 화학처리 공정 등 다양한 공정처리장치를 포함한다.
또한, 박막필름(T-F)이 로딩된 파레트(100)의 이송방향을 기준으로 표면처리장치(10)의 전후단에는 각각 인입장치(20) 및 인출장치(30)가 구비된다. 인입장치(20), 표면처리장치(10) 및 인출장치(30)에는 이송용 구동장치(40)가 설치됨에 따라 이들을 따라 파레트(100)가 이송된다.
이송용 구동장치(40)는 일 예로 도시한 바와 같이 로울러(41), 구동모터(도 8의 '42' 참조), 구동축(43) 및 연결기어(44)를 포함한다. 이때, 로울러(41)는 인입장치(20), 표면처리장치(10) 및 인출장치(30)는 이송용 구동장치(40)의 이송 경로를 따라 다수개가 연속하여 배치되어 있다.
이러한 로울러(41)는 장치의 좌우 양측(이송 방향의 좌우 양측)에 2열로 나란히 이격 배치되어 있어서, 박막필름(T-F)이 수용된 파레트(100)의 양측 테두리부에 접촉하며 해당 파레트(100)를 이송시킨다.
도 2를 통해 좀더 명확해 알 수 있는 바와 같이, 일 예로 인입장치(20)의 상면에는 베어링을 통해 회전 가능하게 지지된 구동축(43)이 인입장치(20)의 폭 방향으로 가로질러 설치되어 있다.
구동축(43)에는 체인기어(43a)가 구비되어 있고, 이러한 체인기어(43a)는 연결체인을 통해 인입장치(20) 하부의 본체 내에 설치된 구동모터(42)의 회전축 기어와 연결된다. 따라서, 구동모터(42)가 작동하면 구동축(43)이 회전한다.
또한, 도 3과 같이 구동축(43)의 길이 방향 중심을 기준으로 양측 단부에는 각각 연결기어(44)가 구비되어 있고, 연결기어(44)는 로울러(41)를 회전시키는 축 기어(44a)에 치합된다. 따라서, 구동축(43)이 회전하면 로울러(41)가 회전한다.
이때, 인입장치(20), 표면처리장치(10) 및 인출장치(30)를 따라 형성된 이송로 상에는 공통축(45)이 길게 배치되어 있고, 공통축(45)에는 제1 직선 베벨기어(46)가 일정 간격(즉, 로울러의 설치 간격)마다 구비되어 있다.
따라서, 상기한 로울러(41)의 축 기어 단부에 각각 구비된 제2 직선 베벨기어(47)가 제1 직선 베벨기어(46)에 맞물림에 따라 이송 방향을 따라 설치된 로울러(41)들이 동시에 회전하며 파레트(100)를 이송시킨다.
한편, 도 4 및 도 5와 같이, 파레트(100)는 박막필름(T-F)을 이송시키기 위한 것으로, 로딩된 박막필름(T-F)과 함께 로울러(41)에 의해 이송됨에 따라 인입장치(20), 표면처리장치(10) 및 인출장치(30)를 따라서 순차로 통과한다.
본 발명의 파레트(100)는 일반적인 파레트와 달리 양측부에 구비된 2열의 자력식 클램핑 유닛(200)에 의해 박막필름(T-F)이 파지되기 때문에 그 중심부를 빈 공간으로 두어도 상관없다. 다만, 박막필름(T-F)의 처짐 현상을 더욱 확실히 방지하도록 상기 중심부에 지지판(도시 생략)을 구비할 수도 있다.
이를 위해 파레트(100)는 이송 방향과 나란한 양측부에 서로 이격 배치된 한 쌍의 측부프레임(110) 및 상기 측부프레임(110)의 전후방측 단부를 각각 연결하는 연결프레임(120)을 포함하여 사각의 프레임을 형성한다.
특히, 본 발명의 파레트(100)는 상기한 측부프레임(110)의 상면 또는 하면 중 어느 한 면 이상에 형성되어 있으며, 길이 방향을 따라 연속 형성되어 로울러(41)가 맞물려 끼워지는 안내홈(111)을 구비한다.
바람직하게 안내홈(111)은 파레트(100)의 하면을 지지하는 하부 로울러(41)가 맞물리도록 파레트(100)의 하면에 형성되거나, 혹은 파레트(100)의 상면을 가압하는 상부 로울러(41a) 역시 맞물리도록 하면과 상면에 각각 형성된다.
또한, 본 발명의 파레트(100)는 측부프레임(110)의 내측면에 구비되며, 자력식 클램핑 유닛(200)이 끼워져 조립되는 슬롯장치(112)를 포함한다. 슬롯장치(112)에는 자력식 클램핑 유닛(200)이 탈부착 가능하게 장착된다.
구체적인 실시예로써, 슬롯장치(112)는 파레트(100)의 양측부에 2열로 구비되되, 각 열마다 자력식 클램핑 유닛(200)의 설치 위치 및 설치 개수에 대응하여 다수개가 일정 간격으로 이격 설치된다.
다만, 파레트(100)에는 정자세의 안정적인 이동을 가능하게 하도록 자력식 보조 정렬장치를 포함하는 것이 바람직하다. 자력식 보조 정렬장치는 파레트(100)에 구비된 제1 정렬 마그네트(113) 및 그와 한 쌍으로 작용하도록 표면처리장치에 구비된 제2 정렬 마그네트(도시 생략)를 포함한다.
이때, 상기한 제1 정렬 마그네트(113)는 파레트(100)의 양측 테두리부에 2열로 배치되되, 가상의 직선상에 서로 마주보게 배치된다. 일 예로 도시한 바와 같이 제1 정렬 마그네트(113)는 파레트(100)의 전후방 단부 양측에 각각 설치되어 4개가 구비된다.
그에 대응하여 제2 정렬 마그네트는 표면처리장치(10)의 이송라인을 따라 양측에 2열로 배치되되, 가상의 직선상에 서로 마주보게 배치되며, 그 수가 많을 수록 더욱 안정적으로 파레트(100)을 안내한다.
이때, 상기한 제1 정렬 마그네트(113)와 제2 정렬 마그네트는 서로 간에 척력이 작용하도록 동일한 자극을 갖는다. 따라서, 파레트(100)의 이송 중 자세가 틀어지는 경우 제1 정렬 마그네트(113)와 제2 정렬 마그네트의 척력에 의해 정자세로 자동으로 보정이 이루어진다.
예컨대, 파레트(100) 전체가 이송 방향에 대해 평행하게 직선을 유지하면서 일측부(중심부를 기준으로 좌측 혹은 우측)로 편중되어 이송되거나, 혹은 파레트(100) 전체가 이송 방향에 대해 대각선으로 기울어져 이송시 정렬 마그네트들간의 척력에 의해 정자세로 보정된다.
자세가 틀어짐에 따라 제1 정렬 마그네트(113)와 제2 정렬 마그네트의 거리가 가까워지면 가까워질 수록 점차 척력이 커지므로 이러한 척력에 의해 다시 멀어지는 현상이 발생하고 그에 따라 파레트(100)는 점차 정자세로 복귀하게 되는 것이다.
다음, 도 6과 같이 자력식 클램핑 유닛(200)은 상술한 파레트(100)에 구비되는 것으로, 이송 방향과 나란한 양측부를 따라 각각 다수개 구비되며 자력에 의해 닫혀 박막필름(T-F)의 양측 단부를 파지(즉, 그립)한다.
이를 위해 자력식 클램핑 유닛(200)은 제1 잠금 마그네트(210), 제2 잠금 마그네트(220) 및 작동부(230)를 포함한다. 제1 잠금 마그네트(210) 및 제2 잠금 마그네트(220)는 한 쌍으로 박막필름(T-F)의 파지시 사용되고, 작동부(230)는 후술할 해제 유닛(300)과 함께 박막필름(T-F)의 파지를 해제시 사용된다.
이때, 제1 잠금 마그네트(210)는 박막필름(T-F)의 테두리 저면에 접하도록 배치되고, 제2 잠금 마그네트(220)는 상기 제1 잠금 마그네트(210)와 반대의 극성을 가지며 박막필름(T-F)의 테두리 상면에 접하도록 배치된다.
예컨대, 제1 잠금 마그네트(210)가 N극이면 제2 잠금 마그네트(220)는 S극이고, 제1 잠금 마그네트(210)가 S극이면 제2 잠금 마그네트(220)는 N극이 된다. 따라서, 상측의 제2 잠금 마그네트(220)가 인력에 의해 하측으로 회동시 제1 잠금 마그네트(210)에 부착되면서 박막필름(T-F)을 파지하게 된다.
위와 같은 제1 잠금 마그네트(210) 및 제2 잠금 마그네트(220)는 각각 비금속성 재질의 케이싱 내에 삽입 조립될 수 있으며, 각각의 케이싱 후단부는 힌지(hinge)(240)에 의해 서로 연결됨에 따라 제2 잠금 마그네트(220)가 회동될 수 있게 한다.
작동부(230)는 제2 잠금 마그네트(220)에 고정 설치되는 것으로, 제2 잠금 마그네트(220)의 단부로부터 내측 방향(파레트의 중심부 방향)으로 연장되도록 설치된다. 바람직하게 작동부(230)는 제2 잠금 마그네트(220)의 케이싱에 함께 설치되되, 제2 잠금 마그네트(220)의 단부 상측에 다단 형상으로 설치된다.
이러한 작동부(230)는 표면처리시 제1 잠금 마그네트(210)와 제2 잠금 마그네트(220)의 결합을 해제(즉, 박막필름의 파지를 해제)하여 박막필름(T-F)의 상면이 노출되도록 하기 위한 것이다.
이때, 모든 작동부(230)가 동시에 작동됨에 따라 박막필름(T-F)을 놓치는 것을 방지하도록 특정한 타이밍에 일부의 자력식 클램핑 유닛(200)에서만 작동된다.
구체적으로, 작동부(230)는 물리적 접촉에 의해 제2 잠금 마그네트(220)를 들어올리는 여러 구성이 적용될 수 있지만, 제3 마그네트(230)로 구성됨으로써 자력에 의해 비접촉식으로 작동될 수 있게 한다.
따라서, 아래에서 다시 설명하는 바와 같이 해제 유닛(300)을 제4 마그네트로 구성시 제3 마그네트(230)와 제4 마그네트 간에 작용하는 자력(동일극, 척력)에 의해 제2 잠금 마그네트(220)가 상측으로 회동(즉, 파지 해제)된다.
다만, 도 4 및 도 5와 같이 자력식 클램핑 유닛(200) 중 파렛트의 이송 방향을 기준으로 전후방향 양끝단에 각각 구비된 자력식 클램핑 유닛(200')은 작동부(230)를 제외하고 제1 잠금 마그네트(210) 및 제2 잠금 마그네트(220)만을 포함하여 항상 박막필름(T-F)의 네 모서리를 파지하는 것이 바람직하다.
이와 같이 자력식 클램핑 유닛(200')으로 박막필름(T-F)의 네 모서리를 항상 파지하고 있으면, 박막필름(T-F)의 단부를 동시에 고정하고 있어서 박막필름(T-F)의 텐션을 유지하므로 오직 전후방향을 기준으로 중간 부분에서만 파지하는 경우에 비해 더욱 안정적인 이송 및 표면처리를 가능하게 한다.
또한, 제1 잠금 마그네트(210)의 상면과 제2 잠금 마그네트(220)의 저면에는 EPDM(ethylene propylene rubber)과 같은 고무재질의 보호패드(PAD)를 구비하는 것이 바람직한데, 보호패드(PAD)를 구비하면 자력식 클램핑 유닛(200)으로 박막필름(T-F)을 파지하더라도 그 파지된 부분의 손상을 방지하고 미끄러짐 현상 역시 방지할 수 있게 한다.
다음, 해제 유닛(300)은 이송중인 박막필름(T-F)에 표면처리를 하기 위한 표면처리장치(10)의 이송라인을 따라 설치되며, 동일 시점에 다수개의 자력식 클램핑 유닛(200) 중 일부에 자력을 가해 자력식 클램핑 유닛(200)의 파지를 해제시킨다.
도 7과 같이 해제 유닛(300)은 제4 마그네트(310)을 포함한다. 제4 마그네트(310)는 일 예로 거치용 바(320)에 설치되는데, 거치용 바(320)의 일단은 이송라인상에 고정되고, 일측으로 연장된 후 하측으로 절곡된 단부에 제4 마그네트(310)가 고정 설치된다.
이와 같이 자력식 클램핑 유닛(200)의 작동부(230)는 제3 마그네트(230)이고, 해제 유닛(300)은 제4 마그네트(310)를 포함하며, 이송중인 파레트(100)에 구비된 제3 마그네트(230)는 제4 마그네트(310)의 직상부를 지나가게 된다.
또한, 제3 마그네트(230) 및 제4 마그네트(310)는 척력이 작용하도록 서로 동일한 자극(예: N극과 N극 혹은 S극과 S극)을 가지며, 바람직하게는 제1 잠금 마그네트(210) 및 제2 잠금 마그네트(220)보다 강한 자력을 갖는다.
따라서, 도 8의 (a)와 같이 자력식 클램핑 유닛(200)이 해제 유닛(300)을 통과하지 않는 지점에서는 제1 잠금 마그네트(210)와 제2 잠금 마그네트(220)가 박막필름(T-F)을 파지하도록 자성 결합된 상태를 유지한다.
반면, 도 8의 (b)와 같이 자력식 클램핑 유닛(200)이 해제 유닛(300)을 통과하는 지점에서는 제3 마그네트(230)(즉, 작동부)가 같은 극성의 제4 마그네트(310)와의 척력으로 인해 상측으로 회동한다.
제3 마그네트(230)가 회동되면, 제3 마그네트(230)에 일체로 결합되어 있는 제2 잠금 마그네트(220) 역시 상측으로 회동하기 때문에, 해당 자력식 클램핑 유닛(200)은 박막필름(T-F)의 파지를 해제한다.
따라서, 자력식 클램핑 유닛(200)이 클램핑하고 있던 박막필름(T-F)의 상면 일부분이 외부로 노출되고, 그 노출된 부분 역시 표면처리장치(10)에 의해 표면처리가 가능하게 된다. 이러한 공정은 다수의 해제 유닛(300)을 통과시마다 반복하여 이루어진다.
또한, 위에서 설명한 해제 유닛(300)은 특정 시점에서 이송중인 파레트(100)에 구비된 다수개의 자력식 클램핑 유닛(200) 중 일부하고만 동시에 겹치도록 배치되기 때문에, 이송 중 파레트(100)로부터 이탈되거나 낙하하는 것이 방지된다.
예컨대, 도 7에서 살펴본 바와 같이 본 발명의 자력식 클램핑 유닛(200)은 대략 로울러(41)와 유사한 간격으로 이격 설치되어 있는데, 이때 해제 유닛(300)은 자력식 클램핑 유닛(200) 2개당 1개 혹은 3개당 1개의 간격으로 설치되어 있다.
따라서, 해제 유닛(300)은 동일한 시점에서 자력식 클램핑 유닛(200) 2개 중 1개를 해제시키거나 3개 중 1개를 해제시키므로, 나머지 자력식 클램핑 유닛(200)으로는 파지 상태를 유지하며, 전체 자력식 클램핑 유닛(200)들은 파지와 해제가 교번적으로 반복된다.
다만, 해제 유닛(300)에 의해 자력식 클램핑 유닛(200)이 박막필름(T-F)의 파지를 해제시키는 구간에는 파레트(100)의 저면을 지지하는 하부 로울러(41) 및 파레트(100)의 상면을 가압하는 상부 로울러(41a)를 모두 포함하는 것이 바람직하다.
상하 한 쌍의 하부 로울러(41) 및 상부 로울러(41a)는 파레트(100)의 양측 테두리부분을 그 상하에서 동시에 지지하므로, 자력식 클램핑 유닛(200)이 해제 유닛(300)을 통과하는 동안 제2 잠금 마그네트(220)가 상측으로 회동하더라도, 파레트(100) 및 그에 로딩된 박막필름(T-F)의 상하 덜컹거림이나 흔들림을 방지할 수 있게 한다.
또한, 도 1로 다시 돌아가 해제 유닛(300)은 표면처리장치(10)가 설치된 구간 이외에 그 전단에 배치된 인입장치(20)의 초입측 및 후단에 배치된 인출장치(30)의 배출측에도 설치될 수 있다. 이러한 해제 유닛(300)은 보조 해제 유닛(300')에 해당한다.
보조 해제 유닛(300')은 작동부(230)가 구비된 자력식 클램핑 유닛(200)들 모두를 동시에 파지 해제시킬 수 있도록 연속 배치되어 있다. 따라서, 이 구간에서는 박막필름(T-F)의 네 모서리를 항상 파지하는 자력식 클램핑 유닛(200') 이외의 나머지 모두 파지를 해제시키게 된다.
이를 통해 자력식 클램핑 유닛(200)이 박막필름(T-F)을 가압하는 시간을 최소화함은 물론, 파레트(100) 투입시 박막필름(T-F)의 자세를 수동으로 보정할 수 있게 하며, 파레트(100) 배출시 배출 로봇 등으로 쉽게 인출할 수 있도록 한다.
한편, 도 9과 같이, 이상에서 상세한 설명을 생략한 박막필름(T-F) 표면처리장치(10)는 일 예로 액상 물질을 박막필름(T-F)의 표면을 스프레이(또는 플로우) 도포하는 장치가 적용될 수 있다.
이러한 액상물질 분사를 하는 표면처리장치(10)는 일 예로 하부 본체의 내부에 설치된 펌프(11) 및 그 상부의 센서(12)를 포함하고, 상기 펌프(11)에 연결된 분사장치(13)가 박막필름(T-F) 이송라인의 상측까지 연장 설치되며, 필요에 따라 이송방향을 따라 다수개 구비된다.
또한, 표면처리장치(10)의 상류측에 설치된 인입장치(20)의 하부 본체 내부에는 구동모터(42)가 설치되어 있어서, 상술한 바와 같이 구동모터(42)에 의해 인입장치(20), 표면처리장치(10) 및 인출장치(30)를 따라 연속 설치된 로울러(41)들이 회전된다.
따라서, 도 10과 같이 구동모터(42)에 의해 파레트(100)에 로딩된 박막필름(T-F)이 이송되어 상기한 표면처리장치(10)를 통과하며, 표면처리장치(10)를 통과하는 동안 자력식 클램핑 유닛(200)들이 교번적으로 해제됨에 따라 박막필름(T-F) 전체에 균일하게 도포될 수 있게 한다.
나아가, 위와 같은 본 발명은 박막필름(T-F)이 로울러(41)에 접촉되지 않는 비접속 방식으로 이송됨은 물론, 표면처리시 액상 도포 물질의 무게에 의한 박막필름(T-F)의 빠짐 현상, 처짐 현상 및 찢어짐이나 깨짐 현상 역시 방지할 수 있게 한다.
이상, 본 발명의 특정 실시예에 대하여 상술하였다. 그러나, 본 발명의 사상 및 범위는 이러한 특정 실시예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위 내에서 다양하게 수정 및 변형 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이해할 것이다.
따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
10: 인입장치
20: 표면처리장치
30: 인출장치
T-F: 박막필름
100: 파레트(pallet)
110: 측부프레임
111: 안내홈
112: 슬롯장치
120: 연결프레임
200: 자력식 클램핑 유닛
210: 제1 잠금 마그네트
220: 제2 잠금 마그네트
230: 작동부(제3 마그네트)
240: 힌지
300: 해제 유닛
310: 제4 마그네트
320: 거치용 바

Claims (7)

  1. 박막필름(T-F)을 이송시키는 파레트(pallet)(100)와;
    상기 파레트(100)에 구비되되, 이송 방향과 나란한 양측부를 따라 각각 다수개 구비되며 자력에 의해 닫혀 상기 박막필름(T-F)의 양측 단부를 파지하는 자력식 클램핑 유닛(200); 및
    이송중인 상기 박막필름(T-F)을 위한 표면처리장치(10)의 이송라인을 따라 설치되며, 상기 다수개의 자력식 클램핑 유닛(200) 중 일부에 자력을 가해 상기 자력식 클램핑 유닛(200)의 파지를 해제시키는 해제 유닛(300)을 포함하되;
    상기 자력식 클램핑 유닛(200)은 상기 박막필름(T-F)의 테두리 저면에 접하는 제1 잠금 마그네트(210)와, 상기 제1 잠금 마그네트(210)와 반대의 극성을 가짐에 따라 인력에 의해 회동시 상기 제1 잠금 마그네트(210)에 부착되면서 상기 박막필름(T-F)을 파지하는 제2 잠금 마그네트(220), 및 상기 제2 잠금 마그네트(220)에 고정 설치되며 상기 제2 잠금 마그네트(220)의 단부로부터 내측 방향으로 연장되도록 설치된 작동부(230)를 포함하고;
    상기 제2 잠금 마그네트(220)에 고정설치된 작동부(230)는 제3 마그네트(230)이고, 상기 해제 유닛(300)은 상기 이송중인 파레트(100)에 구비된 다수개의 자력식 클램핑 유닛(200) 중 일부하고만 동시에 겹치는 제4 마그네트(310)를 포함하며, 상기 제3 마그네트(230) 및 제4 마그네트(310)는 척력이 작용하도록 서로 동일한 자극을 가지는 것을 특징으로 하는 박막필름 이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 파레트(100)는,
    상기 이송 방향과 나란한 양측부에 서로 이격 배치된 한 쌍의 측부프레임(110)과;
    상기 측부프레임(110)의 전후방측 단부를 각각 연결하는 연결프레임(120)과;
    상기 측부프레임(110)의 상면 또는 하면 중 어느 한 면 이상에 형성되며, 길이 방향을 따라 연속 형성되어 로울러(41)가 맞물려 끼워지는 안내홈(111); 및
    상기 측부프레임(110)의 내측면에 구비되며, 상기 자력식 클램핑 유닛(200)이 끼워져 조립되는 슬롯장치(112);를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막필름 이송장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 자력식 클램핑 유닛(200) 중 상기 파렛트(100)의 진행 방향을 기준으로 전후방향 양끝단에 각각 구비된 자력식 클램핑 유닛(200')은 상기 작동부(230)를 제외한 제1 잠금 마그네트(210) 및 제2 잠금 마그네트(220)만을 포함하여 항상 상기 박막필름(T-F)의 네 모서리를 파지하는 것을 특징으로 하는 박막필름 이송장치.
  5. 삭제
  6. 제1항, 제2항 및 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 표면처리장치(10)의 이송라인을 따라 양측에 2열로 배치되어 상기 파레트(100)의 양측 테두리부를 지지하는 로울러(41)를 포함하되,
    상기 해제 유닛(300)에 의해 상기 자력식 클램핑 유닛(200)이 상기 박막필름(T-F)의 파지를 해제시키는 구간에는 상기 파레트(100)의 저면을 지지하는 하부 로울러(41) 및 상기 파레트(100)의 상면을 가압하는 상부 로울러(41a)를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막필름 이송장치.
  7. 제1항, 제2항 및 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 파레트(100)의 양측 테두리부에 2열로 배치되되, 가상의 직선상에 서로 마주보게 배치되는 제1 정렬 마그네트(113); 및
    상기 표면처리장치(10)의 이송라인을 따라 양측에 2열로 배치되되, 가상의 직선상에 서로 마주보게 배치되는 제2 정렬 마그네트;를 더 포함하되,
    상기 제1 정렬 마그네트(113)와 제2 정렬 마그네트는 서로 간에 척력이 작용하도록 동일한 자극을 갖도록 구성됨에 따라, 상기 파레트(100)의 이송 중 자세가 틀어지는 경우 상기 제1 정렬 마그네트(113)와 제2 정렬 마그네트의 척력에 의해 정자세로 보정되는 것을 특징으로 하는 박막필름 이송장치.
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