CN111816603A - 一种基板承载装置及检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及基板检测技术领域，公开了一种基板承载装置及检测装置。所述基板承载装置，包括腔体、安装板及载台，所述腔体的顶部设置有开口；所述安装板设置在所述腔体内部；所述载台用于夹持基板，所述载台与所述安装板转动配合，所述载台能够选择性地翻转至水平姿态并至少部分从所述开口处凸出于所述腔体，或者翻转至竖直姿态并完全容纳于所述腔体内。本发明的基板承载装置，结构简单且能够方便地、精确地与机械手交接基板，并在基板竖直姿态进行测量。本发明的检测装置，包括上述的基板承载装置，且通过基板承载装置能够方便地、精确地与机械手交接基板。

Description

一种基板承载装置及检测装置

技术领域

本发明涉及基板检测技术领域，尤其涉及一种基板承载装置及检测装置。

背景技术

为了基于基板加工形成目标产品，需要预先获取基板的表面形貌信息。基于该表面形貌信息在基板上完成预设工艺，最终获得目标产品。

以基板为晶圆为例，在晶圆生产或芯片制程中，晶圆常常会产生形貌变化，例如，在镀膜、蚀刻、化学机械研磨或热处理等工艺中，均可能引起晶圆的表面形貌变化，如果在光刻等工艺中未能知悉这种形貌变化，则无法根据形貌变化情况进行适应性调整，晶圆的表面形貌变化将不利于准确完成预设工艺。

以光刻工艺为例，需要预先获取晶圆的表面形貌等参数，并将掩膜版上图案光刻至该晶圆上。然而，由于晶圆可能产生表面形貌变化，故预先获取的表面形貌信息与晶圆的实际表面形貌有偏差，可能会导致光刻设备中的投影物镜聚焦模糊，严重时会造成离焦，若产生离焦则会影响产品的良率，因此，有必要对晶圆的表面形貌进行测量。可以采用检测装置测量晶圆的表面形貌，以获取晶圆的实际表面形貌，基于晶圆的实际表面形貌，既可以适应调整光刻工艺以避免产生离焦，又可以进行光刻前馈控制，进而提高套刻精度。

在对基板的表面形貌进行测量时，在现有技术中，采用机械手带动基板运动至测量工位。以基板为晶圆为例，如果在测量工位以水平姿态对晶圆进行测量，则晶圆的中间区域在重力的作用下会发生局部形貌变化，由于重力影响使得晶圆产生了额外的形貌变化，对测量结果造成干扰。因此，为了降低重力对基板的表面形貌的影响，在测试工位处可以以竖直姿态固定晶圆，并对晶圆进行测量。

现有技术中，为了实现将基板以竖直的姿态进行固定，以基板为晶圆为例，机械手将晶圆从片盒中取出并翻转至竖直的姿态，并将其运输至测量工位，此时机械手直接作为测试时的支撑臂，以进行测量。一方面，机械手不易实现稳定地锁死在特定姿态，若发生晃动会影响测量精度，另一方面，机械手难以保证每次都能到达完全相同的测量工位，重复性差。

因此，亟需发明一种基板承载装置及检测装置来解决上述问题。

发明内容

本发明的第一个目的在于提出一种基板承载装置，其能够方便地、精确地与机械手交接基板。

本发明的第二个目的在于提出一种检测装置，其通过采用基板承载装置能够方便、精确地与机械手交接基板。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种基板承载装置，包括：

腔体，所述腔体的顶部设置有开口；

安装板，设置在所述腔体内部；

载台，用于夹持基板，所述载台与所述安装板转动配合，所述载台能够选择性地翻转至水平姿态并至少部分从所述开口处凸出于所述腔体，或者翻转至竖直姿态并完全容纳于所述腔体内。

可选地，所述基板承载装置还包括用于驱动所述载台翻转的第一直线驱动源，所述第一直线驱动源与所述安装板铰接，所述第一直线驱动源的输出端与所述载台铰接；或

所述基板承载装置还包括用于驱动所述载台翻转的旋转驱动源，所述旋转驱动源固定连接于所述安装板，且其输出端与所述载台相连接。

可选地，所述载台包括：

载台本体，其用于承载所述基板并与所述安装板转动配合，所述载台本体上设置有第一避让孔，所述第一避让孔被配置为露出所述基板的待测量部位；

夹持机构，连接于所述载台本体并设置在所述第一避让孔周围，用于固定所述基板在所述载台本体上的位置。

可选地，所述安装板竖直设置，所述安装板上设置有第二避让孔，所述载台位于竖直姿态时，所述第一避让孔在所述第二避让孔处的投影位于所述第二避让孔的范围内，所述第二避让孔的尺寸不小于所述第一避让孔。

可选地，所述夹持机构包括：

至少三组径向夹持组件，其能够夹持所述基板的周向以将所述基板在其放置平面的位置固定；

轴向夹持组件，其能够沿所述基板的厚度方向将所述基板压紧于所述载台本体上。

可选地，所述基板承载装置还包括：

架体，所述架体设置在所述腔体内部，所述安装板与所述架体滑动配合；

驱动组件，设置在所述架体或所述腔体的内壁上，所述驱动组件的输出端与所述安装板连接，所述驱动组件能够驱动所述安装板在竖直平面内或水平面内相对于所述架体滑动。

可选地，所述驱动组件包括第二直线驱动源，所述第二直线驱动源铰接于所述架体上且输出端与所述安装板铰接。

可选地，所述基板承载装置还包括压紧组件，所述压紧组件设置在所述架体上，所述压紧组件用于将所述载台夹紧于所述架体。

可选地，所述基板承载装置还包括移动门，所述移动门能够选择性地打开或者封堵所述腔体的开口。

一种检测装置，包括上述的基板承载装置。

本发明有益效果为：

本发明的基板承载装置在使用时，空置的载台先翻转至水平姿态，此时载台从腔体的开口处部分(或者完全)凸出于腔体，故机械手抓取水平姿态的基板后，可以直接将基板放置在露出于腔体的载台上，水平的载台固定好基板后，带动基板一起翻转至竖直姿态，并完全容纳于腔体内，此时封闭腔体的开口即可使基板以竖直姿态在封闭的腔体内进行测量。本发明的基板承载装置，机械手将基板交接给载台，无需机械手带动基板运动至测量工位，载台作为测量时的支撑，避免了直接采用机械手作为支撑臂时，无法稳定支撑基板对测量结果的干扰，从而提高测量的准确性，且载台作为测量的支撑还能够增加工件测量的可重复性；机械手在腔体外部与载台交接基板，更易于操作；此外，载台与机械手交接基板时基板以水平的姿态进行，有利于简化载台的夹持结构且降低基板的定位难度。

本发明的检测装置，通过采用基板承载装置能够方便、精确地与机械手交接基板。

附图说明

图1是本发明基板承载装置实施例一提供的载台处于水平姿态时第一视角下的内部结构示意图；

图2是本发明基板承载装置实施例一提供的载台处于水平姿态时第二视角下的内部结构示意图；

图3为本发明基板承载装置实施例一提供的载台处于竖直姿态时第二视角下的内部结构示意图；

图4为本发明基板承载装置实施例一提供的载台的俯视图；

图5为本发明基板承载装置实施例一提供的载台的局部结构示意图；

图6为本发明基板承载装置实施例一提供的径向夹持组件的结构示意图；

图7为本发明基板承载装置实施例一提供的轴向夹持组件的结构示意图；

图8是本发明基板承载装置实施例二提供的载台处于水平姿态时第一视角下的内部结构示意图；

图9是本发明基板承载装置实施例二提供的载台处于水平姿态时第二视角下的内部结构示意图；

图10是本发明基板承载装置实施例二提供的载台处于竖直姿态时第二视角下的内部结构示意图；

图11是本发明基板承载装置实施例二提供的载台处于竖直姿态时第一视角下的内部结构示意图。

图中：

100-基板；

11-腔体；12-移动门；

2-安装板；21-第二避让孔；

3-载台；31-载台本体；32-第一避让孔；33-夹持机构；331-径向夹持组件；3311-推块；3312-传动件；3313-弹性件；3314-抵压件；3315-连接杆；332-轴向夹持组件；3321-支杆；3322-压杆；3323-驱动件；3324-弹性压片；

4-第一直线驱动源；

5-架体；

6-第二直线驱动源；

7-直线导轨；

8-压紧组件。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

现有的基板承载装置，存在以下问题：1)机械手直接夹持的基板进行检查，基板易发生晃动，影响测量精度；2)机械手难以保证每次都能到达完全相同的测量工位，重复性差。针对上述问题，本实施例提供了一种基板承载装置和检测装置。其中，基板承载装置可以用于基板(如晶圆、蓝宝石基板等)的承载。以下实施例均以基板承载装置对圆形的基板(例如为晶圆)进行搬运为例进行示例性说明。

实施例一

图1和图2为载台处于水平姿态时，基板承载装置在第一视角和第二视角下的内部结构示意图，如图1-图2所示，基板承载装置包括腔体11、安装板2及载台3。其中，腔体11的顶部设置有开口，安装板2设置在腔体11内部，载台3用于夹持基板100，且载台3与安装板2转动配合。载台3能够选择性地翻转至水平姿态并至少部分从腔体11的开口处凸出于腔体11，或者翻转至竖直姿态并完全容纳于腔体11内。

本实施例的基板承载装置在使用时，空置的载台3先翻转至水平姿态，此时载台3从腔体11的开口处部分(或者完全)凸出于腔体11，故机械手抓取水平姿态的基板100后，可以直接将基板100放置在露出于腔体11的载台3上，水平的载台3固定好基板100后，带动基板100一起翻转至竖直姿态，并完全容纳于腔体11内，此时封闭腔体11的开口即可使基板100以竖直姿态在封闭的腔体11内进行测量。本实施例的基板承载装置，机械手将基板100交接给载台3，载台3作为测量时的支撑，避免了直接采用机械手作为支撑臂时，无法稳定支撑基板100对测量结果的干扰，从而提高测量的准确性，且载台3作为测量的支撑还能够增加工件测量的可重复性；可以保证机械手在腔体11外部与载台3交接基板100，更易于操作；此外，载台3与机械手交接基板100时基板100以水平的姿态进行，有利于简化载台3的夹持结构且降低基板100的定位难度。

优选地，如图2所示，基板承载装置还包括移动门12，移动门12能够选择性地打开或者封堵腔体11的开口。在需要交接基板100时，移动门12处于打开状态，以使载台3能够从开口处伸出，当基板100交接完毕后，驱动载台3带动基板100向腔体11内翻转，通过移动门12封堵住腔体11的开口，移动门12关闭后，可以避免腔体11外部温度、湿度、粉尘等对基板的测试过程产生的不利影响。可选地，移动门12设置在腔体11的顶部开口处，且移动门12与腔体11的顶板滑动配合，并通过直线气缸、直线油缸或直线电机驱动移动门12打开和关闭。其他实施例中，移动门12还可以与腔体11的顶板铰接配合，可以通过旋转电机驱动移动门12转动以实现开门或关门。

可选地，载台3与安装板2通过转轴实现转动连接。安装板2设置在腔体11内部且位于开口的一侧，安装板2的顶部设置有轴孔，转轴穿设于轴孔并与安装板2转动配合，载台3固定连接于转轴。优选地，安装板2的顶部距离腔体11的顶部具有较小的距离，保证当载台3转动至水平姿态时，能够部分伸出至腔体11外侧，以便于与机械手交接基板100。

优选地，如图1-2所示，基板承载装置还包括用于驱动载台3翻转的第一直线驱动源4，第一直线驱动源4与安装板2铰接，第一直线驱动源4的输出端与载台3铰接。第一直线驱动源4的输出端伸出能够驱动载台3相对于安装板2转动，实现从竖直姿态转动至水平姿态，第一直线驱动源4的输出端缩回，载台3再由水平姿态转动至竖直姿态。通过第一直线驱动源4分别与载台3和安装板2铰接连接，可以方便地实现载台3的翻转动作，且结构简单易实现。

优选地，第一直线驱动源4为两组，两组第一直线驱动源4对称地设置在载台3的两侧。载台3通过两组第一直线驱动源4共同驱动，可以保证翻转过程更为平稳，两组第一直线驱动源4能够提供更快的翻转速度，提高基板承载装置的运载效率。本实施例中，第一直线驱动源4为气缸，两个气缸均通过节流阀控制其进气和出气流量，以保证两组气缸同步运动。可选地第一直线驱动源4也可以为油缸或直线电机。

可选地，驱动载台3实现翻转动作的结构还可以为：基板承载装置还包括旋转驱动源，旋转驱动源固定连接在安装板2上，且输出端与载台3相连接。旋转驱动源输出旋转运动能够带动驱动载台3实现翻转动作。具体地，旋转驱动源可以为旋转电机，也可以为旋转气缸，其他实施例中，旋转驱动源不做具体限定，只要为能够输出旋转运动的部件均可。

为了实现载台3对基板100的固定，如图4所示，其为本实施例中载台的俯视图，载台3包括载台本体31及夹持机构33，载台本体31用于承载基板100并与安装板2转动配合，载台本体31上设置有第一避让孔32，第一避让孔32被配置为露出基板100的待测量部位，夹持机构33设置在载台本体31上且位于第一避让孔32周围，用于固定基板100在载台本体31上的位置。第一避让孔32的设置能够保证基板100的两个侧面都能处于露出的状态，以便于对其两侧的形貌进行测量。

优选地，安装板2竖直设置，且安装板2上设置有第二避让孔21，载台3位于竖直姿态时，第一避让孔32在第二避让孔21处的投影位于第二避让孔21的范围内，第二避让孔21的尺寸不小于第一避让孔32。在一实施例中，第一避让孔32小于第二避让孔21的尺寸，位于竖直状态时，第一避让孔32的中心在第二避让孔21处的投影与第二避让孔21的中心重合；在另一实施例中，第一避让孔32和第二避让孔21的尺寸相同，位于竖直状态时，第一避让孔32在第二避让孔21处的投影与第二避让孔21重合。需要说明的是，第二避让孔21处可以直接形成用于测量基板100的测量工位或者安装板2上的第二避让孔21可以运动至测量工位处。在载台3翻转至竖直姿态时，载台3能够抵靠在安装板2上，安装板2不仅可以对载台3起到支撑作用，保证载台3在竖直姿态时更为稳定，此外，竖直设置的安装板2能够对载台3的转动进行限位，保证载台3更精确地达到竖直姿态并能够使其上的基板100精确地位于测量工位处，而第二避让孔21能够保证基板100靠近安装板2一侧的表面仍能够露出以便于进行测量。

可选地，如图5所示，其为本实施例提供的载台的局部结构示意图，夹持机构33包括轴向夹持组件332及至少三组径向夹持组件331，至少三组径向夹持组件331能够夹持基板100的周向以将基板100在其放置平面的位置固定，轴向夹持组件332能够沿基板100的厚度方向将基板100压紧于载台本体31上。即夹持机构33对基板100的夹持力解耦为沿基板100的厚度方向(即轴向)和垂直于其厚度方向(即径向)两组，分别限位夹持，故径向夹持组件331及轴向夹持组件332均不必施加较大的夹紧力，从而保证基板100本身不会因夹持机构33的夹持而发生变形，保证测量的准确性。

具体地，如图6所示，其为本实施例提供的径向夹持组件的结构示意图，径向夹持组件331包括推块3311、传动件3312、弹性件3313及抵压件3314，其中，推块3311至少部分凸出于载台本体31的承载平面，且与载台本体31活动连接，传动件3312在载台本体31内部与载台本体31转动配合，弹性件3313弹性抵压于载台本体31和传动件3312之间，传动件3312的第一端与推块3311铰接，抵压件3314沿垂直于载台本体31的方向延伸且与载台本体31滑动配合，抵压件3314的一端能够凸出于载台本体31的承载平面，另一端与传动件3312的第二端相抵接。载台本体31上未放置基板100时，在传动件3312通过弹性件3313与载台本体31的弹性抵接的作用下，抵压件3314稳定地凸出于承载平面，当将基板100放置于水平姿态的载台本体31上时，基板100下压抵压件3314，抵压件3314下压传动件3312的第二端，使得传动件3312相对于载台本体31发生转动，传动件3312的第一端带动推块3311压向基板100的周面，三组径向夹持组件331共同将基板100在承载平面内的位置固定住。本实施例中，推块3311与载台本体31通过连接杆3315进行铰接。在本实施例中，弹性件3313为弹簧，且弹性件3313的两端分别与载台本体31和传动件3312的第二端连接。

可选地，如图7所示，其为本实施例提供的轴向夹持组件的结构示意图，轴向夹持组件332包括支杆3321、压杆3322及驱动件3323。其中，支杆3321与载台本体31相连接，压杆3322与支杆3321活动连接，且压杆3322的一端能够沿基板100的厚度方向将基板100压紧于承载平面上，驱动件3323设置在载台本体31上且输出端与压杆3322的另一端活动连接。驱动件3323驱动压杆3322绕支杆3321转动，可以实现压紧基板100或者释放基板100。本实施例中，压杆3322用于下压基板100的一端设置有弹性压片3324，弹性压片3324能够缓冲压杆3322的下压力，避免压杆3322下压基板时损伤基板100的表面。优选地，驱动件3323为单作用复位气缸，其中，单作用复位气缸固定在载台本体31上，且其输出端与压杆3322之间通过柔性铰链铰接。进一步地，轴向夹持组件332的组数与径向夹持组件331的组数相同，且沿基板100的厚度方向，轴向夹持组件332与径向夹持组件331相对设置。

载台3的翻转过程需要一定的空间，若载台3将基板100转动至竖直姿态后的位置即为测量工位，那么测量组件无法设置在距离测量工位较近的位置，如果在测量工位附近设置测量组件，为了实现测量，测量组件需要在载台3转动前先运动到其他位置进行避让，当载台3带着基板100运动到测量工位后，测量组件再返回到测量工位附近进行测量，即每测量一个基板，测量组件均需要进行避让和返回的运动，不仅会导致测量效率低，且如果测量组件为光学测量组件，还会对测量组件的对焦功能产生不利影响。为解决此问题，如图1-3所示，图3为本实施例中载台处于竖直姿态时第二视角下的内部结构示意图，其中基板承载装置还包括架体5和驱动组件，架体5设置在腔体11内部，安装板2与架体5滑动配合，驱动组件设置在架体5上或者腔体11的内壁上，驱动组件的输出端与安装板2连接并能够驱动安装板2在竖直平面内相对于架体5滑动。驱动组件驱动安装板2在竖直平面内滑动，能够带动载台3及其上的基板100以竖直的姿态运动至与测量组件相匹配的测量工位处。

可选地，如图1-3所示，驱动组件包括第二直线驱动源6，第二直线驱动源6铰接于架体5上且输出端与安装板2铰接。第二直线驱动源6通过输出直线运动以实现带动安装板2在竖直平面内运动。而第二直线驱动源6的两端分别与安装板2和架体5铰接，可以在运动过程中产生一定的自由度，避免第二直线驱动源6在运动过程中出现卡死的问题。可选地，第二直线驱动源6可以为气缸，也可以为油缸或直线电机。

本实施例中，如图3所示，第二直线驱动源6将安装板2和载台3沿竖直方向输送至测量工位能够充分利用竖直方向的空间，减小整个基板承载装置的占地面积，第二直线驱动源6可以输出沿竖直方向的直线运动，从而将安装板2、载台3及其上的基板100向下输送至测量工位处。优选地，第二直线驱动源6为两组，两组第二直线驱动源6对称设置在安装板2的两侧，两组第二直线驱动源6共同驱动，可以保证安装板2运动更平稳。

为了进一步保证安装板2运动的平稳性，如图1-3所示，基板承载装置还包括设置于架体5上的直线导轨7，直线导轨7沿竖直方向延伸，安装板2与直线导轨7滑动配合。第二直线驱动源6驱动安装板2沿直线导轨7运动，从而能够保证安装板2精确且平稳地运动至测量工位。

当基板100到达测量工位后，为了保证测量过程中基板100位置不发生晃动，如图3所示，基板承载装置还包括压紧组件8，压紧组件8设置在架体5上，压紧组件8用于将载台3夹紧于架体5上。本实施例中，压紧组件8可以为旋转夹紧气缸。其他实施例中，压紧组件8还可以是铁磁件与电磁铁的配合。其中，载台3上设置有铁磁件，架体5的适当位置设置有电磁铁，当载台3达到准确位置后，电磁铁通电并吸附住载台3上的铁磁件，从而实现载台3的固定。

本实施例还提供了一种检测装置，检测装置包括上述的基板承载装置。检测装置通过基板承载装置能够方便地、精确地与机械手交接基板。检测装置还包括测量组件，测量组件设置在腔体11内，测量组件可以设置在架体5的一侧，当载台3带动基板100运动至测量工位后，测量组件能够对基板100的一侧的形貌进行测量；可选地，测量组件也可以设置在架体5的两侧，当载台3带动基板100运动至测量工位后，测量组件能够同时对基板100两侧的形貌进行测量。本实施例中，测量组件设置在架体5的两侧。测量组件例如为光学测量组件，作为非限制性的实施例，光学测量组件可以使得该检测装置构造为双侧的菲索干涉仪或构造为双侧的剪切力干涉仪。

实施例二

载台3的翻转过程需要一定的空间，若载台3将基板100转动至竖直姿态后的位置即为测量工位，那么测量组件无法设置在距离测量工位较近的位置，如果在测量工位附近设置测量组件，为了实现测量，测量组件需要在载台3转动前先运动到其他位置进行避让，当载台3带着基板100运动到测量工位后，测量组件再返回到测量工位附近进行测量，即每测量一个基板，测量组件均需要进行避让和返回的运动，不仅会导致测量效率低，且如果测量组件为光学测量组件，还会对测量组件的对焦功能产生不利影响。此外，在实际生产中，基板承载装置的实际布局需要与车间内预设的放置空间相匹配，为此，本实施例提供了一种基板承载装置，其与实施例一的不同之处在于：

如图8-11所示，其中，图8和图9为载台处于水平姿态时，基板承载装置在第一视角和第二视角下的内部结构示意图，图10和图11为载台处于竖直姿态时，基板承载装置在第一视角和第二视角下的内部结构示意图，基板承载装置还包括架体5和驱动组件，架体5设置在腔体11内部，安装板2与架体5滑动配合，驱动组件设置在架体5上或者腔体11的内壁上，驱动组件的输出端与安装板2连接并能够驱动安装板2在水平面内相对于架体5滑动。驱动组件驱动安装板2在水平面内滑动，能够带动载台3及其上的基板100以竖直的姿态运动至与测量组件相匹配的测量工位处。本实施例与实施例一相比，能够更充分的利用水平空间，而减少竖直方向空间的使用，以与车间内预设的放置空间相匹配。

具体地，驱动组件包括第二直线驱动源6，第二直线驱动源6可以输出沿水平方向的直线运动，从而能够将安装板2、载台3及其上的基板100以竖直姿态沿水平方向输送测量工位处。可选地，第二直线驱动源6可以为直线气缸，也可以为油缸。

同样地，为了保证安装板2运动的平稳性，如图8-10所示，基板承载装置还包括设置于架体5上的直线导轨7，直线导轨7沿水平方向延伸，安装板2与直线导轨7滑动配合。第二直线驱动源6驱动安装板2沿直线导轨7运动，从而能够保证安装板2精确且平稳地运动至测量工位处。

本实施例基板承载装置的动作过程为：如图8和9所示，移动门12打开，第一直线驱动源4驱动载台3转动至水平姿态并部分凸出于腔体11外部，机械手将基板100以水平姿态放置在载台3上，载台3固定住基板100；接着如图10所示，第一直线驱动源4驱动载台3转动至与安装板2贴合的竖直姿态；最后如图11所示，其为载台处于竖直姿态时第一视角下的内部结构示意图，第二直线驱动源6驱动安装板2、载台3及基板100沿水平方向运动至测量工位处进行测量。

本实施例还提供了一种检测装置，检测装置包括上述的基板承载装置。检测装置通过基板承载装置能够方便地、精确地与机械手交接基板。检测装置还包括测量组件，测量组件设置在腔体11内。可选地，测量组件可以设置在架体5的一侧，当载台3带动基板100运动至测量工位后，测量组件能够对基板100的一侧的形貌进行测量；可选地，测量组件也可以设置在架体5的两侧，当载台3带动基板100运动至测量工位后，测量组件能够同时对基板100两侧的形貌进行测量。本实施例中，测量组件设置在架体5的两侧。测量组件例如为光学测量组件，作为非限制性的实施例，测量组件可以使得该检测装置构造为双侧的菲索干涉仪或构造为双侧的剪切力干涉仪。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定，对于本领域的普通技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种基板承载装置，其特征在于，包括：

腔体(11)，所述腔体(11)的顶部设置有开口；

安装板(2)，设置在所述腔体(11)内部；

载台(3)，用于夹持基板(100)，所述载台(3)与所述安装板(2)转动配合，所述载台(3)能够选择性地翻转至水平姿态并至少部分从所述开口处凸出于所述腔体(11)，或者翻转至竖直姿态并完全容纳于所述腔体(11)内。

2.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述基板承载装置还包括用于驱动所述载台(3)翻转的第一直线驱动源(4)，所述第一直线驱动源(4)与所述安装板(2)铰接，所述第一直线驱动源(4)的输出端与所述载台(3)铰接；或

所述基板承载装置还包括用于驱动所述载台(3)翻转的旋转驱动源，所述旋转驱动源固定连接于所述安装板(2)，且其输出端与所述载台(3)相连接。

3.如权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述载台(3)包括：

载台本体(31)，其用于承载所述基板(100)并与所述安装板(2)转动配合，所述载台本体(31)上设置有第一避让孔(32)，所述第一避让孔(32)被配置为露出所述基板(100)的待测量部位；

夹持机构(33)，连接于所述载台本体(31)并设置在所述第一避让孔(32)周围，用于固定所述基板(100)在所述载台本体(31)上的位置。

4.如权利要求3所述的基板承载装置，其特征在于，所述安装板(2)竖直设置，所述安装板(2)上设置有第二避让孔(21)，所述载台(3)位于竖直姿态时，所述第一避让孔(32)在所述第二避让孔(21)处的投影位于所述第二避让孔(21)的范围内，所述第二避让孔(21)的尺寸不小于所述第一避让孔(32)。

5.如权利要求3所述的基板承载装置，其特征在于，所述夹持机构(33)包括：

至少三组径向夹持组件(331)，其能够夹持所述基板(100)的周向以将所述基板(100)在其放置平面的位置固定；

轴向夹持组件(332)，其能够沿所述基板(100)的厚度方向将所述基板(100)压紧于所述载台本体(31)上。

6.如权利要求1-5任一项所述的基板承载装置，其特征在于，所述基板承载装置还包括：

架体(5)，所述架体(5)设置在所述腔体(11)内部，所述安装板(2)与所述架体(5)滑动配合；

驱动组件，设置在所述架体(5)或所述腔体(11)的内壁上，所述驱动组件的输出端与所述安装板(2)连接，所述驱动组件能够驱动所述安装板(2)在竖直平面内或水平面内相对于所述架体(5)滑动。

7.如权利要求6所述的基板承载装置，其特征在于，所述驱动组件包括第二直线驱动源(6)，所述第二直线驱动源(6)铰接于所述架体(5)上且输出端与所述安装板(2)铰接。

8.如权利要求6所述的基板承载装置，其特征在于，所述基板承载装置还包括压紧组件(8)，所述压紧组件(8)设置在所述架体(5)上，所述压紧组件(8)用于将所述载台(3)夹紧于所述架体(5)。

9.如权利要求1-4任一项所述的基板承载装置，其特征在于，所述基板承载装置还包括移动门(12)，所述移动门(12)能够选择性地打开或者封堵所述腔体(11)的开口。

10.一种检测装置，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的基板承载装置。

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