JP2518654Y2 - 角型ガラス基板の検査台 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、角型ガラス基板に付着する塵や傷の有無の
検査を合理化することにより、高品位の角型ガラス基板
を安定して供給することが可能となる角型ガラス基板の
検査台に関する。

［従来の技術］ 近年、LCDやCCD等の技術の進歩には目覚しいものがあ
り、複雑化され、性能が向上されている。また、その進
歩に伴い需要も急増している。このようなLCDやCCD等に
用いられる角型ガラス基板においては、不良品を検出す
るための十分な検査が必要とされている。即ち、長さや
厚み等の外形不良や部品各部の寸法誤差、その他割れや
欠け等の欠陥やパターンの欠陥等があるとこれが特性に
影響し、部品実装上からも不都合が生じることにもなる
ので、製造行程の途中或いはその最終工程で特性値検査
に加えて外観による検査が行なわれている。更に、これ
らのLCDやCCD等の角型ガラス基板は、製造工程でごく僅
かでも塵が付着すると、その塵が電子部品の特性に影響
を及して不良品となるため、無塵に極力近づけた状態の
クリーンルームで製造されている。

そのため、この種の電子部品においては、塵の付着や
傷の有無やパターンの欠陥等を調べる外観の検査が重要
となっている。この検査は、角型ガラス基板に光を照射
して、その光が塵や傷にあたってできる陰影の有無によ
ってなされる。この時、角型ガラス基板に対して光を斜
光状態で照射することによって陰影が鮮明となるので、
このために角型ガラス基板を保持治具に載せ、検査員が
片手で保持治具を支持してすりこぎ状に傾斜状態で回転
させて、角型ガラス基板に対する光があらゆる角度の斜
光状態となるようになされている。このようにして角型
ガラス基板表面の陰影が有無を目視により検査され、そ
の陰影によって角型ガラス基板の不良品が発見されてい
る。

［考案が解決しようとする課題］ しかしながら、従来から行われている角型ガラス基板
を検査員が手で支持して行う斜光検査では、幾つかの問
題点があった。

即ち、角型ガラス基板の載せられた保持治具を手で持
つことは、不注意等によって角型ガラス基板を低下させ
る危険がある。

一方、前述の危険性のため、角型ガラス基板を持つこ
とに神経を使う余り、本来の目的である目視検査がおろ
そかになり、角型ガラス基板に付着する塵や傷、パター
ンの欠陥を見落とし、製品に不良品が混入することにな
ることも在り得る。

更に、検査時間が長時間になると、注意力が低下し検
査能率が落ちてくる。例えば、角型ガラス基板を支える
腕が疲労して、角型ガラス基板を傾斜状態で回転させる
ことが円滑でなくなったり、完全に検査されなかった
り、時には角型ガラス基板を落下させることにもなる。
しかも、技術の進歩に伴いガラス基板はますます大型化
し重量の増す傾向にあり、このガラス基板の載せられた
保持治具を片手で支持し円滑に回転させることは、かな
り困難になってきている。また、人為的ミスやその時の
気分的な影響によって、不良品が検出されない可能性が
ある。

本考案は、上記のような従来技術の問題点を解決する
ために提案されたもので、角型ガラス基板の検査効率を
上げ、検査の合理化を図ることにより、不良品の混入の
ない品質の安定した角型ガラス基板を安定して供給する
ことができる、機械化された角型ガラス基板の検査台を
提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 光が斜光状態で照射される角型ガラス基板と、 この角型ガラス基板が保持されるテーブルと、 このテーブルを回転させる第１の回転軸と、 この第１の回転軸を駆動する第１の駆動モータと、こ
れら第１の回転軸及び第１の駆動モータを支持するハウ
ジング状の第１の支持部と、 この第１の支持部に固定され、第１の支持部を前後に
傾斜させるための第２の回転軸と、 この第２の回転軸を駆動する第２の駆動モータと、こ
れら第２の回転軸及び第２の駆動モータを支持する枠状
の第２の支持部と、 この第２の支持部に固定され、第２の支持部を左右に
傾斜させるための第３の回転軸と、 この第３の回転軸を駆動する第３の駆動モータと、こ
れら第３の回転軸及び第３の駆動モータを支持する固定
部と、 を備える角型ガラス基板の斜光検査を行う角型ガラス基
板の検査台。

［作用］ 以上のような構成を有する本考案の角型ガラス基板の
検査台は、角型ガラス基板が検査台のテーブルに載せら
れた後、３個の駆動モータが駆動され、この駆動モータ
と連結される３種の回転軸が回転される。すなわち、第
１の回転軸は水平方向に回転され、そしてこの回転軸と
第１の支持部を介して連結される第２の回転軸が前後方
向に回転される。さらに、前記第２の回転軸と第２の支
持部によって連結される第３の回転軸が左右方向に回転
される。なお、これら３種の回転軸はそれぞれ軸受けに
よって組み合わされるため、第１の回転軸と連結される
テーブルは水平、前後、及び左右方向に回転及び傾斜さ
れ得る。

［実施例］ 以下、本考案の角型ガラス基板の検査台の実施例を第
１図乃至第３図に従って説明する。

第１図は本実施例における検査台の平面図を、第２図
は垂直方向の回転軸と１つの水平方向の回転軸を含む側
面図、第３図は垂直方向の回転軸と他の水平方向の回転
軸を含む側面図を示している。この角型ガラス基板の検
査台には、上部に角型ガラス基板が載せられる角型テー
ブル１が、下部にケース２に覆われた駆動部３が設けら
れている。第１図に示すように、テーブル１は回動自在
な駆動部３の第１の回転軸６とテーブル１の中心である
連結部1aで連結されている。テーブル１の４箇所の角に
はガイド４が設けられ、このガイド４には角型ガラス基
板のコーナー部の両側面を圧着してこれを支持する切欠
き５が形成されている。

一方、駆動部３は、３種の回転軸6,7,8と、それらを
支持するためのそれぞれの軸受装置と、それぞれの回転
軸を駆動するための３個の駆動モータ9,10,11とよりな
る。これらの回転軸の１つは垂直方向に伸びる第１の回
転軸６であり、第２図及び第３図に示されるように、そ
の上端部はテーブル１の中心の連結部1aと連結され、下
端部は第１の回転軸６を水平方向に回転させる第１の駆
動モータ９との連結部12となっている。連結部12の周囲
は軸受装置であるハウジング状の第１の支持部13によっ
て覆われ、この第１の支持部13の上部に設けられた軸受
け14によって第１の回転軸６が支持されている。また、
第１の支持部13の底部には第１の駆動モータ９が固定さ
れ、これはケースの底板2a等の他の固定部材からは十分
に離れている。

更に、第１の回転軸６の軸受装置である第１の支持部
13には、第１図の平面図において左右方向である水平方
向に伸びる第２の回転軸７が固定されている。この第２
の回転軸７は、第１の支持部13の周囲を囲む枠状の第２
の支持部15に設けられた軸受け14を介して支持されてい
る。回転軸７の一方の端部には、ステー16を介して第２
の支持部15に固定された第２の駆動モータ10が連結さ
れ、このモータ10によって回転軸７が左右にそれぞれ15
°の角度の範囲で回転される。また、回転軸７の軸受装
置である第２の支持部15には、第１図の平面図において
第２の回転軸７と直行する上下方向である水平方向に伸
びる第３の回転軸８が固定されている。この回転軸８は
ケースの底板2aに固定される固定部17に設けられた軸受
け14を介して支持されている。その一方の端部には、ス
テー16を介して固定部17に固定された第３の駆動モータ
11が連結され、第３の回転軸８が左右にそれぞれ15°の
角度の範囲で回転される。

なお、上記の駆動モータ9,10,11を駆動するための操
作部として、図示しないスイッチが設けられている。

以上の様な構成を有する本実施例の作用は、以下の通
りである。

即ち、角型ガラス基板の検査を行うためには、角型ガ
ラス基板を公知の搬送ロボット等を使ってテーブル１上
に載せる。この時、角型ガラス基板の各コーナー部の両
側面をガイド４の切欠き５に圧着させる。これにより、
テーブル１が回転及び傾斜しても角型ガラス基板の位置
はずれない。この後、図示しないスイッチを操作して駆
動部３の駆動モータ9,10,11を駆動させる。これによっ
て、それぞれと連結する回転軸6,7,8が回転し、これら
の回転に連動してテーブル１は傾斜状態で回転されて検
査が行われる。この時、テーブル１を回転方向に駆動さ
せるためには、第１の駆動モータ９を駆動し、これと連
結される第１の回転軸６を回転させて第１の回転軸６と
連結されるテーブル１を回転させる。一方、テーブル１
を傾斜させるためには、第２及び第３の回転軸7,8を回
転させることによって、これらの回転軸7,8と連結され
る第１の回転軸６を傾斜させて行われる。即ち、第２の
回転軸７が第２の駆動モータ10の駆動により回転を行う
ことによって、第２の回転軸７の固定される第１の支持
部13も連動して回転軸７を中心とした第３の回転軸８方
向の左右に15°の角度の範囲で回転が行われる。これを
第２の回転軸７側から見ると、第１の支持部13が左右の
第３の回転軸８方向に15°の角度の範囲で傾斜してい
る。この傾斜に伴い、第１の支持部13に支持されている
第１の回転軸６が同様に第３の回転軸８方向に傾斜す
る。これにより、第１の回転軸６と連結されているテー
ブル１も、この回転軸６との連結点を通る第２の回転軸
７方向の線を中心として水平から垂直方向に15°の角度
の範囲で傾斜する。また、第３の回転軸８が第３の駆動
モータ11の駆動により回転を行うことによって、回転軸
８の固定される第２の支持部15が回転し、それによって
第２の支持部15に支持されている第２の回転軸７及びそ
の軸７に固定されている第１の支持部13が第３の回転軸
８を中心として第２の回転軸７方向の左右に15°の角度
の範囲で回転が行われる。これを第３の回転軸８側から
見ると、第２の回転軸７及び第１の支持部13が左右に15
°の角度の範囲で傾斜している。この傾斜に伴い、第１
の支持部13に支持されている第１の回転軸６が同様に第
２の回転軸７方向に傾斜し、第１の回転軸６と連結され
ているテーブル１も傾斜する。

第３の回転軸８は連結されている第３のモータ11によ
る回転のみの動きであるが、第２の回転軸７は軸８の回
転に、また、第１の回転軸６は第２及び第３の回転軸8,
7の回転に連動されて、それぞれに連結されている駆動
モータ9,10による回転以外の動きを行ない、駆動モータ
9,10の位置も検査時には移動する。また、駆動モータ9,
10,11はそれぞれ回転軸6,7,8と連結し、それぞれが軸受
装置に固定される以外にはケースの底板2a等の他の固定
部材に接していないので、検査時の動きを阻害しない。

上述したように、本実施例では、第１の回転軸６を回
転させることによりテーブル１を回転させることがで
き、また、第２及び第３の回転軸7,8のそれぞれの回転
を組み合わせることによって、第１の回転軸６を任意の
角度に傾斜することができる。これによってテーブル１
が連結部1aを中心として自由な角度に傾斜された状態で
回転を行なうことができる。

以上のように、本実施例の角型ガラス基板の検査台に
よれば、角型ガラス基板を機械によってすりこぎ状に自
由な角度の傾斜状態で回転を行なうことができるので、
角型ガラス基板を手で支持することなく検査を行なうこ
とができる。これによって、ガラス基板の大きさや重さ
に左右されずに、円滑に回転させて検査を行うことがで
きる。また、角型ガラス基板が不注意によって落下して
しまう危険がなくなり、検査以外に神経を使うことがな
くなる。更に、疲労や人為的ミス、その時の気分的な影
響が減少するため、検査効率が上がり合理化を図ること
ができ、品質のばらつきのない角型ガラス基板を安定し
て供給することができる。

なお、本考案は上述した実施例に限定されるものでは
なく、具体的な各部材の形状、或いは各々の取付け位置
及び方法は適宜変更可能である。

例えば、傾斜は15°の角度の範囲に限定されず、テー
ブルに対する光源の位置や数、種類、及び、塵や傷の陰
影の見易い角度の範囲等によって変更が可能である。

また、角型ガラス基板のみならず円形や多角形のガラ
ス基板や他の部品にも利用することができる。即ち、テ
ーブルは角型に限定されず、検査される部品の形状に合
わせることによって種々の電子部品に利用することがで
きる。

更に、塵の付着や傷以外の外観検査にも使用すること
ができる。

また、光学照射の光源の種類やその取付け位置、その
数は、外観検査に適したものであれば、特に限定されな
い。

一方、目視による検査に限定されず、光学照射された
ガラス基板を画像処理により自動的に良、不良を選別す
る検査法にも利用される。

［考案の効果］ 本考案の角型ガラス基板の検査台によれば、従来は手
作業で行われていた角型ガラス基板の傾斜状態での回転
を機械化することにより、検査時に角型ガラス基板を手
で支持すること無く目視検査を行うことができる。即
ち、角型ガラス基板の検査の合理化を図ることにより、
検査効率を上げることができ、安定した品質の角型ガラ
ス基板を安定して供給することができる。特に、本考案
においてテーブルは２つの傾斜軸によって前後方向と左
右方向へ傾斜するように構成されている。すなわち、２
つの傾斜軸による傾斜方向は互いに直交するように設定
されており、この２つの傾斜軸が同時に駆動された場
合、単に２方向へ傾斜が可能になったのみならず、２方
向についての傾斜が組み合わさったことによって多様な
方向への回転軸の傾斜が可能となるという際立った効果
が得られる。よって、仮に光の照射が一方向からであっ
ても、角型ガラス基板全体に対するあらゆる角度からの
照射が可能となるため、光をあらゆる角度から照射させ
て、角型ガラス基板表面の陰影の有無を高精度に調べる
ことが達成される。また、３つの回転軸の駆動が個々に
なされるため、各回転軸の回転速度や角度についてそれ
ぞれ自在且つ容易に設定することができる。これによ
り、角型ガラス基板の傾斜状態は、より自由度が増すと
いう効果が達成される。

以上のとおり、このように極めて高い自由度で角型ガ
ラス基板の傾斜角度が形成されることにより、精度の高
い確実な斜光検査の実現が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の角型ガラス基板の検査台の実施例を示
す平面図、第２図は同じく回転軸８から見た側面図、第
３図は同じく回転軸７から見た側面図である。 １……テーブル、２……ケース、2a……ケースの底板、
３……駆動部、４……ガイド、５……切欠き、６……第
１の回転軸、７……第２の回転軸、８……第３の回転
軸、９……第１の駆動モータ、10……第２の駆動モー
タ、11……第３の駆動モータ、12……連結部、13……第
１の支持部、14……軸受け、15……第２の支持部、16…
…ステー、17……固定部。

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】光が斜光状態で照射される角型ガラス基板
   と、 この角型ガラス基板が保持されるテーブルと、 このテーブルを回転させる第１の回転軸と、 この第１の回転軸を駆動する第１の駆動モータと、これ
   ら第１の回転軸及び第１の駆動モータを支持するハウジ
   ング状の第１の支持部と、 この第１の支持部に固定され、第１の支持部を前後に傾
   斜させるための第２の回転軸と、 この第２の回転軸を駆動する第２の駆動モータと、これ
   ら第２の回転軸及び第２の駆動モータを支持する枠状の
   第２の支持部と、 この第２の支持部に固定され、第２の支持部を左右に傾
   斜させるための第３の回転軸と、 この第３の回転軸を駆動する第３の駆動モータと、これ
   ら第３の回転軸及び第３の駆動モータを支持する固定部
   と、 を備える角型ガラス基板の斜光検査を行う角型ガラス基
   板の検査台。