CN103630552A - 板状体的缺陷检查方法以及缺陷检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种检查板状体的缺陷并且能够获取缺陷的产生和附着位置的板状体的缺陷检查方法以及缺陷检查装置。根据本发明，首先，将玻璃板以靠基座放置的方式搭载于基座。接着，获取坐标原点。即，获取对玻璃板的四个角部中的一个角部照射来自激光指针的点光的位置作为坐标原点。接着，使与基座相对置地配置的观察光学部沿着滑轨水平移动，并且使基座升降移动，通过观察光学部发现搭载于基座的玻璃板的缺陷。接着，从激光指针向由观察光学部发现的缺陷的位置照射点光。而且，通过控制部计算点光在玻璃板的表面上的照射位置的坐标位置并存储到RAM。

Description

板状体的缺陷检查方法以及缺陷检查装置

技术领域

本发明涉及一种板状体的缺陷检查方法以及缺陷检查装置。

背景技术

近年来，液晶显示装置、等离子体显示装置、有机EL显示装置等FPD(FlatPanel Display：板状体)用作大型电视机、个人计算机、便携式电话机等可移动设备的显示装置。

上述显示装置使用具备至少一片玻璃板的显示元件。对于上述显示元件，要求显示性能高质量化，因此对于显示元件的玻璃板，也要求无瑕疵、无波纹(平坦度高)的高质量的玻璃板。另外，随着显示画面尺寸的大型化和可移动设备的兴起，也产生了轻量化、薄型化这种要求。

作为使用于上述FPD的玻璃板的制造方法的一例，已知浮法。

在通过上述浮法制造玻璃板的方法中，首先，将玻璃原料放入到溶解槽而制造熔融玻璃。接着，将熔融玻璃连续地提供给收容于浴槽的熔融锡的表面上。被提供的熔融玻璃一边沿熔融锡的表面从上游侧向下游侧流动一边成形为带状的玻璃带。从浴槽的出口取出玻璃带，之后，在使用缓冷炉将其逐渐冷却到室温左右之后，利用切断装置切断为规定大小的玻璃板。

在通过浮法制造玻璃板的方法中，在与浴槽的熔融锡接触的玻璃板的表面(底面)易于产生由熔融锡中产生的气泡引起的缺陷。另外，由于成形步骤而有时在玻璃板的表面产生波纹并且附着异物。因此，在玻璃板的制造装置中设置有将切断后的玻璃板的上述表面(被研磨面)研磨成适合于FPD用的高质量(平坦度)的研磨装置(例如专利文献1、2)。

专利文献1的研磨装置是连续式的研磨装置，其沿玻璃板的输送路径配置多台研磨用具，一边沿输送路径输送玻璃板，一边利用多台研磨用具来研磨玻璃板的表面。

另外，专利文献2的研磨装置是间歇式的研磨装置，其不输送玻璃板而使用自转的一台研磨用具来研磨玻璃板的表面。

另外，在上述浮法的制造方法中，有时在玻璃板的表面缺陷(以下称为表面缺陷)与成形时玻璃带的移动方向平行地具有某种趋势地分布。上述表面缺陷是指由附着于输送玻璃带的辊的玻璃片、玻璃原料的搅拌不均等各种理由产生的微小的瑕疵、波纹以及异物的附着。

上述瑕疵、波纹以及异物的附着以具有大致一个方向的规则性的条纹状产生。利用上述研磨装置去除这种瑕疵、波纹以及异物，但是根据表面缺陷的大小不同，有时难以完全去除。因此，在研磨装置的后级例如设置专利文献3所公开的已知的缺陷检查系统，利用该缺陷检查系统来检查研磨后的玻璃板的表面是否存在瑕疵、异物。

另外，例如使用专利文献4所公开的已知的平坦度测量装置来检查研磨后的玻璃板的表面的波纹。

专利文献1：日本特开2007-190657号公报

专利文献2：日本特开2004-122351号公报

专利文献3：日本特开2010-48745号公报

专利文献4：日本专利第3411829号公报

发明内容

发明要解决的问题

专利文献3所公开的缺陷检查系统能够检测玻璃板的瑕疵和异物，但是希望进一步详细地获取瑕疵的产生位置和异物的附着位置。这是由于，通过获取这种瑕疵和异物的产生和附着位置能够验证瑕疵和异物的产生和附着的原因，成为用于对制造装置的结构构件(例如输送辊)进行修补的信息源。然而，以往的玻璃板的缺陷检查装置没有构筑这种系统。

本发明是鉴于这样的问题而完成的，目的在于提供一种检查板状体的缺陷并能够获取缺陷的产生和附着位置的板状体的缺陷检查方法以及缺陷检查装置。

用于解决问题的方案

为了达到上述目的，本发明的板状体的缺陷检查方法的特征在于，具备以下步骤：成形步骤，形成板状体；第一缺陷检查步骤，通过摄像单元检查在上述成形步骤中形成的上述板状体的表面的缺陷；以及第二缺陷检查步骤，使用检查单元检查在上述第一缺陷检查步骤中检查出缺陷的上述板状体的表面，将上述板状体的表面的缺陷的位置存储到存储单元。

为了达到上述目的，本发明的板状体的缺陷检查装置的特征在于，具备：成形部，其形成板状体；第一缺陷检查单元，其通过摄像单元检查由上述成形部形成的上述板状体的表面的缺陷；以及第二缺陷检查单元，使用检查单元检查由上述第一缺陷检查单元检查出缺陷的上述板状体的表面，将上述板状体的表面的缺陷的位置存储到存储单元。

根据本发明，首先，通过成形部形成板状体(成形步骤)。接着，通过第一缺陷检查单元的摄像单元对成形的板状体的表面的缺陷(瑕疵、异物)进行检测(第一缺陷检查步骤)。作为第一缺陷检查单元，能够例示专利文献3所公开的已知的缺陷检查系统。然后，由第二缺陷检查单元获取由第一缺陷检查单元检测出缺陷的板状体的缺陷的位置，并将其存储到存储单元(第二缺陷检查步骤)。第二缺陷检查单元是由使用了检查单元的操作人员进行的目视检查，操作人员使用检查单元发现缺陷，将该板状体中的缺陷的坐标位置存储到存储单元。

因而，根据本发明，能够提供一种检查板状体的缺陷并且能够获取缺陷的产生和附着位置的板状体的缺陷检查方法和缺陷检查装置。此外，上述坐标位置是指例如以板状体的四个角部中的一个角部为坐标原点、相对于该坐标原点的缺陷的位置。

在本发明的板状体的缺陷检查方法的一个方式中，优选的是，上述第二缺陷检查步骤具备以下步骤：搭载步骤，将上述板状体以靠基座放置的方式搭载于基座；缺陷检测步骤，使与上述基座相对置地配置的观察光学单元和上述基座相对地移动，来利用上述观察光学单元发现搭载于上述基座的上述板状体的缺陷；点光照射步骤，从光源单元对利用上述观察光学单元发现的上述缺陷的位置照射点光；以及缺陷位置存储步骤，通过计算单元计算上述点光在上述板状体的表面上的照射位置的坐标位置并将其存储到上述存储单元。

在本发明的板状体的缺陷检查装置的一个方式中，优选的是，上述第二缺陷检查单元的上述检查单元具备：基座，上述板状体以靠基座放置的方式搭载于该基座；观察光学单元，其与上述基座相对置地配置；移动单元，其使上述基座与上述观察光学单元相对地移动；光源单元，其向搭载于上述基座的上述板状体照射点光；以及计算单元，其计算上述点光在上述板状体的表面上的照射位置的坐标位置，上述存储单元存储计算出的上述坐标位置。

根据本发明的一个方式，在利用第二缺陷检查单元的检查单元所进行的目视检查中，首先将板状体以靠基座放置的方式搭载于基座(搭载步骤)。靠基座放置的板状体的倾斜角度优选为板状体的表面与水平面呈75±5°。当倾斜角度超过80°时，薄板的板状体容易翘曲而难以高效率地进行缺陷检查。另外，当倾斜角度小于70°时，操作人员难以目视检查大型尺寸的板状体。

接着，使与基座相对置地配置的观察光学单元与基座相对移动，通过观察光学单元发现搭载于基座的板状体的缺陷(缺陷检测步骤)。观察光学单元优选具备照明单元和具备透镜的光学系统。另外，说明上述相对移动的一例，使观察光学单元相对于板状体例如与板状体的上边平行地从板状体的左边向右边移动。而且，在观察光学单元到达右边的时间点，使板状体上升或者下降测量间距量之后，使观察光学单元从右边向左边移动。而且，在观察光学单元到达左边的时间点，使板状体上升或者下降测量间距量。通过相对于板状体的整个表面进行这样的移动，能够检查板状体的整个表面。此外，上述测量间距是观察光学单元的视野范围。

接着，从光源单元对利用观察光学单元发现的缺陷的位置照射点光(点光照射步骤)。而且，通过计算单元计算点光在板状体的表面的照射位置的坐标位置并存储到存储单元(缺陷位置存储步骤)。由此，能够获取缺陷的坐标位置。

在本发明的板状体的缺陷检查方法的一个方式中，优选的是，上述板状体为矩形状，厚度为0.1mm～0.7mm，一边的长度为1500mm以上。

在本发明的板状体的缺陷检查装置的一个方式中，优选的是，上述板状体为矩形状，厚度为0.1mm～0.7mm，一边的长度为1500mm以上。

根据本发明的一个方式，以用作FPD用板状体的、厚度为0.1mm～0.7mm的矩形状的玻璃板为对象。另外，以在平放的状态下难以进行目视检查的、一边的长度为1500mm以上的玻璃板为对象。此外，一边的长度的上限值没有限制，当前，作为已制造的FPD用的玻璃板，也有一边的长度超过3000mm(第十代)的玻璃板。即使是这种大型的玻璃板，也能够有效地利用本发明的板状体的缺陷检查方法和缺陷检查装置。

在本发明的板状体的缺陷检查方法的一个方式中，优选的是，在上述缺陷检测步骤中，一边使上述基座升降一边使上述观察光学单元和上述光源单元在水平方向上移动。

在本发明的板状体的缺陷检查装置的一个方式中，优选的是，上述移动单元具备使上述基座升降的升降单元以及水平方向移动单元，该水平方向移动单元以使上述观察光学单元和上述光源单元在水平方向上移动自如的方式支承上述观察光学单元和上述光源单元。

根据本发明的一个方式，在缺陷检测步骤中，一边通过升降单元使基座升降一边使观察光学单元和电源单元在水平方向上移动。操作人员一边使观察光学单元和电源单元在水平方向上往复移动一边对板状体进行缺陷检查。而且，基座在高度方向上升降。因此，操作人员从检查开始时起至检查结束时为止能够以固定的姿势进行缺陷检查。因而，能够减轻操作人员的检查作业负担。

在本发明的板状体的缺陷检查装置的一个方式中，优选的是，上述计算单元根据来自上述升降单元的表示升降位置的位置信息以及来自上述水平方向移动单元的表示水平方向位置的位置信息来计算上述点光的照射位置的坐标位置。

根据本发明的一个方式，计算单元根据从构成升降单元的例如伺服电机的控制装置输出的位置信号(表示板状体的高度方向的位置的信息)以及从构成水平方向移动单元的例如线性编码器输出的位置信号(表示点光对板状体的照射位置的水平方向的位置的信息)来计算坐标位置。

在本发明的板状体的缺陷检查方法的一个方式中，优选的是，上述成形步骤具备以下步骤：玻璃带成形步骤，通过浮法形成带状的玻璃带；切断步骤，将上述玻璃带切断为规定尺寸的矩形状的作为上述板状体的玻璃板；以及研磨步骤，通过研磨单元对上述板状体的表面进行研磨。

在本发明的板状体的缺陷检查装置的一个方式中，优选的是，上述成形部具备：玻璃带成形部，其通过浮法形成带状的玻璃带；切断部，其将上述玻璃带切断为规定尺寸的矩形状的作为上述板状体的玻璃板；以及研磨部，其通过研磨单元对上述玻璃板的表面进行研磨。

根据本发明的一个方式，成形部(成形步骤)具备利用浮法的玻璃带成形部(玻璃带成形步骤)、切断部(切断步骤)以及研磨部(研磨步骤)。即，在本发明的一个方式中，作为板状体，以通过浮法制造出的玻璃板为对象，以对与熔融锡接触的玻璃板的表面产生的缺陷进行检查的缺陷检查方法和缺陷检查装置为对象。此外，本发明的玻璃板的缺陷检查方法和缺陷检查装置并不限定于通过浮法制造出的玻璃板，例如即使是通过熔融法(下拉法)制造出的玻璃板也能够进行缺陷检查。

在本发明的板状体的缺陷检查方法的一个方式中，优选的是，还具备分拣步骤，在该分拣步骤中将在上述第二缺陷检查步骤中结束检查的上述板状体根据缺陷检查结果分拣至板状体捆包部、板状体再研磨部或者板状体废弃部。

在本发明的板状体的缺陷检查装置的一个方式中，优选的是，还具备分拣单元，该分拣单元将由上述第二缺陷检查单元结束检查的上述板状体根据缺陷检查结果分拣至板状体捆包部、板状体再研磨部或者板状体废弃部。

根据本发明的一个方式，通过分拣单元将由上述第二缺陷检查单元结束检查的板状体根据缺陷检查结果分拣至板状体捆包部、板状体再研磨部或者板状体废弃部。

即，通过分拣单元将根据缺陷检查结果判断为合格品的板状体分拣至板状体捆包部。由此，通过板状体捆包部将板状体捆包到托盘。即使是由第一缺陷检查单元判断为次品的板状体，有时也被第二缺陷检查单元判断为合格品。该缺陷是附着于板状体的表面的微小的灰尘，在第二缺陷检查步骤中，由操作人员去除该灰尘而将该板状体判断为合格品。

另外，通过分拣单元将根据缺陷检查结果判断为需要再次研磨的板状体分拣至板状体再研磨部。由此，板状体再研磨部对板状体的表面进行再次研磨。并且，通过分拣单元将根据缺陷检查结果判断为废弃的板状体分拣至板状体废弃部。由此，板状体被废弃到板状体废弃部。废弃的板状体被粉碎，作为玻璃原料再次被利用。

在本发明的板状体的缺陷检查方法的一个方式中，优选的是，将在上述第一缺陷检查步骤中判断为合格品的上述板状体输送到上述板状体捆包部，将在上述第一缺陷检查步骤中判断为次品的上述板状体输送到上述第二缺陷检查步骤。

在本发明的板状体的缺陷检查装置的一个方式中，优选的是，还具备：第一输送单元，其将由上述第一缺陷检查单元判断为合格品的上述板状体输送到上述板状体捆包部；以及第二输送单元，其将由上述第一缺陷检查单元判断为次品的上述板状体输送到上述第二缺陷检查单元。

根据本发明的一个方式，将由第一缺陷检查单元判断为合格品的板状体通过第一输送单元输送到板状体捆包部。而且，将由第一缺陷检查单元判断为次品的板状体通过第二输送单元输送到第二缺陷检查步骤。

不是将由第一缺陷检查单元进行了检查的全部板状体输送到第二缺陷检查单元，仅将由第一缺陷检查单元判断为次品的板状体输送到第二缺陷检查单元，因此板状体制造装置整体的运转率提高。

在本发明的板状体的缺陷检查方法的一个方式中，优选的是，在使上述板状体的表面朝向水平方向的状态下将上述板状体从上述第一缺陷检查步骤输送到上述第二缺陷检查步骤，上述第二缺陷检查步骤具备：立起步骤，使上述板状体立起；输送搭载步骤，将上述立起的上述板状体输送到上述基座并搭载于上述基座；搬出步骤，将上述板状体以立起的状态从上述基座搬出；以及倒伏步骤，使上述搬出的上述板状体倒伏到水平方向而搬出。

在本发明的板状体的缺陷检查装置的一个方式中，优选的是，上述第二输送单元在使上述板状体的表面朝向水平方向的状态下将上述板状体从上述第一缺陷检查单元输送到上述第二缺陷检查单元，上述第二缺陷检查单元具备：立起单元，其使上述板状体立起；输送搭载单元，其将上述立起的上述板状体输送到上述基座并搭载于上述基座；搬出单元，将上述板状体以立起的状态从上述基座搬出；以及倒伏单元，使上述搬出的上述板状体倒伏到水平方向而搬出。

根据本发明的一个方式，在使板状体的表面朝向水平方向的状态下，通过第二输送单元将板状体从第一缺陷检查单元输送到第二缺陷检查单元。而且，第二缺陷检查单元首先通过立起单元使板状体立起(立起步骤)。接着，将立起的板状体输送并搭载于基座(输送搭载步骤)。接着，将结束检查的板状体以立起的状态从基座搬出(搬出步骤)。然后，使搬出的板状体倒伏到水平方向而搬出(倒伏步骤)。搬出的板状体通过分拣单元被分拣至板状体捆包部、板状体再研磨部或者板状体废弃部。通过这样变更板状体的姿势，能够将板状体从第一缺陷检查单元顺利地输送到第二缺陷检查单元，然后从第二缺陷检查单元顺利地输送到分拣单元。

在本发明的板状体的缺陷检查装置的一个方式中，优选的是，还具备显示单元，该显示单元显示上述存储单元所存储的上述坐标位置。

根据本发明的一个方式，操作人员能够根据显示单元所显示的坐标位置来确认缺陷的坐标位置。另外，在板状体的制造过程中，具有在一个批次中大致在同一部位产生缺陷的趋势。因此，操作人员通过确认显示单元所显示的坐标位置，能够预测下一个板状体的缺陷位置，因此缺陷检查效率提高。

在本发明的板状体的缺陷检查装置的一个方式中，优选的是，操作人员所乘载的操作台与上述基座相对置地设置。

根据本发明，操作人员乘载于操作台，使用检查单元以目视的方式检查板状体的缺陷。此时，操作人员在操作台上一边在水平方向上往复移动一边进行缺陷检查，而基座在高度方向上升降，因此从开始检查时起至结束检查时为止，操作人员能够以同一姿势进行缺陷检查。另外，通过使用操作台，特别是能够高效率地对被称为第六代(G6)的长边为1850mm、短边为1500mm以上的大型玻璃板进行缺陷检查。

为了达到上述目的，本发明的板状体的缺陷检查装置具备对板状体的表面的缺陷进行检查的检查单元以及存储上述缺陷的位置的存储单元，上述检查单元具备：基座，上述板状体以靠基座放置的方式搭载于该基座；观察光学单元，其与上述基座相对置地配置；移动单元，其使上述基座与上述观察光学单元相对地移动；光源单元，其向搭载于上述基座的上述板状体照射点光；计算单元，其计算上述点光在上述板状体的表面上的照射位置的坐标位置；以及上述存储单元，其存储计算出的上述坐标位置。

在本发明的板状体的缺陷检查装置的一个方式中，优选的是，上述板状体为矩形状，厚度为0.1mm～0.7mm，一边的长度为1500mm以上。

在本发明的板状体的缺陷检查装置的一个方式中，优选的是，上述移动单元具备使上述基座升降的升降单元以及水平方向移动单元，该水平方向移动单元以使上述观察光学单元和上述光源单元在水平方向上移动自如的方式支承上述观察光学单元和上述光源单元。

在本发明的板状体的缺陷检查装置的一个方式中，优选的是，上述计算单元根据来自上述升降单元的表示升降位置的位置信息以及来自上述水平方向移动单元的表示水平方向位置的位置信息来计算上述点光的照射位置的坐标位置。

在本发明的板状体的缺陷检查装置的一个方式中，优选的是，还具备分拣单元，该分拣单元将由上述检查单元结束检查的上述板状体根据缺陷检查结果分拣至板状体捆包部、板状体再研磨部或者板状体废弃部。

在本发明的板状体的缺陷检查装置的一个方式中，优选的是，还具备显示单元，该显示单元显示上述存储单元所存储的上述坐标位置。

在本发明的板状体的缺陷检查装置的一个方式中，优选的是，操作人员所乘载的操作台与上述基座相对置地设置。

发明的效果

根据本发明的板状体的缺陷检查方法和缺陷检查装置，检查板状体的缺陷并且能够获取缺陷的产生和附着位置。

附图说明

图1是表示具有实施方式的板状体的缺陷检查装置的板状体制造装置的整体结构的框图。

图2是表示目视检查部及其附近的玻璃板输送系统的立体图。

图3是表示根据来自自动检查部的判断信息对目视检查部和分拣装置进行控制的控制部的控制系统的框图。

图4是表示利用控制部的目视检查部的控制系统的框图。

图5是表示目视检查部的主要部分结构的立体图。

图6的(a)～(e)是表示利用目视检查部的缺陷检查方法的一例的说明图。

附图标记说明

10：缺陷检查装置；12：玻璃板制造装置；14：成形部；16：清洗部；18：玻璃带成形部；20：切断部；22：研磨部；24：自动检查部；26：分拣装置；28：目视检查部；30、32：分拣装置；34：捆包部；36：再研磨部；38：废弃部；40：控制部；42、44：输送辊群；46：立起部；48：暗室；50：基座；51：支承销；51A：定位销；52：输送搭载部；54：搬出部；56：倒伏部；58：输送辊群；60：观察光学部；62：伺服电机；64：滑轨；66：激光指针；68：RAM；70：显示部；72：壳体；74：臂；76：块；78：杆；80：把手；82：线性编码器；84：操作部；86、88：开关；90：跷跷杆；92：坐标确定开关；94：坐标复位按钮；96：操作人员；98：操作台。

具体实施方式

下面，按照附图详细说明本发明所涉及的板状体的缺陷检查方法和缺陷检查装置的优选实施方式。

图1是表示具有实施方式的玻璃板的缺陷检查装置10的玻璃板制造装置12的整体结构的框图。

玻璃板制造装置12构成为从玻璃板的制造步骤的上游侧向下游侧依次配置成形部(成形步骤)14、清洗部16以及缺陷检查装置(第一缺陷检查步骤、第二缺陷检查步骤)10。

成形部14具备通过浮法形成带状的玻璃带的玻璃带成形部(玻璃板成形步骤)18、将玻璃带切断为规定尺寸的矩形状的玻璃板的切断部(切断步骤)20以及通过研磨垫(研磨单元)对玻璃板的表面进行研磨的研磨部(研磨步骤)22。通过该成形部14制造出厚度为0.1mm～0.7mm且一边长度为1500mm以上的矩形状的玻璃板。此外，作为研磨部22，可以是专利文献1所公开的连续式的研磨装置，也可以是专利文献2所公开的间歇式的研磨装置。玻璃板的表面被研磨部22研磨成适合于FPD的平坦度。之后，在清洗部16中将玻璃板清洗之后，搬出到缺陷检查装置10。

缺陷检查装置10具备自动检查部(第一缺陷检查单元)24、分拣装置(分拣单元)26、目视检查部(第二缺陷检查单元)28、分拣装置(分拣单元)30、32、捆包部(玻璃板捆包部)34、再研磨部(玻璃板再研磨部)36以及废弃部(玻璃板废弃部)38。

图2是表示目视检查部28及其附近的玻璃板输送系统的立体图。另外，图3是表示根据来自自动检查部24的判断信息对目视检查部28和分拣装置26、30、32进行控制的控制部40的控制系统的框图。此外，图2的附图标记G为玻璃板。

图3示出的控制部40通过图2的输送辊群(第一输送单元)42将由自动检查部24判断为合格品的玻璃板G输送到捆包部34。另外，图3的控制部40通过图2的输送辊群(第二输送单元)44将由自动检查部24判断为次品的玻璃板输送到目视检查部28。即，控制部40控制分拣装置26，将在输送辊群42的上游侧输送的次品玻璃板G传送到与输送辊群42正交的方向的输送辊群44。

也就是说，实施方式的缺陷检查装置10不是将由自动检查部24进行了检查的全部玻璃板G输送到目视检查部28，而是仅将由自动检查部24判断为次品的玻璃板G输送到目视检查部28。由此，提高玻璃板制造装置12的运转率。

另外，图3的控制部40将根据目视检查部28的缺陷检查结果判断为合格品的玻璃板G通过分拣装置30分拣至捆包部34。由此，合格品玻璃板G在捆包部34中被捆包到托盘(未图示)。此外，即使是由自动检查部24判断为次品的玻璃板G，有时也通过目视检查部28而被判断为合格品。该表面缺陷为附着于玻璃板G的表面的微小的灰尘，在目视检查部28中，操作人员去除该灰尘，由此将该玻璃板G判断为合格品。

另外，控制部40将根据目视检查部28的缺陷检查结果判断为需要再研磨的玻璃板G通过分拣装置30、32分拣至再研磨部36。由此，玻璃板G的表面被再研磨部36再次研磨。此外，可以如图1所示分开设置再研磨部36，但是也可以将该玻璃板返回至研磨部22而进行再次研磨。

控制部40还将根据目视检查部28的缺陷检查结果判断为废弃的玻璃板G通过分拣装置30、32分拣至废弃部38。由此，玻璃板G被废弃至废弃部38。被废弃的玻璃板G被粉碎而作为玻璃原料再次被利用。

作为图1、图3示出的自动检查部24，能够应用专利文献3所公开的现有的缺陷检查系统。省略该缺陷检查系统的详细说明，但是该缺陷检查系统具备缺陷检查部，该缺陷检查部具有对玻璃板G的表面投光的线状光源、会聚通过了玻璃板G的透过光而拍摄明视野图像的照相机、以及在照相机的透过光的光路中设置于照相机的前面的位置的刀刃状的光路遮蔽构件。另外，具备处理装置，该处理装置从由上述照相机拍摄得到的明视野图像中，将比明视野图像的背景成分的信号值高的信号值作为阈值来从明视野图像中搜索明部的区域，在搜索的结果是提取出明部的区域时，使用该明部的区域判断玻璃板G是否存在缺陷区域。

接着，参照图2说明目视检查部28中的玻璃板G的输送方式。

输送辊群44以使位于上面的玻璃板G的表面朝向水平方向的状态将玻璃板G从自动检查部24输送到目视检查部28。目视检查部28具备使玻璃板G立起的立起部(立起单元)46、将立起的玻璃板G向设置于暗室48的基座50输送并搭载于基座50的输送搭载部(输送搭载单元)52、将玻璃板G以立起的状态从基座50搬出的搬出部(搬出单元)54以及使搬出的玻璃板G倒伏到水平方向而搬出的倒伏部(倒伏单元)56。

即，通过输送辊群44向目视检查部28输送的玻璃板G在输送辊群44的下游侧停止，通过立起部46被立起(立起步骤)。接着，立起的玻璃板G被输送搭载部52输送并搭载于基座50(输送搭载步骤)。在靠基座50放置玻璃板G的状态下，由操作人员对其表面的缺陷进行目视检查。在后文中说明该目视检查方法和检查装置(检查单元)。

接着，通过搬出部54将结束目视检查的玻璃板G以立起的状态从基座50搬出，搬出暗室48(搬出步骤)。然后，搬出的玻璃板G通过倒伏部56被倒伏到水平方向(倒伏步骤)。倒伏的玻璃板G通过输送辊群58向分拣装置30输送。通过这样将玻璃板G的输送姿势从水平变更为立起、从立起变更为水平，能够将玻璃板G从自动检查部24顺利地输送到目视检查部28，然后从目视检查部28顺利地输送到分拣装置30。

此外，立起部46与倒伏部56是相同的结构，通过转动接收玻璃板G的背面的框体，能够使玻璃板G起伏。另外，输送搭载部52与搬出部54也是相同的结构，具备与玻璃板G的下缘部抵接并转动的多个辊等。通过这些辊的转动而在玻璃板G立起的状态下输送玻璃板G。另外，输送辊群42、44、立起部46、输送搭载部52、搬出部54、倒伏部56以及输送辊群58的动作也由控制部40所控制(参照图4)。

接着，详细说明图1～图3示出的目视检查部28。

图4是表示利用控制部40的目视检查部28的控制系统的框图。另外，图5是表示目视检查部28的主要部分结构的立体图。

如图4、图5所示，目视检查部28具备以使玻璃板G倚靠的方式搭载玻璃板G的基座50、与基座50相对置地配置的观察光学部(观察光学单元)60、使基座50沿箭头Y方向升降移动的伺服电机(升降单元)62、以使观察光学部60沿箭头X方向水平移动自如的方式支承观察光学部60的滑轨(水平方向移动单元)64、向搭载于基座50的玻璃板G照射点光的激光指针(光源单元)66、计算点光在玻璃板G的表面的照射位置PM(Point Mark)的坐标位置的控制部(计算单元)40、存储计算出的坐标位置的RAM(Random Access Memory：存储单元)68以及显示坐标位置的显示部(显示单元)70。控制部40根据从伺服电机62的控制装置输出的位置信号来计算玻璃板G的高度方向的坐标。

如图5所示，观察光学部60被筒状的壳体72支承，该壳体72经由臂74与块76连结。该块76沿水平方向移动自如地被滑轨64支承。另外，激光指针66安装于臂74，显示部70经由杆78安装于壳体72。另外，操作人员把持操作的把手80安装于壳体72。

在滑轨64和块76安装有图4的线性编码器82。线性编码器82是对块76相对于滑轨64的位置进行检测并作为位置信息输出的装置。线性编码器82由条纹图案的标尺(未图示)、具备对标尺照射光的投光部和接收从标尺反射的光的接收部的检测器(未图示)以及对来自检测器的接通和断开信号进行计数的升降计数器(未图示)构成。上述标尺安装于滑轨64，上述检测器安装于块76。另外，上述升降计数器内置于控制部40。控制部40对由上述升降计数器计数的上述信号的数量进行加减法运算，由此计算块76在水平方向的坐标位置。

另一方面，在壳体72安装有图4示出的操作部84。在操作部84设置有点光的开关86、观察光学部60的照明光的开关88、使基座50升降的跷跷杆90、坐标确定开关92以及坐标复位按钮94。

操作人员通过操作开关86，能够从激光指针66对玻璃板G照射点光以及停止对玻璃板G照射点光。另外，操作人员通过操作开关88，能够将来自观察光学部60的照明光照射到玻璃板G以及停止对玻璃板G照射照明光。并且，操作人员通过操作跷跷杆90，根据其操作方向和操作量，向正转方向或者反转方向驱动伺服电机62，由此能够使基座50升降移动。另外，操作人员通过操作坐标确定开关92，能够确定高度方向和水平方向的坐标位置，通过操作坐标复位按钮94，能够将临时存储在RAM68的坐标原点复位。

接着，说明具有上述结构的目视检查部28的作用。

首先，将玻璃板G以靠基座50放置的方式搭载于基座50(搭载步骤)。靠基座50放置的玻璃板G的倾斜角度优选玻璃板G的表面与水平面呈75±5°。当倾斜角度超过80°时，薄板的玻璃板G容易翘曲而难以高效率地进行缺陷检查。另外，当倾斜角度小于70°时，操作人员难以目视检查大型尺寸的玻璃板G。

接着，获取玻璃板G的坐标原点。即，对玻璃板G的四个角部中的一个角部照射来自激光指针66的点光，在该状态下操作坐标复位按钮94。由此获取坐标原点，存储到RAM68。

接着，使与基座50相对置地配置的观察光学部60沿滑轨64水平移动，并且使基座50升降移动，通过观察光学部60发现搭载于基座50的玻璃板G的缺陷(缺陷检测步骤)。

图6的(a)～(e)是表示利用目视观察部28的缺陷检查方法的一例的说明图。

图6的(a)示出紧接着通过输送搭载部52将玻璃板G向基座50输送过来之前的状态。此时，操作人员96在乘载于与基座50相对置地设置的操作台98上的状态下待机。

图6的(b)示出玻璃板G停止于在基座50的下部突出设置的支承销51、51…的上方的状态。此时，操作人员96把持把手80，使激光指针66移动，在使来自激光指针66的点光照射到玻璃板G的左上角部的状态下，操作坐标复位按钮94来获取坐标原点。

图6的(c)示出操作人员96操作跷跷杆90而使基座50上升的状态。通过使基座50上升，玻璃板G的下边部被支承销51、51…支承而与基座50一起上升。将此时的基座50的上升量设定为观察光学部60的视野范围位于玻璃板G的左上角部的量。另外，上升的玻璃板G的侧端部被基座50的定位销51A、51A保持，与基座50不偏离地搭载于基座50。

之后，开始玻璃板G的缺陷检查。

即，如图6的(c)的虚线表示的箭头A所示，使观察光学部60相对于玻璃板G以与玻璃板G的上边平行地从玻璃板G的左边向右边的方式进行水平移动而检查缺陷。然后，在观察光学部60到达右边的时间点，如图6的(d)所示，使基座50上升测量间距量之后，使观察光学部60从右边向左边进行水平移动。

然后，在观察光学部60到达左边的时间点，使玻璃板G上升测量间距量。通过对玻璃板G的整个表面进行这种动作，能够检查玻璃板G的整个表面。图6的(e)的箭头C表示观察光学部60在玻璃板G的表面的移动轨迹。此外，上述测量间距是观察光学部60的视野范围。

在进行这种目视检查作业时，当操作人员96经由观察光学部60发现缺陷时，使激光指针66移动至其缺陷的位置，从激光指针66向缺陷位置照射点光(点光照射步骤)。然后，当在该状态下操作坐标确定开关92时，控制部40根据从伺服电机62的控制装置(未图示)输出的当前的位置信号(表示玻璃板G的高度方向的位置的信息)和从线性编码器82输出的当前的位置信息(表示点光对玻璃板G的照射位置的水平方向的位置的信息)来计算点光的照射位置的坐标位置、即缺陷在玻璃板G的产生位置。然后，控制部40将计算出的坐标位置存储到RAM68(缺陷位置存储步骤)。由此，能够获取缺陷的坐标位置。

因而，根据实施方式的缺陷检查装置10，能够通过自动检查部24检查玻璃板G的缺陷，另外，能够通过目视检查部28获取缺陷的产生和附着位置。此外，坐标位置是水平方向位置X和高度方向位置Y，其分辨率优选为毫米单位。在该情况下，在显示部70中显示为“Xmm、Ymm”。

另外，操作人员96在目视检查部28中一边手动操作使观察光学部60和激光指针66沿水平方向移动一边进行缺陷检查。而且，在高度方向上通过伺服电机62使基座50升降。因此，操作人员从开始检查时至结束检查时为止能够以固定姿势进行缺陷检查。因此，能够减轻操作人员的检查作业负担。

并且，在目视检查部28中具备显示部70，该显示部70显示RAM68所存储的坐标位置，因此操作人员96能够根据显示部70所显示的坐标位置来确认缺陷的坐标位置。在玻璃板G的制造过程中，具有在一个批次中大致在同一部位产生缺陷的趋势。因此，通过由操作人员96确认显示部70所显示的坐标位置，操作人员96能够预测下一个玻璃板G的缺陷位置，因此缺陷检查效率提高。

并且，如图2、图6所示，与基座50相对置地设置操作人员96所乘载的操作台98，因此操作人员96能够乘载于操作台98，使用观察光学部60等以目视的方式进行玻璃板G的缺陷检查。

此时，操作人员96在操作台98上一边沿水平方向往复移动一边进行缺陷检查，而基座50在高度方向上升降，因此从开始检查时至结束检查时为止，能够以同一姿势进行缺陷检查。另外，通过使用操作台98，特别是能够高效率地对被称为第六代(G6)的长边为1850mm、短边为1500mm以上的大型的玻璃板进行缺陷检查。

并且，实施方式的玻璃板的缺陷检查装置10具有以下示出的优点。

即，通过在自动检查部24的后级配置目视检查部28，在目视检查部28中能够检查特定位置的缺陷。也就是说，这是由于由自动检查部24检查出的缺陷的位置信息(特定位置)显示在自动检查部24的显示部。

另外，从自动检查部24的缺陷位置的累积数据(在一片玻璃板中难以发现，但是几片、几十片玻璃板的缺陷MAP数据)，有时在缺陷的产生位置现出某种趋势性。在产生具有这种趋势性的缺陷的情况下，将通常在线流动的玻璃板搬入到目视检查部28，使用点光源位置信息细查缺陷产生位置。在该情况下，在玻璃板的两面进行检查是污垢还是损伤。

除此以外，作为目视检查部28的重要作用，在自动检查部24发生故障等自动检查部24不能使用的情况下，目视检查部28作为自动检查部24的缓冲装置而发挥功能。

另外，在目视检查部28的上游进行某些质量改进活动的情况下，目视检查部28作为对玻璃板整体的质量进行细查的检查机而发挥功能。例如，在研磨步骤中使用新构件(研磨垫、浆料等)时能够确认损伤、污垢以及确认清洗步骤的清洗用刷的痕迹以何种程度产生等。

特别是，清洗用刷的痕迹在自动检查部24中难以发现。也就是说，自动检查部24以微小的凹凸为检查对象，清洗用刷的痕迹那样的浅条纹的集合体在自动检查部24中难以被发现。然而，如果是目视检查部28则能够看到整体的状态，因此能够发现清洗用刷的痕迹。并且，如果是目视检查部28则能够评价整体闪烁的损伤(不反应于外观的微细的损伤)等玻璃板的整个面的质量。

并且，目视检查部28还使用于离线的、例如以质量保证为目的的合格品抽检，通过目视进行整面检查，还能够利用于作为合格品而出厂的产品的质量确认。另外，该离线的目视检查在在线的目视检查中无法仔细地进行观察的情况等下起作用，在离线检查中，使用点光源位置坐标来确定对象缺陷，能够对该对象缺陷进行细查，或者做标记并切出而进行显微镜细查等。

此外，在实施方式中以使用于FPD用的玻璃板为对象，但是并不限定于此，本发明也可以应用于在可移动、便携式电话机等便携式显示装置的领域中使用的所谓的玻璃盖片。

另外，在实施方式中，作为板状体例示了玻璃板，但是并不限定于此，也能够应用于树脂制和金属制的板状体的缺陷检查方法及其装置。

以上，详细说明了本发明的板状体的缺陷检查方法以及缺陷检查装置，但是本发明并不限定于上述实施方式，在不脱离本发明的宗旨的范围内，也可以进行各种改进、变更。

Claims (26)

1.一种板状体的缺陷检查方法，其特征在于，具备以下步骤：

成形步骤，形成板状体；

第一缺陷检查步骤，通过摄像单元检查在上述成形步骤中形成的上述板状体的表面的缺陷；以及

第二缺陷检查步骤，使用检查单元检查在上述第一缺陷检查步骤检查出缺陷的上述板状体的表面，将上述板状体的表面的缺陷的位置存储到存储单元。

2.根据权利要求1所述的板状体的缺陷检查方法，其特征在于，

上述第二缺陷检查步骤具备以下步骤：

搭载步骤，将上述板状体以靠基座放置的方式搭载于基座；

缺陷检测步骤，使与上述基座相对置地配置的观察光学单元和上述基座相对地移动，来利用上述观察光学单元发现搭载于上述基座的上述板状体的缺陷；

点光照射步骤，从光源单元对利用上述观察光学单元发现的上述缺陷的位置照射点光；以及

缺陷位置存储步骤，通过计算单元计算上述点光在上述板状体的表面上的照射位置的坐标位置并将其存储到上述存储单元。

3.根据权利要求1或者2所述的板状体的缺陷检查方法，其特征在于，

上述板状体为矩形状，厚度为0.1mm～0.7mm，一边的长度为1500mm以上。

4.根据权利要求2或者3所述的板状体的缺陷检查方法，其特征在于，

在上述缺陷检测步骤中，一边使上述基座升降一边使上述观察光学单元和上述光源单元在水平方向上移动。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的板状体的缺陷检查方法，其特征在于，

上述成形步骤具备以下步骤：

玻璃带成形步骤，通过浮法形成带状的玻璃带；

切断步骤，将上述玻璃带切断为规定尺寸的矩形状的作为上述板状体的玻璃板；以及

研磨步骤，通过研磨单元对上述玻璃板的表面进行研磨。

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的板状体的缺陷检查方法，其特征在于，

还具备分拣步骤，在该分拣步骤中将在上述第二缺陷检查步骤中结束检查的上述板状体根据缺陷检查结果分拣至板状体捆包部、板状体再研磨部或者板状体废弃部。

7.根据权利要求6所述的板状体的缺陷检查方法，其特征在于，

将在上述第一缺陷检查步骤中判断为合格品的上述板状体输送到上述板状体捆包部，

将在上述第一缺陷检查步骤中判断为次品的上述板状体输送到上述第二缺陷检查步骤。

8.根据权利要求1～7中的任一项所述的板状体的缺陷检查方法，其特征在于，

在使上述板状体的表面朝向水平方向的状态下将上述板状体从上述第一缺陷检查步骤输送到上述第二缺陷检查步骤，

上述第二缺陷检查步骤具备：立起步骤，使上述板状体立起；输送搭载步骤，将上述立起的上述板状体输送到上述基座并搭载于上述基座；搬出步骤，将上述板状体以立起的状态从上述基座搬出；以及倒伏步骤，使上述搬出的上述板状体倒伏到水平方向而搬出。

9.一种板状体的缺陷检查装置，其特征在于，具备：

成形部，其形成板状体；

第一缺陷检查单元，其通过摄像单元检查由上述成形部形成的上述板状体的表面的缺陷；以及

第二缺陷检查单元，使用检查单元检查由上述第一缺陷检查单元检查出缺陷的上述板状体的表面，将上述板状体的表面的缺陷的位置存储到存储单元。

10.根据权利要求9所述的板状体的缺陷检查装置，其特征在于，

上述第二缺陷检查单元的上述检查单元具备：

基座，上述板状体以靠基座放置的方式搭载于该基座；

观察光学单元，其与上述基座相对置地配置；

移动单元，其使上述基座与上述观察光学单元相对地移动；

光源单元，其向搭载于上述基座的上述板状体照射点光；以及

计算单元，其计算上述点光在上述板状体的表面上的照射位置的坐标位置，

上述存储单元存储计算出的上述坐标位置。

11.根据权利要求9或者10所述的板状体的缺陷检查装置，其特征在于，

上述板状体为矩形状，厚度为0.1mm～0.7mm，一边的长度为1500mm以上。

12.根据权利要求10或者11所述的板状体的缺陷检查装置，其特征在于，

上述移动单元具备使上述基座升降的升降单元以及水平方向移动单元，该水平方向移动单元以使上述观察光学单元和上述光源单元在水平方向上移动自如的方式支承上述观察光学单元和上述光源单元。

13.根据权利要求12所述的板状体的缺陷检查装置，其特征在于，

上述计算单元根据来自上述升降单元的表示升降位置的位置信息以及来自上述水平方向移动单元的表示水平方向位置的位置信息来计算上述点光的照射位置的坐标位置。

14.根据权利要求9～13中的任一项所述的板状体的缺陷检查装置，其特征在于，

上述成形部具备：

玻璃带成形部，其通过浮法形成带状的玻璃带；

切断部，其将上述玻璃带切断为规定尺寸的矩形状的作为上述板状体的玻璃板；以及

研磨部，其通过研磨单元对上述玻璃板的表面进行研磨。

15.根据权利要求9～14中的任一项所述的板状体的缺陷检查装置，其特征在于，

还具备分拣单元，该分拣单元将由上述第二缺陷检查单元结束检查的上述板状体根据缺陷检查结果分拣至板状体捆包部、板状体再研磨部或者板状体废弃部。

16.根据权利要求15所述的板状体的缺陷检查装置，其特征在于，还具备：

第一输送单元，其将由上述第一缺陷检查单元判断为合格品的上述板状体输送到上述板状体捆包部；以及

第二输送单元，其将由上述第一缺陷检查单元判断为次品的上述板状体输送到上述第二缺陷检查单元。

17.根据权利要求16所述的板状体的缺陷检查装置，其特征在于，

上述第二输送单元在使上述板状体的表面朝向水平方向的状态下将上述板状体从上述第一缺陷检查单元输送到上述第二缺陷检查单元，

上述第二缺陷检查单元具备：立起单元，其使上述板状体立起；输送搭载单元，其将上述立起的上述板状体输送到上述基座并搭载于上述基座；搬出单元，将上述板状体以立起的状态从上述基座搬出；以及倒伏单元，使上述搬出的上述板状体倒伏到水平方向而搬出。

18.根据权利要求10～17中的任一项所述的板状体的缺陷检查装置，其特征在于，

还具备显示单元，该显示单元显示上述存储单元所存储的上述坐标位置。

19.根据权利要求9～18中的任一项所述的板状体的缺陷检查装置，其特征在于，

操作人员所乘载的操作台与上述基座相对置地设置。

20.一种板状体的缺陷检查装置，具备对板状体的表面的缺陷进行检查的检查单元以及存储上述缺陷的位置的存储单元，

上述检查单元具备：

基座，上述板状体以靠基座放置的方式搭载于该基座；

观察光学单元，其与上述基座相对置地配置；

移动单元，其使上述基座与上述观察光学单元相对地移动；

光源单元，其向搭载于上述基座的上述板状体照射点光；以及

计算单元，其计算上述点光在上述板状体的表面上的照射位置的坐标位置，

上述存储单元存储计算出的上述坐标位置。

21.根据权利要求20所述的板状体的缺陷检查装置，其特征在于，

上述板状体为矩形状，厚度为0.1mm～0.7mm，一边的长度为1500mm以上。

22.根据权利要求20或者21所述的板状体的缺陷检查装置，其特征在于，

上述移动单元具备使上述基座升降的升降单元以及水平方向移动单元，该水平方向移动单元以使上述观察光学单元和上述光源单元在水平方向上移动自如的方式支承上述观察光学单元和上述光源单元。

23.根据权利要求22所述的板状体的缺陷检查装置，其特征在于，

上述计算单元根据来自上述升降单元的表示升降位置的位置信息以及来自上述水平方向移动单元的表示水平方向位置的位置信息来计算上述点光的照射位置的坐标位置。

24.根据权利要求20～23中的任一项所述的板状体的缺陷检查装置，其特征在于，

还具备分拣单元，该分拣单元将由上述检查单元结束检查的上述板状体根据缺陷检查结果分拣至板状体捆包部、板状体再研磨部或者板状体废弃部。

25.根据权利要求20～24中的任一项所述的板状体的缺陷检查装置，其特征在于，

还具备显示单元，该显示单元显示上述存储单元所存储的上述坐标位置。

26.根据权利要求20～25中的任一项所述的板状体的缺陷检查装置，其特征在于，

操作人员所乘载的操作台与上述基座相对置地设置。

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