KR200383503Y1 - 마스크 파지용 홀더 - Google Patents

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KR200383503Y1
KR200383503Y1 KR20-2005-0004678U KR20050004678U KR200383503Y1 KR 200383503 Y1 KR200383503 Y1 KR 200383503Y1 KR 20050004678 U KR20050004678 U KR 20050004678U KR 200383503 Y1 KR200383503 Y1 KR 200383503Y1
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이상근
양희선
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이상근
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Abstract

마스크의 사이즈(size)에 관계없이 호환 가능하게 마스크를 파지하여 운반 이송할 수 있고, 운반 중 파지력(把持力)을 그대로 유지할 수 있으며, 마스크의 놓여진 상태에 관계없이 어느 방향에서나 사용할 수 있는 마스크 파지용 홀더가 개시되어 있다. 본 고안에 따른 마스크 파지용 홀더는 일단 회동가능하게 장착되는 핸들스위치를 갖는 핸들; 핸들의 일단면 일측에서 핸들스위치에 체결되어 회동되는 제 1 회동바아 및 제 1 회동바아에 일체로 형성되면서 제 1 클램프블록이 장착된 제 2 회동바아를 갖는 회동클램프; 핸들의 일단면 타측에 지지고정되는 길이조절수단; 및 길이조절수단에 의해서 슬라이딩 되어 마스크의 폭에 따라서 신축되는 제 1 이동바아 및 제 1 이동바아에 일체로 형성되면서 제 2 클램프블록이 장착된 제 2 이동바아를 갖는 이동클램프를 포함한다.

Description

마스크 파지용 홀더{Holder for clamping mask}
본 고안은 반도체 제조공정 중에 제조되는 마스크(mask)를 이송하는 마스크 파지용 홀더에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 마스크의 사이즈(size)에 관계없이 호환 가능하게 마스크를 파지하여 운반 이송할 수 있고, 운반 중 파지력(把持力)을 그대로 유지할 수 있으며, 마스크의 놓여진 상태에 관계없이 어느 방향에서나 사용할 수 있는 마스크 파지용 홀더에 관한 것이다.
현재의 반도체 장치에 대한 연구는 보다 많은 데이터를 단시간 내에 처리하기 위하여 고집적 및 고성능을 추구하는 방향으로 진행되고 있다. 반도체 장치의 고집적화 및 고성능화를 이루기 위해서는 웨이퍼 상에 박막 패턴을 정확하게 형성하는 박막 가공 기술이 중요하다.
웨이퍼 상에 형성되는 패턴들은 박막을 형성하는 기술에 의해서 그 특성이 좌우된다. 웨이퍼 상에 박막을 형성하는 기술은 크게 물리 기상 증착(PVD) 방법과 화학 기상 증착(CVD) 방법으로 분류될 수 있다.
여기서 화학 기상 증착 방법은, 소스 물질의 화학 반응을 이용하여 웨이퍼 상에 단결정의 반도체막이나 절연막 등을 형성한다. 이러한 화학 기상 증착 방법은, 현재 웨이퍼 상에 아몰퍼스 실리콘 막, 실리콘 산화물 막, 실리콘 질화물 막 또는 실리콘 산질화물 막 등과 같은 다양한 박막들을 증착하기 위해 이용되고 있다. 전술한 박막들은 리소그래피(lithography) 공정을 거쳐, 웨이퍼 상에 라인(line), 스페이스(space), 콘택 홀(contact hole) 또는 패턴(pattern) 등과 같은 미세 구조물로 형성된다.
리소그래피 공정에서 있어서는, 미리 결정된 일련의 연속 공정에 따라 일련의 마스크(mark)들이 사용된다. 각각의 마스크들은 웨이퍼 상에 형성되는 회로 성분에 대응하는 복잡한 패턴들을 포함한다. 이러한 마스크들은 웨이퍼 상의 절연막 또는 도전막 등과 같은 박막 상에 미리 도포되어 있는 포토레지스트 막을 패터닝하여 포토레지스트 패턴을 형성하는데 이용된다.
전술한 마스크(mark)들은 다양한 사이즈(size) 즉, 다양한 두께 및 다양한 폭으로 제조되고, 제조된 후 연속된 다음 공정으로 이송되기 위해서는 작업자들에 의해서 운반 이송되는데, 이를 위해서 마스크의 양단을 파지하는 통상의 집게형상의 홀더가 사용된다.
그런데, 종래의 마스크 파지용 홀더는 미리 정해진 사이즈(size)의 마스크(mask)만을 파지 이송하기 때문에 각각의 마스크 사이즈에 맞추어 홀더를 별도로 구비하여야 하는 문제점이 있었다.
또한, 마스크를 파지한 홀더 자체에 파지력을 유지하는 안전장치가 없어 작업자가 운반하는 도중에 마스크를 떨어뜨리는 문제점이 있었다.
본 고안은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 고안의 목적은 마스크의 사이즈(size)에 관계없이 호환 가능하게 마스크를 파지하여 운반 이송할 수 있고, 운반 중 파지력(把持力)을 그대로 유지할 수 있으며, 마스크의 놓여진 상태에 관계없이 어느 방향에서나 사용할 수 있는 마스크 파지용 홀더를 제공하는데 있다.
상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위해서 본 고안은,
일단 회동가능하게 장착되는 핸들스위치를 갖는 핸들;
핸들의 일단면 일측에서 핸들스위치에 체결되어 회동되는 제 1 회동바아 및 제 1 회동바아에 일체로 형성되면서 제 1 클램프블록이 장착된 제 2 회동바아를 갖는 회동클램프;
핸들의 일단면 타측에 지지고정되는 길이조절수단; 및
길이조절수단에 의해서 슬라이딩 되어 마스크의 폭에 따라서 신축되는 제 1 이동바아 및 제 1 이동바아에 일체로 형성되면서 제 2 클램프블록이 장착된 제 2 이동바아를 갖는 이동클램프를 포함하는 마스크 파지용 홀더를 제공한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 따르면, 마스크의 사이즈(size)에 관계없이 호환 가능하게 마스크를 파지하여 운반 이송할 수 있고, 운반 중 파지력(把持力)을 그대로 유지할 수 있으며, 마스크의 놓여진 상태에 관계없이 어느 방향에서나 사용할 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 고안의 바람직한 일 실시예에 따른 마스크 파지용 홀더에 대해 설명한다.
도 1은 본 고안에 따른 마스크 파지용 홀더를 나타낸 평면을 나타낸 도면이며, 그리고 도 2는 도 1에 도시된 홀더의 측면을 나타낸 도면이다. 도 1 및 2를 참조하면, 본 고안에 따른 마스크 파지용 홀더(100)는 핸들(110)과, 핸들(110)에 회동가능하게 지지되는 회동클램프(120)와, 마찬가지로 핸들(110)에 지지되는 길이조절수단(130)과, 길이조절수단(130)에 의해서 슬라이딩 되어 마스크(mask; M)의 폭에 따라서 신축(伸縮)되는 이동클램프(160)를 구비한다.
핸들(110)은 일단에 배치되는 핸들샤프트(112)와, 핸들샤프트(112)에 회동가능하게 장착되는 핸들스위치(114)를 구비한다. 핸들샤프트(112)에는 비틀림스프링(torsion spring; 116)이 배치되는데, 비틀림스프링(116)은 일단이 핸들(110)에 지지되고 타단이 핸들스위치(114)에 지지되어 핸들스위치(114)를 탄성 지지한다.
회동클램프(120)는 제 1 회동바아(122)와, 제 1 회동바아(122)의 타단에 일체로 형성되는 제 2 회동바아(124)를 구비한다. 제 1 회동바아(122)는 핸들(110)의 일단면 일측에서 핸들(110)이 길이방향에 대하여 수직하게 배치된다. 즉, 제 1 회동바아(122)의 일단은 핸들(110)의 일단면 중심부를 기준으로 핸들스위치(114) 측으로 배치되어 핸들스위치(114)와 제 1 체결나사(126)로 결합되고 제 1 회동바아(122)의 타단은 핸들(110)의 외측으로 연장된다. 제 2 회동바아(124)는 제 1 회동바아(122)의 타단에서 수직하게 절곡되어 핸들(110)에 멀어지게 연장된다. 이러한 제 2 회동바아(124)의 연장단부에는 마스크(M)를 파지하는 제 1 클램프블록(128)이 장착된다. 바람직하게는 핸들스위치(114)와 결합된 제 1 회동바아(122) 및 제 2 회동바아(124)는 비틀림스프링(116)에 의해서 핸들(110)의 중심부 측으로 기울어지게 배치된다.
길이조절수단(130)은 바아브라켓(132) 및 바아브라켓(132)의 일측에 배치되는 조절하우징(134) 및 조절하우징(134)을 바아브라켓(132)에 고정시키는 조절나사샤프트(136)를 구비한다. 바아브라켓(132)은 핸들(110)의 일단면 타측에서 핸들(110)의 길이방향에 대하여 수직하게 배치된다. 즉, 바아브라켓(132)과 제 1 회동바아(122)는 서로 대척(對蹠)의 위치에 설치된다.
바아브라켓(132)은 일단이 핸들(110)의 일단면 중심부를 기준으로 핸들스위치(114)에 대향되게 배치되면서 핸들(110)과 제 2 체결나사(138)로 결합되고 바아브라켓(132)의 타단은 핸들(110)의 외측으로 연장된다. 바아브라켓(132)은 내부에는 슬라이딩공(140)이 형성되고, 바아브라켓(132)의 일측면 상에는 슬라이딩공(140)과 연통하는 가이드공(142)이 형성되는데, 슬라이드공(140)은 바아브라켓(132)의 타단면 상에서 바아브라켓(132)의 일단면 까지 관통되며, 가이드공(142)은 바아브라켓(132)의 타단면에 인접한 위치에서 바아브라켓(132)의 일단면에 인접한 위치까지 형성된다(도 3참조). 이때, 가이드공(142)의 양단에는 가이드공(142)의 폭의 길이보다 큰 길이의 직경을 가지는 위치결정홈(144)이 형성된다.
조절하우징(134)은 어느 하나의 위치결정홈(144)에 그 하부가 끼워진다. 조절하우징(134)의 내부에는 스프링안착공(146)이 상부면에서부터 하부면에 인접 위치까지 형성되고, 조절하우징(134)의 하부면에서는 스프링안착공(146)과 연통하는 관통공(148)이 형성된다. 관통공(148)은 스프링안착공(146)의 직경보다 작은 직경을 가진다. 한편 조절나사샤프트(136)는 조절하우징(134)의 스프링안착공(146), 관통공(148) 및 가이드공(142)을 관통하여 슬라이딩공(140)까지 연장된다. 이때, 조절나사샤프트(136)의 머리부와 스프링안착공(146) 사이에는 압축스프링(150)이 배치된다.
한편, 이동클램프(160)는 제 1 이동바아(162)와, 제 1 이동바아(162)의 타단에서 일체로 형성되는 제 2 이동바아(164)를 구비한다. 제 1 이동바아(162)는 슬라이드공(140)을 따라서 안내된다. 이에 따라 제 1 이동바아(162)는 핸들(110)의 길이방향에 대하여 수직하게 배치된다. 이러한 제 1 이동바아(162)의 일단에는 조정나사샤프트(136)가 체결될 수 있도록 나사공(166)이 형성된다. 제 2 이동바아(164)는 제 1 이동바아(164)의 타단에서 수직하게 절곡되어 제 2 회동바아(124)와 마찬가지로 핸들(110)에서 멀어지게 연장된다. 이러한 제 2 이동바아(164)의 연장단부에는 마스크(M)를 파지하는 제 2 클램프블록(168)이 제 1 클램프블록(128)과 마주보도록 장착된다.
바람직하게는, 제 1 클램프블록(128)과 제 2 클램프블록(168)의 마주보는 면상에는 중앙부분에서부터 외측으로 넓어지는 계단 형상의 제 1 클램프홈(128a) 및 제 2 클램프홈(168a)이 형성되어 다양한 두께로 제조된 마스크(M)를 파지할 수 있다.
더욱 바람직하게는 핸들스위치(114)의 중앙부분에는 상부가 힌지 결합되고 하부가 핸들(110)에 밀착되는 대략 “U”자 형상의 안전대(170)가 장착되는데, 안전대(170)는 상기 제 2 회동바아(124) 및 제 2 이동바아(164) 사이에 마스크(M)가 파지된 상태 하에서 핸들스위치(114)의 압력을 해지하여도 제 2 회동바아(124) 및 제 2 이동바아(164)에 작용하는 파지력을 그대로 유지시킨다.
하기에는 전술한 바와 같이 형성된 마스크 파지용 홀더(100)의 작동상태를 간략하게 설명한다.
일반적으로 제조되는 마스크(M)는 두 종류(152 ×152 ×6.35T와 126.7 × 126.7 ×2.4T)의 사이즈로 제작된다. 도 3 및 4는 도 1에 도시된 홀더의 사용상태를 나타낸 도면이다. 도 3 및 4를 참조하면, 우선 비교적 작은 사이즈의 마스크(M)를 파지하기 위해서는 도 1에 도시된 바와 같이 조절하우징(134)을 핸들(110)에 인접한 위치결정홈(144)에 배치시킨다. 이러한 상태 하에서 작업자는 핸들(110)을 파지한 상태 하에서 엄지손가락을 이용하여 핸들스위치(114)를 압축한다. 이때, 압축 회동되는 핸들스위치(114)에 위해서 회동클램프(120)는 이동클램프(160)의 반대 측으로 벌어지게 된다. 이때, 작업자는 제 1 클램프블록(128) 및 제 2 클램프블록(168) 사이에 마스크(M)를 배치시킨 후, 핸들스위치(114)의 압축을 해지하면 회동클램프(120)의 제 1 클램프블록(128) 및 이동클램프(160)의 제 2 클램프블록(168)은 마스크(M)의 양단에 밀착되고, 그 결과 마스크(M)의 양단은 제 1 클램프홈(128a) 및 제 2 클램프홈(168a)에 끼워진다. 이렇게 마스크(M)가 파지되면, 다음 제조공정을 위해서 마스크(M)를 이동시킨다.
한편, 비교적 넓은 사이즈의 마스크(M)를 파지하기 위해서는 우선, 조절하우징(134)을 도 4a에 도시된 위치결정홈(144)에서 이탈시킨 상태 하에서 핸들(110)과 먼 또 다른 위치결정홈(144)에 삽입시킨다. 그 결과, 이동클램프(160)는 조절하우징(134)을 따라서 신축된다. 이렇게 이동클램프(160)가 신축되면 상기한 방법과 동일하게 비교적 넓은 사이즈의 마스크(M)를 파지한다. 이러한 상태 하에서 안전대(170)를 회동시켜 안전대(170)가 하부가 핸들(110)에 밀착되면, 마스크(M)를 파지하고 있는 제 2 회동바아(124) 및 제 2 이동바아(164)는 수평을 유지하게 되어 핸들스위치(114)의 압력을 해지하여도 제 2 회동바아(124) 및 제 2 이동바아(164)에 작용하는 파지력을 그대로 유지할 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 고안에 따른 마스크 파지용 홀더(100)는 길이조절수단(130)에 의해서 이동클램프(160)의 신축이 가능하여 다양한 사이즈의 마스크(M)를 파지할 수 있는 잇점이 있다.
또한 핸들스위치(114)에 안전대(170)를 구비함으로써, 마스크(M)를 파지한 홀더(100)의 파지력을 유지할 수 있는 잇점이 있다.
상기에서는 본 고안의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술 분야의 숙련된 당업자는 실용신안등록청구범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 고안에 따른 마스크 파지용 홀더를 나타낸 평면을 나타낸 도면이고,
도 2는 도 1에 도시된 홀더의 측면을 나타낸 도면이며, 그리고
도 3 및 4는 도 1에 도시된 홀더의 사용상태를 나타낸 도면이다.
<도면의주요부분에대한부호의설명>
100 : 마스크 파지용 홀더 110 : 핸들
112 : 핸들샤프트 114 : 핸들스위치
120 : 회동클램프 122 : 제 1 회동바아
124 : 제 2 회동바아 128 : 제 1 클램프블록
130 : 길이조절수단 132 : 바아브라켓
134 : 조절하우징 136 : 조절나사샤프트
140 : 슬라이딩공 142 : 가이드공
144 : 위치결정홈 160 : 이동클램프
162 : 제 1 이동클램프 164 : 제 2 이동클램프
168 : 제 2 클램프블록 170 : 안전대

Claims (9)

  1. 일단 회동가능하게 장착되는 핸들스위치를 갖는 핸들;
    상기 핸들의 일단면 일측에서 상기 핸들스위치에 체결되어 회동되는 제 1 회동바아 및 상기 제 1 회동바아에 일체로 형성되면서 제 1 클램프블록이 장착된 제 2 회동바아를 갖는 회동클램프;
    상기 핸들의 일단면 타측에 지지고정되는 길이조절수단; 및
    상기 길이조절수단에 의해서 슬라이딩 되어 마스크의 폭에 따라서 신축되는 제 1 이동바아 및 상기 제 1 이동바아에 일체로 형성되면서 제 2 클램프블록이 장착된 제 2 이동바아를 갖는 이동클램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 파지용 홀더.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 핸들스위치는 상기 핸들의 일단에 배치되는 핸들샤프트에 회동가능하게 장착되고, 상기 핸들샤프트에는 일단이 상기 핸들에 지지되고 타단은 상기 핸들스위치에 지지되어 상기 핸들스위치를 탄성 지지하는 비틀림스프링이 장착되는 것을 특징으로 하는 마스크 파지용 홀더.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 회동바아의 일단은 상기 핸들의 일단면 중심부를 기준으로 상기 핸들스위치 측으로 배치되어 상기 핸들스위치와 제 1 체결나사로 결합되면서 타단은 상기 핸들의 길이방향에 대하여 수직하게 연장되고, 상기 제 2 회동바아는 상기 제 1 회동바아의 타단에서 수직하게 절곡되어 상기 핸들에 멀어지게 연장되고 연장단부에는 상기 마스크를 파지하는 상기 제 1 클램프블록이 장착되는 것을 특징으로 하는 마스크 파지용 홀더.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 핸들스위치와 결합된 상기 제 1 회동바아 및 상기 제 2 회동바아는 상기 비틀림스프링에 의해서 상기 핸들의 중심부 측으로 기울어지게 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 파지용 홀더.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 길이조절수단은 핸들의 일단면 타측에서 상기 핸들의 길이방향에 대하여 수직하게 배치되는 바아브라켓과, 상기 바아브라켓의 일측에 배치되는 조절하우징과, 상기 조절하우징을 상기 바아브라켓에 고정시키는 조절나사샤프트를 구비하며, 상기 바아브라켓은 일단이 상기 핸들과 제 2 체결나사로 결합되고 내부에는 슬라이딩공이 상기 바아브라켓의 타단면에서 일단면 까지 관통형성되고 일측면에는 상기 슬라이딩공과 연통하는 가이드공이 마찬가지로 상기 바아브라켓의 타단면에 인접한 위치에서 상기 바아브라켓의 일단면에 인접한 위치까지 형성되고 상기 가이드공의 양단에는 상기 조절하우징의 하부가 선택적으로 끼워지는 위치결정홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 파지용 홀더.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 조절하우징은 내부에 스프링안착공이 상기 조절하우징의 상부면에서부터 하부면에 인접위치까지 형성되고 상기 조절하우징의 하부면에는 상기 스프링안착공과 연통하는 관통공이 형성되며, 상기 조절나사샤프트는 상기 스프링안착공 상기 관통공 및 상기 가이드공을 관통하여 상기 슬라이드공 까지 연장되고, 상기 조절나사샤프트의 머리부와 상기 스프링안착공 사이에는 압축스프링이 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 파지용 홀더.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 제 1 이동바아는 상기 핸들의 길이방향에 대하여 수직하게 배치되면서 상기 슬라이딩공을 따라 안내되면서 일단에는 상기 조절나사샤프트가 체결되는 나사공이 형성되고, 상기 제 2 이동바아는 상기 제 1 이동바아의 타단에서 수직하게 절곡되어 상기 핸들에서 멀어지게 연장되고 연장단부에는 상기 제 2 클램프블록이 장착되는 것을 특징으로 하는 마스크 파지용 홀더.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 클램프블록 및 상기 제 2 클램프블록의 마주보는 면상에는 중앙부분에서부터 외측으로 넓어지는 계단 형상의 제 1 클램프홈 및 제 2 클램프홈이 각각 형성되어 다양한 두께로 제조된 상기 마스크를 파지하는 것을 특징으로 하는 마스크 파지용 홀더.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 핸들스위치의 중앙부분에는 상부가 힌지 결합되고 하부가 선택적으로 회동하여 상기 핸들에 밀착되는 대략 “U”자 형상의 안전대가 장착되는데, 상기 안전대는 상기 제 2 회동바아 및 상기 제 2 이동바아 사이에 상기 마스크가 파지된 상태 하에서 상기 핸들스위치의 압력을 해지하여도 상기 제 2 회동바아 및 상기 제 2 이동바아에 작용하는 파지력을 그대로 유지하여는 것을 특징으로 하는 마스크 파지용 홀더.
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CN108237130A (zh) * 2016-12-26 2018-07-03 北京北方华创微电子装备有限公司 一种自动夹取装置

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