JPH0729481Y2 - 斜光検査台 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、自由な角度で回動自在な検査テーブルを停止
させるときの水平及び回転方向の位置決め方法に関す
る。

［従来の技術］ 近年、電子部品の技術の進歩には目覚しいものがあり、
複雑化され、性能が向上されている。また、その進歩に
伴い需要も急増している。このような電子部品に用いら
れるガラス基板においては、不良品を検出するために十
分に検査する必要がある。即ち、長さや厚み等の外形不
良や部品各部の寸法誤差、その他割れや欠け等の欠陥や
パターンの欠陥等があるとこれが特性に影響し、また、
部品実装上からも不都合が生じることにもなるので、製
造工程の途中、或いはその最終工程で特性値検査に加え
て外観による検査を行なっている。

更に、ガラス基板は製造工程でごく僅かでも塵が付着す
ると、その塵が電子部品の特性に影響を及して不良品と
なるため、無塵に極力近づけた状態のクリーンルームで
製造されている。また、塵の付着の有無を調べる外観の
検査が重要となっている。

従来、この様なガラス基板の外観検査には、検査される
部品を保持治具に載せて斜光を照射し、更にそのテーブ
ルを自由な角度の傾斜状態で回転させて光に対する陰影
によって検査が行われている。ところで、従来この検査
は、ガラス基板の載せられた保持治具を検査員が片手で
支持して行われている。このため、検査時間が長時間に
なった場合、注意力が低下して、ガラス基板を支える腕
が疲労し、ガラス基板を傾斜状態で回転させることが円
滑でなくなったり、完全に検査されなかったり、時には
ガラス基板を落下させることにもなる。しかも、技術の
進歩に伴いガラス基板はますます大型化し、重量の増す
傾向にあるので、このガラス基板の載せられた保持治具
を片手で支持することはかなり困難になってきている。
前述のように、ガラス基板を手で支持することには問題
があった。

そこで、出願人は実願平2-102031号において、この検査
のためにガラス基板を載せるテーブルの設けられた検査
台で、このテーブルを傾斜状態で回転させる作業を機械
によって自動化した装置を別途提案している。この装置
は、検査台に設けられた３種の軸を有する駆動部を検査
テーブルに連結したもので、テーブルの回転のための第
１の回転軸、及び前後左右方向の傾斜のための第２及び
第３の回転軸と、これら各回転軸の駆動モータとを備え
ている。各回転軸の駆動によってテーブルが回転及び傾
斜するので、テーブル上の検査部品は自由な角度の傾斜
状態で回転して検査され、電子部品の外観の検査が行わ
れ、不良品が検出されている。

ところで、検査部品をテーブル上に載せる時、或いはテ
ーブル上から取り除く時には、公知の搬送ロボットを使
用してテーブルが確実に停止している状態で自動受け渡
しを行い、検査部品には直接手が触れないようになって
いる。この時、テーブルが常に一定の位置に停止するよ
うに、駆動モータの回転を制御を行っている。

［考案が解決しようとする課題］ しかしながら、公知のロボットを使用して検査部品をテ
ーブル上に載せたり、或いはテーブル上から取り除くた
めの自動受け渡しを行うには、モータの制御でテーブル
を常に一定の位置に停止するだけでは十分とはいえな
い。即ち、テーブルを直接駆動する駆動モータ、及び駆
動モータに連結される回転軸を完全に停止させただけの
状態では、この駆動モータと連動されるギヤのバックラ
ッシュ等の現像によってガタが生じる。特に、テーブル
の駆動のために３軸が設けられているので、各軸で発生
するガタが全体としてテーブルの大きなガタとなり、こ
のガタによってテーブルがふらつく等の影響が発生し、
テーブル上の検査部品の自動受け渡しに位置ズレ等の支
障が生ずる場合がある。それによって搬送ミスとなり、
検査部品に割れや欠け等の欠陥や外形不良が生じること
にもなり、欠陥や外形不良の検査を行うことによって、
逆に良品が不良品となり、製造効率が低下する。

このガタを発生する機構自体に手を加えてガタを無くす
ことも考えられるが、その場合には、ギアやその他の部
材の加工精度を極めて高くすると、装置の製造に手間が
かかり、また、ガタ防止用のための機構を新たに設ける
とすると、装置の構成が複雑になってしまう。更に、前
述によってのガタが無くなったとしても、テーブルが傾
斜状態で回転されているために、テーブルを停止させて
検査部品を自動受け渡しする時には、水平方向の位置決
めも重要となり、そのための手段が必要とされる。即
ち、検査テーブルの駆動部がより複雑な構成となってし
まう。

本考案は、上記のような従来技術の問題点を解決するた
めに提案されたもので、簡単な構成で、駆動部の機構等
の改良も不要であり、検査テーブルを停止させるときに
は水平及び回転方向の位置決めを行うことができ、更
に、停止しているときにはガタを生じさせることのない
斜光検査台を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上面にガラス基板の載置部が設けられ、且つ回転並びに
前後左右方向に傾斜可能とした検査テーブルを備えた斜
光検査台において、検査テーブルの下面に設けられた回
転位置の位置決め部材と、前記の位置決め部材との嵌合
部材を先端に持つ第１のシリンダと、前記の第１のシリ
ンダと共に検査テーブルの水平位置を調整する支持部材
を先端に持つ第２及び第３のシリンダとを設けたことを
特徴とする斜光検査台である。

［作用］ 以上のような構成を有する本考案の作用は、自由な角度
で回転面を変化させることのできる検査テーブルを停止
させるときに、検査テーブルの位置決め部材と、第１の
シリンダの先端の嵌合部材とが嵌合することによって検
査テーブルの回転方向の位置が決められ、また、前記の
嵌合と共に第２及び第３のシリンダの先端に設けられた
支持部材の３点で検査テーブルが支持されることによっ
て水平方向の位置を調整することができるので、停止し
ているときの回転方向位及び水平方向の位置ズレが生じ
なくなる。

［実施例］ 以下、本考案の斜光検査台の実施例を第１図及び第２図
に従って説明する。また、本実施例では、LCDやCCD等に
用いられるガラス基板の検査台について説明する。

第１図は本実施例の平面図、第２図は同じく側面図であ
る。

本実施例の用いられているガラス基板の検査台には、上
部に検査テーブル１が、下部にケース２に覆われた駆動
部３が設けられ、第１の回転軸６によって連結されてい
る。検査テーブル１の側縁の４箇所には検査部品の形状
に合わせたガイド４が設けられている。また、第２図に
示されるように駆動部３は、３種の回転軸6,7,8と、そ
れらを支持するためのそれぞれの軸受装置と、それぞれ
の回転軸を駆動するための３個の駆動モータ9,10,11と
よりなる。これらの回転軸の１つは垂直方向に伸びる第
１の回転軸６であり、第２図に示されるように、その上
端部はテーブル１の中心の連結部1aと連結され、下端部
は第１の回転軸６を水平方向に回転させる第１の駆動モ
ータ９との連結部12となっている。この連結部12の周囲
は軸受装置であるハウジング状の第１の支持部13によっ
て覆われ、この第１の支持部13の上部に設けられた軸受
け14によって第１の回転軸６が支持されている。また、
第１の支持部13の底部には第１の駆動モータ９が固定さ
れ、この駆動モータ９はケースの底板2a等の他の固定部
材からは十分に離れている。

更に、第１の回転軸６の軸受装置である第１の支持部13
には、第１図の平面図において左右方向である水平方向
に伸びる第２の回転軸７が固定されている。この第２の
回転軸７は、第１の支持部13の周囲を囲む枠状の第２の
支持部15に設けられた軸受け14を介して支持されてい
る。回転軸７の一方の端部には、ステー16を介して第２
の支持部15に固定された第２の駆動モータ10が連結さ
れ、このモータ10によって回転軸７が左右にそれぞれ15
°の角度の範囲で回転される。また、回転軸７の軸受装
置である第２の支持部15には、第１図の平面図において
第２の回転軸７と直行する上下方向である水平方向に伸
びる第３の回転軸８が固定されている。この回転軸８は
ケースの底板2aに固定される固定部17に設けられた軸受
け14を介して支持されている。その一方の端部には、ス
テー16を介して固定部17に固定された第３の駆動モータ
11が連結され、第３の回転軸８が左右にそれぞれ15°の
角度の範囲で回転される。

なお、上記の駆動モータ9,10,11を駆動するための操作
部として、図示しないスイッチが設けられている。

上述した検査台には、更に、検査テーブル１の下面の一
部に円錐状のピン18が設けられている。また、第３の回
転軸８の軸受けで駆動モータ11側の固定部17aの上部に
シリンダ取付け板19が取り付けられ、上下方向に伸縮自
在な第１のエアシリンダ20が設けられている。この第１
のエアシリンダ20の上部にはピン18との嵌合構造となっ
ている先端部20aが取り付けられている。また、他方の
固定部17bの第３の回転軸８と平行となる両側面に、水
平方向にシリンダ取付け板19,19が取り付けられ、その
上部にはそれぞれ上下方向に伸縮自在で同一の形状及び
伸縮性能を持つ第２及び第３のエアシリンダ21,22が設
けられている。この第２及び第３のエアシリンダ21,22
の上部には先端が半球状となった突起21a,22aが設けら
れている。ピン18と先端部20aとが嵌合するときに、突
起21a,22aは同時にテーブル１の下面に接する。

以上の様な構成を有する本実施例の作用は、以下の通り
である。

即ち、ガラス基板の検査を行うために、ガラス基板を公
知の搬送ロボット等を使ってテーブル１上に載せて光学
照射し、更にそのテーブルを自由な角度の傾斜状態で回
転させて光に対する陰影によって検査が行われている。
テーブル１上に載せる時には、ガラス基板の側縁をガイ
ド４に圧着させ、ガラス基板の位置ずれの防止をする。
ガラス基板が完全に検査テーブルに載せられた後、図示
しないスイッチを操作して駆動部３の駆動モータ9,10,1
1を駆動させる。これによって、それぞれと連結する回
転軸6,7,8が回転し、これらの回転に連動してテーブル
１はすりこぎ状に傾斜状態で回転して検査が行われる。
この時、テーブル１を回転方向に駆動させるためには第
１の駆動モータ９を作動させ、これと連結される第１の
回転軸６を回転させることによって、第１の回転軸６と
連結されるテーブル１が回転させる。一方、テーブル１
を傾斜させるためには、第２及び第３の回転軸7,8を回
転させることによって、これらの回転軸7,8と連結され
る第１の回転軸６が傾斜される。この様にして、３種の
回転軸6,7,8によって、自由な角度で検査テーブル１の
回転面を変化させることができる。

駆動されている検査テーブル１を停止させるには、駆動
モータ9,10,11の回転を減速してゆき、停止させること
によって行われる。停止する直前には、固定部17aの上
部の第１のエアシリンダ20が伸びてくる。このエアシリ
ンダの先端部20aは、回転するテーブル１の下面に設け
られたピン18と接触した後、ピン18の円錐状の傾斜に沿
って摺動し楔型に入り込んで嵌合されるので、完全にテ
ーブル１が停止する。先端部20aがピン18と嵌合した後
に、他方の固定部17bに取り付けられた２個の第２及び
第３のエアシリンダ21,22が同長伸びて、先端に設けら
れた突起21a,22aがテーブル１の下面に接する。検査テ
ーブル１のピン18が第１のエアシリンダの先端部20aに
嵌合され、検査テーブル１の底面が第２及び第３エアシ
リンダの突起21a,22aで２箇所が支持される。この３点
によって、検査テーブルは水平に支持される。

以上のように、本実施例の斜光検査台によれば、自由な
角度で回転面を変えられる検査テーブルに発生するガタ
を、ガタが発生して最も問題となる製品の自動受け渡し
時である停止するとき及び停止しているときに、完全に
無くすことができる。即ち、駆動部の機構等の改良を行
わなくても、３個のシリンダを用いて検査テーブルの下
面の３点を支持することによって、水平方向の位置決め
が行なわれ、しかも、このうちの１個のシリンダは、更
に回転方向の停止位置の位置決めも行うことができる。
従って、駆動部の機構等の改良に比べ大幅にコストの安
いシリンダによって、検査テーブルの停止位置は、ガタ
の発生の無い状態で完全に固定することができる。

これによって、公知のロボットを使用して検査部品をテ
ーブル上に載せる、或いはテーブル上から取り除くため
の自動受け渡しを行う時に、ガタによるふらつき等が発
生しないので、テーブル上の検査部品の自動受け渡しを
支障なく行うことができ、検査による欠陥や外形不良が
生じることが無くなる。即ち、検査のためのコストを従
来とほとんど変えること無く、高品質の部品を安定して
供給することができる。

なお、本考案は上述した実施例に限定されるものではな
く、具体的な各部材の形状、或いは各々の取付け位置及
び方法は適宜変更可能である。

例えば、検査テーブルの位置決め用のピンを孔とし、第
１のエアシリンダの先端部をその孔と嵌合するピン等の
突起状部材として、検査テーブルの位置を決めることも
可能である。また、第１のエアシリンダの先端部をピン
等の突起状部材として、検査テーブルの位置決め部材を
それと嵌合する形状とすることもできる。

また、傾斜は15°の角度の範囲に限定されず、斜光検査
に用いられるテーブルに対する光源の位置や数、種類、
及び、塵や傷の陰影の見易い角度の範囲等によって変更
が可能である。

更に、検査される電子部品は角型ガラス基板に限定され
ず、円形や多角形のガラス基板や他の電子部品の外形不
良の検査も可能である。即ち、テーブルは角型に限定さ
れず、検査される部品の形状に合わせることによって種
々の電子部品に利用することができる。また、斜光検査
台だけでなく、回転軸と連結される点を中心として自由
な角度で回転面を変化させることのできるテーブル状
で、水平及び回転方向の位置決めが必要なものに使用す
ることができる。

［考案の効果］ 本考案の斜光検査台によれば、簡単な構成で、駆動部の
ガタ防止専用及び水平位置決め専用の装置も不要であ
り、検査テーブルを停止させるときには水平方向の位置
決めが行われ、また、このうちの１個によって回転方向
の位置決めも行うことができ、更に、停止しているとき
のガタの生じることのない斜光検査台を提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の斜光検査台の実施例を示す駆動部の平
面図、第２図は同じく側面断面図である。 １……テーブル、２……ケース、2a……ケースの底板、
３……駆動部、４……ガイド、６……第１の回転軸、７
……第２の回転軸、８……第３の回転軸、９……第１の
駆動モータ、10……第２の駆動モータ、11……第３の駆
動モータ、12……連結部、13……第１の支持部、14……
軸受け、15……第２の支持部、16……ステー、17……固
定部、18……ピン、19……シリンダ取付け板、20……第
１のエアシリンダ、21……第２のエアシリンダ、22……
第３のエアシリンダ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】上面にガラス基板の載置部が設けられ、且
   つ回転並びに前後左右方向に傾斜可能とした検査テーブ
   ルを備えた斜光検査台において、 検査テーブルの下面に設けられた回転位置の位置決め部
   材と、 前記の位置決め部材との嵌合部材を先端に持つ伸縮自在
   の第１のシリンダと、 前記の第１のシリンダと共に検査テーブルの水平位置を
   調整する支持部材を先端に持つ伸縮自在の第２及び第３
   のシリンダと、 を設けたことを特徴とする斜光検査台。