JP2002082056A

JP2002082056A - 大型基板検査装置

Info

Publication number: JP2002082056A
Application number: JP2000268942A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Okahira; 裕幸岡平
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2000-09-05
Filing date: 2000-09-05
Publication date: 2002-03-22

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】ガラス基板などの大型基板を割ったり傷を付け
ることなく作業者により容易に載置することができる大
型基板検査装置。【解決手段】基板ホルダ１１をＸＹステージ２に対して
略垂直方向まで起き上げ可能に回動自在に設け、基板ホ
ルダ１１を起こした状態で、大型基板４を設置し、水平
に戻して検査位置へ移動できるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ステージ上に大型
基板を載置して水平方向に移動させ、顕微鏡等の観察光
学系により大型基板の拡大像を取得して大型基板面上の
傷、汚れ、むら等の欠陥検査を行うための大型基板検査
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）
のガラス基板やカラーフィルタなどの大型基板に対して
は、その表面に付着したごみ、傷、むらやパターンの欠
陥、そのパターンなどの形状を測定する基板検査が行わ
れる。

【０００３】図８はかかる大型基板検査装置の概略構成
図である。顕微鏡用架台１上には、Ｘステージ２ａとＹ
ステージ２ｂとからなるＸＹステージ２が設けられてい
る。このＸＹステージ２上には、基板ホルダ３が固定さ
れている。この基板ホルダ３は、上記大型基板として例
えばフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基
板４を水平方向（ＸＹ平面上）に保持するもので、この
ガラス基板４を基準位置に位置決めするための各基準ピ
ン５ａ、５ｂ、５ｃが設けられている。なお、顕微鏡用
架台１上には、Ｙ方向の各レール６が設けられ、これら
レール６上にＹステージ２ｂがＹ方向に移動可能に載っ
ている。又、このＹステージ２ｂ上には、Ｘ方向の各レ
ール７が設けられ、これらレール７上にＸステージ２ａ
がＸ方向に移動可能に載っている。

【０００４】このような大型基板検査装置を用いてガラ
ス基板４の検査を行うときには、作業員の手作業によっ
てガラス基板４を水平状態に持ち、この水平状態のまま
ガラス基板４を基板ホルダ３上に載置する。次に、ガラ
ス基板４を基板ホルダ３上で滑らせて各基準ピン５ａ、
５ｂ、５ｃに押し付けて基準位置に位置決めする。

【０００５】この後、ＸＹステージ２のＹステージ２ｂ
を各レール６上にＹ方向に移動させると共に、Ｘステー
ジ２ａを各レール７上にＸ方向に移動させ、ガラス基板
４の上方に設けられた図示しない顕微鏡によりガラス基
板４の拡大像を取得してその表面上の傷、汚れ、むら等
の欠陥検査を行う。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、フラッ
トパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板４は、大
型化が進み、最大で１ｍ角で厚み０．７ｍｍになるもの
がある。このような大型のガラス基板４を基板ホルダ３
上に水平状態にして載置するには、作業員（観察者）一
人では困難なことである。又、大型で薄いガラス基板４
を水平状態にしたときにガラス基板４が自重により大き
く撓み割れる可能性がある。さらに、ガラス基板４を基
板ホルダ３上に載置した後、ガラス基板４を位置決め際
にガラス基板４を基板ホルダ３上で滑らせ各基準ピンに
当て付けなければならず、このときにガラス基板４の裏
面が擦れて傷が付いてしまう。

【０００７】そこで本発明は、ガラス基板などの大型基
板を割ったり傷を付けることなく作業者により容易に載
置できる大型基板検査装置を提供することを目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載による本発
明は、大型基板を載置するための水平方向に移動自在な
ステージを備えた大型基板検査装置において、前記大型
基板を水平状態に保持し、かつ前記ステージに対して略
垂直方向まで起き上げ可能に回動自在に設けれた基板ホ
ルダを具備したことを特徴とする大型基板検査装置であ
る。

【０００９】請求項２による本発明は、請求項１記載の
大型基板検査装置において、前記基板ホルダは、手動又
は自動により前記ステージに対して回動することを特徴
とする。

【００１０】請求項３記載による本発明は、請求項１記
載の大型基板検査装置において、前記基板ホルダには、
前記回動軸側に前記大型基板を基準位置に保持するため
の基準ピンが設けられていることを特徴とする。

【００１１】請求項４記載による本発明は、請求項３記
載の大型基板検査装置において、前記基準ピンは、少な
くとも外装が硬化樹脂により形成されていることを特徴
とする。

【００１２】

【発明の実施の形態】（１）以下、本発明の第１の実施
の形態について図面を参照して説明する。なお、図７と
同一部分には同一符号を付してある。

【００１３】図１は大型基板検査装置の構成図である。
フレーム１０上には、顕微鏡用架台１が設けられてい
る。この顕微鏡用架台１上には、ＸＹステージ２を介し
て基板ホルダ１１が設けられている。

【００１４】この基板ホルダ１１は、図２に示すように
ＸＹステージ２に対して起き上がり方向（イ）に回動自
在に設けられている。具体的に基板ホルダ１１は、ＸＹ
ステージ２に対して略８０°の角度まで起き上がり方向
（イ）に回動自在に設けれている。

【００１５】この基板ホルダ１１の回動軸１１ａは、該
基板ホルダ１１を所定の角度に起こしたときの下部側、
すなわちガラス基板４を基準位置に位置決めするための
各基準ピン１４ａ，１４ｂが設けられている一辺側（観
察者側）に設けられており、所定の傾斜角度に固定及び
解除可能になっている。なお、この基板ホルダ１１は、
Ｘステージ２ａ本体の一部を正方形に切り抜いて形成し
てもよい。

【００１６】基板ホルダ１１には、該基板ホルダ１１を
所定の角度に起こし上げたときの下部（回動軸１１ａ
側）となる一辺側に上記各基準ピン１４ａ，１４ｂが所
定の間隔で設けられると共に、この一辺に対して垂直方
向の辺側に１つの基準ピン１４ｃが設けられている。こ
れら基準ピン１４ａ〜１４ｃは、上記大型基板として例
えばフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基
板４をＸＹの基準位置に配置させるためのものである。

【００１７】これら基準ピン１４ａ〜１４ｃは、少なく
ともその外装がガラス基板４に損傷を与えない硬化樹脂
により形成されている。図３(a)〜(c)はこれら基準ピン
１４ａ〜１４ｃの一例を示す構造図である。同図(a)に
示す各基準ピン１４ａ〜１４ｃは、頭付きボルトを硬化
樹脂、例えばポリイミドにより形成したもので、頭の底
面には、テーパ部が形成されている。同図(b)に示す各
基準ピン１４ａ〜１４ｃは、頭付きボルト１４−１を金
属により形成し、かつこの頭付きボルト１４−１の胴部
外周にポリイミド等の硬化樹脂環１４−２を設けたもの
である。同図(c)に示す各基準ピン１４ａ〜１４ｃは、
頭付きボルト１４−３を金属により形成し、かつこの頭
付きボルト１４−３の胴部外周にボールベアリング５−
４を設けたものである。

【００１８】なお、これら基準ピン１４ａ〜１４ｃは、
例えばポリイミド等の硬化樹脂によりなるローラ式であ
ってもよい。

【００１９】又、顕微鏡用架台１上には、門柱型支持用
フレーム１２等によって顕微鏡１３が支持されている。
この顕微鏡１３は、観察用の光学系１３ａ及びその接眼
レンズ１３ｂからなっている。

【００２０】次に、上記の如く構成された大型基板検査
装置を用いてのガラス基板４の検査について説明する。

【００２１】ＸＹステージ２は、基板ホルダ１１が矢印
（イ）方向の略垂直方向まで起き上げられても、この基
板ホルダ１１と顕微鏡１３とが接触しないような位置、
例えば図面上右側方向に移動される。

【００２２】次に、基板ホルダ１１は、作業員（観察
者）の手操作によって図２に示すようにＸＹステージ２
に対して回動され、略垂直方向まで起き上げられる。

【００２３】一方、ガラス基板４は、図４に示すように
作業員の手作業によって略垂直状態のまま大型基板検査
装置の設置されている位置まで運搬される。

【００２４】次に、ガラス基板４は、作業員の手作業に
よって略垂直の状態で、各基準ピン１４ａ，１４ｂ上に
一旦置かれ、基板ホルダ１１の面上に静かに倒されて、
該基板ホルダ１１面上に載置される。

【００２５】そして、ガラス基板４は、作業員の手作業
によって、各基準ピン１４ａ、１４ｂ上で横方向（Ｘ方
向）にずらされて、基準ピン１４ｃに押し付けられる。

【００２６】このとき、ガラス基板４は、各基準ピン１
４ａ〜１４ｃ上に押し付けられて載置されることによ
り、基準位置に位置決めされる。その上、ガラス基板４
は、垂直状態で運搬されて基板ホルダ１１上に立て掛け
られるので、自重で割れることはなく、かつ各基準ピン
１４ａ〜１４ｃ上で滑らしたとしてもガラス基板４の表
裏の両面に傷が付くことはない。

【００２７】次に、基板ホルダ１１は、作業員の手操作
によって上記図１に示すようにＸＹステージ２に対して
回動されて水平方向に戻され、検査可能な状態になる。

【００２８】次に、ＸＹステージ２の駆動によりガラス
基板４をＸＹ平面上に水平移動させ、ガラス基板４の上
方に設けられた顕微鏡１３によりガラス基板４の拡大像
を取得してその表面上の傷、汚れ、むら等の欠陥検査が
行われる。

【００２９】この後、ガラス基板４に対する検査が終了
すると、ＸＹステージ２は、再び基板ホルダ１１が矢印
（イ）方向の略垂直方向まで起き上げられても、この基
板ホルダ１１と顕微鏡１３とが接触しないような位置、
例えば図面上右側方向に移動される。

【００３０】次に、基板ホルダ１１は、作業員の手操作
によって上記図２に示すようにＸＹステージ２に対して
回動され、略垂直方向まで起き上げられる。

【００３１】この状態に、ガラス基板４は、作業員の手
作業によって、各基準ピン１４ａ，１４ｂ上に静かに起
き上げられて立て掛けられ、基板ホルダ１１から取り外
される。そして、作業員の手操作によって略垂直状態に
保持され、この略垂直状態のまま図示しない収納位置ま
で運搬される。

【００３２】このように上記第１の実施の形態において
は、基板ホルダ１１をＸＹステージ２に対して略垂直方
向まで起き上げ可能に回動自在に設けたので、大型で薄
いガラス基板４を作業員の手作業によって大型基板検査
装置にセットするとき、作業員の手作業によって基板ホ
ルダ１１を略垂直方向まで起き上げて、この基板ホルダ
１１上に立て掛ければよいので、ガラス基板４の自重で
割ることなく、かつガラス基板４を交換作業を作業者に
近い前側で行うことができるので、その作業者により容
易かつ楽に作業ができる。

【００３３】そのうえ、ガラス基板４を各基準ピン１４
ａ〜１４ｃに押し付ける際に、ガラス基板４を略垂直に
立ち上げることで基板ホルダ１１との間の摩擦が小さく
なり、ガラス基板４の裏面に傷を付けることなくガラス
基板４を基準位置に位置決めできる。又、基準ピン１４
ａ〜１４ｃは、上記図３(a)〜(c)に示すように基準ピン
１４ａ〜１４ｃ自体を硬化樹脂により形成したり、ピン
本体１４−１の外周に硬化樹脂環１４−２を設けたり、
ピン本体１４−３の外周にボールベアリング５−４を設
けたりした構造なので、ガラス基板４の横方向（Ｘ方
向）の移動が楽になり位置決め作業が容易にでき、ガラ
ス基板４の縁が欠けることはない。

【００３４】又、ＸＹ方向の３つの基準ピン１４ａ〜１
４ｃのうち２個を下方に設けたので、ガラス基板４の自
重により自動的にＸ方向の位置決めがなされ、ガラス基
板４をＸ方向の基準ピンに押し当てる一度の作業でＸＹ
の位置決めできる。

【００３５】（２）次に、本発明の第２の実施の形態に
ついて説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を
付してその詳しい説明は省略する。

【００３６】図５は本発明の大型基板検査装置の概略構
成図である。基板ホルダ１１とＸＹステージ２との間に
おける横の一辺側には、リンク機構２０が設けられてい
る。このリンク機構２０は、折り畳み自在で、基板ホル
ダ１１を略垂直方向まで起き上げた状態にロックする機
構が備えられている。

【００３７】又、基板ホルダ１１における上辺側には、
ハンドル２１が取り付けられている。このハンドル２１
は、作業員（観察者）の手作業によって基板ホルダ１１
を略垂直方向まで起き上げたり、水平状態に戻すときに
作業員が手で把持するために取り付けられている。な
お、このハンドル２１は、基板ホルダ１１を作業員の手
作業によって略垂直方向まで起き上げたり、水平状態に
戻すときに作業がやり易いところで、かつ基板ホルダ１
１上にガラス基板４を載置しても邪魔にならないところ
であれば、基板ホルダ１１の右側又は左側に設けること
もできる。

【００３８】次に、上記の如く構成された大型基板検査
装置を用いてのガラス基板４の検査について説明する。

【００３９】ＸＹステージ２は、基板ホルダ１１が矢印
（イ）方向の略垂直方向まで起き上げられても、この基
板ホルダ１１と顕微鏡１３とが接触しないような位置、
例えば図面上右側方向に移動される。

【００４０】次に、基板ホルダ１１は、作業員の手操作
によってハンドル２１が把持されてＸＹステージ２に対
して回動され、略垂直方向まで起き上げられる。そし
て、この基板ホルダ１１は、略垂直方向に起き上げられ
た状態でリンク機構２０により支持されると共に該状態
にロックされる。

【００４１】一方、ガラス基板４は、作業員の手作業に
よって略垂直状態のまま大型基板検査装置の設置されて
いる位置まで運搬される。

【００４２】次に、ガラス基板４は、作業員の手作業に
よって略垂直の状態で、基板ホルダ１１の面上に向かっ
て静かに倒されて、該基板ホルダ１１面上に載置され
る。

【００４３】そして、ガラス基板４は、作業員の手作業
によって、各基準ピン１４ａ、１４ｂ上で横方向（Ｘ方
向）にずらされて、基準ピン１４ｃに押し付けられる。
これにより、ガラス基板４は、基準位置に配置される。

【００４４】次に、基板ホルダ１１は、作業員の手操作
によってリンク機構２０のロック状態が解除され、ＸＹ
ステージ２に対して回動されて水平方向に戻され、検査
可能な状態になる。

【００４５】次に、検査動作に移る。すなわち、ＸＹス
テージ２の駆動によりガラス基板４をＸＹ平面上に水平
移動させ、ガラス基板４の上方に設けられた顕微鏡１３
によりガラス基板４の拡大像を取得してその表面上の
傷、汚れ、むら等の欠陥検査が行われる。

【００４６】ガラス基板４に対する検査が終了すると、
ＸＹステージ２は、再び基板ホルダ１１が略垂直方向ま
で起き上げられても、この基板ホルダ１１と顕微鏡１３
とが接触しないような位置、例えば図面上右側方向に移
動される。

【００４７】次に、基板ホルダ１１は、作業員の手操作
によってハンドル２１が把持されてＸＹステージ２に対
して回動され、略垂直方向まで起き上げられる。そし
て、基板ホルダ１１は、作業員の手操作によってリンク
機構２０がロックされて、略垂直方向まで起き上げられ
た状態が保持される。

【００４８】この状態に、ガラス基板４は、作業員の手
作業によって、各基準ピン１４ａ，１４ｂ上に静かに起
き上げられて基板ホルダ１１から取り外される。そし
て、作業員の手操作によって略垂直状態に保持され、こ
の略垂直状態のまま図示しない収納位置まで運搬され
る。

【００４９】このように上記第２の実施の形態において
は、基板ホルダ１１とＸＹステージ２との間に、折り畳
み自在で基板ホルダ１１を略垂直方向まで起き上げた状
態にロックする機構を備えたリンク機構２０を設けたの
で、上記第１の実施の形態と同様な効果を奏することが
できると共に、基板ホルダ１１を略垂直状態に起き上げ
た状態をロックでき、安全にガラス基板４を基板ホルダ
１１上に載置できる。又、作業員の手作業による基板ホ
ルダ１１の起き上げ、水平状態への戻し作業もハンドル
２１を把持することにより容易にできる。

【００５０】（３）次に、本発明の第３の実施の形態に
ついて説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を
付してその詳しい説明は省略する。

【００５１】図６は本発明の大型基板検査装置の概略構
成図である。この大型基板検査装置は、基板ホルダ１１
の起き上げ動作を自動化したものである。基板ホルダ１
１の回転軸１１ａには、モータ２２の軸が連結されてい
る。このモータ２２は、フットスイッチ２３の操作に応
じて駆動・停止するものとなっている。

【００５２】次に、上記の如く構成された大型基板検査
装置を用いてのガラス基板４の検査について説明する。

【００５３】なお、ガラス基板４を作業員（観察者）の
手作業によって略垂直状態に保持した状態で大型基板検
査装置の設置位置まで運搬して基板ホルダ１１面上に載
置し、かつ検査終了後、再び作業員の手作業によって基
板ホルダ１１面上から取り出して図示しない収納位置ま
で運搬することは上記第１の実施の形態と同様なので省
略する。

【００５４】作業員がフットスイッチ２３を操作するこ
とによりモータ２２が駆動し、基板ホルダ１１は、ＸＹ
ステージ２に対して回動し、略垂直方向まで起き上げら
れる。そして、基板ホルダ１１が略垂直方向まで起き上
げられたとき、再び作業員がフットスイッチ２３を操作
すると、モータ２２が停止し、基板ホルダ１１は、略垂
直に近い角度まで起き上げられた状態で停止する。

【００５５】次に、ガラス基板４は、作業員の手作業に
よって略垂直の状態で、基板ホルダ１１の面上に向かっ
て静かに倒されて、該基板ホルダ１１面上に載置され
る。

【００５６】そして、ガラス基板４は、作業員の手作業
によって、各基準ピン１４ａ、１４ｂ上で横方向（Ｘ方
向）にずらされて、基準ピン１４ｃに押し付けられる。
これにより、ガラス基板４は、基準位置に配置される。

【００５７】作業員が再度フットスイッチ２３を操作す
ると、モータ２２が駆動し、基板ホルダ１１は、ＸＹス
テージ２に対して回動して水平状態に戻り、検査可能な
状態になる。

【００５８】検査終了後、作業員がフットスイッチ２３
を操作することによりモータ２２が駆動し、基板ホルダ
１１は、ＸＹステージ２に対して回動し、略垂直方向ま
で起き上げられる。そして、基板ホルダ１１が略垂直方
向まで起き上げられたとき、再び作業員がフットスイッ
チ２３を操作すると、モータ２２が停止し、基板ホルダ
１１は、略垂直方向まで起き上げられた状態で停止す
る。

【００５９】この状態に、ガラス基板４は、作業員の手
作業によって、基板ホルダ１１から取り外され、図示し
ない収納位置まで運搬される。

【００６０】このように上記第３の実施の形態において
は、基板ホルダ１１の回転軸１１ａにモータ２２の軸を
連結し、このモータ２２をフットスイッチ２３の操作に
応じて駆動・停止するようにしたので、上記第１の実施
の形態の効果に加えて、基板ホルダ１１の起き上げ、水
平状態への戻し作業の作業者への負担が軽減できる。

【００６１】（４）次に、本発明の第４の実施の形態に
ついて説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を
付してその詳しい説明は省略する。

【００６２】図７は本発明の大型基板検査装置の概略構
成図である。この大型基板検査装置も基板ホルダ１１の
起き上げ動作を自動化したものである。ＸＹステージ２
の下方でフレーム１０の内部には、シリンダ等の押し出
しユニット２４が設けられている。この押し出しユニッ
ト２４は、ロッド２５を矢印イ方向に押し出し、又は引
き込むように動作させるものとなっている。このロッド
２５は、そのロッド先端部２６が球形に形成され、基板
ホルダ１１の裏面に設けられた係止部２７に摺動自在に
当接している。なお、押し出しユニット２４のロッド２
５は、基板ホルダ１１を切り抜いて形成されたｘステー
ジ２ａの開口部２８を通して係止部２７に当接してい
る。

【００６３】次に、上記の如く構成された大型基板検査
装置を用いてのガラス基板４の検査について説明する。

【００６４】なお、ガラス基板４を作業員（観察者）の
手作業によって略垂直状態に保持した状態で大型基板検
査装置の設置位置まで運搬して基板ホルダ１１面上に載
置し、かつ検査終了後、再び作業員の手作業によって基
板ホルダ１１面上から取り出して図示しない収納位置ま
で運搬することは上記第１の実施の形態と同様なので省
略する。

【００６５】作業員の操作により押し出しユニット２４
が駆動すると、そのロッド２５が押し出され、基板ホル
ダ１１の裏面に設けられた係止部２７に当接しながら基
板ホルダ１１を起き上がらせる。そして、基板ホルダ１
１が略垂直方向まで起き上げられると、作業員の操作に
より押し出しユニット２４が停止される。

【００６６】この状態に、ガラス基板４は、作業員の手
作業によって略垂直の状態で、その下方の一辺が各基準
ピン５ａ，５ｂ上に置かれ、略垂直状態に起き上がって
いる基板ホルダ１１に立て掛けられる。

【００６７】そして、ガラス基板４は、作業員の手作業
によって、各基準ピン１４ａ、１４ｂ上で横方向（Ｘ方
向）にずらされて、基準ピン１４ｃに押し付けられる。
これにより、ガラス基板４は、基準位置に配置される。

【００６８】作業員の操作により再度押し出しユニット
２４が駆動すると、この押し出しユニット２４のロッド
２５が引き込まれ、基板ホルダ１１は、ＸＹステージ２
に対して回動して水平状態に戻り、検査可能な状態にな
る。

【００６９】検査終了後、作業員の操作により再度押し
出しユニット２４が駆動すると、この押し出しユニット
２４の駆動により基板ホルダ１１は、ＸＹステージ２に
対して回動し、略垂直方向まで起き上げられる。そし
て、基板ホルダ１１が略垂直方向まで起き上げられたと
き、作業員の操作により押し出しユニット２４が停止す
る。

【００７０】この状態に、ガラス基板４は、作業員の手
作業によって、基板ホルダ１１から取り外され、図示し
ない収納位置まで運搬される。

【００７１】このように上記第４の実施の形態において
は、ＸＹステージ２の下方でフレーム１０の内部にシリ
ンダ等の押し出しユニット２４を設けて、基板ホルダ１
１の起き上げ動作を自動化したので、上記第２の実施の
形態と同様な効果を奏することができると共に、作業員
による基板ホルダ１１の起き上げ、水平状態への戻し作
業がより楽になる。

【００７２】なお、本発明は、上記第１乃至第４の実施
の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨
を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。

【００７３】さらに、上記実施形態には、種々の段階の
発明が含まれており、開示されている複数の構成要件に
おける適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾
つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとす
る課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で
述べられている効果が得られる場合には、この構成要件
が削除された構成が発明として抽出できる。

【００７４】例えば、上記第１乃至第４の実施の形態
は、次の通り変形してもよい。

【００７５】フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の
ガラス基板４の検査に限らず、カラーフィルタ、半導体
ウエハなどの表面に付着したごみ、傷、むらやパターン
の欠陥、そのパターンなどの形状の測定にも適用でき
る。

【００７６】又、ＸＹステージ２を駆動してガラス基板
４をｘｙ平面上に移動させるばかりでなく、顕微鏡１３
をガラス基板４の上方で移動させるようにしてもよい。

【００７７】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、ガ
ラス基板などの大型基板を割ったり傷を付けることなく
作業者により容易に基板ホルダ上に載置できる大型基板
検査装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる大型基板検査装置の第１の実施
の形態を示す構成図。

【図２】本発明に係わる大型基板検査装置の第１の実施
の形態における基板ホルダの略垂直方向への起き上げた
状態を示す図。

【図３】本発明に係わる大型基板検査装置の第１の実施
の形態における基準ピンの構造図。

【図４】本発明に係わる大型基板検査装置の第１の一実
施の形態におけるガラス基板の基板ホルダへの立て掛け
を示す図。

【図５】本発明に係わる大型基板検査装置の第２の実施
の形態を示す概略構成図。

【図６】本発明に係わる大型基板検査装置の第３の実施
の形態を示す概略構成図。

【図７】本発明に係わる大型基板検査装置の第４の実施
の形態を示す概略構成図。

【図８】従来における大型基板検査装置の概略構成図。

【符号の説明】

１：顕微鏡用架台２：ＸＹステージ４：ガラス基板５ａ，５ｂ：基準ピン６，７：レール１０：フレーム１１：基板ホルダ１１ａ：基板ホルダの回転軸１２ａ〜１２ｃ：支持用フレーム１３：顕微鏡２０：リンク機構２１：ハンドル２２：モータ２３：フットスイッチ２４：押し出しユニット２５：ロッド２６：ロッド先端部２７：係止部２８：開口部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】大型基板を載置するための水平方向に移
動自在なステージを備えた大型基板検査装置において、前記大型基板を水平状態に保持し、かつ前記ステージに
対して所定の傾斜角度まで起き上げ方向に回動自在に設
けれた基板ホルダ、を具備したことを特徴とする大型基
板検査装置。
【請求項２】前記基板ホルダは、手動又は自動により
前記ステージに対して回動することを特徴とする請求項
１記載の大型基板検査装置。
【請求項３】前記基板ホルダには、前記回動軸側に前
記大型基板を基準位置に保持するための基準ピンが設け
られていることを特徴とする請求項１記載の大型基板検
査装置。
【請求項４】前記基準ピンは、少なくとも外装が硬化
樹脂により形成されていることを特徴とする請求項３記
載の大型基板検査装置。