JPH10160796A - Ｉｃテスタのテストヘッド用接続台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 テストヘッドとオートハンドラとの接続時に
テストヘッドの位置調整と固定を短時間で容易にできる
ＩＣテスタのテストヘッド用接続台を提供する。 【解決手段】 テストヘッド１８をＺ軸ハンドル１２の
操作で昇降させ、Ｙ軸微調つまみ７の操作により架台３
の長手方向のＹ軸方向にテストヘッド１８を移動させ、
Ｘ軸微調つまみ１６の操作でＹ軸と直交した水平方向に
テストヘッド１８を移動させ、θ１軸微調つまみ１９の
操作によりＹ軸とＸ軸との直交した水平面上でテストヘ
ッド１８をその中心を軸として回転させ、θ２軸微調つ
まみ２１の操作で、Ｙ軸方向から見てテスト・ヘッド１
８の中心を軸として回転させ、θ３軸微調つまみ２３を
操作してＸ軸方向から見てテストヘッド１８をその中心
を軸としてＹ軸方向へ回転させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ＩＣテスタのテ
ストヘッド用接続台に関し、より詳細には、テストヘッ
ド上に位置決めされたＩＣソケットを有するテストボー
ドをオートハンドラへ直接接続して、ＩＣのテストを確
実に実施させることができるようにするためのＩＣテス
タのテストヘッド用接続台に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１６から図１８は従来のＩＣテスタの
テストヘッド用接続台の一例の構成を示す図である。図
１６は正面図、図１７は側面図、図１８は正面図であ
る。

【０００３】図１６から図１８に示されるように、架台
１０２の底部には複数のレベルフット１０１が取り付け
られており、架台１０２はレベルフット１０１を介して
床面１００に立脚している。また、図１７に示されるよ
うに、架台１０２は上面を開口し、側面形状が上向き
「コ」字形の枠状をなしている。

【０００４】架台１０２の相対向する一対の側壁の上端
面には、それぞれレール１０３・１０４が敷設されてい
る。レール１０３・１０４上に車輪１０５・１０６がそ
れぞれ転動する。車輪１０５・１０６は移動台１０７の
下面に取り付けられている。すなわち、後述する移動手
段の操作により、車輪１０５・１０６を介して移動台１
０７はレール１０３・１０４上を水平方向に移動する。

【０００５】架台１０２の一対の側壁の上端面には、そ
れぞれ所定位置にラック１１０・１１１が取り付けられ
ている。移動台１０７の下面にピニオン１０８・１０９
が取り付けられており、ピニオン１０８・１０９がそれ
ぞれラック１１０・１１１に噛み合う。

【０００６】図１７におけるねじジャッキ１１２・１１
３はそれぞれ移動台１０７の上下両面を貫通するよう
に、移動台１０７に取り付けられている。各ねじジャッ
キ１１２・１１３はテストヘッド１１４を支持してい
る。

【０００７】また、図１６あるいは図１８に示されるよ
うに、移動台１０７の正面にはＹ方向への移動手段とし
てのＹ軸ハンドル１１５が取り付けられている。Ｙ軸ハ
ンドル１１５を回転すると、ピニオン１０８・１０９が
ラック１１０・１１１とそれぞれ噛み合っているので、
Ｙ軸ハンドル１１５の回転運動を移動台１０７の直線運
動に変える。移動台１０７とともに、テストヘッド１１
４は図１６に示す矢印Ｙ方向、つまり、水平方向に移動
する。

【０００８】図１６に示すように、架台１０２の終端部
には位置決めブロック１１７が設けられており、移動台
１０７に保持された位置決めピン１１６を位置決めブロ
ック１１７のガイド穴に挿入することにより、テストヘ
ッド１１４を所定位置に固定する。

【０００９】テストヘッド１１４の上面に、テストボー
ド１１８を載置する。テストボード１１８をテストヘッ
ド１１４の上面に装着した状態で、オートハンドラへの
接続あるいは離脱するために、テストヘッド１１４は昇
降可能になっている。

【００１０】図１６に示すように、テストヘッド１１４
の昇降する手段として、Ｚ軸ハンドル１１９が移動台１
０７の正面側に設けられている。Ｚ軸ハンドル１１９の
延長軸は、ねじジャッキ１１２・１１３と差動歯車で結
合している。Ｚ軸ハンドル１１９を回転すると、テスト
ヘッド１１４を昇降させる。

【００１１】図１９は、テストヘッド１１４上のテスト
ボード１１８とオートハンドラの底部基板１２０との関
係を示す断面図である。図１９において、テストボード
１１８上には、コンタクトブロック１２１が固定されて
いる。コンタクトブロック１２１の両端近傍には、ブッ
シュ１２２が取り付けられている。コンタクトブロック
１２１の中央部の下面にはＩＣソケット１２３が取り付
けられている。ＩＣソケット１２３はテストボード１１
８と電気的に接続している。

【００１２】一方、接続される側のオートハンドラ側の
底部基板１２０上に接続プレート１２４がピン１２５に
より位置決めされて固定されている。接続プレート１２
４には、コンタクトブロック１２１と位置決めするため
のガイドピン１２６と、接続プレート１２４をコンタク
トブロック１２１に固定するための固定ねじ１２７が取
り付けられている。

【００１３】テストヘッド１１４を上昇させ、ガイドピ
ン１２６がコンタクトブロック１２１のブッシュ１２２
に挿入されることにより、テストヘッド１１４とオート
ハンドラが位置決めされる。位置決めされた状態で固定
ねじ１２７をコンタクトブロック１２１に締めつけるこ
とにより、テストヘッド１１４がオートハンドラに接続
される。

【００１４】次に、従来のＩＣテスタのテストヘッド用
接続台におけるテストヘッド１１４のオートハンドラへ
の接続手順について説明する。

【００１５】まず、テストボード１１８をテストヘッド
１１４上に載置する。次に、Ｙ軸ハンドル１１５を回転
すると、ピニオン１０８・１０９がラック１１０・１１
１にそれぞれ噛み合い、レール１０３・１０４上に車輪
１０５・１０６を転動させて、図１６の矢印Ｙ方向にテ
ストヘッド１１４を所定量移動させる。次に、Ｚ軸ハン
ドル１１９を回転して、テストボード１１８を載置した
テストヘッド１１４を接続プレート１２４のガイドピン
１２６に近づく高さまで上昇させる。

【００１６】この状態でオートハンドラを前後、左右に
移動させて、ガイドピン１２６をコンタクトブロック１
２１のブッシュ１２２に位置合わせして、ガイドピン１
２６をブッシュ１２２に挿入し、固定ねじ１２４をコン
タクトブロック１２１に締め付けて固定し、テストヘッ
ド１１４をオートハンドラに接続する。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】従来のＩＣテスタのテ
ストヘッド用接続台では、テストヘッド１１４とオート
ハンドラとを直結するために、ＩＣソケット１２３をも
つコンタクトブロック１２１を固定したテストボード１
１８をテストヘッド１１４上に載置して、テストヘッド
１１４をオートハンドラ側の接続プレート１２４のガイ
ドピン１２６に近づく高さまで上昇させる。次に、オー
トハンドラを前後、左右に移動させて、接続位置を調整
しければならない。この位置調整作業は容易ではなく、
時間も要するという課題がある。

【００１８】

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に、この発明は、ＩＣテスタのテストヘッドを搭載する
接続台であって、オートハンドラ９１にテストヘッド１
８を接続するためにテストヘッド１８を昇降させるＺ軸
昇降機構Ａと、オートハンドラ９１にテストヘッド１８
を近接あるいは離反させるためにテストヘッド１８を水
平方向に移動させるＹ軸微調機構Ｂと、Ｙ軸微調機構Ｂ
の移動方向と直交する水平方向にテストヘッド１８を移
動させるＸ軸微調機構Ｃと、テストヘッド１８のＸＹ平
面上の中心となるＺ軸を中心としてテストヘッド１８を
ＸＹ平面上に回転するθ１軸微調機構Ｄと、ＸＺ平面上
であって、テストヘッド１８のＸ軸方向の均等分割線上
に回転中心をもち、テストヘッド１８をＹＺ平面上で回
転するθ３軸微調機構Ｆとを備える。

【００１９】

【発明の実施の形態】この発明のＩＣテスタテストヘッ
ド用接続台によれば、Ｚ軸昇降機構Ａの操作により、テ
ストヘッド１８を昇降し、Ｙ軸微調機構Ｂの操作により
テストヘッド１８を水平方向に移動させ、Ｘ軸微調機構
Ｃを操作することにより、テストヘッド１８が移動され
る水平方向と直交した水平方向に移動させる。さらに、
θ１軸微調機構Ｄの操作することにより、テストヘッド
１８の中心を軸としてテストヘッド１８をＸＹ平面で回
転させる。また、θ２軸微調機構Ｅを操作することによ
り、テストヘッド１８の中心を軸としてＸＺ平面でテス
トヘッド１８を回転させる。また、θ３軸微調機構Ｆを
操作することにより、テストヘッド１８の中心を軸とし
てＹＺ平面でテストヘッド１８を回転させる。

【００２０】これらのＹ軸微調機構Ｂ、Ｘ軸微調機構
Ｃ、θ１軸微調機構Ｄ、θ２軸微調機構Ｅ、θ３軸微調
機構Ｆでテストヘッド１８を微小移動し、テストヘッド
１８をオートハンドラ９１に接続する。

【００２１】次に、この発明のＩＣテスタのテストヘッ
ド用接続台の一実施の形態について図面に基づき説明す
る。図１から図３はこの一実施の形態の構成を示す図で
あり、図１は正面図、図２は右側面図、図３は平面図で
ある。

【００２２】図１から図３を参照し、この一実施の形態
の全体の概略的構成から説明する。図１に示されるよう
に、架台３の底部には複数のレベルフット２が取り付け
られており、架台３はレベルフット２を介して床面１に
立脚している。また、図２に示されるように、架台３は
上面を開口し、側面形状が上向き「コ」字形の枠状をな
している。架台２の相対向する側壁の上端面には、レー
ル４Ａ・４Ｂが敷設され、レール４Ａ上に車輪５Ａが転
動し、レール４Ｂと直動ガイド５Ｂがすべり結合する。

【００２３】車輪５Ａと直動ガイド５Ｂは移動台６の下
面に取り付けられている。移動台６は、車輪５Ａと直動
ガイド５Ｂにより、レール４Ａ・４Ｂ上を図１の左右方
向（架台３の長手方向）に容易に移動可能になってい
る。移動台６をＹ方向に位置決めをするためにＹ位置決
めピン１４が移動台６の左端近傍に設けられている。Ｙ
位置決めピン１４で架台３と位置決め後、Ｙ軸微調つま
み７を回転し、移動台６をＹ方向に微小移動する。な
お、Ｙ位置決めピン１４に関する部分の詳細構成は後述
する。

【００２４】図２に戻り、ねじジャッキ８・９はそれぞ
れ移動台６の上下両面を貫通するように、移動台６に取
り付けられている。各ねじジャッキ８・９は昇降台１５
を支持している。ねじジャッキ８・９と差動歯車１０・
１１はそれぞれねじ結合している。差動歯車１０・１１
は、図１におけるＺ軸ハンドル１２の延長軸と連結して
いる。Ｚ軸ハンドル１２を回転すると、ねじジャッキ８
・９は昇降台１５をＺ軸方向に昇降する。すなわち、テ
ストヘッド１８を昇降する。このように、移動台６に取
り付けれるねじジャッキ８・９と差動歯車１０・１１と
Ｚ軸ハンドル１２でＺ軸昇降機構Ａを構成する。

【００２５】昇降台１５には、テストヘッド１８をＹ軸
方向の移動に対して直交する水平方向に移動する、Ｘ軸
微調つまみ１６が取り付けられている。Ｘ軸微調つまみ
１６による回転操作でテストヘッド１８をＹ軸と直交し
た水平方向の移動決定後に、Ｘ軸固定ねじ１７でＸ軸微
調つまみ１６を固定する。

【００２６】図１では、テストヘッド１８に載置される
テストボード１８Ａの中心となるＺ軸を中心として、テ
ストボード１８ＡをＸＹ平面上で微小回転させるθ１軸
微調機構Ｄのθ１軸微調つまみ１９が昇降台１５の正面
に取り付けられている。θ１軸微調つまみ１９の回転操
作後に、θ１軸微調つまみ１９を固定させるために、θ
１軸微調つまみ１９にθ１固定ねじ１９Ａが取り付けら
れている。

【００２７】さらに、図２に示されるＹ軸方向から見
て、テストボード１８Ａの中心となるＺ軸をＸＺ平面上
で微小回転させるθ２微調機構Ｅのθ２軸微調つまみ２
１がアーム２０Ｂの左端近傍に取り付けられている。θ
２軸微調つまみ２１の回転操作後に、θ２軸微調つまみ
２１を固定させるために、θ２軸微調つまみ２１にθ２
軸固定ねじ２２が取り付けられている。

【００２８】図１に戻り、Ｘ軸方向から見て、テストボ
ード１８Ａの中心となるＺ軸をＹＺ平面上で微小回転さ
せるθ３軸微調機構Ｆのθ３軸微調つまみ２３が支持腕
２０Ｃの正面に取り付けられている。θ３軸微調つまみ
２３の回転操作後に、θ３微調つまみ２３を固定させる
ために、θ３微調つまみ２３にθ３固定ねじ２４が取り
付けられている。

【００２９】次に、前述のＹ軸微調機構Ｂの詳細な構成
について、図４と図５を参照して説明する。図４はＹ軸
微調機構Ｂの平面図であり、図５はＹ軸微調機構の正面
図である。

【００３０】図４に示されるように、Ｙ軸微調つまみ７
はシャフト２５の一端に固定されている。シャフト２５
の他端は、移動台６の壁面を貫通し、移動台６内におい
てかさ歯車２６がとりつけられている。

【００３１】図４において、移動台６の壁面にハウジン
グ２７が取り付けられている。ハウジング２７はベアリ
ング２８を内装し、ベアリング２８はシャフト２５を軸
受けする。ハウジング２７の外周に、Ｙ軸固定ねじ１３
がねじ結合し、Ｙ軸固定ねじ１３を回転すると、シャフ
ト２５の外周を押圧して固定する。

【００３２】移動台６内には、レール４Ｂと平行に移動
軸２９が配置されている。移動台６の内壁面には、ハウ
ジング３０が取り付けられている。ハウジング３０はベ
アリング３１を内装し、ベアリング３１は移動軸２９を
軸受けする。移動軸２９の一端にはかさ歯車２６が取り
付けられ、シャフト２５の回転方向を９０度変換させ
る。シャフト２５の他端は台形ねじが形成され、ナット
３２とねじ結合する。

【００３３】ナット３２は移動ブロック３３の貫通穴内
に固定されている。移動ブロック３３はガイドブロック
３４で移動可能に保持されている。Ｙ軸微調つまみ７を
回転すると、移動ブロック３３は移動台６内でＹ方向に
移動する。

【００３４】また、図５に示すように、移動台６の下面
には、ベース板３５が設けられている。ベース板３５の
下面には、直動ガイド５Ｂが取り付けられている。直動
ガイド５Ｂはレール４Ｂとすべり結合している。レール
４Ｂと平行にストッパブロック３８が配置されており、
ストッパブロック３８にガイド穴（図示せず）が設けら
れている。ストッパブロック３８は架台２の側壁の上端
面に取り付けられている。

【００３５】ガイド穴には、図１で示したＹ位置決めピ
ン１４の下端部分が挿入される。Ｙ位置決めピン１４は
移動ブロック３３に軸方向に移動可能に保持され、圧縮
コイルばね３９により、Ｙ位置決めピン１４はストッパ
ブロック３８に向かう力を付勢されている。Ｙ位置決め
ピン１４を前記ガイド穴に入れ、移動台６のＹ方向へ仮
位置決めする。

【００３６】このように、Ｙ軸微調機構Ｂを構成するこ
とにより、Ｙ軸微調つまみ７を回転すると、Ｙ軸微調つ
まみ７の回転運動がかさ歯車２６で回転運動の伝達方向
を９０度変換して移動軸２９に伝達される。

【００３７】移動軸２９の回転運動はナット３２のねじ
結合により移動ブロック３３の直線運動に変換される。
一方、移動ブロック３３はＹ位置決めピン１４でストッ
パブロック３８と結合しているので、相対的に移動台６
をＹ方向に移動することになる。ベース板３５には移動
台６の微調範囲内における長穴３５Ａが形成されてい
る。

【００３８】そして、移動台６の最終位置決めはＹ軸固
定ねじ１３で、シャフト２５を締め付け、Ｙ軸微調つま
み７の位置を固定する。

【００３９】次に、図６と図７を参照して、Ｘ軸微調機
構Ｃの詳細な構成を説明する。図６はＸ軸微調機構Ｃの
平面図であり、図７は図６の右側面図である。

【００４０】図６と図７の両図において、前記図１で示
したＸ軸微調つまみ１６はシャフト４０の一端に固定さ
れている。シャフト４０の他端は台形ねじが形成され、
ナット４３とねじ結合している。昇降台１５の前面には
ハウジング４２が取り付けられ、ハウジング４２はベア
リング４１を内装する。ベアリング４１でシャフト４０
を軸受けする。

【００４１】シャフト４０の一端近傍の外周面には、Ｘ
軸固定ねじ１７が取り付けられており、Ｘ軸微調つまみ
１６の回転操作後に、Ｘ軸固定ねじ１７によりＸ軸微調
つまみ１６を位置決めし、Ｘ軸微調つまみ１６を固定す
る。

【００４２】図７に示されるように、ナット４３はＬ形
ステー４４の一端に固定されている。Ｌ形ステー４４の
他端は第１のスライド基板４６に固定されている。連結
板２０Ａは第１のスライド基板４６と第２のスライド基
板４６を結合している。スライド基板４６の底面には直
動ガイド４６Ａが取り付けられる。直動ガイド４６Ａ
は、昇降台１５の上面に取り付けられるレールとすべり
結合する。

【００４３】このように、Ｘ軸微調機構Ｃが構成されて
おり、Ｘ軸微調つまみ１６を回転させることにより、Ｘ
軸微調つまみ１６の延長軸となるシャフト４０が回転し
てナット４３をねじ送りし、Ｌ形ステー４４とを介して
スライド基板４６が図７に示す矢印Ｘで示すＸ軸方向に
移動する。

【００４４】Ｘ軸微調つまみ１６の最終回転位置、すな
わち、テストヘッド１８の最終移動位置決めは、Ｘ軸固
定ねじ１７でシャフト４０の外周を押圧することによ
り、Ｘ軸微調つまみ１６の最終回転位置を固定する。

【００４５】次に、図８から図１０によりθ１軸微調機
構Ｄの詳細構成について説明する。図８は平面図、図９
は正面図、図１０は右側面図である。

【００４６】図８から図１０において、θ１軸微調つま
み１９はシャフト４７の一端に取り付けられている。シ
ャフト４７の他端は台形ねじが形成され、ナット５０と
ねじ結合している。昇降台１５の前面にはハウジング４
９が取り付けられ、ハウジング４９はベアリング４８を
内装する。ベアリング４８でシャフト４７を軸受けす
る。

【００４７】シャフト４７の一端近傍の外周面には、θ
１軸固定ねじ２０が取り付けられている。θ１軸固定ね
じ２０は、θ１軸微調つまみ１９の回転操作後に、θ１
軸微調つまみ１９の最終的位置を決定するためのもので
ある。

【００４８】図８に示されるように、ナット５０の外周
面はスライドブロック５１に固定されている。スライド
ブロック５１はスライドガイド５２に案内される。スラ
イドガイド５２は前記スライド基板４６の上面に固定さ
れている。

【００４９】図８または図１０に示すように、スライド
ブロック５１の他端はリンク５３の一端に連結される。
リンク５３の他端はリンク受５４に連結している。リン
ク受５４は、アーム２０Ｂの側壁に取り付けられてい
る。

【００５０】図１０に示されるように、連結板２０Ａに
シャフト５６が立設される。シャフト５６の上部にはベ
アリング５９が装着される。リテーナ５８はシャフト５
６に固定され、ベアリング５９の内輪を保持する。リテ
ーナ５７はアーム２０Ｂの上面に固定され、ベアリング
５９の外輪を保持する。このようにシャフト５６とアー
ム２０Ｂが回転結合する。なお、シャフト５６の軸中心
はテストヘッド１８のＸＹ平面上の中心となるＺ軸と一
致している。

【００５１】このように、θ１軸微調機構Ｄが構成され
ており、θ１軸微調つまみ１９を回転すると、シャフト
４７の回転運動がスライドブロック５１の直線運動に変
わる。スライドブロック５１の直線運動はリンク５３に
よりシャフト５６を中心にしてアーム２０Ｂの回転運動
に変換される。

【００５２】アーム２０ＢのＸＹ平面での最終回転位
置、すなわち、θ１軸微調つまみ１９の最終回転位置決
めは、θ１軸固定ねじ２０の回転操作することにより、
シャフト４７の回転を押さえることで、最終位置を固定
する。

【００５３】次に、前記θ２軸微調機構Ｅの詳細構成に
ついて、図１１と図１２を参照して説明する。図１１は
左側面図であり、図１２は図１１の断面図である。

【００５４】図１１に示されるように、θ２微調つまみ
２１はシャフト６０の一端に固定されている。シャフト
６０の他端は台形ねじが形成されナット６２とねじ結合
している。アーム２０Ｂの前面にはハウジングが取り付
けられ、前記ハウジングはベアリング６１を内装する。
ベアリング６１でシャフト６０を軸受けする。

【００５５】ナット６２の外周面はスライドブロック６
３に固定されている。スライドブロック６３はアーム２
０Ｂ上に一定方向に移動可能に保持されている。スライ
ドブロック６３の両壁からピン７１が突出する形で固定
されている。ブラケット７０に長穴７０Ａが形成されて
いる。ブラケット７０は支持腕２０Ｃの下部に固定され
ている。スライドブロック６３のピン７１とブラケット
７０の長穴７０Ａで連結する。

【００５６】図１２に示されるように、アーム２０Ｂの
立設腕にシャフト６９の一端が固定される。シャフト６
９の他端にベアリング６４が挿入される。リテーナ６５
でベアリング６４の外輪を支持腕２０Ｃに挟持する。リ
テーナ６６でベアリング６４の内輪をシャフト６９に挟
持する。

【００５７】このように構成されたθ２軸微調機構Ｅに
おいて、θ２軸微調つまみ２１を回転すると、シャフト
６０の回転運動をスライドブロック６３の直線運動に変
える。スライドブロック６３の直線運動はブラケット７
０の回転運動に変換される。

【００５８】すなわち、シャフト６９を軸中心にして、
支持腕２０ＣがＸＺ平面で回転運動をすることになる。
支持腕２０Ｃの最終回転量、すなわち、θ２軸微調つま
み２１の回転操作位置の最終位置決めはθ２軸固定ねじ
２２の回転操作することにより、シャフト６０をθ２軸
固定ねじ２２で押さえることにより、位置固定する。

【００５９】次に、図１３と図１４により前記θ３軸微
調機構Ｆの詳細な構成について説明する。図１３は平面
図であり、図１４は正面図である。

【００６０】図１３に示されるように、θ３軸微調つま
み２３はシャフト７２の一端に取り付けられている。シ
ャフト７２の他端は、支持腕２０Ａの前面のなるサイド
ベース７５を貫通して、かさ歯車７６が取り付けられて
いる。

【００６１】図１３において、サイドベース７５の前面
にハウジング７４が取り付けられている。ハウジング７
４はベアリング７３を内装し、ベアリング７３はシャフ
ト７２を軸受けする。ハウジング７４の外周に、θ３軸
固定ねじ２４がねじ結合し、θ３軸固定ねじ２４を回転
すると、シャフト７２の外周を押圧して固定する。

【００６２】サイドベース７５内には、サイドベース７
５と平行にシャフト８０が配置されている。サイドベー
ス７５の内壁面には、ハウジング７９が取り付けられて
いる。ハウジング７９はベアリング７８を内装し、ベア
リング７８はシャフト７７を軸受けする。シャフト７７
の一端には、かさ歯車７６が取り付けられ、シャフト７
２の回転方向を９０度変換させる。シャフト７７の他端
は台形ねじが形成され、ナット８０とねじ結合する。

【００６３】ナット８０はスライドブロック８１の座ぐ
り穴の端部に固定されている。スライドブロック８１は
サイドベース７５の内壁で移動可能に保持されている。
θ３軸微調整つまみ２３を回転すると、スライドブロッ
ク８１はサイドベース７５内で移動する。

【００６４】スライドブロック８１の他端は、リンク８
６の一端と連結している。リンク８６の他端はリンク受
８７に連結している。リンク受８７はテストヘッド１８
の側板８８に固定されている。また、軸受８９はサイド
・ベース７５に支持されている。相対向する同軸の２つ
の軸受８９でテストヘッド１８を回転支持する。

【００６５】このように、θ３軸微調機構Ｆを構成する
ことにより、θ３軸微調整つまみ２３の回転すると、シ
ャフト７２の回転運動が、かさ歯車７６でシャフト７７
に伝達される。

【００６６】シャフト７７の回転運動は、ナット８０の
ねじ送りにより、スライドブロック８１の直線運動に変
換される。スライドブロック８１の直線運動はリンク機
構により、テストヘッド１８の回転運動に変わる。

【００６７】このように、スライドブロック８１の移動
に伴い、リンク８６も移動し、リンク８６を支持してい
るリンク受８７を固定した側板８８がサイド・ベース７
５に支持された軸受８９を中心として、回転運動する。

【００６８】側板８８の回転位置、すなわち、θ３軸微
調つまみ２３の最終位置決めはθ３軸固定ねじ２４の回
転操作することにより、シャフト７２をθ３軸固定ねじ
２４で押さえることで、位置固定する。

【００６９】次に、以上のように構成されたこの実施の
形態の動作について説明する。まず、テストヘッド１８
上にテストボード１８Ａを載置した状態でテストヘッド
１８を昇降させるために、Ｚ軸ハンドル１２を回転して
ねじジャッキ８・９で、昇降台１５を上昇させる。すな
わち、テストヘッド１８を上昇させる。

【００７０】次に、架台３の長手方向（すなわち、図５
に示すＹ方向）に移動台６を移動させ、Ｙ位置決めピン
１４により移動台６を架台３に仮位置決めする。次に、
Ｙ軸微調機構ＢのＹ軸微調つまみ７を回転し、移動台６
をＹ方向に微小量移動させて調整する。移動台６の位置
が決定した後、Ｙ軸固定ねじ１３でＹ軸微調つまみ７の
回転を固定する。

【００７１】次に、Ｘ軸微調機構ＣのＸ軸微調つまみ１
６を回転して、テストヘッド１８をＹ軸と直交する水平
方向に移動する。テストヘッド１８のＸ方向の移動の最
終位置はＸ軸固定ねじ１７を回転して、最終位置決めす
る。

【００７２】次に、Ｘ軸とＹ軸とが直交した水平面上
で、テストボード１８Ａの中心となるＺ軸を回転中心と
してテストヘッド１８を回転させるために、θ１軸微調
機構Ｄのθ１軸微調つまみ１９を回転する。θ１軸微調
つまみ１９を回転させることにより、テストボード１８
ＡをＸＹ平面上で微小量回転させる。

【００７３】テストヘッド１８が所定角度回転すると、
θ１軸固定ねじ１９Ａを回転して、θ１軸微調つまみ１
９の最終回転位置を決定する。

【００７４】次に、Ｙ軸方向から見て、テストボード１
８Ａの中心となるＺ軸を回転中心として、テストヘッド
１８をＸＺ平面で回転させるために、θ２軸微調機構Ｅ
のθ２軸微調つまみ２１を回転する。

【００７５】これにより、テストヘッド１８の中心を軸
として、テストヘッド１８をＸＺ平面で微小回転して位
置合わせさせる．

【００７６】テストヘッド１８が所定量回転すると、θ
２軸固定ねじ２２を回転して、θ２軸微調つまみ２１の
最終回転位置、すなわち、テストヘッド１８の最終回転
位置を決定して位置固定する。

【００７７】次に、Ｘ軸方向から見て、テストボード１
８Ａの中心となるＺ軸を回転中心として、テストヘッド
１８をＹＺ平面で回転させるために、θ３軸微調機構Ｆ
のθ３軸微調つまみ２３を回転する。

【００７８】テストヘッド１８を所定量回転させると、
θ３軸固定ねじ２４を回転し、θ３軸固定ねじ２４によ
り、θ３軸微調つまみ２３を、すなわち、テストヘッド
１８の最終回転位置を決定する。

【００７９】このように、Ｚ軸ハンドル１２、Ｙ軸微調
つまみ７、Ｘ軸微調つまみ１６、θ１軸微調つまみ１
９、θ２軸微調つまみ２１、θ３軸微調つまみ２３、を
順次操作することにより、ＩＣテスタのテストヘッド用
接続台をオートハンドラと接続する際に、オートハンド
ラを移動することなく、図１５に示すように、選別基板
９０を有するオートハンドラ９１にＩＣソケット（図１
５では図示せず）とコンタクトブロック９２を有するテ
ストボード１８Ａを載置したＩＣテスタのテストヘッド
をオートハンドラに容易に接続することができる。

【００８０】したがって、テストヘッド用接続台のＺ軸
ハンドル１２、Ｙ軸微調つまみ７、Ｘ軸微調つまみ１
６、θ１軸微調つまみ１９、θ２軸微調つまみ２１、θ
３軸微調つまみ２３の操作によるオートハンドラへの位
置合わせ作業と最終位置決定作業が容易かつ短時間で済
ませることができる。

【００８１】また、テストボード１８Ａの交換等の段取
り、および保守の場合、各軸固定ねじにより一度決めた
接続位置の再現性がよくなり、再度位置調整する場合の
作業性がよくなる。

【００８２】

【発明の効果】この発明は、テストヘッドを昇降させる
Ｚ軸昇降機構と、架台の長手方向にテストヘッドを移動
させるＹ軸微調機構と、Ｙ軸と直交した水平方向にテス
トヘッドを移動させるＸ軸微調機構と、Ｘ軸とＹ軸とが
直交する水平面上でテストヘッド中心のＺ軸中心に回転
するθ１軸微調機構と、Ｘ軸とＺ軸とが直交する平面上
でテストヘッドの中心を軸として回転するθ２軸微調機
構と、Ｙ軸とＺ軸とが直交する平面上でテストヘッドの
中心を軸として回転するθ３軸微調機構との６機構を備
えているので、各軸微調機構の操作で正確かつ、容易に
テストヘッドとオートハンドラを接続することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のＩＣテスタのテストヘッド用接続台
の一実施の形態の全体的構成を示す正面図である。

【図２】図１の側面図である。

【図３】図１の平面図である。

【図４】図１のテストヘッド用接続台のＹ軸微調機構の
構成を示す平面図である。

【図５】図４の正面図である。

【図６】図１のテストヘッド用接続台のＸ軸微調機構の
構成を示す平面図である。

【図７】図６の右側面図である。

【図８】図１のテストヘッド用接続台のθ１軸微調機構
の構成を示す平面図である。

【図９】図８の正面図である。

【図１０】図８の右側面図である。

【図１１】図１のテストヘッド用接続台のθ２軸微調機
構の構成を示す左側面図である。

【図１２】図１１の断面図である。

【図１３】図１のテストヘッド用接続台のθ３軸微調機
構の構成を示す平面図である。

【図１４】図１３の正面図である。

【図１５】図１の状態変化図である。

【図１６】従来のＩＣテスタのテストヘッド用接続台の
全体的構成を示す正面図である。

【図１７】従来のＩＣテスタのテストヘッド用接続台の
側面図である。

【図１８】従来のＩＣテスタのテストヘッド用接続台の
平面図である。

【図１９】従来のテストヘッド上のテストボードとオー
トハンドラの底部基板との関係を示す断面図である。

【符号の説明】

３ 架台 ４Ａ レール ４Ｂ レール ５Ａ 車輪 ５Ｂ 直動ガイド ６移動台 ７ Ｙ軸微調つまみ ８ねじジャッキ ９ ねじジャッキ １０ 差動歯車 １１差動歯車 １２ Ｚ軸ハンドル １３ Ｙ軸固定ねじ １４ Ｙ位置決めピン １５ 昇降台 １６ Ｘ軸微調つまみ １７ Ｘ軸固定ねじ １８ テストヘッド １８Ａ テスト・ボード １９ θ１軸微調つまみ １９Ａ θ１軸固定ねじ ２１ θ２軸微調つまみ ２２ θ２軸固定ねじ ２３ θ３軸微調つまみ ２４ θ３軸固定ねじ ９０ 選別機基板 ９１ オートハンドラ Ａ Ｚ軸昇降機構 Ｂ Ｙ軸微調機構 Ｃ Ｘ軸微調機構 Ｄ θ１軸微調機構 Ｅ θ２軸微調機構 Ｆ θ３軸微調機構

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ＩＣテスタのテストヘッドを搭載する接
   続台であって、 オートハンドラ(91)にテストヘッド(18)を接続するため
   にテストヘッド(18)を昇降させるＺ軸昇降機構(A) と、 オートハンドラ(91)にテストヘッド(18)を近接あるいは
   離反させるためにテストヘッド(18)を水平方向に移動さ
   せるＹ軸微調機構(B) と、 Ｙ軸微調機構(B) の移動方向と直交する水平方向にテス
   トヘッド(18)を移動させるＸ軸微調機構(C) と、 テストヘッド(18)のＸＹ平面上の中心となるＺ軸を中心
   としてテストヘッド(18)をＸＹ平面上に回転するθ１軸
   微調機構(D) と、 ＸＺ平面上であって、テストヘッド(18)のＸ軸方向の均
   等分割線上に回転中心をもち、テストヘッド(18)をＸＺ
   平面上で回転するθ２軸微調機構(E) と、 ＹＺ平面上であって、テストヘッド(18)のＹ軸方向の均
   等分割線上に回転中心をもち、テストヘッド(18)をＹＺ
   平面上で回転するθ３軸微調機構(F) とを備えることを
   特徴とするＩＣテスタのテストヘッド用接続台。
2. 【請求項２】 複数のねじジャッキ(8)・(9)をそれぞれ
   移動台(6) の上下両面を貫通するように移動台(6) に取
   り付け、 各ねじジャッキ(8)・(9)で昇降台(15)を支持し、 各ねじジャッキ(8)・(9)と差動歯車(10)・(11)とをねじ
   結合し、 差動歯車(10)・(11)をＺ軸ハンドル(12)の延長軸と連結
   し、 Ｚ軸ハンドル(12)を回転すると、各ねじジャッキ(8)・
   (9)は昇降台(15)をＺ軸方向に昇降することを特徴とす
   る請求項１記載のＺ軸昇降機構。
3. 【請求項３】 架台(3) は上面を開口し、側面形状が上
   向き「コ」字形の枠状をなし、相対向する一対の側壁を
   もち、 前記第１の側壁の上端面に第１のレール(4A)を敷設し、 前記第２の側壁の上端面に第２のレール(4B)を敷設し、 移動台(6) の下面の第１の端部に第１のレール(4A)に輪
   転する複数の車輪(5A)を取り付け、 移動台(6) の下面の第２の端部に第２のレール(4B)とす
   べり結合する複数の直動ガイド(5B)を取り付け、 移動台(6) の前面壁にＹ軸微調つまみ(7) を回転自在に
   取り付け、 移動台(6) 内に第２のレール(4B)と平行に移動軸(29)を
   配置し、 Ｙ軸微調つまみ(7) の回転軸終端と移動軸(29)の一端は
   直交するかさ歯車(26)で結合し、 移動軸(29)の他端はナット(32)でねじ結合し、 ナット(32)を固定する移動ブロック(33)は移動軸(29)の
   回転で移動台(6) 内で第２のレール(4B)と平行に移動す
   るよう保持され、 移動ブロック(33)に保持されるＹ位置決めピン(14)で架
   台(3) と移動台(6) を仮位置決めし、 Ｙ軸微調つまみ(7) を回転すると、相対的に移動台(6)
   をＹ方向に移動することを特徴とする請求項１記載のＹ
   軸微調機構。
4. 【請求項４】 第１のスライド基板(46)と第２のスライ
   ド基板(46)を連結板(20A)で結合し、 第１のスライド基板(46)と第２のスライド基板(46)を昇
   降台(15)とＸ軸方向にすべり結合させ、 昇降台(15)の前面にＸ軸微調つまみ(16)を回転可能に保
   持し、 Ｘ軸微調つまみ(16)の延長軸と第１のスライド基板(46)
   をねじ結合させ、 Ｘ軸微調つまみ(16)を回転すると連結板(20A)に支持さ
   れるテストヘッド(18)をＸ軸方向に移動させることを特
   徴とする請求項１記載のＸ軸微調機構。
5. 【請求項５】 テストヘッド(18)のＸＹ平面上の中心と
   なるＺ軸を中心に回転するようアーム(20B) を連結板(2
   0A) に回転結合し、 連結板(20A) と結合する第１のスライド基板(46)の前面
   にθ１軸微調つまみ(19)を回転可能に保持し、 θ１軸微調つまみ(19)を回転すると、シャフト(47)の回
   転運動がスライドブロック(51)の直線運動に変わり、ス
   ライドブロック(51)の直線運動はリンク(53)によりシャ
   フト(56)を中心にしてアーム(20B)の回転運動に変換さ
   れることを特徴とする請求項１記載のθ１軸微調機構。
6. 【請求項６】 アーム(20B) の前面にθ２軸微調つまみ
   (21)を回転可能に保持し、 θ２軸微調つまみ(21)の延長軸となるシャフト(60)にナ
   ット(62)をねじ結合し、 ナット(62)を固定するスライドブロック(63)をＸ軸方向
   に移動可能に保持し、 アーム(20B) の立設腕にテストヘッド(18)の支持腕(20
   C)がＸＺ平面で回転可能に結合させ、 ブラケット(70)を支持腕(20C)の下部に固定し、 スライドブロック(63)のピン(71)とブラケット(70)の長
   穴(70A) で連結し、 θ２軸微調つまみ(21)を回転するとテストヘッド(18)を
   ＸＺ平面で微小回転させることを特徴とする請求項１記
   載のθ２軸微調機構。
7. 【請求項７】 支持腕(20A) に取り付けられる相対向す
   る同軸の２つの軸受(89)でテストヘッド(18)を回転支持
   し、 支持腕(20A) の前面となるサイドベース(75)にθ３軸微
   調整つまみ(23)を回転可能に保持し、 θ３軸微調整つまみ(23)の回転運動をねじ送りで直線運
   動に変換し、 前記直線運動をリンク機構でテストヘッド(18)の回転運
   動に変換し、 テストヘッド(18)をＹＺ平面で回転させることを特徴と
   する請求項１記載のθ３軸微調機構。
8. 【請求項８】 Ｙ軸微調機構(B) 、Ｘ軸微調機構(C) 、
   θ１軸微調機構(D)、θ２軸微調機構(E) 、θ３軸微調
   機構(F) は、テストヘッド(18)がオートハンドラ(91)に
   接続後、位置保持ができるように、それぞれＹ軸固定ネ
   ジ(13)、Ｘ軸固定ネジ(17)、θ１軸固定ネジ(19A) 、θ
   ２軸固定ネジ(22)、θ３軸固定ネジ(24)を備えることを
   特徴とする請求項１記載のＩＣテスタのテストヘッド用
   接続台。