JP4443937B2 - テスター位置決めについてコンプライアンスを有する自動試験システム及びそれを作動させる方法 - Google Patents
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Description
【0001】
本発明は、概括的には、半導体デバイスの製造に関しており、厳密には、自動試験システム内でテスターを素材取り扱いユニットに対して位置決めする機械システムに関する。
【背景技術】
【0002】
本出願は、2002年4月16日出願の米国仮特許出願第60/373,065号の優先権を請求する。
半導体デバイスは、製造する際、通常は製造工程の間に少なくとも1回は試験される。デバイスには、試験の結果に基づいて、更なる処理が施される。試験は、正常に作動するデバイスと正常に作動しないデバイスを分けるのに用いられる。また、試験は、製造工程の別のステージへデータをフィードバックして、正常に作動するデバイスの生産量を増やすよう調整するのに用いることもできる。別の例では、試験の結果は、デバイスを性能のカテゴリ別に分類するのに用いられる。例えば、或るデバイスは、200MHzのデータ率では作動するが、400MHzのデータ率では作動しない。試験の後、デバイスは、200MHzのデバイスとして分類され、400MHzのデバイスよりも低価格で販売される。
【0003】
試験のステージは、試験中のデバイスに物理的な変更を加えるのにも用いられる。メモリ付半導体デバイスの多くは、冗長要素を含んでいる。試験の間に欠陥のあるメモリセルが発見されると、半導体デバイスは、レーザー修理ステーションのような修理ステーションに送られ、そこでデバイスの接続部を再編成して、欠陥セルを切断し、代わりに冗長要素を接続する。
【0004】
試験は、普通は自動試験装置(ATE)で行なわれる。テスターは、デバイスが正常に機能するか否かを判断するのに必要な電気信号を生成して測定する回路を含んでいる。別の素材取り扱い装置が半導体デバイスをテスターへ移す。半導体デバイスが実装された後に試験される場合、素材取り扱い装置は「ハンドラ」と呼ばれることも多い。素材取り扱い装置は、代わりに「プローバ」と呼ばれることもあるが、これは、半導体デバイスがまだウェーハ上にある間に試験するときに使われる。一般に、テスターと素材取り扱い装置は、1つのワークセルに組み立てられ、テスターと素材取り扱い装置の具体的な特性は、試験対象デバイスの種類に基づいて選択される。
【0005】
半導体の製造では、製作工場の設備が、できるだけ稼働していることが望ましい。設備が稼動していなければ、たとえそれが設備の日常的調整であっても、全体製造工程のコスト効率が下がる。
【0006】
例えば、殆どのテスターは、多くの異なる種類の半導体デバイスを試験できるように設計されている。異なる半導体デバイスは、異なる大きさと試験ポイント数を有しているので、ATEは、通常、「デバイスインターフェースユニット」(DIB)のような、特定の種類の試験対象デバイスに合わせて構成されているインターフェースユニットを含んでいる。ATEを特定の種類のデバイスに合わせて構成するために、異なるインターフェースユニットがATEに装着されている。
【0007】
通常、インターフェースユニットは、テスターと素材取り扱いユニットの間に配置される。インターフェースユニットを交換するには、テスターと素材取り扱いユニットを分離させる必要がある。従って、ATEは、通常、テスター用の「マニプレーター」又は「位置決め器」を含んでいる。マニプレーターの1つの例が、米国特許第5,931,048号「自動試験装置試験ヘッド用マニプレーター」に示されている。同特許のマニプレーターは、テスターが2つの別々の部品、即ち本体と試験ヘッドを有する試験システムと結び付けて説明されている。テスターが2部品であるか、単一ユニット内に入っているかには関係なく、試験対象デバイスをテスター電子機器に向けられるように、テスターの或る部分は、通常、素材取り扱いユニットに対して位置決めされる。
【0008】
多くの異なる型式の素材取り扱い装置が知られている。異なる型式の素材取り扱い装置は、試験対象デバイスを異なる向きに向ける。例えば、デバイスを垂直面に向けるものもある。水平面に向けるものもある。そのため、マニプレーターは、通常、テスターを多自由度で動かすことができるように作られている。そうすると、素材取り扱いユニットが試験対象デバイスを向ける向きに関係なく、テスターを、素材ハンドラがデバイスを向けるインターフェース領域に隣接して位置決めすることができる。上記の特許第5,931,048号は、多自由度のマニプレーターの例である。
【0009】
しかしながら、多自由度にすると、テスターと素材取り扱いユニットを適切に係合するためにテスターとハンドラを整列させるのが難しくなる。テスターを素材取り扱いユニットに取り付けるプロセスは「ドッキング」と呼ばれることもある。ドッキングし易くするため、テスター上の位置決めユニットと取り扱いユニットが用いられる。位置決めユニットの例は、米国特許第5,982,182号「位置決めモジュールを有する自動試験装置用のインターフェース装置」に示されており、同特許を参考文献としてここに援用する。
【0010】
米国特許第5,982,182号の位置決めモジュールは、テスターが取り扱い装置の近くに配置されるときに係合するよう設計されている。係合によって、テスターと素材取り扱いユニットは粗い整列状態になる。テスターと素材ハンドラを一体に押し付けると、位置決めモジュールの形状によって、両構成要素が互いに対して正確に位置決めされる。この特許の好適な実施形態では、位置決めモジュールは、係合するとテスターと素材取り扱いユニットを一体に引き付けることができる線形作動器を含んでいる。
【0011】
テスターと素材取り扱いユニットとの相対位置を、位置決めユニットの形状によって正確に定めるには、マニプレーターはテスターに過剰な力を掛けてはいけない。従って、好適なマニプレーターは、試験ヘッドを十分に動かすことができるコンプライアンスモードを含んでいる。しかしながら、その運動は、テスターの動きが制御不能になるほど大きくなってはならない。上記米国特許第5,982,182号に記載されているマニプレーターは、そのようなコンプライアンスに合わせて設計されている。コンプライアンスを有するマニプレーターのもう1つの例は、米国特許第5,949,002号に見出すことができる。
【特許文献1】
米国特許第5,931,048号
【特許文献2】
米国特許第5,982,182号
【特許文献3】
米国特許第5,949,002号
【特許文献4】
米国仮出願第60/373,065号
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【0012】
上記背景に鑑み、本発明の目的は、限られた自由度で運動して粗い整列状態を作り出すことができ、且つもっと多い自由度で動いてドッキングのためのコンプライアンスを作り出せる、テスター用のマニプレーターを提供することがである。
【0013】
そのようなテスターには、ベース部材と、テスターを保持する台とを有するマニプレーターが備えられている。ベースと台は、互いに対して動くことができるが、ガイドアッセンブリが、コンプライアンスゾーンの外側の領域での運動の自由度を制限している。
【発明を実施するための最良の形態】
【0014】
本発明は、以下の詳細な説明と添付図面を参照すれば、よく理解頂けるであろう。
本発明は、好適な実施形態では、実装済み部品試験用の素材取り扱いユニットと組み合わせて用いられる。従って、以下の好適な実施形態の説明は、実装済み部品ハンドラを例として使用している。
【0015】
図1Aは、そのようなハンドラ100を示している。ハンドラ100はインターフェース領域110を含んでおり、そこでテスター(図1Bの150)上の相補的インターフェース領域がハンドラとインターフェースを取る。通常、ハンドラはデバイスインターフェースボード(DIB)112を含んでいる。DIB112には、1つの側面上に、試験対象デバイスと電気的接続を形成する膨大な数の接触器が設けられている。接触器は、DIB112の露出した側面上の導電性パッドに接続している。テスターのインターフェース領域にあるばねピン(図示せず)は、それらのパッドと接点を作り、テスター150から試験対象デバイスまでの信号の経路を作り出す。しかしながら、システムの作動信頼性を確保するには、テスターとハンドラは整列していなければならない。
【0016】
インターフェース領域110は、複数のインターフェースモジュール114を含んでいる。正確な整列には3つのモジュールが適している。好適な実施形態では、インターフェースモジュール114は、上記米国特許第5,982,182号に記載されている運動学的インターフェースモジュールであり、同特許を参考文献としてここに援用する。
【0017】
連結インターフェースモジュール152は、テスター150に取り付けられている。これらのモジュールは、粗整列のためにモジュール114の穴と係合する柱を含んでいる。モジュール114内側のラッチは、柱と係合し、テスター150をハンドラ100に係止する。更に、モジュール114は、モジュール152をモジュール114に向けて引っ張る線形作動器を含んでいるのが望ましい。このように、モジュール114と152の運動学的連結表面は互いに係合して、テスターのハンドラに対する最終位置を定める。
【0018】
インターフェースモジュールがテスターとハンドラの相対位置を高い信頼性を持って指定するには、テスター150のマニプレーターが、連結の最終段階で、コンプライアンスを有している必要がある。しかしながら、マニプレーターは、コンプライアンスモードでない時には、自由度の数が制限されていることが望ましい。自由度の数を下げると、テスターは操縦し易くなる。操縦が容易になると、テスターをより迅速にドッキング又はドッキング解除できるので、ワークセルが半導体デバイスを試験するのに機能する時間を増やすことができる。
【0019】
図2は、ハンドラと迅速に係合できるよう設計されたカート式のマニプレーターを示している。マニプレーターは、また、DIBを交換する必要がある場合などに、作業者がテスターと取り扱い装置を迅速に分離できるように設計されている。そのようなマニプレーターは、本出願と同日に出願した我々の米国仮特許出願第60/372,997号「簡単に交換できるインターフェースユニットを備えた半導体試験システム」に記載の迅速交換DIB交換器と共に使用するのに非常に適しており、同出願を参考文献としてここに援用する。同出願では、テスターとハンドラを、連結インターフェースに垂直な方向に数インチだけ迅速に分離できれば相当に好都合である。
【0020】
図2は、ハンドラ100とドッキングしているテスター150の側面図を示している。図示の実施形態では、テスター150は、マニプレーターの役割を果たすカート210に載っている。カート210は、テスター150がハンドラ100に近接したときに、多自由度のコンプライアンスを提供できるように設計されている。しかしながら、このコンプライアンスの範囲は、インターフェースモジュール114及び152がハンドラに対してテスターを位置決めするコンプライアンスゾーンだけに提供されることが望ましい。コンプライアンスゾーンの外側では、テスター150の動きは、限られた数の方向にだけ許されるのが望ましい。好適な実施形態では、コンプライアンスゾーンの外側では、主な動きは、連結インターフェースに垂直に、即ちZ方向にだけ許される。
【0021】
カート210は車輪212を有しており、車輪を回してカート210をハンドラ100に向けて動かすことができるようになっている。ハンドラ100とカート210は、カート210をハンドラ100に係止し、テスターをハンドラに対してX、Y及びZ方向に粗く整列させる造形部を含んでいる。
【0022】
図4を見ればはっきりと分かるように、ベース部材220は、取り付け造形部216を有しており、ハンドラ100の相補的造形部と係合することによってX方向に粗く位置決めする。図示の実施形態では、取り付け造形部は、柱(図1の116)と係合するフック216を含んでいる。フックが柱と係合するようになっている取り付け造形部は、当該技術では既知である。そのような取り付け造形部は、2つの部材を一体に係合するものとして知られている。従って、カート210がハンドラ100に向かって押し出されると、フック216が取り付け造形部116と係合する。
【0023】
柱と係合するフックの利点は、X方向とZ方向に粗く位置決めする一方で、カート210がハンドラ100に対してY方向に移動できることである。カート210の各縁部に2つのフックを使えば、Y軸に周りの回転についても粗く位置決めすることができる。
【0024】
Y方向に粗く位置決めするために、カート210はジャッキ218を有している。ジャッキ218は「パレットジャッキ」として知られている装置又は同様の構造体である。ジャッキ218は、フック216が整列造形部116の最上部に達するまで、カート210の前面を引き上げる。これらの粗整列造形部は、テスター150のインターフェース部分を、ハンドラ100のインターフェース領域に対してY方向に位置決めする。これらの造形部は、更に、Z軸周りの、ハンドラ100に対するテスター150のあらゆる回転を補償する。例えば、試験セルが凹凸のある床に乗っている場合、そのような回転を補償することは重要である。
【0025】
テスター150の粗い整列状態がX−Y面で得られると、テスター150は、ハンドラ100に近づけることもできるし、或いはDIBを交換するのに必要なときのように、ハンドラから離すこともできる。図示の実施形態では、テスター150は、上側の台226に載せられている。上側の台226は、Z方向の動きが可能な直線状のレール(図4の412)に連結されている。この様に、テスター150はZ方向に動かすことができる。従って、カート210がX−Y面内で粗い整列状態を作るために係止されていても、テスターとハンドラは、調整、DIB交換又は同様の保守機能のために迅速且つ容易にアクセスできるように、Z方向に切り離すことができる。
【0026】
自由度は、カート210がハンドラ100に取り付けられると、テスター150の主な動きがZ方向の動きに限定されるように、制約されるのが望ましい。しかしながら、カート210は、ドッキングの間に適切な整列状態が得られるように、「漏斗状のコンプライアンス」を提供するように設計されている。漏斗状のコンプライアンスは、最終的なドッキング時にコンプライアンスを利用できるように、テスターがハンドラに近づくとコンプライアンスが大幅に増えるが、それ以外でテスターが動かされるときにはコンプライアンスが大幅に小さいことを意味している。
【0027】
図3は、この漏斗状のコンプライアンスがどのようにして実現されているかという原理を示している。図3は、ベース220の上面図を概略的に示している。直線状のレール412は、概ねZ方向に走っている。精密ガイド316は、ベース上に形成され、Z方向に走っている。係合造形部314は、上側の台226から伸長しており、ガイド316に沿って案内される。ガイド316は、制約ゾーン342内のその長さの大部分に亘って、係合造形部314が実質的に一方向に動くことができる形に作られている。図示の実施形態では、動きは、制約ゾーン342内ではZ方向に制約されている。従って、上側の台226(及びそれに取り付けられているテスター150)は、X方向の動き又はX−Z面内の回転を阻まれている。このように、テスター150が制約領域に在る間は、全ての粗い動きはZ方向に限定される。粗い動きを単一の方向に限定すると、試験システムが操作し易くなる。
【0028】
しかしながら、ガイド316は、ガイドされる造形部314の動きが、1つの方向に動くよう制約されない2つの領域310及び312を有している。テスター150がハンドラ100に近づき、コンプライアンスゾーン340に入ると、ガイドされる造形部314は領域310及び312へ入る。ガイドされる造形部314は、ガイド316によってZ方向だけに動くように制約されることはない。ガイドされる造形部314は、領域310及び312に達すると、X−Z面内で、コンプライアンス運動の或る範囲に亘って自由に動くことができる。コンプライアンス運動の範囲は、領域310及び312の大きさによって指定される。
【0029】
図3に示す実施形態では、領域310は領域312より大きい。この相対的サイズは、X方向のコンプライアンス運動の領域を不合理に大きくすることなく、Y軸周りの回転に大きなコンプライアンスを提供する。
【0030】
好適な実施形態では、整列造形部152が整列造形部114と係合するほどにテスター150がハンドラ100に接近するまで、ガイド性造形部314が拡張された領域に入らないように、領域310及び312は、カート210の比較的前縁部に配置されている。このように、テスターがコンプライアンスゾーンに入る前に、テスター150をハンドラ100に係止することができる。
【0031】
恐らく、直線ベアリング412は、ガイド316が動きを制約していないときも、Z方向以外の全ての方向についてテスターの動きを制約するので、X方向のコンプライアンス又はZ軸周りの回転は十分得られない。従って、実施に際し、好適な実施形態は、コンプライアンスゾーンでは、上側の台226が、もっとコンプライアンスを有する動きをできるような構造を含んでいる。
【0032】
図4の実施形態では、上側の台226とベース220の間に中間の台420が挿入されている。中間の台420は、直線状のレール412と係合する造形部424を有している。この様にして、中間の台420は、Z方向に動けるようになっている。
【0033】
上側の台226は、中間の台420の上に載っている。中間の台420と上側の台226の間のインターフェースは低摩擦なので、台226は中間の台420に対して容易に滑動できるようになっている。好適な実施形態では、中間の台420の上側表面に複数のボールベアリング426を配して、低摩擦のインターフェースが作り出されている。ボールベアリング426は、軌道溝又は別の従来型の機構内に拘束されている。この様に、上側の台226は、コンプライアンスゾーンでは、X方向に動くか、Y軸周りに回転することができる。
【0034】
上側の台226の下側の面から伸長する柱414でガイド造形部が形成されている。中間の台420は、柱414が上側の台226からスロット416へと通過できる穴422を有している。
【0035】
スロット416はガイドとして作用する。スロット416は、柱414が入る形に作られており、その長さの大部分に亘って、柱414の直径とぴったり一致する幅を有するように機械加工されている。この様に、柱414の動きは、上側の台226の動きの範囲の大部分に亘って、Z軸に沿う並進運動に制約されている。しかしながら、スロット416は拡張領域480及び482を有している。柱414は、この拡張領域に入ると、自由に動くか、又はX−Z面内で自由に回転できるので、この面内でコンプライアンスを提供できる。この様に、上側の台226は、コンプライアンスゾーンに達し、必要な「漏斗状のコンプライアンス」が与えられるまで、Z方向だけに動くよう制約されている。
【0036】
図2に戻るが、見ると分かるように、テスター150は旋回ポイント252でアーム250に取り付けられている。図2には旋回ポイントを1つしか示していないが、テスター150は、それぞれが旋回ポイントを有する2つのアームの間に取り付けられている。旋回ポイント252周りの回転量は制約されている。しかしながら、回転量は、X軸周りの方向にコンプライアンスを提供するには十分なものである。
【0037】
更に、旋回ポイント252は、ばね254を介してアーム250に取り付けられている。ばねで取り付けているので、各旋回ポイント252はY方向に上下できるようになっており、Y方向のコンプライアンスが提供される。また、旋回ポイントは、独立して取り付けられているので、異なる量、又は異なる方向に移動して、Z軸周りにコンプライアンスを提供することができる。
【0038】
従って、カート210がハンドラ100に係止されると、テスターの主な粗い運動は1つの軸、即ち、図示の実施形態ではZ方向に沿うものとなる。しかしながら、ATEシステムには、テスターがコンプライアンスゾーンに入ると増す漏斗状のコンプライアンスが備えられている。コンプライアンスゾーンでは、テスターは、コンプライアンスを提供する運動に関して6自由度まで有することになる。
【0039】
1つの実施形態について説明してきたが、多数の代替実施形態又は変更が可能である。例えば、作業者が試験システムを押すことによって様々な運動を作り出すように説明してきた。様々な運動はモーター駆動でもよい。
【0040】
ここに示した実施形態に対して、様々な装飾を施すことができる。例えば、カート210をハンドラ100との係止位置に案内するのに、レールを、ハンドラに設けてもよいし、ハンドラ100近くの床に設けてもよい。
【0041】
更に、他の調整可能な造形部をマニプレーターに設けてもよい。例えば、アーム250は、Z方向の運動の範囲を増すため伸長できるようにしてもよい。
垂直面内にインターフェース領域を有するハンドラを、好適な実施形態として示した。これは、DUT垂直ハンドラと呼ばれる。しかしながら、他の連結配置とすることもできる。例えば、テスターの連結インターフェース面が上向きの場合、漏斗状コンプライアンスが、Y方向の運動を制約するためアーム250内に配置されることになる。
【0042】
ベース部材220に切られている溝416が、必要なガイドアッセンブリを構築する唯一の方法ではない。溝は、溝416の壁に似た壁を有する構造体をベース220の上側表面に配置することによって構築することもできる。
【0043】
更に、溝内のピンが、漏斗状のコンプライアンスを実現するための唯一の機構ではない。柱414は、U字型の端部を有していてもよい。U字型端部が、ベース部材220の上側表面上のレールと係合することになる。この構成では、コンプライアンスは、レールの肉厚を減らすか、レール全体を取り除くことによって作り出される。
【0044】
漏斗状のコンプライアンスは、柱414を、ベース220の上側表面のレールを掴むキャリパとして形成することによっても作り出せる。コンプライアンスを抑えるには、キャリパを閉じる。コンプライアンスを増すには、キャリパを開いてキャリパとレールとの間の空間を広げる。コンプライアンス領域でキャリパを開くことによって、漏斗状のコンプライアンスを作り出すことができる。キャリパは、モーターによって、又はテスターがコンプライアンスゾーンに入るとキャリパを大きく広げるカム装置によって開くことができる。
【0045】
更に、連結部品は、配置を替えることもできる。例えば、フック216をハンドラ100に付け、柱116をカート210に設けてもよい。或いは、溝を上側の台226に切って、柱をベース220から伸長してもよい。
【0046】
更に、好適な実施形態の直線状のレールは、比較的長い距離に亘って制約された直線運動を作り出す簡単な方法であると理解されたい。適用例によっては、直線状のレールを使用する必要のないこともある。直線状のレールが必要ない場合、中間の台420も不要であり、上側の台226とベース220の間の滑動可能なインターフェースは、上側の台226とベース220の間の低摩擦インターフェースによって直接的に実現できる。
【0047】
従って、本発明は、特許請求の範囲に述べる精神と範囲のみによって限定されるものとする。
【図面の簡単な説明】
【0048】
【図1】図1Aは、素材取り扱いユニットを示す概略図である。 図1Bは、テスターが素材取り扱いユニットから分離された状態にあるワークセルを示す概略図である。
【図2】ハンドラにドッキングされているテスターの側面図である。
【図3】漏斗状のコンプライアンスを示す概略図である。
【図4】マニプレーターのベースアッセンブリの分解図である。
【符号の説明】
【0049】
100 ・・・ 素材取り扱いユニット
150 ・・・ テスター
220 ・・・ ベース部材
226 ・・・ 台
340 ・・・ コンプライアンスゾーン
342 ・・・ 制約ゾーン
Claims (21)
- 素材取り扱いユニットとテスターを有する型式の自動試験システムにおいて、前記自動試験システムはテスター位置決め器を含んでおり、前記位置決め器は、
a)ベース部材と、
b)前記ベース部材に滑動可能に連結されておりかつ前記テスターを支持している1つの台と、
c)前記ベース部材を前記台に連結させるガイドアッセンブリであって、前記ガイドアッセンブリは、制約ゾーンとコンプライアンスゾーンを有しており、それによって、前記ガイドアッセンブリは、前記制約ゾーンにおいて前記台の運動を1自由度に制約しまた前記コンプライアンスゾーンにおいて前記台の運動に1つより大きい自由度を与えるよう構成されているガイドアッセンブリと、を備え、
前記制約ゾーンとコンプライアンスゾーンとは前記テスターを前記素材取り扱いユニットに対して位置決めすることを可能にするよう配置されている自動試験システム。 - 前記ガイドアッセンブリは、
a)前記ベース部材に設けられ、主軸と、前記主軸に垂直な幅とを有しているスロットと、
b)前記台に設けられ、前記スロット内に伸長し該スロットに沿って案内される少なくとも1つの柱と、を備えており、
c)前記スロットは、制約ゾーンとコンプライアンスゾーンを有しており、前記スロットの幅は、前記コンプライアンスゾーンの方が大きくなっている、請求項1に記載の自動試験システム。 - 前記スロットの幅は、前記制約ゾーンでは前記柱の直径と実質的に等しくなっている、請求項2に記載の自動試験システム。
- 前記ベース部材には、前記テスター位置決め器を前記素材取り扱いユニットに係止するために作られた取り付け造形部が設けられている、請求項1に記載の自動試験システム。
- 前記ベース部材は、前記素材取り扱いユニットに面する前方部分を有しており、更に、前記前方部分を持ち上げて前記素材取り扱いユニットと整列させるための、前記ベース部材の下に配置されているジャッキを備えている、請求項1−3のいずれかに記載の自動試験システム。
- 前記ベース部材は、前記素材取り扱いユニットに面する前方部分を有しており、更に、前記前方部分を持ち上げて前記素材取り扱いユニットと整列させるための、前記ベース部材の下に配置されているジャッキを備えている、請求項4に記載の自動試験システム。
- 前記素材取り扱いユニットには少なくとも1つの柱が設けられており、前記取り付け造形部はフックを含んでおり、前記フックは、前記ベース部材の前記前方部分と前記素材取り扱いユニットとの整列を可能とするように前記柱と係合するようになっている、請求項4又は6に記載の自動試験システム。
- a)前記ベース部材上に配置されている一式の直線状のレールと、
b)第1表面と第2表面とを有する中間の台であって、前記直線状のレールと滑動可能に係合している前記第1表面上の造形部と、低摩擦表面である前記第2表面とを有している中間の台と、を更に備えており、
c)前記台は、前記中間の台の低摩擦表面と連結している請求項1に記載の自動試験システム。 - 前記中間の台は貫通する開口部を有しており、これを介して前記ガイドアッセンブリが、前記ベース部材を前記台に連結するようになっている、請求項8に記載の自動試験システム。
- a)前記台から伸長している一対のアームと、
b)前記アームに取り付けられている旋回取り付け具と、を更に備えており、前記テスターが前記各アームの前記旋回取り付け具に取り付けられている、請求項1に記載の自動試験システム。 - 前記旋回取り付け具はばねで取り付けられ、コンプライアンスを提供している、請求項10に記載の自動試験システム。
- 前記テスター及び前記素材取り扱いユニット上の整列造形部を更に備えており、前記整列造形部は、前記テスターを前記素材取り扱いユニットに係合させ保持するラッチ構造体と、前記テスターを前記素材取り扱いユニットに対して位置決めするインターフェースモジュールとを含んでいる、請求項1に記載の自動試験システム。
- 素材取り扱いユニットとテスターを有する型式の自動試験システムにおいて、前記自動試験システムはテスター位置決め器を含んでおり、前記位置決め器は、
a)ベース部材と、
b)前記テスターを支持する台と、
c)前記ベース部材を前記台に連結させるガイドアッセンブリであって、前記ガイドアッセンブリは、制約ゾーンとコンプライアンスゾーンを有しており、それによって、前記ガイドアッセンブリは、前記台の運動を、制約ゾーンでは1自由度に制約し、コンプライアンスゾーンでは平面内の運動を可能にするように構成されているガイドアッセンブリと、を備え、
前記制約ゾーンとコンプライアンスゾーンとは前記テスターを前記素材取り扱いユニットに対して位置決めすることを可能にするよう配置されている自動試験システム。 - 前記ガイドアッセンブリは、前記コンプライアンスゾーンでは、並進運動と回転についてコンプライアンスを提供する、請求項13に記載の自動試験システム。
- 前記ベース部材を前記素材取り扱いユニットに取り外し可能に固定するラッチを更に備えている、請求項13に記載の自動試験システム。
- 前記ベース部材に取り付けられている複数のホイールを更に備えていることを特徴とする、請求項13に記載の自動試験システム。
- 連結インターフェースで係合するテスターと素材取り扱いユニットとを有する型式の自動試験システムを作動させる方法において、
a)前記テスターをテスター位置決め器の台上に配置する段階と、
b)前記テスター位置決め器のベース部材を、制約ゾーンとコンプライアンスゾーンとを有するガイドアッセンブリであって該制約ゾーンとコンプライアンスゾーンとが前記テスターを前記素材取り扱いユニットに対して位置決めすることを可能にするよう配置されている該ガイドアッセンブリを介して前記台に連結させる段階と、
c)前記テスター位置決め器を前記素材取り扱いユニットまで動かす段階と、
d)前記テスター位置決め器を前記素材取り扱いユニットに取り付ける段階と、
e)前記テスターを前記素材取り扱いユニットに向けて動かすときに、前記テスターの主な運動を、前記制約ゾーンにおいて前記連結インターフェースに垂直な方向の1自由度に制約する段階と、
f)前記テスターを前記素材取り扱いユニットに取り付ける段階と、
g)前記テスターを前記素材取り扱いユニットに向けて、前記テスターと素材取り扱いユニットのインターフェースモジュールによって指定されている位置まで動かす間に、前記コンプライアンスゾーンにおいてテスターの運動に1つより大きい自由度のコンプライアンスを提供し前記テスターと前記素材取り扱いユニットが連結することを可能にする段階と、から成る方法。 - 前記コンプライアンスを提供する段階は、前記連結インターフェースに垂直な面内でのコンプライアンスを提供する段階を含んでいる、請求項17に記載の方法。
- 前記テスター位置決め器を前記素材取り扱いユニットに取り付ける段階は、前記ベース部材の一部分を持ち上げて、前記素材取り扱いユニットと整列させる段階を含んでいる、請求項17に記載の方法。
- a)前記テスターで半導体デバイスを試験する段階と、
b)前記試験結果に基づいて、前記半導体デバイスを更に処理する段階と、を更に含んでいる、請求項17に記載の方法。 - a)前記テスターを前記素材取り扱いユニットに向けて滑動させる段階と、
b)前記テスターを前記素材取り扱いユニットに係止する段階と、
c)前記テスターを前記素材取り扱いユニット近くに移動させ、前記ガイドアッセンブリが前記コンプライアンスゾーンにあるときに、前記テスターを前記素材取り扱いユニットにドッキングさせる段階と、
d)前記素材取り扱いユニットで、半導体デバイスを前記テスターに向ける段階と、
e)前記テスターで前記半導体デバイスを試験する段階と、
f)前記試験結果に基づいて、半導体デバイスを更に処理する段階と、から成る、請求項1に記載の自動試験システムを操作する方法。
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