KR101993152B1

KR101993152B1 - 회전 가능형 워크테이블 장치

Info

Publication number: KR101993152B1
Application number: KR1020190024114A
Authority: KR
Inventors: 박호식; 박찬선; 김태윤; 박희철
Original assignee: 주식회사 엠오티
Priority date: 2019-02-28
Filing date: 2019-02-28
Publication date: 2019-06-26

Abstract

본 발명은 대면적 LCD 패널에 대한 TFT 검사장비에서 그 검사를 위해 그 대면적 LCD 패널을 자신의 상면에 안착시킨 상태로 상하방향 움직임 가능하게 수평방향으로 회전시키는 기술로서, 대면적 LCD 패널을 자신의 상면에 안착시킨 상태에서 수평방향으로 회전시킴에 있어서 워크테이블 유닛의 상하방향 움직임 등 정확한 정렬이 간편하게 이루어지도록 하고 그 LCD 패널을 제조하는 클린 환경에 이물질이 발생하지 않는 상태로 그 대면적 LCD 패널을 회전시키는 기술에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 워크테이블 유닛의 수평방향 회전시 마찰을 최소화함으로써 LCD 패널을 제조하는 클린 환경의 유지가 수월하다는 장점이 있다.

Description

회전 가능형 워크테이블 장치 {Rotatable worktable device}

본 발명은 대면적 LCD 패널에 대한 TFT 검사장비에서 그 검사를 위해 그 대면적 LCD 패널을 자신의 상면에 안착시킨 상태로 상하방향 움직임 가능하게 수평방향으로 회전시키는 기술에 관한 것이다.

더욱 상세하게는, 본 발명은 대면적 LCD 패널을 자신의 상면에 안착시킨 상태에서 수평방향으로 회전시킴에 있어서 워크테이블 유닛의 상하방향 움직임 등 정확한 정렬이 간편하게 이루어지도록 하고 그 LCD 패널을 제조하는 클린 환경에 이물질이 발생하지 않는 상태로 그 대면적 LCD 패널을 회전시키는 기술에 관한 것이다.

[도 1]은 LCD 패널을 도시한 예시도이다. [도 1]을 참조하면, 보통 LCD 패널(1)의 TFT(Thin Film Transistor) 공정에서는 게이트 라인(GATE line)과 데이터 라인(DATA line)이 패터닝되는데, 그 TFT 공정에서 패터닝된 게이트 라인과 데이터 라인이 양호하게 패터닝되었는지 확인하는 테스트는 그 대면적 LCD 패널(1)을 위해 마련된 대형의 검사장비를 통해 이루어진다.

[도 2]는 LCD 패널의 TFT에 대한 검사장비를 나타낸 예시도이다. [도 2]를 참조하면, 지지 베이스(20)의 상면에 겐트리 이동 지지대(31,32)가 나란히 배치되고 그 겐트리 이동 지지대(31,32) 사이에 대응하는 지지 베이스(20)의 중앙부에는 LCD 패널(1)을 안착시키는 워크테이블(10)이 배치된다.

그리고, 워크테이블(10)의 상면에 안착되는 LCD 패널(1)에 대한 'Gate line'의 불량 여부를 검사하기 위해서 검사용 센서를 탑재한 이동형 겐트리(40)의 양측 다리가 겐트리 이동 지지대(31,32)에 안착된 상태로 [도 2]의 화살표 방향을 따라 왕복운동한다.

이처럼, 이동형 겐트리(40)의 양측 다리에 장착된 검사용 센서는 겐트리 이동 지지대(31,32)를 이동하는 과정에서 워크테이블(10)의 상면에 안착되는 LCD 패널(1)에 대한 'Gate line'의 불량 여부를 검사할 수 있다.

이때, LCD 패널(1)에 대한 'Data line'을 검사하기 위해서는 LCD 패널(1)을 지지하고 있는 워크테이블(10)이 90° 회전한 후, 검사용 센서를 탑재한 이동형 겐트리(40)의 양측 다리가 겐트리 이동 지지대(31,32)에 안착된 상태로 [도 2]의 화살표 방향을 따라 왕복운동하게 된다.

여기서, 종래에는 워크테이블(10)을 회전시키기 위해 워크테이블(10)의 하면과 지지 베이스(20)의 상면 사이에 아크 형태로 라운딩된 LM 가이드(미도시)를 채용하였다.

상세하게, LM 가이드는 지지 베이스(20)의 상면에 안착되는 라운딩된 레일(미도시)과, 그 레일에 맞물린 상태로 그 레일의 길이 방향을 따라 곡선 운동하는 볼 내장형 LM 블록(미도시)을 구비한다.

이때, LM 블록에 워크테이블(10)이 안착된 상태에서 LM 블록이 레일을 따라 곡선 운동을 하면 워크테이블(10)도 LM 블록을 따라 원운동을 하면서 회전하는 방식이었다.

그런데, 종래의 LM 가이드를 통해 워크테이블(10)을 회전시키는 방식에서는 워크테이블(10)의 위치(예: Z축 위치)를 정확하게 정렬시키는 것이 까다롭다는 단점이 있다.

그리고, 레일에 대한 LM 블록의 마찰로 인해 주기적인 유지보수는 물론이고 그 사용 수명도 길지 않다는 단점도 있다.

또한, LCD 패널(1)을 제조하는 클린 환경에서는 레일에 대한 LM 블록의 마찰로 인해 파티클이 발생하기 때문에 클린 환경을 유지하기 위한 별도의 추가 공수가 필요하다는 단점도 있다.

그에 따라, 워크테이블 유닛의 회전시 워크테이블 유닛과 주변 구성의 마찰을 최소화하고 워크테이블 유닛의 Z축 이동을 가능하게 함으로써 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결할 수 있는 기술이 요망된다.

본 발명의 목적은 워크테이블 유닛의 정확한 정렬이 간편한 회전 가능형 워크테이블 장치를 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 목적은 LCD 패널을 안착시키는 워크테이블 유닛의 수평방향 회전 및 Z축 방향으로의 이동을 가능하게 하는 회전 가능형 워크테이블 장치를 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 목적은 워크테이블 유닛의 수평방향 회전시 그 회전으로 인한 주변 구성과의 마찰을 최소화할 수 있는 워크테이블 장치를 제공함에 있다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 회전 가능형 워크테이블 장치는 LCD 패널에 대한 TFT 공정의 테스트를 위해 그 LCD 패널을 자신의 상면에 안착시킨 상태에서 수평방향으로 회전 가능하게 배치되는 워크테이블 유닛(110); 워크테이블 유닛의 하면 중 복수의 위치에 각각 배치된 상태로 워크테이블 유닛의 하면에 대해 블로잉함에 따라 워크테이블 유닛의 하부를 비접촉으로 지지하는 복수의 에어베어링(120); 복수의 에어베어링에 대응하여 복수 개 구비되고 자신의 하부가 지지 베이스에 거치되고 자신의 상부는 에어베어링에 연결된 상태로 상하방향으로 길게 배치되어 에어베어링을 지지하는 지지부재(130); 워크테이블 유닛의 중앙부에 대응하는 워크테이블 유닛의 하부에 연결 고정되며 자신의 수평방향 회전에 따라 워크테이블 유닛을 수평방향으로 회전시키는 상부회동 플레이트(210); 상부회동 플레이트의 연직 하부에 배치되며 자신을 기준으로 상부회동 플레이트의 상하방향 움직임 가능하게 상부회동 플레이트와 연결되고 자신의 수평방향 회전에 따라 상부회동 플레이트를 수평방향으로 회전시키는 하부회동 플레이트(220); 하부회동 플레이트의 하부에 배치되며 하부회동 플레이트에 대해 수평방향의 회전력을 제공하는 구동모터(300);를 포함하여 구성된다.

그리고, 상부회동 플레이트의 상면과 워크테이블 유닛의 하면에 맞닿도록 상부회동 플레이트와 워크테이블 유닛의 사이에 배치됨에 따라 구동모터로부터 발생된 전기 노이즈가 워크테이블 유닛에 전달됨을 차단하는 절연 플레이트(230);를 더 포함하여 구성될 수 있다.

또한, 속이 빈 원통형으로 이루어지고 절연 플레이트의 둘레방향을 따라 복수의 위치에서 절연 플레이트의 하부로부터 절연 플레이트를 상방향으로 관통한 상태에서 자신의 하단부가 절연 플레이트의 하면에 걸쳐진 상태로 상부회동 플레이트의 상부에 끼워져 배치되는 상부고정 부시부재(410); 상부고정 부시부재가 위치하는 상부회동 플레이트의 연직하부로부터 상부회동 플레이트를 관통한 후 상부고정 부시부재에 상하방향으로 끼워진 상태에서 자신의 하단부가 상부고정 부시부재에 걸쳐진 상태로 워크테이블 유닛에 나사결합됨에 따라 절연 플레이트를 워크테이블 유닛의 하면에 연결 고정시키는 상부고정 핀부재(420); 하부회동 플레이트의 둘레방향을 따라 복수의 위치에서 하부회동 플레이트의 하부로부터 하부회동 플레이트를 관통한 상태에서 자신의 하단부가 하부회동 플레이트에 체결된 상태로 자신의 상부가 상부회동 플레이트와 절연 플레이트를 순차적으로 관통하되 상부회동 플레이트가 하부회동 플레이트를 기준으로 자신의 길이 방향을 따라 상하방향 움직임이 가능하게 인터페이스 하는 복수의 하부조정 핀부재(510); 하부조정 핀부재의 길이 방향을 따라 움직임이 가능하게 하부조정 핀부재를 감싸는 형태로 하부조정 핀부재에 끼워지며 상부회동 플레이트와 절연 플레이트를 관통하여 상부회동 플레이트에 끼움 결합됨에 따라 상부회동 플레이트의 상하방향 움직임에 연동하여 상하방향으로 움직임에 따라 상부회동 플레이트의 높이를 조정하는 Z축 레벨조정 부시부재(520);를 더 포함하여 구성될 수 있다.

한편, 본 발명의 제 1 실시예는 하부회동 플레이트와 구동모터 사이에 배치되어 하부회동 플레이트와 구동모터를 상호 연결하는 조인트 플레이트(610); 자신의 상부가 조인트 플레이트의 하부에 연결되고 자신의 하부는 지지 베이스에 거치되는 위치를 조정함에 따라 워크테이블 유닛의 높이를 조정하는 조정 플랜지(620);를 더 포함하여 구성되고, 구동모터는 DD-모터로 이루어질 수 있다.

다른 한편, 본 발명의 제 2 실시예는 하부회동 플레이트와 구동모터 사이에 배치되어 구동모터로부터 제공되는 회전력을 제어하는 감속기(710); 감속기의 상부를 감싸는 형태로 감속기의 상부에 연결된 상태에서 지지 베이스에 연결 고정되는 감속기 하우징(720); 감속기의 하단부와 구동모터 사이에 배치되어 구동모터의 회전력을 감속기에 전달하는 커플링(730);을 더 포함하여 구성되고, 구동모터는 서보모터로 이루어질 수 있다.

본 발명은 워크테이블 유닛, 에어베어링, 지지부재, 상부회동 플레이트, 하부회동 플레이트, 구동모터의 구비로 인해 워크테이블 유닛의 수평방향 회전 및 Z축 방향으로의 이동이 가능함에 따라 워크테이블 유닛의 정확한 정렬이 간편함은 물론 그 수평방향 회전으로 인한 주변 구성과의 마찰을 최소화할 수 있는 장점을 나타낸다.

또한, 본 발명은 워크테이블 유닛의 수평방향 회전시 마찰을 최소화함으로써 워크테이블 장치의 내구성이 양호하고 그에 따른 사용 수명도 길다는 장점을 나타낸다.

또한, 본 발명은 워크테이블 유닛의 수평방향 회전시 마찰을 최소화함으로써 LCD 패널을 제조하는 클린 환경의 유지가 수월하다는 장점도 나타낸다.

[도 1]은 LCD 패널을 도시한 예시도,
[도 2]는 LCD 패널의 TFT에 대한 검사장비를 나타낸 예시도,
[도 3]은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 워크테이블 장치의 사용상태를 도시한 예시도,
[도 4]는 [도 3]에서 워크테이블 유닛을 분리한 상태의 도면,
[도 5]는 [도 3]에서 지지 베이스, 에어베어링, 지지부재를 제외시킨 상태의 저면사시도,
[도 6]은 [도 4]에서 지지 베이스, 에어베어링, 지지부재를 제외시킨 상태의 분리사시도,
[도 7]은 [도 6]의 일부분을 발췌하여 확대 도시한 도면,
[도 8]은 [도 6]의 저면사시도,
[도 9]는 [도 8]의 일부분을 발췌하여 확대 도시한 도면,
[도 10]은 [도 5]에서 워크테이블 유닛을 제외한 상태의 측단면도,
[도 11]은 [도 10]의 일부분을 발췌하여 확대 도시한 도면,
[도 12]는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 워크테이블 장치에서 감속기 하우징을 제외한 상태를 도시한 측면도,
[도 13]은 [도 12]에서 감속기 하우징이 결합된 상태를 도시한 도면이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.

[도 3]은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 워크테이블 장치의 사용상태를 도시한 예시도이고, [도 4]는 [도 3]에서 워크테이블 유닛을 분리한 상태의 도면이고, [도 5]는 [도 3]에서 지지 베이스, 에어베어링, 지지부재를 제외시킨 상태의 저면사시도이고, [도 6]은 [도 4]에서 지지 베이스, 에어베어링, 지지부재를 제외시킨 상태의 분리사시도이고, [도 7]은 [도 6]의 일부분을 발췌하여 확대 도시한 도면이고, [도 8]은 [도 6]의 저면사시도이고, [도 9]는 [도 8]의 일부분을 발췌하여 확대 도시한 도면이고, [도 10]은 [도 5]에서 워크테이블 유닛을 제외한 상태의 측단면도이고, [도 11]은 [도 10]의 일부분을 발췌하여 확대 도시한 도면이다.

[도 3] 내지 [도 11]을 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 회전 가능형 워크테이블 장치는 워크테이블 유닛(110), 에어베어링(120), 지지부재(130), 상부회동 플레이트(210), 하부회동 플레이트(220), 절연 플레이트(230), 구동모터(300), 상부고정 부시부재(410), 상부고정 핀부재(420), 하부고정 핀부재(510), Z축 레벨조정 부시부재(520), 조인트 플레이트(610), 조정 플랜지(620)를 포함하여 구성될 수 있다.

먼저 [도 2]를 참조하면, 워크테이블 유닛(110)은 이동형 겐트리(40)가 위치하는 지지 베이스(20)의 상면에 안착된 상태에서 자신의 상면에 LCD 패널을 안착시킬 수 있어야 한다.

그리고, 워크테이블 유닛(110)은 자신이 위치한 지지 베이스(20)의 상면에서 수평방향으로 제자리 회전할 수 있도록 구성되어야 한다.

즉, 워크테이블 유닛(110)은 [도 3] 내지 [도 6]에서와 같이 LCD 패널에 대한 TFT 공정의 테스트를 위해 그 LCD 패널을 자신의 상면에 안착시킨 상태에서 수평방향으로 회전 가능하게 배치된다.

이때, 워크테이블 유닛(110)의 수평방향 회전에 따른 주변 구성과의 마찰을 최소화할 수 있도록 Z축 방향으로의 이동이 가능하도록 구성되는데, 이를 위해 에어베어링(120), 지지부재(130), 상부회동 플레이트(210), 하부회동 플레이트(220), 구동모터(300)를 구비할 수 있다.

에어베어링(120)은 [도 4]에서와 같이 워크테이블 유닛(110)의 하면 중 복수의 위치에 각각 배치된 상태로 워크테이블 유닛(110)의 하면에 대해 블로잉함에 따라 워크테이블 유닛(110)의 하부를 비접촉으로 지지한다.

에어베어링(120)은 다수의 미세공이 형성됨에 따라 외부로부터 제공되는 공기가 자신의 미세공을 따라 이동한 후 외부로 토출되는 과정에서 자신의 상면에 위치하는 워크테이블 유닛(110)을 비접촉으로 지지할 수 있게 된다.

그리고, 에어베어링(120)은 시중에 판매되는 일반적인 에어베어링으로부터 워크테이블 유닛(110)을 지지하기 위한 규격으로 가공하여 채용할 수 있으며 에어베어링 자체의 특징적 구성에 대해서는 그 설명을 생략하기로 한다.

여기서, 에어베어링(120)은 워크테이블 유닛(110)의 회전 방향으로 원형으로 이루어 배치됨이 바람직하다.

지지부재(130)는 복수의 에어베어링(120)에 대응하여 복수 개 구비되고 자신의 하부가 지지 베이스(20)에 거치되고 자신의 상부는 에어베어링(120)에 연결된 상태로 상하방향으로 길게 배치되어 에어베어링(120)을 지지한다.

이때, 지지부재(130)는 각각의 에어베어링(120)의 하면을 감싸는 형태로 에어베어링(120)의 하면으로부터 하방향으로 연장 배치되기 때문에 외부로부터 에어베어링(120)에 제공되는 공기는 바람직하게는 상방향으로 분사되거나 상방향과 측방향으로 분사되도록 구성될 수 있다.

상부회동 플레이트(210)는 [도 6] 내지 [도 11]에서와 같이 중공형의 플레이트로 구성될 수 있으며 워크테이블 유닛(110)의 중앙부에 대응하는 워크테이블 유닛(110)의 하부에 연결 고정되고 자신의 수평방향 회전에 따라 자신의 상부에 연결되는 워크테이블 유닛(110)을 수평방향으로 회전시킬 수 있다.

그리고, 상부회동 플레이트(210)는 상하방향(Z축 방향) 움직임이 가능하게 배치됨에 따라 워크테이블 유닛(110)의 수평상태로 미세하게 기울어진 경우 워크테이블 유닛(110)을 지지하고 있는 복수의 에어베어링(120) 중 일부의 에어베어링에 대한 높이를 조정하면 상부회동 플레이트(210)가 자연적으로 상하방향 움직이면서 워크테이블 유닛(110)의 영역별 높이 밸런스가 조정될 수 있다.

예컨대, [도 3]과 [도 4]를 참조할 때 대면적의 워크테이블 유닛(110)이 9시 방향으로 미세하게 기울어진 경우 9시 주변의 에어베어링(120)을 높여주거나 3시 주변의 에어베어링(120)을 낮춰주면 그에 대응하여 상부회동 플레이트(210)는 Z축 방향으로 미세하게 움직이면서 현재 복수의 에어베어링(120) 높이에 따라 수평상태가 조정될 수 있다.

여기서, 상부회동 플레이트(210)의 Z축 방향 이동을 위한 보다 구체적인 구성 설명에 대해서는 이하에서 다시 살펴본다.

하부회동 플레이트(220)는 [도 6] 내지 [도 11]에서와 같이 중공형의 플레이트로 구성될 수 있으며 상부회동 플레이트(210)의 연직 하부에 배치되고 자신을 기준으로 상부회동 플레이트(210)의 상하방향 움직임 가능하게 상부회동 플레이트(210)와 연결되며 자신의 수평방향 회전에 따라 상부회동 플레이트(210)를 수평방향으로 회전시킨다.

이를 위해, 하부회동 플레이트(220)는 조인트 플레이트(610)와 구동모터(300) 사이에 배치되어 조인트 플레이트(610)를 통해 구동모터(300)에 연결됨에 따라 구동모터(300)의 동작으로부터 구동되는 회전력을 제공받아 수평방향으로 제자리 회전하게 된다.

이때, 하부회동 플레이트(220)는 조인트 플레이트(610)에 고정된 상태를 유지하기 때문에 상하방향 유동없이 Z축에 대한 현재의 위치를 유지하는 상태에서 수평방향으로 회전하게 된다.

이처럼, 하부회동 플레이트(220)의 수평방향 회전력은 상부회동 플레이트(210)에 그대로 전달되어 상부회동 플레이트(210)도 하부회동 플레이트(220)와 함께 수평방향으로 회전할 수 있고, 이와 함께 상부회동 플레이트(210)는 하부회동 플레이트(220)를 기준으로 Z축 방향으로 움직임이 가능하게 구성된다.

구동모터(300)는 하부회동 플레이트(220)의 하부에 배치되며 하부회동 플레이트(220)에 대해 수평방향의 회전력을 제공한다. 이때, 구동모터(300)는 DD-모터(Direct Drive Motor)로 이루어질 수 있다.

DD-모터는 해상도가 높고 정확한 회전 각도의 제어가 가능하지만 매우 고가이기 때문에 대면적 워크테이블 유닛(110)보다는 중면적 워크테이블 유닛(110)을 회전시키는 구성으로서 적합하다.

절연 플레이트(230)는 [도 6] 내지 [도 11]에서와 같이 상부회동 플레이트(210)의 상면과 워크테이블 유닛(110)의 하면에 맞닿도록 상부회동 플레이트(210)와 워크테이블 유닛(110)의 사이에 배치됨에 따라 구동모터(300)로부터 발생된 전기 노이즈가 워크테이블 유닛(110)에 전달됨을 차단할 수 있다.

절연 플레이트(230)는 상부고정 부시부재(410)와 상부고정 핀부재(420)를 통해 워크테이블 유닛(110)의 하면에 맞닿아 고정된다. 이때, 절연 플레이트(230)는 워크테이블 유닛(110)에 연결된 상태에서 Z축 방향으로의 유동없이 워크테이블 유닛(110)과 일체로 고정된다.

절연 플레이트(230)를 워크테이블 유닛(110)의 하면에 연결 고정시키기 위해서는 상부고정 부시부재(410), 상부고정 핀부재(420), 보조와샤(430)를 구비할 수 있다.

상부고정 부시부재(410)는 [도 6] 내지 [도 11]에서와 같이 속이 빈 원통형으로 이루어지고 절연 플레이트(230)의 둘레방향을 따라 복수의 위치에서 절연 플레이트(230)의 하부로부터 절연 플레이트(230)를 상방향으로 관통한 상태에서 자신의 하단부가 절연 플레이트(230)의 하면에 걸쳐진 상태로 상부회동 플레이트(210)의 상부에 끼워져 배치된다.

상부고정 핀부재(420)는 복수 개 구비되며 [도 6] 내지 [도 11]에서와 같이 상부고정 부시부재(410)가 위치하는 상부회동 플레이트(210)의 연직하부로부터 상부회동 플레이트(210)를 관통한 후 상부고정 부시부재(410)에 상하방향으로 끼워진 상태에서 자신의 하단부가 상부고정 부시부재(410)에 걸쳐진 상태로 워크테이블 유닛(110)에 나사결합됨에 따라 절연 플레이트(230)를 워크테이블 유닛(110)의 하면에 연결 고정시킨다.

그리고, 보조와샤(430)는 [도 6] 내지 [도 11]에서와 같이 상부고정 부시부재(410)의 하부에 외향하여 돌출 형성되는 외향돌출 단턱(411)과 상부고정 핀부재(420)의 하부에 외향하여 돌출 형성되는 외향돌출 단턱(421) 사이에 배치된 상태에서 상부고정 핀부재(420)의 상부가 워크테이블(110)의 하면에 나사결합됨에 따라 상부고정 부시부재(410), 상부고정 핀부재(420)와 함께 절연 플레이트(230)에 일체로 연결된다.

조인트 플레이트(610)에 연결 고정된 하부회동 플레이트(220)를 기준으로 상부회동 플레이트(210)를 Z축 방향으로 움직임이 가능하게 하기 위해서는 하부조정 핀부재(510), Z축 레벨조정 부시부재(520), 지지와샤(531), 고정핀(532)을 구비할 수 있다.

하부조정 핀부재(510)는 복수 개 구비되며 [도 6] 내지 [도 11]에서와 같이 하부회동 플레이트(220)의 둘레방향을 따라 복수의 위치에서 하부회동 플레이트(220)의 하부로부터 하부회동 플레이트(220)를 관통한 상태에서 자신의 하단부가 하부회동 플레이트(220)에 체결된 상태로 자신의 상부가 상부회동 플레이트(210)와 절연 플레이트(230)를 순차적으로 관통한다.

그 결과, [도 11]에서와 같이 상부회동 플레이트(210)가 하부회동 플레이트(220)를 기준으로 하부조정 핀부재(510)의 길이 방향을 따라 상하방향으로 움직임이 가능하게 된다.

Z축 레벨조정 부시부재(520)는 [도 6] 내지 [도 11]에서와 같이 하부조정 핀부재(510)의 길이 방향을 따라 움직임이 가능하게 하부조정 핀부재(510)를 감싸는 형태로 하부조정 핀부재(510)에 끼워지며 상부회동 플레이트(210)와 절연 플레이트(230)를 관통하여 상부회동 플레이트(210)에 끼움 결합된다.

그 결과, Z축 레벨조정 부시부재(520)는 [도 11]에서와 같이 상부회동 플레이트(210)의 상하방향 움직임에 연동하여 하부조정 핀부재(510)의 길이 방향을 따라 상하방향으로 움직임에 따라 결과적으로 상부회동 플레이트(210)의 높이를 조정할 수 있게 된다.

여기서, 상부회동 플레이트(210)가 Z축 방향으로 움직이도록 하는 구성을 좀더 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.

먼저, [도 11]에서와 같이 하부조정 핀부재(510)는 자신의 몸체 하부에서 외향하여 돌출 형성되는 외향돌출 단턱(511)을 구비할 수 있다.

외향돌출 단턱(511)을 포함한 하부조정 핀부재(510)는 [도 11]에서와 같이 상부회동 플레이트(210)를 관통하여 배치되고 하부조정 핀부재(510)의 외향돌출 단턱(511)은 하부회동 플레이트(220)에 걸쳐진 상태로 하부조정 핀부재(510)의 하부가 하부회동 플레이트(220)의 상부에 끼워진다.

이어서, [도 11]에서와 같이 하부조정 핀부재(510)의 연직 하부에 대응하는 하부회동 플레이트(220)의 하부에 지지와샤(531)가 거치된 상태로 자신의 하부에 외향돌출 단턱(532a)이 구비된 고정핀(532)이 하부로부터 그 지지와샤(531)를 관통한 후 하부조정 핀부재(510)의 하부에 나사결합됨에 따라 결국 하부조정 핀부재(510)는 하부회동 플레이트(220)에 일체로 연결된 상태에서 자신의 상부가 상부회동 플레이트(210)를 관통하게 된다.

그리고, [도 11]에서와 같이 상부회동 플레이트(210)에 삽입된 상태의 하부조정 핀부재(510)에 대해 그 하부조정 핀부재(510)의 외표면을 감싸는 형태로 Z축 레벨조정 부시부재(520)가 하부조정 핀부재(510)의 길이 방향을 따라 움직임 가능하게 배치될 수 있다.

그 결과, 상부회동 플레이트(210)는 하부회동 플레이트(220)에 고정된 상태의 하부조정 핀부재(510)의 길이 방향을 따라 상하방향으로 움직임이 가능할 수 있다.

즉, 워크테이블 유닛(110)의 하면 복수의 위치에 배치된 각각의 에어베어링(120)에 대한 높이를 조정하면 그에 대응하여 상부회동 플레이트(210)가 Z축 방향으로 움직임이 가능하기 때문에 상부회동 플레이트(210)의 상부에 위치하는 절연 플레이트(230)와 워크테이블 유닛(110)이 상하방향으로 움직이다가 결국 현재 에어베어링(120)의 위치에 대응하여 워크테이블 유닛(110)의 수평도가 조정될 수 있게 된다.

한편, 본 발명의 제 1 실시예는 조인트 플레이트(610)과 조정 플랜지(620)를 더 포함하여 구성될 수 있다.

조인트 플레이트(610)는 [도 10]에서와 같이 하부회동 플레이트(220)와 구동모터(300) 사이에 배치되어 하부회동 플레이트(220)와 구동모터(300)를 상호 연결하여 고정시킨다.

조정 플랜지(620)는 자신의 상부가 조인트 플레이트(610)의 하부에 연결되고 자신의 하부는 지지 베이스(20)에 거치되며 지지 베이스(20)에 연결되는 위치를 조정함에 따라 지지 베이스(20)로부터의 워크테이블 유닛(110) 높이를 조정할 수 있다.

여기서, 조정 플랜지(620)가 지지 베이스(20)에 연결되는 위치를 조정할 때 워크테이블 유닛(110)의 전체 높이가 변경될 수는 있지만 워크테이블 유닛(110)의 자체의 수평도를 조정하기 위해서는 각각의 에어베어링(120)에 대한 높낮이 조절로 가능할 수 있다.

다른 한편, [도 6] 내지 [도 11]에서 상부고정 부시부재(410), 상부고정 핀부재(420), 하부조정 핀부재(510), Z축 레벨조정 핀부재(520), 지지와샤(531), 고정핀(532)은 각각 하나씩 도시하였는데, 이는 각 구성의 결합 과정에 대한 설명의 편이를 위한 것으로서, 실제에 있어서는 상부회동 플레이트(210)의 둘레방향을 따라 각각 복수 개 배치된다.

다른 한편, [도 12]는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 워크테이블 장치에서 감속기 하우징을 제외한 상태를 도시한 측면도이고, [도 13]은 [도 12]에서 감속기 하우징이 결합된 상태를 도시한 도면이다.

[도 12]와 [도 13]을 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 회전 가능형 워크테이블 장치는 제 1 실시예와 동일하게 워크테이블 유닛(110'), 에어베어링(120), 지지부재(130), 상부회동 플레이트(210'), 하부회동 플레이트(220'), 절연 플레이트(230'), 구동모터(300'), 상부고정 부시부재(410), 상부고정 핀부재(420), 하부고정 핀부재(510), Z축 레벨조정 부시부재(520)를 포함하여 구성될 수 있다.

여기서, [도 12]와 [도 13]은 제 2 실시예에 관한 것으로서, 워크테이블 유닛, 상부회동 플레이트, 하부회동 플레이트, 절연 플레이트에 대해 각각 도면부호를 110', 210', 220', 230'를 도시하였지만, 제 1 실시예의 도면부호인 110, 210, 220, 230와 동일한 구성임을 밝힌다.

그리고, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 회전 가능형 워크테이블 장치는 감속기(710), 감속기 하우징(720), 커플링(730)을 더 포함하여 구성될 수 있다.

감속기(710)는 하부회동 플레이트(220')와 구동모터(300') 사이에 배치되어 구동모터(300')로부터 제공되는 회전력을 제어한다.

감속기 하우징(720)은 감속기(710)의 상부를 감싸는 형태로 감속기(710)의 상부에 연결된 상태에서 지지 베이스(20)에 연결 고정된다.

커플링(730)은 감속기(710)의 하단부와 구동모터(300') 사이에 배치되어 구동모터(300')의 회전력을 감속기(710)에 전달한다.

이때, 구동모터(300')는 서보모터(servo-motor)로 이루어질 수 있다.

서보모터는 해상도가 낮고 정확한 회전 각도의 제어가 어렵지만 DD 모터에 비해 가격이 저렴하기 때문에 워크테이블 유닛(110)이 대면적인 경우 낮은 용량의 서보모터에 대해 감속기(710)를 베어링 결합으로 연결함에 따라 그 서보모터와 감속기(710)를 통해 대면적의 워크테이블 유닛(110)에 대한 회전 각도를 효과적으로 제어할 수 있게 된다.

1 : LCD 패널
10 : 워크테이블
20 : 지지 베이스
31,32 : 겐트리 이동 지지대
40 : 이동형 겐트리
110,110' : 워크테이블 유닛
120 : 에어베어링
130 : 지지부재
210,210' : 상부회동 플레이트
220,220' : 하부회동 플레이트
230,230' : 절연 플레이트
300,300' : 구동모터
410 : 상부고정 부시부재
411 : 외향돌출 단턱
420 : 상부고정 핀부재
421 : 외향돌출 단턱
430 : 보조와샤
510 : 하부조정 핀부재
511 : 외향돌출 단턱
520 : Z축 레벨조정 부시부재
531 : 지지와샤
532 : 고정핀
532a : 외향돌출 단턱
610 : 조인트 플레이트
620 : 조정 플랜지
710 : 감속기
720 : 감속기 하우징
730 : 커플링

Claims

LCD 패널에 대한 TFT 공정의 테스트를 위해 그 LCD 패널을 자신의 상면에 안착시킨 상태에서 수평방향으로 회전 가능하게 배치되는 워크테이블 유닛(110);
상기 워크테이블 유닛의 하면 중 복수의 위치에 각각 배치된 상태로 상기 워크테이블 유닛의 하면에 대해 블로잉함에 따라 상기 워크테이블 유닛의 하부를 비접촉으로 지지하는 복수의 에어베어링(120);
상기 복수의 에어베어링에 대응하여 복수 개 구비되고 자신의 하부가 지지 베이스에 거치되고 자신의 상부는 상기 에어베어링에 연결된 상태로 상하방향으로 길게 배치되어 상기 에어베어링을 지지하는 지지부재(130);
상기 워크테이블 유닛의 중앙부에 대응하는 상기 워크테이블 유닛의 하부에 연결 고정되며 자신의 수평방향 회전에 따라 상기 워크테이블 유닛을 수평방향으로 회전시키는 상부회동 플레이트(210);
상기 상부회동 플레이트의 연직 하부에 배치되며 자신을 기준으로 상기 상부회동 플레이트의 상하방향 움직임 가능하게 상기 상부회동 플레이트와 연결되고 자신의 수평방향 회전에 따라 상기 상부회동 플레이트를 수평방향으로 회전시키는 하부회동 플레이트(220);
상기 하부회동 플레이트의 하부에 배치되며 상기 하부회동 플레이트에 대해 수평방향의 회전력을 제공하는 구동모터(300);
상기 상부회동 플레이트의 상면과 상기 워크테이블 유닛의 하면에 맞닿도록 상기 상부회동 플레이트와 상기 워크테이블 유닛의 사이에 배치됨에 따라 상기 구동모터로부터 발생된 전기 노이즈가 상기 워크테이블 유닛에 전달됨을 차단하는 절연 플레이트(230);
를 포함하여 구성되는 회전 가능형 워크테이블 장치.
삭제
청구항 1에 있어서,
속이 빈 원통형으로 이루어지고 상기 절연 플레이트의 둘레방향을 따라 복수의 위치에서 상기 절연 플레이트의 하부로부터 상기 절연 플레이트를 상방향으로 관통한 상태에서 자신의 하단부가 상기 절연 플레이트의 하면에 걸쳐진 상태로 상기 상부회동 플레이트의 상부에 끼워져 배치되는 상부고정 부시부재(410);
상기 상부고정 부시부재가 위치하는 상기 상부회동 플레이트의 연직하부로부터 상기 상부회동 플레이트를 관통한 후 상기 상부고정 부시부재에 상하방향으로 끼워진 상태에서 자신의 하단부가 상기 상부고정 부시부재에 걸쳐진 상태로 상기 워크테이블 유닛에 나사결합됨에 따라 상기 절연 플레이트를 상기 워크테이블 유닛의 하면에 연결 고정시키는 상부고정 핀부재(420);
상기 하부회동 플레이트의 둘레방향을 따라 복수의 위치에서 상기 하부회동 플레이트의 하부로부터 상기 하부회동 플레이트를 관통한 상태에서 자신의 하단부가 상기 하부회동 플레이트에 체결된 상태로 자신의 상부가 상기 상부회동 플레이트와 상기 절연 플레이트를 순차적으로 관통하되 상기 상부회동 플레이트가 상기 하부회동 플레이트를 기준으로 자신의 길이 방향을 따라 상하방향 움직임이 가능하게 인터페이스 하는 복수의 하부조정 핀부재(510);
상기 하부조정 핀부재의 길이 방향을 따라 움직임이 가능하게 상기 하부조정 핀부재를 감싸는 형태로 상기 하부조정 핀부재에 끼워지며 상기 상부회동 플레이트와 상기 절연 플레이트를 관통하여 상기 상부회동 플레이트에 끼움 결합됨에 따라 상기 상부회동 플레이트의 상하방향 움직임에 연동하여 상하방향으로 움직임에 따라 상기 상부회동 플레이트의 높이를 조정하는 Z축 레벨조정 부시부재(520);
를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 회전 가능형 워크테이블 장치.
청구항 3에 있어서,
상기 하부회동 플레이트와 상기 구동모터 사이에 배치되어 상기 하부회동 플레이트와 상기 구동모터를 상호 연결하는 조인트 플레이트(610);
자신의 상부가 상기 조인트 플레이트의 하부에 연결되고 자신의 하부는 상기 지지 베이스에 거치되는 위치를 조정함에 따라 상기 워크테이블 유닛의 높이를 조정하는 조정 플랜지(620);
를 더 포함하여 구성되고,
상기 구동모터는 DD-모터로 이루어지는 것을 특징으로 하는 회전 가능형 워크테이블 장치.
청구항 3에 있어서,
상기 하부회동 플레이트와 상기 구동모터 사이에 배치되어 상기 구동모터로부터 제공되는 회전력을 제어하는 감속기(710);
상기 감속기의 상부를 감싸는 형태로 상기 감속기의 상부에 연결된 상태에서 상기 지지 베이스에 연결 고정되는 감속기 하우징(720);
상기 감속기의 하단부와 구동모터 사이에 배치되어 상기 구동모터의 회전력을 상기 감속기에 전달하는 커플링(730);
을 더 포함하여 구성되고,
상기 구동모터는 서보모터로 이루어지는 것을 특징으로 하는 회전 가능형 워크테이블 장치.