KR20120067685A

KR20120067685A - 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛

Info

Publication number: KR20120067685A
Application number: KR1020100129224A
Authority: KR
Inventors: 신동원; 김연해; 김태구
Original assignee: 주식회사 디에스케이
Priority date: 2010-12-16
Filing date: 2010-12-16
Publication date: 2012-06-26
Also published as: KR101166107B1

Abstract

본 발명은 평판 표시패널 검사기의 프로브 유닛에 관한 것으로, 본 발명은 전면과 후면 그리고 저면을 갖고, 저면에는 전면과 인접한 1지지면과 제1지지면과는 일정거리 이격된 제2지지면이 형성된 메인 바디; 메인 바디의 저면에 제1방향으로 배치되는 그리고 디스플레이 패널의 짝수열 전극패드들과 홀수열 전극패드들 중 어느 한 열의 전극패드들로 전기적 신호를 전달하는 제1프로브들; 제1프로브들과 겹쳐지지 않도록 메인 바디의 저면에 제1방향으로 배치되는 그리고, 디스플레이 패널의 나머지 한 열의 전극패드들로 전기적 신호를 전달하는 제2프로브들; 메인바디의 제1지지면에 위치되어 제1프로브들의 선단을 지지하는 1층 선단지지블록; 메인바디의 제2지지면에 위치되어 제1프로브들의 후단을 지지하는 1층 후단지지블록; 메인바디의 전면에 장착되고, 양측단에 제3지지면을 갖는 서포트 블록; 1층 선단지지블록의 양단에 지지되고, 서포트 블록의 제3지지면에 고정되며, 1층 선단지지블록 상부에서 제2프로브들의 선단을 지지하는 2층 선단지지블록; 및 메인바디의 제2지지면에 지지되고, 1층 후단지지블록 상부에서 제2프로브들의 후단을 지지하는 2층 후단지지블록을 포함한다.

Description

디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛{Probe unit for inspecting display panel}

본 발명은 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛에 관한 것이다.

일반적으로 TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display)는 평판디스플레이의 일종이다. TFT-LCD는다수의 박막트랜지스터(TFT)와 화소전극이 배열되어 소정의 크기를 갖는 하판과, 색상을 나타내기 위한 컬러 필터 및 공통전극이 순차적으로 형성된 상판과, 상판과 하판 사이의 이격공간에 채워져 있는 액정을 가지고 있다.

이와 같은 TFT-LCD는 스위칭소자인 TFT와 상.하판 전극 사이에 있는 액정으로 인해 형성되는 충전영역(Capacitor region) 및 보조충전영역과 상기 TFT의 온-오프를 구동하는 게이트 구동전극과 외부의 영상신호를 인가하는 영상신호전극 등에 의해서 소정의 화면을 점등시키게 된다.

그리고, 이와 같은 TFT-LCD 등의 평판표시소자는 제조를 완료한 후 테스트 공정을 진행하고 있다. 테스트 공정은 평판표시소자의 패드전극에 프로브 장치의 검사팁을 접촉하여 전기신호를 인가함으로써 평판표시소자의 정상 유무를 확인한다.

본 발명의 목적은 프로브들의 리페어가 용이한 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛을 제공하는데 있다.

또한, 본 발명의 목적은 제1프로브들과 제2프로브들이 지지되는 1층 선단지지블록과 2층 선단지지블록의 높이를 간단히 맞출 수 있고 조립이 용이한 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛을 제공하는데 있다.

또한, 본 발명의 목적은 1층 선단지지블록과 2층 선단지지블록의 좌우 정렬이 용이한 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛을 제공하는데 있다.

또한, 본 발명의 목적은 프로브가 디스플레이 패널의 패드전극과 접촉시 슬라이딩량 감소, 핀미스 감소, 프로브 몸체 뒤틀림방지가 가능한 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛을 제공하는데 있다.

또한, 본 발명의 목적은 프로브들 간의 극미세 피치를 구현할 수 있는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛을 제공하는데 있다.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기한 과제를 달성하기 위한 본 발명의 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛은 전면과 후면 그리고 저면을 갖고, 상기 저면에는 상기 전면과 인접한 1지지면과 상기 제1지지면과는 일정거리 이격된 제2지지면이 형성된 메인 바디; 상기 메인 바디의 저면에 제1방향으로 배치되는 그리고 디스플레이 패널의 짝수열 전극패드들과 홀수열 전극패드들 중 어느 한 열의 전극패드들로 전기적 신호를 전달하는 제1프로브들; 상기 제1프로브들과 겹쳐지지 않도록 상기 메인 바디의 저면에 제1방향으로 배치되는 그리고, 상기 디스플레이 패널의 나머지 한 열의 전극패드들로 전기적 신호를 전달하는 제2프로브들; 상기 메인바디의 제1지지면에 위치되어 상기 제1프로브들의 선단을 지지하는 1층 선단지지블록; 상기 메인바디의 제2지지면에 위치되어 상기 제1프로브들의 후단을 지지하는 1층 후단지지블록; 상기 메인바디의 전면에 장착되고, 양측단에 제3지지면을 갖는 서포트 블록; 상기 1층 선단지지블록의 양단에 지지되고, 상기 서포트 블록의 제3지지면에 고정되며, 상기 1층 선단지지블록 상부에서 상기 제2프로브들의 선단을 지지하는 2층 선단지지블록; 및 상기 메인바디의 제2지지면에 지지되고, 상기 1층 후단지지블록 상부에서 상기 제2프로브들의 후단을 지지하는 2층 후단지지블록을 포함한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 서포트 블록은 상기 메인바디의 전면에 고정설치되는 전면고정부분; 상기 전면고정부분의 양측면으로부터 연장되어 상기 1층 선단지지블록의 양측에 위치되고 상기 2층 선단지지블록의 양측단이 접착제로 본딩되는 상기 제3지지면을 갖는 사이드 지지대를 포함한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 메인바디에 고정 설치되고, 상기 1층 후단지지블록을 고정하는 제1고정블록; 및 상기 메인바디에 고정 설치되고, 상기 2층 후단지지블록을 고정하는 제2고정블록을 더 포함한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1고정블록은 상기 메인바디에 볼트 고정되도록 적어도 하나 이상의 체결구가 형성된 평평한 플레이트 형상의 제1고정부분; 상기 제1고정부분으로부터 연장되고 상기 1층 후단지지블록이 상기 메인바디의 제2지지면에 밀착 고정되도록 상기 1층 후단지지블록을 누르기 위한 제1누름부분; 및 상기 제1누름부분에 설치되고 상기 1층 후단지지블록에 탄력적으로 접촉되는 원기둥 형태의 제1탄성바를 포함한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제2고정블록은 상기 제1고정블록의 제1고정부분 상부에 위치되고, 상기 메인바디에 볼트 고정되도록 적어도 하나 이상의 체결구가 형성된 평평한 플레이트 형상의 제2고정부분; 상기 제2고정부분의 양측으로부터 각각 연장되어 상기 2층 후단지지블록의 양측사이드에 형성된 사이드 누름면에 위치되어 상기 2층 후단지지블록이 상기 메인바디의 제2지지면에 밀착 고정되도록 상기 2층 후단지지블록을 누르기 위한 제2누름부분; 및 상기 제2누름부분에 부착되고 상기 2층 후단지지블록의 사이드 누름면에 탄력적으로 접촉되는 탄성블럭을 포함한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 1층 선단지지블록은 상기 메인바디의 제1지지면에 안착되는 제1지지부분; 상기 제1지지부분의 상부로 연장되고 상기 제1프로브들의 선단이 끼워지는 제1슬롯들이 형성된 제1슬롯부분을 포함하고, 상기 2층 선단지지블록은 상기 제2프로브들이 상기 제1프로프들 사이에 위치되도록 상기 제2프로브들의 선단이 끼워지는 제2슬롯들을 갖는 제2슬롯부분; 상기 제2슬롯부분의 양단에 형성되고 상기 1층 선단지지블록의 제1지지부분에 안착되고 상기 서포트 블록의 제3지지면에 접착제로 고정되는 제2지지부분을 포함한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 1층 후단지지블록은 상기 메인바디의 제2지지면에 안착되는 제3지지부분; 상기 제3지지부분의 상부로 연장되고 상기 제1프로브들의 후단이 끼워지는 제3슬롯들이 형성된 제3슬롯부분을 포함하고, 상기 2층 후단지지블록은 상기 제2프로브들이 상기 제1프로프들 사이에 위치되도록 상기 제2프로브들의 후단이 끼워지는 제4슬롯들을 갖는 제4슬롯부분; 상기 제4슬롯부분의 양단에 형성되고 상기 상기 메인바디의 제2지지면에 안착되는 제4지지부분을 포함한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 1층 선단지지블록과 상기 2층 선단지지블록은 상기 프로브들이 끼워지는 슬롯들 이외에 상기 1층 선단지지블록과 상기 제2층 선단지지블록의 위치를 정렬시켜주기 위해 동일선상에 형성되는 선단정렬슬롯들이 형성된다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 1층 후단지지블록과 상기 2층 후단지지블록은 상기 프로브들이 끼워지는 슬롯들 이외에 상기 1층 후단지지블록과 상기 제2층 후단지지블록의 위치를 정렬시켜주기 위해 동일선상에 형성되는 후단정렬슬롯들이 형성된다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1프로브는 블레이드 형상의 몸체; 상기 1층 선단지지블록의 제1슬롯에 끼워지도록 상기 몸체의 일측으로부터 경사지게 연장되고, 디스플레이 패널의 전극패드와 접촉되는 팁을 갖는 제1접촉암; 상기 몸체의 일측면으로부터 상기 제1접촉암과 나란하게 연장되어 상기 제1선단지지블록의 제1슬롯 바닥면에 밀착 지지되는 제1지지암; 상기 1층 후단지지블록의 제3슬롯에 끼워지는 제2접촉암을 포함하되; 상기 제2접촉암은 상기 중앙 몸체의 타측면으로부터 연장되고 상기 1층 후단지지블록의 제3슬롯 바닥면에 밀착 지지되는 제1연장편과, 상기 제1연장편으로부터 반대방향으로 연장되고 패턴 글라스의 패턴단자와 접촉되는 팁을 갖는 제2연장편으로 이루어진다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1프로브는 상기 제1접촉암과 상기 제1지지암 사이로부터 상기 몸체의 일측면 내측으로 형성되는 절개홈을 더 포함하되, 상기 절개홈은 상기 제1접촉암이 디스플레이 패널의 전극패드와 접촉하기 위해 이동되는 수직 이동 방향과 수직한 방향으로 절개되어 형성된다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제2프로브는 블레이드 형상의 몸체; 상기 2층 선단지지블록의 제2슬롯에 끼워지도록 상기 몸체의 일측으로부터 경사지게 연장되고, 디스플레이 패널의 전극패드와 접촉되는 팁을 갖는 제3접촉암; 상기 2층 후단지지블록의 제4슬롯에 끼워지도록 상기 중앙 몸체의 타측으로부터 연장되고, 상기 패턴 글라스의 패턴단자와 접촉되는 팁을 갖는 제4접촉암; 및 상기 중앙 몸체의 타측면으로부터 상기 제4접촉암과 나란하게 연장되고 상기 2층 후단지지블록의 제4슬롯 바닥면에 밀착 지지되는 제4지지암을 포함한다.

본 발명은 1층 선단지지블록과 2층 선단지지블록의 높이를 간편하게 맞출 수 있고 조립이 용이한 각별한 효과를 갖는다.

본 발명은 2층 선단지지블록이 서포트 블록에 지지됨으로써 써포트 블록만 분리하면 리페어가 용이한 각별한 효과를 갖는다.

본 발명은 고정블록들을 이용하여 1층 후단지지블록과 2층 후단지지블록이 고정됨으로써 조립이 용이한 각별한 효과를 갖는다.

본 발명은 1층 선단지지블록과 2층 선단지지블록 그리고 1층 후단지지블록과 2층 후단지지블록의 얼라인이 정확한 각별한 효과를 갖는다.

본 발명은 프로브의 교체 및 수리가 용이하게 이루어질 수 있어 작업의 간편성 및 신속성은 물론 작업의 효율성 증대에 따른 생산성 향상을 기할 수 있는 효과가 있다.

본 발명은 프로브들의 접촉 과정에서 발생될 수 있는 비틀림을 상쇄시켜줄 수 있는 각별한 효과를 갖는다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛이 설치된 프로브 어셈블리를 보여주는 도면이다.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛의 사시도, 분해 사시도 그리고 단면도이다.
도 5a 및 도 5b는 제1프로브들과 1층 선단지지블록 그리고 1층 후단지지블록을 보여주는 사시도 및 단면도이다.
도 6a 및 도 6b는 제2프로브들과 2층 선단지지블록 그리고 2층 후단지지블록을 보여주는 사시도 및 단면도이다.
도 7은 도 4의 요부확대도이다.
도 8은 선단 정렬슬롯들을 보여주는 요부확대도이다.
도 9a 내지 도 9e는 프로브 유닛의 조립 과정을 설명하기 위한 도면들이다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 평판 표시패널 검사 장치를 상세히 설명하기로 한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.

( 실시 예 )

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛이 설치된 프로브 어셈블리를 보여주는 도면이다.

도 1을 참조하면, 프로브 어셈블리(1)는 프로브 유닛(10)과, 프로브 유닛(10)을 지지하는 매니퓰레이터(20,manipulator)를 포함한다. 메니퓰레이터(20)는 베이스 플레이트(미도시됨)에 고정 배치되는 아암(22)과, 아암(22)의 선단에 고정볼트에 의해 서로 체결되는 헤드(24), 헤드(24)의 저면에 착탈 가능하게 설치되고 프로브 유닛(10)이 설치되는 고정 플레이트(26) 그리고 헤드(24)와 아암(22) 사이에 설치되는 리니어 가이드(28)를 포함한다.

도 2 내지 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛의 사시도, 분해 사시도 그리고 단면도이다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 프로브 유닛(10)은 메인바디(100), 사이드 커버(150), 제1프로브(200), 1층 선단지지블록(300), 1층 후단지지블록(400), 제2프로브(500), 2층 선단지지블록(600), 2층 후단지지블록(700), 서포트 블록(800), 제1고정블록(910), 제2고정블록(950), 패턴글라스(1100), 패턴글라스 커버(1300)을 포함한다.

(메인 바디)

메인 바디(100)는 볼트에 의해 매니퓰레이터(20)에 고정 설치된다. 메인 바디(100)는 전체적으로 직육면체 형상을 갖는다. 메인 바디(100)는 전면(110), 후면(120), 저면(130), 상면(140) 그리고 양측면을 갖는다. 저면(130)은 전면(110)과 인접한 위치에 돌출되게 형성된 제1지지면(132), 오목 바닥면(134), 오목 바닥면(134)으로부터 단턱지게 형성된 제2지지면(136), 제2지지면(136)에서 단턱지게 형성된 고정블록용 지지면(138)을 포함한다. 고정블록용 지지면(138)에는 제1,2고정블록(910,950)을 장착하기 위한 볼트 체결공들이 형성되어 있다. 전면 하단에는 서포트 블록(800)을 고정하기 위한 볼트 체결공들이 형성되어 있다.

제1지지면(132)에는 1층 선단지지블록(300)이 안착된다. 1층 선단지지블록(300)은 제1지지면(132)에 에폭시로 고정된다. 제2지지면(136)에는 1층 후단지지블록(400)이 안착된다. 1층 후단지지블록(400)은 고정블록용 지지면(138)에 볼트 체결되는 제1고정블록(910)에 의해 고정된다.

측면 커버(150)는 메인 바디(100)의 양측면에 볼트 체결된다. 측면 커버(150)는 제1프로브(200)들 및 제2프로브(500)들이 외부로 노출되지 않도록 오목 바닥면(134)의 양측에 설치된다.

도 5a 및 도 5b는 제1프로브들과 1층 선단지지블록 그리고 1층 후단지지블록을 보여주는 사시도 및 단면도이다.

(1층 선단지지블록)

도 3 , 도 5a 및 도 5b를 참조하면, 1층 선단지지블록(300)은 세라믹 재질의 소정길이를 갖는 블록으로, 제1지지부분(310)과 제1지지부분(310)의 상부로 연장된 제1슬롯부분(320)을 포함한다. 제1지지부분(310)은 메인 바디(100)의 제1지지면(132)에 안착된다. 제1슬롯부분(320)은 제1슬롯(322)들 및 선단 정렬슬롯(324)들을 갖는다. 제1슬롯(322)들은 제1프로브(200)들의 제1접촉암(220) 및 제1지지암(230)이 끼워질 수 있도록 일정간격으로 형성된다. 선단 정렬슬롯(324)들은 제1슬롯(322)들 양측에 형성된다. 도 8에 도시된 바와 같이, 1층 선단지지블록(300)의 슬롯(322)들은 2층 선단지지블록(600)의 슬롯(622)들 사이사이에 위치되고, 1층 선단지지블록(300)의 선단 정렬슬롯(324)은 2층 선단지지블록(600)에 형성된 선단 정렬슬롯(624)과 동일선상에 형성된다. 1층 선단지지블록(300)은 메인 바디(100)의 제1지지면(132)에 안착되며 에폭시 등과 같은 접착제로 본딩된다.

1층 선단지지블록(300)은 제1프로브(200)들과의 끼워맞춤 및 임의 이탈 방지를 위해 제1프로브(200)의 몸체에 형성된 삽입홈에 끼워지는 삽입돌기를 포함한다.

(1층 후단지지블록)

도 3 , 도 5a 및 도 5b를 참조하면, 1층 후단지지블록(400)은 1층 선단지지블록(300)과 동일한 세라믹 재질의 블록으로, 제3지지부분(410)과 제3슬롯부분(420)을 포함한다. 제3지지부분(410)은 메인바디(100)의 제2지지면(136)에 안착된다. 제3슬롯부분(420)은 제3지지부분(410)의 상부로 연장되어 형성된다. 제3슬롯부분(420)은 제1프로브(200)의 제2접촉암(240)과 제2지지암(250)이 끼워질 수 있도록 일정간격으로 형성된 수평한 제3슬롯(422)들 및 제3슬롯(422)들 양측에 형성된 후단 정렬슬롯(424)들을 갖는다. 1층 후단지지블록(400)은 메인 바디의 제2지지면(136)에 안착되며 제1고정블록(910)에 의해 고정된다. 제1프로브(200)들은 1층 선단지지블록(300)과 1층 후단지지블록(400)에 형성된 제1슬롯(322) 및 제3슬롯(422)에 끼워지면서 일정 간격으로 정렬된다. 자세하게 도시되어 있지 않지만, 1층 후단지지블록(400)의 슬롯(422)들은 2층 후단지지블록(700)의 슬롯(722)들 사이사이에 위치되고, 1층 후단지지블록(400)의 후단 정렬슬롯(424)은 2층 후단지지블록(700)에 형성된 선단 정렬슬롯(724)과 동일선상에 형성된다.

1층 후단지지블록(400)은 제1프로브(200)들과의 끼워맞춤 및 임의 이탈 방지를 위해 제1프로브(200)의 몸체에 형성된 삽입홈에 끼워지는 삽입돌기를 포함한다.

(제1프로브)

도 3 , 도 5a, 도 5b, 도 7을 참조하면, 제1프로브(200)들 각각은 얇은 전도성 금속판으로 이루어지는 블레이드 타입으로 이루어진다. 제1프로브(200)는 1층 선단지지블록(300)과 1층 후단지지블록(400) 사이에 위치되는 몸체(210)와, 제1접촉암(220), 제1지지암(230), 제2접촉암(240) 및 제2지지암(250)을 포함한다. 몸체(210)에는 경량화를 위한 다수의 중공들이 형성될 수 있다.

제1접촉암(220)은 몸체(210)의 일측으로부터 경사지게 연장되고 1층 선단지지블록(300)의 제1슬롯(322)에 끼워진다. 제1접촉암(220)의 끝단은 제1슬롯(322)으로부터 노출되도록 절곡되며 제1접촉암(220)의 끝단은 피검사체인 디스플레이 패널의 전극패드(도 7에 표시됨)에 탄력적으로 접촉된다.

제1지지암(230)은 제1접촉암(220)이 연장되어 형성된 몸체의 일측면으로부터 제1접촉암(220)과 나란하게 연장되어 1층 선단지지블록(300)의 제1슬롯(322) 바닥면에 밀착 지지된다. 제1지지암(230)은 제1접촉암(220)이 디스플레이 패널의 전극패드(미도시됨)에 접촉되는 과정에서 발생되는 핀압을 강화시키고, 비틀림 등을 최소화하기 위한 목적으로 제공된다. 제1지지암(230)이 제1슬롯(322)의 바닥면에 밀착되어 있음으로 해서 제1접촉암(220)이 보다 안정적으로 디스플레이 패널의 전극패드에 접촉될 수 있을 뿐만 아니라, 접촉되는 과정에서 발생될 수 있는 몸체의 비틀림을 상쇄시켜주는 역할을 한다. 한편, 제1접촉암(220)과 제1지지암(230) 사이에는 몸체의 일측면 내측으로 형성되는 절개홈(232, 도 7에 표현됨)이 형성된다. 절개홈(232)은 제1접촉암(220)이 디스플레이 패널의 전극패드와 접촉하기 위해 이동되는 수직 이동 방향과 수직한 방향으로 절개되어 형성된다.

제2접촉암(240)은 1층 후단지지블록(400)의 제3슬롯(422)에 끼워지도록 중앙 몸체(210)의 타측으로부터 연장된다. 제2접촉암(240)은 제1연장편(242)과 제2연장편(244)으로 이루어지는 "⊃"자 형상으로 이루어진다. 제1연장편(242)은 중앙 몸체의 타측면으로부터 연장되고 1층 후단지지블록의 제3슬롯 바닥면에 밀착 지지되는 부분이다. 제2연장편(244)는 제1연장편(242)으로부터 반대반향으로 유턴해서 연장되고 전기적 신호를 전달하기 위해 형성된 패턴 글라스(1100)의 패턴단자와 접촉되는 팁을 갖는다.

제2접촉암(240)의 제1연장편(242)은 제2연장편(244)이 패턴 글라스(1100)의 패턴단자에 접촉되는 과정에서 발생되는 핀압을 강화시키고, 비틀림 등을 최소화하기 위한 목적으로 제공되었다. 제1연장편(242)이 제3슬롯(422)의 바닥면에 밀착되어 있음으로 해서 제2연장편(244)이 보다 안정적으로 패턴 글라스(1100)의 패턴단자에 접촉될 수 있을 뿐만 아니라, 접촉되는 과정에서 발생될 수 있는 비틀림을 상쇄시켜주는 역할을 한다.

도 6a 및 도 6b는 제2프로브들과 2층 선단지지블록 그리고 2층 후단지지블록을 보여주는 사시도 및 단면도이다.

(제2프로브)

도 3, 도 6a 및 도 6b를 참조하면, 제2프로브(500)는 제1프로브(200)와 마찬가지로 얇은 전도성 금속판으로 이루어지는 블레이드 타입으로 이루어진다. 제2프로브(500)는 2층 선단지지블록(600)과 2층 후단지지블록(700) 사이에 위치되는 몸체(510)와, 제3접촉암(520), 제4접촉암(530), 제4지지암(540)을 포함한다. 몸체(510)에는 경량화를 위한 다수의 중공들이 형성될 수 있다.

제3접촉암(520)은 몸체(510)의 일측으로부터 수평하게 연장되고 2층 선단지지블록(600)의 제2슬롯(622)에 끼워진다. 제3접촉암(520)의 끝단은 제2슬롯(622)으로부터 노출되도록 절곡되며 제3접촉암(520)의 끝단은 피검사체인 디스플레이 패널의 전극패드(도 7에 표시됨)에 탄력적으로 접촉된다.

제4접촉암(530)은 2층 후단지지블록(700)의 제4슬롯(722)에 끼워지도록 중앙 몸체(510)의 타측으로부터 수평하게 연장되고 2층 후단지지블록(700)의 제4슬롯(722)에 끼워진다. 제4접촉암(530)의 끝단(팁)은 제4슬롯(722)으로부터 노출되도록 절곡되며 제4접촉암(530)의 끝단은 패턴 글라스(1100)의 패턴단자에 탄력적으로 접촉된다.

제4지지암(540)은 제4접촉암(530)이 연장되어 형성된 몸체의 타측으로부터 제4접촉암(530)과 나란하게 연장되어 2층 후단지지블록(700)의 제4슬롯(722) 바닥면에 밀착 지지된다. 제4지지암(540)은 제4접촉암(530)이 패턴 글라스(1100)의 패턴단자에 접촉되는 과정에서 발생되는 핀압을 강화시키고, 비틀림 등을 최소화하기 위한 목적으로 제공되었다. 제4지지암(540)이 제3슬롯(422)의 바닥면에 밀착되어 있음으로 해서 제4접촉암(530)이 보다 안정적으로 패턴 글라스(1100)의 패턴단자에 접촉될 수 있을 뿐만 아니라, 접촉되는 과정에서 발생될 수 있는 비틀림을 상쇄시켜주는 역할을 한다.

(2층 선단지지블록)

도 3 , 도 6a 및 도 6b를 참조하면, 2층 선단지지블록(600)은 세라믹 재질의 소정길이를 갖는 블록으로, 제2슬롯부분(620)과 제2슬롯부분(620)이 양단에 위치하는 제2지지부분(610)을 포함한다. 제2지지부분(610)은 1층 선단지지블록의 제1지지부분(310) 양단 상면에 안착되고, 서포트 블록(800)의 제3지지면(822)에 접착제로 고정된다. 제2슬롯부분(620)은 제2지지부분(610) 사이로 연장되고 제2프로브(200)들의 제2접촉암(520)이 끼워질 수 있도록 일정간격으로 형성된 제2슬롯(622)들 및 제2슬롯(622)들 양측에 형성된 선단 정렬슬롯(624)들을 갖는다. 도 8에서와 같이, 제2슬롯(622)들은 제2프로브(500)들이 제1슬롯들에 삽입된 제1프로브(200)들 사이사이에 위치되도록 형성된다. 2층 선단지지블록(600)은 1층 선단지지블록의 제1지지부분(310)에 안착된 후, 서포트 블록(800)의 제3지지면(822)과 에폭시(접착제)로 본딩된다.

이처럼, 제2프로브(500)들을 지지하는 2층 선단지지블록(600)이 1층 선단지지블록(300)에 지지됨으로써, 용이하게 1층 선단지지블록(300)의 끝단과 2층 선단지지블록(600)의 끝단높이(평탄도)를 간단히 맞출 수 있다. 또한, 2층 선단지지블록(600)은 1층 선단지지블록(300)에 얹혀진 상태(평탄도가 맞춰진 상태)에서 메인바디(100)에 고정 설치되는 서포트 블록(800)에 에폭시로 고정된다. 참고로, 2층 선단지지블록(600)의 제2지지부분(610)은 서포트 블록(800)의 제3지지면(822)에 직접 접촉되지 않으며, 그 틈새에 에폭시를 주입하여 상호 고정시킨다.

서포트 블록(800)과 제2고정블록(950)을 분리하면 2층 선단지지블록(600)과 제2프로브(500)들 그리고 2층 후단지지블록(700)의 분리가 용이하고 리페어가 용이하다.

2층 선단지지블록(600)은 제2프로브(500)들과의 끼워맞춤 및 임의 이탈 방지를 위해 제2프로브(500)의 몸체에 형성된 삽입홈에 끼워지는 삽입돌기를 포함한다.

(2층 후단지지블록)

도 3 , 도 6a 및 도 6b를 참조하면, 2층 후단지지블록(700) 역시 2층 선단지지블록(600)과 동일한 세라믹 재질의 블록으로, 제4슬롯부분(720)과 제4슬롯부분(720) 양단에 형성되는 제4지지부분(710)을 포함한다.

제4지지부분(710)은 메인바디의 제2지지면(136)에 안착된 1층 후단지지블록(400)의 제3지지부분(410) 상면에 안착된다. 제4슬롯부분(720)은 제4지지부분(710) 사이에 제공된다. 제4슬롯부분(720)은 제2프로브(500)의 제4접촉암(530)과 제4지지암(540)이 끼워질 수 있도록 일정간격으로 형성된 수평한 제4슬롯(722)들 및 제7슬롯(722)들 양측에 형성된 후단 정렬슬롯(724)들을 갖는다. 2층 후단지지블록(700)은 1층 후단지지블록(400)의 제3지지부분(410)상에 안착되며 제2고정블록(950)에 의해 고정된다. 제2프로브(500)들은 2층 선단지지블록(600)과 2층 후단지지블록(700)에 형성된 제2슬롯 및 제4슬롯에 끼워지면서 일정 간격으로 정렬된다.

2층 후단지지블록(700)은 제2프로브(500)들과의 끼워맞춤 및 임의 이탈 방지를 위해 제1프로브(200)의 몸체에 형성된 삽입홈에 끼워지는 삽입돌기를 포함한다.

(서포트 블록)

도 3을 참조하면, 서포트 블록(800)은 전면고정부분(810)과 사이드 지지대(820)를 포함한다. 전면고정부분(810)은 메인바디(100)의 전면에 고정설치되며, 사이드 지지대(820)는 전면고정부분(810)의 양측면으로부터 연장되어 1층 선단지지블록(300)의 양측에 위치되고 2층 선단지지블록(600)의 양측단을 지지하는 제3지지면(822)을 갖는다.

(제1고정블록)

제1고정블록(910)은 메인바디에 고정 설치되고, 1층 후단지지블록(400)을 고정한다. 제1고정블록(910)은 메인바디(100)에 볼트 고정되도록 2개의 체결구(922)가 형성된 평평한 플레이트 형상의 제1고정부분(920)과, 제1고정부분(920)으로부터 연장되고 1층 후단지지블록(400)이 메인바디(100)의 제2지지면(136)에 밀착 고정되도록 1층 후단지지블록(400)을 누르기 위한 제1누름부분(930) 및 제1누름부분(930)에 설치되고 1층 후단지지블록(400)에 탄력적으로 접촉되는 원기둥 형태의 제1탄성바(940)를 포함한다.

(제2고정블록)

제2고정블록(950)은 메인바디에 고정 설치되고, 2층 후단지지블록(700)을 고정한다. 제2고정블록(950)은 제1고정블록(910)의 제1고정부분(920) 상부에 위치된다. 제2고정블록(950)은 제2고정부분(960), 제2누름부분(970) 및 탄성블록(990)을 포함한다. 제2고정부분(960)은 메인바디(100)에 볼트 고정되도록 2개의 체결구(962)가 형성된 평평한 플레이트 형상이다. 제2누름부분(970)은 제2고정부분(960)의 양측으로부터 각각 연장되어 2층 후단지지블록(700)의 양측사이드에 형성된 사이드 누름면에 위치된다. 제2누름부분(970)은 2층 후단지지블록(700)이 1층 후단지지블록(400)에 밀착 고정되도록 2층 후단지지블록(700)을 눌러준다. 탄성블럭(990)은 제2누름부분(970)에 부착되고 2층 후단지지블록(700)의 사이드 누름면에 탄력적으로 접촉된다.

(패턴 글라스)

패턴 글라스(1100)는 소정의 두께를 갖는 투명한 글라스 재질의 플레이트로 이루어진다. 패턴 글라스(1100)는 일면에 제1,2프로브(200,500)들이 접속되는 패턴단자(접속패드)(미도시됨)들이 형성된다. 패턴단자들은 반도체 제조에 사용되는 금속 증착 공정(sputtering)을 이용하여 글라스의 일면에 미세하게 돌출되도록 형성하게 된다. 패턴 글라스(1100)는 검사하고자 하는 대상물인 디스플레이 패널에 부착되는 구동 IC와 동일한 탭IC(Tape Automated Bonding Integrated Circuit)(미도시됨)가 단자간 접속이 이루어지도록 본딩접합에 의해 연결되고 또한 탭IC와 구동시트(1200)가 본딩접합에 의해서 연결된다. 구동시트(1200)는 플렉시블한 기판으로 되어 있다.

(패턴 글라스 커버)

패턴 글라스 커버(1300)는 메인 바디(100)의 저면에 볼트 결합된다. 패턴 글라스 커버(1300)는 패턴글라스(1100)의 패턴단자들이 프로브들의 팁들과 접촉되도록 패턴글라스(1100)를 가압한다. 참고로, 패턴글라스 커버(1300)는 패턴글라스(1100)의 패턴단자들과 제1,2프로브들 간의 접촉상태를 육안으로 확인할 수 있는 투시창(1310)을 포함한다.

다음은 상기한 바와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛의 조립 및 분해 과정을 설명하면 다음과 같다. 프로브 유닛의 조립 및 분해는 유닛을 뒤집은 상태에서 이루어지게 된다.

도 9a 내지 도 9e는 프로브 유닛의 조립과정을 단계적으로 보여주는 도면들이다.

(프로브 유닛의 조립 과정)

먼저, 메인바디는 저면이 위를 향하도록 뒤집는다. 그 상태에서 1층 선단지지블록(300)은 메인바디(100)의 제1지지면(132)에 올려놓고, 1층 후단지지블록(400)은 제2지지면(136)에 올려놓는다. 제1프로브들의 핀인써트 작업을 위해서 1층 선단지지블록(300)은 에폭시로 고정한다. 1층 후단지지블록(400)은 움직임 방지를 위해 제1고정블록(910)을 이용하여 임시로 고정시킨다. 이렇게 1층 선단지지블록(300)과 1층 후단지지블록(400)의 배치가 완료되면 제1프로브들의 인써팅 작업을 실시한다(도 7b).

제2프로브들의 인써팅 작업을 위해서, 서포트 블록(800)은 메인바디의 전면에 볼트로 고정 설치한다. 2층 선단지지블록(600)은 제2지지부분(610)을 1층 선단지지블록(300)의 제1지지부분(310)에 안착시키고, 2층 선단지지블록(600)의 제2지지부분(610)과 서포트 블록(800)의 제3지지면(822)을 에폭시로 고정한다. 2층 후단지지블록(700)은 1층 후단지지블록(400)의 제3지지부분(410) 상면에 안착시키고, 제2고정블록(950)을 이용하여 임시 고정시킨다. 이렇게 2층 선단지지블록(600)과 2층 후단지지블록(700)의 배치가 완료되면 제2프로브(500)들의 인써팅 작업을 실시한다(도 9c~ 도 9e).

제2프로르브(500)들의 인써팅 작업이 완료되면, 1층 선단지지블록(300)과 2층 선단지지블록(600)의 정렬 과정이 이루어진다. 정렬 과정은 선단 정렬슬롯(324,624)들에 정렬용 블레이드(1400)들을 끼워넣어 1층 선단지지블록(300)과 2층 선단지지블록(600)을 정렬한다. 이와 마찬가지로, 1층 후단지지블록(400)과 2층 후단지지블록(700)의 정렬을 위해 후단 정렬슬롯(424,724)에 정렬용 블레이드(1400)들을 끼워넣어 1층 후단지지블록(400)과 2층 후단지지블록(700)을 정렬한다. 이러한 정렬과정을 통해 제1프로브(200)들의 선단 사이사이에 제2프로브(500)들의 선단이 정확하게 위치되고, 제1프로브(200)들의 후단 사이사이에 제2프로브(500)들의 후단이 정확하게 위치된다(도 9c 참조). 이러한 정렬 과정은 2층 선단지지블록과 2층 후단지지블록의 설치시 선행되어도 좋다.

한편, 제1고정블록(910)과 제2고정블록(950)은 전방으로 밀어 제1,2프로브들이 슬롯에 완전히 삽입되도록 한 후 볼트를 완전히 조여서 고정한다.

도시하지 않았지만, 패턴 글라스(1100)를 메인 바디(100)의 저면에 올려놓고, 그 위에 패턴 글라스 커버(1300)를 덮어서 볼트로 메인바디(100)의 저면에 고정 및 결합시킨다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

100 : 메인바디
200 : 제1프로브
300 : 1층 선단지지블록
400 : 1층 후단지지블록
500 : 제2프로브
600 : 2층 선단지지블록
700 : 2층 후단지지블록
800 : 서포트 블록

Claims

디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛에 있어서:
전면과 후면 그리고 저면을 갖고, 상기 저면에는 상기 전면과 인접한 1지지면과 상기 제1지지면과는 일정거리 이격된 제2지지면이 형성된 메인 바디;
상기 메인 바디의 저면에 제1방향으로 배치되는 그리고 디스플레이 패널의 짝수열 전극패드들과 홀수열 전극패드들 중 어느 한 열의 전극패드들로 전기적 신호를 전달하는 제1프로브들;
상기 제1프로브들과 겹쳐지지 않도록 상기 메인 바디의 저면에 제1방향으로 배치되는 그리고, 상기 디스플레이 패널의 나머지 한 열의 전극패드들로 전기적 신호를 전달하는 제2프로브들;
상기 메인바디의 제1지지면에 위치되어 상기 제1프로브들의 선단을 지지하는 1층 선단지지블록;
상기 메인바디의 제2지지면에 위치되어 상기 제1프로브들의 후단을 지지하는 1층 후단지지블록;
상기 메인바디의 전면에 장착되고, 양측단에 제3지지면을 갖는 서포트 블록;
상기 1층 선단지지블록의 양단에 지지되고, 상기 서포트 블록의 제3지지면에 고정되며, 상기 1층 선단지지블록 상부에서 상기 제2프로브들의 선단을 지지하는 2층 선단지지블록; 및
상기 메인바디의 제2지지면에 지지되고, 상기 1층 후단지지블록 상부에서 상기 제2프로브들의 후단을 지지하는 2층 후단지지블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛.
제 1 항에 있어서,
상기 서포트 블록은
상기 메인바디의 전면에 고정설치되는 전면고정부분;
상기 전면고정부분의 양측면으로부터 연장되어 상기 1층 선단지지블록의 양측에 위치되고 상기 2층 선단지지블록의 양측단이 접착제로 본딩되는 상기 제3지지면을 갖는 사이드 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛.
제 1 항에 있어서,
상기 메인바디에 고정 설치되고, 상기 1층 후단지지블록을 고정하는 제1고정블록; 및
상기 메인바디에 고정 설치되고, 상기 2층 후단지지블록을 고정하는 제2고정블록을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛.
제 3 항에 있어서,
상기 제1고정블록은
상기 메인바디에 볼트 고정되도록 적어도 하나 이상의 체결구가 형성된 평평한 플레이트 형상의 제1고정부분;
상기 제1고정부분으로부터 연장되고 상기 1층 후단지지블록이 상기 메인바디의 제2지지면에 밀착 고정되도록 상기 1층 후단지지블록을 누르기 위한 제1누름부분; 및
상기 제1누름부분에 설치되고 상기 1층 후단지지블록에 탄력적을 접촉되는 원기둥 형태의 제1탄성바를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛.
제 3 항에 있어서,
상기 제2고정블록은
상기 제1고정블록의 제1고정부분 상부에 위치되고, 상기 메인바디에 볼트 고정되도록 적어도 하나 이상의 체결구가 형성된 평평한 플레이트 형상의 제2고정부분;
상기 제2고정부분의 양측으로부터 각각 연장되어 상기 2층 후단지지블록의 양측사이드에 형성된 사이드 누름면에 위치되어 상기 2층 후단지지블록이 상기 메인바디의 제2지지면에 밀착 고정되도록 상기 2층 후단지지블록을 누르기 위한 제2누름부분; 및
상기 제2누름부분에 부착되고 상기 2층 후단지지블록의 사이드 누름면에 탄력적으로 접촉되는 탄성블럭을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 1층 선단지지블록은
상기 메인바디의 제1지지면에 안착되는 제1지지부분;
상기 제1지지부분의 상부로 연장되고 상기 제1프로브들의 선단이 끼워지는 제1슬롯들이 형성된 제1슬롯부분을 포함하고,
상기 2층 선단지지블록은
상기 제2프로브들이 상기 제1프로프들 사이에 위치되도록 상기 제2프로브들의 선단이 끼워지는 제2슬롯들을 갖는 제2슬롯부분;
상기 제2슬롯부분의 양단에 형성되고 상기 1층 선단지지블록의 제1지지부분에 안착되고 상기 서포트 블록의 제3지지면에 접착제로 고정되는 제2지지부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛.
제 6 항에 있어서,
상기 1층 후단지지블록은
상기 메인바디의 제2지지면에 안착되는 제3지지부분;
상기 제3지지부분의 상부로 연장되고 상기 제1프로브들의 후단이 끼워지는 제3슬롯들이 형성된 제3슬롯부분을 포함하고,
상기 2층 후단지지블록은
상기 제2프로브들이 상기 제1프로프들 사이에 위치되도록 상기 제2프로브들의 후단이 끼워지는 제4슬롯들을 갖는 제4슬롯부분;
상기 제4슬롯부분의 양단에 형성되고 상기 상기 메인바디의 제2지지면에 안착되는 제4지지부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛.
제 6 항에 있어서,
상기 1층 선단지지블록과 상기 2층 선단지지블록은
상기 프로브들이 끼워지는 슬롯들 이외에 상기 1층 선단지지블록과 상기 제2층 선단지지블록의 위치를 정렬시켜주기 위해 동일선상에 형성되는 선단정렬슬롯들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛.
제 7 항에 있어서,
상기 1층 후단지지블록과 상기 2층 후단지지블록은
상기 프로브들이 끼워지는 슬롯들 이외에 상기 1층 후단지지블록과 상기 제2층 후단지지블록의 위치를 정렬시켜주기 위해 동일선상에 형성되는 후단정렬슬롯들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛.
제 7 항에 있어서,
상기 제1프로브는
블레이드 형상의 몸체;
상기 1층 선단지지블록의 제1슬롯에 끼워지도록 상기 몸체의 일측으로부터 경사지게 연장되고, 디스플레이 패널의 전극패드와 접촉되는 팁을 갖는 제1접촉암;
상기 몸체의 일측면으로부터 상기 제1접촉암과 나란하게 연장되어 상기 제1선단지지블록의 제1슬롯 바닥면에 밀착 지지되는 제1지지암;
상기 1층 후단지지블록의 제3슬롯에 끼워지는 제2접촉암을 포함하되;
상기 제2접촉암은 상기 중앙 몸체의 타측면으로부터 연장되고 상기 1층 후단지지블록의 제3슬롯 바닥면에 밀착 지지되는 제1연장편과, 상기 제1연장편으로부터 반대방향으로 연장되고 패턴 글라스의 패턴단자와 접촉되는 팁을 갖는 제2연장편으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛.
제 10 항에 있어서,
상기 제1프로브는 상기 제1접촉암과 상기 제1지지암 사이로부터 상기 몸체의 일측면 내측으로 형성되는 절개홈을 더 포함하되, 상기 절개홈은 상기 제1접촉암이 디스플레이 패널의 전극패드와 접촉하기 위해 이동되는 수직 이동 방향과 수직한 방향으로 절개되어 형성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛.
제 7 항에 있어서,
상기 제2프로브는
블레이드 형상의 몸체;
상기 2층 선단지지블록의 제2슬롯에 끼워지도록 상기 몸체의 일측으로부터 경사지게 연장되고, 디스플레이 패널의 전극패드와 접촉되는 팁을 갖는 제3접촉암;
상기 2층 후단지지블록의 제4슬롯에 끼워지도록 상기 중앙 몸체의 타측으로부터 연장되고, 상기 패턴 글라스의 패턴단자와 접촉되는 팁을 갖는 제4접촉암; 및
상기 중앙 몸체의 타측면으로부터 상기 제4접촉암과 나란하게 연장되고 상기 2층 후단지지블록의 제4슬롯 바닥면에 밀착 지지되는 제4지지암을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛.