TW201415011A - 板狀體之缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種檢查板狀體之缺陷並且可獲取缺陷之產生、附著位置之板狀體之缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置。根據本發明，首先，將玻璃板G豎立搭載於座架50。其次，獲取座標原點。即，獲取將自雷射指示器66之光點照射至玻璃板G之四角部中之一個角部的位置作為座標原點。繼而，使與座架50對向地配設之觀察光學部60沿著滑軌64水平移動，並且使座架50升降移動，利用觀察光學部60找出搭載於座架50之玻璃板G之缺陷。繼而，自雷射指示器66朝向利用觀察光學部60找出之缺陷之位置照射光點。然後，利用控制部40計算玻璃板G之表面之光點之照射位置之座標位置，並使RAM68記憶該座標位置。

Description

板狀體之缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置

本發明係關於一種板狀體之缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置。

近年來，作為大型電視、個人電腦、行動電話等行動裝置之顯示裝置而使用有液晶顯示裝置、電漿顯示裝置、有機EL(electroluminescence，電致發光)顯示裝置等FPD(Flat Panel Display：板狀體)。

上述顯示裝置係使用至少包括一片玻璃板之顯示元件。關於上述顯示元件，要求顯示性能之高品質化，因此關於顯示元件之玻璃板，亦要求無瑕疵且無起伏(平坦度較高)之高品質者。又，隨著顯示畫面尺寸之大型化、及行動裝置之興起，亦產生輕量化、薄型化之要求。

作為使用於上述FPD之玻璃板之製造方法之一例，已知有浮式法。

利用上述浮式法之玻璃板之製造方法係首先將玻璃原料投入至熔解槽中製造熔融玻璃。其次，將熔融玻璃連續地供給至收容於浴槽中之熔融錫之表面上。被供給之熔融玻璃一面沿著熔融錫之表面自上游側流動至下游側，一面形成為帶狀之玻璃帶。玻璃帶係被自浴槽之出口取出，其後，於緩冷爐中緩冷至室溫左右之後，利用切斷裝置切斷為特定之大小之玻璃板。

利用浮式法之玻璃板之製造方法容易於與浴槽之熔融錫接觸之 玻璃板之表面(底面)產生由在熔融錫中產生之泡所導致之缺陷。又，存在因成形步驟而引起玻璃板之表面產生起伏並且附著異物之情形。因此，於玻璃板之製造裝置中包括將經切斷之玻璃板之上述表面(被研磨面)研磨為適用於FPD之高品質(平坦度)之研磨裝置(例如專利文獻1、2)。

專利文獻1之研磨裝置係沿著玻璃板之搬送路徑而配置複數台研磨具且一面沿著搬送路徑搬送玻璃板一面利用複數台研磨具研磨玻璃板之表面的連續式研磨裝置。

又，專利文獻2之研磨裝置係不搬送玻璃板而使用自轉之1台研磨具研磨玻璃板之表面的批次式研磨裝置。

然而，於利用上述浮式法之製造方法中，存在缺陷(以下，稱作表面缺陷)與成形時之玻璃帶之移動方向平行地以某種傾向分佈於玻璃板之表面之情形。所謂之上述表面缺陷係因附著於搬送玻璃帶之輥之玻璃片、玻璃原料之攪拌不均等各種原因而產生之微小之瑕疵、起伏、及異物之附著。

上述瑕疵、起伏及異物之附著係大致呈具有一方向之規則性之條帶狀產生。此種瑕疵、起伏、及異物雖利用上述研磨裝置去除，但因表面缺陷之大小不同而存在難以完全地去除之情形。因此，於研磨裝置之後段，設置例如專利文獻3所揭示之已知之缺陷檢查系統，並利用該缺陷檢查系統檢查研磨後之玻璃板之表面之瑕疵、異物之有無。

又，研磨後之玻璃板之表面之起伏係使用例如專利文獻4所揭示之已知之平坦度測定裝置而進行檢查。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2007-190657號公報

[專利文獻2]日本專利特開2004-122351號公報

[專利文獻3]日本專利特開2010-48745號公報

[專利文獻4]日本專利第3411829號公報

專利文獻3所揭示之缺陷檢查系統雖可檢測出玻璃板之瑕疵、及異物，但期望進一步詳細地獲取瑕疵之產生位置、及異物之附著位置。其原因在於，藉由獲取此種瑕疵及異物之產生、附著位置，可驗證瑕疵及異物之產生、附著原因，而成為用以維護製造裝置之構成構件(例如搬送輥)之資訊源。然而，於先前之玻璃板之缺陷檢查裝置中，未構築此種系統。

本發明係鑒於此種問題而完成者，且目的在於提供一種檢查板狀體之缺陷並且可獲取缺陷之產生、附著位置之板狀體之缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置。

為達成上述目的，根據本發明之板狀體之缺陷檢查方法，其特徵在於包括：成形步驟，其成形板狀體；第1缺陷檢查步驟，其利用攝像機構檢查於上述成形步驟中成形之上述板狀體之表面之缺陷；及第2缺陷檢查步驟，其係由作業人員使用檢查機構以目視檢查於上述第1缺陷檢查步驟中經檢查之上述板狀體之表面，並使記憶機構記憶上述板狀體之表面之缺陷之位置。

為達成上述目的，根據本發明之板狀體之缺陷檢查裝置，其特徵在於包括：成形部，其成形板狀體；第1缺陷檢查機構，其利用攝像機構檢查於上述成形部中成形之上述板狀體之表面之缺陷；及第2缺陷檢查機構，其係由作業人員使用檢查機構以目視檢查於上述第1缺陷檢查機構中經檢查之上述板狀體之表面並使記憶機構記憶上述板 狀體之表面之缺陷之位置。

根據本發明，首先，於成形部中成形板狀體(成形步驟)。其次，利用第1缺陷檢查機構之攝像機構檢測經成形之板狀體之表面之缺陷(瑕疵、異物)(第1缺陷檢查步驟)。作為第1缺陷檢查機構，可例示專利文獻3所揭示之已知之缺陷檢查系統。而且，利用第1缺陷檢查機構檢測出缺陷之板狀體係利用第2缺陷檢查機構獲取缺陷之位置並記憶於記憶機構(第2缺陷檢查步驟)。第2缺陷檢查機構為由使用檢查機構之作業人員進行之目視檢查，作業人員使用檢查機構找出缺陷，並使記憶機構記憶該板狀體之缺陷之座標位置。

因此，根據本發明，可提供一種檢查板狀體之缺陷並且可獲取缺陷之產生、附著位置之板狀體之缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置。再者，所謂上述座標位置係指例如將板狀體之四角部中之一個角部設為座標原點時缺陷相對於該座標原點之位置。

本發明之板狀體之缺陷檢查方法之一態樣較佳為，上述第2缺陷檢查步驟包括：搭載步驟，其將上述板狀體豎立搭載於座架上；缺陷檢測步驟，其使與上述座架對向地配設之觀察光學機構與上述座架相對地移動，並利用上述觀察光學機構找出搭載於上述座架之上述板狀體之缺陷；光點照射步驟，其自光源機構對由上述觀察光學機構所找出之上述缺陷之位置照射光點；及缺陷位置記憶步驟，其利用計算機構計算上述板狀體之表面之上述光點之照射位置的座標位置，並使上述記憶機構記憶該座標位置。

本發明之板狀體之缺陷檢查裝置之一態樣較佳為，上述第2缺陷檢查機構之上述檢查機構包括：座架，其將上述板狀體豎立搭載；觀察光學機構，其與上述座架對向地配設；移動機構，其使上述座架與上述觀察光學機構相對地移動；光源機構，其朝向搭載於上述座架之上述板狀體照射光點；計算機構，其計算上述板狀體之表面之上述光 點之照射位置的座標位置；及上述記憶機構，其記憶上述計算出之座標位置。

根據本發明之一態樣，於利用第2缺陷檢查機構之檢查機構進行之目視檢查中，首先，將板狀體豎立搭載於座架(搭載步驟)。豎立於座架上之板狀體之傾斜角度較佳為板狀體之表面相對於水平面為75±5°。若傾斜角度超過80°，則薄板之板狀體變得容易彎曲而難以效率較佳地進行缺陷檢查。又，若傾斜角度未達70°，則作業人員難以對大型尺寸之板狀體進行目視檢查。

其次，使與座架對向地配設之觀察光學機構與座架相對地移動，並利用觀察光學機構找出搭載於座架之板狀體之缺陷(缺陷檢測步驟)。觀察光學機構較佳為包括照明機構及具備透鏡之光學系統。又，若對上述相對移動之一例進行說明，則使觀察光學機構相對於板狀體例如與板狀體之上邊平行地自板狀體之左邊朝向右邊移動。繼而，於觀察光學機構到達至右邊之時間點，使板狀體上升或下降測定間距之量之後，使觀察光學機構自右邊朝向左邊移動。繼而，於觀察光學機構到達至左邊之時間點，使板狀體上升或下降相當於測定間距。藉由對板狀體之表面之整個面進行此種移動，可檢查板狀體之表面之整個面。再者，所謂上述測定間距係觀察光學機構之視野範圍。

繼而，自光源機構對由觀察光學機構所找出之缺陷之位置照射光點(光點照射步驟)。然後，利用計算機構計算板狀體之表面之光點之照射位置的座標位置並使記憶機構記憶該座標位置(缺陷位置記憶步驟)。藉此，可獲取缺陷之座標位置。

本發明之板狀體之缺陷檢查方法之一態樣較佳為，上述板狀體為矩形狀，其厚度為0.1~0.7 mm，其一邊之長度為1500 mm以上。

本發明之板狀體之缺陷檢查裝置之一態樣較佳為，上述板狀體為矩形狀，其厚度為0.1~0.7 mm，其一邊之長度為1500 mm以上。

根據本發明之一態樣，以作為FPD用之板狀體而使用之厚度為0.1~0.7 mm之矩形狀之玻璃板為對象。又，以於平放狀態下難以進行目視檢查之一邊之長度為1500 mm以上之玻璃板為對象。再者，未規定一邊之長度之上限值，現在，作為所製造之FPD用之玻璃板，亦有一邊之長度超過3000 mm(第10代)者。即便為此種大型玻璃板，亦可有效地利用本發明之板狀體之缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置。

本發明之板狀體之缺陷檢查方法之一態樣較佳為，於上述缺陷檢測步驟中，一面使上述座架升降，一面使上述觀察光學機構及上述光源機構於水平方向移動。

本發明之板狀體之缺陷檢查裝置之一態樣較佳為，上述移動機構包括：升降機構，其使上述座架升降；及水平方向移動機構，其於水平方向移動自如地支撐上述觀察光學機構及上述光源機構。

根據本發明之一態樣，於缺陷檢測步驟中，一面利用升降機構使座架升降，一面使觀察光學機構及光源機構於水平方向移動。作業人員一面使觀察光學機構及光源機構相對於板狀體於水平方向往返移動，一面進行缺陷檢查。而且，使座架於高度方向上升降。由此，作業人員自檢查開始時至檢查結束時為止，可以固定姿勢進行缺陷檢查。因此，可減輕作業人員之檢查作業負擔。

本發明之板狀體之缺陷檢查裝置之一態樣較佳為，上述計算機構係基於來自上述升降機構之表示升降位置之位置資訊、與來自上述水平方向移動機構之表示水平方向位置之位置資訊而計算上述光點之照射位置之座標位置。

根據本發明之一態樣，計算機構係基於自構成升降機構之例如伺服馬達之控制裝置輸出之位置信號(表示板狀體之高度方向之位置之資訊)、與自構成水平方向移動機構之例如線性編碼器輸出之位置信號(表示光點對板狀體之照射位置之水平方向之位置的資訊)而計算 座標位置。

本發明之板狀體之缺陷檢查方法之一態樣較佳為，上述成形步驟包括：玻璃帶成形步驟，其利用浮式法成形帶狀之玻璃帶；切斷步驟，其將上述玻璃帶切斷成特定尺寸之矩形狀之上述板狀體即玻璃板；及研磨步驟，其利用研磨機構研磨上述板狀體之表面。

本發明之板狀體之缺陷檢查裝置之一態樣較佳為，上述成形部包括：玻璃帶成形部，其利用浮式法成形帶狀之玻璃帶；切斷部，其將上述玻璃帶切斷成特定尺寸之矩形狀之上述板狀體即玻璃板；及研磨部，其利用研磨機構研磨上述玻璃板之表面。

根據本發明之一態樣，成形部(成形步驟)包括利用浮式法之玻璃帶成形部(玻璃帶成形步驟)、切斷部(切斷步驟)、研磨部(研磨步驟)。即，本發明之一態樣中作為板狀體，以藉由浮式法所製造之玻璃板為對象，且以檢查與熔融錫接觸之玻璃板之表面所產生之缺陷之缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置為對象。再者，本發明之玻璃板之缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置並不限定於藉由浮式法所製造之玻璃板，即便為藉由例如熔融法(下拉法)所製造之玻璃板，亦可進行缺陷檢查。

本發明之板狀體之缺陷檢查方法之一態樣較佳為包括分配步驟，該分配步驟係基於缺陷檢查結果，將已於上述第2缺陷檢查步驟中結束檢查之上述板狀體分配至板狀體捆包部、板狀體再研磨部、或板狀體廢棄部。

本發明之板狀體之缺陷檢查裝置之一態樣較佳為包括分配機構，該分配機構係基於缺陷檢查結果，將已於上述第2缺陷檢查機構中結束檢查之上述板狀體分配至板狀體捆包部、板狀體再研磨部、或板狀體廢棄部。

根據本發明之一態樣，基於缺陷檢查結果，藉由分配機構將已於第2缺陷檢查機構中結束檢查之板狀體分配至板狀體捆包部、板狀 體再研磨部、或板狀體廢棄部(分配步驟)。

即，基於缺陷檢查結果，藉由分配機構將被判定為良品之板狀體分配至板狀體捆包部。藉此，以板狀體捆包部在托板上將板狀體捆包。有時存在即便為由第1缺陷檢查機構判定為不良品之板狀體，亦會由第2缺陷檢查機構判定為良品之情形。該缺陷係附著於板狀體之表面之微小之灰塵，於第2缺陷檢查步驟中，藉由作業人員去除該灰塵，則該板狀體被判定為良品。

又，基於缺陷檢查結果，藉由分配機構將被判定為需要再研磨之板狀體分配至板狀體再研磨部。藉此，利用板狀體再研磨部再次研磨板狀體之表面。進而，基於缺陷檢查結果，藉由分配機構將被判定為廢棄之板狀體分配至板狀體廢棄部。藉此，將板狀體廢棄至板狀體廢棄部。被廢棄之板狀體經粉碎後作為玻璃原料再利用。

本發明之板狀體之缺陷檢查方法之一態樣較佳為，將於上述第1缺陷檢查步驟中判定為良品之上述板狀體搬送至上述板狀體捆包部，將於上述第1缺陷檢查步驟中判定為不良品之上述板狀體搬送至上述第2缺陷檢查步驟。

本發明之板狀體之缺陷檢查裝置之一態樣較佳為包括：第1搬送機構，其將由上述第1缺陷檢查機構判定為良品之上述板狀體搬送至上述板狀體捆包部；及第2搬送機構，其將由上述第1缺陷檢查機構判定為不良品之上述板狀體搬送至上述第2缺陷檢查機構。

根據本發明之一態樣，藉由第1搬送機構將由第1缺陷檢查機構判定為良品之板狀體搬送至板狀體捆包部。而且，藉由第2搬送機構將由第1缺陷檢查機構判定為不良品之板狀體搬送至第2缺陷檢查步驟。

即，由於不將經第1缺陷檢查機構檢查之所有板狀體搬送至第2缺陷檢查機構，而僅將由第1缺陷檢查機構判定為不良品之板狀體搬 送至第2缺陷檢查機構，故提高板狀體製造裝置整體之運行率。

本發明之板狀體之缺陷檢查方法之一態樣較佳為，於使上述板狀體之表面朝向水平方向之狀態下將上述板狀體自上述第1缺陷檢查步驟搬送至上述第2缺陷檢查步驟，且上述第2缺陷檢查步驟包括：立起步驟，其使上述板狀體立起；搬送搭載步驟，其將上述立起之上述板狀體搬送並搭載於上述座架；搬出步驟，其將上述板狀體以立起之狀態自上述座架搬出；及倒伏步驟，其使上述搬出之上述板狀體於水平方向倒伏而搬出。

本發明之板狀體之缺陷檢查裝置之一態樣較佳為，上述第2搬送機構係於使上述板狀體之表面朝向水平方向之狀態下將上述板狀體自上述第1缺陷檢查機構搬送至上述第2缺陷檢查機構，且上述第2缺陷檢查機構包括：立起機構，其使上述板狀體立起；搬送搭載機構，其將上述立起之上述板狀體搬送並搭載於上述座架；搬出機構，其將上述板狀體以立起之狀態自上述座架搬出；及倒伏機構，其使上述搬出之上述板狀體於水平方向倒伏而搬出。

根據本發明之一態樣，於使板狀體之表面朝向水平方向之狀態下，藉由第2搬送機構將板狀體自第1缺陷檢查機構搬送至第2缺陷檢查機構。而且，第2缺陷檢查機構首先藉由立起機構使板狀體立起(立起步驟)。其次，將立起之板狀體搬送至座架並搭載於其上(搬送搭載步驟)。繼而，將結束檢查之板狀體以立起之狀態自座架搬出(搬出步驟)。然後，使搬出之板狀體於水平方向倒伏而搬出(倒伏步驟)。搬出之板狀體係藉由分配機構而被分配至板狀體捆包部、板狀體再研磨部、或板狀體廢棄部。藉由如此般變更板狀體之姿勢，可將板狀體自第1缺陷檢查機構順利地搬送至第2缺陷檢查機構，繼而自第2缺陷檢查機構順利地搬送至分配機構。

本發明之板狀體之缺陷檢查裝置之一態樣較佳為包括顯示記憶 於上述記憶機構之上述座標位置之顯示機構。

根據本發明之一態樣，作業人員可根據顯示於顯示機構之座標位置確認缺陷之座標位置。又，於板狀體之製造中，有於1桿中在大致相同位置會產生缺陷之傾向。由此，藉由作業人員確認顯示於顯示機構之座標位置，作業人員可預測後續板狀體之缺陷位置，因此提高缺陷檢查效率。

本發明之板狀體之缺陷檢查裝置之一態樣較佳為，與上述座架對向地具備作業人員所乘載之作業台。

根據本發明，作業人員乘載於作業台並使用檢查機構以目視進行板狀體之缺陷檢查。此時，作業人員雖一面在作業台上於水平方向往返移動一面進行缺陷檢查，但由於座架於高度方向上升降，故而自檢查開始時至檢查結束時為止，可以相同姿勢進行缺陷檢查。又，藉由使用作業台，尤其可效率較佳地進行被稱作第6代(G6)之長邊為1850 mm、短邊為1500 mm以上之大型玻璃板之缺陷檢查。

本發明之板狀體之缺陷檢查裝置係為達成上述目的而包括檢查板狀體之表面之缺陷之檢查機構、及記憶上述缺陷之位置之記憶機構，其特徵在於上述檢查機構包括：座架，其將上述板狀體豎立搭載；觀察光學機構，其與上述座架對向地配設；移動機構，其使上述座架與上述觀察光學機構相對地移動；光源機構，其朝向搭載於上述座架之上述板狀體照射光點；計算機構，其計算上述板狀體之表面之上述光點之照射位置的座標位置；及上述記憶機構，其記憶上述計算出之座標位置。

本發明之板狀體之缺陷檢查裝置之一態樣較佳為，上述板狀體為矩形狀，厚度為0.1~0.7 mm，一邊之長度為1500 mm以上。

本發明之板狀體之缺陷檢查裝置之一態樣較佳為，上述移動機構包括：升降機構，其使上述座架升降；及水平方向移動機構，其於 水平方向移動自如地支撐上述觀察光學機構及上述光源機構。

本發明之板狀體之缺陷檢查裝置之一態樣較佳為，上述計算機構係基於來自上述升降機構之表示升降位置之位置資訊、與來自上述水平方向移動機構之表示水平方向位置之位置資訊而計算上述光點之照射位置之座標位置。

本發明之板狀體之缺陷檢查裝置之一態樣較佳為包括分配機構，該分配機構係基於缺陷檢查結果而將已於上述檢查機構中結束檢查之上述板狀體分配至板狀體捆包部、板狀體再研磨部、或板狀體廢棄部。

本發明之板狀體之缺陷檢查裝置之一態樣較佳為包括顯示記憶於上述記憶機構之上述座標位置之顯示機構。

本發明之板狀體之缺陷檢查裝置之一態樣較佳為，與上述座架對向地具備作業人員所乘載之作業台。

根據本發明之板狀體之缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置，檢查板狀體之缺陷並且可獲取缺陷之產生、附著位置。

10‧‧‧缺陷檢查裝置

12‧‧‧玻璃板製造裝置

14‧‧‧成形部

16‧‧‧清洗部

18‧‧‧玻璃帶成形部

20‧‧‧切斷部

22‧‧‧研磨部

24‧‧‧自動檢查部

26‧‧‧分配裝置

28‧‧‧目視檢查部

30、32‧‧‧分配裝置

34‧‧‧捆包部

36‧‧‧再研磨部

38‧‧‧廢棄部

40‧‧‧控制部

42、44‧‧‧搬送輥群

46‧‧‧立起部

48‧‧‧暗室

50‧‧‧座架

51‧‧‧支撐銷

51A‧‧‧定位銷

52‧‧‧搬送搭載部

54‧‧‧搬出部

56‧‧‧倒伏部

58‧‧‧搬送輥群

60‧‧‧觀察光學部

62‧‧‧伺服馬達

64‧‧‧滑軌

66‧‧‧雷射指示器

68‧‧‧RAM

70‧‧‧顯示部

72‧‧‧殼體

74‧‧‧臂

76‧‧‧塊體

78‧‧‧桿

80‧‧‧把手

82‧‧‧線性編碼器

84‧‧‧操作部

86、88‧‧‧開關

90‧‧‧蹺蹺板式槓桿

92‧‧‧座標確定開關

94‧‧‧座標重設按鈕

96‧‧‧作業人員

98‧‧‧作業台

A‧‧‧箭頭

B‧‧‧箭頭

C‧‧‧箭頭

G‧‧‧玻璃板

PM‧‧‧位置

X‧‧‧箭頭

Y‧‧‧箭頭

圖1係表示包括實施形態之板狀體之缺陷檢查裝置之板狀體製造裝置之整體構成的方塊圖。

圖2係表示目視檢查部與其附近之玻璃板搬送系統之立體圖。

圖3係表示基於來自自動檢查部之判定資訊而控制目視檢查部與分配裝置之控制部之控制系統的方塊圖。

圖4係表示控制部之目視檢查部之控制系統之方塊圖。

圖5係表示目視檢查部之主要部分構成之立體圖。

圖6(a)~(e)係表示利用目視檢查部之缺陷檢查方法之一例之說明圖。

以下，根據圖式對本發明之板狀體之缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置之較佳實施形態進行詳細說明。

圖1係表示包括實施形態之玻璃板之缺陷檢查裝置10之玻璃板製造裝置12之整體構成的方塊圖。

玻璃板製造裝置12係自玻璃板之製造步驟之上游側向下游側依序配置成形部(成形步驟)14、清洗部16、及缺陷檢查裝置(第1缺陷檢查步驟、第2缺陷檢查步驟)10而構成。

成形部14包括：玻璃帶成形部(玻璃帶成形步驟)18，其利用浮式法成形帶狀之玻璃帶；切斷部(切斷步驟)20，其將玻璃帶切斷成特定尺寸之矩形狀之玻璃板；及研磨部(研磨步驟)22，其利用研磨墊(研磨機構)研磨玻璃板之表面。藉由該成形部14製造厚度為0.1~0.7 mm、一邊之長度為1500 mm以上之矩形狀之玻璃板。再者，作為研磨部22，可為專利文獻1所揭示之連續式研磨裝置，亦可為專利文獻2所揭示之批次式研磨裝置。玻璃板係其表面經研磨部22研磨至適用於FPD之平坦度。其後，玻璃板由清洗部16清洗之後，被搬出至缺陷檢查裝置10。

缺陷檢查裝置10包括自動檢查部(第1缺陷檢查機構)24、分配裝置(分配機構)26、目視檢查部(第2缺陷檢查機構)28、分配裝置(分配機構)30、32、捆包部(玻璃板捆包部)34、再研磨部(玻璃板再研磨部)36、及廢棄部(玻璃板廢棄部)38。

圖2係表示目視檢查部28與其附近之玻璃板搬送系統之立體圖。又，圖3係表示基於來自自動檢查部24之判定資訊而控制目視檢查部28與分配裝置26、30、32之控制部40之控制系統的方塊圖。再者，圖2之符號G為玻璃板。

圖3所示之控制部40係利用圖2之搬送輥群(第1搬送機構)42將由 自動檢查部24判定為良品之玻璃板G搬送至捆包部34。又，圖3之控制部40係利用圖2之搬送輥群(第2搬送機構)44將由自動檢查部24判定為不良品之玻璃板搬送至目視檢查部28。即，控制部40係控制分配裝置26而將於搬送輥群42之上游側搬送之不良品之玻璃板G交接至相對於搬送輥群42正交之方向之搬送輥群44。

即，實施形態之缺陷檢查裝置10係不將經自動檢查部24檢查之所有玻璃板G搬送至目視檢查部28，而僅將由自動檢查部24判定為不良品之玻璃板G搬送至目視檢查部28。藉此，提高玻璃板製造裝置12之運行率。

又，圖3之控制部40係基於目視檢查部28之缺陷檢查結果而利用分配裝置30將被判定為良品之玻璃板G分配至捆包部34。藉此，利用捆包部34在托板(未圖示)上將良品之玻璃板G捆包。再者，存在即便為由自動檢查部24判定為不良品之玻璃板G，亦會由目視檢查部28判定為良品之情形。該表面缺陷係附著於玻璃板G之表面之微小之灰塵，於目視檢查部28中，藉由作業人員去除該灰塵，將該玻璃板G判定為良品。

又，控制部40係基於目視檢查部28之缺陷檢查結果而利用分配裝置30、32將被判定為需要再研磨之玻璃板G分配至再研磨部36。藉此，利用再研磨部36再次研磨玻璃板G之表面。再者，可如圖1般另外設置再研磨部36，亦可將該玻璃板移回至研磨部22而進行再研磨。

進而，控制部40係基於目視檢查部28之缺陷檢查結果而利用分配裝置30、32將判定為廢棄之玻璃板G分配至廢棄部38。藉此，將玻璃板G廢棄於廢棄部38。被廢棄之玻璃板G係經粉碎後而作為玻璃原料再利用。

作為圖1、圖3所示之自動檢查部24，可應用專利文獻3所揭示之已知之缺陷檢查系統。雖將該缺陷檢查系統之詳細之說明省略，但該 缺陷檢查系統具備如下之缺陷檢查部，其包括：線狀光源，其投光至玻璃板G之表面；相機，其將穿過玻璃板G之透射光聚光並拍攝明視野圖像；光程遮蔽構件，其為刀刃狀，且設置於相機之透射光之光程中之相機之前面之位置。又，具備如下之處理裝置，其自上述相機所拍攝到之明視野圖像中將與明視野圖像之背景成分之信號值相比較高之信號值作為閾值，自明視野圖像中搜索明部之區域，於搜索之結果為提取出明部之區域時，使用該明部之區域而判定是否於玻璃板G存在缺陷區域。

接下來，參照圖2對目視檢查部28中之玻璃板G之搬送形態進行說明。

搬送輥群44係在使位於上表面之玻璃板G之表面朝向水平方向之狀態下將玻璃板G自自動檢查部24搬送至目視檢查部28。目視檢查部28包括：立起部(立起機構)46，其使玻璃板G立起；搬送搭載部(搬送搭載機構)52，其將立起之玻璃板G搬送至設置於暗室48之座架50並進行搭載；搬出部(搬出機構)54，其將玻璃板G以立起之狀態自座架50搬出；及倒伏部(倒伏機構)56，其使搬出之玻璃板G於水平方向倒伏而搬出。

即，由搬送輥群44朝向目視檢查部28搬送之玻璃板G於搬送輥群44之下游側停止，並藉由立起部46立起(立起步驟)。繼而，立起之玻璃板G係由搬送搭載部52搬送至座架50並搭載於其上(搬送搭載步驟)。玻璃板G係以於座架50上豎立之狀態由作業人員目視檢查其表面之缺陷。關於該目視檢查方法及檢查裝置(檢查機構)，於下文敘述。

繼而，結束目視檢查之玻璃板G係以自座架50立起之狀態由搬出部54自暗室48搬出(搬出步驟)。然後，被搬出之玻璃板G係藉由倒伏部56而於水平方向倒伏(倒伏步驟)。倒伏之玻璃板G係由搬送輥群58朝向分配裝置30搬送。藉由如此般使玻璃板G之搬送姿勢自水平變更 為立起且自立起變更為水平，可將玻璃板G自自動檢查部24順利地搬送至視檢查部28，繼而自目視檢查部28順利地搬送至分配裝置30。

再者，立起部46與倒伏部56為相同構成，藉由使支承玻璃板G之背面之殼體旋動，可使玻璃板G產生起伏。又，搬送搭載部52及搬出部54亦為相同構成，包括抵接於玻璃板G之下緣部而旋動之複數個輥等。藉由該等輥之旋轉而於玻璃板G立起之狀態下進行搬送。又，搬送輥群42、44、立起部46、搬送搭載部52、搬出部54、倒伏部56、及搬送輥群58之動作亦由控制部40控制(參照圖4)。

接下來，對圖1~圖3所示之目視檢查部28進行詳細說明。

圖4係表示控制部40之目視檢查部28之控制系統之方塊圖。又，圖5係表示目視檢查部28之主要部分構成之立體圖。

如圖4、圖5所示，目視檢查部28包括：座架50，其將玻璃板G豎立搭載；觀察光學部(觀察光學機構)60，其與座架50對向地配設；伺服馬達(升降機構)62，其使座架50於箭頭Y方向升降移動；滑軌(水平方向移動機構)64，其於箭頭X方向水平移動自如地支撐觀察光學部60；雷射指示器(光源機構)66，其朝向搭載於座架50之玻璃板G照射光點；控制部(計算機構)40，其計算玻璃板G之表面之光點之照射位置PM(Point Mark)的座標位置；RAM(Random Access Memory：記憶機構)68，其記憶計算出之座標位置；及顯示部(顯示機構)70，其顯示座標位置。控制部40係基於自伺服馬達62之控制裝置輸出之位置信號而計算玻璃板G之高度方向之座標。

如圖5所示，觀察光學部60由筒狀之殼體72支撐，且該殼體72經由臂74而與塊體76連結。該塊體76於水平方向移動自如地支撐於滑軌64。又，雷射指示器66被安裝至臂74，顯示部70經由桿78而被安裝至殼體72。又，作業人員握持而進行操作之把手80被安裝至殼體72。

於滑軌64及塊體76，安裝有圖4之線性編碼器82。線性編碼器82 係檢測出塊體76相對於滑軌64之位置並將其作為位置資訊輸出之裝置。線性編碼器82包括：比例尺(未圖示)，其為條紋花樣；檢測器(未圖示)，其包括對比例尺照射光之投光部及接收自比例尺反射之光之受光部；及可逆計數器(未圖示)，其將來自檢測器之ON/OFF(接通/斷開)信號計數。上述比例尺被安裝至滑軌64，上述檢測器被安裝至塊體76。又，上述可逆計數器係內置於控制部40。控制部40藉由將由上述可逆計數器所計數之上述信號之數量相加、相減，而計算塊體76之水平方向之座標位置。

另一方面，於殼體72安裝有圖4所示之操作部84。於操作部84中包括光點之開關86、觀察光學部60之照明光之開關88、使座架50升降之蹺蹺板式槓桿(seesaw lever)90、座標確定開關92、及座標重設按鈕94。

藉由作業人員操作開關86，可自雷射指示器66對玻璃板G照射、及停止照射光點。又，藉由作業人員操作開關88，可朝向玻璃板G照射、及停止照射來自觀察光學部60之照明光。進而，藉由作業人員操作蹺蹺板式槓桿90，而基於其操作方向及操作量於正轉方向、或反轉方向驅動伺服馬達62，藉此可使座架50升降移動。又，藉由作業人員操作座標確定開關92，可確定高度方向及水平方向之座標位置，且藉由操作座標重設按鈕94，可重設暫時記憶於RAM68之座標原點。

接下來，對如上述般構成之目視檢查部28之作用進行說明。

首先，將玻璃板G豎立搭載於座架50(搭載步驟)。豎立於座架50上之玻璃板G之傾斜角度較佳為玻璃板G之表面相對於水平面為75±5°。若傾斜角度超過80°，則薄板之玻璃板G變得容易彎曲，而難以有效地進行缺陷檢查。又，若傾斜角度未達70°，則作業人員難以對大型尺寸之玻璃板G進行目視檢查。

其次，獲取玻璃板G上之座標原點。即，對玻璃板G之四角部中 之一個角部照射來自雷射指示器66之光點，並於該狀態下操作座標重設按鈕94。藉此，獲取座標原點並將其記憶於RAM68。

繼而，使與座架50對向地配設之觀察光學部60沿著滑軌64水平移動，並且使座架50升降移動，利用觀察光學部60找出搭載於座架50之玻璃板G之缺陷(缺陷檢測步驟)。

圖6(a)~(e)係表示利用目視檢查部28之缺陷檢查方法之一例之說明圖。

圖6(a)表示即將利用搬送搭載部52將玻璃板G朝向座架50搬送之前之狀態。此時，作業人員96在乘載於與座架50對向地設置之作業台98之狀態下待機。

圖6(b)表示玻璃板G在突設於座架50之下部之支撐銷51、51…之上方停止之狀態。此時，作業人員96於握持把手80並使雷射指示器66移動而將來自雷射指示器66之光點照射至玻璃板G之左上角部之狀態下，操作座標重設按鈕94而獲取座標原點。

圖6(c)表示作業人員96操作蹺蹺板式槓桿90而使座架50上升之狀態。藉由使座架50上升，玻璃板G由支撐銷51、51…支撐其下邊部而與座架50一起上升。此時之座架50之上升量係設定為觀察光學部60之視野範圍位於玻璃板G之左上角部之量。又，上升之玻璃板G係藉由座架50之定位銷51A、51A保持其側端部，不會相對於座架50產生位置偏移地搭載於座架50。

此後，開始玻璃板G之缺陷檢查。

即，如由圖6(C)之虛線所示之箭頭A般，對玻璃板G，使觀察光學部60與玻璃板G之上邊平行地自玻璃板G之左邊向右邊水平移動而檢查缺陷。而且，於觀察光學部60到達至右邊之時間點，在如圖6(d)般使座架50上升測定間距之量之後，使觀察光學部60自右邊向左邊水平移動。

而且，於觀察光學部60到達至左邊之時間點，使玻璃板G上升測定間距之量。藉由對玻璃板G之表面之整個面進行此種動作，可檢查玻璃板G之表面之整個面。圖6(e)之箭頭C表示玻璃板G之表面之觀察光學部60之移動軌跡。再者，所謂上述測定間距係觀察光學部60之視野範圍。

於此種目視檢查作業時，作業人員96若經由觀察光學部60而找出缺陷，則使雷射指示器66移動至該缺陷之位置，自雷射指示器66朝向缺陷位置照射光點(光點照射步驟)。繼而，若於該狀態下操作座標確定開關92，則控制部40基於自伺服馬達62之控制裝置(未圖示)輸出之當前之位置信號(表示玻璃板G之高度方向之位置之資訊)、與自線性編碼器82輸出之當前之位置信號(表示光點對玻璃板G之照射位置之水平方向之位置的資訊)而計算光點之照射位置之座標位置，即玻璃板G上之缺陷之產生位置。繼而，控制部40使RAM68記憶計算出之座標位置(缺陷位置記憶步驟)。藉此，可獲取缺陷之座標位置。

因此，根據實施形態之缺陷檢查裝置10，可利用自動檢查部24檢查玻璃板G之缺陷，又，可利用目視檢查部28獲取缺陷之產生、附著位置。再者，所謂座標位置係水平方向位置X與高度方向位置Y，其解析度較佳為以毫米為單位。於該情形時，顯示部70顯示為「X mm、Y mm」。

又，於目視檢查部28中，作業人員96一面以手動使觀察光學部60及雷射指示器66於水平方向移動一面進行缺陷檢查。而且，於高度方向上利用伺服馬達62使座架50升降。由此，作業人員自檢查開始時至檢查結束時為止，可以固定姿勢進行缺陷檢查。由此，可減輕作業人員之檢查作業負擔。

進而，由於在目視檢查部28中包括顯示記憶於RAM68之座標位置之顯示部70，故而作業人員96可藉由顯示於顯示部70之座標位置確 認缺陷之座標位置。於玻璃板G之製造中，有於1桿中在大致相同之位置會產生缺陷之傾向。由此，藉由作業人員96確認顯示於顯示部70之座標位置，作業人員96可預測後續玻璃板G之缺陷位置，因此提高缺陷檢查效率。

進而，又，如圖2、圖6所示，由於與座架50對向地具備作業人員96所乘載之作業台98，故而作業人員96可乘載於作業台98並使用觀察光學部60等以目視進行玻璃板G之缺陷檢查。

此時，作業人員96雖一面於作業台98上於水平方向往返移動一面進行缺陷檢查，但由於座架50於高度方向上升降，故而自檢查開始時至檢查結束時為止，可以相同姿勢進行缺陷檢查。又，藉由使用作業台98，尤其可效率較佳地進行被稱作第6代(G6)之長邊為1850 mm、短邊為1500 mm以上之大型玻璃板之缺陷檢查。

進而，實施形態之玻璃板之缺陷檢查裝置10有下文所示之優勢。

即，藉由將目視檢查部28配置於自動檢查部24之後段，可於目視檢查部28中檢查特定位置之缺陷。即，其原因在於，由自動檢查部24所檢查出之缺陷之位置資訊(特定位置)係顯示於自動檢查部24之顯示部。

又，根據自動檢查部24之缺陷位置之累積資料(於1片玻璃板中難以發現，而為數片、數十片玻璃板之缺陷MAP資料)，存在會出現缺陷之產生位置所存在之傾向性之情形。於產生具有此種傾向性之缺陷之情形時，將正常地在線流動之玻璃板搬入至目視檢查部28，並使用點光源位置資訊詳細檢查缺陷產生位置。於該情形時，於玻璃板之兩面進行檢查，判斷是污垢還是損傷。

除此以外，作為目視檢查部28之重要作用，於自動檢查部24產生故障等而無法使用自動檢查部24之情形時，目視檢查部28係作為自 動檢查部24之緩衝裝置而發揮功能。

又，目視檢查部28係於在目視檢查部28之上游進行某些品質改善活動之情形時，作為詳細檢查玻璃板整體之品質之檢查機而發揮功能。例如，可於在研磨步驟中使用新構件(研磨墊、漿料等)時確認損傷、污垢，及可確認清洗步驟之清洗用刷子之痕跡以何種程度產生等。

尤其，清洗用刷子之痕跡於自動檢查部24中難以被發現。即，自動檢查部24係以微小之凹凸作為檢查對象，如清洗用刷子之痕跡般較薄之條紋之集合體於自動檢查部24中難以被發現。然而，由於只要為目視檢查部28，便可觀察到整體之狀態，故而可發現清洗用刷子之痕跡。進而，只要為目視檢查部28，便可進行整體上耀眼之損傷(不會對外觀產生反應之微細之損傷)等玻璃板之整個面之品質的評估。

進而，又，目視檢查部28亦使用離線下之例如以品質保證為目的之良品抽檢，且亦可利用於基於利用目視之全面檢查而作為良品出貨者之品質確認。又，該離線之目視檢查係在於在線之目視檢查中無法仔細地觀察之情形等時發揮作用，且藉由離線檢查而利用點光源位置座標特定對象缺陷，可對其進行詳細檢查、或進行標記並將其切下而對其進行顯微鏡詳細檢查等。

再者，雖於實施形態中係以用於FPD之玻璃板為對象，但並不限定於此，本發明亦可應用於在移動裝置或行動電話等可攜式顯示裝置之領域中使用的所謂之覆蓋玻璃板。

又，於實施形態中，作為板狀體雖例示了玻璃板，但並不限定於此，亦可應用於樹脂製及金屬製之板狀體之缺陷檢查方法及其裝置。

以上，雖對本發明之板狀體之缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置進行了詳細說明，但本發明並不限定於上述實施形態，可於不脫離本發 明之主旨之範圍內進行各種改良或變更。

50‧‧‧座架

51‧‧‧支撐銷

52‧‧‧搬送搭載部

54‧‧‧搬出部

60‧‧‧觀察光學部

64‧‧‧滑軌

66‧‧‧雷射指示器

70‧‧‧顯示部

72‧‧‧殼體

74‧‧‧臂

76‧‧‧塊體

78‧‧‧桿

80‧‧‧把手

G‧‧‧玻璃板

PM‧‧‧位置

X‧‧‧箭頭

Y‧‧‧箭頭

Claims (26)

1. 一種板狀體之缺陷檢查方法，其特徵在於包括：成形步驟，其成形板狀體；第1缺陷檢查步驟，其利用攝像機構檢查於上述成形步驟中成形之上述板狀體之表面之缺陷；及第2缺陷檢查步驟，其係由作業人員使用檢查機構以目視檢查於上述第1缺陷檢查步驟中經檢查之上述板狀體之表面，並使記憶機構記憶上述板狀體之表面之缺陷的位置。
2. 如請求項1之板狀體之缺陷檢查方法，其中上述第2缺陷檢查步驟包括：搭載步驟，其將上述板狀體豎立搭載於座架上；缺陷檢測步驟，其使與上述座架對向地配設之觀察光學機構與上述座架相對地移動，並利用上述觀察光學機構找出搭載於上述座架之上述板狀體之缺陷；光點照射步驟，其自光源機構對由上述觀察光學機構所找出之上述缺陷之位置照射光點；及缺陷位置記憶步驟，其利用計算機構計算上述板狀體之表面之上述光點之照射位置的座標位置，並使上述記憶機構記憶該座標位置。
3. 如請求項1或2之板狀體之缺陷檢查方法，其中上述板狀體為矩形狀，其厚度為0.1~0.7 mm，其一邊之長度為1500 mm以上。
4. 如請求項2或3之板狀體之缺陷檢查方法，其中於上述缺陷檢測步驟中，一面使上述座架升降，一面使上述觀察光學機構及上述光源機構於水平方向移動。
5. 如請求項1至4中任一項之板狀體之缺陷檢查方法，其中上述成 形步驟包括：玻璃帶成形步驟，其利用浮式法成形帶狀之玻璃帶；切斷步驟，其將上述玻璃帶切斷成特定尺寸之矩形狀之上述板狀體即玻璃板；及研磨步驟，其利用研磨機構研磨上述玻璃板之表面。
6. 如請求項1至5中任一項之板狀體之缺陷檢查方法，其包括分配步驟，該分配步驟係基於缺陷檢查結果，將已於上述第2缺陷檢查步驟中結束檢查之上述板狀體分配至板狀體捆包部、板狀體再研磨部、或板狀體廢棄部。
7. 如請求項6之板狀體之缺陷檢查方法，其中將於上述第1缺陷檢查步驟中判定為良品之上述板狀體搬送至上述板狀體捆包部；且將於上述第1缺陷檢查步驟中判定為不良品之上述板狀體搬送至上述第2缺陷檢查步驟。
8. 如請求項1至7中任一項之板狀體之缺陷檢查方法，其中於將上述板狀體之表面朝向水平方向之狀態下，將上述板狀體自上述第1缺陷檢查步驟搬送至上述第2缺陷檢查步驟；且上述第2缺陷檢查步驟包括：立起步驟，其使上述板狀體立起；搬送搭載步驟，其將上述立起之上述板狀體搬送並搭載於上述座架；搬出步驟，其使上述板狀體以立起之狀態自上述座架搬出；及倒伏步驟，其使上述搬出之上述板狀體於水平方向倒伏而搬出。
9. 一種板狀體之缺陷檢查裝置，其特徵在於包括：成形部，其成形板狀體；第1缺陷檢查機構，其利用攝像機構檢查於上述成形部中成形之上述板狀體之表面之缺陷；及 第2缺陷檢查機構，其係由作業人員使用檢查機構以目視檢查於上述第1缺陷檢查機構中經檢查之上述板狀體之表面，並使記憶機構記憶上述板狀體之表面之缺陷的位置。
10. 如請求項9之板狀體之缺陷檢查裝置，其中上述第2缺陷檢查機構之上述檢查機構包括：座架，其將上述板狀體豎立搭載；觀察光學機構，其與上述座架對向地配設；移動機構，其使上述座架與上述觀察光學機構相對地移動；光源機構，其朝向搭載於上述座架之上述板狀體照射光點；計算機構，其計算上述板狀體之表面上之上述光點之照射位置的座標位置；及上述記憶機構，其記憶上述計算出之座標位置。
11. 如請求項9或10之板狀體之缺陷檢查裝置，其中上述板狀體為矩形狀，其厚度為0.1~0.7 mm，其一邊之長度為1500 mm以上。
12. 如請求項10或11之板狀體之缺陷檢查裝置，其中上述移動機構包括：升降機構，其使上述座架升降；及水平方向移動機構，其於水平方向移動自如地支撐上述觀察光學機構及上述光源機構。
13. 如請求項12之板狀體之缺陷檢查裝置，其中上述計算機構係基於來自上述升降機構之表示升降位置之位置資訊、與來自上述水平方向移動機構之表示水平方向位置之位置資訊而計算上述光點之照射位置之座標位置。
14. 如請求項9至13中任一項之板狀體之缺陷檢查裝置，其中上述成形部包括：玻璃帶成形部，其利用浮式法成形帶狀之玻璃帶；切斷部，其將上述玻璃帶切斷成特定尺寸之矩形狀之上述板 狀體即玻璃板；及研磨部，其利用研磨機構研磨上述玻璃板之表面。
15. 如請求項9至14中任一項之板狀體之缺陷檢查裝置，其包括分配機構，該分配機構係基於缺陷檢查結果，將已於上述第2缺陷檢查機構中結束檢查之上述板狀體分配至板狀體捆包部、板狀體再研磨部、或板狀體廢棄部。
16. 如請求項15之板狀體之缺陷檢查裝置，其包括：第1搬送機構，其將由上述第1缺陷檢查機構判定為良品之上述板狀體搬送至上述板狀體捆包部；及第2搬送機構，其將由上述第1缺陷檢查機構判定為不良品之上述板狀體搬送至上述第2缺陷檢查機構。
17. 如請求項16之板狀體之缺陷檢查裝置，其中上述第2搬送機構係於將上述板狀體之表面朝向水平方向之狀態下將上述板狀體自上述第1缺陷檢查機構搬送至上述第2缺陷檢查機構；且上述第2缺陷檢查機構包括：立起機構，其使上述板狀體立起；搬送搭載機構，其將上述立起之上述板狀體搬送並搭載於上述座架；搬出機構，其使上述板狀體以立起之狀態自上述座架搬出；及倒伏機構，其使上述搬出之上述板狀體於水平方向倒伏而搬出。
18. 如請求項9至17中任一項之板狀體之缺陷檢查裝置，其包括顯示記憶於上述記憶機構之上述座標位置之顯示機構。
19. 如請求項9至18中任一項之板狀體之缺陷檢查裝置，其中與上述座架對向地具備作業人員所乘載之作業台。
20. 一種板狀體之缺陷檢查裝置，其係包括檢查板狀體之表面之缺陷之檢查機構、及記憶上述缺陷之位置之記憶機構者；且上述檢查機構包括： 座架，其將上述板狀體豎立搭載；觀察光學機構，其與上述座架對向地配設；移動機構，其使上述座架與上述觀察光學機構相對地移動；光源機構，其朝向搭載於上述座架之上述板狀體照射光點；計算機構，其計算上述板狀體之表面上之上述光點之照射位置的座標位置；及上述記憶機構，其記憶上述計算出之座標位置。
21. 如請求項20之板狀體之缺陷檢查裝置，其中上述板狀體為矩形狀，其厚度為0.1~0.7 mm，其一邊之長度為1500 mm以上。
22. 如請求項20或21之板狀體之缺陷檢查裝置，其中上述移動機構包括：升降機構，其使上述座架升降；及水平方向移動機構，其於水平方向移動自如地支撐上述觀察光學機構及上述光源機構。
23. 如請求項22之板狀體之缺陷檢查裝置，其中上述計算機構係基於來自上述升降機構之表示升降位置之位置資訊、與來自上述水平方向移動機構之表示水平方向位置之位置資訊而計算上述光點之照射位置之座標位置。
24. 如請求項20至23中任一項之板狀體之缺陷檢查裝置，其包括分配機構，該分配機構係基於缺陷檢查結果，將已於上述檢查機構中結束檢查之上述板狀體分配至板狀體捆包部、板狀體再研磨部、或板狀體廢棄部。
25. 如請求項20至24中任一項之板狀體之缺陷檢查裝置，其包括顯示記憶於上述記憶機構之上述座標位置之顯示機構。
26. 如請求項20至25中任一項之板狀體之缺陷檢查裝置，其中與上述座架對向地具備作業人員所乘載之作業台。