CN202230031U - 一种光罩检测设备 - Google Patents
一种光罩检测设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202230031U CN202230031U CN2011203461406U CN201120346140U CN202230031U CN 202230031 U CN202230031 U CN 202230031U CN 2011203461406 U CN2011203461406 U CN 2011203461406U CN 201120346140 U CN201120346140 U CN 201120346140U CN 202230031 U CN202230031 U CN 202230031U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- light shield
- platform
- checkout equipment
- horizontal
- trestle table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
本实用新型实施例公开了一种光罩检测设备，包括支架台、设置于该支架台台面上的以承载并在水平方向移动光罩的移动平台，以及控制所述移动平台移动的控制装置，所述光罩检测设备还包括：架设于所述支架台上方的支撑臂、通过该支撑臂固定于所述移动平台中部上方且光学物镜分设于该支撑臂两侧的双显微镜机构，以及与该双显微镜机构对应设置的光源，从而，双显微镜机构可同时进行光罩两侧范围的检测，而不用对光罩进行旋转，避免了光罩在旋转过程中的刮伤及报废；另外可统一缺陷坐标系统，保证了光罩缺陷的完全检测及修复，保证了出货品质。
Description
技术领域
本实用新型涉及光罩检测领域，尤其涉及一种光罩检测设备。
背景技术
随着半导体及液晶显示器行业的技术发展，光罩已成为集成电路（Integrated Circuit，IC）、薄膜场效应晶体管（Thin Film Transistor，TFT）、高密度互连（High Density Interconnector，HDI）制造中的重要器具。随着产品的需求增加，光罩应用将越来越广泛，其精度等各项性能指标的要求也越来越高。特别是在半导体制方面，精度从微米提升到纳米级别，使得对光罩制作的品质要求也越来越重要，精度的提升直接产生的就是光罩线宽缩小，而因此，光罩的检查面临更严峻的挑战。
现有技术提供了一种光罩检测设备，其利用移动平台对光罩进行检测时，由于平台结构及尺寸无法满足大尺寸光罩的检测，一般只能检测到光罩70%的区域，边缘区域无法检测。为了对边缘区域进行检测，需要人工将光罩进行旋转后才能进行，在旋转过程中光罩易产生刮伤，并且光罩与设备发生摩擦与碰撞易导致光罩报废。另外，光罩检测设备在进行大尺寸光罩检测后，需要重新记录两个坐标原点及其对应坐标系统，这样在刚发现缺陷时，十分容易由于缺陷坐标乱导致缺陷漏检的现象，增加了出货品质的风险。
实用新型内容
本实用新型实施例所要解决的技术问题在于，提供一种光罩检测设备，以快速准确地对整个光罩进行检测。
为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提出了一种光罩检测设备，包括支架台、设置于该支架台台面上的以承载并在水平方向移动光罩的移动平台，以及控制所述移动平台移动的控制装置，所述光罩检测设备还包括：架设于所述支架台上方的支撑臂、通过该支撑臂固定于所述移动平台中部上方且光学物镜分设于该支撑臂两侧的双显微镜机构，以及与该双显微镜机构对应设置的光源。
进一步地，所述支架台的底部设置有口型防震支脚，所述支撑臂通过侧边支架与所述支架台相固定，并且所述支撑臂与侧边支架形成口型防震支架。
进一步地，所述移动平台包括设置于所述支架台台面上的横向平台、活动设置于该横向平台上的纵向平台，以及活动设置于该纵向平台上的操作平台。
进一步地，所述操作平台为透光体，所述光源设置于该透光体对应双显微镜机构的下方。
进一步地，所述横向平台上设置有横向移动导轨，该横向移动导轨上滑设有横向移动滑块，所述纵向平台固设于该横向移动滑块上，所述横向移动滑块通过第一丝杆连接到一横向驱动电机；所述纵向平台上设置有纵向移动导轨，该纵向移动导轨上滑设有纵向移动滑块，所述操作平台固设于该纵向移动滑块上，所述纵向移动滑块通过第二丝杆连接到一纵向驱动电机。
进一步地，所述控制装置与所述横向驱动电机及纵向驱动电机相连，所述控制装置包括控制盒，以及设置于该控制盒上的摇杆及用于设置位移参数的触摸屏。
进一步地，所述支架台由水平面支架及竖直面支架组合而成。
进一步地，所述双显微镜机构包括5个不同倍率的光学物镜单体。
本实用新型实施例通过提供一种光罩检测设备，包括支架台、设置于该支架台台面上的以承载并在水平方向移动光罩的移动平台，以及控制所述移动平台移动的控制装置，所述光罩检测设备还包括：架设于所述支架台上方的支撑臂、通过该支撑臂固定于所述移动平台中部上方且光学物镜分设于该支撑臂两侧的双显微镜机构，以及与该双显微镜机构对应设置的光源，从而，双显微镜机构可同时进行光罩两侧范围的检测，而不用对光罩进行旋转，避免了光罩在旋转过程中的刮伤及报废；另外可统一缺陷坐标系统，保证了光罩缺陷的完全检测及修复，保证了出货品质。
附图说明
图1是本实用新型实施例的光罩检测设备的主视图。
图2是本实用新型实施例的光罩检测设备的俯视图。
图3是本实用新型实施例的光罩检测设备的侧视图。
图4是本实用新型实施例的光罩检测设备中控制装置的结构图。
具体实施方式
下面结合附图，对本实用新型实施例进行详细说明。
参考图1至图4，本实用新型实施例的光罩检测设备主要包括支架台1、设置于该支架台1台面上的以承载并在水平方向移动光罩的移动平台2，控制移动平台2移动的控制装置，以及架设于支架台1上方的支撑臂3、通过该支撑臂3固定于移动平台2中部上方且光学物镜4分设于该支撑臂3两侧的双显微镜机构5，以及与双显微镜机构5对应设置的光源6，这样即可利用任一侧的光学物镜4进行检查或同时利用两侧的光学物镜4进行检查，两侧的光学物镜4均可只设一个坐标系统，并且两侧所检测到的缺陷坐标系统统一。其中：
支架台1的底部设置有口型防震支脚7，支撑臂3通过侧边支架8与支架台1相固定，并且支撑臂3与侧边支架8形成口型防震支架9，口型防震支脚7与口型防震支架9的采用保证了在移动平台2移动过程中光学物镜4的稳定，减轻移动过程所带来的震动，使检测能达到更佳的效果，另外，还可以保证外物不易碰触到光学物镜4，保证了设备安全。
移动平台2包括设置于支架台1台面上的横向平台10、活动设置于该横向平台10上的纵向平台11，以及活动设置于纵向平台11上的操作平台12。而操作平台12为透光体，光源6设置于该透光体对应双显微镜机构5的下方。横向平台10上设置有横向移动导轨13，该横向移动导轨13上滑设有横向移动滑块14，纵向平台11通过连接板25固设于该横向移动滑块14上，横向移动滑块14通过第一丝杆连接到一横向驱动电机15；纵向平台11上设置有纵向移动导轨16，纵向移动导轨16上滑设有纵向移动滑块17，操作平台12固设于纵向移动滑块17上，纵向移动滑块17通过第二丝杆连接到一纵向驱动电机18。
控制装置与横向驱动电机15及纵向驱动电机18相连，该控制装置包括控制盒19，以及设置于该控制盒19上的摇杆20及用于设置位移参数的触摸屏21。摇动摇杆20可控制操作平台12的移动方向、位移距离及速度，通过触摸屏21可设定平台的位移参数，而控制盒19中可设置控制面板程序，以合理地控制检测速度，更全面地对光罩表面进行高精度的检测。
支架台1由水平面支架22及竖直面支架23组合而成。
而双显微镜机构5包括5个不同倍率的光学物镜单体，这样即可适用于不同光罩精度或线宽大小不等的光罩检测，使用高倍率的光学物镜4可检测更细小线宽的光罩，同时可提升检测速度，保证光罩检测的准确性，以达到最佳检测模式。
上述光罩检测设备的工作原理主要可如下所述：
将光罩置于操作平台12上，摇动摇杆20，操作平台12相应地按照对应方向在水平面上移动，具体地：摇动摇杆20进行横向移动，横向驱动电机15工作，通过第一丝杆带动横向移动滑块14沿横向移动导轨13滑动，纵向平台11在横向移动滑块14的带动下横向运动；摇动摇杆20进行纵向移动，纵向驱动电机18工作，通过第二丝杆带动纵向移动滑块17沿纵向移动导轨16滑动，操作平台12在纵向移动滑块17的带动下纵向运动，同时当光源6亮时，光学物镜4会将一光学物镜单体下的光罩图形成像到显示器24或双显微镜机构5的目镜上，从而检测光罩图形是否正确。
以上所述是本实用新型的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。
Claims (8)
1.一种光罩检测设备，包括支架台、设置于该支架台台面上的以承载并在水平方向移动光罩的移动平台，以及控制所述移动平台移动的控制装置，其特征在于，所述光罩检测设备还包括：架设于所述支架台上方的支撑臂、通过该支撑臂固定于所述移动平台中部上方且光学物镜分设于该支撑臂两侧的双显微镜机构，以及与该双显微镜机构对应设置的光源。
2.如权利要求1所述的光罩检测设备，其特征在于，所述支架台的底部设置有口型防震支脚，所述支撑臂通过侧边支架与所述支架台相固定，并且所述支撑臂与侧边支架形成口型防震支架。
3.如权利要求1所述的光罩检测设备，其特征在于，所述移动平台包括设置于所述支架台台面上的横向平台、活动设置于该横向平台上的纵向平台，以及活动设置于该纵向平台上的操作平台。
4.如权利要求3所述的光罩检测设备，其特征在于，所述操作平台为透光体，所述光源设置于该透光体对应双显微镜机构的下方。
5.如权利要求3所述的光罩检测设备，其特征在于，所述横向平台上设置有横向移动导轨，该横向移动导轨上滑设有横向移动滑块，所述纵向平台固设于该横向移动滑块上，所述横向移动滑块通过第一丝杆连接到一横向驱动电机；所述纵向平台上设置有纵向移动导轨，该纵向移动导轨上滑设有纵向移动滑块，所述操作平台固设于该纵向移动滑块上，所述纵向移动滑块通过第二丝杆连接到一纵向驱动电机。
6.如权利要求5所述的光罩检测设备，其特征在于，所述控制装置与所述横向驱动电机及纵向驱动电机相连，所述控制装置包括控制盒，以及设置于该控制盒上的摇杆及用于设置位移参数的触摸屏。
7.如权利要求1至6中任一项所述的光罩检测设备，其特征在于，所述支架台由水平面支架及竖直面支架组合而成。
8.如权利要求1至6中任一项所述的光罩检测设备，其特征在于，所述双显微镜机构包括5个不同倍率的光学物镜单体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011203461406U CN202230031U (zh) | 2011-09-15 | 2011-09-15 | 一种光罩检测设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011203461406U CN202230031U (zh) | 2011-09-15 | 2011-09-15 | 一种光罩检测设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202230031U true CN202230031U (zh) | 2012-05-23 |
Family
ID=46080615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011203461406U Expired - Fee Related CN202230031U (zh) | 2011-09-15 | 2011-09-15 | 一种光罩检测设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202230031U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102856776A (zh) * | 2012-09-28 | 2013-01-02 | 信源电子制品(昆山)有限公司 | 上下激光剥漆机 |
| CN105717739A (zh) * | 2014-12-05 | 2016-06-29 | 家登精密工业股份有限公司 | 光罩检查机 |
-
2011
- 2011-09-15 CN CN2011203461406U patent/CN202230031U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102856776A (zh) * | 2012-09-28 | 2013-01-02 | 信源电子制品(昆山)有限公司 | 上下激光剥漆机 |
| CN105717739A (zh) * | 2014-12-05 | 2016-06-29 | 家登精密工业股份有限公司 | 光罩检查机 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102229364B1 (ko) | 표시장치의 테스트 장치 및 그 장치를 이용한 테스트 방법 | |
| CN202984916U (zh) | 一种激光双面打标机 | |
| CN108375582A (zh) | 自动光学检测设备 | |
| CN103278103B (zh) | 一种薄基片变形的测量方法与装置 | |
| CN203745392U (zh) | 触摸屏保护玻璃外观缺陷检测系统 | |
| CN105445972A (zh) | 探针移动装置 | |
| CN202230031U (zh) | 一种光罩检测设备 | |
| CN201909763U (zh) | 一种双工作台挠性印制电路表面缺陷自动检测机 | |
| CN106597704A (zh) | 旋转装置及显示面板检测装置 | |
| CN103075970B (zh) | 测长装置直交度补偿方法及使用该方法的测长装置 | |
| CN204360094U (zh) | 光罩检查机 | |
| CN203739427U (zh) | 一种新型灯具激光打标机 | |
| CN103831209B (zh) | 一种自动点胶机 | |
| CN106370108B (zh) | 一种fpc尺寸快速测量装置 | |
| CN204462202U (zh) | 通用假压测试治具 | |
| CN207232037U (zh) | 一种双面视觉检查平台 | |
| CN104325222B (zh) | 一种金属掩模板组件装配中心 | |
| CN105398227A (zh) | 一种在线式全自动激光打标机模组机构 | |
| CN209014981U (zh) | 一种具有对位演示功能的高精密并联平台 | |
| CN100357752C (zh) | 线路缺陷检测维修设备及方法 | |
| CN201359599Y (zh) | 光罩检测设备 | |
| CN207528645U (zh) | 一种基板边缘检查机 | |
| CN203587048U (zh) | 一种应用在多斜孔工件中斜孔位置度检测装置 | |
| TW201821818A (zh) | 印刷電路板檢查裝置 | |
| CN207522440U (zh) | 一种定位机构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: SHENZHEN NEWWAY PHOTOMASK MAKING CO., LTD. Free format text: FORMER OWNER: SHENZHEN NEWWAY ELECTRONIC CO., LTD. Effective date: 20130423 |
|
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20130423 Address after: 518000, Shenzhen, Guangdong Province, Nanshan District, No. 16 Lang Shan Road, Hua Han Innovation Park, D building, first floor Patentee after: SHENZHEN NEWWAY PHOTOMASK MAKING CO., LTD. Address before: 518000 Guangdong province Shenzhen city Nanshan District high tech Zone North Keyuan Avenue Xihua Han Innovation Park D Building 1 floor Patentee before: Shenzhen Newway Electronic Co., Ltd. |
|
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120523 Termination date: 20120915 |