JPH0460684U - - Google Patents

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JPH0460684U
JPH0460684U JP10203190U JP10203190U JPH0460684U JP H0460684 U JPH0460684 U JP H0460684U JP 10203190 U JP10203190 U JP 10203190U JP 10203190 U JP10203190 U JP 10203190U JP H0460684 U JPH0460684 U JP H0460684U
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drive motor
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support
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の角型ガラス基板の検査台の実
施例を示す平面図、第2図は同じく回転軸8から
見た側面図、第3図は同じく回転軸7から見た側
面図である。 1……テーブル、2……ケース、2a……ケー
スの底板、3……駆動部、4……ガイド、5……
切欠き、6……第1の回転軸、7……第2の回転
軸、8……第3の回転軸、9……第1の駆動モー
タ、10……第2の駆動モータ、11……第3の
駆動モータ、12……連結部、13……第1の支
持部、14……軸受け、15……第2の支持部、
16……ステー、17……固定部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 角型ガラス基板が保持されるテーブルと、 このテーブルを回転させる第1の回転軸と、 この第1の回転軸を駆動する第1の駆動モータ
    と、これら第1の回転軸及び第1の駆動モータを
    支持するハウジング状の第1の支持部と、 この第1の支持部に固定され、第1の支持部を
    前後に傾斜させるための第2の回転軸と、 この第2の回転軸を駆動する第2の駆動モータ
    と、これら第2の回転軸及び第2の駆動モータを
    支持する枠状の第2の支持部と、 この第2の支持部に固定され、第2の支持部を
    左右に傾斜させるための第3の回転軸と、 この第3の回転軸を駆動する第3の駆動モータ
    と、これら第3の回転軸及び第3の駆動モータを
    支持する固定部と、 を備える角型ガラス基板の検査台。
JP1990102031U 1990-09-28 1990-09-28 角型ガラス基板の検査台 Expired - Fee Related JP2518654Y2 (ja)

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JPH0460684U true JPH0460684U (ja) 1992-05-25
JP2518654Y2 JP2518654Y2 (ja) 1996-11-27

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103963032B (zh) * 2014-05-05 2015-11-25 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种大型空间光学遥感器四维调整装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6179109A (ja) * 1984-09-27 1986-04-22 Toshiba Glass Co Ltd 反射型ガラス歪検査装置
JPH02114438U (ja) * 1989-02-28 1990-09-13

Patent Citations (2)

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JPH02114438U (ja) * 1989-02-28 1990-09-13

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Publication number Publication date
JP2518654Y2 (ja) 1996-11-27

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