KR100986640B1

KR100986640B1 - 프로브 유닛 및 검사장치

Info

Publication number: KR100986640B1
Application number: KR1020080032098A
Authority: KR
Inventors: 야수아키 오사나이; 카즈요시 미우라; 히로키 사이토; 토시오 후쿠시
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2007-04-17
Filing date: 2008-04-07
Publication date: 2010-10-08
Also published as: JP4903624B2; CN101290329A; TWI361895B; TW200902988A; JP2008267873A; KR20080093873A

Abstract

본 발명은, 프로브 유닛의 교환 작업을 안전하고 일인(一人) 작업이 가능하도록 하는 것이다. 본체 쪽에 고정되는 프로브 스테이지와, 액정패널 등의 검사대상판의 전극에 직접 접촉하는 프로브를 갖는 프로브 조립체와, 상기 프로브 스테이지에 지지된 상태로 상기 프로브 조립체를 지지하는 프로브 베이스를 갖추고, 상기 프로브 베이스가 하나의 기준판부와, 1 또는 2 이상의 조정판부와, 이들 기준판부와 조정판부와의 사이 및 각 조정판부의 사이에 설치되고 각 조정판부의 위치를 조정하는 위치 조정기구를 갖춘다. 상기 기준판부는, 상기 프로브 스테이지의 특정 위치에 벗어나지 않게 설치되고, 상기 조정판부는 상기 프로브 스테이지에 벗어남이 허용된 상태로 설치된다.

프로브 유닛, 프로브 스테이지, 위치 조정기구, 프로브 조립체, 검사장치, 기준판부, 조정판부

Description

프로브 유닛 및 검사장치{Probe Unit and Inspection Apparatus}

도1은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 요부를 나타낸 분해 사시도이다.

도2는 종래의 검사장치를 나타낸 정면도이다.

도3은 종래의 검사장치의 프로브 유닛을 나타낸 평면도이다.

도4는 본 발명의 실시형태에 따른 검사장치의 프로브 유닛을 나타낸 사시도이다.

도5는 본 발명의 실시형태에 따른 검사장치의 프로브 유닛을 나타낸 평면도이다.

도6은 본 발명의 실시형태에 따른 검사장치의 위치 조정기구를 나타낸 사시도이다.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *

21: 워크 테이블 22: 액정패널

23: 프로브 유닛 25: 프로브 스테이지

26: 프로브 조립체 27: 프로브 베이스

28: 결합 요부(凹部) 31: 기준판부(基準板部)

32: 조정판부(調整板部) 33: 위치 조정기구

35: 고정용 볼트 37: 긴 구멍

40: 조정 볼트 41: 조정 볼트 홀더

42: 조정 블록 44: 회전 허용부

45: 나사부 47: 베이스 판

48: 홀더 판 49: 결합 홈

50: 베이스 판 51: 나사 판

발명의 분야

본 발명은, 액정패널 등의 검사대상판의 검사에 이용하는 프로브 유닛 및 검사장치에 관한 것이다.

발명의 배경

예를 들어 액정패널에 있어서, 그 제조공정에서 액정이 봉입(封入)된 액정패널에 대하여, 시방서대로 성능을 갖는지 아닌지 검사(시험)가 행해진다. 이 검사에 는, 일반적으로 복수의 프로브를 갖는 프로브 유닛을 갖춘 검사장치가 이용된다. 이 경우, 검사장치의 각 프로브를 액정패널의 전극에 누른 상태로, 소정의 전극에 소정의 전기신호를 공급함으로써 행해진다.

이와 같은 검사장치의 한 예를 도2에 나타낸다. 도시한 검사장치(1)는 주로 패널 세트부(2)와, 측정부(3)로 구성되어 있다.

패널 세트부(2)는, 외부로부터 삽입된 액정패널 등의 검사대상판(5)을 측정부(3)로 운송하고, 검사종료 후의 검사대상판(5)을 외부로 반송하기 위한 장치이다. 패널 세트부(2)는, 개구부(6)의 안쪽에 패널 세트 스테이지(7)를 갖고, 상기 패널 세트 스테이지(7)에서 검사대상판(5)을 지지하여, 측정부(3)로 운반한다. 또, 패널 세트 스테이지(7)는, 측정부(3)에서 검사종료 후의 검사대상판(5)을 받아 외부로 운반한다.

측정부(3)는, 패널 세트부(2)로부터 건네진 검사대상판(5)을 지지하여 시험하기 위한 장치이다. 측정부(3)는, 척 톱(8)이나 프로버(9) 등을 갖추어 구성되어 있다.

척 톱(8)은, 검사대상판(5)을 지지하기 위한 부재이다. 상기 척 톱(8)은, XYZθ 스테이지(도시하지 않음)에 지지되고, XYZ축 방향으로의 이동 및 회전이 제어되고, 검사대상판(5)의 위치가 조정된다. 프로버(9)는 주로, 베이스 플레이트(10), 프로브 유닛(11)을 갖추어 구성되어 있다. 프로브 유닛(11)은, 베이스 플레이트(10)의 개구(10A)에 면한 상태로 베이스 플레이트(10)에 지지되어 있다.

프로브 유닛(11)의 한 예로서 특허문헌 1이 있다. 이 예를 도3에 나타내었 다. 상기 프로브 유닛(11)은 주로, 프로브 베이스(12)와, 상기 프로브 베이스(12)에 지지된 프로브 조립체(13)를 갖추어 구성되어 있다.

상기 프로브 베이스(12)는, 복수의 프로브 조립체(13)를 일체적으로 지지하는 판재이다. 상기 프로브 베이스(12)에서, 복수의 프로브 조립체(13)가 액정패널 등의 검사대상판(5)에 면한 상태로 지지되어 있다.

프레임(14)에는, 프로브 유닛(11)을 이동시켜 위치를 조정하는 이동기구(15)가 설치되어 있다. 상기 이동기구(15)는, 리드 너트(16)와, 이동체(도시하지 않음)와, 리드 스크루(17)와, 모터(18)와, 블라켓(19)으로 구성되어 있다. 리드 너트(16)는, 이동체에 조립되어 있고, 또 리드 스크루(17)와 결합되어 있다. 이동체는, 리드 스크루(17)가 모터(18)에 의해 회전됨으로써, X변 방향으로 이동된다. 모터(18)는, 블라켓(19)에 의해 프레임(14) 위에 설치되어 있다.

[특허문헌 1] 일본 특개2001-74778호 공보

그런데, 상기 검사장치(1)에서는, 검사대상판(5)의 품종 교환에 따라 프로브 유닛(11)도 교환된다. 예를 들어 액정패널의 경우, 프로브 유닛(11)은 새 품종의 액정패널의 치수에 적합한 것으로 교환된다.

상기 프로브 유닛(11)의 교환은, 액정패널의 치수가 작을 때는 특별히 문제가 되지 않는다. 액정패널의 치수가 작으면, 프로브 유닛(11)의 치수도 작고 무겁지 않기 때문에, 프로브 유닛(11)의 교환 작업에 지장을 받지 않는다. 프로브 유닛(11)을 설치하고, 이동기구(15)의 모터(18)를 구동하여 리드 스크루(17)를 회전 시켜 리드 너트(16)를 이동시키고, 이동체를 통하여 프로브 유닛(11)의 위치를 조정한다. 이에 의해, 프로브 유닛(11)을 용이하게 교환할 수 있다.

그러나 액정패널의 치수가 커지면, 프로브 유닛(11)의 치수도 커지고 무거워지기 때문에, 프로브 유닛(11)의 교환 작업에 지장을 주게 된다.

예를 들어, 52인치 클래스의 액정패널에서는, 데이터 쪽 프로브 유닛(11)으로, 그 길이는 1650mm, 무게는 약 35kg이 되어, 한 사람의 작업원만으로 프로브 유닛(11)을 교환할 수 없게 된다. 즉, 교환작업이 위험하고 2인 작업이 되어, 효율이 나쁜 문제가 있었다.

본 발명은, 상술한 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 교환 작업이 안전하고 1인(人) 작업이 가능해지는 프로브 유닛 및 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.

발명의 요약

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 프로브 유닛은, 본체 쪽에 고정되는 프로브 스테이지와, 검사대상판의 전극에 직접 접촉하는 프로브를 갖는 프로 브 조립체와, 상기 프로브 스테이지에 지지된 상태로 상기 프로브 조립체를 지지하는 프로브 베이스를 갖추고, 상기 프로브 베이스가 하나의 기준판부와, 1 또는 2 이상의 조정판부와, 이들 기준판부와 조정판부의 사이 및 각 조정판부의 사이에 설치되고 각 조정판부의 위치를 조정하는 위치 조정기구를 갖춘 것을 특징으로 한다.

이에 의해, 상기 프로브 베이스의 기준판부를 먼저 설치하고, 1 또는 2 이상의 조정판부를 위치 조정기구로 그 위치를 조정하면서 설치한다.

상기 프로브 베이스의 기준판부는, 상기 프로브 스테이지의 특정위치에 벗어나지 않게 설치되고, 상기 조정판부는, 상기 프로브 스테이지에 벗어남을 허용한 상태로 설치되는 것이 바람직하다. 상기 프로브 베이스의 기준판부는, 상기 프로브 스테이지에 고정하는 고정용 볼트와 거의 같은 직경의 둥근 구멍을 갖고, 상기 조정판부는, 상기 고정용 볼트에 대하여 벗어남을 허용하는 긴 구멍을 갖는 것이 바람직하다. 상기 위치 조정기구는, 상기 프로브 베이스의 기준판부와 조정판부와의 간격 또는 각 조정판부의 간격을 조정하는 조정 볼트와, 상기 기준판부와 조정판부 또는 각 조정판 중 한쪽에 설치되고 상기 조정 볼트를 회전 가능하게 지지하는 조정 볼트 홀더와, 상기 기준판부와 조정판부 또는 각 조정판 중 다른 쪽에 설치되고 상기 조정 볼트가 삽입되는 나사구멍을 갖는 조정 블록으로 구성되는 것이 바람직하다.

또, 검사대상판을 외부로부터 반입하고, 검사종료 후에 외부로 반송하는 패널 세트부와, 상기 패널 세트부로부터 건네진 검사대상판을 지지하여 시험하는 측정부를 갖추고, 상기 측정부의 프로브 유닛으로서, 상기 프로브 유닛을 이용하는 것이 바람직하다.

발명의 상세한 설명

이하, 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛 및 검사장치에 대해서 첨부도면을 참조하면서 설명한다.

본 실시형태의 검사장치는, 전체적으로는 상기 종래의 검사장치와 거의 동일하기 때문에, 여기에서는 동일부재에는 동일부호를 붙여 그 설명을 생략한다.

본 실시형태의 검사장치에서는, 도4, 5에 나타낸 바와 같이, 워크 테이블(21) 위에 놓인 액정패널(22)의 가장자리를 따라 프로브 유닛(23)이 설치되어 있다.

프로브 유닛(23)은 주로, 프로브 스테이지(25)와, 프로브 조립체(26)와, 프로브 베이스(27)를 갖추어 구성되어 있다.

프로브 스테이지(25)는, 검사장치(1)의 장치 본체 쪽에 고정되고, 프로브 베이스(27)를 지지하기 위한 부재이다. 프로브 스테이지(25)는, 4분할되어, 본체 쪽인 검사장치의 프레임(14)에 각각 고정되어 있다. 프로브 스테이지(25)의 워크 테이블(21)(액정패널(22)) 쪽에 프로브 조립체(26)가 설치되어 있다. 각 프로브 스테이지(25)는 거의 장방형 판상으로 형성되어 있다. 각 프로브 스테이지(25)의 위쪽 면에는, 프로브 베이스(27)를 설치하기 위한 결합 요부(凹部)(28)가 설치되어 있다. 상기 결합 요부(28)는, 그 길이방향으로 프로브 베이스(27)를 약간 옮길 수 있도록, 프로브 베이스(27)보다도 작은 길이 치수로 설정되어 있다. 결합 요부(28)에 는, 프로브 베이스(27)를 고정하기 위한 나사구멍(28A)(도1 참조)이 설정 간격을 두고 복수개 설치되어 있다.

4개의 프로브 스테이지(25)의 치수는, 액정패널(22)의 가로세로 치수에 맞추어 설정되어 있다. 구체적으로는, 2개의 짧은 프로브 스테이지(25A)와 2개의 긴 프로브 스테이지(25B)로 구성되어 있다. 2개 중 한쪽 짧은 프로브 스테이지(25A) 및 긴 프로브 스테이지(25B)에는 프로브 조립체(26)가 설치되어 있다.

프로브 조립체(26)는, 검사대상판으로서의 액정패널(22)의 전극에 직접 접촉하여, 액정패널(22) 위의 회로에 검사신호를 송신하기 위한 부재이다. 프로브 조립체(26)는, 서스펜션 블록, 슬라이드 블록 등을 조합시켜 구성되고, 그 선단에 프로브(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 상기 프로브는 액정패널(22)의 전극에 직접 접촉되어 액정패널(22) 위의 회로에 검사신호를 송신한다.

프로브 베이스(27)는, 상기 프로브 스테이지(25)에 지지된 상태로 상기 프로브 조립체(26)를 지지하기 위한 부재이다. 짧은 프로브 스테이지(25A)에 설치되는 프로브 베이스(27A)는, 그 전체 길이가 짧아 중량도 그만큼 무겁지 않기 때문에, 단일 부재로서 구성되어 있다. 긴 프로브 스테이지(25B)에 설치되는 프로브 베이스(27B)는, 그 전체 길이가 길어 중량도 무거워지기 때문에 분할되어 있다. 즉, 프로브 베이스(27B)는 기준판부(31)와, 조정판부(32)와, 위치 조정기구(33)를 갖추어 구성되어 있다.

기준판부(31)는, 프로브 베이스(27)의 위치 맞춤의 기준이 되는 부재이다. 기준판부(31)는, 도1, 5에 나타낸 바와 같이, 프로브 스테이지(25)의 특정 위치에 벗어나지 않고 정확하게 설치된다. 구체적으로는, 긴 프로브 스테이지(25B)의 결합 요부(28)의 한쪽 단부(端部)(도1 중의 오른쪽 단부)에 벗어나지 않도록 정확하게 설치된다. 기준판부(31)는, 프로브 스테이지(25)에 고정하는 고정용 볼트(35)와 거의 같은 직경의 둥근 구멍(31A)을 갖고 있다. 이에 의해, 고정용 볼트(35)가 둥근 구멍(31A)을 지나 결합 요부(28)의 나사구멍(28A)에 조여짐으로써, 기준판부(31)가 정확한 위치에 설치된다. 기준판부(31)에는 프로브 조립체(26), 위치 맞춤용 카메라(36)가 설치되어 있다.

조정판부(32)는, 그 위치가 조정되어 기준판부(31)와 연결됨으로써 프로브 베이스(27)를 구성하기 위한 부재이다. 상기 조정판부(32)는 긴 프로브 스테이지(25B)의 결합 요부(28)의 길이에 따라 1 또는 2 이상 배설된다. 본 실시형태에서는, 하나의 조정판부(32)가 배설되어 있다. 상기 조정판부(32)는 기준판부(31)와 위치 조정기구(33)로 연결되어 있다.

조정판부(32)는, 프로브 스테이지(25B)에 벗어남이 허용된 상태로 설치되어 있다. 조정판부(32)에는, 고정용 볼트(35)에 대하여 벗어남을 허용하는 긴 구멍(37)이 설치되어 있다. 고정용 볼트(35)가 긴 구멍(37)에 삽입되어 결합 요부(28)의 나사구멍(28A)에 삽입된 상태로, 조정판부(32)는 긴 구멍(37)에 의해 벗어남이 허용되고, 위치 조정기구(33)로 조정판부(32)가 위치 조정되도록 되어 있다.

위치 조정기구(33)는, 기준판부(31)와 조정판부(32)와의 사이 및 각 조정판부(32)의 사이에 설치되고, 각 조정판부(32)의 위치를 조정하기 위한 기구이다. 위 치 조정기구(33)는, 도1, 6에 나타낸 바와 같이, 조정 볼트(40)와, 조정 볼트 홀더(41)와, 조정 블록(42)으로 구성되어 있다.

조정 볼트(40)는, 프로브 베이스(27)의 기준판부(31)와 조정판부(32)와의 간격 또는 각 조정판부(32)의 간격을 조정하기 위한 볼트이다. 여기에서는, 기준판부(31)와 조정판부(32)가 1매씩 설치되어 있기 때문에, 조정 볼트(40)는 기준판부(31)와 조정판부(32)와의 간격을 조정한다. 조정 볼트(40)는, 회전 허용부(44)와, 나사부(45)로 구성되어 있다. 회전 허용부(44)는, 두부(頭部)(44A)와, 축경부(縮徑部)(44B)와, 지지반부(支持盤部)(44C)로 구성되어 있다. 두부(44A)에는 육각구멍(44D)이 설치되어 있다. 상기 육각구멍(44D)에 육각 렌치가 삽입되어 회전된다. 축경부(44B)는, 후술하는 조정 볼트 홀더(41)의 결합 홈(49)에 회전 가능하게 결합하는 부분이다. 축경부(44B)는 원주상으로 형성되고, 결합 홈(49)에 끼움으로써, 조정 볼트(40)의 정(定)위치에서의 회전만이 허용되어, 축(軸)방향으로 벗어나지 않도록 지지되어 있다.

조정 볼트 홀더(41)는, 조정 볼트(40)를 회전 가능하게 지지하기 위한 부재이다. 조정 볼트 홀더(41)는, 베이스 판(47)과, 상기 베이스 판(47)으로부터 수직으로 일어서 설치된 홀더 판(48)으로 구성되어 있다. 베이스 판(47)은 기준판부(31) 또는 조정판부(32)의 단부에 직접 고정된다. 홀더 판(48)은, 그 상단부(上端部)에 결합 홈(49)이 설치되고, 조정 볼트(40)를 회전 가능하게 지지하고 있다. 결합 홈(49)은, 조정 볼트(40)의 축경부(44B)가 회전 가능하게 끼워지기 위한 부분이다. 상기 결합 홈(49)의 안쪽의 폭은, 축경부(44B)의 외경과 거의 같은 치수로 형성되어 있다. 이에 의해, 결합 홈(49)에 조정 볼트(40)의 축경부(44B)가 회전 가능하고 흔들리지 않고 정확하게 끼워진다. 게다가 결합 홈(49)은, 테이퍼 형상으로 약간 벌어져 구성되고, 조정 볼트(40)의 축경부(44B)가 용이하게 끼워질 수 있도록 되어 있다.

조정 블록(42)은, 조정 볼트(40)가 조여져 조정 볼트 홀더(41)와의 간격이 조정되기 위한 부재이다. 조정 블록(42)은, 베이스 판(50)과, 상기 베이스 판(50)으로부터 수직으로 일어서 설치된 나사 판(51)으로 구성되어 있다. 베이스 판(50)은, 조정판부(32) 또는 기준판부(31)의 단부에 직접 고정된다. 나사 판(51)은, 조정 볼트(40)가 삽입되는 나사구멍(51A)을 갖고, 조정 볼트 홀더(41)의 홀더 판(48)에 면하여 배설된다.

이상과 같이 구성된 프로브 유닛(23)은 다음과 같이 하여 교환된다.

프로브 유닛(23)을 분리하는 경우는, 우선 조정판부(32)의 고정용 볼트(35)를 떼어낸다. 그리고 위치 조정기구(33)의 조정 볼트(40)를 푼다.

이어서, 조정 볼트(40)의 회전 허용부(44)를 조정 볼트 홀더(41)의 결합 홈(49)으로부터 분리함과 동시에, 조정판부(32)를 프로브 스테이지(25)로부터 떼어낸다.

계속해서, 기준판부(31)의 고정용 볼트(35)를 빼내어, 기준판부(31)를 프로브 스테이지(25)로부터 분리한다.

계속해서, 신품종의 액정패널(22)에 맞춘 프로브 유닛(23)을 설치한다. 구체적으로는, 액정패널(22)의 전극에 맞추어 프로브 조립체(26)의 위치를 배치한 프로 브 베이스(27)를 프로브 스테이지(25)의 결합 요부(28)에 설치한다.

이 경우는, 우선 프로브 베이스(27)의 기준판부(31)를 설치한다. 기준판부(31)의 둥근 구멍(31A)과 프로브 스테이지(25)의 결합 요부(28)의 나사구멍(28A)을 맞추어, 고정용 볼트(35)를 삽입한다. 모든 둥근 구멍(31A)에 고정용 볼트(35)를 삽입하여 조임으로써, 기준판부(31)가 정확한 위치에 고정된다.

이어서, 조정판부(32)를 설치한다. 조정판부(32)의 긴 구멍(37)과 프로브 스테이지(25)의 결합 요부(28)의 나사구멍(28A)을 맞춤과 동시에, 위치 조정기구(33)의 조정 볼트(40)를 조정 블록(42)의 나사구멍(51A)에 삽입하여 조정 볼트 홀더(41)의 결합 홈(49)에 끼운다. 계속해서, 모든 긴 구멍(37)에 고정용 볼트(35)를 조여 넣고, 위치 조정기구(33)의 조정 볼트(40)를 육각 렌치로 회전시켜 조정 볼트 홀더(41)와 조정 블록(42)과의 간격을 조정하고, 기준판부(31)와 조정판부(32)와의 위치를 조정한다.

이어서, 각 고정용 볼트(35)를 조여 조정판부(32)를 고정한다.

짧은 프로브 스테이지(25A)의 프로브 베이스(27)는 짧고 가볍기 때문에, 그대로 교환한다.

이상에 의해, 프로브 유닛(23)의 교환작업을 안전하고 용이하게 행할 수 있다. 게다가, 긴 프로브 스테이지(25B) 쪽의 프로브 유닛(23)의 프로브 베이스(27B)는 기준판부(31)와 조정판부(32)로 분할되어 있기 때문에, 위치 조정기구(33)의 구조도 함께 작용하여 교환 작업을 안전하고 용이하게 행할 수 있다.

이에 의해, 프로브 유닛(23)의 교환 작업을 작업원 혼자서 행할 수 있게 되 어, 작업효율이 향상한다.

[변형예]

상기 실시형태에 따른 프로브 유닛(23)에서는, 프로브 베이스(27)를 기준판부(31)와 조정판부(32)의 2개로 분할한 예를 설명했지만, 프로브 베이스(27)의 치수가 큰 경우는 조정판부(32)를 2 이상으로 하여 3분할 이상으로 해도 좋다.

상기 실시형태에 따른 프로브 유닛(23)이 설치되는 검사장치로는, 종래예로서 기재한 검사장치에 한하지 않고, 다른 검사장치여도 괜찮은 것은 물론이다.

상기 실시형태에서는, 위치 조정기구(33)의 조정 볼트 홀더(41)의 결합 홈(49)을 테이퍼 형상으로 약간 벌린 형상으로 하였지만, 결합 홈(49)은 조정 볼트(40)의 축경부(44B)가 들어가기 쉬운 형상이면 된다. 예를 들어, 결합 홈(49)의 전체에 테이퍼를 설치하지 않고, 입구만을 크게 벌려도 좋다. 결합 홈(49)의 안쪽은, 안정하여 회전하기 쉽도록, 반원형상으로 형성한다.

상기 실시형태에서는, 짧은 프로브 스테이지(25A)의 프로브 베이스(27)는 분할하지 않고 단체(單體)의 부재로서 구성하였지만, 전체 치수가 커진 경우는, 상기 짧은 프로브 스테이지(25A)의 프로브 베이스(27)도 2 또는 3 이상으로 분할하게 된다.

위치 조정기구(33)는, 조정 볼트(40)의 나사의 피치를 이용하여 기준판부(31)와 조정판부(32)와의 간격을 조정하였지만, 다른 구조로 간격을 조정하도록 해도 좋다.

이상과 같이, 상기 프로브 베이스를 하나의 기준판부와 1 또는 2 이상의 조정판부로 분할하여 개별로 교환하도록 했기 때문에, 품종 교환 작업을 안전하고, 1인 작업으로 용이하게 행할 수 있다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims

본체 쪽에 고정되는 프로브 스테이지;

검사대상판의 전극에 직접 접촉하는 프로브를 갖는 프로브 조립체; 및

상기 프로브 스테이지에 지지된 상태로 상기 프로브 조립체를 지지하는 프로브 베이스;

를 갖추고,

상기 프로브 베이스가, 하나의 기준판부와, 1 또는 2 이상의 조정판부와, 이들 기준판부와 조정판부와의 사이 및 각 조정판부의 사이에 설치되고 각 조정판부의 위치를 조정하는 위치 조정기구를 갖춘 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제1항에 있어서, 상기 프로브 베이스의 기준판부는, 상기 프로브 스테이지의 특정 위치에 벗어나지 않게 설치되고, 상기 조정판부는, 상기 프로브 스테이지에 벗어남이 허용된 상태로 설치된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제2항에 있어서, 상기 프로브 베이스의 기준판부는, 상기 프로브 스테이지에 고정하는 고정용 볼트가 지나는 둥근 구멍을 갖고, 상기 조정판부는, 상기 고정용 볼트에 대하여 벗어남을 허용하는 긴 구멍을 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제1항에 있어서, 상기 위치 조정기구가, 상기 프로브 베이스의 기준판부와 조정판부와의 간격 또는 각 조정판부의 간격을 조정하는 조정 볼트와, 상기 기준판부와 조정판부 또는 각 조정판 중 한쪽에 설치되고 상기 조정 볼트를 회전 가능하게 지지하는 조정 볼트 홀더와, 상기 기준판부와 조정판부 또는 각 조정판 중 다른쪽에 설치되고 상기 조정 볼트가 삽입되는 나사구멍을 갖는 조정 블록으로 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
검사대상판의 검사에 이용하는 검사장치로서,

검사대상판을 외부로부터 반입하고, 검사종료 후에 외부로 반송하는 패널 세트부와, 상기 패널 세트부로부터 건네진 검사대상판을 지지하여 시험하는 측정부를 갖추고,

상기 측정부가 프로브 유닛을 갖고,

상기 프로브 유닛이, 본체 쪽에 고정되는 프로브 스테이지와, 검사대상판의 전극에 직접 접촉하는 프로브를 갖는 프로브 조립체와, 상기 프로브 스테이지에 지지된 상태로 상기 프로브 조립체를 지지하는 프로브 베이스를 갖추고,

상기 프로브 베이스가, 하나의 기준판부와, 1 또는 2 이상의 조정판부와, 이 들 기준판부와 조정판부와의 사이 및 각 조정판부의 사이에 설치되고 각 조정판부의 위치를 조정하는 위치 조정기구를 갖춘 것을 특징으로 하는 검사장치.
제5항에 있어서, 상기 프로브 베이스의 기준판부는, 상기 프로브 스테이지의 특정 위치에 벗어나지 않고 설치되고, 상기 조정판부는, 상기 프로브 스테이지에 벗어남이 허용된 상태로 설치된 것을 특징으로 하는 검사장치.
제6항에 있어서, 상기 프로브 베이스의 기준판부는, 상기 프로브 스테이지에 고정하는 고정용 볼트가 지나는 둥근 구멍을 갖고, 상기 조정판부는, 상기 고정용 볼트에 대하여 벗어남을 허용하는 긴 구멍을 갖는 것을 특징으로 하는 검사장치.
제5항에 있어서, 상기 위치 조정기구가, 상기 프로브 베이스의 기준판부와 조정판부와의 간격 또는 각 조정판부의 간격을 조정하는 조정 볼트와, 상기 기준판부와 조정판부 또는 각 조정판 중 한쪽에 설치되고 상기 조정 볼트를 회전 가능하게 지지하는 조정 볼트 홀더와, 상기 기준판부와 조정판부 또는 각 조정판 중 다른쪽에 설치되고 상기 조정 볼트가 삽입되는 나사구멍을 갖는 조정 블록으로 구성된 것을 특징으로 하는 검사장치.