JP2003273187A5 - 薄板材の移載方法、装置及び薄板材の測定装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造用ウェハや磁気ディスク用基板等の薄板材の移載方法、装置及び薄板材の測定装置に関するものである。

【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明の薄板材の移載方法は、薄板材を移載アームに把持し、前記薄板材を前記移載アームに把持する際の前記薄板材の面の法線ベクトルと前記薄板材を前記移載アームから保持部に受け渡す際の前記薄板材の面の法線ベクトルとのベクトルの和の方向の軸を中心に前記移載アームを旋回させて前記薄板材の姿勢を変え、前記移載アームから前記保持部に前記薄板材を受け渡すことを特徴とする。本発明は、薄板材をその姿勢を変えて、移載アームから保持部に移載する薄板材の移載方法において、薄板材の移載前の面と移載後の面の各面の法線ベクトルの和の方向の軸を中心に薄板材を把持する移載アームを旋回させて薄板材の姿勢を変えるものであり、この方法により移載アーム等の可動部が薄板材の上面を通らずに姿勢変更させて移載することが可能となり、クリーン度が要求される薄板材上にごみ等を落下せずに移載することができる。

上記発明において、薄板材の取り付け、取り外しを行う２本の移載アームを用いると、移載先からの薄板材の受け取りと、移載先への薄板材の移載を効率的に行うことができる。

また上記発明において、移載アームに設けた位置決め用の当て面と、保持部に設けた位置決め用の当て面とを接触させ、前記移載アームに前記保持部から遠ざかる方向の弾性付勢力を加えながら前記移載アームを前記保持部に向けて移動させ、前記保持部に前記薄板材を移載するように構成すると好適である。より具体的には、移載アームの３箇所以上の把持爪により薄板材の周縁部を把持して薄板材を保持部に移動し、移載アームの各把持爪を保持部の３箇所以上の保持爪に近接させ、薄板材を移載アームの把持爪から保持部の保持爪に移載する薄板材の移載方法において、移載アームに各把持爪と一体に移動するように設けた位置決め用の第１の当て面が、保持部に第１の当て面に対応して設けた位置決め用の第２の当て面と近接して対向するように移載アームを移動し、把持爪を弾性付勢力にて徐々に移動させて第１の当て面を第２の当て面に接触させた状態で薄板材を移載すると好適である。このように構成すると、装置の振動や長期にわたる使用等により移載アームに位置ずれが生じても、複雑で高価な制御機構なしで、移載アームの把持爪と保持部の保持爪の接触を避けつつ、薄板材を確実に移載場所の保持爪に移載することができる。

また上記発明において、移載アームの３箇所以上の把持爪により薄板材の周縁部を保持して保持部に移動し、保持部において薄板材の周縁部を３箇所以上の保持爪にて保持する薄板材の移載方法において、保持爪の外周にＶ字型の保持溝を同心円状に形成し、この同心円状のＶ字型溝の中心とずらせた位置の回りに保持爪の回転方向の位置を合わせることにより薄板材の位置を調整するように構成すると好適である。このように構成すると取付位置調整の微妙な保持爪が長期にわたる使用で摩耗した場合などに、回転方向の位置合わせをすることで容易に位置合わせすることができ、メンテンナンスが容易となる。

本発明の薄板材の移載装置は、薄板材を把持する移載アームと、前記薄板材を前記移載アームに把持する位置における前記薄板材の面の法線ベクトルと保持部における前記薄板材の面の法線ベクトルとの和の方向の軸を中心に前記移載アームを旋回させる旋回部と、前記移載アームから前記薄板材を受け渡されて保持する保持部とを備えたことを特徴とする。本発明によれば薄板材をその姿勢を変えて移載する薄板材の移載装置において、薄板材の移載前の面と移載後の面の各面の法線ベクトルの和の方向の軸を中心に旋回可能に薄板材を把持する移載アームを構成したものであるので、上記発明の薄板材の移載方法を好適に実施することができる。

上記発明において好適には、薄板材の取り付け、取り外しを行うための２本の移載アームを備える。

上記発明において、移載アームに設けられた位置決め用の当て面と、前記保持部に設けられた位置決め用の当て面と、前記移載アームを移動させる移動機構と、前記移載アームに前記保持部から遠ざかる方向に弾性付勢力を加える機構とを備えるように構成すると好適である。より具体的には３箇所以上の把持爪により薄板材の周縁部を把持して所定の移載場所に移動する移載アームと、薄板材の周縁部を３箇所以上の保持爪により保持する保持部とを備え、移載アームの各把持爪を保持部の保持爪に近接させた状態で薄板材を移載アームの把持爪から保持部の保持爪に移載するようにした薄板材の移載装置において、移載アームに各把持爪と一体に移動する位置決め用の第１の当て面を設け、保持部に第１の当て面に対応して位置決め用の第２の当て面を設け、かつ移載アームに、各把持爪を薄板材の厚さ方向に適当距離だけ移動付勢するばね機構と各把持爪を固定状態と可動状態に切り換えるアクチュエータとを設けた構成とすると、好適である。

また上記発明において、移載アームの３箇所以上の把持爪により薄板材の周縁部を保持して保持部に移動する移載手段と、保持部において薄板材の周縁部を３箇所以上の保持爪にて保持する保持手段とを備えた薄板材の移載装置において、保持爪の外周にＶ字型の保持溝を同心円状に形成し、この同心円状のＶ字型溝の中心とずらせた位置に保持爪の取付穴を設け、保持爪の回転方向の位置を合わせる手段を設けた構成とすると好適である。

本発明の薄板材の測定装置は、薄板材を把持する移載アームと、前記薄板材を前記移載アームに把持する位置における前記薄板材の面の法線ベクトルと保持部における前記薄板材の面の法線ベクトルとの和の方向の軸を中心に前記移載アームを旋回させる旋回部と、前記移載アームから前記薄板材を受け渡されて保持する保持部と、前記薄板材の物理特性を測定する測定部とを備えたことを特徴とする。

次に、本体ユニット１のスピンドル８を、移載アーム２２からウェハ７を受け渡されて保持する保持部とし、このスピンドル８に移載アーム２２によりウェハ７を移載するための構造について説明する。

Claims (7)

1. 薄板材を移載アームに把持し、前記薄板材を前記移載アームに把持する際の前記薄板材の面の法線ベクトルと前記薄板材を前記移載アームから保持部に受け渡す際の前記薄板材の面の法線ベクトルとのベクトルの和の方向の軸を中心に前記移載アームを旋回させて前記薄板材の姿勢を変え、前記移載アームから前記保持部に前記薄板材を受け渡すことを特徴とする薄板材の移載方法。
2. 移載アームに設けた位置決め用の当て面と、保持部に設けた位置決め用の当て面とを接触させ、前記移載アームに前記保持部から遠ざかる方向の弾性付勢力を加えながら前記移載アームを前記保持部に向けて移動させ、前記保持部に前記薄板材を移載することを特徴とする請求項１記載の薄板材の移載方法。
3. 薄板材を把持する移載アームと、前記薄板材を前記移載アームに把持する位置における前記薄板材の面の法線ベクトルと保持部における前記薄板材の面の法線ベクトルとの和の方向の軸を中心に前記移載アームを旋回させる旋回部と、前記移載アームから前記薄板材を受け渡されて保持する保持部とを備えたことを特徴とする薄板材の移載装置。
4. 移載アームに設けられた位置決め用の当て面と、前記保持部に設けられた位置決め用の当て面と、前記移載アームを移動させる移動機構と、前記移載アームに前記保持部から遠ざかる方向に弾性付勢力を加える機構とを備えたことを特徴とする請求項３記載の薄板材の移載装置。
5. 前記保持部に、薄板材の肉厚方向のあおり位置を検出するセンサと半径方向位置を検出するセンサとを備えたことを特徴とする請求項３または４記載の薄板材の移載装置。
6. 保持部に円形の保持爪を供え、前記保持爪は、外周にＶ字型の保持溝を有し、前記保持爪の中心とずれた位置を前記保持爪の回転中心として取り付けられたことを特徴とする請求項３から５のいずれか一項に記載の薄板材の移載装置。
7. 薄板材を把持する移載アームと、前記薄板材を前記移載アームに把持する位置における前記薄板材の面の法線ベクトルと保持部における前記薄板材の面の法線ベクトルとの和の方向の軸を中心に前記移載アームを旋回させる旋回部と、前記移載アームから前記薄板材を受け渡されて保持する保持部と、前記薄板材の物理特性を測定する測定部とを備えたことを特徴とする薄板材の測定装置。