KR20050025228A

KR20050025228A - 전기적 접속장치

Info

Publication number: KR20050025228A
Application number: KR1020040047702A
Authority: KR
Inventors: 토시오 후꾸시; 다께시 사이또
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2003-09-01
Filing date: 2004-06-24
Publication date: 2005-03-14
Also published as: JP2005077269A; JP4167150B2; CN1591024A; KR100571054B1; TWI237702B; TW200510739A; CN100489541C

Abstract

본 발명에 따른 전기적 접속장치는 장치를 대형으로 하지 않고, 프로브의 침선이 표시용 패널의 전극에서 벗어나는 것을 방지하기 위한 것이다. 상기 전기적 접속장치는 가상적인 사각형의 변에 각각 대응하는 변의 길이방향으로 연장하는 상태로 판상의 본체 베이스에 배치되는 복수의 베이스 부재와, 최소한 한 쌍의 서로 이웃하는 베이스 부재의 각각에 배치된 프로브 유닛과, 서로 이웃하는 베이스 부재의 최소한 한쪽 또는 서로 이웃하는 프로브 유닛의 최소한 한쪽이 이에 대응하는 변의 길이방향으로 이동하는 것을 허락하고 다른 방향으로 이동하는 것을 저지하도록, 서로 이웃하는 베이스 부재 또는 서로 이웃하는 프로브 유닛을 연결하는 연결수단을 포함한다.

Description

전기적 접속장치{Electrical Connection Device}

발명의 분야

본 발명은 표시용 기판의 통전시험에서 테스터와 표시용 기판을 전기적으로 접속하는 장치에 관한 것이다.

발명의 배경

액정표시 패널이나 박막 트랜지스터를 갖춘 유리기판과 같은 표시용 패널은, 가상적인 사각형의 최소한 서로 이웃하는 두 변의 각각에 복수의 전극을 배열해 두고, 또한 프로브 카드, 프로브 보드, 프로브 유닛 등의 전기접속장치를 이용하여 통전시험이 이루어진다.

이러한 종류의 전기접속장치의 하나로서, 표시용 패널의 전극에 각각 접촉되는 복수의 프로브를 병렬적으로 배치한 복수의 프로브 유닛을 사각형의 서로 이웃하는 변마다 판상의 본체 베이스(프레임)에 설치한 것이 있다(예를 들어, 특허문헌 1: 일본특허공개 제2001-74778호).

상기 종래기술에 있어서, 각 프로브 유닛은 각각이 복수의 프로브를 병렬적으로 배치한 복수의 프로브 블록을 긴 판상의 프로브 베이스에 설치하고, 프로브 베이스를 이것이 사각형의 대응하는 변을 따라 연장하는 상태로 본체 베이스에 설치하고 있다. 서로 이웃하는 프로브 유닛의 최소한 한쪽은 프로브의 침선과 표시용 패널의 전극과의 위치 조정을 위해 이동기구에 의해 프로브 베이스의 길이방향으로 이동 가능하게 되어 있다.

각 프로브는 프로브 블록에 한쪽 지지의 다리 형상으로 설치되어 있고, 통전시험을 할 때에 침선이 표시용 기판의 전극에 눌려진다. 각 프로브 유닛은 표시용 패널의 대응하는 변에 배치된 전극 수와 같은 수의 프로브를 갖추고 있다. 이 때문에, 각 프로브에 작용하는 압력은 작더라도 각 프로브 유닛에 작용하는 총 압력은 매우 크다.

그러나, 상기 종래기술에 있어서는 서로 이웃하는 프로브 유닛이 분리되어 각각 판상의 본체 베이스에 설치되어 있기 때문에, 프로브뿐만 아니라 프로브 베이스가 이것에 작용하는 압력에 의해 구부러진다. 그와 같은 구부러짐은 서로 이웃하는 프로브 유닛을 이간시키는 힘으로서 프로브 베이스에 작용하고, 게다가 구부러지는 양은 프로브 베이스마다 다르다.

상기 종래기술에서는 편(偏)하중이 표시용 패널에 작용하여 표시용 패널이 프로브 유닛에 대해 경사지고, 그 결과 전극에 접촉하지 않는 프로브가 존재하여, 정확한 검사가 불가능해진다.

이것은 프로브 및 프로브 베이스의 구부러짐, 및 프로브 유닛에 대한 표시용 패널의 경사 때문에, 오버 드라이브시에 전극에 대하여 침선이 움직이는 방향이 전극의 길이방향뿐만 아니라 폭방향을 포함하는 소위 경사의 방향이 되고, 그 결과 침선이 전극에서 벗어나는 것으로 생각된다.

상기의 과제를 해결하기 위해, 프로브 유닛의 강성을 높이려고 하면, 프로브 베이스뿐만 아니라 그 이동기구의 강성도 높이지 않으면 안되기 때문에, 장치가 대형화하고 고가가 된다.

본 발명의 목적은 장치를 대형으로 하지 않고, 프로브의 침선이 표시용 패널의 전극에서 벗어나는 것을 방지하는데 있다.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다. 이하 본 발명의 내용을 하기에 상세히 설명한다.

본 발명에 따른 전기적 접속장치는 가상적인 사각형의 변에 각각 대응하는 변의 길이방향으로 연장하는 상태로 판상의 본체 베이스에 배치되는 복수의 베이스 부재와, 최소한 한 쌍의 서로 이웃하는 베이스 부재의 각각에 배치된 프로브 유닛과, 서로 이웃하는 베이스 부재의 최소한 한쪽 또는 서로 이웃하는 프로브 유닛의 최소한 한쪽이 이것에 대응하는 변의 길이방향으로 이동하는 것을 허락하고 다른 방향으로 이동하는 것을 저지하도록, 서로 이웃하는 베이스 부재 또는 서로 이웃하는 프로브 유닛을 연결하는 연결수단을 포함한다.

서로 이웃하는 베이스 부재 또는 서로 이웃하는 프로브 유닛이 구부러지려고 할 때, 서로 이웃하는 베이스 부재 또는 서로 이웃하는 프로브 유닛에는 이것을 대응하는 변과 직교하는 방향으로 변위시키는 힘이 작용한다. 이 때문에, 서로 이웃하는 베이스 부재 또는 서로 이웃하는 프로브 유닛이 이것에 대응하는 변의 길이방향으로 이동하는 것을 허락하고, 다른 방향으로 이동하는 것을 저지하도록 연결되어 있으면, 서로 이웃하는 베이스 부재 또는 서로 이웃하는 프로브 유닛의 구부러짐이 방지된다. 그에 의해, 장치를 대형으로 하지 않고 프로브의 침선이 표시용 패널의 전극에서 벗어나는 것이 방지된다.

상기 전기적 접속장치는 서로 이웃하는 한쪽 베이스 부재를 상기 대응하는 변의 길이방향으로 이동시키는 이동기구를 더 포함하고, 상기 연결수단은 상기 한쪽 베이스 부재가 상기 이동기구에 의해 이동되는 것을 허락하고, 다른 방향으로 이동하는 것을 저지하도록, 상기 서로 이웃하는 베이스 부재를 연결하는 연결기를 포함할 수 있다.

상기의 경우, 상기 연결기는 서로 이웃하는 한쪽 및 다른쪽 베이스 부재에 배치된 연결체로서 상기 다른쪽 베이스 부재에 설치된 연결체와, 상기 한쪽 베이스 부재와 상기 연결체의 어느 한쪽에 설치된 가이드 레일과, 상기 한쪽 베이스 부재와 상기 연결체의 다른 쪽에 설치된 가이드로서 상기 가이드 레일에 끼워져 결합된 가이드를 포함할 수 있다.

게다가, 상기 전기적 접속장치는 상기 한쪽 베이스 부재를 이것에 대응하는 변의 길이방향으로 이동시키는 제1 이동기구와, 다른쪽 베이스 부재를 이것에 대응하는 변의 길이방향으로 이동시키는 제2 이동기구를 포함하고, 상기 연결수단은 상기 한쪽 베이스 부재가 상기 제1 이동기구에 의해 이동되는 것은 허락하지만, 다른 방향으로 이동하는 것은 저지하고, 또한 상기 다른쪽 베이스 부재가 상기 제2 이동기구에 의해 이동되는 것은 허락하지만, 다른 방향으로 이동하는 것은 저지하도록 상기 서로 이웃하는 베이스 부재를 연결하는 연결기를 포함할 수 있다.

상기의 경우, 상기 연결기는 서로 이웃하는 한쪽 및 다른쪽 베이스 부재에 배치된 연결체와, 상기 한쪽 베이스 부재와 상기 연결체의 어느 한쪽에 설치된 제1 가이드 레일과, 상기 한쪽 베이스 부재와 상기 연결체의 다른 쪽에 설치된 제1 가이드로서 상기 제1 가이드 레일에 끼워져 결합된 제1 가이드와, 상기 다른쪽 베이스 부재와 상기 연결체의 어느 한쪽에 설치된 제2 가이드 레일과, 상기 다른쪽 베이스 부재와 상기 연결체의 다른 쪽에 설치된 제2 가이드로서 상기 제2 가이드 레일에 끼워져 결합된 제2 가이드를 포함할 수 있다.

상기 프로브 유닛은 대응하는 베이스 부재에 이것의 길이방향으로 연장하는 상태로 설치된 프로브 베이스와, 상기 프로브 베이스에 배치된 최소한 하나의 프로브 블록과, 상기 프로브 블록에 배치된 복수의 프로브를 갖출 수 있다.

그와 같은 프로브 유닛의 경우, 전기적 접속장치는, 상기 한쪽 프로브 유닛을 상기 대응하는 변을 따라 이동시키는 이동기구를 더 포함하고, 상기 연결수단은, 서로 이웃하는 프로브 유닛의 최소한 한쪽이 상기 대응하는 변의 길이방향으로 이동하는 것을 허락하고 다른 방향으로 이동하는 것을 저지하도록, 서로 이웃하는 프로브 베이스를 연결하는 연결기를 포함할 수 있다.

상기의 경우, 상기 연결기는 서로 이웃하는 한쪽 및 다른쪽 프로브 베이스에 배치된 연결체와, 상기 한쪽 프로브 베이스와 상기 연결체의 어느 한쪽에 설치된 가이드 레일과, 상기 한쪽 프로브 베이스와 상기 연결체의 다른 쪽에 설치된 가이드로서 상기 가이드 레일에 끼워져 결합된 가이드를 포함할 수 있다.

게다가 전기적 접속장치는 상기 한쪽 프로브 유닛을 상기 변의 길이방향으로 이동시키는 제1 이동기구와, 상기 다른쪽 프로브 유닛을 상기 변의 길이방향으로 이동시키는 제2 이동기구를 포함하고, 상기 연결수단은 상기 한쪽 프로브 유닛이 상기 제1 이동기구에 의한 방향으로 이동하는 것은 허락하지만, 다른 방향으로 이동하는 것은 저지하고, 또한 상기 다른쪽 프로브 유닛이 상기 제2 이동기구에 의한 방향으로 이동하는 것은 허락하지만, 다른 방향으로 이동하는 것은 저지하도록, 상기 서로 이웃하는 베이스 부재를 연결하는 연결기를 포함할 수 있다.

상기의 경우, 상기 연결기는 서로 이웃하는 한쪽 및 다른쪽 프로브 유닛에 배치된 연결체와, 상기 한쪽 프로브 유닛과 상기 연결체의 어느 한쪽에 설치된 제1 가이드 레일과, 상기 한쪽 프로브 유닛과 상기 연결체의 다른 쪽에 설치된 제1 가이드로서 상기 제1 가이드 레일에 끼워져 결합된 제1 가이드와, 상기 다른쪽 프로브 유닛과 상기 연결체의 어느 한쪽에 설치된 제2 가이드 레일과, 상기 다른쪽 프로브 유닛과 상기 연결체의 다른 쪽에 설치된 제2 가이드로서 상기 제2 가이드 레일에 끼워져 결합된 제2 가이드를 포함할 수 있다.

도1 및 도2를 참조하면, 전기적 접속장치(10)는 장방형을 한 표시용 패널(12)의 점등검사장치(14)에 적용되어 있다. 도시한 예에서는, 패널(12)은 도5에 나타낸 바와 같이, 사각형의 3변의 각각에 복수의 전극(16)을 갖추고 있다. 각 변에 설치된 전극(16)은 그 변의 방향(즉, 변의 길이방향)으로 간격을 두고 있고, 또한 그 변과 직교하는 방향으로 연장해 있다.

점등검사장치(14)는 복수의 긴 부재와 복수의 판부재에 의해, 용기 형상으로 형성되어 있고, 점등검사를 위한 각종 기기를 수용하고 있다. 점등검사장치(14)의 전면 상부는 상부만큼 뒤쪽으로 후퇴하는 경사면으로 되어 있다. 이 경사면을 형성하고 있는 판상 부재는 나중에 설명하는 판상의 본체 베이스로서 작용한다.

점등검사장치(14)는 패널(12)의 수도(受渡)를 하는 수도부와 표시용 패널(12)을 검사하는 검사부를 포함한다. 점등검사장치(14)의 경사면에는 패널(12)보다 큰 사각형의 개구(20 및 22)가 각각 수도부 및 검사부에 대응하는 곳에 형성되어 있다.

수도부에는 패널(12)을 비스듬히 받는 수도 스테이지(24)와, 받은 패널(12)의 프리얼라인먼트를 하는 2조(組)의 푸셔(26)가 배치되어 있다. 이에 대하여, 검사부에는 패널(12)을 비스듬히 받는 검사 스테이지(28)와, 프로브 카드로서 작용하는 전기적 접속장치(10)가 배치되어 있다.

수도 스테이지(24)는 패널(12)을 비스듬히 받는 복수의 긴 부재에 의해 형성되어 있다. 한쪽 조(組)의 푸셔(26)는 좌우방향(도1에 있어서, 좌우방향)으로 서로 가까워지고 서로 멀어지는 방향으로 이동된다. 이에 대하여, 다른쪽 조의 푸셔(26)는, 비스듬하게 상하방향(도1에 있어서, 상하방향)으로 서로 가까워지고 서로 멀어지는 방향으로 이동된다.

패널(12)은 푸셔(26)가 서로 이간된 상태로, 그들 푸셔(26) 사이에 배치되고, 각 조의 푸셔(26)가 서로 가까워지는 방향으로 이동됨으로써, 수도 스테이지(24)에 대하여 이동되어 점등검사장치(14)에 대한 프리얼라인먼트가 된다.

미검사 패널(12)은 인력 또는 탈착 로봇에 의해 수도 스테이지(24)에 배치되고, 수도 스테이지(24)에 있어서의 푸셔(26)에 의해 프리얼라인먼트가 되고, 그 후 도시하지 않은 반송기구에 의해 검사 스테이지(28)로 반송되고, 검사 스테이지(28)에 의해 배면으로부터 조명됨과 동시에 전기적 접속장치(10)에 의해 통전(通電)되어 점등 검사된다.

검사완료 패널(12)은 상기 반송기구에 의해 검사 스테이지(28)에서 수도 스테이지(24)로 반송되고, 그 후 인력 또는 탈착 로봇에 의해 수도 스테이지(24)에서 벗어나 수납용 카세트에 수납된다.

도2에서 도4를 참조하면, 검사 스테이지(28)는 패널(12)을 척 톱(30)의 패널 흡착면에 경사 위쪽에 받도록 패널 흡착면을 개구(22)와 마주보게 하고 있다.

검사 스테이지(28)는 경사 위쪽에 받은 패널(12)을 이것과 평행한 X 및 Y의 2방향과, 받은 패널(12)에 수직인 Z방향으로 이동시키는 3차원 스테이지의 기능을 갖고 있음과 동시에, Z방향으로 연장하는 축선 주위에 각도적으로 회전시키는 θ스테이지의 기능도 갖추고 있다.

척 톱(30)은 패널(12)을 진공적으로 흡착하는 복수의 흡착홈을 패널 흡착면에 갖고 있음과 동시에, 패널(12)을 그 배면으로부터 조명하는 백 라이트 유닛을 내부에 갖추고 있다.

도3에서 도7을 참조하면, 전기적 접속장치(10)는 가상적인 사각형의 변에 각각 대응된 4개의 베이스 부재(32)와, 3개의 베이스 부재(32)에 각각 배치된 3개의 프로브 유닛(34)과, 3개의 베이스 부재(32)를 이것에 대응하는 변을 따라(즉, 변의 길이방향으로) 각각 이동시키는 이동기구(36)와, 서로 이웃하는 베이스 부재(32)를 연결하는 4개의 연결기(38)를 포함한다.

각 베이스 부재(32)는 이것에 대응하는 변의 길이방향으로 긴 판의 형상을 갖고 있고, 또한 본체 베이스(18)의 안쪽에 지지되고, 일부가 개구(22)에 노출되어 있다. 서로 이웃하는 베이스 부재(32)는 접하지 않도록 간격을 두고 있다.

프로브 유닛(34)은 마주보는 한 쌍의 베이스 부재(32)와, 그들 베이스 부재(32)와 서로 이웃하는 하나의 베이스 부재(32)에 배치되어 있다. 이에 대해, 이동기구(36)는 마주보는 다른 한 쌍의 베이스 부재(32)와, 그들 베이스 부재(32)와 서로 이웃하는 하나의 베이스 부재(32)에 설치되어 있다.

이동기구(36)에 연결되어 있지 않는 베이스 부재(32)는 스페이서(40)와, 볼트와 같은 복수의 고정기구(41)에 의해, 본체 베이스(18)에 이동이 불가능하게 설치되어 지지되어 있다.

남은 각 베이스 부재(32)는 대응하는 변과 직교하는 방향으로 간격을 두고 대응하는 변의 길이방향으로 평행하게 연장하는 한 쌍의 가이드 레일(42)과, 각 가이드 레일(42)의 길이방향으로 간격을 둔 곳으로 이동이 가능하게 끼워져 결합된 복수의 가이드(44)에 의해, 본체 베이스(18)에 설치되어 지지되어 있다.

가이드 레일(42)(또는 가이드(44))은 본체 베이스(18)에 설치되어 있고, 가이드(44)(또는, 가이드 레일(42))는 베이스 부재(32)에 설치되어 있다.

각 프로브 유닛(34)은 대응하는 베이스 부재(32)에 이것의 길이방향으로 연장하는 상태로 설치된 긴 판상의 프로브 베이스(46)와, 프로브 베이스(46)에 배치된 복수의 프로브 블록(48)과, 프로브 블록(48)에 배치된 복수의 프로브(50)를 갖추고 있다.

프로브 베이스(46)는 베이스 부재(32)의 폭방향에 있어서의 가장자리 중, 사각형의 중심쪽(즉, 선단쪽)이 되는 가장자리의 바깥쪽에 복수의 나사부재(52)에 의해 견고하게 설치되어 있다.

각 프로브 블록(48)은 프로브 베이스(46)의 폭방향에 있어서의 선단쪽 가장자리의 바깥쪽에 복수의 나사부재(54)에 의해 견고하게 설치되어 있다. 각 프로브(50)는 선단쪽을 앞쪽으로 돌출시킨 상태로 프로브 블록(48)의 선단부 아래면에 적절한 수단을 이용하여 설치되어 있다.

각 이동기구(36)는 본체 베이스(18)에 설치된 모터(56)에 의해 리드 스크루(58)를 회전시키고, 리드 스크루(58)에 결합된 리드 너트(60)를 좌우방향(또는, 비스듬한 상하방향)으로 이동시킴으로써 베이스 부재(32)를 이동시킨다.

이동이 불가능한 베이스 부재(32)와 이것과 이웃하는 베이스 부재(32)를 연결하는 각 연결기(38)는 그 하나를 도6(A), (B) 및 (C)에 나타낸 바와 같이, 판상의 연결체(62)를 이동이 불가능한 베이스 부재(32)에 스페이서(68)를 사이에 두고 이동이 불가능하게 한쪽 지지의 다리 형상으로 설치하고, 좌우방향 또는 비스듬한 상하방향으로 연장하는 가이드 레일(64)을 다른 베이스 부재(32)(또는, 연결체(62))에 설치하고, 가이드 레일(64)에 이동이 가능하게 끼워져 결합된 가이드(66)를 연결체(62)(또는, 다른 베이스 부재(32))에 설치하고 있다.

이동이 가능한 서로 이웃하는 베이스 부재(32)를 연결하는 각 연결기(38)는 그 하나를 도7(A), (B) 및 (C)에 나타낸 바와 같이, 연결체(62)와 좌우방향 및 비스듬한 상하방향으로 연장하는 2개의 가이드 레일(64 및 64)을 각각 한쪽 및 다른쪽 베이스 부재(32 및 32)(또는, 연결체(62))에 설치하고, 각 가이드 레일(64)에 이동이 가능하게 끼워져 결합된 2개의 가이드(66)를 연결체(62)(또는, 한쪽 및 다른쪽 베이스 부재(32 및 32))에 설치하고 있다.

도시한 예에서는, 도3에 있어서의 왼쪽의 베이스 부재(32)가 이동이 불가능하기 때문에, 이동이 불가능한 베이스 부재(32)와 이것과 이웃하는 베이스 부재(32)를 연결하는 연결기(38)의 가이드 레일(64)은 좌우방향으로 연장해 있다. 이 때문에, 상기 연결기(38)는 이동이 가능한 베이스 부재(32)가 좌우방향으로 이동하는 것은 허락하지만, 이동이 불가능한 베이스 부재(32)가 좌우방향으로 이동하는 것과, 양 베이스 부재(32)가 비스듬한 상하방향으로 이동하는 것은 저지한다.

이동이 가능한 베이스 부재(32)를 연결하는 각 연결기(38)의 가이드 레일(64)의 한쪽은 좌우방향으로 연장해 있고, 다른 쪽은 비스듬한 상하방향으로 연장해 있다. 이 때문에, 상기 연결기(38)는 각 베이스 부재(32)의 이동이 가능한 방향으로의 이동은 허락하지만, 다른 방향으로의 이동은 저지한다. 즉, 각 연결기(38)는 연결하고 있는 양 베이스 부재(32)가 이간하는 것을 저지하고 있다.

가이드 레일(42)과 가이드(44)는 리니어 가이드의 부재로 할 수 있다. 동일하게, 가이드 레일(64)과 가이드(66)도 리니어 가이드의 부재로 할 수 있다.

검사할 때, 표시용 패널(12)이 검사 스테이지(28)에 의해 이동되어 위치가 조정된 후, 각 전극(16)이 프로브(50)의 침선에 눌린다. 이에 의해, 큰 압력이 각 프로브 유닛(34)에 작용한다.

상기의 압력은 베이스 부재(32) 및 프로브 베이스(46)의 프로브(50)쪽 가장자리가 검사 스테이지(28)쪽과 반대쪽으로 휘도록, 베이스 부재(32) 및 프로브 유닛(34)에 작용한다. 이에 의해, 프로브 유닛(34)이 구부러지려고 한다. 그와 같은 구부러짐은 서로 이웃하는 베이스 부재(32), 나아가서는 서로 이웃하는 프로브 유닛(34)을 이간시키는 힘으로서 베이스 부재(32) 및 프로브 베이스(46)에 작용한다.

그러나, 상기와 같이 서로 이웃하는 베이스 부재(32), 나아가서는 프로브 유닛(34)이 이간되는 것이 연결기(38)에 의해 저지되어 있기 때문에, 베이스 부재(32)의 구부러짐이 저지된다. 이에 의해, 장치를 대형으로 하지 않고, 프로브(50)의 침선이 표시용 패널(12)의 전극(16)에서 벗어나는 것이 방지된다.

도8을 참조하면, 전기적 접속장치(70)는, 전기적 접속장치(10)에서 검사 가능한 패널(12)보다 작은 패널(12)의 검사에 이용하기 위해, 겹쳐진 2개의 긴 판상의 보조판(72a, 72b)을 프로브 유닛(34)마다 갖추고 있는 것을 제외하고 전기적 접속장치(10)와 동일하게 구성되어 있다.

이 때문에, 전기적 접속장치(70)는 서로 이웃하는 보조판(72a, 72a)을 연결기(76)로 연결하고 있다. 프로브 유닛(34)이 배치되어 있지 않는 베이스 부재(32)에는, 그 대신에 보조판(72a, 72b)이 배치되어 있다.

각 보조판(72a, 72b)은 대응하는 변의 방향으로 연장하는 상태로 나사부재에 의해 베이스 부재(32)에 견고하게 설치되어 있고, 각 프로브 베이스(46)는 대응하는 변의 방향으로 연장하는 상태로 나사부재에 의해 보조판(72)에 견고하게 설치되어 있다.

연결기(76)는 서로 이웃하는 보조판(72a, 72a)을 연결하고 있는 것을 제외하고, 연결기(38)와 동일하게 구성되어 있다. 각 보조판(72a, 72b)은 베이스 부재(32)의 일부 또는 프로브 베이스(46)의 일부로서 작용한다.

베이스 부재(32)를 본체 베이스(18)에 이동 가능하게 배치하는 대신에, 프로브 베이스(46)를 본체 베이스(18) 또는 보조판(72)에 이동 가능하게 배치해도 좋고, 보조판(72)을 본체 베이스(18)에 이동 가능하게 배치해도 좋다.

본 발명은 액정표시 패널뿐만 아니라, 그 용도의 유리기판, 유기 EL 등, 다른 표시용 패널의 전기적 접속장치에도 적용할 수 있다.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.

본 발명에 따른 전기적 접속장치는, 장치를 대형으로 하지 않고, 프로브의 침선이 표시용 패널의 전극에서 벗어나는 것을 방지할 수 있는 발명의 효과를 갖는다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

도1은 본 발명에 따른 전기적 접속장치를 이용한 점등검사장치의 한 실시예를 나타내는 정면도이다.

도2는 도1에 있어서의 2-2선 단면도이다.

도3은 본 발명에 따른 전기적 접속장치의 한 실시예를 나타내는 정면도이다.

도4는 도3에 있어서의 4-4선 단면도이다.

도5는 연결기 부근의 한 실시예를 나타내는 사시도이다.

도6은 이동이 불가능한 베이스 부재와 이동이 가능한 베이스 부재와의 연결상태를 나타내는 도면으로, (A)는 정면도, (B)는 (A)의 좌측면도, (C)는 (A)의 저면도이다.

도7은 이동이 가능한 서로 이웃하는 베이스 부재의 연결상태를 나타내는 도면으로, (A)는 정면도, (B)는 (A)의 우측면도, (C)는 (A)의 저면도이다.

도8은 본 발명에 따른 전기적 접속장치의 다른 실시예를 나타내는 정면도이다.

* 도면의 주요부호에 대한 설명 *

10, 70: 전기적 접속장치 12: 표시용 패널

14: 점등검사장치 30: 척 톱(chuck top)

32: 베이스 부재 34: 프로브 유닛

36: 이동기구 38, 76: 연결기

40: 스페이서 42: 가이드 레일

44: 가이드 46, 72, 74: 프로브 베이스

48: 프로브 블록 50: 프로브

62: 연결체 64: 가이드 레일

66: 가이드 68: 스페이서

Claims

가상적인 사각형의 변에 각각 대응하는 변의 길이방향으로 연장하는 상태로 판상의 본체 베이스에 배치되는 복수의 베이스 부재;

최소한 한 쌍의 서로 이웃하는 베이스 부재의 각각에 배치된 프로브 유닛; 및

서로 이웃하는 베이스 부재의 최소한 한쪽 또는 서로 이웃하는 프로브 유닛의 최소한 한쪽이 이에 대응하는 변의 길이방향으로 이동하는 것을 허락하고 다른 방향으로 이동하는 것을 저지하도록, 서로 이웃하는 베이스 부재 또는 서로 이웃하는 프로브 유닛을 연결하는 연결수단;

을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제1항에 있어서, 상기 전기적 접속장치는

서로 이웃하는 한쪽 베이스 부재를 상기 대응하는 변의 길이방향으로 이동시키는 이동기구;

를 더 포함하여 이루어지고, 상기 연결수단은 상기 한쪽 베이스 부재가 상기 이동기구에 의해 이동되는 것을 허락하고, 다른 방향으로 이동하는 것을 저지하도록 상기 서로 이웃하는 베이스 부재를 연결하는 연결기를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제2항에 있어서, 상기 연결기는

서로 이웃하는 한쪽 및 다른쪽 베이스 부재에 배치된 연결체로서 상기 다른쪽 베이스 부재에 설치된 연결체;

상기 한쪽 베이스 부재와 상기 연결체의 어느 한쪽에 설치된 가이드 레일; 및

상기 한쪽 베이스 부재와 상기 연결체의 다른 쪽에 설치된 가이드로서 상기 가이드 레일에 끼워져 결합된 가이드;

를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제1항에 있어서, 상기 전기적 접속장치는

상기 한쪽 베이스 부재를 이것에 대응하는 변의 길이방향으로 이동시키는 제1 이동기구; 및

다른쪽 베이스 부재를 이것에 대응하는 변의 길이방향으로 이동시키는 제2 이동기구;

를 더 포함하여 이루어지고, 상기 연결수단은 상기 한쪽 베이스 부재가 상기 제1 이동기구에 의해 이동되는 것은 허락하지만, 다른 방향으로 이동하는 것은 저지하고, 또한 상기 다른쪽 베이스 부재가 상기 제2 이동기구에 의해 이동되는 것은 허락하지만, 다른 방향으로 이동하는 것은 저지하도록, 상기 서로 이웃하는 베이스 부재를 연결하는 연결기를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제4항에 있어서, 상기 연결기는,

서로 이웃하는 한쪽 및 다른쪽 베이스 부재에 배치된 연결체;

상기 한쪽 베이스 부재와 상기 연결체의 어느 한 쪽에 설치된 제1 가이드 레일;

상기 한쪽 베이스 부재와 상기 연결체의 다른 쪽에 설치된 제1 가이드로서 상기 제1 가이드 레일에 끼워져 결합된 제1 가이드;

상기 다른쪽 베이스 부재와 상기 연결체의 어느 한 쪽에 설치된 제2 가이드 레일; 및

상기 다른쪽 베이스 부재와 상기 연결체의 다른 쪽에 설치된 제2 가이드로서 상기 제2 가이드 레일에 끼워져 결합된 제2 가이드;

를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제1항에 있어서, 상기 프로브 유닛은

대응하는 베이스 부재에 이것의 길이방향으로 연장하는 상태로 설치된 프로브 베이스;

상기 프로브 베이스에 배치된 최소한 하나의 프로브 블록; 및

상기 프로브 블록에 배치된 복수의 프로브;

로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제6항에 있어서, 상기 전기적 접속장치는

상기 한쪽 프로브 유닛을 상기 대응하는 변을 따라 이동시키는 이동기구;

를 더 포함하고, 상기 연결수단은 서로 이웃하는 프로브 유닛의 최소한 한쪽이 상기 대응하는 변의 길이방향으로 이동하는 것을 허락하고 다른 방향으로 이동하는 것을 저지하도록, 서로 이웃하는 프로브 베이스를 연결하는 연결기를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제7항에 있어서, 상기 연결기는

서로 이웃하는 한쪽 및 다른쪽 프로브 베이스에 배치된 연결체로서 상기 다른쪽 베이스 부재에 설치된 연결체;

상기 한쪽 프로브 베이스와 상기 연결체의 어느 한쪽에 설치된 가이드 레일; 및

상기 한쪽 프로브 베이스와 상기 연결체의 다른 쪽에 설치된 가이드로서 상기 가이드 레일에 끼워져 결합된 가이드;

를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제8항에 있어서, 상기 전기적 접속장치는

상기 한쪽 프로브 유닛을 상기 변의 길이방향으로 이동시키는 제1 이동기구; 및

상기 다른쪽 프로브 유닛을 상기 변의 길이방향으로 이동시키는 제2 이동기구;

를 더 포함하여 이루어지고, 상기 연결수단은 상기 한쪽 프로브 유닛이 상기 제1 이동기구에 의한 방향으로 이동하는 것은 허락하지만, 다른 방향으로 이동하는 것은 저지하고, 또한 상기 다른쪽 프로브 유닛이 상기 제2 이동기구에 의한 방향으로 이동하는 것은 허락하지만, 다른 방향으로 이동하는 것은 저지하도록 상기 서로 이웃하는 베이스 부재를 연결하는 연결기를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제9항에 있어서, 상기 연결기는

서로 이웃하는 한쪽 및 다른쪽 프로브 유닛에 배치된 연결체;

상기 한쪽 프로브 유닛과 상기 연결체의 어느 한 쪽에 설치된 제1 가이드 레일;

상기 한쪽 프로브 유닛과 상기 연결체의 다른 쪽에 설치된 제1 가이드로서 상기 제1 가이드 레일에 끼워져 결합된 제1 가이드;

상기 다른쪽 프로브 유닛과 상기 연결체의 어느 한 쪽에 설치된 제2 가이드 레일; 및

상기 다른쪽 프로브 유닛과 상기 연결체의 다른 쪽에 설치된 제2 가이드로서 상기 제2 가이드 레일에 끼워져 결합된 제2 가이드;

를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.