KR100995811B1 - 탐침의 미세 위치 조정이 가능한 프로브 유닛 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 탐침의 미세 위치 조정이 가능한 프로브 유닛에 관한 것이다. 상기 프로브 유닛은, 프로브 스테이지위에 고정되어 피검사체를 검사하는 것으로서, 탐침, 상기 탐침을 고정 장착시키는 검사용 블록, 상기 검사용 블록이 장착되는 머니퓰레이터(manipulator), 상기 머니퓰레이터를 고정하는 유닛 베이스, 및 X축 미세조절기구를 구비한다. 상기 X축 미세조절기구는 상기 프로브 스테이지와 유닛 베이스 사이에 구비되어, 상기 탐침의 위치를 X축 방향으로 미세 조정하기 위해, 상기 유닛 베이스를 X축 방향으로 상대 이동시킬 수 있도록 이루어진다. 상기 머니퓰레이터는 상기 유닛 베이스에 장착되어 상기 탐침이 구비된 검사용 블록을 지지하되, 상기 탐침을 Y축 방향으로 미세 조정하기 위해, 상기 검사용 블록을 Y축 방향으로 상대 이동시킬 수 있도록 이루어진다.
본 발명에 따른 프로브 유닛은, X축 미세조절기구(21)를 이용하여 상기 유닛 베이스(20)의 위치를 X축 방향으로 미세 조정하고, 머니퓰레이터(manipulator)(40)를 이용하여 검사용 블록(31)의 위치를 Y축 방향으로 미세 조정함으로써, 검사용 블록에 고정된 탐침(33)의 위치를 X축 및 Y축으로 미세 조정할 수 있게 된다.
Figure R1020080110342
프로브, 탐침, 유닛 베이스, 머니퓰레이터, 부시, X, Y

Description

탐침의 미세 위치 조정이 가능한 프로브 유닛{Probe unit being capable of delicate adjustment of probe}
본 발명은 LCD 패널 등에 신호를 인가하여 패널의 상태를 검사하는 프로브 유닛(Probe Unit)에 관한 것이다.
프로브 유닛은 LCD 패널 등 평판 디스플레이 패널이 정상 작동되는 여부를 확인하기 위한 테스트 장비로써, LCD인 경우에, LCD의 반제품인 모듈 제작 이전에 LCD 글래스가 제대로 제작되어 있는지를 검사하는 장비이다. 이때 전기적인 신호를 LCD 글래스의 패턴 부위에 인가하여 주는 탐침과 이를 지지하는 장비가 필요하게 되는데, 탐침으로 검사 신호를 인가하고 탐침에 의해 검침된 신호들을 검사 모듈로 제공하는 장비가 프로브 유닛(Probe unit)이다.
여기서 프로브 유닛은, 다수 개의 탐침, 탐침들이 고정 장착된 검사용 블록, 검사용 블록들에 고정되는 머니퓰레이터(manipulator; MNP), 일측면 또는 양측면에 다수 개의 머니퓰레이터들이 고정 장착되는 유닛 베이스를 구비한다. 전술한 구성을 갖는 프로브 유닛은 프로브 스테이지 위에 고정 장착된다. 이때, 프로브 유닛을 이용하여 신뢰성 있는 테스트를 진행하기 위해서는 LCD 등 피검사체의 전극핀들과 검사용 블록의 탐침들이 정확하게 접촉된 후, 이들 사이에 적절한 압력을 가하여 적절한 접촉 저항을 얻을 수 있도록 연결하여야 한다.
최근 들어 디스플레이 패널들이 고화질화 되어 감에 따라 화소의 밀도가 지속적으로 증가하고 있으며, 그 결과 전극핀들의 피치(pitch)가 점차 감소하고 있는 실정이다. 이에 따라, 검사용 블록에 설치되는 탐침들의 직경은 물론 탐침과 탐침들 사이의 간격 또한 수십 마이크론 이하로 감소하게 됨에 따라 탐침과 전극핀을 정확하게 접촉시키는 작업이 매우 어려워지고 있다.
한편, 종래의 프로버 유닛은 초기에 프로버 스테이지 위에 고정 장착되어 사용되나, 프로버 스테이지에 고정된 후에는 임의로 위치 조정이 어렵다. 따라서, 프로버 유닛의 탐침과 피검사체의 전극핀의 위치가 정확하게 일치하지 않는 경우에는, 프로버 스테이지를 X축 및 Y축으로 이동시키거나 프로버 스테이지에 장착된 프로버 유닛을 분리한 후 위치 조정하여 다시 고정시켜야 하는 번거러움이 발생한다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 유닛 베이스를 X축 방향으로 위치 이동시킬 수 있고 검사용 블록을 Y축 방향으로 위치 이동할 수 있도록 구성함으로써, 프로브 유닛 및 프로브 스테이지의 위치 조정 작업없이도, 탐침의 미세 위치 조정이 가능하도록 하여, 탐침이 피검사체의 전극핀들과 정확하면서도 신속하게 접촉할 수 있도록 하는 탐침의 미세 위치 조정이 가능한 프로브 유닛을 제공하는 데 목적이 있다.
전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 특징은, 탐침, 상기 탐침을 고정 장착시키는 검사용 블록, 상기 검사용 블록이 장착되는 머니퓰레이터(manipulator), 상기 머니퓰레이터를 고정하는 유닛 베이스를 구비하여, 프로브 스테이지위에 고정되어 피검사체를 검사하는 프로브 유닛에 관한 것으로서,
상기 프로브 유닛은, 상기 프로브 스테이지와 유닛 베이스 사이에 구비되어, 상기 탐침의 위치를 X축 방향으로 미세 조정하기 위해, 상기 유닛 베이스를 X축 방향으로 상대 이동시킬 수 있도록 이루어진 X축 미세조절기구; 를 더 포함하여 유닛 베이스를 X축 방향으로 위치 이동할 수 있도록 하고, 상기 머니퓰레이터는 상기 유닛 베이스에 장착되어 상기 탐침이 구비된 검사용 블록을 지지하되, 상기 탐침을 Y축 방향으로 미세 조정하기 위해, 상기 검사용 블록을 Y축 방향으로 상대 이동시킬 수 있도록 이루어지도록 한 것을 특징으로 한다.
전술한 특징의 프로브 유닛의 상기 X축 미세조절기구는, 상기 유닛 베이스의 일측부에 구비되어 조정 볼트의 회전에 의해 유닛 베이스가 프로브 스테이지에 대해 X축 방향으로 미세 유동이 가능하도록 하는 미세조절장치; 및 상기 유닛 베이스의 타측부에 구비되어 상기 프로브 스테이지에서 돌출된 제1핀이 삽입된 상태에서 유닛 베이스가 X축 방향으로만 상대 이동할 수 있도록 구성되는 장공;을 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 미세조절장치는, 상기 프로브 스테이지 측에 고정되는 조절용 부시와, 상기 조절용 부시에 체결되어 나사 회전에 의해 X축 방향으로 이동하는 조정 볼트와, 상기 유닛 베이스에 고정되어 상기 조정 볼트의 X축 방향의 이동을 유닛 베이스에 전달하는 볼트 지지블록을 포함하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 조절용 부시, 조정 볼트, 지지블록은 상기 유닛 베이스의 상부에 설치되고, 상기 조절용 부시는 상기 프로브 스테이지에서 돌출된 제2핀에 결합되며, 상기 유닛 베이스에는 상기 제2핀이 통과함과 아울러 제2핀에 대해 유닛 베이스가 X축 방향으로 상대 이동이 가능하게 하는 부시 홀이 형성되며, 상기 유닛 베이스와 조절용 부시 사이에는 유닛 베이스의 X축 방향의 상대 이동을 제한하는 스토퍼을 구비하며, 상기 스토퍼는 조절용 부시의 X축 이동 방향의 양쪽에 각각 복수개가 설치되는 것이 더욱 바람직하다.
전술한 특징의 프로브 유닛의 상기 머니퓰레이터는, 상기 유닛 베이스 측에 설치되는 베이스 블록과, 상기 베이스 블록에 Z축 방향으로 상대 이동이 가능하게 연결되는 슬라이드 블록과, 상기 슬라이드 블록에 대하여 Y축 방향으로 미세 조정이 가능하도록 상기 슬라이드 블록에 슬라이딩 가능하게 결합되고 하부에 상기 검 사용 블록이 장착되는 언더 플레이트를 포함하여, 검사용 블록이 Y축 방향으로 위치 이동할 수 있도록 하며, 상기 슬라이드 블록과 언더 플레이트의 양측면에는 언더 플레이트를 Y축 방향으로 이동시킬 때 사용되는 조정기구가 결합될 수 있도록 홈 또는 돌기로 이루어진 결합부가 각각 구비되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 탐침의 미세 위치 조정이 가능한 프로브 유닛은, 프로브 스테이지에 유닛 베이스가 장착된 후에, 유닛 베이스의 위치를 직접 X축 방향으로 미세 조정하고, 검사용 블록의 위치를 Y축 방향으로 미세 조정할 수 있도록 하여, 검사용 블록의 탐침들이 피검사체의 전극핀들에 정확하게 접촉될 수 있게 된다. 이로써, 검사 작업을 보다 정확하게 수행할 수 있을 뿐만 아니라, 보다 정확한 검사 작업을 신속하고 편리하게 수행할 수 있게 된다.
첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 프로브 유닛의 구성 및 동작을 구체적으로 설명한다.
도 1 내지 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 탐침의 미세 위치 조정이 가능한 프로브 유닛이 도시된 도면으로서, 도 1은 평면 구성도이고, 도 2는 주요부 사시도이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 탐침의 미세 위치 조정이 가능한 프로브 유닛은, 도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이, 프로브 스테이지(미도시)의 상부에 플레이트 구조를 갖는 유닛 베이스(20)가 구비된다.
유닛 베이스(20)와 인접한 부분에는 패널 지지테이블(미도시)이 구비되고, 이 패널 지지테이블의 상부에는 LCD 패널, 또는 PDP 등 피검사체(10)가 위치된다. 참조 번호 14는 피검사체(10)의 가장자리에 구성되는 전극핀들을 나타낸다. 유닛 베이스(20)는 상기 피검사체(10)의 전극핀(14)들과 전기적으로 접촉될 검사용 블록(31)의 탐침(33)들을 지지할 수 있도록 구성되는 바, 이러한 유닛 베이스(20)는 상기한 프로브 스테이지나 패널 지지테이블의 조정 없이 X축 미세 조절 기구(21)를 이용하여 X축 방향으로 미세 조정할 수 있도록 구성된다.
X축 미세조절기구(21)는 프로브 스테이지와 유닛 베이스(20) 사이에 구비되어 유닛 베이스(20)를 X축 방향으로 상대 이동시킴으로써 탐침(33)을 X축 방향으로 미세 조정할 수 있도록 구성되고, 머니퓰레이터(40)는 유닛 베이스(20)에 장착되어 탐침(33)들이 구비된 검사용 블록(31)을 지지하는 구성 부분으로서, 검사용 블록(31)을 Y축 방향으로 상대 이동시킴으로써 탐침(33)들을 Y축 방향으로 미세 조정할 수 있도록 구성된다. 즉, X축 미세조절기구(21)를 이용하여 상기 유닛 베이스(20)의 위치를 X축 방향으로 미세 조정하고, 머니퓰레이터(manipulator)(40)를 이용하여 검사용 블록(31)의 위치를 Y축 방향으로 미세 조정함으로써, 검사용 블록에 고정된 탐침(33)의 위치를 X축 및 Y축으로 미세 조정할 수 있게 된다.
이하, X축 및 Y축 미세 조정 기능을 실현하는 X축 미세조절기구(21)와 머니퓰레이터(40)에 대하여 도 3 내지 도 8을 참조하여, 상세히 설명한다.
먼저, 도 3을 참조하여 X축 미세조절기구(21)에 대하여 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 X축 미세조절기구가 도시된 분해 사시도이다. X축 미세조절기구(21)는, 도 1 및 도 2를 참고하면, 유닛 베이스(20)의 일측 에 설치된 미세조절장치(50)와, 유닛 베이스(20)의 타측에 설치된 장공(25)과 제1핀(P1)의 결합구조로 이루어진다. 즉, 유닛 베이스(20)의 일측부에는 조정 볼트(58)의 회전에 의해 프로브 스테이지에 대해 X축 방향으로 미세 유동이 가능하도록 하는 미세조절장치(50)가 설치된다. 그리고 유닛 베이스(20)의 타측부에는 프로브 스테이지에서 돌출된 제1핀(P1)이 삽입되어 X축 방향으로 상대 이동이 가능하도록 이루어진 장공(25)이 구성된다. 이때, 제1핀(P1)과 장공(25)은 유닛 베이스(20)가 프로브 스테이지에 대하여 Y축 방향으로 상대 이동하는 것은 제한하면서, 상기 미세조절장치(50)에 조정 상태에 따라 X축 방향으로만 상대 이동하도록 상호 결합된 구성으로 이루어진다. 상기 미세조절장치(50)는, 상기 프로브 스테이지 측에 고정되는 조절용 부시(51)와, 상기 조절용 부시(51)에 체결되어 X축 방향으로 이동하는 조정 볼트(58)와, 상기 유닛 베이스(20)에 고정되어 상기 조정 볼트(58)의 X축 방향의 이동을 유닛 베이스(20)에 전달하는 볼트 지지블록(56)을 포함하여 구성된다.
본 발명의 일 실시예에서는 상기 조절용 부시(51), 조정 볼트(58), 볼트 지지블록(56)은 상기 유닛 베이스(20)의 상부에 설치된 구성을 예시하고 있는바, 상기 조절용 부시(51)는 상기 프로브 스테이지에서 돌출된 제2핀(P2)에 결합된다. 물론, 유닛 베이스(20)에는 상기 제2핀(P2)이 통과함과 아울러 제2핀(P2)에 대해 유닛 베이스(20)가 X축 방향으로 상대 이동이 가능하게 부시 홀(23)이 형성된다. 이때, 부시 홀(23)은 실시 조건에 따라 사각 홀 구조를 갖도록 구성될 수도 있고, 긴 홀 구조로 구성될 수도 있다. 상기 조절용 부시(51)는 그 중앙부에 상기 제2핀(P2) 이 결합되는 홀(52)이 형성되고, 그 양측에는 플랜지부(54)가 형성되는데, 각 플랜지부(54)에는 아래에서 설명될 볼트홀(54)이 형성된다. 상기 조정 볼트(58)는 이중 볼트 머리부(또는 고정너트 추가)(58a)를 갖고, 그 사이에 홈부(58b)를 갖는다. 상기 볼트 지지블록(56)은 고정볼트(57)에 의해 유닛 베이스(20)에 고정되며, 가운데 부분에 상기 조정 볼트(58)의 이중 볼트 머리부(58a) 및 홈부(58b)가 안착되는 홈부(56a) 및 턱부(56b)가 연결되어 형성된다.
한편, 상기 유닛 베이스(20)와 조절용 부시(51) 사이에는 유닛 베이스(20)의 X축 방향의 상대 이동을 제한하는 스토퍼(59)가 구비되는 것이 바람직하고, 이때 스토퍼(59)는 조절용 부시(51)의 X축 방향의 양쪽에 각각 두 개 또는 그 이상이 설치되어 구성될 수 있다. 또한, 상기 조절용 부시(51)는 상기 유닛 베이스(20)에 그 위치를 고정할 수 있도록 구성할 수 있는데, 이를 위해 상기 조절용 부시(51)와 유닛 베이스(20)에 q부시 고정볼트(55)가 체결되는 볼트 홀들이 각각 형성된다. 이때, 조절용 부시(51)에 형성된 볼트 홀(54a)에는 부시 고정볼트(55)에 대하여 조절용 부시(51)가 X축 방향의 상대 이동이 가능하도록 장공 구조로 형성된다.
다음, 도 4 내지 도 8을 참조하여 머니퓰레이터(40)에 대하여 설명한다.
도 4 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 머니퓰레이터가 도시된 도면들로서, 도 4는 머니퓰레이터에 조정기구가 결합된 상태의 사시도, 도 5는 머니퓰레이터에 검사용 블록이 장착된 상태를 보인 상세도, 도 6은 머니퓰레이터의 측면도, 도 7은 머니퓰레이터의 정면도, 도 8은 머니퓰레이터의 평면도이다. 머니퓰레이터(40)는, 상기 유닛 베이스(20)에 설치되는 베이스 블록(41)과, 이 베이스 블 록(41)에 Z축 방향으로 상대 이동이 가능하게 연결되는 슬라이드 블록(42)과, 이 슬라이드 블록(42)에 대하여 Y축 방향으로 미세 조정이 가능하도록 상기 슬라이드 블록(42)의 하측에 슬라이딩 가능하게 결합되는 언더 플레이트(45)로 구성된다. 여기서 상기 베이스 블록(41)과 슬라이드 블록(42)은 Z축 방향으로 상대 이동이 가능하도록 리니어 가이드(43)를 통해서 상호 연결되고, 또한 상하 방향으로 스프링(44b)이 구비됨과 아울러, Z축 방향의 상대 위치를 고정하는 고정 스크루(44a)가 구비된다.
상기 언더 플레이트(45)에는 그 하부에 탐침(33)이 구비된 검사용 블록(31)이 장착될 수 있도록 블록 고정볼트(46)가 구비된다. 특히, 상기 슬라이드 블록(42)과 언더 플레이트(45)는 상대 이동이 가능하도록 구성되는 바, 도 7의 정면도에서와 같이 슬라이드 블록(42)과 언더 플레이트(45)는 요철 구조의 리니어 가이드 구조로 상호 결합된 상태에서 언더 플레이트(45)가 슬라이딩될 수 있도록 구성된다. 이때, 언더 플레이트(45)의 Y축 방향의 미세 조정은 조절기구(47)를 통해서 이루어지는데, 이를 위해 슬라이드 블록(42)과 언더 플레이트(45)의 양측면에는 상기 조절기구(47)가 결합될 수 있도록 돌기(42a, 45a)로 이루어진 결합부가 각각 구비된다.
상기 조절기구(47)는 전체적으로 역 'U'자형 구조를 갖도록 형성되는데, 양측에 조정 암(47a)이 위치되고, 조정 암(47a)의 상부쪽에 조정 플레이트(47b)가 연결된 구성으로 이루어진다. 물론 상기 조정 암(47a)의 하측 내면에는 상기 슬라이드 블록(42)과 언더 플레이트(45)에서 각각 돌출된 돌기(42a, 45a)가 결합될 수 있 도록 상하 방향으로 두 개의 결합홈(미도시)이 형성된다. 이때, 결합홈 중 어느 하나는 상기 돌기(42a, 45a)가 결합된 상태에서 회전 방향의 움직임이 가능하도록 상하 방향으로 어느 정도 유격을 갖도록 형성된다. 이와는 반대로 상기 슬라이드 블록(42)과 언더 플레이트(45)에는 돌기(42a, 45a) 대신에 상기 조절기구(47)가 결합될 수 있는 홈 구조로 구성하는 것도 가능하다. 이때 조절기구(47)에는 결합홈 대신에 돌기가 돌출되어 형성된다.
한편, 참조 번호 48은 언더 플레이트(45)를 슬라이드 블록(42)에 고정하는 고정볼트인데, 이 고정볼트(48)가 삽입된 슬라이드 블록(42)의 볼트홀은 고정볼트(48)의 외경보다 일정 정도 크게 형성되어 언더 플레이트(45)가 Y축 방향으로 일정 정도 이동할 수 있도록 이루어지는 것이 바람직하다.
따라서, 고정볼트(48)를 약간 푼 상태에서 조절기구(47)를 이용하여 언더 플레이트(45)를 Y축 방향으로 미세 조절하면, 고정볼트(48)는 슬라이드 블록(42)의 볼트홀 내에서 언더 플레이트(45)를 따라 미세하게 이동하게 된다. 이후, 언더 플레이트(45)를 슬라이드 블록(42)에 고정하기 위해서는 상기 고정볼트(48)를 조이게 되면, 고정볼트(48)의 머리부의 조임력과 언더 플레이트(45)와의 체결력에 의해 슬라이드 블록(42)과 언더 플레이트(45)가 상호 고정됨으로써 언더 플레이트(45)의 Y축 방향의 미세 조정이 완료될 수 있게 된다.
상기한 바와 같은 X축 미세조절기구(21)와 머니퓰레이터(40)를 이용하여 탐침(33)들을 X축 및 Y축 방향으로 미세 이동시켜 피검사체(10)의 전극핀(14)들과 프로브 유닛의 탐침(33)들이 정확하게 접촉될 수 있게 된다. 이러한 미세 조정은 현 미경 등으로 전극핀(14)과 탐침(33)이 결합된 부분을 관찰하면서, 탐침(33)을 X축 방향으로 미세 조정하기 위해서는 X축 미세조절기구(21)의 조정 볼트(58)를 회전시켜 유닛 베이스를 이동시키고, 또한 탐침(33)들을 Y축 방향으로 미세 조정하기 위해서는 머니퓰레이터(40)에 장착된 조절기구(47)를 전후 이동시킴으로써, 결과적으로 탐침(33)을 원하는 위치로 이동시키게 된다.
물론, 탐침(33)들이 전극핀(14)들로부터 과도하게 떨어진 경우에는 유닛 베이스(20)를 지지하는 프로브 스테이지 또는 피검사체(10)를 지지하는 스테이지를 X축 또는 Y축 방향으로 이동시켜 조절할 수 있다.
한편, 상기한 본 발명의 실시예에서는, 유닛 베이스(20)에 X축 미세조절기구(21)와 Y축 방향의 미세 조정이 가능한 머니퓰레이터(40)가 모두 구성된 실시예를 설명하였으나, 실시 조건에 따라서는 두 구성 중 어느 하나의 구성만을 채택하여 X축 또는 Y축만 미세 조정하도록 구성하는 것도 가능하다.
상기한 바와 같은 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 탐침의 미세 위치 조정이 가능한 프로브 유닛이 도시된 평면 구성도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 탐침의 미세 위치 조정이 가능한 프로브 유닛이 도시된 주요부 사시도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 X축 미세조절기구가 도시된 분해 사시도,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 머니퓰레이터에 조정기구가 결합된 상태의 사시도,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 머니퓰레이터에 검사용 블록이 장착된 상태를 보인 상세도,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 머니퓰레이터의 측면도,
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 머니퓰레이터의 정면도,
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 머니퓰레이터의 평면도이다.

Claims (12)

  1. 탐침, 상기 탐침을 고정 장착시키는 검사용 블록, 상기 검사용 블록이 장착되는 머니퓰레이터(manipulator), 상기 머니퓰레이터를 고정하는 유닛 베이스를 구비하여, 프로브 스테이지위에 고정되어 피검사체를 검사하는 프로브 유닛에 있어서,
    상기 프로브 스테이지와 유닛 베이스 사이에 배치되되 상기 유닛 베이스의 일측부에 배치되고, 조정 볼트의 회전에 의해 유닛베이스가 프로브 스테이지에 대해 X축 방향으로 미세 유동이 가능하도록 하는 미세조절장치를 구비하여 상기 탐침의 위치를 X축 방향으로 미세 조정하는 X축 미세조절기구;를 더 포함하며,
    상기 미세조절장치는 상기 프로브 스테이지 측에 고정되는 조절용 부시와, 상기 조절용 부시에 체결되어 나사 회전에 의해 X축 방향으로 이동하는 조정 볼트와, 상기 유닛 베이스에 고정되어 상기 조정 볼트의 X축 방향의 이동을 유닛 베이스에 전달하는 볼트 지지블록을 포함한 것을 특징으로 하는 탐침의 미세 위치 조정이 가능한 프로브 유닛.
  2. 탐침, 상기 탐침을 고정 장착시키는 검사용 블록, 상기 검사용 블록이 장착되는 머니퓰레이터(manipulator), 상기 머니퓰레이터를 고정하는 유닛 베이스를 구비하여, 프로브 스테이지위에 고정되어 피검사체를 검사하는 프로브 유닛에 있어서,
    상기 프로브 스테이지와 유닛 베이스 사이에 배치되되 상기 유닛 베이스의 일측부에 배치되고, 조정 볼트의 회전에 의해 유닛베이스가 프로브 스테이지에 대해 X축 방향으로 미세 유동이 가능하도록 하는 미세조절장치를 구비하여 상기 탐침의 위치를 X축 방향으로 미세 조정하는 X축 미세조절기구;를 더 포함하며,,
    상기 미세조절장치는 상기 프로브 스테이지 측에 고정되는 조절용 부시와, 상기 조절용 부시에 체결되어 나사 회전에 의해 X축 방향으로 이동하는 조정 볼트와, 상기 유닛 베이스에 고정되어 상기 조정 볼트의 X축 방향의 이동을 유닛 베이스에 전달하는 볼트 지지블록을 포함하고,
    상기 머니퓰레이터는 상기 유닛 베이스에 장착되어 상기 탐침이 구비된 검사용 블록을 지지하되, 상기 탐침을 Y축 방향으로 미세 조정하기 위해, 상기 검사용 블록을 Y축 방향으로 상대 이동시킬 수 있도록 이루어진 것을 특징으로 하는 탐침의 미세 위치 조정이 가능한 프로브 유닛.
  3. 탐침, 상기 탐침을 고정 장착시키는 검사용 블록, 상기 검사용 블록이 장착되는 머니퓰레이터(manipulator), 상기 머니퓰레이터를 고정하는 유닛 베이스를 구비하여, 프로브 스테이지위에 고정되어 피검사체를 검사하는 프로브 유닛에 있어서,
    상기 머니퓰레이터는 상기 유닛 베이스에 장착되어 상기 탐침이 구비된 검사용 블록을 지지하되, 상기 탐침을 Y축 방향으로 미세 조정하기 위해, 상기 유닛 베이스 측에 설치되는 베이스 블록과, 상기 베이스 블록에 Z축 방향으로 상대 이동이 가능하게 연결되는 슬라이드 블록과, 상기 슬라이드 블록에 대하여 Y축 방향으로 미세 조정이 가능하도록 상기 슬라이드 블록에 슬라이딩 가능하게 결합되고 하부에 상기 검사용 블록이 장착되는 언더 플레이트를 포함하여, 검사용 블록이 Y축 방향으로 위치 이동할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 탐침의 미세 위치 조정이 가능한 프로브 유닛.
  4. 삭제
  5. 청구항 1 및 청구항 2 중 어느 한 항에 있어서, 상기 X축 미세조절기구는,
    상기 유닛 베이스의 타측부에 구비되어 상기 프로브 스테이지에서 돌출된 제1핀이 삽입된 상태에서 유닛 베이스가 X축 방향으로만 상대 이동할 수 있도록 구성되는 장공을 포함한 것을 특징으로 하는 탐침의 미세 위치 조정이 가능한 프로브 유닛.
  6. 삭제
  7. 청구항 1 및 청구항 2 중 어느 한 항에 있어서, 상기 조절용 부시, 조정 볼트, 지지블록은 상기 유닛 베이스의 상부에 설치되고,
    상기 조절용 부시는 상기 프로브 스테이지에서 돌출된 제2핀에 결합되며,
    상기 유닛 베이스에는 상기 제2핀이 통과함과 아울러 제2핀에 대해 유닛 베이스가 X축 방향으로 상대 이동이 가능하게 하는 부시 홀이 형성된 것을 특징으로 하는 탐침의 미세 위치 조정이 가능한 프로브 유닛.
  8. 청구항 7에 있어서, 상기 유닛 베이스와 조절용 부시 사이에는 유닛 베이스의 X축 방향의 상대 이동을 제한하는 스토퍼가 구비된 것을 특징으로 하는 탐침의 미세 위치 조정이 가능한 프로브 유닛.
  9. 청구항 8에 있어서, 상기 스토퍼는 조절용 부시의 X축 이동 방향의 양쪽에 각각 복수개가 설치된 것을 특징으로 하는 탐침의 미세 위치 조정이 가능한 프로브 유닛.
  10. 청구항 1 및 청구항 2 중 어느 한 항에 있어서, 상기 조절용 부시와 유닛 베이스에 각각 형성된 볼트 홀에 부시 고정볼트가 체결되어 조절용 부시의 위치를 고정할 수 있도록 구성되되, 조절용 부시에 형성된 볼트 홀은 부시 고정볼트에 대하여 X축 방향의 상대 이동이 가능하도록 장공 구조로 형성된 것을 특징으로 하는 탐침의 미세 위치 조정이 가능한 프로브 유닛.
  11. 청구항 2에 있어서, 상기 머니퓰레이터는, 상기 유닛 베이스 측에 설치되는 베이스 블록과, 상기 베이스 블록에 Z축 방향으로 상대 이동이 가능하게 연결되는 슬라이드 블록과, 상기 슬라이드 블록에 대하여 Y축 방향으로 미세 조정이 가능하도록 상기 슬라이드 블록에 슬라이딩 가능하게 결합되고 하부에 상기 검사용 블록이 장착되는 언더 플레이트를 포함하여, 검사용 블록이 Y축 방향으로 위치 이동할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 탐침의 미세 위치 조정이 가능한 프로브 유닛.
  12. 청구항 3 및 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서, 상기 슬라이드 블록과 언더 플레이트의 양측면에는 언더 플레이트를 Y축 방향으로 이동시킬 때 사용되는 조정기구가 결합될 수 있도록 홈 또는 돌기로 이루어진 결합부가 각각 구비된 것을 특징으로 하는 탐침의 미세 위치 조정이 가능한 프로브 유닛.
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