KR100773732B1 - 프로브 유닛 및 이를 포함하는 프로브 장치 - Google Patents

프로브 유닛 및 이를 포함하는 프로브 장치 Download PDF

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김석중
문광훈
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주식회사 파이컴
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Abstract

고성능의 피검사 대상물을 효과적으로 검사할 수 있으며 제작 및 정비가 용이한 프로브 유닛은, 제1 방향으로 나열된 제1 프로브 핀들, 제1 프로브 핀들의 상부에 배치되며 제1 프로브 핀들 사이에 각각 위치하도록 제1 방향으로 나열된 제2 프로브 핀들, 각각의 제1 프로브 핀의 양단부를 지지하는 제1 지지부재, 제1 지지부재 상부에 배치되어 각각의 제2 프로브 핀의 양단부를 지지하는 제2 지지부재, 제1 및 제2 지지부재들을 지지하는 프레임, 프레임에 체결되어 제1 및 제2 지지부재들을 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 고정하는 제1 체결부재들, 그리고 프레임에 체결되어 제1 및 제2 지지부재들을 제1 및 제2 방향들에 수직하는 제3 방향으로 고정하는 제2 체결부재들을 포함한다. 프로브 유닛은 조립식으로 구성되어 제작 및 정비가 용이하며, 제1 및 제2 프로브 핀들도 미세한 간격으로 나열할 수 있다.

Description

프로브 유닛 및 이를 포함하는 프로브 장치{PROBE UNIT AND PROBE APPARATUS HAVING THE SAME}
도 1은 종래에 개시된 프로브 유닛을 설명하기 위한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 관점에 따른 프로브 유닛을 설명하기 위한 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시한 A의 확대도이다.
도 4는 도 2에 도시한 B의 확대도이다.
도 5는 도 2에 도시한 프로브 유닛의 분해도이다.
도 6은 도 2에 도시한 제1 프로브 핀을 설명하기 위한 사시도이다.
도 7은 도 2에 도시한 제2 프로브 핀을 설명하기 위한 사시도이다.
도 8은 도 2에 도시한 프레임을 설명하기 위한 프레임의 사시도이다.
도 9는 도 2에 도시한 제1 지지부재를 설명하기 위한 제1 및 제2 지지대들의 사시도이다.
도 10은 도 2에 도시한 제2 지지부재를 설명하기 위한 제3 및 제4 지지대의 사시도이다.
도 11 내지 도 17은 도 2에 도시한 프로브 유닛의 제조 방법을 순차적으로 설명하기 위한 사시도들과 단면도들이다.
도 18은 본 발명의 다른 관점에 따른 프로브 유닛을 설명하기 위한 사시도이 다.
도 19는 도 18에 도시한 C의 확대도이다.
도 20은 도 18에 도시한 D의 확대도이다.
도 21은 도 18에 도시한 프로브 유닛의 분해도이다.
도 22는 도 18에 도시한 프레임을 설명하기 위한 프레임의 사시도이다.
도 23은 도 18에 도시한 제1 지지부재를 설명하기 위한 제1 및 제2 지지대의 사시도이다.
도 24는 도 18 도시한 제2 지지부재를 설명하기 위한 제3 및 제4 지지대들의 사시도이다.
도 25 내지 도 31은 도 18에 도시한 프로브 유닛의 제조 방법을 순차적으로 설명하기 위한 사시도들 및 단면도들이다.
도 32는 본 발명의 또 다른 관점에 따른 프로브 장치의 측면도이다.
도 33은 도 32에 도시한 프로브 장치에 장착된 프로브 유닛의 사시도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100,200：프로브 유닛 110：제1 프로브 핀
111：몸체부 111a：제1 단
111b：제2 단 114：접촉부
117：연결부 120：제2 프로브 핀
121：몸체부 121a：제1 단
121b：제2 단 122：제1 고정홈
123：제2 고정홈 124：접촉부
127：연결부 130,230：제1 지지부재
131,231：제1 지지대 132,232,242,252：홈
135,235：제1 핀 슬롯 136.236：제1 결합홈
137,237：제1 얼라인 슬롯 141,241：제2 지지대
145,245：제2 핀 슬롯 146.246：제2 결합홈
147,247：제2 얼라인 슬롯 150,250：제2 지지부재
151,251：제3 지지대 154,254：제1 결합바
155,255：제3 핀 슬롯 156：걸림턱
157,257：제3 얼라인 슬롯 161,261：제4 지지대
163,263：고정부 164,264：제2 결합바
165,265：제4 핀 슬롯 166,266：지지부
167,267：제4 얼라인 슬롯 170,270：프레임
171,272：프레임 측벽 173,273：지지단
173b,273b,275b：단차 176：수용홈
176a,271：제1 층 176b,275：제2 층
176c：제3 층 178：단자홈
181,281：제1 체결부재 181a,281a：제1 체결공
183,283：제2 체결부재 183a,283a：제2 체결공
185,285：제3 체결부재 185a,285a：제3 체결공
187,287：제4 체결부재 187a,287a：제4 체결공
190,290：써포팅 블록 192：상부 단차
193：하부 단차 276：제1 수용홈
277：제2 수용홈 278：개구부
295：홀 289a：제5 체결공
300：프로브 장치 301：피검체
305：단자모듈 306：단자
310：하우징 315：투명 셔터
320：홀더 325：설치 플레이트
330：스테이지
본 발명은 프로브 유닛 및 이를 포함하는 프로브 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), 유기EL(organic electro-luminescence)과 같은 디스플레이 패널의 단자들에 접촉하는 프로브 유닛과 이를 이용하여 상기 디스플레이 패널의 이상 여부를 확인하기 위한 프로브 장치에 관한 것이다.
최근 디스플레이 산업이 대구경화를 추구하는 방향으로 진행됨에 따라 디스플레이 패널의 크기는 날이 갈수록 커지고 있다. 디스플레이 패널의 크기가 증가함 에 따라 이를 포함하는 디스플레이 장치의 가격도 꾸준히 상승하고 있다.
이러한 고가의 디스플레이 장치는 사후 조치가 힘들기 때문에 제작단계에서 철저한 불량 검사를 마쳐야 한다. 만약, 디스플레이 패널에 불량화소가 기준치 이상 존재하는 것을 사후에 발견하게 되면, 디스플레이 패널을 교체해야한다. 당연히 여기에 많은 비용이 소요되며, 이로 인한 제품의 신뢰성 저하, 제조사의 평가 저하 등 많은 불이익이 발생되게 된다. 따라서 제조 단계에서 디스플레이 패널에 대한 철저한 불량 검사가 무엇보다 중요하다. 이러한 디스플레이 패널에 대한 검사는 프로브 장치에서 수행된다.
프로브 장치는 디스플레이 패널의 조립 전 단계에서 디스플레이 패널의 정상 작동여부를 확인한다. 이 경우, 디스플레이 패널의 단자에는 프로브 장치의 프로브 유닛이 접촉된다.
도 1은 종래에 개시된 프로브 유닛을 설명하기 위한 단면도를 도시한 것이다.
도 1을 참조하면, 프로브 유닛(10)은 프로브 핀(15) 및 프로브 블록(20)을 포함한다.
프로브 핀들(15)은 디스플레이 패널(50)의 단자들(55)에 접촉하는 부재로서, 단자들(55)의 간격에 대응하게 나열된다. 이 경우, 프로브 핀들(15)은 프로브 블록(20) 내에 고정된다.
프로브 블록(20)은 홀더(60)를 매개로 프로브 유닛 설치판(40)에 장착되어 프로브 핀들(15)이 디스플레이 패널(50)의 단자들(55) 상부에 위치하도록 지지한 다. 프로브 블록(20)에 고정된 프로브 핀들(15)에는 TCP와 같은 집적회로(65)가 연결되어 프로브 핀들(15)에 전기적 신호를 공급한다. 프로브 핀들(15)은 단자들(55)에 전기적 신호를 전달하여 디스플레이 패널(50)의 이상여부를 판별하게 된다.
프로브 핀들(15)은 프로브 블록(20) 내에 일정 간격으로 고정된다. 이 경우, 일단 프로브 블록(20)에 고정된 프로브 핀들(15)은 분리하기 힘들며, 재배치도 실질적으로 불가능하다. 따라서 프로브 핀(15)에 이상이 발생된 경우, 이를 교체하거나 정비하기 매우 난해하다.
또한, 프로브 핀들(15)은 프로브 블록(20) 내의 세라믹 지지대(25) 상에 배치되는데, 세라믹 지지대(25)가 종종 파손되어 많은 문제들을 일으키고 있다. 세라믹 지지대(25)가 파손되면 프로브 핀들(15)이 정확한 자세를 유지하지 못하여, 단자(55)에 정확하게 접촉되지 않는 등 많은 문제들이 유발된다.
따라서 세라믹 지지대(25)를 교체해야하는데, 세라믹 지지대(25)에 프로브 핀들(15)이 고정되어 있기 때문에 세라믹 지지대(25)만을 교체하기는 실질적으로 불가능하다. 또한, 세라믹 지지대(25)가 프로브 블록(20)에 완전히 고정되어 프로브 블록(20)으로부터 세라믹 지지대(25)를 분리하기도 실질적으로 불가능하다.
이미 전술한 바와 같이, 프로브 핀들(15)은 프로브 블록(20) 내에 일정 간격으로 고정된다. 이 경우, 프로브 핀들(15)의 간격을 일정치 이하로 낮추기 힘들다. 현재의 기술로는 프로브 핀들(15)을 약 30㎛의 간격으로 배치하는 것이 한계로 알려져 있다. 이에 비하여 최근에 개발되는 고성능 및 고집적의 디스플레이 패널에는 약 25㎛의 간격으로 배치된 단자들(55)이 장착된다. 따라서 현재의 일반적인 프로 브 유닛(10)으로는 최신의 디스플레이 패널을 검사하기 어려운 실정이다. 단자들(55)의 간격은 앞으로도 계속 줄어들 것으로 예상되어 이에 대한 대책 마련이 절실한 실정이다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점들을 해소하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 일 목적은 프로브 핀들을 미세한 간격으로 배열할 수 있으며, 제작과 정비가 용이한 프로브 유닛을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 상기 프로브 유닛을 이용하여, 단자들이 미세하게 배열된 피검사 대상물을 효과적으로 검사할 수 있는 프로브 장치를 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 관점에 따른 프로브 유닛은, 제1 방향으로 나열된 제1 프로브 핀들, 제1 프로브 핀들의 상부에 배치되며 제1 프로브 핀들 사이에 각각 위치하도록 제1 방향으로 나열된 제2 프로브 핀들, 각각의 제1 프로브 핀의 양단부를 지지하는 제1 지지부재, 제1 지지부재 상부에 배치되어 각각의 제2 프로브 핀의 양단부를 지지하는 제2 지지부재, 제1 및 제2 지지부재들을 지지하는 프레임, 프레임에 체결되어 제1 및 제2 지지부재들을 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 고정하는 제1 체결부재들, 그리고 프레임에 체결되어 제1 및 제2 지지부재들을 제1 및 제2 방향들에 수직하는 제3 방향으로 고정하는 제2 체결부재들을 포함한다.
제1 지지부재는 각각의 제1 프로브 핀의 일단부를 지지하는 제1 지지대 및 각각의 제1 프로브 핀의 타단부를 지지하는 제2 지지대를 포함할 수 있다. 제2 지지부재는 제1 지지대 상부에 배치되어 각각의 제2 프로브 핀의 일단부를 지지하는 제3 지지대 및 제2 지지대 상에 배치되어 각각의 제2 프로브 핀의 타단부를 지지하는 제4 지지대를 포함할 수 있다.
제1 지지대와 제2 지지대의 상면들에는 제1 프로브 핀들이 각각 삽입되는 핀 슬롯들이 형성될 수 있다. 제3 지지대와 제4 지지대의 상면들에는 제2 프로브 핀들이 각각 삽입되는 핀 슬롯들이 형성될 수 있다. 제1 프로브 핀들은 제1 및 제2 지지대들에 조립식으로 결합될 수 있고, 제2 프로브 핀들은 제3 및 제4 지지대들에 조립식으로 결합될 수 있다.
제1 지지대는 지지단 상부에 배치될 수 있고, 제3 지지대는 써포팅 블록들 상에 배치될 수 있다. 써포팅 블록들은 제3 체결부재들에 의하여 프레임에 고정될 수 있다. 제3 지지대는 제3 지지대의 양측에 접하는 제4 체결부재에 의하여 제1 지지대에 얼라인 될 수 있다.
제2 지지대는 수용홈 내에 배치될 수 있고, 제4 지지대는 제2 지지대 상에 배치될 수 있다. 제2 및 제4 지지대들은 제1 및 제2 체결부재들에 의하여 프레임 내에 고정될 수 있다. 제4 지지대는 제4 지지대의 양측에 접하는 제2 체결부재에 의하여 제2 지지대에 얼라인 될 수 있다.
본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 다른 관점에 따른 프로브 유닛은, 제1 방향으로 나열된 프로브 핀들, 각각의 프로브 핀의 양단부를 지지하는 지지부재, 지지부재를 지지하는 프레임, 프레임에 체결되어 지지부재를 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 고정하는 제1 체결부재들, 그리고 프레임에 체결되어 지지부재를 제1 및 제2 방향들에 수직하는 제3 방향으로 고정하는 제2 체결부재들을 포함한다.
본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 다른 관점에 따른 프로브 장치는, 피검사 대상물을 전기적으로 검사하기 위한 공간이 마련된 하우징, 하우징 내부에 배치되어 피검사 대상물을 지지하는 스테이지, 작업 스테이지 상에 지지된 피검사 대상물의 주변부에 배치되며, ⅰ)제1 방향으로 나열되어 피검사 대상물의 제1 단자들에 접촉하는 제1 프로브 핀들, ⅱ)상기 제1 프로브 핀들의 상부에 배치되며, 제1 프로브 핀들 사이에 각각 위치하도록 제1 방향으로 나열된 제2 프로브 핀들, ⅲ)상기 각각의 제1 프로브 핀의 양단부를 지지하는 제1 지지부재, ⅳ)상기 제1 지지부재 상부에 배치되어 각각의 제2 프로브 핀의 양단부를 지지하는 제2 지지부재, ⅴ)상기 제1 및 제2 지지부재들을 지지하는 프레임, ⅵ)상기 프레임에 체결되어 제1 및 제2 지지부재들을 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 고정하는 제1 체결부재들 및 ⅶ)상기 프레임에 체결되어 제1 및 제2 지지부재들을 제1 및 제2 방향들에 수직하는 제3 방향으로 고정하는 제2 체결부재들을 포함하는 프로브 유닛, 그리고 제1 및 제2 프로브 핀들에 전기적 신호를 제공하여 피검사 대상물의 이상 여부를 검사하는 테스트 유닛을 포함한다.
본 발명에 따르면, 미세한 간격으로 배치된 접속단자들을 갖는 피검사 대상물에 대응하는 프로브 유닛과 이를 포함하는 프로브 장치를 제공할 수 있다. 또한, 프로브 유닛을 신속 및 용이하게 제조할 수 있을 뿐만 아니라, 프로브 유닛의 정비 도 신속 및 용이하게 수행할 수 있다.
이하, 본 발명의 다양한 관점들에 따른 프로브 유닛 및 이를 포함하는 프로브 장치에 대하여 자세하게 설명하지만, 본 발명이 하기의 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구현될 수도 있다. 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 보다 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상과 특징이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공된다. 도면들은 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 과장되게 도시되었으며, 본 명세서에서 설명되지 아니한 다양한 부가 장치 또는 부재들이 더 구비될 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 관점에 따른 프로브 유닛을 설명하기 위한 사시도를 도시한 것이고, 도 3은 도 2에 도시한 A를 확대한 사시도이며, 도 4는 도 2에 도시한 B를 확대한 사시도이고, 도 5는 도 2에 도시한 프로브 유닛의 분해도를 도시한 것이다.
도 2 내지 도 5를 참조하면, 프로브 유닛(100)은 제1 프로브 핀들(110), 제2 프로브 핀들(120), 제1 지지부재(130), 제2 지지부재(150), 프레임(170), 제1 체결부재들(181), 제2 체결부재들(183), 제3 체결부재들(185), 제4 체결부재들(187) 및 써포팅 블록들(190)을 포함한다. 이 경우, 제1 지지부재(130)는 제1 지지대(131)와 제2 지지대(141)를 포함하고, 제2 지지부재(150)는 제3 지지대(151)와 제4 지지대(161)를 포함한다.
프레임(170) 상에는 제1 및 제2 지지대들(131,141)이 배치된다. 제1 지지대(131) 상면에는 제1 방향을 따라서 제1 핀 슬롯들(135)과 제1 얼라인 슬롯 들(137)이 형성된다. 이 경우, 제1 핀 슬롯들(135)은 제1 간격(G11)으로 형성된다. 제2 지지대(141) 상면에는 제1 방향을 따라서 제2 핀 슬롯들(145)과 제2 얼라인 슬롯들(147)이 형성된다. 이 경우, 제2 핀 슬롯들(145)도 제1 간격(G11)으로 형성된다.
제1 및 제2 지지대들(131,141)에는 제1 프로브 핀들(110)이 삽입된다. 제1 핀 슬롯들(135)에는 제1 프로브 핀들(110)의 일단부들이 각각 삽입되고, 제2 핀 슬롯들(145)에는 제1 프로브 핀들(110)의 타단부들이 각각 삽입된다. 따라서 제1 프로브 핀들(110)은 제1 간격(G11)과 실질적으로 동일한 간격으로 배열된다.
제1 간격(G11)은 피검사 대상물 단자들의 간격에 따라서 결정될 수 있다. 예를 들어, 제1 간격(G11)은 약 10 내지 100㎛일 수 있다.
제1 지지대(131)의 양측으로 써포팅 블록들(190)이 각각 배치된다. 써포팅 블록들(190)은 제3 체결부재들(185)에 의하여 프레임(170)에 고정된다. 써포팅 블록들(190) 상에는 제3 지지대(151)가 배치되고, 제2 지지대(141) 상에는 제4 지지대(161)가 배치된다.
제3 지지대(151) 상면에는 제1 방향을 따라서 제3 핀 슬롯들(155)과 제3 얼라인 슬롯들(157)이 형성된다. 이 경우, 제3 핀 슬롯들(155)은 제2 간격(G12)으로 형성된다. 제4 지지대(161) 상면에는 제1 방향을 따라서 제4 핀 슬롯들(165)과 제2 얼라인 슬롯들(167)이 형성된다. 이 경우, 제4 핀 슬롯들(165)도 제2 간격(G12)으로 형성된다.
제3 지지대(151)는 제1 지지대(131)에 얼라인된다. 이 경우, 제3 얼라인 슬롯들(157)과 제1 얼라인 슬롯들(137)이 이용된다. 제4 지지대(161)는 제2 지지대(141)에 얼라인된다. 이 경우, 제4 얼라인 슬롯들(167)과 제2 얼라인 슬롯들(147)이 이용된다.
제1 및 제2 지지대들(131,141)에 각각 얼라인된 제3 및 제4 지지대들(151,161)에는 제2 프로브 핀들(120)이 삽입된다. 제3 핀 슬롯들(155)에는 제2 프로브 핀들(120)의 일단부들이 각각 삽입되고, 제4 핀 슬롯들(165)에는 제2 프로브 핀들(120)의 타단부들이 각각 삽입된다. 따라서 제2 프로브 핀들(120)은 제2 간격(G12)과 실질적으로 동일한 간격으로 배열된다.
제2 간격(G12)은 피검사 대상물 단자들의 간격에 따라서 결정될 수 있다. 예를 들어, 제2 간격(G12)은 약 10 내지 100㎛일 수 있다. 제2 프로브 핀들(120)의 제2 간격(G12)은 제1 프로브 핀들(110)의 제1 간격(G11)과 실질적으로 동일하다. 경우에 따라서는 제2 간격(G12)은 제1 간격(G11)과 다소 상이할 수 있다.
제1 프로브 핀들(110) 사이사이에는 제2 프로브 핀들(120)이 제3 간격(G13)으로 배치된다. 제3 간격(G13)은 제1 및 제2 간격들(G11,G12)에 따라서 결정될 수 있다. 예를 들어, 제1 간격(G11)이 약 50㎛이고 제2 간격(G12)이 약 50㎛일 경우, 제3 간격(G13)은 약 25㎛가 된다.
제2 및 제4 지지대들(141,161)은 제1 및 제2 체결부재들(181,183)에 의하여 프레임(170)에 고정된다. 이와 실질적으로 동시에 제2 및 제4 지지대들(141,161)은 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)에 각각 결합될 수 있다. 이하, 프로브 유닛(100)의 각 구성요소들에 대하여 자세하게 설명한다.
도 6은 도 2에 도시한 제1 프로브 핀을 설명하기 위한 개략적인 확대 사시도를 도시한 것이다.
도 6을 더 참조하면, 제1 프로브 핀(110)은 크게 몸체부(111), 접촉부(114) 및 연결부(117)로 나뉘어 진다.
몸체부(111)는 전체적으로 폭(W11)에 비하여 길이(L11)가 상대적으로 큰 얇은 판 형상을 갖는다. 몸체부(111)에는 경량화를 위하여 복수개의 중공들(116)이 형성될 수 있다.
몸체부(111)는 도 6에 도시된 바와 같이, 수평면에 대하여 시계 방향(CW)으로 제1 각도(α1)만큼 기울어지게 형성된다. 제1 각도(α1)는 이하 설명할 프레임(170)의 형상에 따라서 결정될 수 있다. 몸체부(111)의 제1 및 제2 단들(111a,111b)은 수평면에 대하여 반시계 방향(CCW)으로 제1 각도(α1)만큼 굽어진다. 이 결과, 제1 및 제2 단들(111a,111b)은 수평으로 배치된다. 몸체부(111)의 제1 단(111a) 상면에는 접촉부(114)가 형성되고, 몸체부(111)의 제2 단(111b) 상면에는 연결부(117)가 형성된다.
접촉부(114)는 LCD(liquid crystal display)와 같은 피검사 대상물의 단자에 직접 접하는 부재로서, 몸체부(111)의 제1 단(111a) 상면에 제2 각도(α2)로 기울어지게 형성된다. 접촉부(114)는 끝단이 날카로운 핀 형상을 갖는다.
연결부(117)는 TCP(tape carrier package)와 같은 집적회로에 접하는 부재로서, 몸체부(111)의 제2 단(111b) 상면으로부터 수직 방향으로 연장되다 직각으로 굽어진다. 연결부(117)는 전체적으로 로마자'Γ'와 유사한 형상을 갖는다. 연결부(117)의 끝단은 날카로운 핀 형상을 가지며, 상방으로 굽어진다.
전술한 바와 같은, 몸체부(111), 접촉부(114) 및 연결부(117)는 일체로 형성되어 하나의 제1 프로브 핀(110)을 이룬다. 제1 프로브 핀들(110)은 실질적으로 동일한 형상을 갖는다. 경우에 따라서 제1 프로브 핀들(110)은 서로 다소 상이한 형상을 가질 수 있다.
몸체부(111), 접촉부(114) 및 연결부(117)는 모두 전도성 물질로 이루어져, 연결부(117)에 제공된 전기적 신호가 접촉부(114)까지 전달되며, 접촉부(114)에 제공된 전기적 신호가 연결부(117)까지 전달된다. 프레임(170) 상에 수평 방향으로 나란하게 배열된다. 제1 프로브 핀들(110)은 제1 간격(G11)으로 배열된다.
도 7은 도 2에 도시한 제2 프로브 핀을 설명하기 위한 개략적인 확대 사시도를 도시한 것이다.
도 7을 더 참조하면, 제2 프로브 핀(120)은 크게 몸체부(121), 접촉부(124) 및 연결부(127)로 나뉘어 진다.
몸체부(121)는 전체적으로 폭(W21)에 비하여 길이(L21)가 상대적으로 큰 얇은 판 형상을 갖는다. 제2 프로브 핀(120)의 몸체부(121) 폭(W21)은 제1 프로브 핀(110)의 몸체부(111) 폭(W11)과 실질적으로 동일하다. 경우에 따라서 제2 프로브 핀(120)의 몸체부(121) 폭(W21)은 제1 프로브 핀(110)의 몸체부(111) 폭(W11)과 다소 상이할 수 있다.
제2 프로브 핀(120)의 몸체부(121) 길이(L21)는 제1 프로브 핀(110)의 몸체부(111) 길이(L11)보다 짧다. 몸체부(121)에는 경량화를 위하여 복수개의 중공들(126)이 형성될 수 있다.
몸체부(121)는 도 7에 도시된 바와 같이, 수평면에 대하여 시계 방향(CW)으로 제3 각도(α3)만큼 기울어지게 형성된다. 제3 각도(α3)는 이하 설명할 프레임(170)의 형상에 따라서 결정될 수 있다. 몸체부(121)의 제1 및 제2 단들(121a,121b)은 수평면에 대하여 반시계 방향(CCW)으로 제3 각도(α3)만큼 굽어진다. 이 결과, 제1 및 제2 단들(121a,121b)은 수평으로 배치된다.
몸체부(121)의 제1 단(121a)에는 이하 설명할 제3 지지대(151)가 삽입되는 제1 고정홈(122)이 형성된다. 또한, 몸체부(121)의 제2 단(121b)에는 이하 설명할 제4 지지대(161)가 삽입되는 제2 고정홈(123)이 형성된다. 몸체부(121)의 제1 단(121a) 상면에는 접촉부(124)가 형성되고, 몸체부(121)의 제2 단(121b) 상면에는 연결부(127)가 형성된다.
접촉부(124)는 LCD와 같은 피검사 대상물의 단자에 직접 접하는 부재로서, 제1 단(121a)으로부터 몸체부(121)의 연장방향을 따라서 연장된다. 접촉부(124)의 끝단은 날카로운 핀 형상을 가지며, 상방으로 굽어진다.
연결부(127)는 TCP와 같은 집적회로에 접하는 부재로서, 제2 단(121b)으로부터 몸체부(121)의 연장방향을 따라서 연장된다. 연결부(127)의 끝단은 날카로운 핀 형상을 가지며, 상방으로 굽어진다.
전술한 바와 같은, 몸체부(121), 접촉부(124) 및 연결부(127)는 일체로 형성되어 하나의 제2 프로브 핀(120)을 이룬다. 제2 프로브 핀들(120)은 실질적으로 동일한 형상을 갖는다. 경우에 따라서 제2 프로브 핀들(120)은 서로 다소 상이한 형상을 가질 수 있다.
몸체부(121), 접촉부(124) 및 연결부(127)는 모두 전도성 물질로 이루어져, 연결부(127)에 제공된 전기적 신호가 접촉부(124)까지 전달되며, 접촉부(124)에 제공된 전기적 신호가 연결부(127)까지 전달된다.
다시, 도 3 및 도 4를 참조하면, 제1 프로브 핀들(110)은 프레임(170) 상부에 제1 방향으로 나란하게 배열되고, 제2 프로브 핀들(120)은 제1 프로브 핀들 사이에 각각 위치하도록 제1 방향으로 나열된다. 이 결과, 제1 프로브 핀(110)과 제2 프로브 핀(120)의 제3 간격(G13)은 제1 프로브 핀들(110)의 제1 간격(G11) 또는 제2 프로브 핀들(120)의 제2 간격(G12)보다 반 정도 작게 된다. 예를 들어, 제1 간격(G11)이 약 20㎛이고 제2 간격(G12)이 약 20㎛일 경우, 제3 간격(G13)은 약 10㎛가 된다.
이와 같이, 제1 프로브 핀들(110) 사이에 제2 프로브 핀들(120)을 배치할 경우, 제1 프로브 핀(110)과 제2 프로브 핀(120)의 제3 간격(G13)을 제1 프로브 핀들(110)의 제1 간격(G11) 또는 제2 프로브 핀들(120)의 제2 간격(G12)보다 크게 줄일 수 있다. 제1 내지 제3 간격들(G11,G12,G13)은 제1 및 제2 제1 프로브 핀들(110,120)이 접촉하는 피검사 대상물의 단자들의 간격에 따라서 조절될 수 있다.
도 8은 도 2에 도시한 프레임을 설명하기 위하여 프레임을 확대 도시한 사시도이다.
도 8을 더 참조하면, 프레임(170)은 전체적으로, 제1 폭(W31), 제1 길이(L31) 및 제1 높이(H31)의 직육면체 형상을 갖는다. 프레임(170)의 상면(170a) 전방에는 제1 및 제2 방향으로 개방된 수용홈(176)이 형성된다.
수용홈(176)은 제2 폭(W32), 제2 길이(L32) 및 제1 깊이(D31)를 갖는다. 제2 폭(W32)은 제1 폭(W31)보다 작고, 제2 길이(L32)는 제1 길이(L31)보다 작으며, 제1 깊이(D31)는 제1 높이(H31)보다 작다. 수용홈(176)의 제2 폭(W32)은 제2 지지대(141)의 폭과 실질적으로 동일하다. 경우에 따라서 수용홈(176)의 제2 폭(W32)은 제2 지지대(141)의 폭과 다소 상이할 수 있다.
수용홈(176)의 양측에는 프레임 측벽들(171)이 각각 존재한다. 프레임 측벽 들(171)은 프레임(170)의 상면(170a)으로부터 상방으로 부분적으로 돌출될 수 있다.
수용홈(176)의 저면에는 제2 방향에 대하여 오름 계단식으로 단차가 형성된다. 수용홈(176)의 저면은 제1 층(176a), 제2 층(176b) 및 제3 층(176c)으로 나눌 수 있다. 이 경우, 제3 층(176c)은 제2 층(176b) 상에 위치하고, 제2 층(176b)은 제1 층(176a) 상에 위치한다. 제1 층 내지 제3 층(176a,176b,176c)은 실질적으로 평평하다. 제1 층(176a)은 이하 설명할 제2 지지대(141)보다 길게 형성되어 제1 층(176a) 상에 제2 지지대(141)가 배치될 수 있다. 제2 및 제3 층들(176b,176c) 상에는 지지단(173)이 형성된다.
지지단(173)은 수용홈(176)의 제2 폭(W32)보다는 작은 제3 폭(W33)을 갖는다. 지지단(173)의 제3 폭(W33)은 제1 지지대(131)의 폭과 실질적으로 동일하다. 경우에 따라서 지지단(173)의 제3 폭(W33)은 제1 지지대(131)의 폭과 다소 상이할 수 있다.
지지단(173)은 프레임 측벽들(171)로부터 실질적으로 동일한 간격(B31)만큼 이격된다. 따라서 지지단(173)과 프레임 측벽들(171) 사이에는 이하 설명할 써포팅 블록들(190)의 배치 공간이 마련된다.
지지단(173)의 상면(173a)은 프레임(170)의 상면(170a)과 실질적으로 동일한 수평면상에 배치된다. 경우에 따라서 지지단(173)의 상면(173a)은 프레임(170)의 상면(170a)과 다른 수평면 상에 배치될 수 있다.
지지단(173)의 상면(173a) 전방에는 제1 방향을 따라서 단차(173b)가 형성된 다. 단차(173b)는 제1 지지대(131)의 하부 형상과 대응되는 형상을 갖는다. 이하, 설명하겠지만, 지지단(173) 상에는 제1 지지대(131)가 배치되어 단차(173b)에 제1 지지대(131)가 밀착된다.
지지단(173)의 후면(173c)은 경사진다. 후면(173c)의 경사각(α4)은 제1 프로브 핀(110)의 제1 각도(α1)와 실질적으로 동일하다. 경우에 따라서 후면(173c)의 경사각(α4)은 제1 프로브 핀(110)의 제1 각도(α1)와 다소 상이할 수 있다.
프레임(170)의 상면(170a)에는 수용홈(176)과 연통된 단자홈(178)이 형성될 수 있다. 단자홈(178)에는 TCP와 같은 집적회로가 배치된다. 이외에도, 프레임(170)에는 다양하게 수용홈 또는 단차가 형성될 수 있다.
프레임(170)의 양측부에는 수용홈(176)과 연통되는 제1 내지 제4 체결공들(181a,183a,185a,187a)이 형성된다. 제1 내지 제4 체결공들(181a,183a,185a, 187a)들은 제2 방향을 따라가며 순차적으로 프레임(170)의 측벽에 형성된다.
제1 체결공들(181a)은 프레임(170)의 양측부로부터 수용홈(176)의 제1 내벽(176d)까지 형성된다. 이 경우, 제1 체결공들(181a)은 프레임(170)의 양측부를 제1 방향에 대하여 경사지게 관통한다. 다르게 설명하면, 제1 체결공들(181a)은 제1 및 제2 방향의 평면상에서 사선방향으로 기울어지기 형성된다. 제1 체결공들(181a)은 제2 방향 축을 기준으로 서로 대칭된다.
이하 설명하겠지만, 제1 체결공들(181a)에는 제1 체결부재들(181)이 각각 체결된다. 제1 체결부재(181)의 단부는 수용홈(176)의 제1 층(176a) 상에 노출된다. 제1 체결부재들(181)은 제2 지지대(141)의 후면에 접하여 제2 지지대(141)를 제2 방향으로 가압한다. 프레임(170)에서 제1 체결공들(181a)의 전방부에는 제2 체결공들(183a)이 형성된다.
제2 체결공들(183a)은 프레임 측벽들(171)을 관통한다. 이 경우, 제2 체결공들(183a)은 프레임 측벽들(171)을 제3 방향에 대하여 경사지게 관통한다. 다르게 설명하면, 제2 체결공들(183a)은 제1 및 제3 방향의 평면상에 사선방향으로 기울어지기 형성된다. 제2 체결공들(183a)은 제2 방향 축을 기준으로 서로 대칭되며, 모두 제1 층(176a)을 향한다.
이하 설명하겠지만, 제2 체결공들(183a)에는 제2 체결부재들(183)이 각각 체결된다. 제2 체결부재(183)의 단부는 수용홈(176)의 제1 및 제2 층들(176a,176b) 상에 노출된다. 제2 체결부재들(183)은 제4 지지대(161)의 양측면에 각각 접하여 제4 지지대(161)를 제1 및 제3 방향으로 가압한다. 프레임(170)에서 제2 체결공들(183a)의 전방부에는 제3 체결공들(185a)이 형성된다.
제3 체결공들(185a)은 프레임 측벽들(171)을 관통한다. 이 경우, 제3 체결공들(185a)은 프레임 측벽들(171)을 제1 방향에 대하여 경사지게 관통한다. 다르게 설명하면, 제3 체결공들(185a)은 제1 및 제2 방향의 평면상에 사선방향으로 기울어지기 형성된다. 제3 체결공들(185a)은 제2 방향 축을 기준으로 서로 대칭된다.
이하 설명하겠지만, 제3 체결공들(185a)에는 제3 체결부재들(185)이 각각 체결된다. 제3 체결부재(185)의 단부는 수용홈(176)의 제2 층(176b) 상에 노출된다. 제3 체결부재들(185)은 써포팅 블록들(190)의 후면들에 각각 접하여 써포팅 블록 들(190)을 제2 및 제3 방향으로 가압한다. 프레임(170)에서 제3 체결공들(185a)의 전방부에는 제4 체결공들(187a)이 형성된다.
제4 체결공들(187a)은 프레임 측벽들(171)을 제1 방향으로 관통한다. 제4 체결공들(187a)은 제2 방향 축을 기준으로 서로 대칭된다.
이하 설명하겠지만, 제4 체결공들(187a)에는 제4 체결부재들(187)이 각각 체결된다. 제4 체결부재(187)의 단부는 수용홈(176)의 제2 및 제3 층들(176b,176c) 상에 노출된다. 제4 체결부재들(187)은 제3 지지대(151)의 양측면에 각각 접하여 제3 지지대(151)를 제1 방향으로 가압한다. 이외에도, 프레임(170)에는 다양하게 체결공들이 더 형성될 수 있다.
도 9는 도 2에 도시한 제1 지지부재를 설명하기 위하여 제1 및 제2 지지대들을 확대 도시한 사시도이다.
도 9를 더 참조하면, 제1 지지부재(130)는 제1 지지대(131)와 제2 지지대(141)를 포함한다.
우선, 제1 지지대(131)는 제1 프로브 핀들(110)이 제1 간격(G11)으로 나열되도록 제1 프로브 핀들(110)의 제1 단들(111a)을 지지하는 부재로서, 지지단(173) 상에 배치된다.
제1 지지대(131)는 전체적으로 단면이'L'자형인 빔(beam) 형상을 갖는다. 제1 지지대(131)는 지지단(173)의 제3 폭(W33)과 실질적으로 동일한 폭(W41)을 갖는다. 경우에 따라서 제1 지지대(131)의 폭(W41)은 지지단(173)의 제3 폭(W33)과 다소 상이 할 수 있다.
제1 지지대(131)의 상면(131a)은 경사진다. 상면(131a)의 경사각(α5)은 제1 프로브 핀(110)의 제2 각도(α2)와 실질적으로 동일하다. 경우에 따라서 상면(131a)의 경사각(α5)은 제1 프로브 핀(110)의 제2 각도(α2)와 다소 상이할 수 있다.
제1 지지대(131)의 상면(131a)과 제1 후면(131b)에는 제2 방향으로 제1 핀 슬롯(135)이 형성된다. 제1 핀 슬롯(135)은 제1 방향을 따라 상면(131a)과 제1 후면(131b)에 복수개 형성된다. 제1 핀 슬롯(135)의 개수와 제1 프로브 핀(110)의 개수는 동일하다. 경우에 따라서 제1 핀 슬롯(135)의 개수가 제1 프로브 핀(110)의 개수보다 많을 수 있다.
제1 핀 슬롯들(135)은 제1 프로브 핀들(110)의 제1 간격(G11)과 실질적으로 동일한 간격(G41)으로 형성된다. 경우에 따라서 제1 핀 슬롯들(135)의 간격(G41)은 제1 프로브 핀들(110)의 제1 간격(G11)과 다소 상이할 수 있다. 각각의 제1 핀 슬롯(135)은 제1 프로브 핀(110)의 폭(W11)과 실질적으로 동일한 폭(W42)을 갖는다. 경우에 따라서 제1 핀 슬롯(135)의 폭(W42)은 제1 프로브 핀(110)의 폭(W11)과 다소 상이할 수 있다. 제1 핀 슬롯들(135)에는 제1 프로브 핀들(110)의 접촉부들(114)이 각각 삽입된다. 접촉부(114)가 제1 핀 슬롯(135)에 삽입되도록 제1 프로브 핀들(110)을 제1 지지대(131)에 배치하면, 제1 프로브 핀들(110)은 도 3에 도시한 바 와 같이 자동적으로 제1 간격(G11)으로 나열된다.
제1 지지대(131)의 상면(131a)과 제1 후면(131b)에는 제1 핀 슬롯들(135)의 최외각에 제2 방향으로 제1 얼라인 슬롯들(137)이 형성된다. 각각의 제1 얼라인 슬롯(137)은 얼라인 핀(도시되지 않음)에 대응하게 형성된다. 제1 얼라인 슬롯들(137)에는 상기 얼라인 핀들이 삽입된다. 이하 설명하겠지만, 제1 얼라인 슬롯들(137)에 삽입된 얼라인 핀들을 이용하여, 제1 및 제3 지지대들(131,151), 또는 제1 내지 제4 지지대들(131,141,151,161)을 얼라인할 수 있다.
제1 지지대(131)의 상면(131a)에는 제1 방향으로 홈(132)이 형성될 수 있다. 이 경우, 제1 지지대(131)의 상면(131a)에는 두 행(row)의 제1 핀 슬롯들(135)과 두 행의 제1 얼라인 슬롯들(137)이 형성될 수 있다.
제1 지지대(131)의 제1 후면(131b)에는 제1 프로브 핀들(110)의 제1 단들(111a)을 수용하기 위한 제1 결합홈(136)이 형성된다. 제1 결합홈(136)은 도 6에 도시한 제1 프로브 핀(110)의 제1 단(111a)과 대응된 형상으로 제1 방향을 따라 형성된다. 제1 결합홈(136)은 제1 프로브 핀(110)의 제1 단(111a)의 높이(H11)와 실질적으로 동일한 높이(H41)를 갖는다. 경우에 따라서 제1 결합홈(136)의 높이(H41)는 제1 단(111a)의 높이(H11)와 다소 상이할 수 있다.
제1 결합홈(136)에는 제1 프로브 핀들(110)의 제1 단들(111a)이 삽입된다. 이 경우, 제1 단들(111a)은 제1 결합홈(136)에 꽉 끼워져 제1 프로브 핀들(110)이 제1 방향으로 유동되지 않도록 고정한다.
이어서, 제2 지지대(141)는 제1 프로브 핀들(110)이 제1 간격(G11)으로 나열되도록 제1 프로브 핀들(110)의 제2 단들(111b)을 지지하는 부재로서, 수용홈(176)의 제1 층(176a) 상에 배치된다.
제2 지지대(141)는 전체적으로 단면이'L'자형인 빔(beam) 형상을 갖는다. 제2 지지대(141)는 수용홈(176)의 제2 폭(W32)과 실질적으로 동일한 폭(W43)을 갖는다. 경우에 따라서 제2 지지대(141)의 폭(W43)은 수용홈(176)의 제2 폭(W32)과 다소 상이할 수 있다. 또한, 제2 지지대(141)는 수용홈(176)의 제1 깊이(D31)와 실질적으로 동일한 높이(H42)를 갖는다. 경우에 따라서 제2 지지대(141)의 높이(H42)는 수용홈(176)의 제1 깊이(D31)와 다소 상이할 수 있다.
제2 지지대(141)의 상면(141a)은 실질적으로 평평하다. 제2 지지대(141)의 상면(141a)에는 제2 방향으로 제2 핀 슬롯(145)이 형성된다. 제2 핀 슬롯(145)은 제1 방향을 따라 상면(141a)에 복수개 형성된다. 제2 핀 슬롯(145)의 개수와 제1 프로브 핀(110)의 개수는 동일하다. 경우에 따라서 제2 핀 슬롯(145)의 개수가 제1 프로브 핀(110)의 개수보다 많을 수 있다.
제2 핀 슬롯들(145)은 제1 프로브 핀들(110)의 제1 간격(G11)과 실질적으로 동일한 간격(G42)으로 형성된다. 경우에 따라서 제2 핀 슬롯들(145)의 간격(G42)은 제1 프로브 핀들(110)의 제1 간격(G11)과 다소 상이할 수 있다. 각각의 제2 핀 슬 롯(145)은 제1 프로브 핀(110)의 폭(W11)과 실질적으로 동일한 폭(W44)을 가질 수 있다. 제2 핀 슬롯들(145)에는 제1 프로브 핀들(110)의 연결부들(117)이 각각 삽입된다. 연결부(117)가 제2 핀 슬롯(145)에 삽입되도록 제1 프로브 핀들(110)을 제2 지지대(141)에 배치하면, 제1 프로브 핀들(110)은 자동적으로 도 4에 도시한 바와 같이 제1 간격(G11)으로 나열된다.
제2 지지대(141)의 상면(141a)에는 제2 핀 슬롯들(145)의 최외각에 제2 방향으로 제2 얼라인 슬롯들(147)이 형성된다. 각각의 제2 얼라인 슬롯(147)은 얼라인 핀(도시되지 않음)에 대응하게 형성된다. 제2 얼라인 슬롯들(147)에는 상기 얼라인 핀들이 삽입된다. 이하 설명하겠지만, 제2 얼라인 슬롯들(147)에 삽입된 얼라인 핀들을 이용하여, 제2 및 제4 지지대들(141,161), 또는 제1 내지 제4 지지대들(131,141,151,161)을 얼라인할 수 있다.
제2 지지대(141)의 제1 전면(141b)에는 제1 프로브 핀들(110)의 제2 단들(111b)을 수용하기 위한 제2 결합홈(146)이 형성된다. 제2 결합홈(146)은 도 6에 도시한 바와 같이 제1 프로브 핀(110)의 제2 단(111b)과 대응된 형상으로 제1 방향을 따라 형성된다. 제2 결합홈(146)은 제2 단(111b)의 높이(H12)와 실질적으로 동일한 높이(H43)를 갖는다. 경우에 따라서 제2 결합홈(146)의 높이(H43)는 제2 단(111b)의 높이(H12)와 다소 상이할 수 있다.
제2 결합홈(146)에는 제1 프로브 핀들(110)의 제2 단들(111b)이 삽입된다. 이 경우, 제2 단들(111b)은 제2 결합홈(146)에 꽉 끼워져 제1 프로브 핀들(110)이 제1 방향으로 유동되지 않도록 고정한다.
도 10은 도 2에 도시한 제2 지지부재를 설명하기 위하여 제3 및 제4 지지대들을 확대 도시한 사시도이다.
도 10을 더 참조하면, 제2 지지부재(150)는 제3 지지대(151)와 제4 지지대(161)를 포함한다.
우선, 제3 지지대(151)는 제2 프로브 핀들(120)이 제2 간격(G12)으로 나열되도록 제2 프로브 핀들(120)의 제1 단들(121a)을 지지하는 부재로서, 제1 지지대(131)의 상부에 배치된다. 이 경우, 제3 지지대(151)는 써포팅 블록들(190)에 지지된다.
제3 지지대(151)는 전체적으로 일자형 빔(beam) 형상을 갖는다. 제3 지지대(151)는 수용홈(176)의 제2 폭(W32)과 실질적으로 동일한 폭(W51)을 갖는다. 경우에 따라서 제3 지지대(151)의 폭(W51)은 수용홈(176)의 제2 폭(W32)과 다소 상이할 수 있다.
제3 지지대(151)의 상면(151a)은 실질적으로 평평하다. 제3 지지대(151)의 상면(151a)에는 제2 방향으로 제3 핀 슬롯(155)이 형성된다. 제3 핀 슬롯(155)은 제1 방향을 따라 상면(151a)에 복수개 형성된다. 제3 핀 슬롯(155)의 개수와 제2 프로브 핀(120)의 개수는 동일하다. 경우에 따라서 제3 핀 슬롯(155)의 개수가 제2 프로브 핀(120)의 개수보다 많을 수 있다.
제3 핀 슬롯들(155)은 제2 프로브 핀들(120)의 제2 간격(G12)과 실질적으로 동일한 간격(G51)으로 형성된다. 경우에 따라서 제3 핀 슬롯들(155)의 간격(G51)은 제2 프로브 핀들(120)의 제2 간격(G12)과 다소 상이할 수 있다. 각각의 제3 핀 슬롯(155)은 제2 프로브 핀(120)의 폭(W21)과 실질적으로 동일한 폭(W52)을 갖는다. 경우에 따라서 제3 핀 슬롯(155)의 폭(W52)은 제2 프로브 핀(120)의 폭(W21)과 다소 상이할 수 있다. 제3 핀 슬롯들(155)에는 제2 프로브 핀들(120)의 접촉부들(124)이 각각 삽입된다. 접촉부(124)가 제3 핀 슬롯(155)에 삽입되도록 제2 프로브 핀들(120)을 제3 지지대(151)에 배치하면, 제2 프로브 핀들(120)은 도 3에 도시된 바와 같이 자동적으로 제2 간격(G12)으로 나열된다.
제3 지지대(151)의 상면(151a)에는 제3 핀 슬롯들(155)의 최외각에 제2 방향으로 제3 얼라인 슬롯들(157)이 형성된다. 각각의 제3 얼라인 슬롯(157)은 얼라인 핀(도시되지 않음)에 대응하게 형성된다. 제3 얼라인 슬롯들(157)에는 상기 얼라인 핀들이 삽입된다. 이하 설명하겠지만, 제3 얼라인 슬롯들(157)에 삽입된 얼라인 핀들을 이용하여, 제1 및 제3 지지대들(131,151), 또는 제1 내지 제4 지지대들(131,141,151,161)을 얼라인할 수 있다.
제3 지지대(151)의 후면(151b)에는 제2 프로브 핀들(120)의 제1 단들(111a)이 삽입되는 제1 결합바(154)가 형성된다. 제1 결합바(154)는 도 7에 도시된 바와 같이 제2 프로브 핀(120)의 제1 고정홈(122)에 대응되는 형상으로 제1 방향을 따라 서 형성된다. 예를 들어, 제1 고정홈(122)이 사각 단면을 가질 경우, 제1 결합바(154)도 사각 단면을 갖도록 형성될 수 있다. 제1 결합바(154)는 제1 고정홈(122)의 높이(H13)와 실질적으로 동일한 높이(H51)를 갖는다. 경우에 따라서 제1 결합바(154)의 높이(H51)는 제1 고정홈(122)의 높이(H13)와 다소 상이할 수 있다.
제1 결합바(154)는 제2 프로브 핀들(120)의 제1 고정홈들(122)에 삽입된다. 이 경우, 제1 결합바(154)는 제1 고정홈들(122)에 꽉 끼워져 제2 프로브 핀들(120)이 제1 방향으로 유동되지 않도록 고정한다. 제3 지지대(151)의 하부 양측에는 걸림턱들(156)이 각각 형성된다.
걸림턱(156)은 이하 설명할 써포팅 블록(190)의 폭(W55)과 실질적으로 동일한 폭(W56)을 갖는다. 경우에 따라서 걸림턱(156)의 폭(W56)은 써포팅 블록(190)의 폭(W55)과 다소 상이할 수 있다.
전술한 바와 같은 제3 지지대(151)는 걸림턱(156)을 통하여 써포팅 블록들(190) 상에 배치된다.
써포팅 블록들(190)은 프레임(170)의 지지단(173) 양측에 각각 배치되어 제3 지지대(151)를 지지한다. 각각의 써포팅 블록(190)은 도 8에 도시한 지지단(173)과 프레임 측벽(171)의 간격(B31)과 실질적으로 동일한 작은 폭(W55)을 갖는다. 경우에 따라서 써포팅 블록(190)의 폭(W55)은 지지단(173)과 프레임 측벽(171)의 간격(B31)과 다소 상이할 수 있다.
써포팅 블록(190)의 상면(190a) 후방에는 제1 방향을 따라서 상부 단차(192)가 형성된다. 상부 단차(192)는 제3 지지대(151)의 걸림턱(156)의 형상과 대응되는 형상을 갖는다. 이하 설명하겠지만, 상부 단차(192)에는 제3 지지대(151)의 걸림턱(156)이 밀착된다.
써포팅 블록(190)의 하면(190b) 전방에는 제1 방향을 따라서 하부 단차(193)가 형성된다. 하부 단차(193)는 프레임(170)의 제3 층(176c)의 형상과 대응하는 형상을 갖는다. 이하 설명하겠지만, 하부 단차(193)에는 프레임(170)의 제2 층(176b)과 제3 층(176c)의 경계면이 밀착된다.
써포팅 블록(190)의 후면(190c)은 제2 방향에 대하여 경사진다. 이 경우, 후면(190c)은 제2 방향에 대하여 양의 기울기를 가질 수 있다. 이하, 설명하겠지만, 써포팅 블록(190)의 후면(190c)에는 제3 체결부재(185)가 접하여 써포팅 블록(190)이 제2 및 제3 방향으로 가압된다.
이어서, 제4 지지대(161)는 제2 프로브 핀들(120)이 제2 간격(G12)으로 나열되도록 제2 프로브 핀들(120)의 제2 단들(121b)을 지지하는 부재로서, 수용홈(176)에 배치된다. 이 경우, 제4 지지대(161)는 수용홈(176) 내의 제2 지지대(141) 상에 배치된다. 제4 지지대(161)는 고정부(163)와 지지부(166)로 이루어진다.
고정부(163)는 전체적으로 일자형 빔(beam)형상을 갖는다. 고정부(163)의 상면(163a)은 실질적으로 평평하다. 고정부(163)의 상면(163a)에는 제2 방향으로 제4 핀 슬롯(165)이 형성된다. 제4 핀 슬롯(165)은 제1 방향을 따라 상면(163a)에 복수 개 형성된다. 제4 핀 슬롯(165)의 개수와 제2 프로브 핀(120)의 개수는 동일하다. 경우에 따라서 제4 핀 슬롯(165)의 개수가 제2 프로브 핀(120)의 개수보다 많을 수 있다.
제4 핀 슬롯들(165)은 제2 프로브 핀들(120)의 제2 간격(G12)과 실질적으로 동일한 간격(G52)으로 형성된다. 경우에 따라서 제4 핀 슬롯들(165)의 간격(G52)은 제2 프로브 핀들(120)의 제2 간격(G12)과 다소 상이할 수 있다. 제4 핀 슬롯(165)은 제2 프로브 핀(120)의 폭(W21)과 실질적으로 동일한 폭(W54)을 갖는다. 경우에 따라서 제4 핀 슬롯(165)의 폭(W54)은 제2 프로브 핀(120)의 폭(W21)과 다소 상이할 수 있다. 제4 핀 슬롯들(165)에는 제2 프로브 핀들(120)의 연결부들(127)이 각각 삽입된다. 연결부(127)가 제4 핀 슬롯(165)에 삽입되도록 제2 프로브 핀들(120)을 고정부(163)에 배치하면, 제2 프로브 핀들(120)은 자동적으로 제2 간격(G12)으로 나열된다.
고정부(163)의 상면(163a)에는 제4 핀 슬롯들(165)의 최외각에 제2 방향으로 제4 얼라인 슬롯들(167)이 형성된다. 각각의 제4 얼라인 슬롯(167)은 얼라인 핀(도시되지 않음)에 대응하게 형성된다. 제4 얼라인 슬롯들(167)에는 상기 얼라인 핀들이 삽입된다. 이하 설명하겠지만, 제4 얼라인 슬롯들(167)에 삽입된 얼라인 핀들을 이용하여, 제2 및 제4 지지대들(141,161), 또는 제1 내지 제4 지지대들(131,141,151,161)을 얼라인할 수 있다.
고정부(163)의 전면(163b)에는 제2 프로브 핀들(120)의 제2 단들(111b)이 삽입되는 제2 결합바(164)가 형성된다. 제2 결합바(164)는 도 7에 도시한 제2 프로브 핀(120)의 제2 고정홈(123)에 대응되는 형상으로 제1 방향을 따라서 형성된다. 예를 들어, 제2 고정홈(123)이 사각 단면을 가질 경우, 제2 결합바(164)도 사각 단면을 갖도록 형성될 수 있다. 제2 결합바(164)는 제2 고정홈(123)의 높이(H14)와 실질적으로 동일한 높이(H52)를 갖는다. 경우에 따라서 제2 결합바(164)의 높이(H52)는 제2 고정홈(123)의 높이(H14)와 다소 상이할 수 있다.
제2 결합바(164)는 제2 프로브 핀들(120)의 제2 고정홈들(123)에 삽입된다. 이 경우, 제2 결합바(164)는 제2 고정홈들(123)에 꽉 끼워져 제2 프로브 핀들(120)이 제1 방향으로 유동되지 않도록 고정한다. 고정부(163)의 하부 양측에는 지지부들(166)이 각각 형성된다.
지지부들(166)은 전체적으로 단면이'L'자형인 빔(beam) 형상을 갖는다. 지지부들(166)은 고정부(163)의 하부 양측에 서로 대칭되게 배치된다. 지지부들(166)은 고정부(163)가 수평방향으로 배치되도록 지지한다.
고정부(163)에 지지부들(166)이 배치된 제4 지지대(161)는, 전체적으로 수용홈(176)의 제2 폭(W32)과 실질적으로 동일한 폭(W53)을 갖는다. 경우에 따라서 제4 지지대(161)의 전체 폭(W53)은 수용홈(176)의 제2 폭(W32)과 다소 상이할 수 있다. 이하, 프로브 유닛(100)의 제조 방법에 대하여 설명한다.
도 11 내지 도 17은 도 2에 도시한 프로브 유닛의 제조 방법을 순차적으로 설명하기 위한 개략적인 사시도들과 단면도들을 도시한 것이다.
도 11 및 도 12를 참조하면, 프레임(170)에 제1 지지부재(130)를 배치한다. 지지단(173) 상에 제1 지지대(131)를 배치하고, 수용홈(176)의 제1 층(176a)에 제2 지지대(141)를 배치한다. 이 경우, 제1 지지대(131)의 제1 결합홈(136)과 제2 지지대(141)의 제2 결합홈(146)이 마주보도록 제1 및 제2 지지대들(131,141)을 배치한다.
제1 지지대(131)의 양측면(131d)과 지지단(173)의 양측면(173d)을 얼라인시켜 제1 방향에 대한 제1 지지대(131)의 위치를 결정한다. 지지단(173)의 제2 후면(131c)을 지지단(173)의 단차(173b)에 밀착시켜 제2 방향에 대한 제1 지지대(131)의 위치를 결정한다. 제1 지지대(131)의 제1 및 제2 방향 위치가 결정되면 지지단(173)에 제1 지지대(131)를 고정한다.
제2 지지대(141)는 수용홈(176)과 실질적으로 동일한 폭으로 제조되어 수용홈(176)에 삽입과 동시에 제1 방향으로 실질적으로 유동되지 않는다. 따라서 제2 지지대(141)는 수용홈(176)에 삽입과 동시에 제1 방향에 대한 위치가 결정될 수 있다.
제1 및 제2 지지대들(131,141)에 제1 프로브 핀들(110)을 배치한다. 제1 프로브 핀들(110)의 제1 단들(111a)은 제1 지지대(131)에 지지되고, 제1 프로브 핀들(110)의 제2 단들(111b)은 제2 지지대(141)에 지지된다.
도 13을 더 참조하면, 제1 프로브 핀들(110)을 제1 지지대(131)에 결합시킨 다.
제1 프로브 핀(110)의 제1 단(111a)을 제1 지지대(131)의 제1 결합홈(136)에 삽입한다. 이 경우, 제1 프로브 핀(110)의 접촉부(114)가 제1 지지대(131)의 제1 핀 슬롯(135) 내에 위치하도록 한다.
제1 프로브 핀(110)의 제1 단(111a)은 제1 결합홈(136)과 실질적으로 동일한 높이를 가져, 제1 결합홈(136)에 제1 단(111a)이 맞물린다. 이 결과 제1 방향으로의 제1 프로브 핀(110) 유동이 제한된다.
전술한 바와 같은 방법으로 나머지 제1 프로브 핀들(110)을 제1 지지대(131)에 결합시킨다. 이 결과, 제1 프로브 핀들(110)의 제1 단들(111a)은 도 3에 도시된 바와 같이 제1 간격(G11)으로 배열된다.
도 14 및 도 15를 더 참조하면, 지지단(173)의 양측에 써포팅 블록들(190)을 각각 배치한다. 이 경우, 써포팅 블록들(190)은 수용홈(176)의 제2 및 제3 층들(176b,176c) 상에 배치된다. 써포팅 블록들(190)은 제3 층(176c)에 지지되어 써포팅 블록들(190)의 하면들(190b)이 제2 층(176b)으로부터 이격될 수 있다.
제3 체결부재들(185)을 프레임(170)의 제3 체결공들(185a)에 각각 체결하여 써포팅 블록들(190)을 프레임(170)에 고정한다. 이 경우, 제3 체결부재들(185)의 단부들은 수용홈(176)에 노출되어 써포팅 블록들(190)의 후면들(190c)에 각각 접한다.
제3 체결부재들(185)을 써포팅 블록들(190)을 제2 방향으로 이동시켜 수용 홈(176)의 제2 층(176b)과 제3 층(176c)의 경계면 써포팅 블록들(190)의 하부 단차(193)를 밀착시킨다. 이 결과, 써포팅 블록들(190)의 제2 방향 위치가 결정된다.
제3 체결부재들(185)은 써포팅 블록들(190)을 제3 방향으로도 가압한다. 써포팅 블록들(190)의 하면들(190b)이 제2 층(176b)으로부터 이격된 경우, 제3 체결부재들(185)을 이용하면 써포팅 블록들(190)의 상면들(190a)의 기울기를 조절할 수 있다.
이어서, 써포팅 블록들(190) 상에 제3 지지대(151)를 배치하고, 제2 지지대(141) 상에 제4 지지대(161)를 배치한다. 이 경우, 제3 지지대(151)의 제1 결합바(154)가 제4 지지대(161)의 제2 결합바(164)를 마주보도록 제3 및 제4 지지대들(151,161)을 배치한다.
제3 지지대(151)를 수평 이동시켜 써포팅 블록들(190)의 상부 단차(192)에 밀착시킨다. 이 결과, 제3 지지대(151)의 제2 방향 위치가 결정된다.
제3 지지대(151)의 양측면과 써포팅 블록들(190)의 양측면을 얼라인시켜 제3 지지대(151)의 제1 방향 위치가 결정한다.
제3 지지대(151)의 제1 및 제2 방향의 위치가 결정되면 제3 지지대(151)를 써포팅 블록들(190) 상에 고정한다.
제4 지지대(161)는 수용홈(176)에 삽입됨과 동시에 제1 방향으로 실질적으로 유동되지 않는다. 즉, 제4 지지대(161)는 수용홈(176)에 삽입과 동시에 제1 방향에 대한 위치가 결정된다. 이 경우, 제4 지지대(161)의 제4 얼라인 슬롯들(167)과 제2 지지대(141)의 제2 얼라인 슬롯들(147)을 제2 방향에 대하여 실질적으로 일치한다.
다음으로, 제3 지지대(151)와 제4 지지대(161)에 제2 프로브 핀들(120)을 배치한다. 제2 프로브 핀들(120)의 제1 단들(121a)은 제3 지지대(151)에 지지되고, 제2 프로브 핀들(120)의 제2 단들(121b)은 제4 지지대(161)에 지지된다.
이어서, 제2 프로브 핀(120)의 제1 고정홈(122)에 제3 지지대(151)의 제1 결합바(154)를 삽입한다. 제1 결합바(154)는 제1 고정홈(122)에 맞물린다. 이 결과 제1 방향으로의 제2 프로브 핀(120) 유동이 제한된다. 이 경우, 제2 프로브 핀(120)의 접촉부(124)는 제3 지지대(151)의 제3 핀 슬롯(155) 내에 위치하도록 한다.
모든 제2 프로브 핀들(120)을 전술한 바와 같은 방법으로 제3 지지대(151)에 결합시킨다. 이 결과, 제2 프로브 핀들(120)의 제1 단들(121a)은 도 3에 도시된 바와 같은 제2 간격(G12)으로 배치된다. 또한, 제1 프로브 핀(110)의 제1 단(111a)과 제2 프로브 핀(120)의 제1 단(121a)은 도 3에 도시된 바와 같은 제3 간격(G13)으로 배치된다.
도 16을 더 참조하면, 프레임(170)에 제1 체결부재들(181)을 체결하여 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)에 제3 및 제4 지지대들(151,161)을 각각 결합시킨다.
제1 체결부재들(181)의 단부들은 수용홈(176)에 노출되어 제2 지지대(141)의 후면(141d)에 접한다. 제1 체결부재들(181)은 제2 지지대(141)를 제2 방향으로 이동시켜 수용홈(176)의 제1 층(176a)과 제2 층(176b)의 경계면에 제2 지지대(141)의 제2 전면(141c)을 밀착시킨다.
이 결과, 제2 지지대(141)는 제1 프로브 핀들(110)에 결합되고, 제4 지지대(161)는 제2 프로브 핀들(120)에 결합된다. 보다 자세하게, 제2 지지대(141)의 제2 결합홈(146)에 제1 프로브 핀들(110)의 제2 단들(111b)이 삽입되고, 제2 프로브 핀들(120)의 제2 고정홈들(123)에 제4 지지대(161)의 제2 결합바(164)가 삽입된다. 이 경우, 제1 프로브 핀들(110)의 연결부들(117)은 제2 지지대(141)의 제2 핀 슬롯들(145) 내에 각각 위치하고, 제2 프로브 핀들(120)의 연결부들(127)은 제4 지지대(161)의 제4 핀 슬롯들(165) 내에 각각 위치한다.
제2 지지대(141)가 결합된 제1 프로브 핀들(110)의 제2 단들(111b)은 도 4에 도시된 바와 같이 제1 간격(G11)으로 배열되고, 제4 지지대(161)가 결합된 제2 프로브 핀들(120)의 제2 단들(121b)은 도 4에 도시된 바와 같이 제2 간격(G12)으로 배열된다. 또한, 제1 프로브 핀(110)의 제2 단(111b)과 제2 프로브 핀(120)의 제2 단(121b)은 도 4에 도시된 바와 같은 제3 간격(G13)으로 배치된다.
도 17을 더 참조하면, 프레임(170)의 제2 체결공들(183a)에 제2 체결부재들(183)을 각각 체결한다. 제2 체결부재들(183)의 단부들은 수용홈(176)에 노출되어 제4 지지대(161)의 측면들에 각각 접한다. 제2 체결부재들(183)은 제4 지지대(161)를 제3 방향으로 가압하여 제4 지지대(161)를 포함한 제2 지지대(141)를 제3 방향으로 고정한다. 이 결과, 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)의 제2 방향의 기울기도 정렬된다.
제2 체결부재들(183)은 제4 지지대(161)를 양측에서 가압하여 제4 지지 대(161)를 제1 방향으로 고정한다. 이 경우, 제4 지지대(161)는 프레임(170)에 대한 제2 체결부재들(183)의 상대적인 체결 깊이에 따라 제1 방향으로 미세하게 이동될 수 있다. 따라서 제4 지지대(161)를 미세 이동시켜가며 제4 지지대(161)의 제4 얼라인 슬롯들(167)과 제2 지지대(141)의 제2 얼라인 슬롯들(147)을 제2 방향에 대하여 일치시킬 수 있다.
프레임(170)의 제4 체결공들(187a)에 제4 체결부재들(187)을 각각 체결한다. 제4 체결부재들(187)의 단부들은 수용홈(176)에 노출되어 써포팅 블록들(190)의 측면들에 각각 접한다. 제4 체결부재들(187)은 써포팅 블록들(190)을 양측에서 가압하여 써포팅 블록들(190)을 포함한 제3 지지대(151)를 제1 방향으로 고정한다. 이 경우, 써포팅 블록들(190)을 포함한 제3 지지대(151)는 프레임(170)에 대한 제4 체결부재들(187)의 상대적인 체결 깊이에 따라 제1 방향으로 미세하게 이동될 수 있다. 따라서 써포팅 블록들(190)을 포함한 제3 지지대(151)를 미세 이동시켜가며 제1 지지대(131)의 제1 얼라인 슬롯들(137)과 제3 지지대(151)의 제3 얼라인 슬롯들(157)을 제2 방향에 대하여 일치시킬 수 있다.
전술한 바와 같이 제1 프로브 핀들(110)은 제1 및 제2 지지대들(131,141)에 의하여 지지된다. 이 경우, 제1 프로브 핀들(110)의 접촉부들(114)은 제1 지지대(131)로부터 돌출되고, 제1 프로브 핀들(110)의 연결부들(117)은 제2 지지대(141)로부터 돌출된다. 제1 지지대(131)로부터 노출된 접촉부들(114)은 피검사 대상물의 단자들에 접촉하게 되고, 제2 지지대(141)로부터 노출된 연결부들(117)에는 집적회로가 연결된다. 이와 유사하게, 제2 프로브 핀들(120)의 접촉부들(124)은 제3 지지대(151)로부터 돌출되고, 제2 프로브 핀들(120)의 연결부들(127)은 제4 지지대(161)로부터 돌출된다. 제3 지지대(151)로부터 노출된 접촉부들(124)은 피검사 대상물의 단자들에 접촉하게 되고, 제4 지지대(161)로부터 노출된 연결부들(127)에는 집적회로가 연결된다. 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)의 접촉부들(114,124)은 실질적으로 동일한 수평면 상에 위치할 수 있고, 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)의 연결부들(117,127)은 실질적으로 동일한 수평면 상에 위치할 수 있다.
전술한 바와 같이, 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)은 제1 및 제2 지지부재들(130,150)에 고정되어 제1 내지 제3 방향으로 실질적으로 유동되지 않는다. 또한, 제1 프로브 핀들(110)은 제1 지지부재(130)에 고정됨과 동시에 자동적으로 제1 간격(G11)으로 나열되고, 제2 프로브 핀들(120)은 제2 지지부재(150)에 고정됨과 동시에 자동적으로 제2 간격(G12)으로 나열된다. 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)은 제3 간격(G13)으로 나열된다.
또한, 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)은 제1 내지 제4 체결부재들(181,183,185,187)을 이용하여 제1 및 제2 지지부재들(130,150)로부터 용이하게 분리될 수 있다. 따라서 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)을 용이하게 정비 및 교체할 수 있다. 당연히 제1 및 제2 지지부재들(130,150)의 정비 및 교체도 용이하게 수행할 수 있다.
전술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)을 신속, 용이 및 정확하게 배열할 수 있을 뿐만 아니라, 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)의 간격도 크게 줄일 수 있다. 나아가, 본 발명에 따르면 프로브 유닛(100)의 정비도 용이하게 수행할 수 있다.
도 18은 본 발명의 다른 관점에 따른 프로브 유닛을 설명하기 위한 사시도를 도시한 것이고, 도 19는 도 18에 도시한 C를 확대한 사시도이며, 도 20은 도 18에 도시한 D를 확대한 사시도이고, 도 21은 도 18에 도시한 프로브 유닛의 분해도를 도시한 것이다.
도 18 내지 도 21을 참조하면, 본 관점에 따른 프로브 유닛(200)은 도 6 및 도 7에 도시한 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)을 포함한다. 따라서 도 6 및 도 7에 도시한 참조부호와 동일한 참조부호에 대한 설명은 생략하기로 한다. 하지만, 당업자라면 상기 설명으로부터 이를 용이하게 이해할 수 있을 것이다.
프로브 유닛(200)은 제1 프로브 핀들(110), 제2 프로브 핀들(120), 제1 지지부재(230), 제2 지지부재(250), 프레임(270), 제1 체결부재들(281), 제2 체결부재들(283), 제3 체결부재들(285), 제4 체결부재들(287) 및 써포팅 블록들(290)을 포함한다. 이 경우, 제1 지지부재(230)는 제1 지지대(231)와 제2 지지대(241)를 포함하고, 제2 지지부재(250)는 제3 지지대(251)와 제4 지지대(261)를 포함한다.
프레임(270) 상에는 제1 및 제2 지지대들(231,241)이 배치된다. 제1 지지대(231) 상면에는 제1 방향을 따라서 제1 핀 슬롯들(235)과 제1 얼라인 슬롯들(237)이 형성된다. 이 경우, 제1 핀 슬롯들(235)은 제1 간격(G21)으로 형성된다. 제2 지지대(241) 상면에는 제1 방향을 따라서 제2 핀 슬롯들(245)과 제2 얼라인 슬 롯들(247)이 형성된다. 이 경우, 제2 핀 슬롯들(245)도 제1 간격(G21)으로 형성된다.
제1 및 제2 지지대들(231,241)에는 제1 프로브 핀들(110)이 삽입된다. 제1 핀 슬롯들(235)에는 제1 프로브 핀들(110)의 일단부들이 각각 삽입되고, 제2 핀 슬롯들(245)에는 제1 프로브 핀들(110)의 타단부들이 각각 삽입된다. 따라서 제1 프로브 핀들(110)은 제1 간격(G21)과 실질적으로 동일한 간격으로 배열된다. 제1 간격(G21)은 피검사 대상물 단자들의 간격에 따라서 결정될 수 있다.
제1 지지대(231)의 양측으로 써포팅 블록들(290)이 각각 배치된다. 써포팅 블록들(290)은 제3 체결부재들(285)에 의하여 프레임(270)에 고정된다. 제3 지지대(251)는 써포팅 블록들(290) 상에 배치되고, 제4 지지대(261)는 제2 지지대(241) 상에 배치된다.
제3 지지대(251) 상면에는 제1 방향을 따라서 제3 핀 슬롯들(255)과 제3 얼라인 슬롯들(257)이 형성된다. 이 경우, 제3 핀 슬롯들(255)은 제2 간격(G22)으로 형성된다. 제4 지지대(261) 상면에는 제1 방향을 따라서 제4 핀 슬롯들(265)과 제2 얼라인 슬롯들(267)이 형성된다. 이 경우, 제4 핀 슬롯들(265)도 제2 간격(G22)으로 형성된다.
제3 지지대(251)는 제1 지지대(231)를 기준으로 얼라인될 수 있고, 제4 지지대(261)는 제2 지지대(241)를 기준으로 얼라인될 수 있다. 제3 및 제4 지지대 들(251,261)에는 제2 프로브 핀들(120)이 삽입된다.
제3 핀 슬롯들(255)에는 제2 프로브 핀들(120)의 일단부들이 각각 삽입되고, 제4 핀 슬롯들(265)에는 제2 프로브 핀들(120)의 타단부들이 각각 삽입된다. 이 결과, 제2 프로브 핀들(120)은 제1 프로브 핀들(110) 사이사이에 위치하며, 제2 간격(G22)과 실질적으로 동일한 간격으로 배열된다.
제2 간격(G22)은 피검사 대상물 단자들의 간격에 따라서 결정될 수 있다. 제2 프로브 핀들(120)의 제2 간격(G22)은 제1 프로브 핀들(110)의 제1 간격(G21)과 실질적으로 동일하다.
제2 및 제4 지지대들(241,261)은 제1 및 제2 체결부재들(281,283)에 의하여 프레임(270)에 고정된다. 이와 실질적으로 동시에 제2 및 제4 지지대들(241,261)은 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)에 각각 결합될 수 있다. 이하, 프로브 유닛(200)의 각 구성요소들에 대하여 자세하게 설명한다.
도 22는 도 18에 도시한 프레임을 설명하기 위하여 프레임을 확대 도시한 사시도이다.
도 22를 더 참조하면, 프레임(270)은 전체적으로, 제1 폭(W61), 제1 길이(L61) 및 제1 높이(H61)의 직육면체 형상을 갖는다. 프레임(270)은 크게 제1 층(271)과 제2 층(275)으로 나뉘어 진다. 이 경우, 제1 층(271)은 제2 층(275)보다 제1 깊이(D61)만큼 낮게 형성된다. 제1 층(271)의 상면(271a)과 제2 층(275)의 상 면(275a)은 실질적으로 평평하다. 제2 층(275)의 상면(275a)에는 제1 및 제2 방향으로 개방된 제1 수용홈(276)이 형성된다.
제1 수용홈(276)은 제2 폭(W62), 제2 길이(L62) 및 제2 깊이(D62)를 갖는다. 이 경우, 제1 수용홈(276)의 제2 폭(W62)은 제2 지지대(241)의 폭과 실질적으로 동일하다. 제1 수용홈(276)의 양측에는 프레임 측벽들(272)이 각각 존재한다. 그리고 제1 수용홈(276)의 제2 깊이(D62)는 제1 깊이(D61)보다는 크다. 따라서 제1 수용홈(276)과 제1 층(271) 사이에는 단차(275b)가 존재한다. 이하 설명하겠지만, 전술한 바와 같은 제1 수용홈(276)에는 제2 및 제4 지지대들(241,261)이 배치된다. 제2 층(275)의 상면(275a)에는 제1 수용홈(276)과 연통된 개구부(278)가 형성된다.
개구부(278)는 제1 수용홈(276)의 제2 폭(W62)보다는 작은 제3 폭(W63)을 가지며 제2 층(275)을 제3 방향으로 관통한다. 개구부(278)에는 TCP와 같은 집적회로(도시되지 않음)가 배치될 수 있다. 프레임(270)의 제1 층(271) 상에는 지지단(273)이 형성된다.
지지단(273)은 제1 수용홈(276)의 제2 폭(W62)보다는 작은 제4 폭(W64)을 갖는다. 지지단(273)은 프레임(270)의 전방부에 형성된다. 지지단(273)은 제1 층(271)의 양변으로부터 실질적으로 동일한 간격(B61)만큼 이격된다. 지지단(273)의 양측으로는 제1 층(271)의 상면(271a)이 노출된다.
지지단(273)의 양측의 제1 층(271) 상면(271a)에는 써포팅 블록들(290)을 제 1 층(271)에 고정시키기 위한 제3 체결공들(285a)이 형성된다.
지지단(273)의 상면(273a)은 제2 층(275)의 상면(275a)과 실질적으로 동일한 수평면상에 배치될 수 있다. 지지단(273)의 상면(273a)에는 제2 수용홈(277)이 형성된다.
제2 수용홈(277)은 제1 수용홈(276)의 제2 폭(W62)보다는 작은 제5 폭(W65)을 갖는다. 제2 수용홈(277)의 제5 폭(W65)은 제1 지지대(231)의 폭과 실질적으로 동일하다. 제2 수용홈(277)은 제1 지지대(231)의 하부 형상과 대응되는 형상을 갖는다. 이하, 설명하겠지만, 제2 수용홈(277)에는 제1 지지대(231)가 배치된다.
지지단(273)의 후면(273c)은 경사진다. 후면(273c)의 경사각(α6)은 제1 프로브 핀(110)의 제1 각도(α1)와 실질적으로 동일하다. 프레임(270)의 양측부에는 제1 수용홈(276)과 연통되는 제1 및 제2 체결공들(281a,283a)이 형성된다.
제1 체결공들(281a)은 프레임(270)의 양측부로부터 제1 수용홈(276)의 제1 내벽(276d)까지 형성된다. 이 경우, 제1 체결공들(281a)은 프레임(270)의 양측부를 제1 방향에 대하여 경사지게 관통한다. 다르게 설명하면, 제1 체결공들(281a)은 제1 및 제2 방향의 평면상에 사선방향으로 기울어지기 형성된다. 제1 체결공들(281a)은 제2 방향 축을 기준으로 서로 대칭된다.
이하 설명하겠지만, 제1 체결공들(281a)에는 제1 체결부재들(281)이 각각 체결된다. 제1 체결부재(281)의 단부는 제1 수용홈(276)에 노출된다. 제1 체결부재들(281)은 제2 지지대(241)의 후면에 접하여 제2 지지대(241)를 제2 방향으로 가압 한다. 프레임(270)에서 제1 체결공들(281a)의 전방부에는 제2 체결공들(283a)이 형성된다.
제2 체결공들(283a)은 프레임 측벽들(272)을 제1 방향으로 관통한다. 제2 체결공들(283a)은 제2 방향 축을 기준으로 서로 대칭된다.
이하 설명하겠지만, 제2 체결공들(283a)에는 제2 체결부재들(283)이 각각 체결된다. 제2 체결부재(283)의 단부는 제1 수용홈(276)에 노출된다. 제2 체결부재들(283)은 제4 지지대(261)의 양측면에 각각 접하여 제4 지지대(261)를 제1 방향으로 가압한다.
도 21에 도시된 바와 같이, 프레임(270)의 저면(270b)에는 제1 체결공들(281a)과 각각 연통되는 제4 체결공들(287a)이 형성된다. 제4 체결공들(287a)은 프레임(270)에 수직방향으로 형성된다.
제4 체결공들(287a)에는 제4 체결부재들(287)이 각각 체결된다. 제4 체결부재(287)의 단부는 제1 체결공(281a)에 체결된 제1 체결부재(281)에 접하여 제1 체결부재(281)가 제1 체결공(281a)으로부터 이탈하는 것을 억제한다.
프레임(270)의 저면(270b)에는 수직 방향으로 제5 체결공들(289a)이 형성될 수 있다. 제5 체결공들(289a)에는 각기 제5 체결부재(도시되지 않음)가 장착된다. 상기 제5 체결부재는 프로브 유닛(200)을 프로브 유닛 설치판(도시되지 않음)에 장착하기 위하여 프로브 유닛(200)과 상기 프로브 유닛 설치판을 매개하는 서포팅 암(도시되지 않음)에 프레임(270)을 고정시킨다. 이외에도, 프레임(270)에는 다양하게 체결공들이 더 형성될 수 있다.
도 23은 도 18에 도시한 제1 지지부재를 설명하기 위하여 제1 및 제2 지지대들을 확대 도시한 사시도이다.
도 23을 더 참조하면, 제1 지지부재(230)는 제1 지지대(231)와 제2 지지대(241)를 포함한다.
우선, 제1 지지대(231)는 제1 프로브 핀들(110)이 제1 간격(G21)으로 나열되도록 제1 프로브 핀들(110)의 제1 단들(111a)을 지지하는 부재로서 지지단(273)의 제2 수용홈(277)에 배치된다.
제1 지지대(231)는 전체적으로 단면이'L'자형인 빔(beam) 형상을 갖는다. 제1 지지대(231)는 제2 수용홈(277)의 제5 폭(W65)과 실질적으로 동일한 폭(W71)을 갖는다.
제1 지지대(231)의 상면(231a)은 경사진다. 상면(231a)의 경사각(α7)은 제1 프로브 핀(110)의 제2 각도(α2)와 실질적으로 동일하다. 제1 지지대(231)의 상면(231a)과 제1 후면(231b)에는 제2 방향으로 제1 핀 슬롯(235)이 형성된다.
제1 핀 슬롯(235)은 제1 방향을 따라 상면(231a)과 제1 후면(231b)에 복수개 형성된다. 제1 핀 슬롯(235)의 개수와 제1 프로브 핀(110)의 개수는 동일하다. 제1 핀 슬롯들(235)은 제1 프로브 핀들(110)의 제1 간격(G21)과 실질적으로 동일한 간격(G71)으로 형성된다. 각각의 제1 핀 슬롯(235)은 제1 프로브 핀(110)의 폭(W11)과 실질적으로 동일한 폭(W72)을 갖는다. 제1 핀 슬롯들(235)에는 제1 프로브 핀 들(110)의 접촉부들(114)이 각각 삽입된다.
접촉부(114)가 제1 핀 슬롯(235)에 삽입되도록 제1 프로브 핀들(110)을 제1 지지대(231)에 배치하면, 제1 프로브 핀들(110)은 자동적으로 제1 간격(G21)으로 나열된다.
제1 지지대(231)의 상면(231a)과 제1 후면(231b)에는 제1 핀 슬롯들(235)의 최외각에 제2 방향으로 제1 얼라인 슬롯들(237)이 형성된다. 각각의 제1 얼라인 슬롯(237)은 얼라인 핀(도시되지 않음)에 대응하게 형성된다.
제1 지지대(231)의 상면(231a)에는 제1 방향으로 홈(232)이 형성될 수 있다. 이 경우, 제1 지지대(231)의 상면(231a)에는 두 행의 제1 핀 슬롯들(235)과 두 행의 제1 얼라인 슬롯들(237)이 형성될 수 있다.
제1 지지대(231)의 제1 후면(231b)에는 제1 프로브 핀들(110)의 제1 단들(111a)을 수용하기 위한 제1 결합홈(236)이 형성된다. 제1 결합홈(236)은 도 6에 도시된 바와 같이 제1 프로브 핀(110)의 제1 단(111a)과 대응된 형상으로 제1 방향을 따라 형성된다. 제1 결합홈(236)은 제1 단(111a)의 높이(H11)와 실질적으로 동일한 높이(H71)를 갖는다.
제1 결합홈(236)에는 제1 프로브 핀들(110)의 제1 단들(111a)이 삽입된다. 이 경우, 제1 단들(111a)은 제1 결합홈(236)에 꽉 끼워져 제1 프로브 핀들(110)이 제1 방향으로 유동되지 않도록 고정한다.
이어서, 제2 지지대(241)는 제1 프로브 핀들(110)이 제1 간격(G21)으로 나열 되도록 제1 프로브 핀들(110)의 제2 단들(111b)을 지지하는 부재로서, 제1 수용홈(276) 내에 배치된다.
제2 지지대(241)는 전체적으로 단면이'L'자형인 빔(beam) 형상을 갖는다. 제2 지지대(241)는 제1 수용홈(276)의 제2 폭(W62)과 실질적으로 동일한 폭(W73)을 갖는다. 또한, 제2 지지대(241)는 제1 수용홈(276)의 제1 깊이(D62)와 실질적으로 동일한 높이(H72)를 갖는다.
제2 지지대(241)의 상면(241a)은 실질적으로 평평하다. 제2 지지대(241)의 상면(241a)에는 제2 방향으로 제2 핀 슬롯(245)이 형성된다. 제2 핀 슬롯(245)은 제1 방향을 따라 상면(241a)에 복수개 형성된다. 제2 핀 슬롯(245)의 개수와 제1 프로브 핀(110)의 개수는 동일하다.
제2 핀 슬롯들(245)은 제1 프로브 핀들(110)의 제1 간격(G21)과 실질적으로 동일한 간격(G72)으로 형성된다. 각각의 제2 핀 슬롯(245)은 제1 프로브 핀(110)의 폭(W11)과 실질적으로 동일한 폭(W74)을 갖는다. 제2 핀 슬롯들(245)에는 제1 프로브 핀들(110)의 연결부들(117)이 각각 삽입된다.
연결부(117)가 제2 핀 슬롯(245)에 삽입되도록 제1 프로브 핀들(110)을 제2 지지대(241)에 배치하면, 제1 프로브 핀들(110)은 자동적으로 제1 간격(G21)으로 나열된다.
제2 지지대(241)의 상면(241a)에는 제2 핀 슬롯들(245)의 최외각에 제2 방향 으로 제2 얼라인 슬롯들(247)이 형성된다. 각각의 제2 얼라인 슬롯(247)은 얼라인 핀(도시되지 않음)에 대응하게 형성된다.
제2 지지대(241)의 상면(241a)에는 제1 방향으로 홈(242)이 형성될 수 있다. 이 경우, 제2 지지대(241)의 상면(241a)에는 두 행의 제2 핀 슬롯들(245)과 두 행의 제2 얼라인 슬롯들(247)이 형성될 수 있다.
제2 지지대(241)의 제1 전면(241b)에는 제1 프로브 핀들(110)의 제2 단들(111b)을 수용하기 위한 제2 결합홈(246)이 형성된다. 제2 결합홈(246)은 도 6에 도시된 바와 같이 제1 프로브 핀(110)의 제2 단(111b)과 대응된 형상으로 제1 방향을 따라 형성된다. 제2 결합홈(246)은 제2 단(111b)의 높이(H12)와 실질적으로 동일한 높이(H73)를 갖는다.
제2 결합홈(246)에는 제1 프로브 핀들(110)의 제2 단들(111b)이 삽입된다. 이 경우, 제2 단들(111b)은 제2 결합홈(246)에 꽉 끼워져 제1 프로브 핀들(110)이 제1 방향으로 유동되지 않도록 고정한다.
도 24는 도 18 도시한 제2 지지부재를 설명하기 위하여 제3 및 제4 지지대들을 확대 도시한 사시도이다.
도 24를 더 참조하면, 제2 지지부재(250)는 제3 지지대(251)와 제4 지지대(261)를 포함한다.
우선, 제3 지지대(251)는 제2 프로브 핀들(120)이 제2 간격(G22)으로 나열되도록 제2 프로브 핀들(120)의 제1 단들(121a)을 지지하는 부재로서, 제1 지지 대(231)의 상부에 배치된다. 이 경우, 제3 지지대(251)는 써포팅 블록들(290)에 지지된다.
제3 지지대(251)는 전체적으로 일자형 빔(beam) 형상을 갖는다. 제3 지지대(251)는 프레임(270)의 제1 폭(W61)과 실질적으로 동일한 폭(W81)을 갖는다.
제3 지지대(251)의 상면(251a)은 실질적으로 평평하다. 제3 지지대(151)의 상면(251a)에는 제2 방향으로 제3 핀 슬롯(255)이 형성된다. 제3 핀 슬롯(255)은 제1 방향을 따라 상면(251a)에 복수개 형성된다.
제3 핀 슬롯(255)의 개수와 제2 프로브 핀(120)의 개수는 동일하다. 제3 핀 슬롯들(255)은 제2 프로브 핀들(120)의 제2 간격(G22)과 실질적으로 동일한 간격(G81)으로 형성된다. 각각의 제3 핀 슬롯(255)은 제2 프로브 핀(120)의 폭(W21)과 실질적으로 동일한 폭(W82)를 갖는다. 제3 핀 슬롯들(255)에는 제2 프로브 핀들(120)의 접촉부들(124)이 각각 삽입된다.
접촉부(124)가 제3 핀 슬롯(255)에 삽입되도록 제2 프로브 핀들(120)을 제3 지지대(251)에 배치하면, 제2 프로브 핀들(120)은 자동적으로 제2 간격(G22)으로 나열된다.
제3 지지대(251)의 상면(251a)에는 제3 핀 슬롯들(255)의 최외각에 제2 방향으로 제3 얼라인 슬롯들(257)이 형성된다. 각각의 제3 얼라인 슬롯(257)은 얼라인 핀(도시되지 않음)에 대응하게 형성된다.
제3 지지대(251)의 상면(251a)에는 제1 방향으로 홈(252)이 형성될 수 있다. 이 경우, 제3 지지대(251)의 상면(251a)에는 두 행의 제3 핀 슬롯들(255)과 두 행의 제3 얼라인 슬롯들(257)이 형성될 수 있다.
제3 지지대(251)의 후면(251b)에는 제2 프로브 핀들(120)의 제1 단들(111a)이 삽입되는 제1 결합바(254)가 형성된다. 제1 결합바(254)는 도 7에 도시된 바와 같이 제2 프로브 핀(120)의 제1 고정홈(122)에 대응되는 형상으로 제1 방향을 따라서 형성된다. 제1 결합바(254)는 제1 고정홈(122)의 높이(H13)와 실질적으로 동일한 높이(H81)를 갖는다.
제1 결합바(254)는 제2 프로브 핀들(120)의 제1 고정홈들(122)에 삽입된다. 이 경우, 제1 결합바(254)는 제1 고정홈들(122)에 꽉 끼워져 제2 프로브 핀들(120)이 제1 방향으로 유동되지 않도록 고정한다. 제3 지지대(251)의 하부 양측에는 걸림턱들(256)이 각각 형성된다.
걸림턱(256)은 써포팅 블록(290)의 폭(W85)과 실질적으로 동일한 폭(W86)을 갖는다. 전술한 바와 같은 제3 지지대(251)는 걸림턱(256)을 통하여 써포팅 블록들(290) 상에 배치된다.
써포팅 블록들(290)은 프레임(170)의 지지단(173) 양측에 각각 배치되어 제3 지지대(251)를 지지한다. 써포팅 블록(290)의 상면(290a)에는 써포팅 블록(290)을 수직으로 관통하는 홀(295)이 형성된다. 홀(295)은 써포팅 블록(290)의 상면(290a)으로부터 제1 직경으로 형성된 제1 홀과, 제1 홀의 저면(295a)으로부터 제2 직경으 로 형성된 제2 홀로 이루어진다. 이 경우, 상기 제2 직경은 상기 제1 직경보다 작다. 즉, 써포팅 블록(290)에는 내경이 감소하는 홀(295)이 형성된다.
이후 설명하겠지만, 홀(295)에는 제3 체결부재(285)가 삽입된다. 제3 체결부재(285)는 프레임(270)의 제3 체결공(285a)에 체결된다. 이 경우, 제3 체결부재(285)의 헤드는 제1 홀의 저면(295a)에 밀착되어, 써포팅 블록(290)을 프레임(270)에 고정시키게 된다.
이어서, 제4 지지대(261)는 제2 프로브 핀들(120)이 제2 간격(G22)으로 나열되도록 제2 프로브 핀들(120)의 제2 단들(121b)을 지지하는 부재로서, 제1 수용홈(276)에 배치된다. 이 경우, 제4 지지대(261)는 제1 수용홈(276) 내의 제2 지지대(241) 상에 배치된다. 제4 지지대(261)는 고정부(263)와 지지부(266)로 이루어진다.
고정부(263)는 전체적으로 일자형 빔(beam)형상을 갖는다. 고정부(263)의 상면(263a)은 실질적으로 평평하다. 고정부(263)의 상면(263a)에는 제2 방향으로 제4 핀 슬롯(265)이 형성된다. 제4 핀 슬롯(265)은 제1 방향을 따라 상면(263a)에 복수개 형성된다.
제4 핀 슬롯(265)의 개수와 제2 프로브 핀(120)의 개수는 동일하다. 제4 핀 슬롯들(265)은 제2 프로브 핀들(120)의 제2 간격(G22)과 실질적으로 동일한 간격(G82)으로 형성된다. 제4 핀 슬롯(265)은 제2 프로브 핀(120)의 폭(W21)과 실질적으로 동일한 폭(W84)을 가질 수 있다. 제4 핀 슬롯들(265)에는 제2 프로브 핀 들(120)의 연결부들(127)이 각각 삽입된다.
연결부(127)가 제4 핀 슬롯(165)에 삽입되도록 제2 프로브 핀들(120)을 고정부(263)에 배치하면, 제2 프로브 핀들(120)은 자동적으로 제2 간격(G22)으로 나열된다.
고정부(263)의 상면(263a)에는 제4 핀 슬롯들(265)의 최외각에 제2 방향으로 제4 얼라인 슬롯들(267)이 형성된다. 각각의 제4 얼라인 슬롯(267)은 얼라인 핀(도시되지 않음)에 대응하게 형성된다.
고정부(263)의 전면(263b)에는 제2 프로브 핀들(120)의 제2 단들(111b)이 삽입되는 제2 결합바(264)가 형성된다. 제2 결합바(264)는 도 7에 도시된 바와 같이 제2 프로브 핀(120)의 제2 고정홈(123)에 대응되는 형상으로 제1 방향을 따라서 형성된다. 제2 결합바(264)는 제2 고정홈(123)의 높이(H14)와 실질적으로 동일한 높이(H82)를 갖는다.
제2 결합바(264)는 제2 프로브 핀들(120)의 제2 고정홈들(123)에 삽입된다. 이 경우, 제2 결합바(264)는 제2 고정홈들(123)에 꽉 끼워져 제2 프로브 핀들(120)이 제1 방향으로 유동되지 않도록 고정한다. 고정부(263)의 하부 양측에는 지지부들(266)이 각각 형성된다.
지지부들(266)은 고정부(263)의 하부 양측에 서로 대칭되게 배치된다. 지지부들(266)은 고정부(263)가 수평방향으로 배치되도록 지지한다. 지지부(266)의 측면(266a)은 제1 방향에 대하여 경사진다. 이 경우, 측면(266a)은 제1 방향에 대하 여 양의 기울기를 가질 수 있다. 이하, 설명하겠지만, 측면(266a)에는 제2 체결부재(283)가 접하여 제4 지지대(261)가 제1 및 제3 방향으로 가압된다.
고정부(263)에 지지부들(266)이 배치된 제4 지지대(261)는, 전체적으로 제1 수용홈(276)의 제2 폭(W62)과 실질적으로 동일한 폭(W83)을 갖는다. 이하, 프로브 유닛(200)의 제조 방법에 대하여 설명한다.
도 25 내지 도 31은 도 18에 도시한 프로브 유닛의 제조 방법을 순차적으로 설명하기 위한 개략적인 사시도들 및 단면도들을 도시한 것이다.
도 25 및 도 26을 참조하면, 프레임(270)에 제1 및 제2 지지대들(231,241)을 배치한다. 제1 수용홈(276)에 제2 지지대(241)를 배치하고, 제2 수용홈(277)에 제1 지지대(231)를 배치한다. 이 경우, 제1 지지대(231)의 제1 결합홈(236)이 제2 지지대(241)의 제2 결합홈(246)을 마주보도록 제1 및 제2 지지대들(231,241)을 배치한다.
제1 지지대(231)는 제2 수용홈(277)에 삽입과 동시에 제1 방향으로 실질적으로 유동되지 않는다. 즉, 제1 지지대(231)는 제2 수용홈(277)에 삽입과 동시에 제1 방향에 대한 위치가 결정된다. 또한, 제1 지지대(231)는 제2 수용홈(277)의 단차(273b)에 밀착되어 제2 방향에 대한 위치가 결정된다. 제1 지지대(231)의 제1 및 제2 방향의 위치가 결정되면 제1 지지대(231)를 제2 수용홈(277)에 고정한다.
제2 지지대(241)는 제1 수용홈(276)에 삽입과 동시에 제1 방향에 대한 위치가 결정된다.
제1 및 지지대들(231,241)에 제1 프로브 핀들(110)을 배치한다. 제1 프로브 핀들(110)의 제1 단들(111a)은 제1 지지대(231)에 지지되고, 제1 프로브 핀들(110)의 제2 단들(111b)은 제2 지지대(241)에 지지된다.
도 27을 더 참조하면, 제1 프로브 핀들(110)을 제1 지지대(231)에 결합시킨다.
제1 프로브 핀(110)의 제1 단(111a)을 제1 지지대(231)의 제1 결합홈(236)에 삽입한다. 이 경우, 제1 프로브 핀(110)의 접촉부(114)가 제1 지지대(231)의 제1 핀 슬롯(235) 내에 위치하도록 한다. 제1 프로브 핀(110)의 제1 단(111a)은 제1 결합홈(236)에 맞물린다. 이 결과 제1 방향으로의 제1 프로브 핀(110) 유동이 제한된다.
전술한 바와 같은 방법으로 나머지 제1 프로브 핀들(110)을 제1 지지대(231)에 결합시킨다. 이 결과, 제1 프로브 핀들(110)의 제1 단들(111a)은 도 19에 도시된 바와 같은 제1 간격(G21)으로 배치된다.
도 28을 더 참조하면, 지지단(273)의 양측에 써포팅 블록들(290)을 각각 배치한다. 각각의 써포팅 블록(290)에 제3 체결부재(285)를 삽입한다. 제3 체결부재들(285)을 프레임(270)의 제3 체결공들(285a)에 각각 체결하여 써포팅 블록들(290)을 프레임(270)에 고정한다.
써포팅 블록들(290) 상에 제3 지지대(251)를 배치하고, 제2 지지대(241) 상에 제4 지지대(261)를 배치한다. 이 경우, 제3 지지대(251)의 제1 결합바(254)가 제4 지지대(261)의 제2 결합바(264)를 마주보도록 제3 및 제4 지지대들(251,261)을 배치한다.
제3 지지대(251)를 수평 이동시켜 써포팅 블록들(290)의 단차(290b)에 밀착시킨다. 이 결과, 제3 지지대(251)의 제2 방향 위치가 결정된다.
제1 지지대(231)를 기준으로 제3 지지대(251)를 얼라인한다. 이 경우, 제3 지지대(251)의 제3 얼라인 슬롯들(257)과 제1 지지대(231)의 제1 얼라인 슬롯들(237)을 제2 방향에 대하여 일치시킨다. 이 결과, 제3 지지대(251)의 제1 방향 위치가 결정된다.
제3 지지대(251)의 제1 및 제2 방향의 위치가 결정되면 제3 지지대(251)를 써포팅 블록들(290)상에 고정한다.
제4 지지대(261)는 제1 수용홈(276)에 삽입됨과 동시에 제1 방향으로 실질적으로 유동되지 않는다. 즉, 제4 지지대(261)는 제1 수용홈(276)에 삽입과 동시에 제1 방향에 대한 위치가 결정된다. 이 경우, 제4 지지대(261)의 제4 얼라인 슬롯들(267)과 제2 지지대(241)의 제2 얼라인 슬롯들(247)을 제2 방향에 대하여 실질적으로 일치한다.
도 29를 더 참조하면, 제3 지지대(251)와 제4 지지대(261)에 제2 프로브 핀들(120)을 배치한다. 제2 프로브 핀들(120)의 제1 단들(121a)은 제3 지지대(251)에 지지되고, 제2 프로브 핀들(120)의 제2 단들(121b)은 제4 지지대(261)에 지지된다.
도 30을 더 참조하면, 제2 프로브 핀들(120)을 제3 지지대(251)에 결합시킨다.
제2 프로브 핀(120)의 제1 고정홈(122)에 제3 지지대(251)의 제1 결합바(254)를 삽입한다. 제1 결합바(254)는 제1 고정홈(122)에 맞물린다. 이 결과 제1 방향으로의 제2 프로브 핀(120) 유동이 제한된다. 이 경우, 제2 프로브 핀(120)의 접촉부(124)가 제3 지지대(251)의 제3 핀 슬롯(255) 내에 위치하도록 한다.
모든 제2 프로브 핀들(120)을 전술한 바와 같은 방법으로 제3 지지대(251)에 결합시킨다. 이 결과, 제2 프로브 핀들(120)의 제1 단들(121a)은 도 19에 도시된 바와 같은 제2 간격(G22)으로 배치된다. 또한, 제1 프로브 핀(110)의 제1 단(111a)과 제2 프로브 핀(120)의 제1 단(121a)은 도 19에 도시된 바와 같은 제3 간격(G23)으로 배치된다.
도 31을 더 참조하면, 프레임(270)에 제1 체결부재들(281), 제2 체결부재들(283), 제4 체결부재들(287)을 체결하여 제1 및 제2 프로브 핀들(120,130)을 프레임(270)에 완전하게 고정한다.
우선, 프레임(270)의 제1 체결공들(281a)에 제1 체결부재들(281)을 각각 체결한다. 제1 체결부재들(281)의 단부들은 제1 수용홈(276)에 노출되어 제2 지지대(241)의 후면(241c)에 접한다. 제1 체결부재들(281)은 제2 지지대(241)를 제2 방향으로 이동시켜, 제2 지지대(241)를 제1 수용홈(276)의 단차(275b)에 밀착시킨다. 이 경우, 제2 지지대(241) 상에 배치된 제4 지지대(261)도 제2 지지대(241)와 같이 이동되어 제1 수용홈(276)의 단차(275b)에 밀착된다.
이 결과, 제2 지지대(241)는 제1 프로브 핀들(110)에 결합되고, 제4 지지 대(261)는 제2 프로브 핀들(120)에 결합된다. 보다 자세하게, 제2 지지대(241)의 제2 결합홈(246)에 제1 프로브 핀들(110)의 제2 단들(111b)이 삽입되고, 제2 프로브 핀들(120)의 제2 고정홈들(123)에 제4 지지대(261)의 제2 결합바(264)가 삽입된다. 이 경우, 제1 프로브 핀들(110)의 연결부들(117)은 제2 지지대(241)의 제2 핀 슬롯들(245) 내에 각각 위치하고, 제2 프로브 핀들(120)의 연결부들(127)은 제4 지지대(261)의 제4 핀 슬롯들(265) 내에 각각 위치한다.
보다 발전적으로, 제1 체결부재들(281)이 제1 체결공들(281a)로부터 분리되는 것을 억제하기 위하여, 제4 체결공들(287a)에 제4 체결부재들(287)을 체결할 수도 있다. 제4 체결부재들(287)은 제1 체결부재들(281)에 접하여 제1 체결부재들(281)의 유동을 제한한다.
이어서, 프레임(270)의 제2 체결공들(283a)에 제2 체결부재들(283)을 각각 체결한다. 제2 체결부재들(283)의 단부들은 제2 수용홈(276)에 노출되어 제4 지지대(261)의 측면들에 각각 접한다. 제2 체결부재들(283)은 제4 지지대(261)를 제3 방향으로 가압하여 제4 지지대(261)를 포함한 제2 지지대(241)를 제3 방향으로 고정한다. 이 결과, 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)의 제2 방향의 기울기도 정렬된다.
제2 방향의 기울기가 정렬된 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)은, 연결부들(117,127)의 끝단들이 실질적으로 동일한 수평면 상에 위치하고, 접촉부들(114,124)의 끝단들이 실질적으로 동일한 수평면 상에 위치한다. 따라서 연결부들(117,127)에 TCP와 같은 집적회로를 연결하기 용이하고, 피검사 대상물의 단부들 에 접촉부들(114,124)이 접촉시키기 용이하다.
또한, 제2 체결부재들(283)은 제4 지지대(261)를 양측에서 가압하여 제4 지지대(261)를 제1 방향으로 고정한다. 이 경우, 제4 지지대(261)는 프레임(270)에 대한 제2 체결부재들(283)의 상대적인 체결 깊이에 따라 제1 방향으로 미세하게 이동될 수 있다. 따라서 제4 지지대(261)를 미세 이동시켜가며 제4 지지대(261)의 제4 얼라인 슬롯들(267)과 제2 지지대(241)의 제2 얼라인 슬롯들(247)을 제2 방향에 대하여 일치시킬 수 있다.
전술한 바와 같이, 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)은 제1 및 제2 지지부재들(230,250)에 고정되어 제1 내지 제3 방향으로 실질적으로 유동되지 않는다. 또한, 제1 프로브 핀들(110)은 제1 지지부재(230)에 고정됨과 동시에 자동적으로 제1 간격(G21)으로 나열되고, 제2 프로브 핀들(120)은 제2 지지부재(250)에 고정됨과 동시에 자동적으로 제2 간격(G22)으로 나열된다. 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)은 제3 간격(G23)으로 나열된다.
또한, 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)은 제1 내지 제4 체결부재들(281,283,285,287)을 이용하여 제1 및 제2 지지부재들(230,250)로부터 용이하게 분리될 수 있다. 따라서 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)을 용이하게 정비 및 교체할 수 있다. 당연히 제1 및 제2 지지부재들(230,250)의 정비 및 교체도 용이하게 수행할 수 있다.
전술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면 제1 및 제2 프로브 핀 들(110,120)을 신속, 용이 및 정확하게 배열할 수 있을 뿐만 아니라, 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)의 간격도 크게 줄일 수 있다. 나아가, 본 발명에 따르면 프로브 유닛(200)의 정비도 용이하게 수행할 수 있다.
도 32는 본 발명의 또 다른 관점에 따른 프로브 장치의 일부분이 절개된 측면도를 도시한 것이고, 도 33은 도 32에 도시한 프로브 장치에 장착된 프로브 유닛을 부분적으로 확대 도시한 사시도이다.
도 32 및 도 33을 참조하면, 프로브 장치(300)는 도 2에 도시한 프로브 유닛(100)을 포함한다. 따라서 도 2와 동일한 참조번호에 대한 설명은 생략하지만 당업자라면 용이하게 이해할 수 있을 것이다. 프로브 장치(300)는 하우징(310), 스테이지(330), 프로브 유닛(100) 및 테스트 유닛(도시되지 않음)을 포함한다.
하우징(310)은 프로브 장치(300)의 외관을 이루는 장치로서, 내부에 스테이지(330), 프로브 유닛(100) 및 테스트 유닛을 수용하기 위한 공간이 마련된다.
하우징(310)의 전방부에는 하우징(310)의 내부를 육안으로 확인할 수 있으며, 하우징(310)을 개폐하는 투명 셔터(315)가 설치된다.
스테이지(330)는 디스플레이 패널과 같은 피검사 대상물(301)를 지지하기 위한 장치로서, 하우징(310) 내부에 설치된다. 스테이지(330)는 피검사 대상물(301)에 대응하는 크기를 갖는다. 피검사 대상물(301)은 수 내지 수백 인치의 크기를 가질 수 있다. 따라서 스테이지(330)도 피검사 대상물(301)에 대응하게 수 내지 수백 인치의 크기로 제조될 수 있다.
스테이지(330)는 배치 공간을 줄이기 위하여 기울어지게 배치되는 것이 바람 직하다. 그러나 스테이지(330)는 수평 또는 수직으로도 배치될 수도 있음을 밝혀둔다.
스테이지(330)에는 하우징(110) 내부에 스테이지(330)를 이동시키기 위한 구동 유닛(도시되지 않음)이 설치된다. 상기 구동 유닛은 스테이지(330)를 수평 및 수직 방향으로 이동시키고 또한 틸팅시킬 수 있다. 피검사 대상물(301)는 상기 구동 유닛에 의하여 프로브 장치(300) 내부로 이동되어 검사 공정을 마친 후 프로브 장치(300) 외부로 반출된다. 상기 구동 유닛은 종래와 실질적으로 동일하므로 이에 대한 설명은 생략하기로 한다. 스테이지(330)에 배치되어 검사 위치로 이동된 피검사 대상물(301)의 주변부에는 프로브 유닛(100)이 배치된다.
프로브 유닛(100)은 하우징(310)의 내측벽에 고정된 설치 플레이트(325)에 장착된다. 이 경우, 프로브 유닛(100)은 홀더(320)를 매개로 설치 플레이트(325)에 장착된다.
홀더(320)는 프로브 유닛(100)을 설치 플레이트(325)에 고정한다. 이 경우, 홀더(320)는 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)이 피검사 대상물(301)를 향하도록 프로브 유닛(100)을 지지한다.
설치 플레이트(325)에는 복수개의 홀더들(320)이 장착되고, 각각의 홀더(320)에는 프로브 유닛(100)이 장착된다. 홀더(320) 및 프로브 유닛(100)의 개수는 피검사 대상물(301)의 단자모듈(305)의 개수에 따라서 결정될 수 있다.
피검사 대상물(301)은 복수개의 단자모듈들(305)을 포함한다. 각각의 단자모듈(305)은 복수개의 단자들(306)로 이루어진다. 이 경우, 단자들(306)은 일정 간격 으로 배열된다. 단자들(306)은 약 25㎛이하의 간격으로 배치될 수 있다.
단자들(306)에는 프로브 유닛(100)의 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)이 각각 접촉된다. 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)이 단자들(306)에 정확하게 접촉되도록, 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)의 간격은 단자들(306)의 간격과 동일한 것이 바람직하다.
이미 전술한 바와 같이 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)의 간격은 다양하게 조절될 수 있다. 본 실시예에 따른 프로브 장치(300)는 단자들(306)의 간격과는 실질적으로 무관하게 피검사 대상물(301)을 검사할 수 있다.
각각의 프로브 유닛(100)은 테스트 유닛(도시되지 않음)과 전기적으로 연결된다. 상기 테스트 유닛은 TCP와 같은 회로기판을 매개로 각각의 프로브 유닛(110)에 연결된다. 상기 테스트 유닛은 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)에 전기적 신호를 제공하여 피검사 대상물(301)의 정상작동 여부를 확인한다. 상기 테스트 유닛은 종래와 실질적으로 동일한 바 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.
전술한 실시예들에서는, 프로브 유닛(110)이 복층으로 구성된 경우 즉, 제1 및 제2 프로브 핀들(110,120)을 갖는 경우, 에 대하여 설명하였다. 비록 도면으로 도시하지는 않았으나, 프로브 유닛(120)은 1층으로 구성될 수 있다. 이 경우, 프로브 유닛(110)은 제1 프로브 핀들(110) 또는 제2 프로브 핀들(120)만을 포함할 수 있다.
또한, 프로브 유닛(110)은 3층 이상으로도 구성될 수 있다. 이 경우, 프로브 유닛(110)은 제1 프로브 핀들(110)과, 제2 프로브 핀들(120)뿐만 아니라 제3 프로 브 핀들까지 포함할 수 있다. 이러한 본 발명의 다양한 실시예들은 도면으로 도시하지 않더라고 당업자라면 용이하게 이해할 수 있을 것이다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 프로브 핀들을 미세한 간격으로 배치할 수 있고 다양하게 변경할 수도 있어, 단자들의 간격과는 실질적으로 무관하게 피검사 대상물을 검사할 수 있다. 또한, 프로브 유닛을 조립식으로 구성함으로써 프로브 유닛의 제작 및 정비를 신속 및 용이하게 수행할 수 있다. 결과적으로는 고성능 및 고집적의 피검사 대상물을 효과적으로 검사할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (34)

  1. 제1 방향으로 나열된 제1 프로브 핀들;
    상기 제1 프로브 핀들의 상부에 배치되며, 상기 제1 프로브 핀들 사이에 각각 위치하도록 상기 제1 방향으로 나열된 제2 프로브 핀들;
    상기 각각의 제1 프로브 핀의 양단부를 지지하는 제1 지지부재;
    상기 제1 지지부재 상부에 배치되어 상기 각각의 제2 프로브 핀의 양단부를 지지하는 제2 지지부재;
    상기 제1 및 제2 지지부재들을 지지하는 프레임;
    상기 프레임에 상기 제1 방향에 대하여 경사지게 체결되어 상기 제1 및 제2 지지부재들을 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 가압하는 제1 체결부재들; 그리고
    상기 프레임에 체결되어 상기 제1 및 제2 지지부재들을 상기 제1 및 제2 방향들에 수직하는 제3 방향으로 가압하는 제2 체결부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제1 지지부재는 상기 각각의 제1 프로브 핀의 일단부를 지지하는 제1 지지대 및 상기 각각의 제1 프로브 핀의 타단부를 지지하는 제2 지지대를 포함하고;
    상기 제2 지지부재는 상기 제1 지지대 상부에 배치되어 상기 각각의 제2 프로브 핀의 일단부를 지지하는 제3 지지대 및 상기 제2 지지대 상에 배치되어 상기 각각의 제2 프로브 핀의 타단부를 지지하는 제4 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 제1 지지대의 상면에는 상기 제1 프로브 핀들의 일단부들이 각각 삽입되는 제1 핀 슬롯들이 형성되고,
    상기 제2 지지대의 상면에는 상기 제1 프로브 핀들의 타단부들이 각각 삽입되는 제2 핀 슬롯들이 형성되고,
    상기 제3 지지대의 상면에는 상기 제2 프로브 핀들의 일단부들이 각각 삽입되는 제3 핀 슬롯들이 형성되고,
    상기 제4 지지대의 상면에는 상기 제2 프로브 핀들의 타단부들이 각각 삽입되는 제4 핀 슬롯들이 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 프레임의 상면에는 상기 프레임보다 작은 폭을 가지며 상기 제1 및 제2 방향으로 개방된 수용홈이 형성되고,
    상기 수용홈의 저면에는 상기 제2 방향에 대하여 오름 계단식으로 단차가 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 수용홈의 저면은 제1 층, 상기 제1 층 상에 위치한 제2 층 및 상기 제2 층 상에 위치한 제3 층을 포함하고,
    상기 프레임은 상기 수용홈보다 작은 폭으로 상기 제2 층과 제3 층 상에 형 성되어 상기 제1 지지대를 지지하는 지지단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 지지단의 양측에 각각 배치되어 상기 제3 지지대의 양단을 지지하는 써포팅 블록들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 써포팅 블록들을 상기 제2 층과 제3 층의 경계면에 각각 밀착시키기 위하여 상기 프레임에 체결되어 상기 써포팅 블록들의 후방부들에 각각 접하는 제3 체결부재들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 프레임의 양측면에는 상기 제1 방향에 대하여 경사지게 체결공들이 각각 형성되고,
    상기 제3 체결부재들은 상기 체결공들에 각각 삽입되는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 제3 체결부재들이 접하는 써포팅 블록들의 후면들은 경사진 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  10. 제 6 항에 있어서, 상기 써포팅 블록들 상에 배치된 제3 지지대를 상기 제1 방향으로 미세하게 이동시키기 위하여, 상기 프레임에 체결되어 제3 지지대의 양측 부에 각각 접하는 제3 체결부재들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  11. 제 5 항에 있어서, 상기 제2 지지대는 상기 제1 층 상에 배치되고, 상기 제4 지지대는 상기 제2 지지대 상에 배치되는 것을 특징으로 프로브 유닛.
  12. 제 2 항에 있어서, 상기 제1 지지대의 후면에는 상기 제1 프로브 핀의 일단부에 대응하는 형상으로 상기 제1 방향을 따라 제1 결합홈이 형성되고,
    상기 제1 지지대의 후면을 마주보는 상기 제2 지지대의 전면에는 상기 제1 프로브 핀의 타단부에 대응하는 형상으로 상기 제1 방향을 따라 제2 결합홈이 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  13. 제 2 항에 있어서, 상기 제3 지지대는 상기 제3 지지대의 후면에 상기 제1 방향을 따라 형성되어 상기 제2 프로브 핀들의 일단부들이 끼워지는 결합 바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 각각의 제2 프로브 핀의 일단부에는 상기 결합 바와 대응하는 형상을 갖는 고정홈이 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  15. 제 2 항에 있어서, 상기 제4 지지대는 상기 제4 지지대의 전면에 상기 제1 방향을 따라 형성되어 상기 제2 프로브 핀들의 타단부들이 끼워지는 결합 바를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  16. 제 15 항에 있어서, 상기 각각의 제2 프로브 핀의 타단부에는 상기 결합 바와 대응하는 형상을 갖는 고정홈이 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  17. 제 2 항에 있어서, 상기 프레임의 상면은 제1 층과 상기 제1 층보다 높은 제2 층을 포함하고,
    상기 프레임보다 작은 폭으로 상기 제1 층 상에 형성되어 상기 제1 지지대를 지지하는 지지단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  18. 제 17 항에 있어서, 상기 지지단의 양측에 각각 배치되어 상기 제3 지지대의 양단을 지지하는 써포팅 블록들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  19. 제 18 항에 있어서, 상기 써포팅 블록들에 각각 체결되어 상기 써포팅 블록들을 상기 프레임에 고정시키는 고정부재들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  20. 제 18 항에 있어서, 상기 각각의 써포팅 블록의 상면에는 상기 제3 지지대의 하부 형상에 대응하게 단차가 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  21. 제 17 항에 있어서, 상기 제2 층의 상면에는 상기 제2 및 제4 지지대들을 수용하기 위하여 상기 프레임보다 작은 폭을 가지며 상기 제1 및 제2 방향으로 개방된 수용홈이 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  22. 제 2 항에 있어서, 상기 프레임의 양측면에는 상기 제1 방향에 대하여 경사지게 체결공들이 각각 형성되고,
    상기 제1 체결부재들은 상기 체결공들에 삽입되어 상기 제2 지지대의 후면에 각각 접하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  23. 제 2 항에 있어서, 상기 프레임의 양측면에는 상기 제1 방향을 따라 체결공들이 각각 형성되고,
    상기 제2 체결부재들은 상기 체결공들에 삽입되어 상기 제4 지지대의 양측면에 각각 접하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  24. 제 23 항에 있어서, 상기 제4 지지대의 양측면은 경사진 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  25. 제 2 항에 있어서, 상기 프레임의 양측면에는 상기 제3 방향에 대하여 경사지게 체결공들이 각각 형성되고,
    상기 제2 체결부재들은 상기 체결공들에 삽입되어 상기 제4 지지대의 양측면 에 각각 접하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  26. 제 2 항에 있어서, 상기 제1 내지 제4 지지대들의 상면들에는, 상기 제2 방향에 대하여 상기 제1 내지 제4 지지대들의 위치를 정렬하기 위하여 얼라인 슬롯들이 각각 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  27. 제 2 항에 있어서, 상기 제1 프로브 핀들을 상기 제1 지지대와 상기 제2 지지대 사이에서 고정하기 위하여, 상기 제1 지지대 또는 제2 지지대는 상기 프레임 상에 이동가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  28. 제 2 항에 있어서, 상기 제2 프로브 핀들을 상기 제3 지지대와 상기 제4 지지대 사이에서 고정하기 위하여, 상기 제3 지지대 또는 제4 지지대는 상기 프레임 상에 이동가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  29. 제 1 항에 있어서, 상기 각각의 제1 프로브 핀은,
    상기 제1 방향의 폭에 비하여 상기 제2 방향의 길이가 큰 몸체부;
    상기 몸체부의 일측 상면으로부터 상방으로 기울어지게 형성된 접촉부; 및
    상기 몸체부의 타측 상면으로부터 수직으로 연장되다 직각 방향으로 굽어지며 끝단이 상방으로 굽어진 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  30. 제 1 항에 있어서, 상기 각각의 제2 프로브 핀은,
    상기 제1 방향의 폭에 비하여 상기 제2 방향의 길이가 큰 몸체부;
    상기 몸체부의 일측으로부터 상기 몸체부와 나란하게 연장되다 끝단이 상방으로 굽어진 접촉부; 및
    상기 몸체부의 타측으로부터 상기 몸체부와 나란하게 연장되다 끝단이 상방으로 굽어진 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  31. 제 1 항에 있어서, 상기 제3 방향을 따라 상기 프레임에 체결되어 상기 프레임에 체결된 제1 체결부재들에 각각 접하는 제3 체결부재들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  32. 평판 디스플레이 검사를 위한 프로브 유닛에 있어서,
    평판 디스플레이의 회로 단자와 접촉하여 테스터의 전기적 신호를 평판 디스플레이로 전달해주며 제1 방향으로 나열된 프로브 핀들;
    상기 프로브 핀들의 양단부를 지지하는 적어도 2개 이상의 지지대들; 및
    상기 지지대들을 지지하는 프레임를 포함하며,
    상기 프로브 핀들이 상기 지지대들 사이에서 고정되도록 상기 지지대들 중 일 지지대가 나머지 지지대 방향으로 이동 가능하게 상기 프레임의 저면에 설치되는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  33. 제 32 항에 있어서,
    상기 프레임에 체결되어 상기 지지대를 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 고정하는 제1 체결부재들; 그리고
    상기 프레임에 체결되어 상기 지지대를 상기 제1 및 제2 방향들에 수직하는 제3 방향으로 고정하는 제2 체결부재들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  34. 피검체를 전기적으로 검사하기 위한 공간이 마련된 하우징;
    상기 하우징 내부에 배치되어 상기 피검체를 지지하는 스테이지;
    상기 작업 스테이지 상에 지지된 피검체의 주변부에 배치되며, ⅰ)제1 방향으로 나열되어 상기 피검체의 제1 단자들에 접촉하는 제1 프로브 핀들, ⅱ)상기 제1 프로브 핀들의 상부에 배치되며, 상기 제1 프로브 핀들 사이에 각각 위치하도록 상기 제1 방향으로 나열된 제2 프로브 핀들, ⅲ)상기 각각의 제1 프로브 핀의 양단부를 지지하는 제1 지지부재, ⅳ)상기 제1 지지부재 상부에 배치되어 상기 각각의 제2 프로브 핀의 양단부를 지지하는 제2 지지부재, ⅴ)상기 제1 및 제2 지지부재들을 지지하는 프레임, ⅵ)상기 프레임에 상기 제1 방향에 대하여 경사지게 체결되어 상기 제1 및 제2 지지부재들을 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 가압하는 제1 체결부재들 및 ⅶ)상기 프레임에 체결되어 상기 제1 및 제2 지지부재들을 상기 제1 및 제2 방향들에 수직하는 제3 방향으로 가압하는 제2 체결부재들을 포함하는 프로브 유닛; 그리고
    상기 제1 및 제2 프로브 핀들에 전기적 신호를 제공하여 상기 피검체의 이상 여부를 검사하는 테스트 유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
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