JP2014044063A - 板状体の欠陥検査方法及び欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】板状体の欠陥を検査するとともに、欠陥の発生・付着位置を取得できる板状体の欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】本発明によれば、まず、ガラス板Ｇを架台５０に立て掛けて搭載する。次に、座標原点を取得する。すなわち、ガラス板Ｇの四隅部のうち一つの隅部にレーザーポインタ６６からのスポット光を照射した位置を座標原点として取得する。次に、架台５０に対向して配設された観察光学部６０をスライドレール６４に沿って水平移動させるとともに、架台５０を昇降移動させて、架台５０に搭載されたガラス板Ｇの欠陥を観察光学部６０によって見つけ出す。次いで、観察光学部６０によって見つけ出された欠陥の位置に向けて、レーザーポインタ６６からスポット光を照射する。そして、ガラス板Ｇの表面におけるスポット光の照射位置の座標位置を制御部４０で算出してＲＡＭ６８に記憶させる。
【選択図】図５

Description

本発明は、板状体の欠陥検査方法及び欠陥検査装置に関する。

近年、液晶ディスプレイ装置、プラズマディスプレイ装置、有機ＥＬディスプレイ装置等のＦＰＤ（Flat Panel Display：板状体）が、大型テレビジョン、パーソナルコンピュータ、携帯電話等のモバイル機器の表示装置として用いられている。

前記表示装置には、少なくとも一枚のガラス板を備える表示素子が使用されている。前記表示素子に関しては、表示性能の高品質化が要求されているため、表示素子のガラス板に関しても、疵が無くうねりの無い（平坦度が高い）高品質なものが要求されている。また、表示画面サイズの大型化、及びモバイル機器の台頭に伴い、軽量化、薄型化という要求も生じている。

前記ＦＰＤに使用されるガラス板の製造方法の一例として、フロート法が知られている。

前記フロート法によるガラス板の製造方法は、まず、ガラス原料を溶解槽に投入して溶融ガラスを製造する。次に、溶融ガラスを、浴槽に収容された溶融錫の表面上に連続的に供給する。供給された溶融ガラスは、溶融錫の表面に沿って上流側から下流側に流動されながら帯状のガラスリボンに成形される。ガラスリボンは浴槽の出口から取り出され、その後、徐冷炉にて室温程度に徐冷された後、所定の大きさのガラス板に切断装置によって切断される。

フロート法によるガラス板の製造方法は、浴槽の溶融錫に接するガラス板の表面（ボトム面）に溶融錫中に発生した泡による欠陥が生じ易い。また、成形工程に起因してガラス板の表面にうねりが生じるとともに異物が付着する場合がある。このため、ガラス板の製造装置には、切断されたガラス板の前記表面（被研磨面）をＦＰＤ用に適した高品質（平坦度）に研磨する研磨装置（例えば、特許文献１、２）が備えられている。

特許文献１の研磨装置は、ガラス板の搬送路に沿って複数台の研磨具を配置し、ガラス板を搬送路に沿って搬送しながら、複数台の研磨具によってガラス板の表面を研磨する連続式の研磨装置である。

また、特許文献２の研磨装置は、ガラス板を搬送することなくガラス板の表面を、自転する1台の研磨具を用いて研磨するバッチ式の研磨装置である。

ところで、前記フロート法による製造方法では、成形時におけるガラスリボンの移動方向と平行に、ある傾向をもってガラス板の表面に欠陥（以下、表面欠陥と言う）が分布する場合がある。前記表面欠陥とは、ガラスリボンを搬送するローラに付着したガラス片、ガラス原料の攪拌むら等の様々な理由によって発生する微小な疵、うねり、及び異物の付着である。

前記疵、うねり及び異物の付着は、概ね一方向の規則性を持った筋状に発生している。このような疵、うねり、及び異物は前記研磨装置によって除去するようにしているが、表面欠陥の大きさによっては完全に除去することが難しい場合がある。そこで、研磨装置の後段に、例えば特許文献３に開示された既知の欠陥検査システムを設置し、この欠陥検査システムによって、研磨後のガラス板の表面の疵、異物の有無を検査している。

また、研磨後のガラス板の表面のうねりは、例えば特許文献４に開示された既知の平坦度測定装置を用いて検査している。

特開２００７−１９０６５７号公報 特開２００４−１２２３５１号公報 特開２０１０−４８７４５号公報 特許第３４１１８２９号公報

特許文献３に開示された欠陥検査システムは、ガラス板の疵、及び異物を検出可能であるが、更に詳細に疵の発生位置、及び異物の付着位置を取得することが望まれている。このような疵、及び異物の発生・付着位置を取得することによって疵、及び異物の発生・付着原因を検証でき、製造装置の構成部材（例えば搬送ローラ）を補修するための情報源となるからである。しかしながら、従来のガラス板の欠陥検査装置では、このようなシステムは構築されていない。

本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、板状体の欠陥を検査するとともに、欠陥の発生・付着位置を取得できる板状体の欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供することを目的とする。

前記目的を達成するために、本発明の板状体の欠陥検査方法によれば、板状体を成形する成形工程と、前記成形工程で成形された前記板状体の表面の欠陥を撮像手段によって検査する第１の欠陥検査工程と、前記第１の欠陥検査工程で検査された前記板状体の表面を、検査手段を使用して作業者が目視にて検査して前記板状体の表面の欠陥の位置を記憶手段に記憶させる第２の欠陥検査工程と、を備えることを特徴とする。

前記目的を達成するために、本発明の板状体の欠陥検査装置によれば、板状体を成形する成形部と、前記成形部で成形された前記板状体の表面の欠陥を撮像手段によって検査する第１の欠陥検査手段と、前記第１の欠陥検査手段で検査された前記板状体の表面を、検査手段を使用して作業者が目視にて検査して前記板状体の表面の欠陥の位置を記憶手段に記憶させる第２の欠陥検査手段と、を備えることを特徴とする。

本発明によれば、まず、成形部で板状体を成形する（成形工程）。次に、成形された板状体の表面の欠陥（疵、異物）を第1の欠陥検査手段の撮像手段によって検出する（第１の欠陥検査工程）。第1の欠陥検査手段としては、特許文献３に開示された既知の欠陥検査システムを例示できる。そして、第1の欠陥検査手段によって欠陥が検出された板状体は、第２の欠陥検査手段によって欠陥の位置が取得され、記憶手段に記憶される（第２の欠陥検査工程）。第２の欠陥検査手段は、検査手段を使用した作業者による目視検査であり、作業者が検査手段を使用して欠陥を見つけ出し、その板状体における欠陥の座標位置を記憶手段に記憶させる。

したがって、本発明によれば、板状体の欠陥を検査するとともに、欠陥の発生・付着位置を取得可能な板状体の欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供できる。なお、前記座標位置とは、例えば板状体の四隅部のうち一つの隅部を座標原点とし、この座標原点に対する欠陥の位置を言う。

本発明の板状体の欠陥検査方法の一態様は、前記第２の欠陥検査工程の前記検査手段による目視検査工程は、前記板状体を架台に立て掛けて搭載する搭載工程と、前記架台に対向して配設された観察光学手段と前記架台とを相対的に移動させて前記架台に搭載された前記板状体の欠陥を前記観察光学手段によって見つけ出す欠陥検出工程と、前記観察光学手段によって見つけ出された前記欠陥の位置に光源手段からスポット光を照射するスポット光照射工程と、前記板状体の表面における前記スポット光の照射位置の座標位置を算出手段で算出して前記記憶手段に記憶させる欠陥位置記憶工程と、を備えることが好ましい。

本発明の板状体の欠陥検査装置の一態様は、前記第２の欠陥検査手段の前記検査手段は、前記板状体を立て掛けて搭載する架台と、前記架台に対向して配設された観察光学手段と、前記架台と前記観察光学手段とを相対的に移動させる移動手段と、前記架台に搭載された前記板状体に向けてスポット光を照射する光源手段と、前記板状体の表面における前記スポット光の照射位置の座標位置を算出する算出手段と、前記算出された座標位置を記憶する前記記憶手段と、を備えることが好ましい。

本発明の一態様によれば、第２の欠陥検査手段の検査手段による目視検査において、まず、板状体を架台に立て掛けて搭載する（搭載工程）。架台に立て掛ける板状体の傾斜角度は、板状体の表面が水平面に対して７５±５°が好ましい。傾斜角度が８０°を超えると、薄板の板状体が撓み易くなり欠陥検査を効率よく行うことが困難になる。また、傾斜角度が７０°未満であると、大型サイズの板状体を作業者が目視検査することが困難になる。

次に、架台に対向して配設された観察光学手段と架台とを相対的に移動させて、架台に搭載された板状体の欠陥を観察光学手段によって見つけ出す（欠陥検出工程）。観察光学手段は、照明手段とレンズを備えた光学系とを備えることが好ましい。また、前記相対的な移動の一例を説明すると、板状体に対して観察光学手段を、例えば板状体の上辺と平行に、板状体の左辺から右辺に向けて移動させる。そして、観察光学手段が右辺に到達した時点で、板状体を測定ピッチ分上昇又は下降させた後、観察光学手段を右辺から左辺に向けて移動させる。そして、観察光学手段が左辺に到達した時点で、板状体を測定ピッチ分上昇又は下降させる。このような移動を板状体の表面の全面に対して行うことにより、板状体の表面の全面を検査できる。なお、前記測定ピッチとは、観察光学手段の視野範囲である。

次いで、観察光学手段によって見つけ出された欠陥の位置に光源手段からスポット光を照射する（スポット光照射工程）。そして、板状体の表面におけるスポット光の照射位置の座標位置を算出手段で算出して記憶手段に記憶させる（欠陥位置記憶工程）。これにより、欠陥の座標位置を取得できる。

本発明の板状体の欠陥検査方法の一態様は、前記板状体は矩形状であり、厚さが０．１〜０．７ｍｍであり、一辺の長さが１５００ｍｍ以上であることが好ましい。

本発明の板状体の欠陥検査装置の一態様は、前記板状体は矩形状であり、厚さが０．１〜０．７ｍｍであり、一辺の長さが１５００ｍｍ以上であることが好ましい。

本発明の一態様によれば、ＦＰＤ用の板状体として使用される厚さが０．１〜０．７ｍｍの矩形状のガラス板を対象としている。また、平置き状態では目視検査が困難な、一辺の長さが１５００ｍｍ以上のガラス板を対象としている。なお、一辺の長さの上限値は規定していないが、現在、製造されているＦＰＤ用のガラス板としては、一辺の長さが３０００ｍｍ（第１０世代）を超えるものもある。このような大型のガラス板であっても、本発明の板状体の欠陥検査方法及び欠陥検査装置を有効に利用できる。

本発明の板状体の欠陥検査方法の一態様は、前記欠陥検出工程では、前記架台を昇降させながら前記観察光学手段及び前記光源手段を水平方向に移動することが好ましい。

本発明の板状体の欠陥検査装置の一態様は、前記移動手段は、前記架台を昇降させる昇降手段と、前記観察光学手段及び前記光源手段を水平方向に移動自在に支持する水平方向移動手段とを備えることが好ましい。

本発明の一態様によれば、欠陥検出工程においては、架台を昇降手段によって昇降させながら、観察光学手段及び光源手段を水平方向に移動する。作業者は、板状体に対して観察光学手段及び光源手段を水平方向に往復移動させながら欠陥検査を行う。そして、高さ方向においては架台が昇降する。よって、作業者は、検査開始時から検査終了時まで、一定の姿勢で欠陥検査を行うことができる。したがって、作業者の検査作業負担を軽減できる。

本発明の板状体の欠陥検査装置の一態様は、前記算出手段は、前記昇降手段からの昇降位置を示す位置情報と、前記水平方向移動手段からの水平方向位置を示す位置情報とに基づいて前記スポット光の照射位置の座標位置を算出することが好ましい。

本発明の一態様によれば、算出手段は、昇降手段を構成する例えばサーボモータの制御装置から出力される位置信号（板状体の高さ方向の位置を示す情報）と、水平方向移動手段を構成する例えばリニアエンコーダから出力される位置信号（板状体に対するスポット光の照射位置の水平方向の位置を示す情報）とに基づいて座標位置を算出する。

本発明の板状体の欠陥検査方法の一態様は、前記成形工程は、フロート法によって帯状のガラスリボンを成形するガラスリボン成形工程と、前記ガラスリボンを所定サイズの矩形状の前記板状体であるガラス板に切断する切断工程と、前記板状体の表面を研磨手段によって研磨する研磨工程と、を備えることが好ましい。

本発明の板状体の欠陥検査装置の一態様は、前記成形部は、フロート法によって帯状のガラスリボンを成形するガラスリボン成形部と、前記ガラスリボンを所定サイズの矩形状の前記板状体であるガラス板に切断する切断部と、前記ガラス板の表面を研磨手段によって研磨する研磨部と、を備えることが好ましい。

本発明の一態様によれば、成形部（成形工程）にフロート法によるガラスリボン成形部（ガラスリボン成形工程）、切断部（切断工程）、研磨部（研磨工程）を備えている。すなわち、本発明の一態様は板状体として、フロート法によって製造されたガラス板を対象としており、溶融錫に接するガラス板の表面に発生した欠陥を検査する欠陥検査方法及び欠陥検査装置を対象としている。なお、本発明のガラス板の欠陥検査方法及び欠陥検査装置は、フロート法によって製造されたガラス板に限定されるものではなく、例えばフュージョン法（ダウンドロー法）によって製造されたガラス板であっても欠陥検査可能である。

本発明の板状体の欠陥検査方法の一態様は、前記第２の欠陥検査工程にて検査終了した前記板状体を、欠陥検査結果に基づき板状体梱包部、板状体再研磨部、又は板状体廃棄部に振り分ける振り分け工程を備えることが好ましい。

本発明の板状体の欠陥検査装置の一態様は、前記第２の欠陥検査手段にて検査終了した前記板状体を、欠陥検査結果に基づき板状体梱包部、板状体再研磨部、又は板状体廃棄部に振り分ける振り分け手段を備えることが好ましい。

本発明の一態様によれば、第２の欠陥検査手段にて検査終了した板状体を、欠陥検査結果に基づき板状体梱包部、板状体再研磨部、又は板状体廃棄部に振り分け手段によって振り分ける（振り分け工程）。

すなわち、欠陥検査結果に基づいて良品と判定された板状体を、振り分け手段によって板状体梱包部に振り分ける。これにより、板状体が板状体梱包部でパレットに梱包される。第１の欠陥検査手段によって不良品と判定された板状体であっても、第２の欠陥検査手段によって良品と判定される場合がある。この欠陥は、板状体の表面に付着した微小な塵であり、第２の欠陥検査工程において、その塵を作業者が除去することにより、その板状体が良品と判定される。

また、欠陥検査結果に基づいて再研磨必要と判定された板状体を、振り分け手段によって板状体再研磨部に振り分ける。これにより、板状体の表面が板状体再研磨部で再び研磨される。更に、欠陥検査結果に基づいて廃棄と判定された板状体を、振り分け手段によって板状体廃棄部に振り分ける。これにより、板状体が板状体廃棄部に廃棄される。廃棄された板状体は、粉砕されてガラス原料として再利用される。

本発明の板状体の欠陥検査方法の一態様は、前記第１の欠陥検査工程にて良品と判定された前記板状体を前記板状体梱包部に搬送し、前記第１の欠陥検査工程にて不良品と判定された前記板状体を前記第２の欠陥検査工程に搬送することが好ましい。

本発明の板状体の欠陥検査装置の一態様は、前記第１の欠陥検査手段にて良品と判定された前記板状体を前記板状体梱包部に搬送する第１の搬送手段と、前記第１の欠陥検査手段にて不良品と判定された前記板状体を前記第２の欠陥検査手段に搬送する第２の搬送手段と、を備えることが好ましい。

本発明の一態様によれば、第１の欠陥検査手段によって良品と判定された板状体を、第１の搬送手段によって板状体梱包部に搬送する。そして、第１の欠陥検査手段によって不良品と判定された板状体を、第２の搬送手段によって第２の欠陥検査工程に搬送する。

すなわち、第１の欠陥検査手段によって検査された全ての板状体を、第２の欠陥検査手段に搬送するのではなく、第１の欠陥検査手段によって不良品と判定された板状体のみを第２の欠陥検査手段に搬送するので、板状体製造装置全体の稼働率が向上する。

本発明の板状体の欠陥検査方法の一態様は、前記板状体の表面を水平方向に向けた状態で前記第１の欠陥検査工程から前記第２の欠陥検査工程に前記板状体を搬送し、前記第２の欠陥検査工程は、前記板状体を起立させる起立工程と、前記起立された前記板状体を前記架台に搬送して搭載する搬送搭載工程と、前記架台から前記板状体を起立させた状態で搬出する搬出工程と、前記搬出された前記板状体を水平方向に倒伏させて搬出する倒伏工程と、を備えることが好ましい。

本発明の板状体の欠陥検査装置の一態様は、前記第２の搬送手段は、前記板状体の表面を水平方向に向けた状態で前記第１の欠陥検査手段から前記第２の欠陥検査手段に前記板状体を搬送し、前記第２の欠陥検査手段は、前記板状体を起立させる起立手段と、前記起立された前記板状体を前記架台に搬送して搭載する搬送搭載手段と、前記架台から前記板状体を起立させた状態で搬出する搬出手段と、前記搬出された前記板状体を水平方向に倒伏させて搬出する倒伏手段と、を備えることが好ましい。

本発明の一態様によれば、板状体の表面を水平方向に向けた状態で、第１の欠陥検査手段から第２の欠陥検査手段に、板状体を第２の搬送手段によって搬送する。そして、第２の欠陥検査手段は、まず、板状体を起立手段によって起立させる（起立工程）。次に、起立された板状体を架台に搬送して搭載する（搬送搭載工程）。次いで、検査終了した板状体を、架台から起立させた状態で搬出する（搬出工程）。そして、搬出された板状体を水平方向に倒伏させて搬出する（倒伏工程）。搬出された板状体は、振り分け手段によって板状体梱包部、板状体再研磨部、又は板状体廃棄部に振り分けられる。このように板状体の姿勢を変更することによって、板状体を第１の欠陥検査手段から第２の欠陥検査手段に、そして、第２の欠陥検査手段から振り分け手段に円滑に搬送できる。

本発明の板状体の欠陥検査装置の一態様は、前記記憶手段に記憶された前記座標位置を表示する表示手段を備えることが好ましい。

本発明の一態様によれば、作業者は表示手段に表示された座標位置によって欠陥の座標位置を確認できる。また、板状体の製造においては、１ロッドで略同一箇所に欠陥が発生する傾向にある。よって、表示手段に表示された座標位置を作業者が確認することによって、作業者は、次の板状体の欠陥位置を予測できるので、欠陥検査効率が向上する。

本発明の板状体の欠陥検査装置の一態様は、作業者が乗載する作業台が、前記架台に対向して備えられることが好ましい。

本発明によれば、作業者は作業台に乗載し、検査手段を使用して板状体の欠陥検査を目視にて行う。この際、作業者は、作業台において水平方向に往復移動しながら欠陥検査を行うが、高さ方向においては架台が昇降するので、検査開始時から検査終了時まで、同一の姿勢で欠陥検査を行うことができる。また、作業台を使用することによって、特に第６世代（Ｇ６）と称される長辺が１８５０ｍｍ、短辺が１５００ｍｍ以上の大型のガラス板の欠陥検査を効率よく行うことができる。

本発明の板状体の欠陥検査装置は、前記目的を達成するために、板状体の表面の欠陥を検査する検査手段と、前記欠陥の位置を記憶する記憶手段とを備えた板状体の欠陥検査装置において、前記検査手段は、前記板状体を立て掛けて搭載する架台と、前記架台に対向して配設された観察光学手段と、前記架台と前記観察光学手段とを相対的に移動させる移動手段と、前記架台に搭載された前記板状体に向けてスポット光を照射する光源手段と、前記板状体の表面における前記スポット光の照射位置の座標位置を算出する算出手段と、前記算出された座標位置を記憶する前記記憶手段と、を備えることを特徴とする。

本発明の板状体の欠陥検査装置の一態様は、前記板状体は矩形状であり、厚さが０．１〜０．７ｍｍであり、一辺の長さが１５００ｍｍ以上であることが好ましい。

本発明の板状体の欠陥検査装置の一態様は、前記移動手段は、前記架台を昇降させる昇降手段と、前記観察光学手段及び前記光源手段を水平方向に移動自在に支持する水平方向移動手段とを備えることが好ましい。

本発明の板状体の欠陥検査装置の一態様は、前記算出手段は、前記昇降手段からの昇降位置を示す位置情報と、前記水平方向移動手段からの水平方向位置を示す位置情報とに基づいて前記スポット光の照射位置の座標位置を算出することが好ましい。

本発明の板状体の欠陥検査装置の一態様は、前記検査手段にて検査終了した前記板状体を、欠陥検査結果に基づき板状体梱包部、板状体再研磨部、又は板状体廃棄部に振り分ける振り分け手段を備えることが好ましい。

本発明の板状体の欠陥検査装置の一態様は、前記記憶手段に記憶された前記座標位置を表示する表示手段を備えることが好ましい。

本発明の板状体の欠陥検査装置の一態様は、作業者が乗載する作業台が、前記架台に対向して備えられることが好ましい。

本発明の板状体の欠陥検査方法及び欠陥検査装置によれば、板状体の欠陥を検査するとともに、欠陥の発生・付着位置を取得できる。

実施の形態の板状体の欠陥検査装置を有する板状体製造装置の全体構成を示したブロック図 目視検査部とその近傍のガラス板搬送系を示した斜視図 自動検査部からの判定情報に基づいて目視検査部と振り分け装置を制御する制御部の制御系を示したブロック図 制御部による目視検査部の制御系を示したブロック図 目視検査部の要部構成を示した斜視図 （ａ）〜（ｅ）は目視検査部による欠陥検査方法の一例を示した説明図

以下、図面に従って本発明に係る板状体の欠陥検査方法及び欠陥検査装置の好ましい実施の形態について詳説する。

図１は、実施の形態のガラス板の欠陥検査装置１０を有するガラス板製造装置１２の全体構成を示したブロック図である。

ガラス板製造装置１２は、ガラス板の製造工程の上流側から下流側に向けて成形部（成形工程）１４、洗浄部１６、及び欠陥検査装置（第１の欠陥検査工程、第２の欠陥検査工程）１０が順に配置されて構成される。

成形部１４は、フロート法によって帯状のガラスリボンを成形するガラスリボン成形部（ガラスリボン成形工程）１８、ガラスリボンを所定サイズの矩形状のガラス板に切断する切断部（切断工程）２０、及びガラス板の表面を研磨パッド（研磨手段）によって研磨する研磨部（研磨工程）２２を備えている。この成形部１４によって、厚さが０．１〜０．７ｍｍであり、一辺の長さが１５００ｍｍ以上の矩形状のガラス板が製造される。なお、研磨部２２としては、特許文献１に開示された連続式の研磨装置でもよく、特許文献２に開示されたバッチ式の研磨装置でもよい。ガラス板は、その表面が研磨部２２によってＦＰＤに適した平坦度に研磨される。この後、ガラス板は、洗浄部１６で洗浄された後、欠陥検査装置１０に搬出される。

欠陥検査装置１０は、自動検査部（第１の欠陥検査手段）２４、振り分け装置（振り分け手段）２６、目視検査部（第２の欠陥検査手段）２８、振り分け装置（振り分け手段）３０、３２、梱包部（ガラス板梱包部）３４、再研磨部（ガラス板再研磨部）３６、及び廃棄部（ガラス板廃棄部）３８を備えている。

図２は、目視検査部２８とその近傍のガラス板搬送系を示した斜視図である。また、図３は、自動検査部２４からの判定情報に基づいて目視検査部２８と振り分け装置２６、３０、３２を制御する制御部４０の制御系を示したブロック図である。なお、図２の符号Ｇがガラス板である。

図３に示した制御部４０は、自動検査部２４によって良品と判定されたガラス板Ｇを、図２の搬送ローラ群（第１の搬送手段）４２によって梱包部３４に搬送する。また、図３の制御部４０は、自動検査部２４によって不良品と判定されたガラス板を、図２の搬送ローラ群（第２の搬送手段）４４によって目視検査部２８に搬送する。すなわち、制御部４０は、振り分け装置２６を制御して、搬送ローラ群４２の上流側で搬送されている不良品のガラス板Ｇを、搬送ローラ群４２に対して直交する方向の搬送ローラ群４４に受け渡す。

つまり、実施の形態の欠陥検査装置１０は、自動検査部２４によって検査された全てのガラス板Ｇを、目視検査部２８に搬送するのではなく、自動検査部２４によって不良品と判定されたガラス板Ｇのみを目視検査部２８に搬送する。これによって、ガラス板製造装置１２の稼働率を向上させている。

また、図３の制御部４０は、目視検査部２８の欠陥検査結果に基づいて、良品と判定されたガラス板Ｇを、振り分け装置３０によって梱包部３４に振り分ける。これにより、良品のガラス板Ｇが梱包部３４でパレット（不図示）に梱包される。なお、自動検査部２４によって不良品と判定されたガラス板Ｇであっても、目視検査部２８によって良品と判定される場合がある。この表面欠陥は、ガラス板Ｇの表面に付着した微小な塵であり、目視検査部２８において、その塵を作業者が除去することにより、そのガラス板Ｇが良品と判定される。

また、制御部４０は、目視検査部２８の欠陥検査結果に基づいて、再研磨必要と判定されたガラス板Ｇを、振り分け装置３０、３２によって再研磨部３６に振り分ける。これにより、ガラス板Ｇの表面が再研磨部３６によって再び研磨される。なお、図１の如く再研磨部３６を別途設けてよいが、そのガラス板を研磨部２２に戻して再研磨してもよい。

更に、制御部４０は、目視検査部２８の欠陥検査結果に基づいて、廃棄と判定されたガラス板Ｇを、振り分け装置３０、３２によって廃棄部３８に振り分ける。これにより、ガラス板Ｇが廃棄部３８に廃棄される。廃棄されたガラス板Ｇは、粉砕されてガラス原料として再利用される。

図１、図３に示した自動検査部２４としては、特許文献３に開示された既知の欠陥検査システムを適用できる。この欠陥検査システムの詳細な説明は省略するが、この欠陥検査システムは、ガラス板Ｇの表面に投光する線状光源と、ガラス板Ｇを通過した透過光を集光して明視野画像を撮影するカメラと、カメラの透過光の光路中のカメラの前面の位置に設けられるナイフエッジ状の光路遮蔽部材と、を有する欠陥検査部を備えている。また、前記カメラで撮影された明視野画像の中から、明視野画像の背景成分の信号値に比べて高い信号値を閾値として、明視野画像の中から明部の領域を探索し、探索の結果、明部の領域を抽出したとき、この明部の領域を用いてガラス板Ｇに欠陥領域が存在するか否かを判定する処理装置を備えている。

次に、目視検査部２８におけるガラス板Ｇの搬送形態について図２を参照して説明する。

搬送ローラ群４４は、上面に位置するガラス板Ｇの表面を水平方向に向けた状態で自動検査部２４から目視検査部２８にガラス板Ｇを搬送する。目視検査部２８は、ガラス板Ｇを起立させる起立部（起立手段）４６と、起立されたガラス板Ｇを、暗室４８に設置された架台５０に搬送して搭載する搬送搭載部（搬送搭載手段）５２と、架台５０からガラス板Ｇを起立させた状態で搬出する搬出部（搬出手段）５４と、搬出されたガラス板Ｇを水平方向に倒伏させて搬出する倒伏部（倒伏手段）５６とを備えている。

すなわち、搬送ローラ群４４によって目視検査部２８に向けて搬送されたガラス板Ｇは、搬送ローラ群４４の下流側において停止され、起立部４６によって起立される（起立工程）。次に、起立されたガラス板Ｇは、搬送搭載部５２によって架台５０に搬送されて搭載される（搬送搭載工程）。ガラス板Ｇは、架台５０に立て掛けられた状態で、その表面の欠陥が作業者によって目視検査される。この目視検査方法及び検査装置（検査手段）については後述する。

次いで、目視検査終了したガラス板Ｇは、架台５０から起立された状態で搬出部５４によって暗室４８から搬出される（搬出工程）。そして、搬出されたガラス板Ｇは、倒伏部５６によって水平方向に倒伏される（倒伏工程）。倒伏されたガラス板Ｇは、搬送ローラ群５８によって振り分け装置３０に向けて搬送される。このようにガラス板Ｇの搬送姿勢を水平から起立、起立から水平に変更することによって、ガラス板Ｇを自動検査部２４から目視検査部２８に、そして、目視検査部２８から振り分け装置３０に円滑に搬送できる。

なお、起立部４６と倒伏部５６は同一構成であり、ガラス板Ｇの裏面を受ける枠体を回動することにより、ガラス板Ｇを起伏させることができる。また、搬送搭載部５２及び搬出部５４も同一構成であり、ガラス板Ｇの下縁部に当接して回動する複数のローラ等を備えている。これらのローラの回転によってガラス板Ｇが起立した状態で搬送される。また、搬送ローラ群４２、４４、起立部４６、搬送搭載部５２、搬出部５４、倒伏部５６、及び搬送ローラ群５８の動作も制御部４０によって制御されている（図４参照）。

次に、図１〜図３に示した目視検査部２８の詳細について説明する。

図４は、制御部４０による目視検査部２８の制御系を示したブロック図である。また、図５は、目視検査部２８の要部構成を示した斜視図である。

図４、図５の如く目視検査部２８は、ガラス板Ｇを立て掛けて搭載する架台５０、架台５０に対向して配設された観察光学部（観察光学手段）６０、架台５０を矢印Ｙ方向に昇降移動させるサーボモータ（昇降手段）６２、観察光学部６０を矢印Ｘ方向に水平移動自在に支持するスライドレール（水平方向移動手段）６４、架台５０に搭載されたガラス板Ｇに向けてスポット光を照射するレーザーポインタ（光源手段）６６、ガラス板Ｇの表面におけるスポット光の照射位置ＰＭ（Point Mark）の座標位置を算出する制御部（算出手段）４０、算出された座標位置を記憶するＲＡＭ（Random Access Memory：記憶手段）６８、及び座標位置を表示する表示部（表示手段）７０を備えている。制御部４０は、サーボモータ６２の制御装置から出力される位置信号に基づいて、ガラス板Ｇの高さ方向の座標を算出する。

図５の如く、観察光学部６０は筒状の筐体７２に支持され、この筐体７２がアーム７４を介してブロック７６に連結されている。このブロック７６がスライドレール６４に水平方向に移動自在に支持されている。また、レーザーポインタ６６はアーム７４に取り付けられ、表示部７０は筐体７２にバー７８を介して取り付けられている。また、作業者が把持して操作する把手８０が筐体７２に取り付けられている。

スライドレール６４及びブロック７６に、図４のリニアエンコーダ８２が取り付けられている。リニアエンコーダ８２は、スライドレール６４に対するブロック７６の位置を検出し、位置情報として出力する装置である。リニアエンコーダ８２は、縞模様のスケール（不図示）と、スケールに光を照射する投光部及びスケールから反射した光を受光する受光部を備える検出器（不図示）と、検出器からのＯＮ・ＯＦＦ信号をカウントするアップダウンカウンタ（不図示）とから構成される。前記スケールがスライドレール６４に取り付けられ、前記検出器がブロック７６に取り付けられている。また、前記アップダウンカウンタは、制御部４０に内蔵されている。制御部４０は、前記アップダウンカウンタによってカウントされた前記信号の数を加算、減算することによって、ブロック７６の水平方向の座標位置を算出する。

一方、筐体７２には図４に示す操作部８４が取り付けられている。操作部８４には、スポット光のスイッチ８６、観察光学部６０の照明光のスイッチ８８、架台５０を昇降させるシーソーレバー９０、座標確定スイッチ９２、及び座標リセットボタン９４が備えられている。

作業者がスイッチ８６を操作することによって、レーザーポインタ６６からスポット光をガラス板Ｇに照射、及び照射停止できる。また、作業者がスイッチ８８を操作することによって、観察光学部６０からの照明光をガラス板Ｇに向けて照射、及び照射停止できる。更に、作業者がシーソーレバー９０を操作することによって、その操作方向及び操作量に基づきサーボモータ６２が正転方向、又は逆転方向に駆動され、これによって架台５０を昇降移動させることができる。また、作業者が座標確定スイッチ９２を操作することによって、高さ方向及び水平方向の座標位置を確定でき、座標リセットボタン９４を操作することによって、ＲＡＭ６８に一時記憶されている座標原点をリセットできる。

次に、前記の如く構成された目視検査部２８の作用について説明する。

まず、ガラス板Ｇを架台５０に立て掛けて搭載する（搭載工程）。架台５０に立て掛けるガラス板Ｇの傾斜角度は、ガラス板Ｇの表面が水平面に対して７５±５°が好ましい。傾斜角度が８０°を超えると、薄板のガラス板Ｇが撓み易くなり欠陥検査を効率よく行うことが困難になる。また、傾斜角度が７０°未満であると、大型サイズのガラス板Ｇを作業者が目視検査することが困難になる。

次に、ガラス板Ｇにおける座標原点を取得する。すなわち、ガラス板Ｇの四隅部のうち一つの隅部にレーザーポインタ６６からのスポット光を照射し、この状態で座標リセットボタン９４を操作する。これによって座標原点が取得され、ＲＡＭ６８に記憶される。

次に、架台５０に対向して配設された観察光学部６０をスライドレール６４に沿って水平移動させるとともに、架台５０を昇降移動させて、架台５０に搭載されたガラス板Ｇの欠陥を観察光学部６０によって見つけ出す（欠陥検出工程）。

図６（ａ）〜（ｅ）は、目視検査部２８による欠陥検査方法の一例を示した説明図である。

図６（ａ）は、搬送搭載部５２によってガラス板Ｇが架台５０に向けて搬送されてくる直前状態を示している。このとき、作業者９６は、架台５０に対向して設置された作業台９８に乗載した状態で待機している。

図６（ｂ）は、架台５０の下部に突設された支持ピン５１、５１…の上方でガラス板Ｇが停止した状態が示されている。このとき、作業者９６は、把手８０を把持して、レーザーポインタ６６を移動させ、レーザーポインタ６６からのスポット光を、ガラス板Ｇの左上隅部に照射した状態で、座標リセットボタン９４を操作して座標原点を取得する。

図６（ｃ）は、作業者９６がシーソーレバー９０を操作して、架台５０を上昇させた状態が示されている。架台５０を上昇させることによってガラス板Ｇは、その下辺部が支持ピン５１、５１…に支持されて架台５０とともに上昇される。このときの架台５０の上昇量は、観察光学部６０の視野範囲がガラス板Ｇの左上隅部に位置する量に設定される。また、上昇されたガラス板Ｇは、架台５０の位置決めピン５１Ａ、５１Ａによってその側端部が保持され、架台５０に対して位置ずれすることなく架台５０に搭載されている。

この後、ガラス板Ｇの欠陥検査を開始する。

すなわち、図６（Ｃ）の破線で示す矢印Ａの如く、ガラス板Ｇに対して観察光学部６０を、ガラス板Ｇの上辺と平行に、ガラス板Ｇの左辺から右辺に向けて水平移動させて欠陥を検査する。そして、観察光学部６０が右辺に到達した時点で、図６（ｄ）の如く、架台５０を測定ピッチ分上昇させた後、観察光学部６０を右辺から左辺に向けて水平移動させる。

そして、観察光学部６０が左辺に到達した時点で、ガラス板Ｇを測定ピッチ分上昇させる。このような動作をガラス板Ｇの表面の全面に対して行うことにより、ガラス板Ｇの表面の全面を検査できる。図６（ｅ）の矢印Ｃは、ガラス板Ｇの表面における観察光学部６０の移動軌跡を示している。なお、前記測定ピッチとは、観察光学部６０の視野範囲である。

このような目視検査作業時において、作業者９６が観察光学部６０を介して欠陥を見つけ出すと、その欠陥の位置にレーザーポインタ６６を移動させ、欠陥位置に向けてレーザーポインタ６６からスポット光を照射する（スポット光照射工程）。そして、この状態で座標確定スイッチ９２を操作すると、制御部４０は、サーボモータ６２の制御装置（不図示）から出力されている現在の位置信号（ガラス板Ｇの高さ方向の位置を示す情報）と、リニアエンコーダ８２から出力されている現在の位置信号（ガラス板Ｇに対するスポット光の照射位置の水平方向の位置を示す情報）とに基づいてスポット光の照射位置の座標位置、つまり、ガラス板Ｇにおける欠陥の発生位置を算出する。そして、制御部４０は、算出した座標位置をＲＡＭ６８に記憶させる（欠陥位置記憶工程）。これにより、欠陥の座標位置を取得できる。

したがって、実施の形態の欠陥検査装置１０によれば、自動検査部２４によってガラス板Ｇの欠陥を検査でき、また、欠陥の発生・付着位置を目視検査部２８によって取得できる。なお、座標位置とは、水平方向位置Ｘと高さ方向位置Ｙであり、その分解能はミリ単位であることが好ましい。その場合、表示部７０には、「Ｘｍｍ、Ｙｍｍ」と表示される。

また、目視検査部２８において作業者９６は、観察光学部６０及びレーザーポインタ６６を水平方向に手動で移動させながら欠陥検査を行う。そして、高さ方向においては架台５０をサーボモータ６２によって昇降させる。よって、作業者は、検査開始時から検査終了時まで、一定の姿勢で欠陥検査を行うことができる。よって、作業者の検査作業負担を軽減できる。

更に、目視検査部２８では、ＲＡＭ６８に記憶された座標位置を表示する表示部７０を備えているので、作業者９６は表示部７０に表示された座標位置によって欠陥の座標位置を確認できる。ガラス板Ｇの製造においては、１ロッドで略同一箇所に欠陥が発生する傾向にある。よって、表示部７０に表示された座標位置を作業者９６が確認することによって、作業者９６は、次のガラス板Ｇの欠陥位置を予測できるので、欠陥検査効率が向上する。

更にまた、図２、図６に示すように、作業者９６が乗載する作業台９８が、架台５０に対向して備えられているので、作業者９６は作業台９８に乗載し、観察光学部６０等を使用してガラス板Ｇの欠陥検査を目視にて行うことができる。

この際、作業者９６は、作業台９８において水平方向に往復移動しながら欠陥検査を行うが、高さ方向においては架台５０が昇降するので、検査開始時から検査終了時まで、同一の姿勢で欠陥検査を行うことができる。また、作業台９８を使用することによって、特に第６世代（Ｇ６）と称される長辺が１８５０ｍｍ、短辺が１５００ｍｍ以上の大型のガラス板の欠陥検査を効率よく行うことができる。

更に、実施の形態のガラス板の欠陥検査装置１０は、下記に示す利点がある。

すなわち、自動検査部２４の後段に目視検査部２８を配置することによって、目視検査部２８において特定位置の欠陥を検査できる。つまり、自動検査部２４によって検査された欠陥の位置情報（特定位置）が自動検査部２４の表示部に表示されるからである。

また、自動検査部２４の欠陥位置の積み重ねデータ(１枚のガラス板では見つけ難いが、数枚、数十枚のガラス板の欠陥MAPデータ）から、欠陥の発生位置にある傾向性が浮かび上がってくる場合がある。このような傾向性のある欠陥が発生している場合、普通にオンラインで流動しているガラス板を目視検査部２８に搬入し、点光源位置情報を使用して、欠陥発生位置を精査する。この場合、汚れなのか傷なのか、ガラス板の両面において検査を行う。

その他、目視検査部２８の重要な役割として、自動検査部２４が故障等して自動検査部２４が使用不能になった場合、目視検査部２８は、自動検査部２４のバッファ装置として機能する。

また、目視検査部２８は、目視検査部２８の上流で、何らかの品質改善活動を行った場合、ガラス板全体の品質を精査する検査機として機能する。例えば、研磨工程で新しい部材（研磨パッド、スラリなど）を使用した際に傷、汚れの確認、及び洗浄工程による洗浄用ブラシの跡がどの程度発生しているか等を確認できる。

特に、洗浄用ブラシの跡は、自動検査部２４では発見し難い。つまり、自動検査部２４は、微小な凹凸を検査対象とするものであり、洗浄用ブラシの跡のように薄い筋の集合体は、自動検査部２４で発見し難くなる。しかしながら、目視検査部２８であれば全体的な状態を見ることができるので、洗浄用ブラシの跡を発見できる。更に、目視検査部２８であれば、全体的にキラキラしている傷（外観に反応しない微細な傷）等のガラス板の面全体の品質の評価ができる。

更にまた、目視検査部２８は、オフラインでの、例えば品質保証の目的での良品抜取り検査にも使用され、目視による全面検査で、良品として出荷しているものの品質確認にも利用できる。また、このオフラインの目視検査は、オンラインの目視検査ではじっくりと観察できない場合等に役立っており、オフライン検査で、対象欠陥を点光源位置座標で特定し、そこを精査、或いは、マーキングし切り出して、顕微鏡精査などを行うことができる。

なお、実施の形態ではＦＰＤ用に使用されるガラス板を対象としたが、これに限定されるものではなく、本発明は、モバイルや携帯電話等の携帯型表示装置の分野で使用される、いわゆるカバーガラス板に適用してもよい。

また、実施の形態では、板状体としてガラス板を例示したが、これに限定されるものではなく、樹脂製及び金属製の板状体の欠陥検査方法及びその装置に適用できる。

以上、本発明の板状体の欠陥検査方法及び欠陥検査装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよい。

１０…欠陥検査装置、１２…ガラス板製造装置、１４…成形部、１６…洗浄部、１８…ガラスリボン成形部、２０…切断部、２２…研磨部、２４…自動検査部、２６…振り分け装置、２８…目視検査部、３０、３２…振り分け装置、３４…梱包部、３６…再研磨部、３８…廃棄部、４０…制御部、４２、４４…搬送ローラ群、４６…起立部、４８…暗室、５０…架台、５１…支持ピン、５１Ａ…位置決めピン、５２…搬送搭載部、５４…搬出部、５６…倒伏部、５８…搬送ローラ群、６０…観察光学部、６２…サーボモータ、６４…スライドレール、６６…レーザーポインタ、６８…ＲＡＭ、７０…表示部、７２…筐体、７４…アーム、７６…ブロック、７８…バー、８０…把手、８２…リニアエンコーダ、８４…操作部、８６、８８…スイッチ、９０…シーソーレバー、９２…座標確定スイッチ、９４…座標リセットボタン、９６…作業者、９８…作業台

Claims (26)

1. 板状体を成形する成形工程と、
   前記成形工程で成形された前記板状体の表面の欠陥を撮像手段によって検査する第１の欠陥検査工程と、
   前記第１の欠陥検査工程で検査された前記板状体の表面を、検査手段を使用して作業者が目視にて検査して前記板状体の表面の欠陥の位置を記憶手段に記憶させる第２の欠陥検査工程と、
   を備えることを特徴とする板状体の欠陥検査方法。
2. 前記第２の欠陥検査工程の前記検査手段による目視検査工程は、
   前記板状体を架台に立て掛けて搭載する搭載工程と、
   前記架台に対向して配設された観察光学手段と前記架台とを相対的に移動させて前記架台に搭載された前記板状体の欠陥を前記観察光学手段によって見つけ出す欠陥検出工程と、
   前記観察光学手段によって見つけ出された前記欠陥の位置に光源手段からスポット光を照射するスポット光照射工程と、
   前記板状体の表面における前記スポット光の照射位置の座標位置を算出手段で算出して前記記憶手段に記憶させる欠陥位置記憶工程と、
   を備える請求項１に記載の板状体の欠陥検査方法。
3. 前記板状体は矩形状であり、厚さが０．１〜０．７ｍｍであり、一辺の長さが１５００ｍｍ以上である請求項１又は２に記載の板状体の欠陥検査方法。
4. 前記欠陥検出工程では、前記架台を昇降させながら前記観察光学手段及び前記光源手段を水平方向に移動する請求項２又は３に記載の板状体の欠陥検査方法。
5. 前記成形工程は、
   フロート法によって帯状のガラスリボンを成形するガラスリボン成形工程と、
   前記ガラスリボンを所定サイズの矩形状の前記板状体であるガラス板に切断する切断工程と、
   前記ガラス板の表面を研磨手段によって研磨する研磨工程と、
   を備える請求項１から４のいずれか１項に記載の板状体の欠陥検査方法。
6. 前記第２の欠陥検査工程にて検査終了した前記板状体を、欠陥検査結果に基づき板状体梱包部、板状体再研磨部、又は板状体廃棄部に振り分ける振り分け工程を備える請求項１から５のいずれか１項に記載の板状体の欠陥検査方法。
7. 前記第１の欠陥検査工程にて良品と判定された前記板状体を前記板状体梱包部に搬送し、
   前記第１の欠陥検査工程にて不良品と判定された前記板状体を前記第２の欠陥検査工程に搬送する請求項６に記載の板状体の欠陥検査方法。
8. 前記板状体の表面を水平方向に向けた状態で前記第１の欠陥検査工程から前記第２の欠陥検査工程に前記板状体を搬送し、
   前記第２の欠陥検査工程は、前記板状体を起立させる起立工程と、前記起立された前記板状体を前記架台に搬送して搭載する搬送搭載工程と、前記架台から前記板状体を起立させた状態で搬出する搬出工程と、前記搬出された前記板状体を水平方向に倒伏させて搬出する倒伏工程と、を備える請求項１から７のいずれか１項に記載の板状体の欠陥検査方法。
9. 板状体を成形する成形部と、
   前記成形部で成形された前記板状体の表面の欠陥を撮像手段によって検査する第１の欠陥検査手段と、
   前記第１の欠陥検査手段で検査された前記板状体の表面を、検査手段を使用して作業者が目視にて検査して前記板状体の表面の欠陥の位置を記憶手段に記憶させる第２の欠陥検査手段と、
   を備えることを特徴とする板状体の欠陥検査装置。
10. 前記第２の欠陥検査手段の前記検査手段は、
    前記板状体を立て掛けて搭載する架台と、
    前記架台に対向して配設された観察光学手段と、
    前記架台と前記観察光学手段とを相対的に移動させる移動手段と、
    前記架台に搭載された前記板状体に向けてスポット光を照射する光源手段と、
    前記板状体の表面における前記スポット光の照射位置の座標位置を算出する算出手段と、
    前記算出された座標位置を記憶する前記記憶手段と、
    を備える請求項９に記載の板状体の欠陥検査装置。
11. 前記板状体は矩形状であり、厚さが０．１〜０．７ｍｍであり、一辺の長さが１５００ｍｍ以上である請求項９又は１０に記載の板状体の欠陥検査装置。
12. 前記移動手段は、前記架台を昇降させる昇降手段と、前記観察光学手段及び前記光源手段を水平方向に移動自在に支持する水平方向移動手段とを備える請求項１０又は１１に記載の板状体の欠陥検査装置。
13. 前記算出手段は、前記昇降手段からの昇降位置を示す位置情報と、前記水平方向移動手段からの水平方向位置を示す位置情報とに基づいて前記スポット光の照射位置の座標位置を算出する請求項１２に記載の板状体の欠陥検査装置。
14. 前記成形部は、
    フロート法によって帯状のガラスリボンを成形するガラスリボン成形部と、
    前記ガラスリボンを所定サイズの矩形状の前記板状体であるガラス板に切断する切断部と、
    前記ガラス板の表面を研磨手段によって研磨する研磨部と、
    を備える請求項９から１３のいずれか１項に記載の板状体の欠陥検査装置。
15. 前記第２の欠陥検査手段にて検査終了した前記板状体を、欠陥検査結果に基づき板状体梱包部、板状体再研磨部、又は板状体廃棄部に振り分ける振り分け手段を備える請求項９から１４のいずれか１項に記載の板状体の欠陥検査装置。
16. 前記第１の欠陥検査手段にて良品と判定された前記板状体を前記板状体梱包部に搬送する第１の搬送手段と、
    前記第１の欠陥検査手段にて不良品と判定された前記板状体を前記第２の欠陥検査手段に搬送する第２の搬送手段と、
    を備える請求項１５に記載の板状体の欠陥検査装置。
17. 前記第２の搬送手段は、前記板状体の表面を水平方向に向けた状態で前記第１の欠陥検査手段から前記第２の欠陥検査手段に前記板状体を搬送し、
    前記第２の欠陥検査手段は、前記板状体を起立させる起立手段と、前記起立された前記板状体を前記架台に搬送して搭載する搬送搭載手段と、前記架台から前記板状体を起立させた状態で搬出する搬出手段と、前記搬出された前記板状体を水平方向に倒伏させて搬出する倒伏手段と、を備える請求項１６に記載の板状体の欠陥検査装置。
18. 前記記憶手段に記憶された前記座標位置を表示する表示手段を備える請求項９から１７のいずれか１項に記載の板状体の欠陥検査装置。
19. 作業者が乗載する作業台が、前記架台に対向して備えられる請求項９から１８のいずれか１項に記載の板状体の欠陥検査装置。
20. 板状体の表面の欠陥を検査する検査手段と、前記欠陥の位置を記憶する記憶手段とを備えた板状体の欠陥検査装置において、
    前記検査手段は、
    前記板状体を立て掛けて搭載する架台と、
    前記架台に対向して配設された観察光学手段と、
    前記架台と前記観察光学手段とを相対的に移動させる移動手段と、
    前記架台に搭載された前記板状体に向けてスポット光を照射する光源手段と、
    前記板状体の表面における前記スポット光の照射位置の座標位置を算出する算出手段と、
    前記算出された座標位置を記憶する前記記憶手段と、
    を備える板状体の欠陥検査装置。
21. 前記板状体は矩形状であり、厚さが０．１〜０．７ｍｍであり、一辺の長さが１５００ｍｍ以上である請求項２０に記載の板状体の欠陥検査装置。
22. 前記移動手段は、前記架台を昇降させる昇降手段と、前記観察光学手段及び前記光源手段を水平方向に移動自在に支持する水平方向移動手段とを備える請求項２０又は２１に記載の板状体の欠陥検査装置。
23. 前記算出手段は、前記昇降手段からの昇降位置を示す位置情報と、前記水平方向移動手段からの水平方向位置を示す位置情報とに基づいて前記スポット光の照射位置の座標位置を算出する請求項２２に記載の板状体の欠陥検査装置。
24. 前記検査手段にて検査終了した前記板状体を、欠陥検査結果に基づき板状体梱包部、板状体再研磨部、又は板状体廃棄部に振り分ける振り分け手段を備える請求項２０から２３のいずれか１項に記載の板状体の欠陥検査装置。
25. 前記記憶手段に記憶された前記座標位置を表示する表示手段を備える請求項２０から２４のいずれか１項に記載の板状体の欠陥検査装置。
26. 作業者が乗載する作業台が、前記架台に対向して備えられる請求項２０から２５のいずれか１項に記載の板状体の欠陥検査装置。