KR20210069222A - 처짐 방지 기능을 갖는 박막필름 이송용 지그 - Google Patents

처짐 방지 기능을 갖는 박막필름 이송용 지그 Download PDF

Info

Publication number
KR20210069222A
KR20210069222A KR1020190158733A KR20190158733A KR20210069222A KR 20210069222 A KR20210069222 A KR 20210069222A KR 1020190158733 A KR1020190158733 A KR 1020190158733A KR 20190158733 A KR20190158733 A KR 20190158733A KR 20210069222 A KR20210069222 A KR 20210069222A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
thin film
block
jig
magnet
side frame
Prior art date
Application number
KR1020190158733A
Other languages
English (en)
Inventor
김종학
홍을표
Original Assignee
주식회사 태성
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 태성 filed Critical 주식회사 태성
Priority to KR1020190158733A priority Critical patent/KR20210069222A/ko
Publication of KR20210069222A publication Critical patent/KR20210069222A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6734—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
    • H01L21/67343—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates characterized by a material, a roughness, a coating or the like
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Advancing Webs (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 공정에 의해 회로 패턴이 형성되는 박막필름의 이송시 처짐을 방지할 수 있는 박막필름 이송용 지그에 관한 것이다. 본 발명에 따른 처짐 방지 기능을 갖는 박막필름 이송용 지그는, 박막필름의 좌우 양측에 서로 이격 배치된 한 쌍의 측방프레임과; 상기 측방프레임의 전후방측 단부 사이에서 상기 박막필름의 너비방향으로 가로질러 배치되는 한 쌍의 가로프레임과; 상기 측방프레임의 길이방향을 따라 다수개가 상호 이격 배치되어, 상기 박막필름의 좌우 양측 단부를 파지하는 클램프와; 상기 측방프레임을 상기 박막필름의 너비 방향 좌우측으로 수평 이동시킴에 따라 상기 클램프에 파지된 박막필름의 너비 방향 장력을 조절하는 장력조절구를 포함한다.

Description

처짐 방지 기능을 갖는 박막필름 이송용 지그{JIG FOR TRANSFERING THIN FILM HAVING FUNCTION OF PREVENTING DEFLECTION OF THE THIN FILM}
본 발명은 반도체 공정에 의해 회로 패턴이 형성되는 박막필름의 이송시 처짐을 방지할 수 있는 박막필름 이송용 지그에 관한 것이다.
일반적으로 회로기판은 동박면 등으로 이루어지는 도체층에 포토레지스트를 도포하여 배선 회로 패턴을 감광(노광)시키고, 그 후 현상 및 에칭하는 단계를 거쳐 회로패턴을 형성한다. 이와 같이 포토레지스트를 이용하여 회로패턴을 형성하는 소위 서브트랙티브(subtractive) 공법에 의하면 포토마스크를 이용하여 회로패턴을 인쇄하고, 현상액을 이용하여 포토레지스트를 현상한다. 그 후 에칭액을 이용하여 노출된 도체층을 에칭처리하면 그 도체층만 소정 깊이로 파이게 되고, 최종적으로는 포토레지스트에 덮여 있던 도체층만 남게 된다. 그 외 다른 부분의 도체층은 제거되어 절연층이 노출된다. 그런데 상기한 서브트랙티브 방법에 의해 회로패턴을 형성하게 되면, 회로패턴의 상부 폭과 바닥부의 폭에 차이가 나게 되고, 절연층과 회로패턴의 경계 부분에서 정밀하게 에칭처리가 되지 않게 된다. 따라서, 서브트랙티브(subtractive) 공법에 의한 회로패턴 형성 방법을 적용하면 미세 회로의 형성이 어려우며, 회로 패턴의 두께 편차가 클 뿐만 아니라 그 형태가 불균일한 단점이 있다.
이러한 문제점으로 인하여 최근에는 소위 애디티브(additive) 공법에 의하여 박막필름 상에 미세회로를 형성하는 방법이 사용되고 있으며, 특히 반도체 리드간 피치가 훨씬 미세하고 얇도록 가요성 칩온 필름(COF)이 널리 사용되고 있다. 이러한 박막필름은 릴투릴(Reel to Reel) 방식으로 일측 릴에서 타측 릴로 풀리면서 표면이 처리되어 제조될 수 있지만, 통상적으로는 소정 단위 길이로 절단된 상태로 이송되면서 개별적으로 가공처리된다. 한편, 소정 단위 길이로 절단된 상태로 이송되는 박막의 가요성 필름의 경우 기존에는 이송롤러를 이용하여 박막필름의 양측 테두리부와 접촉하면서 이송시키는 것이 일반적이었다. 그런데, 이송롤러를 이용하여 박막필름의 양측 테두리부분을 잡아 이송하는 경우 박막필름에 처짐 현상이 발생함은 물론, 이송 중 정확한 자세를 유지하지 못하여 사행 현상이 발생하고 심하면 이탈현상이 발생한다. 또한, 상하 한 쌍의 이송롤러에 의해 클램핑되는 박막필름의 양측 테두리 부분에 큰 응력이 작용하게 되므로, 그 클램핑 된 부분에서 크랙이나 찢김 현상 등 손상이 발생하는 문제점이 있었다. 또한, 클램핑된 상태로 이송되면서 박막필름의 표면에 화학처리 등을 하게 될 경우, 이송롤러에 의해 클램핑 된 부분은 가려지기 때문에 그 외 노출된 부분과 달리 화학처리가 이루어지지 않게 된다. 이와 같이 박막필름의 표면 전체가 균일하게 화학처리되지 못하게 되면, 표면처리가 이루어지지 않은 부분을 후속으로 공정시 불량 발생의 원인이 되어 결국은 반도체 제품의 신뢰성이 저하되는 문제점이 있다. 예컨대, 박막필름에 패턴을 형성하고 그 에지 부분을 통해서 동작전원을 공급받는 경우, 클램핑 부분(에지 부분)의 포토레지스트가 현상되지 않으면 에지부분을 통해 동작전원을 원활하게 공급할 수 없게 되는 문제점이 있다.
이러한 문제점을 해결하기 위해, 대한민국 등록특허 제10-2000988호에는 박막필름의 좌우 양측에서 클램핑 유닛에 의해 박막필름 양측 단부를 파지하여 이송하기 위한 파렛트(지그)와, 상기 파렛트를 이송시키기 위한 이송 장치가 제안되었다. 그런데, 이러한 파렛트(지그)를 이용하는 경우에도 필름의 자체 하중과 도포된 현상 약품의 하중에 의해 박막필름이 처지는 현상이 발생한다. 이에 따라, 이러한 박막필름 처짐 현상을 방지할 수 있는 방안이 요구된다.
대한민국 등록특허 제10-0728889호 대한민국 등록실용신안 제20-0424380호 대한민국 등록특허 제10-2000988호
본 발명은 상기한 바와 같은 종래 박막필름 이송 장치의 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로, 박막필름을 좌우 양측에서 파지하여 이송시 박막필름에 외측 방향으로 장력을 부여함으로써 박막필름의 처짐을 방지할 수 있는 박막필름 이송용 지그를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 처짐 방지 기능을 갖는 박막필름 이송용 지그는, 박막필름의 좌우 양측에 서로 이격 배치된 한 쌍의 측방프레임과; 상기 측방프레임의 전후방측 단부 사이에서 상기 박막필름의 너비방향으로 가로질러 배치되는 한 쌍의 가로프레임과; 상기 측방프레임의 길이방향을 따라 다수개가 상호 이격 배치되어, 상기 박막필름의 좌우 양측 단부를 파지하는 클램프와; 상기 측방프레임을 상기 박막필름의 너비 방향 좌우측으로 수평 이동시킴에 따라 상기 클램프에 파지된 박막필름의 너비 방향 장력을 조절하는 장력조절구를 포함한다.
여기서, 상기 클램프는, 상기 측방프레임 상에 고정 결합되며 내측에 제1마그네트가 내장되는 제1클램핑부재와; 상기 제1클램핑부재와 힌지 결합되며 내측에 상기 제1마그네트와 다른 극성을 갖는 제2마그네트가 내장된 제2클램핑부재를 포함한다.
그리고, 상기 장력조절구는, 상기 측방프레임의 전후 가장자리 상에 각각 고정 결합되며, 전면측에는 가이드봉이 돌출 형성된 제1블럭과; 상기 가로프레임의 좌우 단부 상에 각각 고정 결합되며, 사기 제1블럭에 형성된 가이드봉이 삽입되어 이동 가능하도록 가이드홈이 관통 형성된 제2블럭을 포함한다.
또한, 상기 제1블럭과 제2블럭 사이에 인력 또는 척력이 작용하도록, 상기 제1블럭과 제2블럭 내부에는 제3마그네트 및 제4마그네트가 내장될 수 있다.
그리고, 상기 제1블럭의 가이드봉 외주면에 스프링이 개재될 수도 있다.
또한, 상기 측방프레임을 좌우 방향으로 이동시키기 위한 구동수단을 더 포함하되, 상기 구동수단은 상기 측방프레임에 형성된 캠홀에 삽입되어 편심 회전됨에 따라 상기 측방프레임을 좌우 방향으로 이동시키는 편심캠과, 상기 편심캠이 편심 결합되는 회전디스크와, 상기 회전디스크의 중심에 결합되어 회전됨에 따라 상기 회전디스크를 회전시키기 위한 회전축과, 상기 회전축의 단부에 결합되고 외측으로 수평 연장되는 레버와, 상기 레버가 관통되어 슬라이드 이동 가능하도록 관통홈이 형성된 가이드블럭과, 상기 가이드블럭의 일측에 결합되어 상기 레버를 회전축을 중심으로 회전시키기 위한 실린더를 포함한다.
상기한 바와 같은 본 발명에 따르면, 박막필름을 좌우 양측에서 파지하여 이송시 박막필름에 외측 방향으로 장력을 부여함으로써 박막필름의 처짐을 방지할 수 있다는 탁월한 장점을 갖는다.
도 1 은 본 발명에 따른 박막필름 이송용 지그의 사시도,
도 2 는 본 발명에 따른 박막필름 이송용 지그의 분해도,
도 3 은 본 발명에 따른 박막필름 이송용 지그의 클램프 사시도,
도 4 는 본 발명에 따른 박막필름 이송용 지그의 클램프 단면도,
도 5 는 본 발명에 따른 박막필름 이송용 지그의 바람직한 제1실시예에 따른 장력조절수단의 분해도,
도 6 은 본 발명에 따른 박막필름 이송용 지그의 바람직한 제2실시예에 따른 장력조절수단의 분해도,
도 7 은 본 발명에 따른 박막필름 이송용 지그의 장력조절수단 작동전 상태도,
도 8 은 본 발명에 따른 박막필름 이송용 지그의 장력조절수단 작동후 상태도,
도 9 및 도 10 은 본 발명에 따른 박막필름 이송용 지그의 구동수단의 구성 및 작동 방법을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 처짐 방지 기능을 갖는 박막필름 이송용 지그의 구성 및 작용을 첨부된 도면과 바람직한 실시예를 참조로 상세히 설명한다.
도 1 에는 본 발명에 따른 박막필름 이송용 지그(100)에 박막필름(F)이 거치된 상태의 사시도가 도시되고, 도 2 에는 상기 박막필름 이송용 지그(100)의 분해 사시도가 도시된다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 박막필름 이송용 지그(100)는 측방프레임(110), 가로프레임(120), 클램프(130) 및 장력조절구(140)를 포함한다.
측방프레임(110)은 박막필름(F)의 이송 방향과 나란한 좌우 양측에 서로 일정 간격 이격 배치된 한 쌍의 프레임이다. 그리고, 가로프레임(120)은 상기 측방프레임(110)의 전후방측 단부 사이에서 상기 박막필름(F)의 너비방향으로 가로질러 배치되는 한쌍의 프레임이다. 이와 같은 측방프레임(110)과 가로프레임(120)의 연결을 통하여 전체적으로 중앙이 개구된 사각 프레임을 형성하며, 그 중앙 개구에 박막필름(F)이 거치된다. 다만, 본 발명에서는 후술하는 바와 같이 본 발명에 따른 지그(100)에 거치된 박막필름(F)의 장력 조절을 위해 상기 측방프레임(110)을 좌우 수평 방향으로 이동 가능하게 구성되는바, 이에 따라 상기 측방프레임(110)과 가로프레임(120)은 서로 고정 결합되지 않고, 상기 측방프레임(110)이 가로프레임(120)에 대해 상대 이동 가능하게 구성된다. 이러한 결합 구조에 대해서는 추후 보다 상세히 설명한다.
클램프(130)는 상기 측방프레임(110)과 가로프레임(120)에 의해 형성되는 지그(100)의 중앙 개구에 배치된 박막필름(F)을 가장자리에서 집게 방식으로 파지하는 수단이다. 특히, 도 1 에 도시된 바와 같이, 상기 클램프(130)는 박막필름(F)의 좌우 가장자리를 파지하도록 상기 측방프레임(110)의 길이방향을 따라 다수개가 상호 이격 배치되어 중앙 개구에 배치된 박막필름(F)의 좌우 양측 단부를 파지한다. 한편, 필요에 따라 상기 박막필름(F)의 전후단부를 파지하기 위해 도시된 바와 같이 상기 가로프레임(120)에도 클램프(130)가 추가적으로 구비될 수 있다.
상기 클램프(130)는 박막필름(F)의 가장자리를 집게 방식으로 파지 고정할 수 있다면 그 구조에는 특별한 제한이 없으나, 견고한 파지 고정력의 보장을 위하여 마그네틱 방식의 클램프(130)가 채용되는 것이 바람직하다. 도 3 에는 이러한 마그네틱 방식 클램프(130)의 사시도가 도시되고, 도 4 에는 상기 클램프(130)의 작동 관계를 설명하기 위한 단면도가 도시된다.
도 3 에 도시된 바와 같이, 상기 클램프(130)는 하측에 배치된 제1클램핑부재(131)와, 상측에 배치된 제2클램핑부재(132)가 힌지축(134)에 의해 상대 회동 가능하게 구성된다. 그리고, 상기 제1클램핑부재(131)와 제2클램핑부재(132)의 선단에는 각각 박막필름(F)의 가장자리 하부 표면과 상부 표면에 각각 접촉되는 제1클램핑팁(131a)과 제2클램핑팁(132a)이 돌출 형성되며, 상기 제1클램핑팁(131a)과 제2클램핑팁(132a)의 외측에는 박막필름(F)의 표면과의 마찰력을 증대하여 박막필름(F)의 슬립이나 빠짐을 방지하고 박막필름(F) 표면의 손상을 방지하기 위해 수지가 코팅되거나 별도의 수지재 링부재가 끼움결합되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 제1클램핑부재(131)와 제2클램핑부재(132)의 내측에는 클램프(130)의 파지 고정력 증대를 위해 서로 다른 극성을 갖는 제1마그네트(131b)와 제2마그네트(132b)가 각각 내장된다. 도 4 에 도시된 바와 같이, 상기 제1마그네트(131b)와 제2마그네트(132b)는 클램프(130)가 박막필름(F)을 파지시 제1클램핑부재(131)와 제2클램핑부재(132)의 서로 맞닿는 부분 내측에 내장된다. 이에 따라, 도 4 의 (a)에 도시된 바와 같이, 평시 및 박막필름(F)을 파지하는 경우에는 상기 제1마그네트(131b)와 제2마그네트(132b)의 인력에 의해 제1클램핑부재(131)와 제2클램핑부재(132)가 상호 부착되어 견고하게 고정된다. 그리고, 도 4 의 (b)에 도시된 바와 같이, 사용자가 제1클램핑부재(131)의 후단부를 누르는 경우 상기 제1마그네트(131b)와 제2마그네트(132b) 사이의 인력이 극복되면서 제1클램핑부재(131)가 힌지축(134)을 중심으로 제2클램핑부재(132)에 대해 상대 회동되어 클램프(130)가 개방되고, 사용자가 제1클램핑부재(131)의 누름을 해제하면 다시 제1클램핑부재(131)가 힌지축(134)을 중심으로 반대방향으로 회동되면서 도 4 의 (a)와 같은 상태로 복귀된다. 이러한 방식으로 박막필름(F)의 파지 고정이 가능하다. 한편, 위에서 설명한 바와 같이, 상기 클램프(130)는 상기 측방프레임(110) 상에 고정 결합되는바, 도 4 에 도시된 바와 같이, 상기 제1클램핑부재(131)가 측방프레임(110) 상에 볼트와 같은 체결구에 의해 고정 결합된다.
장력조절구(140)는 상기 클램프(130)에 의해 파지된 박막필름(F)을 좌우 양측에서 잡아당겨 편평하게 펴주는 텐션을 유지함에 따라 박막필름(F)의 처짐을 방지하기 위한 것이다. 즉, 상기 장력조절구(140)는 박막필름(F)의 너비 방향 장력을 조절함으로써 박막필름(F)의 처짐을 방지한다. 도 1 및 도 2 에 도시된 바와 같이, 상기 장력조절구(140)는 본 발명에 따른 지그(100)의 네 가장자리 부분에 장착된다.
도 5 에는 바람직한 제1실시예에 따른 장력조절구(140)의 분해도가 도시된다. 도시된 바와 같이, 상기 장력조절구(140)는 서로 나란하게 배치된 제1블럭(141) 및 제2블럭(142)을 포함한다. 상기 제1블럭(141)은 측방프레임(110)의 전후 가장자리 상에 각각 볼트 등의 체결구에 의해 고정 결합되며, 전면측에는 좌우 양측에 한쌍의 가이드봉(141a)이 돌출 형성된다. 그리고, 상기 제2블럭(142)은 가로프레임(120)의 좌우 단부 상에 각각 고정 결합되며, 상기 제1블럭(141)에 형성된 가이드봉(141a)이 삽입되어 이동 가능하도록 가이드홈(142a)이 관통 형성된다. 그리고, 상기 가이드홈(142a) 내부에는 상기 가이드봉(141a)의 원활한 슬라이딩을 위하여 가이드부싱(142b)이 개재된다.
상기 제1블럭(141)과 제2블럭(142) 내부에는 각각 제3마그네트(141b)와 제4마그네트(142c)가 내장된다. 상기 제3마그네트(141b)와 제4마그네트(142c)의 내장을 위해, 상기 제1블럭(141)과 제2블럭(142)은 내부 중앙에 각각 중공부가 형성되고, 상기 중공부에 제3마그네트(141b)와 제4마그네트(142c)가 삽입된 상태에서 외측에 각각 제1커버(141c) 및 제2커버(142d)가 볼트 등의 체결구로 고정 결합된다.
상기 제3마그네트(141b)와 제4마그네트(142c)는 서로 다른 극성인 것일 수도 있고, 서로 같은 극성인 것일 수도 있다. 상기 제3마그네트(141b)와 제4마그네트(142c)가 서로 다른 극성인 경우에는 인력이 작용하므로 평시 및 박막필름(F)을 클램프(130)로 파지하는 순간에는 상기 제1블럭(141)과 제2블럭(142)이 상호 결합되고, 박막필름(F)에 장력을 부여하고자 하는 경우에는 상기 제1블럭(141)을 자력(인력) 보다 더 큰 힘으로 외측으로 이동시킨 후 별도의 고정수단으로 고정함으로써 박막필름(F)의 장력을 유지할 수 있다. 한편, 제3마그네트(141b)와 제4마그네트(142c)가 서로 같은 극성인 경우에는 척력이 작용하므로 평시 상기 제1블럭(141)과 제2블럭(142)은 서로 분리 이격된 상태에 있고, 박막필름(F)을 파지하고자 하는 경우에는 상기 제1블럭(141)을 제2블럭(142) 측으로 이동시켜 박막필름(F)을 파지한 후 다시 제1블럭(141)을 외측으로 이동시켜 척력에 의해 제2블럭(142)으로부터 이격된 상태로 유지되어 박막필름(F)의 장력을 유지토록 할 수 있다. 는 순간에는 상기 제1블럭(141)과 제2블럭(142)이 인력에 의해 서로 부착 결합될 수 있도록 한다.
한편, 도 6 에는 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 장력조절구(140)의 분해도가 도시된다. 본 실시예는 제1실시예와 마찬가지로 가이드봉(141a)이 형성된 제1블럭(141)과 가이드홈(142a)이 형성된 제2블럭(142)을 공통으로 포함한다. 다만, 제1실시예의 제3마그네트(141b) 및 제4마그네트(142c) 대신 스프링(144)을 포함한다. 상기 스프링(144)은 상기 제1블럭(141)과 제2블럭(142)을 서로 분리 이격시키는 방향으로 가압력을 작용한다. 이러한 구성을 통하여, 박막필름(F)의 파지시에는 제1블럭(141)을 제2블럭(142)측으로 이동시켜 스프링(144)을 압축시킨 상태에서 클램프(130)로 박막필름(F)을 파지하고, 파지 후에는 제1블럭(141)을 자유상태로 놓으면 상기 스프링(144)의 복원력에 의해 제1블럭(141)이 다시 외측으로 이동되어 파지된 박막필름(F)에 장력이 부여될 수 있다.
도 7 및 도 8 에는 이러한 장력조절구(140)의 작동 관계가 도시된다. 여기서는 상기 제1실시예에 따른 장력조절구(140)가 예시적으로 도시된다. 파지된 박막필름(F)의 상태를 명확하게 도시하기 위해 가로프레임(120)의 중앙부는 생략하였다. 이하, 도 7 및 도 8 을 참조로 상기 장력조절구(140)에 의해 박막필름(F)의 처짐 방지 방법을 설명한다.
먼저, 도 7 에 도시된 바와 같이, 장력조절구(140)의 제1블럭(141)은 측방프레임(110) 상에 고정 배치되고, 제2블럭(142)은 가로프레임(120) 상에 고정 결합된다. 이에 따라, 상기 측방프레임(110)과 가로프레임(120)은 직접적으로 결합되지 않고 상기 장력조절구(140)에 의해 간접적으로 결합되며, 상기 제1블럭(141)고 제2블럭(142)이 상대 이동 가능하게 구성되므로 측방프레임(110)과 연결프레임의 위치도 가변 가능하다.
보다 구체적으로, 본 실시예에서는 제1블럭(141)과 제2블럭(142) 내부에 각각 내장된 제3마그네트(141b)와 제4마그네트(142c)가 서로 다른 극성을 갖도록 구성된다. 이에 따라, 도 7 에 도시된 바와 같이, 평시 및 박막필름(F)의 최초 파지시에는 상기 제1블럭(141)과 제2블럭(142)은 서로 인력이 작용하여 상호 밀착 결합된다. 상기 제1블럭(141)과 제2블럭(142)은 서로 완전히 밀착될 수도 있고, 도 7 에서와 같이 가이드부싱(142b)의 헤드부 두께로 인해 자력이 서로 영향을 미치는 간극 'A' 만큼 이격된 상태로 위치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1블럭(141)과 결합된 측방프레임(110)이 지그(100)의 중앙 개구 방향으로 이동되고, 사기 측방프레임(110) 상에 고정 결합된 클램프(130) 또한 지그(100)의 중앙 개구 방향으로 이동된다. 이 상태에서 클램프(130)로 박막필름(F)의 좌우 측면 가장자리 부분을 파지하면, 박막필름(F)의 자체 하중 또는 현상액 약품 도포에 따라, 도 7 과 같이 박막필름(F)의 중앙부가 하측으로 처지는 현상이 발생할 수 있다.
이와 같이 박막필름(F)의 처짐 현상이 발생하는 경우, 도 8 에 도시된 바와 같이, 제1블럭(141)에 제2블럭(142)의 반대 방향 외측으로 제3마그네트(141b)와 제4마그네트(142c) 간의 인력 보다 큰 외력을 가한다. 그러면, 상기 제1블럭(141)의 가이드봉(141a)이 제2블럭(142)의 가이드홈(142a)에 개재된 가이드부싱(142b) 내에서 슬라이딩되면서 제1블럭(141)이 제2블럭(142)의 반대 방향 외측으로 이동되면서 제1블럭(141)과 제2블럭(142) 간의 간극이 제3마그네트(141b)와 제4마그네트(142c) 간의 인력이 미치지않는 'B' 만큼 벌어진다. 이에 따라, 상기 제1블럭(141)에 결합된 측방프레임(110)이 외측으로 이동되고, 측방프레임(110)에 결합된 클램프(130) 역시 외측으로 함께 이동된다. 이와 같이, 상기 클램프(130)가 외측으로 이동됨에 따라 클램프(130)에 파지된 박막필름(F)에는 좌우 양측에서 외측으로 당겨지는 장력이 부여되어 중앙부의 처짐이 해소되고 팽팽해진 상태로 유지된다.
도 7 및 도 8 에서는 제3마그네트(141b)와 제4마그네트(142c)가 서로 다른 극성을 갖는 경우에 대해서만 설명하였으나, 서로 같은 극성을 갖는 경우 또는 마그네트 대신 스프링(144)을 사용한 경우에도 외력의 방향을 변경하는 등 적절한 변형을 통하여 동일한 효과를 달성할 수 있다.
한편, 상기 제1블럭(141)과 측방프레임(110)을 이동시키는 외력은 사용자가 직접 파지후 힘을 가하는 방법으로 부여될 수도 있고, 별도의 구동수단(150)에 의해 부여될 수도 있다. 도 9 및 도 10 에는 이러한 구동수단(150)의 구성 및 작동 관계가 도시된다. 도 9 및 도 10 의 (a)는 상기 구동수단(150)이 구비된 지그(100)의 평면도이며, 도 9 및 도 10 의 (b)는 구동수단(150)이 구비된 지그(100)의 정면도이다.
도 9 및 도 10 에 도시된 바와 같이, 상기 구동수단(150)은 편심캠(154), 회전디스크(152), 회전축(151), 레버(156) 및 실린더(158)를 포함한다. 편심캠(154)은 측방프레임(110)에 형성된 캠홀(112)에 삽입되어 편심 회전됨에 따라 상기 캠홀(112)의 내벽을 가압하여 측방프레임(110)을 이동시키기 위한 것으로, 하측에 구비된 회전디스크(152)에 회전 가능하게 편심 결합된다. 그리고, 상기 캠홀(112)은 상기 측방프레임(110)의 전후방측에 각각 형성되며 대체로 사각형상의 관통홀로 구성된다. 상기 회전디스크(152)는 원반형 디스크로 구성되고, 하측 중심에는 회전축(151)이 결합되며, 상기 회전축(151)의 회전에 의해 상기 회전디스크(152)가 회전되도록 구성된다. 상기 회전축(151)의 하단부에는 레버(156)가 결합된다. 상기 레버(156)는 회전축(151)의 일단이 상기 회전축(151)의 하단부에 결합되고 타단으로 외측으로 수평 연장된다. 상기 레버(156)의 타단부 외주면에는 가이드블럭(157)이 결합된다. 상기 가이드블럭(157)은 후술하는 바와 같이 실린더(158)의 작동에 따라 상기 레버(156)가 작동되는 경우에 레버(156)를 따라 슬라이드 이동되도록 구성된다. 이를 위해, 상기 가이드블럭(157)의 중앙부에는 상기 레버(156)가 관통되어 슬라이드 이동 가능하도록 관통홈이 형성된다. 한편, 상기 가이드블럭(157)의 일측에는 상기 레버(156)를 회전축(151)을 중심으로 회동시키기 위한 실린더(158)가 결합된다. 상기 실린더(158)는 몸체 단부가 상기 가로프레임(120)에 회동 가능하게 연결되고, 실린더(158)로드 부분은 상기 가이드블럭(157)의 일측에 결합된다. 즉, 상기 레버(156)와 실린더(158)는 대체로 직교하는 방향으로 배치되어 상기 실린더(158)의 작동에 따라 상기 레버(156)가 회전되도록 구성된다.
이러한 구성을 통하여, 최초 박막필름(F)을 클램프(130)로 파지하고자 하는 경우에는, 도 9 에 도시된 바와 같이, 실린더(158)를 팽창시켜 레버(156)를 일측으로 회전시킨다. 그러면, 레버(156)의 회전에 따라 회전축(151)이 회전되고, 회전축(151)에 결합된 회전디스크(152)가 회전되며, 상기 회전디스크(152)에 편심 결합된 편심캠(154)이 회전된다. 상기 편심캠(154)은 캠홀(112)의 중심에 위치되도록 배치된다. 한편, 상기 장력조절구(140)의 제1블럭(141)과 제2블럭(142)은 상기 제3마그네트(141b) 및 제4마그네트(142c)의 인력에 의해 상호 근접 결합된 상태에 있게 된다. 이에 따라, 현 상태에서 상기 클램프(130)로 박막필름(F)을 파지 거치한다.
그 다음, 거치된 박막필름(F)에 장력을 부여하기 위해, 도 10 에 도시된 바와 같이, 실린더(158)를 수축시키면 레버(156)가 반대방향으로 회전되면서 회전축(151)과 회전디스크(152) 및 편심캠(154)이 함께 회전된다. 이때, 상기 편심캠(154)은 측방프레임(110)에 형성된 캠홀(112)의 내측에서 편심 회전됨에 따라 캠홀(112)의 외측 내벽 가장자리를 가압하여 측방프레임(110)을 외측으로 이동시킨다. 이에 따라, 상기 측방프레임(110)에 결합된 제1블럭(141)과 가로프레임(120)에 결합된 제2블럭(142)이 상호간의 인력을 극복하면서 분리 이격된다. 그리고, 상기 측방프레임(110)의 이동에 따라 측방프레임(110)에 고정된 클램프(130)도 외측으로 이동되어, 클램프(130)에 파지된 박막필름(F)이 좌우 외측으로 당겨지는 장력을 부여받는다. 이에 따라, 상기 박막필름(F)이 팽팽하게 당겨져 하방으로 처지는 현상이 방지된다.
이러한 작동의 반복에 의해 박막필름(F)의 장력 조절이 가능함에 따라, 박막필름(F)의 파지 거치, 처짐 방지 및 분리 등의 작업이 가능하게 된다.
이상, 본 발명의 특정 실시예에 대하여 상술하였다. 그러나, 본 발명의 사상 및 범위는 이러한 특정 실시예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위 내에서 다양하게 수정 및 변형 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이해할 것이다. 따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
F : 박막필름 100 : 지그
110 : 측방프레임 112 : 캠홀
120 : 가로프레임 130 : 클램프
131 : 제1클램핑부재 131a : 제1클램핑팁
131b : 제1마그네트 132 : 제2클램핑부재
132a : 제2클램핑팁 132b : 제2마그네트
134 : 힌지축 140 : 장력조절구
141 : 제1블럭 141a : 가이드봉
141b : 제3마그네트 141c : 제1커버
142 : 제2블럭 142a : 가이드홈
142b : 가이드부싱 142c : 제4마그네트
142d : 제2커버 144 : 스프링
150 : 구동수단 151 : 회전축
152 : 회전디스크 154 : 편심캠
156 : 레버 158 : 실린더
157 : 가이드블럭

Claims (6)

  1. 박막필름(F)의 좌우 양측에 서로 이격 배치된 한 쌍의 측방프레임(110)과;
    상기 측방프레임(110)의 전후방측 단부 사이에서 상기 박막필름(F)의 너비방향으로 가로질러 배치되는 한 쌍의 가로프레임(120)과;
    상기 측방프레임(110)의 길이방향을 따라 다수개가 상호 이격 배치되어, 상기 박막필름(F)의 좌우 양측 단부를 파지하는 클램프(130)와;
    상기 측방프레임(110)을 상기 박막필름(F)의 너비 방향 좌우측으로 수평 이동시킴에 따라 상기 클램프(130)에 파지된 박막필름(F)의 너비 방향 장력을 조절하는 장력조절구(140)를 포함하는 박막필름 이송용 지그.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 클램프(130)는,
    상기 측방프레임(110) 상에 고정 결합되며 내측에 제1마그네트(131b)가 내장되는 제1클램핑부재(131)와;
    상기 제1클램핑부재(131)와 힌지 결합되며 내측에 상기 제1마그네트(131b)와 다른 극성을 갖는 제2마그네트(132b)가 내장된 제2클램핑부재(132)를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막필름 이송용 지그.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 장력조절구(140)는,
    상기 측방프레임(110)의 전후 가장자리 상에 각각 고정 결합되며, 전면측에는 가이드봉(141a)이 돌출 형성된 제1블럭(141)과;
    상기 가로프레임(120)의 좌우 단부 상에 각각 고정 결합되며, 상기 제1블럭(141)에 형성된 가이드봉(141a)이 삽입되어 이동 가능하도록 가이드홈(142a)이 관통 형성된 제2블럭(142)을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막필름 이송용 지그.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1블럭(141)과 제2블럭(142) 사이에 인력 또는 척력이 작용하도록, 상기 제1블럭(141)과 제2블럭(142) 내부에는 제3마그네트(141b) 및 제4마그네트(142c)가 내장된 것을 특징으로 하는 박막필름 이송용 지그.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1블럭(141)의 가이드봉(141a) 외주면에 스프링(144)이 개재된 것을 특징으로 하는 박막필름 이송용 지그.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 측방프레임(110)을 좌우 방향으로 이동시키기 위한 구동수단(150)을 더 포함하되, 상기 구동수단(150)은 상기 측방프레임(110)에 형성된 캠홀(112)에 삽입되어 편심 회전됨에 따라 상기 측방프레임(110)을 좌우 방향으로 이동시키는 편심캠(154)과, 상기 편심캠(154)이 편심 결합되는 회전디스크(152)와, 상기 회전디스크(152)의 중심에 결합되어 회전됨에 따라 상기 회전디스크(152)를 회전시키기 위한 회전축(151)과, 상기 회전축(151)의 단부에 결합되고 외측으로 수평 연장되는 레버(156)와, 상기 레버(156)가 관통되어 슬라이드 이동 가능하도록 관통홈이 형성된 가이드블럭(157)과, 상기 가이드블럭(157)의 일측에 결합되어 상기 레버(156)를 회전축(151)을 중심으로 회전시키기 위한 실린더(158)를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막필름 이송용 지그.
KR1020190158733A 2019-12-03 2019-12-03 처짐 방지 기능을 갖는 박막필름 이송용 지그 KR20210069222A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190158733A KR20210069222A (ko) 2019-12-03 2019-12-03 처짐 방지 기능을 갖는 박막필름 이송용 지그

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190158733A KR20210069222A (ko) 2019-12-03 2019-12-03 처짐 방지 기능을 갖는 박막필름 이송용 지그

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20210069222A true KR20210069222A (ko) 2021-06-11

Family

ID=76376682

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190158733A KR20210069222A (ko) 2019-12-03 2019-12-03 처짐 방지 기능을 갖는 박막필름 이송용 지그

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20210069222A (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230063652A (ko) * 2021-11-02 2023-05-09 (주)에스티아이 기판 클램핑 유닛과 이를 포함하는 기판 파지 트레이
CN118102589A (zh) * 2022-11-25 2024-05-28 (株)太星 基板载具夹具

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200424380Y1 (ko) 2006-06-07 2006-08-22 (주) 에스엠씨 가요성 필름 에칭장치
KR100728889B1 (ko) 2006-06-07 2007-06-20 (주)에스엠씨 가요성 필름 에칭장치
KR102000988B1 (ko) 2018-02-01 2019-07-17 주식회사 태성 박막필름 이송장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200424380Y1 (ko) 2006-06-07 2006-08-22 (주) 에스엠씨 가요성 필름 에칭장치
KR100728889B1 (ko) 2006-06-07 2007-06-20 (주)에스엠씨 가요성 필름 에칭장치
KR102000988B1 (ko) 2018-02-01 2019-07-17 주식회사 태성 박막필름 이송장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230063652A (ko) * 2021-11-02 2023-05-09 (주)에스티아이 기판 클램핑 유닛과 이를 포함하는 기판 파지 트레이
CN118102589A (zh) * 2022-11-25 2024-05-28 (株)太星 基板载具夹具

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20210069222A (ko) 처짐 방지 기능을 갖는 박막필름 이송용 지그
US6626476B1 (en) Robotic gripper apparatus
JP2014080645A (ja) 基板保持装置
KR950031518A (ko) 스크린 프린터, 스크린 프린팅 방법, 이 스크린 프린팅 방법을 사용한 화상 형성 장치 제조 방법, 및 이 장치 제조 방법을 사용하여 제조된 화상 형성 장치
KR101525661B1 (ko) 반송 지그에 플렉시블 기판을 장착하는 장치
CN114007334B (zh) 一种pcb电路板定位支撑组件及其使用方法
JP2008155557A (ja) 印刷方法および印刷装置
KR102164883B1 (ko) 기판 전개형 수직 도금장치
US6131895A (en) Holding device for holding a printed circuit panel
JP7255078B2 (ja) クランプ機構及び当該クランプ機構を備える基板保持装置
KR20200075502A (ko) 웨이퍼 크기 확장 장치 및 이를 포함하는 웨이퍼 정렬 장치
JP2002018753A (ja) ウエハーハンドリングロボットのティーチング装置および方法
US20180131133A1 (en) Press tool and electronic product detecting apparatus
KR102000988B1 (ko) 박막필름 이송장치
KR102371478B1 (ko) 도금용 클램프
JP2009298570A (ja) 板材の位置決め装置
KR20170125583A (ko) 클램핑 장치 및 구동방법
JP6575471B2 (ja) 平角コイルの皮膜剥離方法
JPH0774500A (ja) 基板バックアップ装置
JPH11785A (ja) レーザー加工機の被加工物位置決め装置
JP2913280B2 (ja) プリント配線基板材の保持装置
KR101395570B1 (ko) 기판공급장치
KR200383503Y1 (ko) 마스크 파지용 홀더
KR20090055977A (ko) 기판 이송 장치
CN112934583B (zh) 具有薄板导引功能的涂布装置

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20191203

PA0201 Request for examination
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20210318

Patent event code: PE09021S01D

E601 Decision to refuse application
PE0601 Decision on rejection of patent

Patent event date: 20210527

Comment text: Decision to Refuse Application

Patent event code: PE06012S01D

Patent event date: 20210318

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event code: PE06011S01I

PG1501 Laying open of application