JP5301919B2 - 硬質脆性板の面取装置 - Google Patents

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この発明は、ディスプレイパネルなどに用いる矩形のガラス基板その他の硬質脆性板の辺を加工する面取装置に関するもので、特に、面取されるガラス基板を載置したテーブルの角度や加工工具の位置を正確に設定するために、加工寸法の計測を可能にした上記装置に関するものである。
ガラス基板の面取装置は、割断などによって切断されたガラス基板の辺に生ずる鋭い稜線や角を工具(一般的には砥石)で面取りないし丸め加工する装置である。一般的なこの種の面取装置は、図8に示すように、ガラス基板1を負圧で吸着するテーブル2と、このテーブルの両側に配置された工具3とを備えており、テーブル2は、旋回装置で垂直軸回りに90度旋回可能であり、かつテーブル2と工具3、3とは、所定の送り方向(図のY方向)に相対移動可能で、基板1は加工しようとする辺8をこの送り方向と平行にしてテーブルに固定される。
ディスプレイパネルとして用いるガラス基板は、軽量化のために基板厚さが薄くなっており、加工精度も30μ前後の高い精度が要求されている。この精度を実現するために、ガラス基板1(又はこれに貼付されたシート)に、直交する2辺がガラス基板1の辺の方向となる直角三角形の頂点位置に位置決めマーク4を付し、テーブルの送り方向と直交する幅方向(図のX方向)に配置した2個のカメラ5、5で3個の位置決めマーク4の内の幅方向の2個を読取って、テーブルの角度や工具の位置を設定している。
そして、基板の一方の対向辺8、8の加工が終了したら、テーブル2を90度旋回し、工具3の幅方向位置を新たな位置に設定して、第2の対向辺9、9の加工を行っている。
このように、ガラス基板1に付された位置決めマーク4の位置を基準としてテーブル角度や工具位置を設定することによって、正確な加工が行われるようにしている。しかし、例えば2つのカメラ5、5の位置関係に誤差があったり、工具3が磨耗したり、工具の高さに誤差があったときは、加工寸法の誤差が生じてくる。
そこで従来は、試験加工した基板を面取装置から取り出して測定器に載せ、オペレータが測定器の顕微鏡で加工寸法(一般的には、図7に示した位置決めマーク4から面取線7までの距離a、b、面取幅c、d、角の加工寸法e、f)を計測し、その計測値に基づいてテーブルの角度や工具の幅方向及び高さ位置を制御しているNC装置に補正値を入力して、正確な加工が行われるようにしていた。更に、工具磨耗などの経時変化による加工精度の低下を修正するために、適宜加工済基板を抜き取って、上記と同様な方法で加工寸法を計測して、NC装置に必要な補正値を入力していた。
しかし、加工寸法の計測を人間が行う方法では、不注意や見間違いによる計測ミス、補正値の計算ミスや入力ミスなどが発生する。そこで本願出願人は、下記特許文献1において、テスト加工ないし抜取検査の対象となる板材の加工寸法を面取装置上で自動計測して、その計測値に基づいて面取装置のテーブルや工具の位置を修正する技術手段を提案している。
すなわち、面取装置の工具3の上流側(ワークが搬入される側)に、2個の上カメラ5、5とそれらの下方に配置した下カメラ6、6とを設ける。そして、テスト加工する基板や抜取検査する基板については、2つの上カメラ5、5でワーク1に付された幅方向の2個の位置決めマーク4、4を読み取り、テーブル2の角度及び工具3の位置を設定した後、テーブル2を送り方向(+Y方向)に相対移動(以下、単に「送り移動」と言う。)しながら第1の対向辺8、8を面取加工する。この加工が終了したら、テーブル2を戻り方向(−Y方向)に相対移動(以下、単に「戻り移動」と言う。)しながら上カメラ5の一方で送り方向に並んでいる2つの位置決めマーク4を読み取ってワークの傾きを検出する。そして、再びテーブル2を送り移動して、上下のカメラ5、6で上下の加工寸法を計測する。
次に、テーブル2を90度旋回し、テーブル2を戻り移動しながら第2の対向辺9、9の面取加工を行い、再び送り移動してワーク1の傾きを検出する。そして、再びテーブル2を戻り移動しながら第2の対向辺9の加工寸法の計測を行うというものである。
特許文献1で提案した方法では、基板の4辺の面取加工と加工寸法の計測をするために、テーブル2を3往復(6通過)させねばならない。なお、加工寸法を計測しないときのワークの加工は、テーブル2を送り移動しながら第1の対向辺8、8を加工し、テーブル2を90度旋回し、テーブル2を戻り移動しながら第2の対向辺9、9を加工する。
一方、特許文献2には、工具に対してテーブルの送り方向上流側のテーブル幅方向左右に、ガラス基板の上面を見る上カメラと側面を見る側カメラとを配置した面取装置が提案されている。この装置では、上カメラでワークに付された位置決めマークを読んでテーブル角度と工具の位置設定とを行い、テーブルの送り移動で第1の対向側辺を加工し、戻り移動しながら第1の対向辺の加工寸法の計測を行い、戻った所でテーブルを90度旋回し、再度の送り移動で第2の対向辺を面取加工し、再度の戻り移動で第2の対向辺の加工寸法を計測する。この特許文献2で提案された方法では、4辺の面取加工と加工寸法の計測を行うのに、テーブルを2往復(4通過)させることとなる。
更に下記特許文献3には、特許文献1の下カメラに相当する第2光源付の第2カメラを上カメラに相当する第1カメラの外側に並設し、第2光源の照射を左右の両ミラーによって板ガラスの下面に反射させるようにした構造が示されている。
特開2007−223005号公報 特開2007−38327号公報 特開2004−99424号公報
特許文献1記載の発明では、加工寸法を計測するワークは3往復で加工と計測とを行っており、計測しないワークは、1往復で加工のみを行っている。一方、特許文献2記載の発明では、2往復でワークの加工と計測とを行っている。特許文献1の発明では、ワークの傾き検出を独立の計測項目としているため、加工と計測に3往復必要であるが、特許文献2のように、この計測項目を外せば、2往復でワークの加工と計測を行うことができる。
特許文献1及び2記載の方法は、いずれも加工と計測とをそれぞれ独立のテーブルの相対移動で行っている。従って、4辺の加工と計測を行うためには、最低4回の相対移動が必要である。
工具の構造によっては、加工時のテーブル送り方向が1方向に限定されることがある。この場合には、ワークの搬送方向に面取装置を2台並べ、その中間にワークを90度転向させる転向台を設ける構造が加工のタクトタイムを速くする上で有利である。しかし、この場合、従来構造の面取装置では、面取装置上で加工寸法の計測を行うことができない。
一方、ワークを90度旋回させる機構を備えた面取装置では、特許文献1、2に記載のように、テーブルの往復相対移動の間にワークの旋回動作を入れることにより、1台の面取装置で4辺の加工を行うことができる。そして、ワークの加工を一方向の相対移動時にのみで行うときは、次の加工動作を行うためにテーブルを戻す必要があるので、この戻り移動のときに、加工寸法の計測を行ってやれば、面取装置上で加工寸法を自動計測することによるタクトタイムの増加は生じないようにも考えられる。
しかし、実際は、戻り移動を高速で行うと、カメラの画像が流れて加工寸法の計測ができず、高速加工が可能な砥石を使用したときは、加工時の送り速度より計測時の戻り速度の方を遅くしなければならないこともある。すなわち、計測を行わないときは、高速の戻り移動が可能であるが、計測するときは、戻り速度が遅くなり、従って、タクトタイムが延びるということになる。
このようなことから、予め定めた複数個のワーク加工毎に一回のワーク寸法の計測を行って、必要な補正値を設定していた。この場合、次回の計測を行うまでの間の複数個のワーク加工中に加工誤差が許容値を超えて不良品が生ずることがないように、マージンを取って補正値を設定する必要がある。すなわち許容される加工誤差より高い精度で補正値を設定する必要がある。このマージンを大きく取ることができれば、それだけ計測動作の間でのワークの加工個数を多くすることができ、生産性を高くできる。
しかし、要求される加工精度が厳格になると、このマージンを取ることが困難になり、最終的には加工された総てのワークの加工寸法を計測してその都度必要に応じて補正値を変更しなければならなくなり、従来構造の面取装置では、生産性の低下を余儀なくされることになる。
この発明は、上記の問題を解決するためになされたものである。すなわち、タクトタイムを全く又は殆ど増加させることなく、加工した総てのワークについて加工寸法の計測を行うことが可能な、従って、より高い加工精度を生産性を低下させることなく実現することができる面取装置を提供することを課題としている。
この発明では、テーブル2の工具3に対する送り方向上流側の幅方向両側、すなわち装置にワーク1が最初に送り込まれる側のワーク1を幅方向に挟む両側に、ワークの両側辺部上面を見る上流側上カメラ5aを配置すると共に、工具3のテーブル送り方向下流側でワーク1の両側辺部上面を見る下流側上カメラ5bと、当該下流側でワークの両側辺部下面を見る下流側下カメラ6bとを設けた面取装置を提供することにより、上記課題を解決している。
工具3と下流側カメラ5b、6bとの送り方向の間隔は、一定であり、当該間隔は、工具3と上流側上カメラ5aとの送り方向の間隔より狭く、一般的には半分以下である。また、カメラ5a、5b、6bと工具3とは、同時に幅方向移動できる構造とすることができる。従って、工具3をワーク1の寸法に応じて幅方向に移動させる幅方向移動台16にカメラ5a、5b、6bを装着し、当該幅方向移動台16に上下動自在に工具3を装着する構造が採用可能である。
ガラス基板の面取は、表裏両面に行われるので、加工寸法を計測するためには、特許文献1、2に示すように、4個のカメラが必要である。従って、この発明の面取装置では、カメラの設置個数が2個増えることになる。もし、ワークの面取加工をテーブルの送り移動(正送り方向の相対移動)と戻り移動(負送り方向の相対移動)との両方向で行いたいときは、ワークの側辺部下面を見る下カメラ6aをワークの送り方向上流側にも設ける必要がある。従って、この場合には、従来構造に比べて4個のカメラが増設されることとなる。
上流側カメラ5a、6aと工具3とは、従来装置と同様な位置関係で設けられる。下流側カメラ5b、6bは、工具3との間の送り方向の距離をできるだけ接近させて設けるのが好ましい。しかし、ワーク1を加工するときは、工具3に切削水(純水)が供給されるので、この切削水の水滴が下流側カメラ5b、6bで見ている部分に残らないようにする必要があり、そのために、工具3と下流側カメラ5b、6bとの間に、切削水を遮断しかつワークに付着した水滴を除去するための、エアカーテンを設けることが通常は必要である。
この発明の面取装置では、上流側上カメラ5aでワークに設けた位置決めマークを読取ってテーブルの角度(又は送り移動中の工具の幅方向移動。特開2003−340697号公報参照。)と工具の位置とを設定する。そして、テーブルを送り移動しながら面取加工を行い、加工を行った直後に下流側カメラ5b、6bで面取寸法の計測を行う。従って、ワークの1回の相対送り(パスないし通過)でワークの加工と加工寸法の計測とを行うことができる。
下カメラ6(6a、6b)は、ワークの側辺部下面を見るカメラであって、必ずしもワークの下方に配置する必要はない。例えば図2に示すように、下流側上カメラ5bと下カメラ6bとをワーク1の側辺部上方となる位置に下カメラ6bをワークの幅方向外側となる位置にして共に下向きにして配置し、テーブル2のワーク載置面より下に配置した45度傾斜した2枚のミラー25、26で下カメラ6bの光軸19をワーク1の側辺部下面に向ける構造を採用することができる。図4に示すように、下カメラ6bの光軸が幅方向内側に向くように斜めに設けたときは、一枚のミラー25でその光軸19をワーク1の側辺部下面に向けることもできる。
更にこのような取付構造において、下カメラ6bの光軸19がテーブル2の上面高さを通過する位置にその光軸をテーブル2の幅方向内側に水平に反射させるハーフミラー28を置き、ワーク寸法が変わったときのテーブル2の段取替え時にテーブル上面(ワーク載置面)の高さを計測することも可能である。この場合、下カメラ6bがワーク2の側辺部下面を見るか、テーブル2の側面を見るかは、それぞれの読取方向に設けた照明ランプ29、30をオンオフすることによって選択できる。すなわち、ワークの側辺部下面を照明するランプ29を点灯したときは、下カメラ6bは当該下面を読むこととなり、テーブル側面を照明するランプ30を点灯したときは、下カメラ6bは、テーブル2の上面の高さを計測する。
この発明の面取装置では、工具3に対するテーブル2の1パス(1通過)で面取加工と加工寸法の計測とが行われる。従って、加工寸法の計測のためにテーブル2の相対移動を行う必要がなくなり、加工される総てのワークについて加工寸法の計測を行っても、タクトタイムが全く増加しない(計測速度が加工速度より速い場合。)かタクトタイムの増加が僅かで済む(加工速度より計測速度が遅い場合。この場合は、加工速度を計測速度に合せる必要がある。)ので、生産性を全く、又は殆ど低下させないで、総てのワークの加工寸法の計測を行って、一枚のワークの加工毎に必要な補正値の設定を行うことが可能になり、高精度の面取加工を高い生産性で行うことができるという効果がある。
以下、この発明の好ましい実施形態の幾つかについて、図面を参照して説明する。
図1ないし図3は、この発明のに面取装置の第1実施例を示した図で、図1は主要機器構成の概要を示す斜視図、図2は工具及びカメラの装着構造を示す模式的な斜視図、図3は下流側カメラとワークの位置関係を示す正面図である。
図において、11は図示しないy方向のレールに沿って移動するテーブル基台、2aはテーブル基台11に図示しない鉛直軸回りの旋回装置を介して装着された円テーブル、2bは円テーブル2aの幅方向(図のX方向)両側にテーブル基台11に対して幅方向に近接離隔自在に装着された送り方向に細長い側テーブルである。両側の側テーブル2bは、ワーク1の加工する側辺8、9の間隔に応じて幅方向に移動し、ワーク1の旋回や角度の設定は、円テーブル2aが側テーブル2bより僅かに高く上昇した後、円テーブル2aが旋回し、旋回後下降してワーク1を側テーブル2bで支持することにより行われる。このような円テーブル2aとその両側の側テーブル2bを備えたテーブル2は、本願出願人が特開2005−329471号公報に詳細に開示している。
16は、テーブル2の送り方向の移動ストロークの中間位置において、テーブル2を幅方向に挟む両側の位置に立設された図示しないコラムに、両側のものがそれぞれ幅方向に個別に移動可能に装着された幅方向移動台、17は幅方向移動台16に昇降自在に装着された昇降台、3は昇降台17に装着された工具(複数枚の円板砥石からなる砥石ユニット)である。18は、工具駆動モータ、5aは上流側上カメラ、5bは下流側上カメラ、6bは下流側下カメラである。工具駆動モータ18は、昇降台17に固定されている。カメラ5a、5b、6bは、幅方向移動台16に上下位置を微調整可能に取付けられている。
下流側カメラ5b、6bは、図3に示すように、工具3がワーク1の側辺8、9を加工する位置に幅方向移動台16が移動したときに、下流が上カメラ5bがその側辺部の上方に位置するように取付けられ、下流側下カメラ6bがその幅方向外側で、ワークの側辺8、9から外れた位置の上方に位置するように取付けられている。
25及び26は、下流側下カメラ6bの光軸19を90度ずつ屈曲して当該光軸をワーク1の側辺部下方に向けるミラー、28は、下流側下カメラの光軸19がテーブル2の上面位置を通過する高さの位置に設けられたハーフミラーで、当該光軸19をテーブル2の側面に向く方向に屈曲させる。29は、ワーク1の側辺部下面を照明する下ランプ、30はテーブル2の側面を照明する側ランプである。ワーク1の側辺部上面を照明するランプは、下流側上カメラ5bに内蔵されているものを使用している。これらのミラー25、26及びハーフミラー28並びにランプ29、30は、幅方向移動台16に取付けれている。
31及び32は、工具3と下流側カメラ5b、6bとのワーク送り方向の間の位置において、幅方向外側端を幅方向移動台16に固定されて、幅方向内側に延在しているエアノズルである。上ノズル31は、テーブル2に固定したワーク1の上面の上方に位置し、下ノズル32は、テーブル2に固定したワーク1の下面の下方に位置している。上ノズル31の下面及び下ノズル32の上面には、幅方向に長いスリット状のノズル孔が設けられ、工具3がワーク1の側辺を加工するとき、これらのノズル31、32から空気が膜状に噴出して、工具3と下流側カメラ5b、6b及びミラー25、26の間を遮断するエアカーテンが形成される。
テーブル基台11の送り方向の移動動作、円テーブル2aの旋回動作、側テーブル2bの幅方向移動動作、幅方向移動台16の移動動作、昇降台17の昇降動作は、図示しないNC制御器の指令値で制御されるサーボモータによって駆動されている。これらの指令値は、NC制御器の補正値メモリに設定された補正値によって補正されて、各動作を駆動するサーボモータに与えられている。
NC制御器には、画像処理装置が付加されており、カメラ5a、5b、6bの所定のタイミングにおける画像が画像処理装置に読込まれ、その画像処理により、位置決めマーク4、面取線(面取面とワーク表面との交線)、ワークの側辺8、9等が認識され、その座標から指令値と計測値との差が演算され、計測値が指令値と一致するように、補正値が演算されて、NC制御器のメモリに設定される。
次に、図1〜3に示した第1実施例におけるワークの加工・計測動作を説明する。
(1)上流側上カメラ5aで幅方向に並んだ2つの位置決めマーク4、4を読取り、読取ったマーク位置データに基づいてテーブル2の鉛直軸回りの角度と工具3の幅方向位置とを設定する。
(2)テーブル2を送り移動しながら、第1の対向辺8、8の面取加工を行う。テーブル2の送り移動に伴ってワークの加工部が下流側カメラ5b、6bの位置に来るから、予め定められた所定の位置毎における下流側カメラ5b、6bの画像から(ディスプレイ用のガラス基板であれば、計測位置を示すマークが付されているので、下流側カメラかこのマークを検出した位置でその画像を取込む。)、当該位置での加工寸法を計測する。このとき、上流側カメラ5aでワークの辺を検出して、第1の対向辺8、8の割断精度を計測できる。
(3)(2)の送り移動が終了したら、円テーブル2aを若干上昇し、(1)の状態で送り方向に並んでいた位置決めマーク4、4が戻り移動時における移動方向前側で幅方向に並ぶように、90度旋回する。
(4)下流側上カメラ5bで幅方向に並んだ2個の位置決めマーク4、4を読取り、読取ったマーク位置データに基づいてテーブル2の鉛直軸回りの角度と工具3の幅方向位置とを設定する。
(5)高速戻り移動。
(6)(2)と同じ動作で、第2の対向辺9、9の面取加工と、加工寸法の計測とを行う。(2)と同様に、第2の対向辺9、9の割断精度も計測できる。
(7)(6)の送り移動が終了したら、テーブル2からワークをアンロードし、高速戻り移動して次のワークの受取り位置に戻る。
(8)制御器は、(2)(6)で計測した加工寸法に基づいて、次のワークを加工する際のテーブル2の角度や工具3の幅方向位置及び高さ方向位置の指令値に対する補正値を更新する。
なお、上記の動作では、(1)と(4)で位置決めマークの読取りを2度行っているが、テーブル2の旋回精度(旋回時にワークがテーブル上面でずれないことも含めて)が充分であれば、(4)の位置決めマークの読取りを省略できる。この場合は、(2)の送り移動時に上流側上カメラ5aで送り方向に並んだ2つの位置決めマーク4、4を読取って両者の間隔データに基づいて工具3の幅方向位置を設定する。
図5は、この発明の第2実施例を示した模式的な斜視図(図1に相当する図)である。第2実施例と第1実施例の相違点は、上流側上カメラ5aの下方の位置に、工具3の上流側でワーク1の側辺部下面を見る上流側下カメラ6aが設けられている点、及び工具3が、送り移動時でも戻り移動時でも、面取加工を行うことができる構造である点、の2点である。
面取工具3は、当該工具に接触している部分におけるワーク1の相対移動に伴って工具がワークに深く切込まれるように設けられている。従って、送り移動時と戻り移動時に同じ加工を可能にするためには、2個の工具をその送り方向の向きを反対にしてそれぞれの側に設けるか、送り移動時と戻り移動時とで工具の傾きを変えるなどの操作が、一般的には、必要である。
この第2実施例の構造では、テーブル2の一往復の相対移動により、ワーク1の4辺の面取加工と加工寸法の計測を行うことができる。すなわち、
(1)第1実施例の(1)の動作と同じ。すなわち、上流側上カメラ5aで位置決めマーク4、4を読取り、テーブル2の角度と工具3の幅方向位置を設定する。
(2)第1実施例の(2)の動作と同じ。すなわち、テーブル2を送り移動しながら、第1の対向辺8、8の面取加工と、下流側カメラ5b、6bで加工寸法を計測する。上流側カメラ5a又は6aで割断精度を計測することもできる。
(3)第1実施例の(3)の動作と同じ。すなわち、円テーブル2aでワークを90度旋回する。
(4)第1実施例の(4)の動作と同じ。すなわち、下流側上カメラ5bで幅方向に並んだ2個の位置決めマーク4、4を読取り、テーブル2の角度と工具3の幅方向位置とを設定する。
(5)テーブル2を戻り移動しながら、第2の対向辺9、9の面取加工を行う。テーブル2の送り移動に伴ってワークの加工部が上流側カメラ5a、6aの位置に来るから、予め定められた所定の位置毎における上流側カメラ5a、6aの画像から、当該位置での加工寸法を計測する。このとき、下流側上又は下カメラ5b、6bで割断精度を計測できる。
(6)(5)の戻り移動が終了したら、テーブル2からワークをアンロードし、次のワークの受取る。
(7)制御器は、(2)(5)で計測した加工寸法に基づいて、次のワークを加工する際のテーブル2の角度や工具3の幅方向位置及び高さ方向位置の指令値に対する補正値を更新する。
第2実施例の装置の上記動作によれば、第1実施例に比べてタクトタイムをより短縮できる。しかし、上流側カメラ5a、6aと工具3とは幅移動機構などのため離れていること、カメラが2つ余分に必要なこと、工具3として正逆両方向で加工が可能な工具を使用しなければならない、という不利益がある。
図6に示すように、ワークの搬送方向に面取装置を2台設置してその間にワークを90度旋回する旋回台20を配置した構成において、面取装置としてこの発明の面取装置を用いれば、加工された総てのワークの加工寸法の計測が可能な、生産性の極めて高い加工動作を実現できる。この場合の面取装置としては、上流側に上カメラ5aのみを設けた第1実施例の構造であって、かつ旋回機構を有しない(図6の例では円テーブル2aを有しない)テーブルを備えたものを用いればよい。
第1実施例の主要機器構成の概要を示す斜視図 工具及びカメラの装着構造を示す模式的な斜視図 下流側カメラとワークの位置関係を示す正面図 下流側カメラとワークの他の位置関係を示す正面図 第2実施例の主要機器構成の概要を示す斜視図 第3実施例の主要機器構成の概要を示す斜視図 位置決めマークと加工寸法との関係を示すワークの部分拡大平面図 従来装置の主要機器構成の概要を示す斜視図
符号の説明
1 硬質脆性板
2 テーブル
3 面取工具
4 マーク
5a 上流側上カメラ
5b 上流側下カメラ
6b 下流側下カメラ
25,26 ミラー
28 ハーフミラー

Claims (4)

  1. 上面に硬質脆性板(1)を固定保持するためのテーブル(2)と、このテーブルの幅方向両側に配置された面取工具(3)と、この工具に対して前記テーブルを前記幅方向と直交する方向である送り方向に相対移動する送り装置と、前記硬質脆性板の側辺部に付された位置決めマーク(4)を読み取る上流側上カメラ(5a)とを備え、この上流側上カメラのマーク読取りデータに基づいて前記工具の幅方向位置を設定し、次に前記テーブルを送り方向に相対移動して前記硬質脆性板の辺の面取加工を行う硬質脆性板の面取装置において、
    前記工具を前記幅方向に移動させる幅方向移動台の、当該工具を挟んで前記上流側カメラの前記送り方向反対の側に、当該工具で加工された後の前記硬質脆性板の側辺部の上面及び下面を読取る下流側上カメラ(5b)及び下流側下カメラ(6b)を備え、当該下流側カメラ(5b,6b)の撮像信号により前記面取加工を行う際のテーブルの相対移動時にその加工直後の前記工具からの間隔が一定となる位置で加工寸法の計測を行うことを特徴とする、硬質脆性板の面取装置。
  2. 前記工具(3)と下流側上カメラ(5b)及び同下カメラ(6b)との間に、当該工具の加工位置に供給される加工液を遮断するエアカーテンが形成される、請求項1記載の硬質脆性板の面取装置。
  3. 下流側下カメラ(6b)が、前記テーブルの上面より上方の下流側上カメラ(5b)の前記幅方向外側に下向きに配置され、その光軸を前記硬質脆性板の側辺部下面に向けるミラー(25,26)を備えている、請求項1又は2記載の硬質脆性板の面取装置。
  4. 前記光軸が前記テーブルの上面の高さを通過する位置に当該光軸を前記テーブル側に向けて水平に反射させるハーフミラー(28)を備えている、請求項3記載の硬質脆性板の面取装置。
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