CN110998298A - 板状玻璃的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种板状玻璃的制造方法，本方法包括通过利用摄像装置(24)多次对板状玻璃(GS)的内部进行摄像来检查板状玻璃(GS)的内部缺陷(ID)的检查工序(S8)。对于摄像装置(24)的多次摄像，以该摄像装置(24)的焦点位置(FP)沿着板状玻璃(GS)的厚度方向按规定的间距(PS、PL)分布的方式进行。规定的间距(PS、PL)在厚度方向的第一内部区域(G1)比在厚度方向的第二内部区域(G2)小。

Description

板状玻璃的制造方法

技术领域

本发明涉及包括检查板状玻璃有无内部缺陷的工序的板状玻璃的制造方法。

背景技术

伴随各种显示设备技术的显著发展，与液晶显示器或有机EL显示器等平板显示器(FPD)相关的技术大幅度进步。特别是在大型且实现高清显示的平板显示器中，由于其制造成本的下降和图像品质的提高而使得高度的技术革新不断推进。对于这样的显示器所使用的板状玻璃也要求进一步的高尺寸品质和高精度表面性状。在显示器用板状玻璃的制造中使用各种制造装置来成形板状玻璃，但通常均是对玻璃原料进行加热溶解，并在使熔融玻璃均质化后成形为规定形状。

在该制造方法中，有时因玻璃原料熔融不足、制造中途异物意外混入或者成形装置老化、成形条件暂时缺陷等各种原因，而在板状玻璃产生表面品质异常等缺陷。

为了抑制这样的板状玻璃的缺陷产生，目前实施了各种对策，但难以完全抑制缺陷产生。另外，即使能够一定程度抑制缺陷产生，若没有清楚识别具有缺陷的板状玻璃的技术，则也会在判定为合格品的板状玻璃中混入原本应为不合格的残次品。因此，准确地测量板状玻璃缺陷的技术非常重要。

例如在专利文献1中公开了一种板状玻璃的制造方法，其包括通过激光显微镜测量板状玻璃内部存在的缺陷(以下记为“内部缺陷”的尺寸或深度(与玻璃表面的距离)等检查工序。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-205811号公报

发明内容

发明要解决的课题

伴随近年的平板显示器的高精细化，在玻璃基板上形成的电路图案存在进一步微细化的倾向。因此，玻璃基板的存在表面附近的内部缺陷即使微小，也可能成为导致电路断线或短路的原因。因此，在玻璃基板的内部缺陷的测量中，希望对于在表面附近存在的内部缺陷准确地测量深度或大小等，并减少与之相伴的测量时间的增加。另外，在为通过溢流下拉法制得的玻璃基板的情况下，还希望对于玻璃基板的厚度方向中央的在结合面附近存在的内部缺陷准确地测量深度或大小等，并减少与之相伴的测量时间的增加。

本发明的第一目的在于提供一种能够准确且高效地测量在表面附近或结合面附近这样的特定区域存在的内部缺陷的板状玻璃的制造方法。本发明的第二目的在于提供一种能够准确且高效地测量可能对板状玻璃表面的表面性状造成影响的内部缺陷的板状玻璃的制造方法。

用于解决课题的方案

本发明用于解决上述课题，涉及一种板状玻璃的制造方法，其包括通过利用摄像装置多次对板状玻璃的内部进行摄像来检查所述板状玻璃的内部缺陷的检查工序的，该制造方法的特征在于，对于使用所述摄像装置的多次摄像，以所述摄像装置的焦点位置沿着所述板状玻璃的厚度方向按规定的间距分布的方式进行，所述规定的间距在所述厚度方向的第一内部区域比在所述厚度方向的第二内部区域小。

根据该构成，例如将板状玻璃的结合面附近和/或保证面附近设定为第一内部区域，以较小间距对该第一内部区域进行摄像，从而对于在第一内部区域存在的内部缺陷能够准确地测量深度等。另外，通过以较大间距对第二内部区域进行摄像，从而能够减少在第二内部区域存在的内部缺陷的测量所需的时间，能够高效地进行测量。

优选所述第一内部区域在所述板状玻璃的保证面附近，且所述第二内部区域是比所述第一内部区域远离所述保证面的区域。

根据该构成，通过以较小间距对保证面附近的内部区域进行摄像，从而针对保证面附近存在的内部缺陷能够准确地测量深度等。另外，通过以较大间距对远离保证面的区域进行摄像，从而能够减少远离保证面的区域中存在的内部缺陷的测量所需的时间，能够高效地进行测量。在此，“保证面”是指板状玻璃的两个表面中的在FPD的制造工序中实施成膜处理等且需确保表面性状的表面，非保证面是指不要求保证面这样的表面性状的表面。

另外，所述摄像装置能够以从所述保证面侧对所述板状玻璃的内部进行摄像的方式构成。

优选的是，对于上述构成的板状玻璃的制造方法，在所述检查工序中，在所述保证面附近的第一内部区域中将所述规定的间距设为第一间距，在比所述第一内部区域远离所述保证面的第二内部区域中，将所述规定的间距设为第二间距，所述第一间距小于所述第二间距。

优选的是，对于上述构成的板状玻璃的制造方法，在所述检查工序中，在所述第一内部区域及所述第二内部区域以所述第二间距进行摄像之后，在所述第一内部区域以所述第一间距进行摄像。或者，也可以是，在所述检查工序中，在所述第一内部区域以所述第一间距进行摄像之后，在所述第二内部区域以所述第二间距进行摄像。

优选的是，在上述的板状玻璃的制造方法中，所述第一间距为1μm以上且为10μm以下。另外，优选的是，所述第二间距为20μm以上且为50μm以下。

发明效果

根据本发明，能够准确且高效地测量在板状玻璃的厚度方向的特定区域存在的内部缺陷(例如可能对板状玻璃表面的表面性状造成影响的内部缺陷)。

附图说明

图1是示出第一实施方式的板状玻璃的制造装置的一部分的侧视图。

图2是检查装置的侧视图。

图3是示出板状玻璃的制造方法的流程图。

图4是示出检查工序的流程图。

图5是示出板状玻璃的制造方法的一个工序的侧视图。

图6是示出板状玻璃的制造方法的一个工序的侧视图。

图7是示出第二实施方式的板状玻璃的制造方法的一个工序的侧视图。

图8是示出板状玻璃的制造方法的一个工序的侧视图。

具体实施方式

以下参照附图说明用于实施本发明的方式。图1至图6示出本发明的板状玻璃的制造装置及制造方法的一实施方式。

如图1所示，制造装置1具备：成形部2，其通过下拉法将熔融玻璃GM连续成形为玻璃带GR；缓冷部3，其在成形部2的下方去除玻璃带GR的内部应变；冷却部4，其设置在缓冷部3的下方；第一切断部5，其设置在冷却部4的下方；搬运部6，其移送通过第一切断部5切出的板状玻璃GS；捆包部8，其将板状玻璃GS载置在托盘7上；第二切断部9，其切断从托盘7取出的板状玻璃GS；以及检查部10，其进行板状玻璃GS的检查。

成形部2具备：成形体11，其在炉壁的内侧执行溢流下拉法；以及边辊12，其将从该成形体11溢出的熔融玻璃GM拉拔为玻璃带GR。

成形体11构成为长条状，且具备在顶部形成的溢流槽13和构成相互对置的一对侧壁部的垂直面部14及倾斜面部15。一对倾斜面部15通过朝向下方逐渐接近而相交叉，构成成形体11的下端部16。边辊12夹持玻璃带GR的宽度方向的两端部。

缓冷部3使从成形部2下降的玻璃带GR缓冷，以去除其内部应变。即，在缓冷部3内，以具有规定温度梯度的方式进行温度设定。玻璃带GR随着在缓冷部3内下降而温度逐渐下降。缓冷部3经由在内部配置的上下多层的引导辊17将玻璃带GR向铅垂下方引导。

冷却部4使从缓冷部3移送的玻璃带GR通过而使玻璃带GR进一步冷却。即，冷却部4将玻璃带GR冷却至室温附近。由冷却部4冷却了的玻璃带GR被向下方的第一切断部5输送。

第一切断部5具有从被自冷却部4向下方移送的玻璃带GR切出规定尺寸的板状玻璃GS的折断装置18。通过成形部2连续成形的玻璃带GR由该折断装置18切断为矩形状的板状玻璃GS。切断了的板状玻璃GS根据需要将在其宽度方向(水平方向)的两端形成的厚壁部切断去除。另外，根据需要针对板状玻璃GS进行各种检查。其后，板状玻璃GS被向捆包部8输送。

需要说明的是，板状玻璃GS在用于液晶显示器等平板显示器的情况下，具有作为形成TFT等电路的产品面的第一表面Ga和位于第一表面Ga相反一侧的第二表面Gb。优选该板状玻璃GS的厚度(第一表面Ga与第二表面Gb的距离)为100μm以上且700μm以下。第一表面Ga相当于本发明的保证面，第二表面Gb相当于本发明的非保证面。

作为板状玻璃GS的材质，使用硅酸盐玻璃、二氧化硅玻璃，优选使用硼硅酸玻璃、钠钙玻璃、铝硅酸盐玻璃、化学强化玻璃，最优选使用无碱玻璃。在此，所谓无碱玻璃是实质上不含有碱成分(碱金属氧化物)的玻璃，具体来说是碱成分的重量比为3000ppm以下的玻璃。本发明中的碱成分的重量比优选1000ppm以下，更加优选500ppm以下，最优选300ppm以下。

搬运部6构成为具有使板状玻璃GS移动的多个保持部19的搬运装置。各保持部19具有能够把持板状玻璃GS的夹紧机构19a。搬运部6通过保持部19的夹紧机构19a把持板状玻璃GS的上部，并且以使板状玻璃GS的表面(第一表面Ga或第二表面Gb)面向其移动方向的方式对该板状玻璃GS进行搬运。另外，搬运部6未保持板状玻璃GS的下部而对该板状玻璃GS进行搬运。各保持部19能够通过机械臂等各种移动机构三维移动。需要说明的是，搬运部6不限于上述内容，能够由辊式输送机、带式输送机等各种搬运装置构成。

在捆包部8配置的托盘7具有支承板状玻璃GS的一个表面的第一支承面20和支承板状玻璃GS的下端部的第二支承面21。第一支承面20与第二支承面21以成90°的方式相交叉。第一支承面20相对于铅垂方向以规定的角度倾斜。另外，第二支承面21相对于水平方向以规定的角度倾斜。

托盘7能够在收容有规定数量的板状玻璃GS的状态下通过搬运车辆、搬运台车等搬运。在托盘7到达搬运目的地时，板状玻璃GS被从该托盘7取出。

第二切断部9将从托盘7取出的板状玻璃GS切断为规定尺寸。第二切断部9具有切断装置22和支承板状玻璃GS的载置台23。在本实施方式中，作为切断装置22能够使用机械刻划式、激光刻划式等各种形式的装置。载置台23可以构成为，能够以使板状玻璃GS的位置可变的方式沿上下方向及水平方向移动。根据需要，对切断后的板状玻璃GS的端面实施使用砥石的研削和/或研磨加工。另外，根据需要对板状玻璃GS的第一表面Ga及第二表面Gb实施清洗处理。

检查部10具备摄像装置24、对通过摄像装置24获取的图像数据进行解析的图像处理装置25(计算机)、及支承板状玻璃GS的载置台26。摄像装置24具备光学显微镜，能够获取板状玻璃GS内部的放大图像作为数据。摄像装置24构成为，能够通过移动机构27沿水平方向及上下方向移动。摄像装置24通过移动机构27的动作，一边将其焦点位置FP沿板状玻璃GS的厚度方向(远离第一表面Ga的方向)进行变更一边以规定的间距PS、PL对板状玻璃GS的内部进行摄像。需要说明的是，摄像时从摄像装置24到第一表面Ga的距离比从摄像装置24到第二表面Gb的距离近。

摄像装置24如图2所示，以不同的间距对板状玻璃GS内部的第一表面Ga附近的第一内部区域G1和位于比第一内部区域G1远离第一表面Ga的位置的(第二表面Gb侧的)第二内部区域G2进行摄像。即，摄像装置24在位于第一表面Ga附近的第一内部区域G1以第一间距PS进行摄像，在位于远离第一表面Ga的位置的第二内部区域G2以第二间距PL进行摄像。第一间距PS比第二间距PL小。以下也将“第一间距”记为“小间距”，将“第二间距”记为“大间距”。

在本实施方式中，第一内部区域G1是从第一表面Ga起到70～100μm范围的部分，第二内部区域G2是除了第一内部区域G1以外的部分。第一内部区域G1的范围(基于第一间距PS的焦点位置FP的分布范围)不限于上述范围，可以根据板状玻璃GS的厚度适当设定。

图像处理装置25除了内置CPU、RAM、ROM、HDD以外，还安装显示器28、输入接口29等硬件。图像处理装置25与摄像装置24及移动机构27连接。图像处理装置25主要具备由CPU构成的运算部、由RAM、ROM及HDD构成的存储部、及在摄像装置24与移动机构27之间进行信号收发的通信部。图像处理装置25通过由运算部执行在存储部中保存的图像解析程序来控制摄像装置24及移动机构27的动作，从通信部接收通过摄像装置24获取的大量图像数据，并针对各图像数据执行各种图像处理。

载置台26支承由第二切断部9切断而成的板状玻璃GS。具体来说，载置台26支承板状玻璃GS的第二表面Gb。由此，板状玻璃GS以第一表面Ga面向上方的状态支承于载置台26。

以下说明通过上述构成的制造装置1制造板状玻璃GS的方法。如图3所示，本方法主要包括成形工序S1、缓冷工序S2、冷却工序S3、第一切断工序S4、搬运工序S5、捆包工序S6、第二切断工序S7及检查工序S8。

在成形工序S1中，供给至成形部2的成形体11的熔融玻璃GM从溢流槽13溢出，沿垂直面部14及倾斜面部15漫延而流下。熔融玻璃GM在成形体11的下端部16处熔合一体化而成形为玻璃带GR。在沿成形体11的倾斜面部15漫延流下的板状的熔融玻璃GM表面中，合流并熔合一体化的表面是结合面。边辊12夹持该玻璃带GR的宽度方向上的两端部，将该玻璃带GR向下方引导。

在缓冷工序S2中，从成形部2下降的玻璃带GR从缓冷部3中通过。此时，玻璃带GR一边由引导辊17向下方引导一边按照规定的温度梯度被缓冷，其内部应变被去除。

在冷却工序S3中，玻璃带GR通过冷却部4中的自然冷却而进一步被冷却。其后，玻璃带GR在第一切断工序S4中由折断装置18切断为规定尺寸，由此制得构成为矩形的板状玻璃GS。根据需要，在两端切断工序中，去除在板状玻璃GS的宽度方向(水平方向)的两端形成的厚壁部。另外，根据需要对板状玻璃GS进行各种检查。在其后的搬运工序S5中，板状玻璃GS被朝向配置于捆包部8的托盘7搬运。

在搬运工序S5中，通过搬运部6的保持部19来保持板状玻璃GS的上部。在与板状玻璃GS一起使板状玻璃GS的下部远离地面的悬吊状态下，从第一切断部5向托盘7搬运该板状玻璃GS。

在捆包工序S6中，通过搬运部6搬运的板状玻璃GS依次载置于托盘7。在堆载于托盘7的板状玻璃GS之间夹入保护片材。若规定数量的板状玻璃GS堆载在托盘7上，则在由多个板状玻璃GS构成的层叠体整体范围覆盖保护罩。其后，托盘7被向规定的搬运目的地移送。

在第二切断工序S7中，从到达搬运目的地的托盘7取出板状玻璃GS，并载置于第二切断部9的载置台26。其后，板状玻璃GS由切断装置22切断为规定的尺寸。或者，由切断装置22从一片板状玻璃GS切出多片板状玻璃GS。切断后的板状玻璃GS载置于检查部10的载置台26。其后针对该板状玻璃GS实施检查工序S8。

如图4所示，检查工序S8包括第一检查工序S81、第二检查工序S82及第三检查工序S83。

在第一检查工序S81中，通过在检查部10的上游侧配置的公知的检查装置(未图示)，针对板状玻璃GS检查有无内部缺陷ID。作为检查装置例如使用侧光式检查装置，但不限定于此。在板状玻璃GS中检测到内部缺陷ID的情况下，与该内部缺陷ID的位置(平面方向上的位置)及大小相关的信息被输入图像处理装置25，并保存于存储部。另一方面，在板状玻璃GS中未检测到内部缺陷ID的情况下，将不存在内部缺陷ID这一内容的信息输入图像处理装置25并保存于存储部。在检测到内部缺陷ID的板状玻璃GS中，内部缺陷ID的大小超过基准(例如10μm左右)的板状玻璃GS被向第二检查工序S82及第三检查工序S83供给。其他板状玻璃GS被认定为合格品。

在第二检查工序S82及第三检查工序S83中，针对在第一检查工序S81中检测到的内部缺陷ID测量深度或大小等。需要说明的是，在第一检查工序S81中测量的内部缺陷ID的大小为大致的大小，在第二检查工序S82及第三检查工序S83中，与第一检查工序S81相比，更准确地测量内部缺陷ID的大小。以下说明第二检查工序S82及第三检查工序S83的详细内容。

在第二检查工序S82中，通过操作者操作图像处理装置25或自动控制进行基于摄像装置24的板状玻璃GS的拍摄(摄像工序)。在摄像工序中，摄像装置24从板状玻璃GS的保证面侧即第一表面Ga侧拍摄该板状玻璃GS。具体来说，在摄像工序中，通过移动机构27的动作而使摄像装置24移动，以使在第一检查工序S81中检测到的内部缺陷ID位于视野内。在该状态下，摄像装置24以规定的间距(大间距PL)向下方移动，且多次对板状玻璃GS的内部进行摄像。即，如图5所示，摄像装置24一边以大间距PL变更其焦点位置FP，一边在各焦点位置FP处连续地对板状玻璃GS的内部整体即第一内部区域G1及第二内部区域G2进行摄像。

接下来，在第三检查工序S83中，如图6所示，在第一内部区域G1中以小间距PS执行基于摄像装置24的摄像。

在第二检查工序S82及第三检查工序S83中，通过摄像装置24获取的板状玻璃GS的内部图像数据被向图像处理装置25发送，并显示于显示器28。接下来，通过操作者目视在显示器28显示的板状玻璃GS的内部图像或者通过图像处理装置25的图像解析程序进行内部缺陷ID的测量。在本实施方式中测量内部缺陷ID的大小及深度。同时判定内部缺陷ID的类别。内部缺陷ID的大小(最大尺寸)例如基于在显示器28显示的图像通过操作者使用图像解析程序来测量。

内部缺陷ID的深度是指在板状玻璃GS的厚度方向上从第一表面Ga到该内部缺陷ID的距离。内部缺陷ID的深度例如按照以下方式测量。即，通过操作者在显示器28上目视或者通过图像处理装置25的图像解析程序选定在多个焦点位置FP摄像得到的内部缺陷ID的多个图像数据中的最对焦的图像数据。并且，操作者使用图像解析程序测量从该焦点位置FP到板状玻璃GS的第一表面Ga的距离。或者基于图像解析程序通过运算部计算内部缺陷ID的深度。

内部缺陷ID的类别基于在显示器28显示的图像数据由操作者通过目视认定。内部缺陷ID是例如气泡即包含某种气体的气泡或不含任何气体的真空气泡。在包含某种气体的气泡的情况下，作为其气体的种类存在氧气、二氧化碳、一氧化碳、氧化氮(NO_x)、氮气、氯气、溴气、氢气、氩气、氦气、氖气、氙气、水蒸气、氧化硫(SO_x)、亚硫酸气体等。另外，在为真空气泡的情况下，有时气泡生成时的成分以某种状态作为固体析出在气泡内壁。

上述构成内部缺陷ID的气泡存在多种形态：其气泡表面的状态接近曲率半径变化少的球形状的形状；向一个方向伸展的形状；进一步向一个方向伸展且与该伸展方向垂直的截面为扁平状态。或者，作为上述内部缺陷ID，例如还存在固体异物。作为内部缺陷ID的固体异物并非像气泡这样针对可见光具有透过性，而是具有遮蔽性，例如耐火物或铂等微细异物或玻璃原料的残留异物等不具有透过性的物质。以上内部缺陷ID的类别由操作者确认。

接下来，操作者基于内部缺陷ID的大小、深度及类别认定板状玻璃GS良好与否。具体来说，在内部缺陷ID对第一表面Ga的表面性状产生不良影响的情况下，即，若判定内部缺陷ID会导致板状玻璃GS的第一表面Ga上的凹凸等，则将该板状玻璃GS认定为不合格品。另一方面，在内部缺陷ID未对第一表面Ga的表面性状产生不良影响的情况下，将该板状玻璃GS认定为合格品。

操作者基于内部缺陷ID的大小、深度及类别认定板状玻璃GS是否为不合格品。操作者在基于检测到的内部缺陷ID的大小、深度、类别判断该内部缺陷ID对第一表面Ga的表面性状产生不良影响的情况下，即，该内部缺陷ID会导致板状玻璃GS的第一表面Ga中的凹凸等时，将该板状玻璃GS认定为不合格品。

在此，第一内部区域G1中存在的内部缺陷ID即使微小，也会对作为保证面的第一表面Ga的表面性状(凹凸)产生较大影响。与此相对，第二内部区域G2中存在的内部缺陷ID与第一内部区域G1的内部缺陷ID相比位于远离第一表面Ga的位置。因此，第二内部区域G2的内部缺陷ID即使大型，也不易对第一表面Ga的表面性状造成影响。因此，在板状玻璃GS良好与否的认定中，内部缺陷ID的大小的基准值(被容许的范围的最大值)与内部缺陷ID的深度对应地变化，与第二内部区域G2相比，第一内部区域G1的基准值较小。因此，在内部缺陷ID存在于第一内部区域G1的情况下，要求更准确地测量其深度。例如，以相同间距在第一内部区域G1及第二内部区域G2双方进行摄像，在将其间距设为15～30μm的情况下，第一内部区域G1中存在的内部缺陷ID的测量不准确。若为了确保准确性而减小间距，则测量所需的时间增加。

根据本实施方式的板状玻璃GS的制造装置及制造方法，通过以小间距PS对作为板状玻璃GS的保证面的第一表面Ga侧(具体来说是第一内部区域G1)进行摄像，从而针对在该第一表面Ga附近存在的内部缺陷ID能够准确地测量。因此，与以往相比，能够准确地进行针对谋求高精细化的平板显示器用板状玻璃GS的良好与否的判定。

另外，通过以大间距PL对与作为保证面的第一表面Ga侧相反一侧(具体来说是第二内部区域G2)进行摄像，从而能够减少在远离第一表面Ga的区域存在的内部缺陷ID的测量所需的时间，能够高效地进行测量。需要说明的是，在远离第一表面Ga的区域中，与第一表面Ga附近相比，通过以大间距PL进行摄像而准确性有所下降，但由于测量误差对第一表面Ga的表面性状的影响也很小，因此能够确保良好与否判定的准确性。

关于在第一表面Ga附近存在的内部缺陷ID，基于更准确测量的观点，小间距PS优选1μm以上且10μm以下。大间距PL比小间距PS大即可，但基于更高效测量的观点，优选20μm以上且50μm以下。

图7及图8示出本发明板状玻璃的制造方法的第二实施方式。在上述的第一实施方式中，示出在第二检查工序S82中以大间距PL对板状玻璃GS的内部整体进行摄像后，在第三检查工序S83中以小间距PS进行第一内部区域G1的摄像的例子，在本实施方式中，该检查工序S8的方式与第一实施方式不同。

即，对于本实施方式的板状玻璃GS的制造方法，在检查工序S8中，如图7所示，在以小间距PS对板状玻璃GS的第一内部区域G1进行摄像后，将摄像装置24的间距(焦点位置FP的分布方式)从小间距PS变更为大间距PL，如图8所示对第二内部区域G2进行摄像。需要说明的是，在本实施方式中，在第一内部区域G1的摄像结束的时刻，使基于移动机构27的摄像装置24的移动暂时停止，实施与间距变更(从小间距PS向大间距PL的变更)相伴的移动机构27的修正工序。在本实施方式中也基于摄像到的图像数据测量内部缺陷ID的大小及深度，并判定内部缺陷ID的类别。基于所获得的内部缺陷ID的大小、深度、类别判定板状玻璃GS良好与否。

需要说明的是，本发明不限定于上述实施方式的构成，也不限定于上述的作用效果。本发明能够在不脱离本发明主旨的范围内实施各种变更。

在上述实施方式中，将第一内部区域G1设为第一表面Ga附近，但也可以将第一内部区域G1设为结合面附近。在该情况下，第二内部区域G2能够设为第一内部区域G1的其余区域。

在将第一内部区域G1设为第一表面Ga附近的情况下，不限定于分割为第一内部区域G1和第二内部区域G2两个区域并以不同间距在以上区域进行摄像的方式，第一表面Ga侧的间距小于第二表面Gb侧的间距即可。例如也可以分割为三个以上区域并以相互不同的间距对以上区域进行摄像。在该情况下，间距以随着向板状玻璃GS的第一表面Ga接近而变小的方式变化。另外，不限定于使间距按区域(阶梯状)变化的形式，也可以采用使间距逐渐变化的形式。

在上述实施方式中，在第二检查工序S82及第三检查工序S83中进行了摄像后，基于摄像到的图像数据测量内部缺陷ID的大小及深度，但不限定于此。若是第一实施方式，可以在第二检查工序S82中以大间距PL在第一内部区域G1及第二内部区域G2进行了摄像后，基于在第二内部区域G2进行摄像得到的图像数据测量内部缺陷ID的大小及深度，并判定内部缺陷ID的类别，基于其结果判定板状玻璃GS良好与否。在该实施方式中，仅对判定为良的板状玻璃GS，在第三检查工序S83中以小间距PS在第一内部区域G1进行了摄像后，在第二检查工序S82及第三检查工序S83中基于在第一内部区域G1进行摄像得到的图像数据来测量内部缺陷ID的大小及深度，并判定内部缺陷ID的类别，基于其结果再次判定板状玻璃GS良好与否。

另外，若是第二实施方式，则也可以在以小间距PS在第一内部区域G1进行了摄像后，基于在第一内部区域G1摄像得到的图像数据来测量内部缺陷ID的大小及深度，并判定内部缺陷ID的类别，基于其结果判定板状玻璃GS良好与否。在该实施方式中，仅对判定为良的板状玻璃GS，在以大间距PL在第二内部区域G2进行了摄像后，基于在第二内部区域G2摄像得到的图像数据来测量内部缺陷ID的大小及深度，并判定内部缺陷ID的类别，基于其结果再次判定板状玻璃GS良好与否。

在上述实施方式中，例示了包括捆包工序S6的板状玻璃GS的制造方法，但不限定于此。板状玻璃GS的制造方法也可以在第一切断工序S4与搬运工序S5之间设置检查工序S8。在该情况下，也可以省略工序S7。或者也可以省略工序S1～S6来进行。在该情况下，板状玻璃GS例如使用在其他工厂制造的板状玻璃等即可。或者也可以省略捆包工序S6。

在上述实施方式中，例示了利用移动机构27使摄像装置24移动的构成，但本发明不限定于该构成。也可以通过将移动机构装设于支承板状玻璃GS的载置台26，并以规定的间距(小间距PS、大间距PL)使该载置台26移动来变更摄像装置24的焦点位置FP。

在上述实施方式中，示出了通过溢流下拉法制造板状玻璃GS(玻璃带GR)的方法，但不限于此，也可以通过浮法等成形法制造板状玻璃GS。

在上述实施方式中，示出了使用一台摄像装置24执行检查工序S8(第二检查工序S82、第三检查工序S83)的例子，但本发明不限定于该构成。检查工序S8也可以由多台摄像装置24执行。

在上述实施方式中，示出了摄像装置24从板状玻璃GS的保证面侧(第一表面Ga侧)拍摄板状玻璃GS内部的例子，但也可以利用摄像装置24从非保证面侧(第二表面Gb侧)拍摄板状玻璃GS的内部。

附图标记说明：

24 摄像装置

FP 焦点位置

G1 第一内部区域

G2 第二内部区域

GS 板状玻璃

ID 内部缺陷

PS 第一间距(小间距)

PL 第二间距(大间距)

S8 检查工序。

Claims (8)

1.一种板状玻璃的制造方法，其包括通过利用摄像装置多次对板状玻璃的内部进行摄像来检查所述板状玻璃的内部缺陷的检查工序，

所述板状玻璃的制造方法的特征在于，

对于使用所述摄像装置的多次摄像，以所述摄像装置的焦点位置沿着所述板状玻璃的厚度方向按规定的间距分布的方式进行，

所述规定的间距在所述厚度方向的第一内部区域比在所述厚度方向的第二内部区域小。

2.根据权利要求1所述的板状玻璃的制造方法，其特征在于，

所述第一内部区域在所述板状玻璃的保证面附近，

所述第二内部区域是比所述第一内部区域远离所述保证面的区域。

3.根据权利要求2所述的板状玻璃的制造方法，其特征在于，

所述摄像装置构成为从所述保证面侧对所述板状玻璃的内部进行摄像。

4.根据权利要求2或3所述的板状玻璃的制造方法，其特征在于，

在所述检查工序中，在所述第一内部区域将所述规定的间距设为第一间距，在所述第二内部区域将所述规定的间距设为第二间距，

所述第一间距小于所述第二间距。

5.根据权利要求4所述的板状玻璃的制造方法，其特征在于，

在所述检查工序中，在所述第一内部区域及所述第二内部区域以所述第二间距进行摄像之后，在所述第一内部区域以所述第一间距进行摄像。

6.根据权利要求4所述的板状玻璃的制造方法，其特征在于，

在所述检查工序中，在所述第一内部区域以所述第一间距进行摄像之后，在所述第二内部区域以所述第二间距进行摄像。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的板状玻璃的制造方法，其特征在于，

所述第一间距为1μm以上且10μm以下。

8.根据权利要求4至7中任一项所述的板状玻璃的制造方法，其特征在于，

所述第二间距为20μm以上且50μm以下。

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