JPH07244119A - 電子テストヘッド位置決め装置 - Google Patents

電子テストヘッド位置決め装置

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JPH07244119A
JPH07244119A JP6218677A JP21867794A JPH07244119A JP H07244119 A JPH07244119 A JP H07244119A JP 6218677 A JP6218677 A JP 6218677A JP 21867794 A JP21867794 A JP 21867794A JP H07244119 A JPH07244119 A JP H07244119A
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test head
axis
electronic test
opening
shaft
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JP6218677A
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Alyn R Holt
アリン・アール・ホルト
Robert E Matthiessen
ロバート・イー・マッシエッセン
Christopher L West
クリストファー・エル・ウエスト
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Original Assignee
InTest Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 テストヘッドのデバイスハンドラへのドッキ
ング及びドッキングの解除を容易化することができるテ
ストヘッド位置決め装置を提供する。 【構成】 位置決め装置２００は、テストヘッド１１０
を６つの自由度でもって移動させることができ、これに
よって電子テストヘッド１１０のＩＣハンドラ１２０
(デバイスハンドラ)とのドッキング及びドッキングの解
除が容易化される。また、位置決め装置２００の構造が
非常に簡素なものとなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は電子テストヘッド位置
決め装置の技術分野に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】集積回路(ＩＣ)及びその他の電子デバイ
ス(電子機器)の自動検査においては、デバイスを適切な
温度にし、かつ検査されるべきデバイスを所定の位置に
配置する特別なデバイスハンドラ(デバイス取り扱い機)
が用いられてきている。電子検査そのものは、デバイス
ハンドラと接続してドッキングさせることが要求される
テストヘッドを含む大きくて高価な自動検査システムに
よって行われる。このような検査システムにおいては、
テストヘッドはたいてい非常に重く、４０〜３００キロ
グラムくらいである。このように重くなるのは、検査中
に電子回路ができるだけデバイスに接近して配置される
ように、テストヘッドが精密な高周波数制御とデータ信
号とを用いるからである。したがって、精巧なデバイス
の正確でかつ迅速な検査を成し遂げるために、テストヘ
ッドには電子回路が高密度で組み込まれている。
【０００３】テストヘッド位置決めシステムは、テスト
ヘッドをデバイスハンドラに対して相対的に位置決めす
るために用いられる。テストヘッドがデバイスハンドラ
に対して相対的に正確に位置決めされたときには、テス
トヘッドとデバイスハンドラとが同調されたといわれ
る。テストヘッドとデバイスハンドラとが同調されたと
きには、こわれやすいテストヘッドとデバイスハンドラ
の電気コネクタとが一体化される(すなわち、ドッキン
グされる)ことができ、テストヘッドとデバイスハンド
ラとの間での検査信号のやりとりが可能となる。ドッキ
ングに先立って、こわれやすいテストヘッドとデバイス
ハンドラの電気コネクタとは、こわれやすい電気コネク
タの損傷を避けるために精密に同調されなければならな
い。
【０００４】支持構造物に沿って移動することができる
位置決め装置は、テストヘッドを、該テストヘッドがデ
バイスハンドラと接続してドッキングさせられるべき位
置である所望の位置に運ぶ。テストヘッドは、該テスト
ヘッドが６つの自由度(Ｘ、Ｙ、Ｚ、θＸ、θＹ、θＺ)
をもつことができるようにして位置決め装置に取り付け
られる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】テストヘッドとそれら
の各位置決め装置とは、超清浄室環境下で用いられるこ
とが多い。しかしながら、超清浄室環境を作り出すのは
極端に高価となることが多い。かくして、超清浄環境で
使用できる空間は、プレミアムとして用いられるだけで
ある。
【０００６】種々のテストヘッド位置決め装置が超清浄
室環境下で広く役立てられている。これらのテストヘッ
ド位置決め装置のうちのある種のものは、種々の望まし
い特徴をもっているものの、これらのテストヘッド位置
決め装置の各々が適切な操作を行う上で必要とする空間
の量は望ましくはないであろう。本発明は、上記従来の
問題点等を解決するためになされたものであって、電子
テストヘッドをデバイスハンドラに容易にドッキングさ
せることができ、かつドッキングを解除させることがで
きる簡素な構造の電子テストヘッド位置決め装置を提供
することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明にかかる位置決め
装置は、電子テストヘッドとデバイスハンドラとのドッ
キング及びドッキングの解除を容易化する。該位置決め
装置は、テストヘッドの第１の軸まわりの回転を許容す
る。該位置決め装置は、テストヘッドを第１の軸と垂直
な第２の軸に沿って移動させるためのリンクアーム構造
(連結アーム機構)を含んでいる。
【０００８】具体的には、第１の発明は、電子テストヘ
ッドをデバイスハンドラにドッキングさせ及びドッキン
グを解除させるための電子テストヘッド位置決め装置で
あって、上記電子テストヘッドを第１の軸のまわりに回
転させるためのヘッド回転手段と、上記ヘッド回転手段
に連結された複数のリンクアーム構造を含む上下移動手
段とを含み、上記複数のリンクアーム構造中の第１番目
のものが、上記複数のリンクアーム構造中の第２番目の
ものに連結されて、上記電子テストヘッドを上記第１の
軸と垂直な第２の軸に沿って上下方向に移動させるため
の、長さの増減が可能なはさみ状部材を形成しているこ
とを特徴とする。
【０００９】第２の発明は、電子テストヘッドをデバイ
スハンドラにドッキングさせ及びドッキングを解除させ
るための電子テストヘッド位置決め装置であって、上記
電子テストヘッドを第１の軸のまわりに回転させるため
のヘッド回転手段と、上記ヘッド回転手段に連結され
た、上記電子テストヘッドを上記第１の軸と垂直な第２
の軸のまわりに回転させるための可動台後部部材と、上
記可動台後部部材の上に配置されかつこれに連結された
複数のリンクアーム構造を含む上下移動手段とを含み、
上記複数のリンクアーム構造中の第１番目のものが、上
記複数のリンクアーム構造中の第２番目のものに連結さ
れて、上記電子テストヘッドを上記第２の軸に沿って上
方及び下方に移動させるための、長さの増減が可能なは
さみ状部材を形成していることを特徴とする。
【００１０】第３の発明は、第１の発明にかかる電子テ
ストヘッド位置決め装置において、ヘッド回転手段に連
結された、上記電子テストヘッドを上記第１の軸に沿っ
て移動させるための第１水平移動手段をさらに含むこと
を特徴とする。
【００１１】第４の発明は、第３の発明にかかる電子テ
ストヘッド位置決め装置において、上記第１水平移動手
段が、a)上記ヘッド回転手段に連結され、第１開口部を
有する第１ベアリング部材と、第２開口部を有する第２
ベアリング部材とを含む移動台基部と、b)夫々上記上下
移動手段に連結された第１シャフト及び第２シャフトと
を含んでいて、c)上記第１シャフトが上記第１ベアリン
グ部材の上記第１開口部を通って伸び、上記第２シャフ
トが上記第２ベアリング部材の上記第２開口部を通って
伸び、これによって上記電子テストヘッドが、上記移動
台基部を上記第１シャフト及び上記第２シャフトに沿っ
て摺動させることにより、上記第１の軸に沿って移動す
るようになっていることを特徴とする。
【００１２】第５の発明は、第１の発明にかかる電子テ
ストヘッド位置決め装置において、上記電子テストヘッ
ドを上記第１の軸及び上記第２の軸の両方に垂直な第３
の軸に沿って移動させるための水平移動手段をさらに含
んでいて、該水平移動手段が、a)上記ヘッド回転手段に
連結された手首部と、b)上記上下移動手段に連結され、
第３開口部を有する第１移動台壁と第４開口部を有する
第２移動台壁とを含む移動台基部と、c)上記第１移動台
壁の上記第３開口部を通って、かつ上記第２移動台壁の
上記第４開口部を通って伸び、その反対側の端部で上記
手首部から伸びる少なくとも１つのシャフトを含むシャ
フト手段と、d)上記移動台基部に連結された、上記電子
テストヘッドの上記第３の軸に沿った移動を選択的に妨
げるためのロック手段とを含むことを特徴とする。
【００１３】第６の発明は、第１の発明にかかる電子テ
ストヘッド位置決め装置において、上記電子テストヘッ
ドを上記第１の軸及び上記第２の軸の両方に垂直な第３
の軸のまわりに移動させるための水平移動手段をさらに
含んでいて、該水平移動手段が、a)上記ヘッド回転手段
に連結された手首部と、b)上記上下移動手段に連結さ
れ、第３開口部を有する第１移動台壁と第４開口部を有
する第２移動台壁とを含む移動台基部と、c)上記第１移
動台壁の上記第３開口部を通って、かつ上記第２移動台
壁の上記第４開口部を通って伸び、その反対側の端部で
上記手首部から伸びる少なくとも１つのシャフトを含む
シャフト手段と、d)上記移動台基部に連結された、上記
電子テストヘッドの上記第３の軸のまわりの移動を選択
的に妨げるためのロック手段とを含むことを特徴とす
る。
【００１４】第７の発明は、第２の発明にかかる電子テ
ストヘッド位置決め装置において、ヘッド回転手段に連
結された、上記電子テストヘッドを上記第１の軸に沿っ
て移動させるための第１水平移動手段をさらに含むこと
を特徴とする。
【００１５】第８の発明は、第７の発明にかかる電子テ
ストヘッド位置決め装置において、上記第１水平移動手
段が、a)上記ヘッド回転手段に連結され、第１開口部を
有する第１ベアリング部材と第２開口部を有する第２ベ
アリング部材とを含む移動台基部と、b)夫々上記上下移
動手段に連結された第１シャフト及び第２シャフトとを
含んでいて、c)上記第１シャフトが上記第１ベアリング
部材の上記第１開口部を通って伸び、上記第２シャフト
が上記第２ベアリング部材の上記第２開口部を通って伸
び、これによって上記電子テストヘッドが、上記移動台
基部を上記第１シャフト及び上記第２シャフトに沿って
摺動させることにより、上記第１の軸に沿って移動する
ようになっていることを特徴とする。
【００１６】第９の発明は、第２の発明にかかる電子テ
ストヘッド位置決め装置において、上記電子テストヘッ
ドを上記第１の軸及び上記第２の軸の両方に垂直な第３
の軸に沿って移動させるための水平移動手段をさらに含
んでいて、該水平移動手段が、a)上記ヘッド回転手段に
連結された手首部と、b)上記上下移動手段に連結され、
第３開口部を有する第１移動台壁と第４開口部を有する
第２移動台壁とを含む移動台基部と、c)上記第１移動台
壁の上記第３開口部を通って、かつ上記第２移動台壁の
上記第４開口部を通って伸び、その反対側の端部で上記
手首部から伸びる少なくとも１つのシャフトを含むシャ
フト手段と、d)上記移動台基部に連結された、上記電子
テストヘッドの上記第３の軸に沿った移動を選択的に妨
げるためのロック手段とを含むことを特徴とする。
【００１７】第１０の発明は、第２の発明にかかる電子
テストヘッド位置決め装置において、上記電子テストヘ
ッドを上記第１の軸及び上記第２の軸の両方に垂直な第
３の軸のまわりに移動させるための水平移動手段をさら
に含んでいて、該水平移動手段が、a)上記ヘッド回転手
段に連結された手首部と、b)上記上下移動手段に連結さ
れ、第３開口部を有する第１移動台壁と第４開口部を有
する第２移動台壁とを含む移動台基部と、c)上記第１移
動台壁の上記第３開口部を通って、かつ上記第２移動台
壁の上記第４開口部を通って伸び、その反対側の端部で
上記手首部から伸びる少なくとも１つのシャフトを含む
シャフト手段と、d)上記移動台基部に連結された、上記
電子テストヘッドの上記第３の軸のまわりの移動を選択
的に妨げるためのロック手段とを含むことを特徴とす
る。
【００１８】
【実施例】以下、本発明の実施例を具体的に説明する。
ここにおいて図１を参照すれば、これには本発明の好ま
しい実施例にかかるテストヘッド位置決めシステム２０
０が示されている。図示されているように、位置決めシ
ステム２００は、ＩＣハンドラ１２０(集積回路取り扱
い機１２０)の電気コネクタ(図示せず)とドッキングさ
せるために、テストヘッド１１０を検査システムの方に
運ぶ。トランジスタ、チップあるいはダイス(dies)等の
他の電子デバイスがデバイスハンドラによって取り扱わ
れてもよいことは理解されるであろう。操作中において
は、位置決めシステム２００は、テストヘッド１１０
を、ＩＣハンドラ１２０にドッキングされるよう正確に
かつ精密に移動させる。ドッキングは、例えば、ここに
参照編入されているスミスによる先行発明(米国特許第
４,７０５,４４７号)の中と、ここに参照編入されてい
るホルトによる先行発明(米国特許第４,８９３,０７４
号)の中とに一層完全に記載されているような手法で成
し遂げられる。後で詳細に記述されるであろうとおり、
テストヘッド１１０の位置は、６つの自由度Ｘ、Ｙ、
Ｚ、θＸ、θＹ、θＺでもって他の位置に正確に導かれ
る。図８に示されているように、テストヘッド１１０を
適切に配置するには、これがＩＣハンドラ１２０に対し
て正確に位置決めされるよう６つの自由度をもつことが
重要である。さらに、テストヘッド１１０の運動は、こ
れがただ２つの運動自由度(例えば、θＹ、Ｚ)のみでも
って移動するように規制されることができる。このよう
にすれば、テストヘッド１１０はＩＣハンドラ１２０に
対して容易にドッキング解除され及び再ドッキングされ
ることができ、これによりテストヘッド１１０のメンテ
ナンスが成し遂げられることができる。さらに、テスト
ヘッド１１０の運動は、これがただ１つの運動自由度
(例えば、Ｚ)のみでもって移動するように規制されるこ
とができる。このようにすれば、位置決めシステム２０
０がオペレータによって用いられているときには、テス
トヘッド１１０がＩＣハンドラ１２０に対して容易にド
ッキング解除され及び再ドッキングされることができ
る。
【００１９】位置決めシステム２００の詳細は図１中に
示されており、この中には移動台支持構造物組立体の頂
部を形成している２本のＩ字状ビーム４２a、４２bと２
本のレール８、９とが備わっている。２本の脚部４３
b、４３d(部分的に図示されている)が、ビーム４２bを
床から所定の距離のところに支持するよう、Ｉ字状ビー
ム４２bの両端部に取り付けられている。さらに、２本
の脚部４３a(部分的に図示されている)、４３cが、ビー
ム４２aを床から所定の距離のところに支持するよう、
Ｉ字状ビーム４２aの両端部に配設されている。各脚部
４３a、４３b、４３c、４３dの底部に、やぐら状構造物
の水準調整を容易化するためのレベルパッド８６(水準
調整部材)が配置されてもよい。このようにする代わり
に、テストヘッド位置決めシステム(例えば、脚のない)
が、ＩＣハンドラ１２０の上方の天井から吊り下げられ
ることも可能である。
【００２０】本発明の好ましい実施例においては、テス
トヘッド１１０が、テストヘッド取付リング１３０に直
接に又はヨーク１１２(繋梁)を介して取り付けられるこ
とが可能である。テストヘッド取付リング１３０の使用
については、ここに参照編入されている米国特許第５,
０３０,８６９号中に一層完全に記載されている。テス
トヘッド取付リング１３０の使用により、テストヘッド
１１０は、Ｙ軸と定義される１つの軸まわりに少なくと
も１８０°回転することが可能となる。テストヘッド１
１０のＹ軸まわりに回転する能力は、以下で一層完全に
記述されるであろうとおり、テストヘッド１１０のメン
テナンスを容易化する。
【００２１】図２に示されているように、テストヘッド
取付リング１３０は可動台側部４６に結合されている。
可動台側部４６は、例えば、矩形のビームであればよ
い。可動台側部４６は、他方、可動台後部３７に結合さ
れてもよい。可動台後部３７は、可動台側部４６に対し
て実質的に直角に結合されている。テストヘッド１１
０、テストヘッド取付リング１３、可動台側部４６及び
可動台後部３７の複合重心が、横置きシャフト３５a、
３５bの軸線と好ましく一致することを確実化するため
に、スペーサ３８、３９、４０が可動台後部３７と可動
台側部４６との間に介設されてもよい。
【００２２】横置きシャフト３５a、３５bは、夫々、対
応する開口部において手首部３４に連結されている。か
くして、手首部３４は、横置きシャフト３５a、３５bに
対しては静止している。手首部３４の底部にはもう１つ
の開口部が配設されている。手首シャフト３６が、手首
部３４の底部の開口部から、さらに可動台後部３７の開
口部を通って伸びている。手首シャフト３６は手首部３
４に連結されている。フランジ１３６が、可動台後部３
７を支持している手首シャフト３６の反対側の端部に配
設されてもよい。手首シャフト３６はＺ軸を定める。可
動台後部３７は、手首シャフト３６に対して回転するこ
とによって、Ｚ軸まわりに回転する。手首シャフト３６
のフランジと可動台後部３７との間に配置されたスラス
トベアリング８０(図示せず)は、可動台後部３７の回転
を容易化する。可動台後部３７のＺ軸まわりの移動は、
ロックレンチ３をはたらかせることにより妨げられるこ
とが可能である。
【００２３】手首シャフト３６は移動台基部２６に連結
されている。手首シャフト３６と移動台基部２６との間
の連結構造は図３に示されている。図３に示されている
ように、移動台基部２６は矩形開口部１０３を含んでい
る。手首シャフト３６は矩形開口部１０３を通り抜ける
ことにより手首部３４と可動台後部３７との間を伸びて
いる。係止部材４４及びロックカラー３１(係止継管)が
夫々矩形開口部１０３の対立する両側部に配設されてい
る。移動台壁２９a、２９b、２９c、２９d(図示せず)が
矩形開口部１０３のまわりに配設されている。部分的に
囲まれた空間部を形成するために、移動台天井部２９e
(図示せず)が移動台壁２９a〜２９dの頂部に配設されて
もよい。横置きシャフト３５aは、移動台壁２９a及びロ
ックカラー３１を通り抜けて伸び、そしてシャフトカラ
ー７４a(シャフト受管)のところで終わっている。同様
に、横置きシャフト３５bは、移動台壁２９b及び係止部
材４４を通り抜けて伸び、そしてシャフトカラー７４b
(シャフト受管)のところで終わっている。
【００２４】横置きシャフト３５a、３５bはＸ軸を定め
る。かくして、手首部３４は、ロックカラー３１及び係
止部材４４に対する横置きシャフト３５a、３５bの夫々
の摺動運動によってＸ軸に沿って移動することができ
る。Ｘ軸に沿った移動は、シャフトカラー７４a、７４b
によって規制される。手首部３４はまた横置きシャフト
３５a、３５bによって定まるＸ軸のまわりにも移動する
こともできる。手首部３４のＸ軸に沿った及びＸ軸まわ
りの両移動は、例えば夫々移動台壁２９a、２９bに隣合
って配設されたベアリング７２a、７２bによって容易化
される。手首部３４は、ロックカラー３１に結合して示
されたクランプノブ４cをはたらかせることによってＸ
軸に沿った及びＸ軸まわりの両移動が妨げられることが
できる。
【００２５】図３に示されているように、移動台基部２
６はベアリング部材３０a、３０b、３０c、３０dを含ん
でいる。ベアリング部材３０a、３０b、３０c、３０d
は、図４に示されているように、移動台基部２６が移動
台レール２２a、２２bに連結されるのを可能にする。と
くに、枕部材２４a、２４bが、移動台レール２２aの表
面から夫々伸びることによって移動台レール２２aに連
結されている。同様に、枕部材２４c、２４dが、移動台
レール２２b表面から夫々伸びることによって移動台レ
ール２２bに連結されている。出入シャフト２５aが、枕
部材２４aから枕部材２４bまで伸び、支持リング６９
a、６９b(図示せず)によって位置決めされている。出入
シャフト２５bが、枕部材２４cから枕部材２４dまで伸
び、支持リング６９c、６９d(図示せず)によって位置決
めされている。出入シャフト２５aはまた移動台レール
２２aに連結されているロックカラー３２を通って伸び
ている。
【００２６】出入シャフト２５a、２５bは夫々Ｙ軸を定
める。かくして、移動台基部２６は、ベアリング部材３
０a、３０b、３０c、３０dが出入シャフト２５a、２５b
に沿って摺動する結果として、Ｙ軸に沿って移動するこ
とが可能となる。Ｙ軸方向の移動は、ベアリング部材３
０a、３０b、３０c、３０dに取り付けられたベアリング
７９によって容易化される。移動台基部２６のＹ軸に沿
った移動は、ロックカラー３２と結合して示されている
クランプノブ４bをはたらかせることによって妨げられ
ることができる。
【００２７】図５に示されているように、リンクアーム
２０(図中で左に示されている部分)はリンクアーム構造
２０aとリンクアーム構造２０bとを含んでいる。リンク
アーム２０(図中で右に示されている部分)はリンクアー
ム構造２０cとリンクアーム構造２０dとを含んでいる。
連結軸３３は、リンクアーム構造２０a、２０cの開口部
を通って伸び、移動台レール２２a、２２bに連結されて
いる小径の端部を含んでいる。このようにして、リンク
アーム構造２０a、２０cが移動台レール２２a、２２bに
連結されている。
【００２８】連結軸２１もまた小径の端部を含んでい
る。これは図６中に一層明確に示されている。連結軸２
１の一端は、アーム部２０bの底部付近の開口部通っ
て、そしてさらにトロリー１７a(移動滑車)の開口部を
通って伸びている。同様の配置構造が、リンクアーム構
造２０dの開口部を通ってそしてさらにトロリー１７b
(図示せず)の開口部を通って伸びる連結軸２１の反対側
の端部に見出だされることができる。各トロリー１７
a、１７bは、移動台レール２２a、２２bのスロット(長
穴)と結合する従動カム７６と、移動台レール２２a、２
２bと接触するスラストベアリング７５とを含んでい
る。従動カム７５,７６は、移動台レール２２a、２２b
に対するトロリー１７a、１７bの移動を容易化する。最
も左と最も右のリンクアームとは同様に機能して残りの
装置に連結されるので、リンクアーム構造２０a、２０b
の操作のみが記述されるであろう。
【００２９】リンクアーム構造２０aとリンクアーム構
造２０bとは、ともにピボットピン１８(枢支ピン)によ
って連結されている。リンクアーム構造２０bに対する
リンクアーム構造２０aの移動は、ニードルベアリング
８４(図示せず)によって容易化される。
【００３０】リンクアーム構造２０aは、連結軸３３ま
わりの回転量が制限されることができる。さらに、リン
クアーム構造２０bは、連結軸２１まわりの回転量が制
限されることができる。この回転は、後で記述されるで
あろうとおり、テストヘッド１１０のＺ軸に沿った上下
方向の運動に役立つ。
【００３１】図４に示されているように、リンクアーム
構造２０bはピボットピン１９まわりに回転する。この
ピボットピン１９は移動台レール９に固定されている。
以下で記述されるであろうとおり、この回転もまたテス
トヘッド１１０のＺ軸に沿った上下方向の移動を容易化
する。
【００３２】図４に示されているように、モータ２１２
が備えられている。モータ２１２はギヤーボックス１１
３を回転させる。ギヤーボックス１１３の回転は、ブレ
ーキ１１５をはたらかせることによって選択的に妨げら
れることができる。ギヤーボックス１１３はボールスク
リュー４１を回転させる。ボールスクリュー４１が回転
するのに伴って、ボールナット１１４がボールスクリュ
ー４１によって定まる軸に沿って移動する。ボールナッ
ト１１４はボールスクリュー軸１６に連結されている。
ボールスクリュー軸１６は、リンクアーム構造２０a、
２０d及びトロリー１７c、１７dの対応する穴を通って
突き出ている各端部に肩部を備えている。トロリー１７
c、１７dは夫々、結合して移動台レール８、９内に形成
された夫々の軌道に沿って移動する従動カム７６を含ん
でいる。トロリー１７c、１７dもまた夫々、接触して移
動台レール８、９に対する相対的な移動を容易化する従
動カム７５を含んでいる。
【００３３】本発明のさらに進んだ好ましい実施例が図
７に示されている。図７に示されている本発明の好まし
い実施例は、図１、４、５に示されている本発明の好ま
しい実施例と類似性を有している。しかしながら、図７
においては、テストヘッド１１０に固定部材２０１が取
り付けられている。固定部材２０１は、延長棒状部材２
０３の開口部２０４と係合する突出部材２０２を含んで
いる。前記したように、テストヘッド１１０のＹ軸まわ
り回転を容易化するために、突出部材２０２にベアリン
グ(図示せず)が結合されてもよい。このさらに進んだ好
ましい実施例では、可動台後部３７が、延長棒状部材２
０３と結合できるような十分な長さを有している。この
ようにすれば、テストヘッド１１０は、ヨーク１１２及
び延長棒状部材２０３によって支持されることができ
る。さらに、開口部２０４内での突出部材２０２の配置
は、テストヘッド１１０のＹ軸まわりの回転能力を維持
する。この全体的な配置構造は、テストヘッド１１０の
支持され及び取り扱われる重さが５００ポンドくらいに
なるのを可能にする。
【００３４】テストヘッド１１０の上下方向の運動(す
なわち、Ｚ軸方向の運動)は次のようにして成し遂げら
れる。モータ１１２が回転するのに伴ってボールスクリ
ュー４１もまた回転する。その結果、ボールナット１１
４のボールスクリュー４１によって定まる軸に沿った運
動が起こる。ボールナット１１４がボールスクリュー４
１によって定まる軸に沿って移動するのに伴って、ボー
ルスクリュー軸１６(従動カム７６がトロリー１７c、１
７dを通っている)が水平レール８、９に沿って移動す
る。その結果、逆に、リンクアーム構造２０a、２０cの
頂部の水平レール８、９に沿った移動が起こる。リンク
アーム構造２０a、２０cの上部が水平アーム８、９に沿
って移動するのに伴って、リンクアーム構造２０a、２
０cの底部もまた移動する。リンクアーム構造２０a、２
０cの底部のこの運動は上下方向である。リンクアーム
構造２０a、２０cの上下方向の運動は移動台レール２２
a、２２bの上下方向の移動を生じさせる結果となる。移
動台レール２２a、２２bの前部が上下方向に移動するの
に伴って、移動台レール２２a、２２bの後部もまた上下
方向に移動する。かくして、移動台レール２２a、２２b
が上下方向に移動するのに伴って、テストヘッド１１０
が同様に上下方向に移動する。このようにして、リンク
アーム構造２０a、２０b、２０c、２０dが、他方で同時
にテストヘッドの移動経路を決定する持ち上げ機構を提
供する。
【００３５】位置決めが進行している間、テストヘッド
１１０は６つの運動自由度(Ｘ、Ｙ、Ｚ、θＸ、θＹ、
θＺ)でもって移動させられ、これによって同調させら
れデバイスハンドラ１２０に接触して配置されることが
できるであろう。かくして、位置決めが完了した後にお
いては、テストヘッド１１０のすべての６つの運動自由
度での移動が、メンテナンス又は操作が必要とされると
きまで一時的に制限されるであろう。オペレータがテス
トヘッド１１０のデバイスハンドラ１２０とのドッキン
グを解除することを望むときには(例えば、操作中に)、
オペレータはテストヘッドをデバイスハンドラから上方
に離間するように移動させることにより、テストヘッド
のドッキングを解除することができる。この運動を成し
遂げるためには、Ｚ方向のみに限定された運動の自由度
が適切である。テストヘッドがＺ方向上向きに移動させ
られた後、該テストヘッドはＺ方向下向き移動させられ
ることができる。このようにして、テストヘッド１１０
は同調を損なうことなくデバイスハンドラ１２０と再ド
ッキングさせられることができる。さらに、メンテナン
スが必要とされれば、テストヘッド１１０はＺ方向上向
きに移動させられ、この後θＹ方向に回転させられるこ
とができ、これによってテストヘッドの接触面が上向き
となる(テストヘッドが使用されているときには、デバ
イスハンドラ１２０に対して下向きに対向している)。
かくして、メンテナンスを目的とする場合は、運動の自
由度を２つのみとするのが適切である。メンテナンスが
完了した後、テストヘッドはθＹ方向に回転させられそ
してＺ方向下向きに移動させられることができる。この
ようにして、テストヘッド１１０とデバイスハンドラ１
２０との間の同調が再び維持される。
【００３６】本発明は、上下方向の運動を成し遂げるた
めのモータに関連して記述されてきた。本発明の好まし
い実施例においては、電気式のステップモータが用いら
れることができる。これにかわる本発明の好ましい実施
例においては、空気式モータ又は水力式モータが用いら
れてもよい。しかしながら、当業者なら、モータが、テ
ストヘッド１１０が取り付けられた移動台基部２６の荷
重を支える平衡システムでもって置き換えられることが
可能であるということを容易に理解するであろう。この
ようにして、オペレータ及び装置の安全性が高められる
であろう。
【００３７】モータが用いられるときには、オペレータ
及び装置の安全性が、近接センサ(図示せず)及び／又は
リミットスイッチ(図示せず)によって高められることが
できる。好ましい近接センサ(例えば、光又は音で作動
する)が、例えば、テストヘッド１１０のデバイスハン
ドラ１２０に対する位置を決定するために、テストヘッ
ド１１０に隣合って配置されてもよい。さらに、このよ
うなセンサは、テストヘッド１１０とデバイスハンドラ
１２０との間の障害物を容易に検出することもできる。
このようなセンサは、異常な状態が検出されたときにモ
ータを切り離すため、モータに結合させることができ
る。リミットスイッチは、トロリー１７が予め定められ
た位置に到達したときにモータを切り離すため、多数の
位置(例えば、移動台レール２２a、２２b中に配置され
たスロットに隣合う位置)に配置されることができる。
当業者は、近接センサ及び／又はリミットスイッチが、
テストヘッド１１０の適切な運動を確実化するために多
数の他の位置に配置されてもよいということを容易に認
識するであろう。
【００３８】本発明は、単一の位置決めシステムに関連
して記述されてきた。しかしながら、例えばやぐらビー
ム４２a、４２bを組み込んだ付加的な位置決めシステム
が、ここに図示された位置決めシステムの隣で用いられ
てもよい。本発明は、好ましい実施例により記述されて
きたが、添付された特許請求の範囲の趣旨及び技術の範
囲内における修正でもって、上記で概説したのと同様に
実施されることができるということが考察されるであろ
う。
【００３９】
【発明の効果】第１〜第１０の発明によれば、いずれ
も、簡素な構造で電子テストヘッドをデバイスハンドラ
に容易にドッキングさせ、かつドッキングを解除させる
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の好ましい実施例を示す、位置決めシ
ステムの斜視図である。
【図２】 テストヘッド取付リングと移動台基部との間
の結合構造を示す部分的に分解された斜視図である。
【図３】 テストヘッド取付リングと移動台基部との間
の結合構造を示す斜視図である。
【図４】 本発明の好ましい実施例を示すさらに進んだ
斜視図である。
【図５】 本発明の好ましい実施例を示すさらに進んだ
斜視図である。
【図６】 リンクアーム構造と移動台用レールとの間の
結合構造を示す部分的に分解された斜視図である。
【図７】 本発明のさらに進んだ好ましい実施例を示す
斜視図である。
【図８】 図１、図４及び図５中に示されたシステムの
６つの自由度を図解的に示す図である。
【符号の説明】
３…ロックレンチ ４c…クランプノブ ２０…リンクアーム ２０a、２０b…リンクアーム構造 ２６…移動台基部 ２９a〜２９d…移動台壁 ３０a〜３０d…ベアリング部材 ３１…ロックカラー ３４…手首部 ３５a、３５b…横置きシャフト ３６…手首シャフト ３７…可動台後部 ４４…係止部材 ４６…移動台側部 １１０…テストヘッド １２０…ＩＣハンドラ(デバイスハンドラ) １３０…テストヘッド取付リング ２００…テストヘッド位置決めシステム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ロバート・イー・マッシエッセン アメリカ合衆国08003ニュージャージー州 チェリー・ヒル、ロカスト・グローブ・ロ ード12番 (72)発明者 クリストファー・エル・ウエスト アメリカ合衆国08088ニュージャージー州 タバーナクル、グース・ポンド・ロード17 番

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 電子テストヘッドをデバイスハンドラに
    ドッキングさせ及びドッキングを解除させるための電子
    テストヘッド位置決め装置であって、 上記電子テストヘッドを第１の軸のまわりに回転させる
    ためのヘッド回転手段と、 上記ヘッド回転手段に連結された複数のリンクアーム構
    造を含む上下移動手段とを含み、 上記複数のリンクアーム構造中の第１番目のものが、上
    記複数のリンクアーム構造中の第２番目のものに連結さ
    れて、上記電子テストヘッドを上記第１の軸と垂直な第
    ２の軸に沿って上下方向に移動させるための、長さの増
    減が可能なはさみ状部材を形成していることを特徴とす
    る電子テストヘッド位置決め装置。
  2. 【請求項２】 電子テストヘッドをデバイスハンドラに
    ドッキングさせ及びドッキングを解除させるための電子
    テストヘッド位置決め装置であって、 上記電子テストヘッドを第１の軸のまわりに回転させる
    ためのヘッド回転手段と、 上記ヘッド回転手段に連結された、上記電子テストヘッ
    ドを上記第１の軸と垂直な第２の軸のまわりに回転させ
    るための可動台後部部材と、 上記可動台後部部材の上に配置されかつこれに連結され
    た複数のリンクアーム構造を含む上下移動手段とを含
    み、 上記複数のリンクアーム構造中の第１番目のものが、上
    記複数のリンクアーム構造中の第２番目のものに連結さ
    れて、上記電子テストヘッドを上記第２の軸に沿って上
    方及び下方に移動させるための、長さの増減が可能なは
    さみ状部材を形成していることを特徴とする電子テスト
    ヘッド位置決め装置。
  3. 【請求項３】 ヘッド回転手段に連結された、上記電子
    テストヘッドを上記第１の軸に沿って移動させるための
    第１水平移動手段をさらに含むことを特徴とする請求項
    １記載の電子テストヘッド位置決め装置。
  4. 【請求項４】 上記第１水平移動手段が、 a)上記ヘッド回転手段に連結され、第１開口部を有する
    第１ベアリング部材と、第２開口部を有する第２ベアリ
    ング部材とを含む移動台基部と、 b)夫々上記上下移動手段に連結された第１シャフト及び
    第２シャフトとを含んでいて、 c)上記第１シャフトが上記第１ベアリング部材の上記第
    １開口部を通って伸び、上記第２シャフトが上記第２ベ
    アリング部材の上記第２開口部を通って伸び、これによ
    って上記電子テストヘッドが、上記移動台基部を上記第
    １シャフト及び上記第２シャフトに沿って摺動させるこ
    とにより、上記第１の軸に沿って移動するようになって
    いることを特徴とする請求項３記載の電子テストヘッド
    位置決め装置。
  5. 【請求項５】 上記電子テストヘッドを上記第１の軸及
    び上記第２の軸の両方に垂直な第３の軸に沿って移動さ
    せるための水平移動手段をさらに含んでいて、該水平移
    動手段が、 a)上記ヘッド回転手段に連結された手首部と、 b)上記上下移動手段に連結され、第３開口部を有する第
    １移動台壁と第４開口部を有する第２移動台壁とを含む
    移動台基部と、 c)上記第１移動台壁の上記第３開口部を通って、かつ上
    記第２移動台壁の上記第４開口部を通って伸び、その反
    対側の端部で上記手首部から伸びる少なくとも１つのシ
    ャフトを含むシャフト手段と、 d)上記移動台基部に連結された、上記電子テストヘッド
    の上記第３の軸に沿った移動を選択的に妨げるためのロ
    ック手段とを含むことを特徴とする請求項１記載の電子
    テストヘッド位置決め装置。
  6. 【請求項６】 上記電子テストヘッドを上記第１の軸及
    び上記第２の軸の両方に垂直な第３の軸のまわりに移動
    させるための水平移動手段をさらに含んでいて、該水平
    移動手段が、 a)上記ヘッド回転手段に連結された手首部と、 b)上記上下移動手段に連結され、第３開口部を有する第
    １移動台壁と第４開口部を有する第２移動台壁とを含む
    移動台基部と、 c)上記第１移動台壁の上記第３開口部を通って、かつ上
    記第２移動台壁の上記第４開口部を通って伸び、その反
    対側の端部で上記手首部から伸びる少なくとも１つのシ
    ャフトを含むシャフト手段と、 d)上記移動台基部に連結された、上記電子テストヘッド
    の上記第３の軸のまわりの移動を選択的に妨げるための
    ロック手段とを含むことを特徴とする請求項１記載の電
    子テストヘッド位置決め装置。
  7. 【請求項７】 ヘッド回転手段に連結された、上記電子
    テストヘッドを上記第１の軸に沿って移動させるための
    第１水平移動手段をさらに含むことを特徴とする請求項
    ２記載の電子テストヘッド位置決め装置。
  8. 【請求項８】 上記第１水平移動手段が、 a)上記ヘッド回転手段に連結され、第１開口部を有する
    第１ベアリング部材と第２開口部を有する第２ベアリン
    グ部材とを含む移動台基部と、 b)夫々上記上下移動手段に連結された第１シャフト及び
    第２シャフトとを含んでいて、 c)上記第１シャフトが上記第１ベアリング部材の上記第
    １開口部を通って伸び、上記第２シャフトが上記第２ベ
    アリング部材の上記第２開口部を通って伸び、これによ
    って上記電子テストヘッドが、上記移動台基部を上記第
    １シャフト及び上記第２シャフトに沿って摺動させるこ
    とにより、上記第１の軸に沿って移動するようになって
    いることを特徴とする請求項７記載の電子テストヘッド
    位置決め装置。
  9. 【請求項９】 上記電子テストヘッドを上記第１の軸及
    び上記第２の軸の両方に垂直な第３の軸に沿って移動さ
    せるための水平移動手段をさらに含んでいて、該水平移
    動手段が、 a)上記ヘッド回転手段に連結された手首部と、 b)上記上下移動手段に連結され、第３開口部を有する第
    １移動台壁と第４開口部を有する第２移動台壁とを含む
    移動台基部と、 c)上記第１移動台壁の上記第３開口部を通って、かつ上
    記第２移動台壁の上記第４開口部を通って伸び、その反
    対側の端部で上記手首部から伸びる少なくとも１つのシ
    ャフトを含むシャフト手段と、 d)上記移動台基部に連結された、上記電子テストヘッド
    の上記第３の軸に沿った移動を選択的に妨げるためのロ
    ック手段とを含むことを特徴とする請求項２記載の電子
    テストヘッド位置決め装置。
  10. 【請求項１０】 上記電子テストヘッドを上記第１の軸
    及び上記第２の軸の両方に垂直な第３の軸のまわりに移
    動させるための水平移動手段をさらに含んでいて、該水
    平移動手段が、 a)上記ヘッド回転手段に連結された手首部と、 b)上記上下移動手段に連結され、第３開口部を有する第
    １移動台壁と第４開口部を有する第２移動台壁とを含む
    移動台基部と、 c)上記第１移動台壁の上記第３開口部を通って、かつ上
    記第２移動台壁の上記第４開口部を通って伸び、その反
    対側の端部で上記手首部から伸びる少なくとも１つのシ
    ャフトを含むシャフト手段と、 d)上記移動台基部に連結された、上記電子テストヘッド
    の上記第３の軸のまわりの移動を選択的に妨げるための
    ロック手段とを含むことを特徴とする請求項２記載の電
    子テストヘッド位置決め装置。
JP6218677A 1993-09-15 1994-09-13 電子テストヘッド位置決め装置 Pending JPH07244119A (ja)

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US08/122,055 US5440943A (en) 1993-09-15 1993-09-15 Electronic test head manipulator
US122055 1998-07-24

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SG (1) SG44495A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003511852A (ja) * 1999-10-01 2003-03-25 テラダイン・インコーポレーテッド 総合検査セル
JP2007524814A (ja) * 2003-03-31 2007-08-30 インテスト コーポレイション テストヘッド位置決めシステムと方法
JP2007533956A (ja) * 2003-08-06 2007-11-22 インテスト コーポレイション テストヘッド位置決めシステム

Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5600258A (en) * 1993-09-15 1997-02-04 Intest Corporation Method and apparatus for automated docking of a test head to a device handler
US5642056A (en) * 1993-12-22 1997-06-24 Tokyo Electron Limited Probe apparatus for correcting the probe card posture before testing
US5561386A (en) * 1994-02-23 1996-10-01 Fujitsu Limited Chip tester with improvements in handling efficiency and measurement precision
DE9419918U1 (de) * 1994-12-13 1996-04-11 Autefa Maschinenfabrik GmbH Augsburg, 86316 Friedberg Vorrichtung zum Handhaben und Stapeln von Preßballen
WO1996026446A1 (en) * 1995-02-23 1996-08-29 Aesop, Inc. Manipulator for automatic test equipment test head
US5912555A (en) * 1995-04-10 1999-06-15 Tokyo Electron Limited Probe apparatus
US5606262A (en) * 1995-06-07 1997-02-25 Teradyne, Inc. Manipulator for automatic test equipment test head
US5886494A (en) * 1997-02-06 1999-03-23 Camelot Systems, Inc. Positioning system
US6271658B1 (en) 1998-10-19 2001-08-07 St Assembly Test Services Pte, Ltd. Universal Docking System
US6888343B1 (en) * 1999-01-13 2005-05-03 Intest Ip Corporation Test head manipulator
FR2806022B1 (fr) * 2000-03-13 2002-08-02 Abb Barras Provence Manipulateur d'un dispositif de test de composants electroniques a verin compensateur
US6450318B1 (en) * 2000-06-16 2002-09-17 Tec Engineering Corporation Overhead monorail system
US6695120B1 (en) * 2000-06-22 2004-02-24 Amkor Technology, Inc. Assembly for transporting material
US6889813B1 (en) 2000-06-22 2005-05-10 Amkor Technology, Inc. Material transport method
US6408500B1 (en) * 2000-09-15 2002-06-25 James Orsillo Method of retrofitting a probe station
US6508617B1 (en) * 2000-11-09 2003-01-21 Abb Technology Ag Device for lifting, orienting, and positioning enclosures
US6586925B2 (en) 2001-04-09 2003-07-01 St Assembly Test Services Ltd. Method and apparatus for establishing quick and reliable connection between a semiconductor device handler plate and a semiconductor device test head plate
US6766996B1 (en) 2001-07-16 2004-07-27 Reid-Ashman Manufacturing, Inc. Manipulator
WO2003008984A2 (en) * 2001-07-16 2003-01-30 Intest Ip Corp. Test head docking system and method
US6646431B1 (en) 2002-01-22 2003-11-11 Elite E/M, Inc. Test head manipulator
US6832885B2 (en) 2002-09-04 2004-12-21 The Boeing Company Handling apparatus for structural members
US7381120B2 (en) * 2006-01-18 2008-06-03 Furitechnics Group Pty Ltd. Knife sharpener
TWI395633B (zh) * 2010-04-23 2013-05-11 私立中原大學 肘節式定位平台
US9630815B2 (en) * 2011-11-04 2017-04-25 GM Global Technology Operations LLC Movement system configured for moving a payload
CN102611243B (zh) * 2011-12-27 2014-03-19 安徽安凯汽车股份有限公司 新能源电机测控固定工装
US10519810B2 (en) * 2013-11-25 2019-12-31 General Electric Company Manipulation of turbomachine combustors
US9381867B2 (en) * 2014-05-01 2016-07-05 Brad Robinson Utility lift hauler configured to transport motorcycles, ATVs and the like
US10626963B2 (en) * 2015-10-19 2020-04-21 GM Global Technology Operations LLC Articulated mechanism for linear compliance
CN104375022B (zh) * 2014-10-10 2017-05-03 苏州杰锐思自动化设备有限公司 一种六面测试机台
FR3043000B1 (fr) * 2015-10-29 2018-04-13 Safran Aircraft Engines Portique d'assemblage de moteur
US20180095110A1 (en) * 2016-09-30 2018-04-05 Xcerra Corporation Compact testing system
CN107826781A (zh) * 2017-10-25 2018-03-23 合肥汉德贝尔属具科技有限公司 一种前移式侧方取货夹
CN110244136A (zh) * 2018-03-07 2019-09-17 刘科宏 多探头扫描测试架
CN112621617B (zh) * 2020-12-31 2022-12-06 南方电网科学研究院有限责任公司 一种用于电能表自动化检定装置的弹性夹持机构
US11932497B2 (en) * 2021-03-30 2024-03-19 Ats Corporation Automated workpiece inversion systems and related methods
CN113589146A (zh) * 2021-07-29 2021-11-02 武汉云岭光电有限公司 边发射半导体激光器芯片测试方法以及系统
CN115157274B (zh) * 2022-04-30 2024-03-12 魅杰光电科技(上海)有限公司 一种滑模控制的机械臂系统及其滑模控制方法

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1554746A (en) * 1920-07-31 1925-09-22 Budd Edward G Mfg Co Adjustable torch holder
US2697529A (en) * 1951-02-27 1954-12-21 John P Hubbell Apparatus for handling frangible articles by remote control
US2786434A (en) * 1952-10-16 1957-03-26 Orrin C Klungtvedt Welders work holder
US2902349A (en) * 1955-07-11 1959-09-01 Lerner Aaron Bunsen Laboratory equipment elevation adjusting apparatus
US3262593A (en) * 1963-07-10 1966-07-26 Gen Mills Inc Wall-mounted support structure
DE2226407C3 (de) * 1972-05-31 1978-10-12 Industrie-Werke Karlsruhe Augsburg Ag, 7500 Karlsruhe Gerät zur maschinellen, durch veränderbare Programme steuerbaren Handreichung
US4025053A (en) * 1976-05-10 1977-05-24 Stickle Jr Warren Edward Screw actuated scissor jack with a self adjusting bearing surface
DE2630857A1 (de) * 1976-07-09 1978-01-12 Volkswagenwerk Ag Handhabungsautomat
US4160207A (en) * 1977-06-27 1979-07-03 Haines Fred E Printed circuit board tester with removable head
DE2861285D1 (en) * 1977-10-20 1982-01-14 Ici Plc An industrial manipulator for placing articles in close proximity to adjacent articles and a method of close packing articles therewith
US4303368A (en) * 1978-09-18 1981-12-01 Westinghouse Electric Corp. Remote docking apparatus
US4229136A (en) * 1979-03-19 1980-10-21 International Business Machines Corporation Programmable air pressure counterbalance system for a manipulator
DE3042656A1 (de) * 1980-11-12 1982-06-16 Walter Dipl.-Ing. Dr. 6078 Neu-Isenburg Hillesheimer Hydraulisch betriebene hebebuehne
FR2473029A1 (fr) * 1980-01-08 1981-07-10 Hillesheimer Walter Pont elevateur, transporteur ou basculant, actionne hydrauliquement
EP0102217B1 (en) * 1982-08-25 1988-06-01 InTest Corporation Electronic test head positioner for test systems
US4705447A (en) * 1983-08-11 1987-11-10 Intest Corporation Electronic test head positioner for test systems
US4527942A (en) * 1982-08-25 1985-07-09 Intest Corporation Electronic test head positioner for test systems
JPS61244475A (ja) * 1985-04-22 1986-10-30 株式会社東芝 産業用ロボツト
KR0129662B1 (ko) * 1987-10-30 1998-04-07 고다까 토시오 이동 테이블 장치
US4893074A (en) * 1988-05-13 1990-01-09 Intest Corporation Electronic device testing system
US4989823A (en) * 1989-04-28 1991-02-05 Leonard Studio Equipment, Inc. Shock and vibration isolator
US5030869A (en) * 1990-07-25 1991-07-09 Intest Corporation Device testing system with cable pivot
US5222854A (en) * 1991-09-09 1993-06-29 Leland D. Blatt Automatic tool changer
US5241870A (en) * 1991-07-22 1993-09-07 Intest Corporation Test head manipulator

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003511852A (ja) * 1999-10-01 2003-03-25 テラダイン・インコーポレーテッド 総合検査セル
JP4800534B2 (ja) * 1999-10-01 2011-10-26 テラダイン・インコーポレーテッド 半導体検査装置及び自動検査装置
JP2007524814A (ja) * 2003-03-31 2007-08-30 インテスト コーポレイション テストヘッド位置決めシステムと方法
JP2007533956A (ja) * 2003-08-06 2007-11-22 インテスト コーポレイション テストヘッド位置決めシステム

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