JP3067696B2 - Ｉｃテスタのテストヘッド用接続台 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ＩＣテスタのテ
ストヘッド用接続台についてのものである。特に、テス
トヘッド上に位置決めされたＩＣソケットをもつテスト
ボードをオートハンドラへ直接接続して、ＩＣを確実に
試験するＩＣテスタのテストヘッド用接続台についての
ものである。このような接続台は、例えば、特願平 8−
332787号の明細書に開示されている。

【０００２】

【従来の技術】次に、従来のＩＣテスタのテストヘッド
用接続台の構成を図１０から図１２により説明する。図
１０は正面図、図１１は右側面図、図１２は平面図であ
る。

【０００３】図１０から図１２を参照し、テストヘッド
用接続台の全体の概略的構成から説明する。図１０に示
されるように、架台３の底部には複数のレベルフット２
が取り付けられており、課題３はレベルフット２を介し
て床面１に立脚している。また、図１１に示されるよう
に、架台３は上面を開口し、側面形状が上向き「コ」字
形の枠状をなしている。架台３の相対向する側壁の上端
面には、レール４Ａ・４Ｂが敷設され、レール４Ａ上に
車輪５Ａが転動し、レール４Ｂと直動ガイド５Ｂがすべ
り結合する。

【０００４】車輪５Ａと直動ガイド５Ｂは移動台６の下
面に取り付けられている。移動台６は、車輪５Ａと直動
ガイド５Ｂにより、レール４Ａ・４Ｂ上を図１０の左右
方向（架台３の長手方向）に容易に移動する。移動台６
をＹ方向に位置決めをするためにＹ位置決めピン１４が
移動台６の左端近傍に設けられている。Ｙ位置決めピン
１４で架台３と位置決め後、Ｙ軸微調つまみ７を回転
し、移動台６をＹ方向に微小移動する。なお、Ｙ位置決
めピン１４に関する部分の詳細構成は後述する。

【０００５】図１１に戻り、ねじジャッキ８・９はそれ
ぞれ移動台６の上下両面を貫通するように、移動台６に
取り付けられている。各ねじジャッキ８・９は昇降台１
５を支持している。ねじジャッキ８・９と差動歯車１０
・１１はそれぞれねじ結合している。差動歯車１０・１
１は、図１０におけるＺ軸ハンドル１２の延長軸と連結
している。Ｚ軸ハンドル１２を回転すると、ねじジャッ
キ８・９は昇降台１５をＺ軸方向に昇降する。すなわ
ち、テストヘッド１８を昇降する。このように、移動台
６に取り付けれるねじジャッキ８・９と差動歯車１０・
１１とＺ軸ハンドル１２でＺ軸昇降機構Ａを構成する。

【０００６】昇降台１５には、テストヘッド１８をＹ軸
方向の移動に対して直交する水平方向に移動する、Ｘ軸
微調つまみ１６が取り付けられている。Ｘ軸微調つまみ
１６による回転操作でテストヘッド１８をＹ軸と直交し
た水平方向の移動決定後に、Ｘ軸固定ねじ１７でＸ軸微
調つまみ１６を固定する。

【０００７】図１０では、テストヘッド１８に載置され
るテストボード１８Ａの中心となるＺ軸を中心として、
テストボード１８ＡをＸＹ平面上で微小回転させるθ１
軸微調機構Ｄのθ１軸微調つまみ１９が昇降台１５の正
面に取り付けられている。θ１軸微調つまみ１９の回転
操作後に、θ１軸微調つまみ１９を固定させるために、
θ１軸微調つまみ１９にθ１固定ねじ１９Ａが取り付け
られている。

【０００８】さらに、図１１に示されるＹ軸方向から見
て、テストボード１８Ａの中心となるＺ軸をＸＺ平面上
で微小回転させるθ２微調機構Ｅのθ２軸微調つまみ２
１がアーム２０Ｂの左端近傍に取り付けられている。θ
２軸微調つまみ２１の回転操作後に、θ２軸微調つまみ
２１を固定させるために、θ２軸微調つまみ２１にθ２
軸固定ねじ２２が取り付けられている。

【０００９】図１０に戻り、Ｘ軸方向から見て、テスト
ボード１８Ａの中心となるＺ軸をＹＺ平面上で微小回転
させるθ３軸微調機構Ｆのθ３軸微調つまみ２３が支持
腕２０Ｃの正面に取り付けられている。θ３軸微調つま
み２３の回転操作後に、θ３微調つまみ２３を固定させ
るために、θ３微調つまみ２３にθ３固定ねじ２４が取
り付けられている。

【００１０】次に、前述のＹ軸微調機構Ｂの詳細な構成
について、図１３と図１４を参照して説明する。図１３
はＹ軸微調機構Ｂの平面図であり、図１４はＹ軸微調機
構の正面図である。

【００１１】図１３に示されるように、Ｙ軸微調つまみ
７はシャフト２５の一端に固定されている。シャフト２
５の他端は、移動台６の壁面を貫通し、移動台６内にお
いてかさ歯車２６がとりつけられている。

【００１２】図１３において、移動台６の壁面にハウジ
ング２７が取り付けられている。ハウジング２７はベア
リング２８を内装し、ベアリング２８はシャフト２５を
軸受けする。ハウジング２７の外周に、Ｙ軸固定ねじ１
３がねじ結合し、Ｙ軸固定ねじ１３を回転すると、シャ
フト２５の外周を押圧して固定する。

【００１３】移動台６内には、レール４Ｂと平行に移動
軸２９が配置されている。移動台６の内壁面には、ハウ
ジング３０が取り付けられている。ハウジング３０はベ
アリング３１を内装し、ベアリング３１は移動軸２９を
軸受けする。移動軸２９の一端にはかさ歯車２６が取り
付けられ、シャフト２５の回転方向を９０度変換させ
る。移動軸２９の他端は台形ねじが形成され、ナット３
２とねじ結合する。

【００１４】ナット３２は移動ブロック３３の貫通穴内
に固定されている。移動ブロック３３はガイドブロック
３４で移動可能に保持されている。Ｙ軸微調つまみ７を
回転すると、移動ブロック３３は移動台６内でＹ方向に
移動する。

【００１５】また、図１４に示すように、移動台６の下
面には、ベース板３５が設けられている。ベース板３５
の下面には、直動ガイド５Ｂが取り付けられている。直
動ガイド５Ｂはレール４Ｂとすべり結合している。レー
ル４Ｂと平行にストッパブロック３８が配置されてお
り、ストッパブロック３８にガイド穴（図示せず）が設
けられている。ストッパブロック３８は架台２の側壁の
上端面に取り付けられている。

【００１６】ガイド穴には、図１０で示したＹ位置決め
ピン１４の下端部分が挿入される。Ｙ位置決めピン１４
は移動ブロック３３に軸方向に移動可能に保持され、圧
縮コイルばね３９により、Ｙ位置決めピン１４はストッ
パブロック３８に向かう力を付勢されている。Ｙ位置決
めピン１４を前記ガイド穴に入れ、移動台６のＹ方向へ
仮位置決めする。

【００１７】このように、Ｙ軸微調機構Ｂを構成するこ
とにより、Ｙ軸微調つまみ７を回転すると、Ｙ軸微調つ
まみ７の回転運動がかさ歯車２６で回転運動の伝達方向
を９０度変換して移動軸２９に伝達される。

【００１８】移動軸２９の回転運動はナット３２のねじ
結合により移動ブロック３３の直線運動に変換される。
一方、移動ブロック３３はＹ位置決めピン１４でストッ
パブロック３８と結合しているので、相対的に移動台６
をＹ方向に移動することになる。ベース板３５には移動
台６の微調範囲内における長穴３５Ａが形成されてい
る。

【００１９】そして、移動台６の最終位置決めはＹ軸固
定ねじ１３で、シャフト２５を締め付け、Ｙ軸微調つま
み７の位置を固定する。

【００２０】次に、図１５と図１６を参照して、Ｘ軸微
調機構Ｃの詳細な構成を説明する。図１５はＸ軸微調機
構Ｃの平面図であり、図１６は図１５の右側面図であ
る。

【００２１】図１５と図１６の両図において、前記図１
０で示したＸ軸微調つまみ１６はシャフト４０の一端に
固定されている。シャフト４０の他端は台形ねじが形成
され、ナット４３とねじ結合している。昇降台１５の前
面にはハウジング４２が取り付けられ、ハウジング４２
はベアリング４１を内装する。ベアリング４１でシャフ
ト４０を軸受けする。

【００２２】シャフト４０の一端近傍の外周面には、Ｘ
軸固定ねじ１７が取り付けられており、Ｘ軸微調つまみ
１６の回転操作後に、Ｘ軸固定ねじ１７によりＸ軸微調
つまみ１６を位置決めし、Ｘ軸微調つまみ１６を固定す
る。

【００２３】図１６に示されるように、ナット４３はＬ
形ステー４４の一端に固定されている。Ｌ形ステー４４
の他端は第１のスライド基板４６に固定されている。連
結板２０Ａは第１のスライド基板４６と第２のスライド
基板４６を結合している。スライド基板４６の底面には
直動ガイド４６Ａが取り付けられる。直動ガイド４６Ａ
は、昇降台１５の上面に取り付けられるレールとすべり
結合する。

【００２４】このように、Ｘ軸微調機構Ｃが構成されて
おり、Ｘ軸微調つまみ１６を回転させることにより、Ｘ
軸微調つまみ１６の延長軸となるシャフト４０が回転し
てナット４３をねじ送りし、Ｌ形ステー４４とを介して
スライド基板４６が図１６に示す矢印Ｘで示すＸ軸方向
に移動する。

【００２５】Ｘ軸微調つまみ１６の最終回転位置、すな
わち、テストヘッド１８の最終移動位置決めは、Ｘ軸固
定ねじ１７でシャフト４０の外周を押圧することによ
り、Ｘ軸微調つまみ１６の最終回転位置を固定する。

【００２６】次に、図１７から図１９によりθ１軸微調
機構Ｄの詳細構成について説明する。図１７は平面図、
図１８は正面図、図１９は右側面図である。

【００２７】図１７から図１９において、θ１軸微調つ
まみ１９はシャフト４７の一端に取り付けられている。
シャフト４７の他端は台形ねじが形成され、ナット５０
とねじ結合している。昇降台１５の前面にはハウジング
４９が取り付けられ、ハウジング４９はベアリング４８
を内装する。ベアリング４８でシャフト４７を軸受けす
る。

【００２８】シャフト４７の一端近傍の外周面には、θ
１軸固定ねじ２０が取り付けられている。θ１軸固定ね
じ２０は、θ１軸微調つまみ１９の回転操作後に、θ１
軸微調つまみ１９の最終的位置を決定するためのもので
ある。

【００２９】図１７に示されるように、ナット５０の外
周面はスライドブロック５１に固定されている。スライ
ドブロック５１はスライドガイド５２に案内される。ス
ライドガイド５２は前記スライド基板４６の上面に固定
されている。

【００３０】図１７または図１９に示すように、スライ
ドブロック５１の他端はリンク５３の一端に連結され
る。リンク５３の他端はリンク受５４に連結している。
リンク受５４は、アーム２０Ｂの側壁に取り付けられて
いる。

【００３１】図１９に示されるように、連結板２０Ａに
シャフト５６が立設される。シャフト５６の上部にはベ
アリング５９が装着される。リテーナ５８はシャフト５
６に固定され、ベアリング５９の内輪を保持する。リテ
ーナ５７はアーム２０Ｂの上面に固定され、ベアリング
５９の外輪を保持する。このようにシャフト５６とアー
ム２０Ｂが回転結合する。なお、シャフト５６の軸中心
はテストヘッド１８のＸＹ平面上の中心となるＺ軸と一
致している。

【００３２】このように、θ１軸微調機構Ｄが構成され
ており、θ１軸微調つまみ１９を回転すると、シャフト
４７の回転運動がスライドブロック５１の直線運動に変
わる。スライドブロック５１の直線運動はリンク５３に
よりシャフト５６を中心にしてアーム２０Ｂの回転運動
に変換される。

【００３３】アーム２０ＢのＸＹ平面での最終回転位
置、すなわち、θ１軸微調つまみ１９の最終回転位置決
めは、θ１軸固定ねじ２０の回転操作することにより、
シャフト４７の回転を押さえることで、最終位置を固定
する。

【００３４】次に、前記θ２軸微調機構Ｅの詳細構成に
ついて、図２０と図２１を参照して説明する。図２０は
左側面図であり、図２１は図２０の断面図である。

【００３５】図２０に示されるように、θ２微調つまみ
２１はシャフト６０の一端に固定されている。シャフト
６０の他端は台形ねじが形成されナット６２とねじ結合
している。アーム２０Ｂの前面にはハウジングが取り付
けられ、前記ハウジングはベアリング６１を内装する。
ベアリング６１でシャフト６０を軸受けする。

【００３６】ナット６２の外周面はスライドブロック６
３に固定されている。スライドブロック６３はアーム２
０Ｂ上に一定方向に移動可能に保持されている。スライ
ドブロック６３の両壁からピン７１が突出する形で固定
されている。ブラケット７０に長穴７０Ａが形成されて
いる。ブラケット７０は支持腕２０Ｃの下部に固定され
ている。スライドブロック６３のピン７１とブラケット
７０の長穴７０Ａで連結する。

【００３７】図２１に示されるように、アーム２０Ｂの
立設腕にシャフト６９の一端が固定される。シャフト６
９の他端にベアリング６４が挿入される。リテーナ６５
でベアリング６４の外輪を支持腕２０Ｃに挟持する。リ
テーナ６６でベアリング６４の内輪をシャフト６９に挟
持する。

【００３８】このように構成されたθ２軸微調機構Ｅに
おいて、θ２軸微調つまみ２１を回転すると、シャフト
６０の回転運動をスライドブロック６３の直線運動に変
える。スライドブロック６３の直線運動はブラケット７
０の回転運動に変換される。

【００３９】すなわち、シャフト６９を軸中心にして、
支持腕２０ＣがＸＺ平面で回転運動をすることになる。
支持腕２０Ｃの最終回転量、すなわち、θ２軸微調つま
み２１の回転操作位置の最終位置決めはθ２軸固定ねじ
２２の回転操作することにより、シャフト６０をθ２軸
固定ねじ２２で押さえることにより、位置固定する。

【００４０】次に、図２２と図２３により前記θ３軸微
調機構Ｆの詳細な構成について説明する。図２２は平面
図であり、図２３は正面図である。

【００４１】図２２に示されるように、θ３軸微調つま
み２３はシャフト７２の一端に取り付けられている。シ
ャフト７２の他端は、支持腕２０Ａの前面のなるサイド
ベース７５を貫通して、かさ歯車７６が取り付けられて
いる。

【００４２】図２２において、サイドベース７５の前面
にハウジング７４が取り付けられている。ハウジング７
４はベアリング７３を内装し、ベアリング７３はシャフ
ト７２を軸受けする。ハウジング７４の外周に、θ３軸
固定ねじ２４がねじ結合し、θ３軸固定ねじ２４を回転
すると、シャフト７２の外周を押圧して固定する。

【００４３】サイドベース７５内には、サイドベース７
５と平行にシャフト７７が配置されている。サイドベー
ス７５の内壁面には、ハウジング７９が取り付けられて
いる。ハウジング７９はベアリング７８を内装し、ベア
リング７８はシャフト７７を軸受けする。シャフト７７
の一端には、かさ歯車７６が取り付けられ、シャフト７
２の回転方向を９０度変換させる。シャフト７７の他端
は台形ねじが形成され、ナット８０とねじ結合する。

【００４４】ナット８０はスライドブロック８１の座ぐ
り穴の端部に固定されている。スライドブロック８１は
サイドベース７５の内壁で移動可能に保持されている。
θ３軸微調整つまみ２３を回転すると、スライドブロッ
ク８１はサイドベース７５内で移動する。

【００４５】スライドブロック８１の他端は、リンク８
６の一端と連結している。リンク８６の他端はリンク受
８７に連結している。リンク受８７はテストヘッド１８
の側板８８に固定されている。また、軸受８９はサイド
・ベース７５に支持されている。相対向する同軸の２つ
の軸受８９でテストヘッド１８を回転支持する。

【００４６】このように、θ３軸微調機構Ｆを構成する
ことにより、θ３軸微調整つまみ２３の回転すると、シ
ャフト７２の回転運動が、かさ歯車７６でシャフト７７
に伝達される。

【００４７】シャフト７７の回転運動は、ナット８０の
ねじ送りにより、スライドブロック８１の直線運動に変
換される。スライドブロック８１の直線運動はリンク機
構により、テストヘッド１８の回転運動に変わる。

【００４８】このように、スライドブロック８１の移動
に伴い、リンク８６も移動し、リンク８６を支持してい
るリンク受８７を固定した側板８８がサイド・ベース７
５に支持された軸受８９を中心として、回転運動する。

【００４９】側板８８の回転位置、すなわち、θ３軸微
調つまみ２３の最終位置決めはθ３軸固定ねじ２４の回
転操作することにより、シャフト７２をθ３軸固定ねじ
２４で押さえることで、位置固定する。

【００５０】次に、以上のように構成されたこの実施の
形態の動作について説明する。まず、テストヘッド１８
上にテストボード１８Ａを載置した状態でテストヘッド
１８を昇降させるために、Ｚ軸ハンドル１２を回転して
ねじジャッキ８・９で、昇降台１５を上昇させる。すな
わち、テストヘッド１８を上昇させる。

【００５１】次に、架台３の長手方向（すなわち、図１
４に示すＹ方向）に移動台６を移動させ、Ｙ位置決めピ
ン１４により移動台６を架台３に仮位置決めする。次
に、Ｙ軸微調機構ＢのＹ軸微調つまみ７を回転し、移動
台６をＹ方向に微小量移動させて調整する。移動台６の
位置が決定した後、Ｙ軸固定ねじ１３でＹ軸微調つまみ
７の回転を固定する。

【００５２】次に、Ｘ軸微調機構ＣのＸ軸微調つまみ１
６を回転して、テストヘッド１８をＹ軸と直交する水平
方向に移動する。テストヘッド１８のＸ方向の移動の最
終位置はＸ軸固定ねじ１７を回転して、最終位置決めす
る。

【００５３】次に、Ｘ軸とＹ軸とが直交した水平面上
で、テストボード１８Ａの中心となるＺ軸を回転中心と
してテストヘッド１８を回転させるために、θ１軸微調
機構Ｄのθ１軸微調つまみ１９を回転する。θ１軸微調
つまみ１９を回転させることにより、テストボード１８
ＡをＸＹ平面上で微小量回転させる。

【００５４】テストヘッド１８が所定角度回転すると、
θ１軸固定ねじ１９Ａを回転して、θ１軸微調つまみ１
９の最終回転位置を決定する。

【００５５】次に、Ｙ軸方向から見て、テストボード１
８Ａの中心となるＺ軸を回転中心として、テストヘッド
１８をＸＺ平面で回転させるために、θ２軸微調機構Ｅ
のθ２軸微調つまみ２１を回転する。

【００５６】これにより、テストヘッド１８の中心を軸
として、テストヘッド１８をＸＺ平面で微小回転して位
置合わせさせる．

【００５７】テストヘッド１８が所定量回転すると、θ
２軸固定ねじ２２を回転して、θ２軸微調つまみ２１の
最終回転位置、すなわち、テストヘッド１８の最終回転
位置を決定して位置固定する。

【００５８】次に、Ｘ軸方向から見て、テストボード１
８Ａの中心となるＺ軸を回転中心として、テストヘッド
１８をＹＺ平面で回転させるために、θ３軸微調機構Ｆ
のθ３軸微調つまみ２３を回転する。

【００５９】テストヘッド１８を所定量回転させると、
θ３軸固定ねじ２４を回転し、θ３軸固定ねじ２４によ
り、θ３軸微調つまみ２３を、すなわち、テストヘッド
１８の最終回転位置を決定する。

【００６０】このように、Ｚ軸ハンドル１２、Ｙ軸微調
つまみ７、Ｘ軸微調つまみ１６、θ１軸微調つまみ１
９、θ２軸微調つまみ２１、θ３軸微調つまみ２３、を
順次操作することにより、ＩＣテスタのテストヘッド用
接続台をオートハンドラと接続する際に、オートハンド
ラを移動することなく、図２４に示すように、選別基板
９０を有するオートハンドラ９１にＩＣソケット（図２
４では図示せず）とコンタクトブロック９２を有するテ
ストボード１８Ａを載置したＩＣテスタのテストヘッド
をオートハンドラに容易に接続することができる。

【００６１】

【発明が解決しようとする課題】従来のＩＣテスタのテ
ストヘッド用接続台は、テストヘッド１８を昇降するＺ
軸昇降機構Ａを備えている。また、テストヘッド１８を
Ｘ軸方向あるいはＹ軸方向に微小移動するＸ軸微調機構
ＣとＹ軸微調機構Ｂを備えている。さらに、Ｚ軸を回転
中心とするθ１軸微調機構Ｄと、Ｙ軸を回転中心とする
θ２軸微調機構Ｅと、Ｘ軸を回転中心とするθ３軸微調
機構Ｆを備えている。

【００６２】従来のＩＣテスタのテストヘッド用接続台
は微調機構を多数備えているので、テストヘッドとオー
トハンドラを精密に位置合わせできるが、従来より簡易
に接続する接続台が要望されている。

【００６３】この発明は、第１のレバーを操作するとテ
ストヘッドをＸ軸方向に移動可能に解放あるいは固着
し、第２のレバーを操作するとＺ軸を回転中心としてテ
ストヘッドを解放あるいは固着することにより、従来よ
り簡易に接続するＩＣテスタのテストヘッド用接続台の
提供を目的とする。

【００６４】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明は、ＩＣテスタのテストヘッドを搭載する
接続台であって、オートハンドラ９１にテストヘッド１
８を接続するためにテストヘッド１８を昇降させるＺ軸
昇降機構Ａと、オートハンドラ９１にテストヘッド１８
を近接あるいは離反させるためにテストヘッド９１を水
平方向に移動させるＹ軸微調機構Ｂと、ＸＺ平面上であ
って、テストヘッド１８のＸ軸方向の均等分割線上に回
転中心をもち、テストヘッド１８をＸＺ平面上で回転す
るθ２軸微調機構Ｅと、ＹＺ平面上であって、テストヘ
ッド１８のＹ軸方向の均等分割線上に回転中心をもち、
テストヘッド１８をＹＺ平面上で回転するθ３軸微調機
構Ｆと、第１のレバー１Ａを操作することによりＹ軸微
調機構Ｂの移動方向と直交する水平方向にテストヘッド
１８を移動可能に解放あるいは固着する第１の連結機構
Ｇと、第２のレバー２Ａを操作することによりテストヘ
ッド１８のＸＹ平面上の中心となるＺ軸を中心としてテ
ストヘッド１８をＸＹ平面上に回転可能に解放あるいは
固着する第２の連結機構Ｈと、を備える。そして、第１
の連結機構Ｇは、第１のスライド基板４６と第２のスラ
イド基板４６を連結板２０Ａで結合し、第１のスライド
基板４６と第２のスライド基板４６を昇降台１５とＸ軸
方向にすべり結合させ、第１のレバー１Ａを第１の板ば
ね１Ｂで第１のラッチレバー１Ｃの第１の端部に結合
し、昇降台１５に第１のラッチレバー１Ｃを回転可能に
結合し、第１のラッチレバー１Ｃの第１の端部と反対側
の第２の端部に第１の突起１Ｄを形成し、第１のラッチ
レバー１Ｃの第１の突起１Ｄと挿抜可能に結合する第１
の溝１Ｅをもつ第１のストッパ１Ｆを第１のスライド基
板４６に固定してなる。 また、第２の連結機構Ｈは、テ
ストヘッド１８のＸＹ平面上の中心となるＺ軸を中心に
回転するようアーム２０Ｂを連結板２０Ａに回転結合
し、第２のレバー２Ａを第２の板ばね２Ｂで第２のラッ
チレバー２Ｃの第１の端部に結合し、連結板２０Ａと結
合する第１のスライド基板４６に第２のラッチレバー２
Ｃを回転可能に結合し、第２のラッチレバー２Ｃの第１
の端部と反対側の第２の端部に第２の突起２Ｄを形成
し、第２のラッチレバー２Ｃの第２の突起２Ｄと挿抜可
能に結 合する第２の溝２Ｅをもつ第２のストッパ２Ｆを
アーム２０Ｂに固定してなる。

【００６５】この発明のＩＣテスタのテストヘッド用接
続台によれば、Ｚ軸昇降機構Ａの操作により、テストヘ
ッド１８を昇降し、Ｙ軸微調機構Ｂの操作によりテスト
ヘッド１８を水平方向に移動させる。さらに、θ２軸微
調機構Ｅを操作することにより、テストヘッド１８の中
心を軸としてＸＺ平面でテストヘッド１８を回転させ、
θ３軸微調機構Ｆを操作することにより、テストヘッド
１８の中心を軸としてＹＺ平面でテストヘッド１８を回
転させる。これらのＹ軸微調機構Ｂ、θ２軸微調機構
Ｅ、θ３軸微調機構Ｆでテストヘッド１８を微小移動
し、テストヘッド１８をオートハンドラ９１に接続す
る。さらに、第１の連結機構Ｇを操作することによりＹ
軸微調機構Ｂの移動方向と直交する水平方向にテストヘ
ッド１８を移動可能に解放あるいは固着させ、第２の連
結機構Ｈを操作することにより、テストヘッド１８の中
心を軸としてテストヘッド１８をＸＹ平面で回転可能に
解放あるいは固着させる。つまり、第１のスライド基板
４６と第２のスライド基板４６を連結板２０Ａで結合
し、第１のスライド基板４６と第２のスライド基板４６
を昇降台１５とＸ軸方向にすべり結合させ、第１のレバ
ー１Ａを第１の板ばね１Ｂで第１のラッチレバー１Ｃの
第１の端部に結合し、昇降台１５に第１のラッチレバー
１Ｃを回転可能に結合し、第１のラッチレバー１Ｃの第
１の端部と反対側の第２の端部に第１の突起１Ｄを形成
し、第１のラッチレバー１Ｃの第１の突起１Ｄと挿抜可
能に結合する第１の溝１Ｅをもつ第１のストッパ１Ｆを
第１のスライド基板４６に固定した第１の連結機構Ｇに
よって、第１のレバー１Ａを移動することによりＹ軸微
調機構Ｂの移動方向と直交する水平方向にテストヘッド
１８を移動可能に解放あるいは固着する。 また、テスト
ヘッド１８のＸＹ平面上の中心となるＺ軸を中心に回転
するようアーム２０Ｂを連結板２０Ａに回転結合し、第
２のレバー２Ａを第２の板ばね２Ｂで第２のラッチレバ
ー２Ｃの第１の端部に結合し、連結板２０Ａと結合する
第１のスライド基板４６に第２のラッチレバー２Ｃを回
転可能に結合し、第２のラッチレバー２Ｃの第１の端部
と反対側の第２の端部に第２の突起２Ｄを形成し、第２
のラッチレバー２Ｃの第２の突起２Ｄと挿抜可能に結合
する第２の溝２Ｅを もつ第２のストッパ２Ｆをアーム２
０Ｂに固定した第２の連結機構Ｈによって、第２のレバ
ー２Ａを移動することによりテストヘッド１８のＸＹ平
面上の中心となるＺ軸を中心としてテストヘッド１８を
ＸＹ平面上に回転可能に解放あるいは固着する。

【００６６】

【発明の実施の形態】 次に、この発明によるＩＣテスタ
のテストヘッド用接続台の一実施の形態を図面に基づき
説明する。図１と図２はこの発明の一実施の形態の構成
を示す図である。図１は正面図であり、従来技術の図１
０に対応している。図２は右側面図であり、従来技術の
図１１に対応している。なお、以下、従来と同符号の説
明は省略する。

【００６７】図１と図２を参照し、この一実施の形態の
全体の概略的構成から説明する。図１において、Ｚ軸昇
降機構Ａは従来と同じであり、オートハンドラ９１にテ
ストヘッド１８を接続するためにテストヘッド１８を昇
降させる。Ｙ軸微調機構Ｂは従来と同じであり、オート
ハンドラ９１にテストヘッド１８を近接あるいは離反さ
せるためにテストヘッド１８を水平方向に移動させる。

【００６８】また、以下、図１から図９において、θ２
軸微調機構Ｅとθ３軸微調機構Ｆの符号は従来と同じで
あるので、特に図示していない。θ２軸微調機構Ｅは、
ＸＺ平面上であって、テストヘッド１８のＸ軸方向の均
等分割線上に回転中心をもち、テストヘッド１８をＸＺ
平面上で回転させる。θ３軸微調機構Ｆは、ＹＺ平面上
であって、テストヘッド１８のＹ軸方向の均等分割線上
に回転中心をもち、テストヘッド１８をＹＺ平面上で回
転させる。

【００６９】図１に戻り、説明する。図１では、従来の
Ｘ軸微調機構Ｃに代わり連結機構Ｇを設けている。ま
た、図１では、従来のθ１軸微調機構Ｄに代わり連結機
構Ｈを設けている。

【００７０】連結機構Ｇは、レバー１Ａを操作すること
によりＹ軸微調機構Ｂの移動方向と直交する水平方向に
テストヘッド１８を移動可能に解放あるいは固着する。
連結機構Ｈは、レバー２Ａを操作することによりテスト
ヘッド１８のＸＹ平面上の中心となるＺ軸を中心として
テストヘッド１８をＸＹ平面上に回転可能に解放あるい
は固着する。

【００７１】図２は、図１の左側面図である。図２に示
されるように、レバー１Ａとレバー２Ａは操作を容易に
するため、昇降台１５から突出している。

【００７２】次に、連結機構Ｇの構成を図３と図４によ
り説明する。図３は図１の平面断面図であり、図４は図
３の右側面図である。図１の１Ａはレバー、１Ｂは板ば
ね、１Ｃはラッチレバー、１Ｆはストッパ、１Ｇは引張
コイルばねである。

【００７３】図３・４に示されるように、レバー１Ａは
板ばね１Ｂでラッチレバー１Ｃの第１の端部に結合して
いる。ラッチレバー１Ｃは昇降台１５に回転可能に結合
している。ラッチレバー１Ｃの第１の端部と反対側の第
２の端部には突起１Ｄを形成いる。ストッパ１Ｆは溝１
Ｅを形成しており、溝１Ｅは突起１Ｄと挿抜可能に結合
する。ストッパ１Ｆはスライド基板４６に固定されてい
る。

【００７４】次に、連結機構Ｇの作用を説明する。図３
において、引張コイルばね１Ｇはラッチレバー１Ｃを時
計方向に回転する力を付勢している。図３では、ラッチ
レバー１Ｃの突起１Ｄはストッパ１Ｆの溝１Ｅに噛み合
っている。したがって、テストヘッド１８は固着され、
Ｘ方向には移動しない。ラッチレバー１Ｃの突起１Ｄは
ストッパ１Ｆの溝１Ｅに噛み合っている。

【００７５】図３において、レバー１Ａを反時計方向に
回転すると、ラッチレバー１Ｃの突起１Ｄはストッパ１
Ｆの溝１Ｅから離れ、スライド基板４６はＸ方向に移動
可能となる。すなわち、テストヘッド１８はＸ方向の移
動が解除される。

【００７６】次に、連結機構Ｈの構成を図５と図６によ
り説明する。図５は図１の平面断面図であり、図６は図
５の右側面図である。図１の２Ａはレバー、２Ｂは板ば
ね、２Ｃはラッチレバー、２Ｆはストッパ、２Ｇは引張
コイルばねである。

【００７７】図５・６に示されるように、レバー２Ａは
板ばね２Ｂでラッチレバー２Ｃの第１の端部に結合して
いる。ラッチレバー２Ｃは連結板２０Ａと結合するスラ
イド基板４６に回転可能に結合している。ラッチレバー
２Ｃの第１の端部と反対側の第２の端部には突起２Ｄを
形成する。ストッパ２Ｆは溝２Ｅを形成しており、溝２
Ｅは突起２Ｄと挿抜可能に結合する。ストッパ２Ｆはア
ーム２０Ｂの側壁に固定されている。

【００７８】次に、連結機構Ｈの作用を説明する。図５
において、引張コイルばね２Ｇはラッチレバー２Ｃを時
計方向に回転する力を付勢している。図５では、ラッチ
レバー２Ｃの突起２Ｄはストッパ２Ｆの溝２Ｅに噛み合
っている。したがって、テストヘッド１８は固着され、
ＸＹ平面上の中心となるＺ軸を中心として回転しない。
ラッチレバー２Ｃの突起２Ｄはストッパ２Ｆの溝２Ｅに
噛み合っている。

【００７９】図５において、レバー２Ａを反時計方向に
回転すると、ラッチレバー２Ｃの突起２Ｄはストッパ２
Ｆの溝２Ｅから解除され、アーム２０Ｂは回転可能とな
る。すなわち、テストヘッド１８はＺ軸を中心として回
転自在となる。

【００８０】図７は連結機構Ｇの部分構成図である。図
７に示されるように、レバー１Ａの前部には案内体１Ｈ
が配置されている。案内体１Ｈには、概Ｌ字状の鍵穴が
形成されている。図７では、レバー１Ａは引張コイルば
ね１Ｇにより操作面の左方向に移動する力を与えられて
いるが、レバー１Ａは前記鍵穴の左側壁に当接して、こ
れ以上移動しない。すなわち、図７では、テストヘッド
１８のＸ方向の移動を固着する状態を保持する。

【００８１】図７において、レバー１Ａを右方向に移動
し、下に押し下げると前記鍵穴の下溝の左側壁にレバー
１Ａが当接し、ラッチレバー１Ｃとストッパ１Ｆの解除
状態を保持する。前記保持状態からレバー１Ａを押し上
げると、板ばね１Ｂの復元力と引張コイルばね１Ｇの引
張力で、図７の状態にレバー１Ａが自動復帰する。

【００８２】図８は連結機構Ｈの部分構成図である。図
８に示されるように、レバー２Ａの前部には案内体２Ｈ
が配置されている。案内体２Ｈには、概Ｌ字状の鍵穴が
形成されている。図８では、レバー２Ａは引張コイルば
ね２Ｇにより操作面の左方向に移動する力を与えられて
いるが、レバー２Ａは前記鍵穴の左側壁に当接して、こ
れ以上移動しない。すなわち、図８では、テストヘッド
１８のＺ軸の回転を固着する状態を保持する。

【００８３】図８において、レバー２Ａを右方向に移動
し、下に押し下げると前記鍵穴の下溝の左側壁にレバー
２Ａが当接し、ラッチレバー２Ｃとストッパ２Ｆの解除
状態を保持する。前記保持状態からレバー２Ａを押し上
げると、板ばね２Ｂの復元力と引張コイルばね２Ｇの引
張力で、図８の状態にレバー２Ａが自動復帰する。

【００８４】このように、レバー１Ａ・２Ａを操作する
ことにより、ＩＣテスタのテストヘッド用接続台をオー
トハンドラと接続する際に、オートハンドラを移動する
ことなく、図９に示すように、選別基板９０を有するオ
ートハンドラ９１にＩＣソケット（図９では図示せず）
とコンタクトブロック９２を有するテストボード１８Ａ
を載置したＩＣテスタのテストヘッドをオートハンドラ
に簡易に接続することができる。

【００８５】

【発明の効果】この発明は、テストヘッドを昇降させる
Ｚ軸昇降機構と、架台の長手方向にテストヘッドを移動
させるＹ軸微調機構と、Ｘ軸とＺ軸とが直交する平面上
でテストヘッドの中心を軸として回転するθ２軸微調機
構と、Ｙ軸とＺ軸とが直交する平面上でテストヘッドの
中心を軸として回転するθ３軸微調機構とをもち、第１
のレバーを操作するとテストヘッドをＸ軸方向に移動可
能に解放あるいは固着し、第２のレバーを操作するとＺ
軸を回転中心としてテストヘッドを解放あるいは固着す
ることにより、簡易にテストヘッドとオートハンドラを
接続することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のＩＣテスタのテストヘッド用接続台
の一実施の形態の全体的構成を示す正面図である。

【図２】図１の側面図である。

【図３】この発明の連結機構Ｇの構成図である。

【図４】図３の右側面図である。

【図５】この発明の連結機構Ｈの構成図である。

【図６】図３の右側面図である。

【図７】連結機構Ｇの部分構成図である。

【図８】連結機構Ｈの部分構成図である。

【図９】図１の状態変化図である。

【図１０】従来技術のＩＣテスタのテストヘッド用接続
台の全体的構成を示す正面図である。

【図１１】図１０の正面図である。

【図１２】図１０の平面図である。

【図１３】図１０のテストヘッド用接続台のＹ軸微調機
構の構成を示す平面図である。

【図１４】図１３の正面図である。

【図１５】図１０のテストヘッド用接続台のＸ軸微調機
構の構成を示す平面図である。

【図１６】図１５の右側面図である。

【図１７】図１０のテストヘッド用接続台のθ１軸微調
機構の構成を示す平面図である。

【図１８】図１７の正面図である。

【図１９】図１７の右側面図である。

【図２０】図１０のテストヘッド用接続台のθ２軸微調
機構の構成を示す左側面図である。

【図２１】図２０の断面図である。

【図２２】図１０のテストヘッド用接続台のθ３軸微調
機構の構成を示す平面図である。

【図２３】図２２の正面図である。

【図２４】図１０の状態変化図である。

【符号の説明】

１Ａ レバー １Ｂ 板ばね １Ｃ ラッチレバー １Ｄ 突起 １Ｅ 溝 １Ｆ ストッパ １Ｇ 引張コイルばね １Ｈ 案内体 ２Ａ レバー ２Ｂ 板ばね ２Ｃ ラッチレバー ２Ｄ 突起 ２Ｅ 溝 ２Ｆ ストッパ ２Ｇ 引張コイルばね ２Ｈ 案内体 １８ テストヘッド ９１ オートハンドラ Ａ Ｚ軸昇降機構 Ｂ Ｙ軸微調機構 Ｅ θ２軸微調機構 Ｆ θ３軸微調機構 Ｇ 連結機構 Ｈ 連結機構

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ＩＣテスタのテストヘッドを搭載する接
   続台であって、 オートハンドラ(91)にテストヘッド(18)を接続するため
   にテストヘッド(18)を昇降させるＺ軸昇降機構(A) と、 オートハンドラ(91)にテストヘッド(18)を近接あるいは
   離反させるためにテストヘッド(91)を水平方向に移動さ
   せるＹ軸微調機構(B) と、 ＸＺ平面上であって、テストヘッド(18)のＸ軸方向の均
   等分割線上に回転中心をもち、テストヘッド(18)をＸＺ
   平面上で回転するθ２軸微調機構(E) と、 ＹＺ平面上であって、テストヘッド(18)のＹ軸方向の均
   等分割線上に回転中心をもち、テストヘッド(18)をＹＺ
   平面上で回転するθ３軸微調機構(F) と、 第１のレバー(1A)を操作することによりＹ軸微調機構
   (B) の移動方向と直交する水平方向にテストヘッド(18)
   を移動可能に解放あるいは固着する第１の連結機構(G)
   と、 第２のレバー(2A)を操作することによりテストヘッド(1
   8)のＸＹ平面上の中心となるＺ軸を中心としてテストヘ
   ッド(18)をＸＹ平面上に回転可能に解放あるいは固着す
   る第２の連結機構(H) と、を備え、 第１の連結機構(G) は、第１のスライド基板(46)と第２
   のスライド基板(46)を連結板(20A) で結合し、第１のス
   ライド基板(46)と第２のスライド基板(46)を昇降台(15)
   とＸ軸方向にすべり結合させ、第１のレバー(1A)を第１
   の板ばね(1B)で第１のラッチレバー(1C)の第１の端部に
   結合し、昇降台(15)に第１のラッチレバー(1C)を回転可
   能に結合し、第１のラッチレバー(1C)の第１の端部と反
   対側の第２の端部に第１の突起(1D)を形成し、第１のラ
   ッチレバー(1C)の第１の突起(1D)と挿抜可能に結合する
   第１の溝(1E)をもつ第１のストッパ(1F)を第１のスライ
   ド基板(46)に固定してなり、 第２の連結機構(H) は、テストヘッド(18)のＸＹ平面上
   の中心となるＺ軸を中心に回転するようアーム(20B) を
   連結板(20A) に回転結合し、第２のレバー(2A)を第２の
   板ばね(2B)で第２のラッチレバー(2C)の第１の端部に結
   合し、連結板(20A) と結合する第１のスライド基板(46)
   に第２のラッチレバー(2C)を回転可能に 結合し、第２の
   ラッチレバー(2C)の第１の端部と反対側の第２の端部に
   第２の突起(2D)を形成し、第２のラッチレバー(2C)の第
   ２の突起(2D)と挿抜可能に結合する第２の溝(2E)をもつ
   第２のストッパ(2F)をアーム(20B) に固定してなること
   を特徴とするＩＣテスタのテストヘッド用接続台。
2. 【請求項２】 第１の連結機構(G) において、 第１の引張コイルばね(1G)は第１のラッチレバー(1C)を
   第１のストッパ(1F)と連結する第１の方向に移動する力
   を付勢し、第１のレバー(1A)を第１の方向と逆の第２の
   方向に移動すると第１のラッチレバー(1C)と第１のスト
   ッパ(1F)が解除すること を特徴とする請求項１記載のＩ
   Ｃテスタのテストヘッド用接続台。
3. 【請求項３】 第２の連結機構(H) において、 第２の引張コイルばね(2G)は第２のラッチレバー(2C)を
   第２のストッパ(2F)と連結する第１の方向に移動する力
   を付勢し、第２のレバー(2A)を第１の方向と逆の第２の
   方向に移動すると第２のラッチレバー(2C)と第２のスト
   ッパ(2F)が解除すること を特徴とする請求項１記載のＩ
   Ｃテスタのテストヘッド用接続台。
4. 【請求項４】 第１の連結機構(G) において、 第１の案内体(1H)は第１のレバー(1A)の運動を規制する
   第１の鍵穴を形成し、第１の鍵穴の第１の端壁に第１の
   レバー(1A)が当接して第１のレバー(1A)は第１の方向の
   移動を停止し、第１のレバー(1A)を第１の方向と逆の第
   ２の方向に移動し、第１のレバー(1A)を第１の鍵穴の第
   ２の端壁側の第１の段差部に下設すると、第１のラッチ
   レバー(1C)と第１のストッパ(1F)の解除状態を保持する
   こと を特徴とする請求項２記載のＩＣテスタのテストヘ
   ッド用接続台。
5. 【請求項５】 第２の連結機構(H) において、 第２の案内体(2H)は第２のレバー(2A)の運動を規制する
   第２の鍵穴を形成し、第２の鍵穴の第１の端壁に第２の
   レバー(2A)が当接して第２のレバー(2A)は第１の方向の
   移動を停止し、第２のレバー(2A)を第１の方向と逆の第
   ２の方向に移動し、第２のレバー(2A)を第２の鍵穴の第
   ２の端壁側の第２の段差部に下設すると、第２のラッチ
   レバー(2C)と第２のストッパ(2F)の解除状態を保持する
   こと を特徴とする請求項３記載のＩＣテスタのテストヘ
   ッド用接続台。