CN112067854A - 测试机移动和装载的装置及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明揭示了一种测试机移动和装载的装置。本发明提供的测试机移动和装载的装置包括底座，X方向调整装置，Y方向调整装置，Z方向调整装置和测试头夹持装置，X/Y/Z方向两两垂直；所述X方向调整装置和所述Y方向调整装置层叠设置在所述底座上；所述测试头夹持装置设置在所述X方向调整装置和Y方向调整装置上方；所述X方向调整装置调整所述测试头夹持装置在X方向的位置，所述Y方向调整装置调整所述测试头夹持装置在Y方向的位置；所述Z方向调整装置分布在所述底座周边并贯穿所述底座设置，以调整所述底座的高度和倾斜度。本发明的装置，结构稳固，灵活性高，便于移动和搬运，省去了配重箱及其关联部件，安全可靠。

Description

测试机移动和装载的装置及方法
技术领域
本发明涉及半导体测试设备领域，特别是涉及一种测试机移动和装载的装置及方法。
背景技术
半导体的测试过程是整个集成电路制造过程中的重要一环。针对不同类型的产品，测试需求不同，这就需要更换测试头。
目前，主流的测试头支架如图1所示，可见，包括如下结构：
支撑架A1，配重箱A2，抱臂A3，上下移动装置A4。在具体使用时，包含滑轨、皮带或者链条的上下移动装置在动力作用下进行移动，利用配重箱的重量来带动抱臂A3及抱臂A3上安装的测试头A5上下移动。
但是，这种装置存在诸多缺陷，例如配重箱的存在占据了大量空间，并使得装置本身很笨重，不易轻易转移，对抱臂也有严格的质量要求，抱臂与配重箱连接处易损坏等等。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种测试机移动和装载的装置及方法，优化结构，提高适用性。
为解决上述技术问题，根据本发明的第一方面，提供一种测试机移动和装载的装置包括：
底座，X方向调整装置，Y方向调整装置，Z方向调整装置和测试头夹持装置，X/Y/Z方向两两垂直；
所述X方向调整装置和所述Y方向调整装置层叠设置在所述底座上；所述测试头夹持装置设置在所述X方向调整装置和Y方向调整装置上方；所述X方向调整装置调整所述测试头夹持装置在X方向的位置，所述Y方向调整装置调整所述测试头夹持装置在Y方向的位置；
所述Z方向调整装置分布在所述底座周边并贯穿所述底座设置，以调整所述底座的高度和倾斜度。
本发明的装置，结构稳固，灵活性高，便于移动和搬运，省去了配重箱及其关联部件，更加安全可靠。
在一个实施例中，初始状态下，X方向调整装置、Y方向调整装置、Z方向调整装置和测试头夹持装置的重心重叠。
在一个实施例中，所述测试头夹持装置可绕Z方向旋转。
在一个实施例中，所述Z方向调整装置包括支撑脚、螺杆和Z调节把手，所述螺杆在所述Z调节把手带动下相对所述底座可旋转，所述螺杆穿过所述底座并与所述底座螺纹啮合。
在一个实施例中，所述Z方向调整装置的数量为三个以上，设置在所述底座周边。
在一个实施例中，所述X方向调整装置包括设置在所述底座上的第一固定板，设置在所述第一固定板上的第一移动板，所述第一固定板和所述第一移动板之间设置有第一移动装置，以使得所述第一移动板在X方向移动；
所述Y方向调整装置包括设置在所述第一移动板上的第二固定板，设置在所述第二固定板上的第二移动板，所述第二固定板和所述第二移动板之间设置有第二移动装置，以使得所述第二移动板在Y方向移动。
在一个实施例中，所述测试头夹持装置设置在所述第二移动板上，所述测试头夹持装置保持测试头位于所述第二移动板正上方。
在一个实施例中，所述第一移动装置包括设置在所述第一固定板上的第一轨道，设置在所述第一轨道上的第一丝杠，第一滑块套设在所述第一丝杠上，所述第一滑块与所述第一移动板固定连接，第一调节把手的伸缩杆与所述第一滑块固定连接，第一调节把手旋转时，所述第一调节把手的伸缩杆带动所述第一滑块沿着所述第一丝杠滑动。
在一个实施例中，所述第二移动装置包括设置在所述第二固定板上的第二轨道，设置在所述第二轨道上的第二丝杠，第二滑块套设在所述第二丝杠上，所述第二滑块与所述第二移动板固定连接，第二调节把手的伸缩杆与所述第二滑块固定连接，第二调节把手旋转时，所述第二调节把手的伸缩杆带动所述第二滑块沿着所述第二丝杠滑动。
在一个实施例中，所述底座上还设置有万向轮。
根据本发明的第二方面，提高一种测试机移动和装载方法，包括采用如第一方面所述的测试机移动和装载的装置进行测试机的移动和装载。
本发明的方法操作便捷，可靠性高。
附图说明
图1为一种常见的测试头支架的示意图；
图2为本发明一实施例中测试机移动和装载的装置的示意图。
具体实施方式
下面将结合示意图对本发明的测试机移动和装载的装置及方法进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明，而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。
在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本发明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
实施例1
本实施例1提供一种测试机移动和装载的装置，下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。如图2所示，所述测试机移动和装载的装置，包括：
底座1，X方向调整装置，Y方向调整装置，Z方向调整装置和测试头夹持装置30，X/Y/Z方向两两垂直；
所述X方向调整装置和所述Y方向调整装置层叠设置在所述底座1上；所述测试头夹持装置30设置在所述X方向调整装置和Y方向调整装置上方；所述X方向调整装置调整所述测试头夹持装置30在X方向的位置，所述Y方向调整装置调整所述测试头夹持装置30在Y方向的位置；
所述Z方向调整装置分布在所述底座周边并贯穿所述底座1设置，以调整所述底座的高度和倾斜度。
本发明的装置，结构稳固，灵活性高，便于移动和搬运，省去了配重箱及其关联部件，更加安全可靠。
实施例2
本实施例2提供一种测试机移动和装载的装置，可以是在实施例1的基础上进一步优化或改进，下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。如图2所示，所述测试机移动和装载的装置，包括：
在初始状态下，X方向调整装置、Y方向调整装置、Z方向调整装置和测试头夹持装置30的重心重叠。
所述Z方向调整装置包括支撑脚401、螺杆402和Z调节把手403，所述螺杆402在所述Z调节把手403带动下相对所述底座可旋转，所述螺杆402穿过所述底座1并与所述底座1螺纹啮合。
此外，所述支撑脚401与所述螺杆402可以是一体成型，即二者可以同时旋转，也可以是可相对独立的，例如可以是支撑脚401保持不动，仅所述螺杆402旋转。
所述Z调节把手403可以是手动的，如图2示意为手动式的结构。可以理解的是，也可以是自动的，此时，所述Z调节把手403可以跟一驱动电机（未图示）例如通过皮带等进行动力的传送。
进一步的，可以在所述螺杆402上设置紧固件，例如1个或多个螺栓，以实现较好的固定。
所述Z方向调整装置的数量为三个以上，设置在所述底座1周边。由此，可以实现较好的支撑。
当Z方向调节高度和/或水平时，能够更加方便的实现测试头与分拣机的连接安装。
所述X方向调整装置包括设置在所述底座1上的第一固定板11，设置在所述第一固定板11上的第一移动板12，所述第一固定板11和所述第一移动板12之间设置有第一移动装置13，以使得所述第一移动板12在X方向移动。
所述Y方向调整装置包括设置在所述第一移动板12上的第二固定板21，设置在所述第二固定板21上的第二移动板22，所述第二固定板21和所述第二移动板22之间设置有第二移动装置23，以使得所述第二移动板22在Y方向移动。
所述第一固定板11可以是固定在所述底座1上，也可以是可拆卸安装。
所述第二固定板21和所述第一移动板12可以是固定在一起。
在本实施例中，所述底座1、所述第一固定板11、所述第一移动板12、所述第二固定板21、所述第二移动板22可以采用刚性材质制备，从而保持较好的稳定性。
所述测试头夹持装置30可以包括底板301和两个手臂，所述底板301设置在所述第二移动板22上，两个手臂设置在所述底板301两端，从而三者共同限定夹持区域。
进一步的，在所述手臂上设置有夹持部302，夹持部302表面具有一定的粗糙度，或者设置有若干凸起，以便于夹持住测试头。
所述两个手臂的长度方向可以沿着Z方向，从而测试头甚至可以摆放在底板301上。所述测试头夹持装置30可以保持测试头位于所述第二移动板正上方，则测试头放置稳定。
此外，在夹持部302的背面还设置有旋转装置303，旋转装置303可以使得两个夹持部302相对伸缩，从而调节相对距离，实现不同尺寸测试头的夹持。
本发明实施例可以实现XYZ三个方向的运动，并且不需要配重箱，从而既可以节省空间，降低重量，还能够具有很高的灵活性和安全性。
实施例3
本实施例3提供一种测试机移动和装载的装置，可以是在实施例1或实施例2的基础上进一步优化或改进，下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。如图2所示，所述测试机移动和装载的装置，包括：
所述第一移动装置13包括设置在所述第一固定板11上的第一轨道131，设置在所述第一轨道131上的第一丝杠133，第一滑块132套设在所述第一丝杠133上，所述第一滑块132与所述第一移动板12固定连接，第一调节把手134的伸缩杆与所述第一滑块132固定连接，第一调节把手134旋转时，所述第一调节把手的伸缩杆带动所述第一滑块132沿着所述第一丝杠133滑动。
在本实施例中，包括一对所述第一移动装置13，相对设置在第一固定板11和第一移动板12之间的一个对侧，从而既能够起到较好的支持，又可以使得移动更顺滑。
所述第一调节把手134可以设置有1个，也可以设置有2个，具体设置在两个第一移动装置13之间。对于两个第一调节把手134的情况，可以是二者相对设置。
所述第一调节把手的伸缩杆可以是具有一个横向部，所述横向部与所述第一滑块132固定连接。两个第一调节把手134时，一个第一调节把手的伸缩杆伸长，另一个第一调节把手的伸缩杆缩短。
所述第二移动装置23包括设置在所述第二固定板21上的第二轨道，设置在所述第二轨道上的第二丝杠，第二滑块套设在所述第二丝杠上，所述第二滑块与所述第二移动板固22定连接，第二调节把手234的伸缩杆与所述第二滑块固定连接，第二调节把手234旋转时，所述第二调节把手的伸缩杆带动所述第二滑块沿着所述第二丝杠滑动。
所述第二移动装置23的具体结构和分布情况，与第一移动装置13基本相同，所述第二移动装置23可以是所述第一移动装置13以Z方向为轴旋转90°。
所述第一调节把手134可以是手动的，如图2示意为手动式的结构。可以理解的是，也可以是自动的，此时，所述第一调节把手134可以跟一驱动电机（未图示）例如通过皮带等进行动力的传送。同样的，所述第二调节把手234也可以是自动的。
实施例4
本实施例4提供一种测试机移动和装载的装置，可以是在实施例1或实施例2或实施例3的基础上进一步优化或改进，下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。如图2所示，所述测试机移动和装载的装置，包括：
所述测试头夹持装置30可绕Z方向旋转。
由此，可以通过测试头夹持装置30的旋转，灵活方便的调整朝向。
实施例5
本实施例5提供一种测试机移动和装载的装置，可以是在实施例1或实施例2或实施例3或实施例4的基础上进一步优化或改进，下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。如图2所示，所述测试机移动和装载的装置，包括：
所述底座1上还设置有万向轮2。
在本实施例中，当Z方向不需要调节的情况下（初始状态可以使得底座1保持水平），在X/Y方向调整完成后，可以松开支撑脚401，从而整个装置可以移动，便于测试头的转移。
实施例6
本实施例6提供一种测试机移动和装载的方法，可以是在实施例1或实施例2或实施例3或实施例4或实施例5的基础上进行测试机的移动和装载。
综上所述，
本发明提供的测试机移动和装载的装置及方法中，结构稳固，灵活性高，便于移动和搬运，省去了配重箱及其关联部件，更加安全可靠。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.种测试机移动和装载的装置，其特征在于，包括：
底座，X方向调整装置，Y方向调整装置，Z方向调整装置和测试头夹持装置，X/Y/Z方向两两垂直；
所述X方向调整装置和所述Y方向调整装置层叠设置在所述底座上；所述测试头夹持装置设置在所述X方向调整装置和Y方向调整装置上方；所述X方向调整装置调整所述测试头夹持装置在X方向的位置，所述Y方向调整装置调整所述测试头夹持装置在Y方向的位置；
所述Z方向调整装置分布在所述底座周边并贯穿所述底座设置，以调整所述底座的高度和倾斜度。
2.如权利要求1所述的测试机移动和装载的装置，其特征在于，所述测试头夹持装置可绕Z方向旋转。
3.如权利要求1所述的测试机移动和装载的装置，其特征在于，所述Z方向调整装置包括支撑脚、螺杆和把手，所述螺杆在所述把手带动下相对所述底座可旋转，所述螺杆穿过所述底座并与所述底座螺纹啮合。
4.如权利要求3所述的测试机移动和装载的装置，其特征在于，所述Z方向调整装置的数量为三个以上，设置在所述底座周边。
5.如权利要求2所述的测试机移动和装载的装置，其特征在于，所述X方向调整装置包括设置在所述底座上的第一固定板，设置在所述第一固定板上的第一移动板，所述第一固定板和所述第一移动板之间设置有第一移动装置，以使得所述第一移动板在X方向移动；
所述Y方向调整装置包括设置在所述第一移动板上的第二固定板，设置在所述第二固定板上的第二移动板，所述第二固定板和所述第二移动板之间设置有第二移动装置，以使得所述第二移动板在Y方向移动。
6.根据权利要求5所述的测试机移动和装载的装置，其特征在于，所述测试头夹持装置设置在所述第二移动板上，所述测试头夹持装置保持测试头位于所述第二移动板正上方。
7.如权利要求5所述的测试机移动和装载的装置，其特征在于，所述第一移动装置包括设置在所述第一固定板上的第一轨道，设置在所述第一轨道上的第一丝杠，第一滑块套设在所述第一丝杠上，所述第一滑块与所述第一移动板固定连接，第一调节把手的伸缩杆与所述第一滑块固定连接，第一调节把手旋转时，所述第一调节把手的伸缩杆带动所述第一滑块沿着所述第一丝杠滑动。
8.如权利要求5所述的测试机移动和装载的装置，其特征在于，所述第二移动装置包括设置在所述第二固定板上的第二轨道，设置在所述第二轨道上的第二丝杠，第二滑块套设在所述第二丝杠上，所述第二滑块与所述第二移动板固定连接，第二调节把手的伸缩杆与所述第二滑块固定连接，第二调节把手旋转时，所述第二调节把手的伸缩杆带动所述第二滑块沿着所述第二丝杠滑动。
9.如权利要求1所述的测试机移动和装载的装置，其特征在于，所述底座上还设置有万向轮。
10.一种测试机移动和装载方法，其特征在于，包括采用如权利要求1-9中任意一项所述的测试机移动和装载的装置进行测试机的移动和装载。
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