KR100670557B1

KR100670557B1 - 프로브 어셈블리

Info

Publication number: KR100670557B1
Application number: KR1020050076227A
Authority: KR
Inventors: 신동원; 김석중
Original assignee: 주식회사 파이컴
Priority date: 2005-08-19
Filing date: 2005-08-19
Publication date: 2007-01-17

Abstract

본 발명은 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 어셈블리에 관한 것으로, 본 발명의 프로브 어셈블리는 검사 장비의 프로브 아암부에 결합되는 고정 플레이트, 고정 플레이트의 저면 일측에 결합되는 프로브 홀더, 프로브 홀더의 저면에 장착되는 가이드 블록, 가이드 블록의 장착부에 장착되는 프로브들을 포함한다. 가이드 블록의 장착부는 일측면에 프로브들이 삽입되는 홈을 갖으며, 홈 내부에는 프로브들이 끼워져 고정되는 슬롯들이 제공된다. 프로브는 가이드 블록의 장착부의 홈에 삽입되어 탄력적으로 고정되는 제1탄성빔부와, 제2탄성빔부를 갖는다. 이와 같은 본 발명의 프로브 어셈블리는 프로브의 제1탄성빔부와 제2탄성빔부가 가이드 블록의 홈의 저면과 상면에 탄력적으로 고정되기 때문에 가이드 블록에 프로브들을 장착하는 조립성이 뛰어나다.

프로브, 블록

Description

프로브 어셈블리{PROBE ASSEMBLY}

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 어셈블리의 사시도이다.

도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 어셈블리의 측면도이다.

도 3a 및 도 3b는 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 어셈블리의 주요부 확대도이다.

도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 블록의 사시도이다.

도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 블록의 분해 사시도이다.

도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 블록의 단면도이다.

도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 블록에서 프로브와 가이드 블록을 보여주는 사시도이다.

도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브를 보여주는 정면도이다.

도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 프로브 어셈블리의 측면도이다.

도 10은 본 발명의 제2실시예에 따른 프로브 블록의 단면도이다.

도 11 및 도 12는 도 10에 도시된 가이드 블록 2개를 이웃하여 배치한 변형예이다.

도 13 및 도 14는 본 발명의 변형예에 따른 프로브 어셈블리의 주요부 확대도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *

102 : 아암

104 : 헤드

110 : 고정 플레이트

120 : 기판 홀더

130 : 프로브 블록

132 : 가이드 블록

150 : 프로브

본 발명은 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 어셈블리에 관한 것이다.

일반적으로 액정표시장치(TFT-LCD)와 같은 평판 디스플레이(flat panel display)는 양산기술 확보와 연구개발의 성과로 대형화와 고해상도화가 급속도로 진전되어 노트북 컴퓨터(computer)용 뿐만 아니라 대형 모니터(monitor) 응용 제품으로도 개발되어 기존의 CRT(cathode ray tube) 제품을 점진적으로 대체하고 있어 디스플레이 산업에서의 그 비중이 점차 증대되고 있다.

이와 같은 평판 디스플레이(flat panel display)는 제조라인의 최종 단계에서 평판 디스플레이의 패드전극에 전기신호를 인가함으로써 평판표시소자의 정상 유무를 확인하여 불량 표시소자를 검사하는 테스트(Test)공정을 진행하고 있다. 이와 같은 평판 디스플레이의 테스트는, 프로브 블록을 구비한 프로브 어셈블리를 이용하여 이루어지고, 이와 같은 프로브 어셈블리의 프로브 블록은, 니들(Needle)형, 블레이드(Blade)형 및 필름(Film)형 등과 같이 다양한 형태로 개발 사용되고 있다.

이중에서 니들형의 프로브 블록은 니들형의 프로브들을 고정하는데 에폭시 수지를 사용하기 때문에, 프로브들이 에폭시 수지의 변형에 의하여 틀어지는 문제를 갖고 있다. 특히, 니들형의 프로브 블록은 프로브들의 외경 축소의 한계가 있고, 따라서 프로브 홀더의 한정된 장착면에 길이방향으로 필요로 하는 수만큼의 프로브들을 일렬로 배열시키기가 도저히 불가능한 폐단이 있어 최근패턴의 고집적화 추세에 적절히 대응하지 못하고 있다.

이를 해결하기 위해서 블레이드형의 프로브 블록이 제안되었으나, 블레이드형의 프로브 블록은 외부로 노출되는 부분이 많아서 신호 전달에 불안전성을 갖고 있을 뿐만 아니라, 프로브들(블레이드형)을 고정하기 위한 별도의 고정구조물이 필요했기 때문에, 조립 작업이 어렵고 힘든 단점이 있으며 그로 인해 조립작업 시간이 지연되고 생산성이 떨어지는 문제점까지 발생되고 있다. 특히, 블레이드형의 프로브 블록은 프로브들이 고정구조물에 의해 프로브 홀더에 고정되기 때문에, 고정구조물을 제거해야만 프로브를 교체할 수 있어 유지 보수성이 낮다는 단점이 있다.

본 발명의 목적은 조립 과정이 단순한 새로운 형태의 프로브 블록 및 프로브 어셈블리를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 프로브의 교체가 용이한 새로운 형태의 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 및 프로브 어셈블리를 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 자체 탄성을 이용하여 가이드 블록에 고정 가능한 프로브가 구비된 프로브 블록 및 프로브 어셈블리를 제공하는데 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 프로브 블록은 피검사체의 패턴과 접촉되는 제1접촉단을 갖는 제1탄성빔부, 상기 제1탄성빔부의 일단으로부터 절곡되어 연장되는 연결빔부, 상기 제1탄성빔부와 나란한 방향으로 상기 연결빔부으로부터 절곡되어 연장되는 제2탄성빔부를 갖는 프로브들; 및 일측면에 상기 프로브들이 삽입되는 홈을 갖으며, 상기 홈 내부에는 상기 프로브들이 끼워져 고정되는 슬롯들이 형성된 장착부를 갖는 가이드 블록을 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 가이드블록의 장착부는 상기 홈의 상면과 하면에 각각 상기 슬롯들을 가로지르는 방향으로 형성된 걸림턱을 더 포함하고, 상기 프로브는 상기 제1탄성빔부와 제2탄성빔부가 각각 상기 가이드 블록의 상기 홈의 하면과 상면에 형성된 걸림턱에 끼워져 고정되도록 상기 제1탄성빔부와 제2탄성빔부에 형성되는 걸림후크를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브는 상기 피검사체의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 회로기판의 패턴과 접촉되는 제2접촉단을 더 포함하되, 상기 제2접촉단은 상기 제 2 탄성빔부의 끝단부에 형성될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브는 상기 제2탄성빔부로부터 절곡되어 형성되는 제3탄성빔부를 더 포함하고, 상기 제3탄성빔부는 상기 피검사체의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 회로기판의 패턴과 접촉되는 제2접촉단을 갖을 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 가이드블록은 상면에 상기 프로브의 제3탄성빔부가 끼워져 고정되는 슬롯들이 형성될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 가이드블록은 타측면에 상기 프로브들이 삽입되는 홈을 갖으며, 상기 홈 내부에는 상기 프로브들이 끼워져 고정되는 슬롯들이 형성된 제2장착부를 더 포함할 수 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 프로브 어셈블리는 검사 장비의 프로브 아암부에 결합되는 고정 플레이트; 상기 고정 플레이트의 저면 일측에 결합되는 프로브 홀더; 상기 프로브 홀더의 저면에 장착되는 그리고 일측면에 프로브들이 삽입되는 홈을 갖으며, 상기 홈 내부에는 프로브들이 끼워져 고정되는 슬롯들이 형성된 장착부를 갖는 가이드 블록; 상기 가이드 블록의 장착부의 홈에 삽입되어 탄력적으로 고정되는 제1탄성빔부와 제 2 탄성빔부를 갖는 프로브들; 상기 고정 플레이트의 저면 타측에 결합되는 기판 홀더; 및 상기 기판 홀더의 저면에 장착되는 그리고 상기 프로브들로 피검사체로 제공될 전기적 신호를 제공하는 회로기판을 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 가이드 블록의 장착부는 상기 홈의 저면과 상면에 상기 프로브의 제1탄성빔부가 끼워져 고정되는 슬롯들과 상기 프로브의 제2 탄성빔부가 끼워져 고정되는 슬롯들이 형성될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브는 상기 제1탄성빔부와 상기 제2탄성빔부를 탄력적으로 연결하는 연결빔부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브는 상기 연결빔부로부터 상기 제2탄성빔부와 반대방향으로 절곡되어 형성되는 제 3 탄성빔부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브는 피검사체의 패턴과 접촉되는 제1접촉단과, 상기 피검사체의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 회로기판의 패턴과 접촉되는 제2접촉단을 갖되; 상기 프로브의 제1접촉단은 제1탄성빔부의 끝단부에 위치되고, 상기 가이드블록의 저면으로 돌출되며, 상기 프로브의 제2접촉단은 제3탄성빔부의 끝단부에 위치되고 상기 기판 홀더의 저면으로 돌출될 수 있다.

예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.

본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 14에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.

본 발명의 기본적인 의도는 프로브(150)들과 가이드 블록(132)의 고정을 보다 용이하게 하기 위한 것으로, 이를 달성하기 위하여 본 발명의 프로브 어셈블리(100)는 자체 탄성을 이용하여 가이드 블록(132)에 고정될 수 있도록 하는 구조를 갖는 프로브(150)를 갖는데 그 특징이 있다.

일반적으로, 디스플레이 패널 검사를 위한 장치는 다수개의 프로브 어셈블리(100)들이 베이스 플레이트(미도시됨)상에 고정 배치되어 디스플레이 패널(이하 LCD 패널)을 검사하게 된다.

도 1 내지 도 3b를 참조하면, 본 발명의 프로브 어셈블리(100)는 베이스 플레이트(미도시됨)에 고정 배치되는 아암(102)과, 아암(102)의 선단에 고정볼트에 의해 서로 체결되는 헤드(104)를 포함하며, 이 헤드(104)는 LCD 패널 검사 과정에서 상하로 유동이 발생할 수 있도록 헤드(104)와 아암(102) 사이에는 리니어 가이드(106)가 설치된다. 헤드(104)의 저면에는 고정 플레이트(110)가 착탈 가능하게 결합되는데, 이 고정플레이트(110)에는 프로브 블록(130)과, 기판 홀더(120)가 설치된다.

도 4 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 프로브 어셈블리(100)에서 가장 중요한 구성요소인 프로브 블록(130)은 가이드 블록(132)과 이 가이드 블록(132)에 클립(clip)방식으로 탈부착되는 다수의 프로브(150)들을 갖는다. 프로브(150)는 가이드 블록(132)의 홈(132a)에 결합될 때, 약간 수축되면서 홈(132a)의 저면/상면슬롯(136a,136b)에 끼워지고, 수축되었던 프로브(150)가 원상태로 회복되면서 그 탄성 력에 의해 홈(132a)의 저면슬롯(136a)과 상면슬롯(136b)에 탄력적으로 고정되는 것이다. 즉, 프로브(150)의 제1탄성빔부(152)와 제2탄성빔부(156)는 가이드 블록(132)의 홈(132a)의 저면슬롯(136a)과 상면슬롯(136b)에 억지 끼워 맞춤으로 고정되는 것이다.

도 6 및 도 8을 참조하면, 프로브(150)는 얇은 도전성 금속판으로 이루어지는 블레이드 타입으로, 가이드 블록(132)에 탄력적으로 끼워져 결합될 수 있는 구조적인 특징을 갖는다.

프로브(150)의 구조적인 특징을 좀 더 자세히 살펴보면, 프로브(150)는 제1탄성빔부(152), 제1탄성빔부(152)의 일단으로부터 절곡되어 형성된 연결빔부(154), 연결빔부(154)의 끝단으로부터 절곡되어 형성되는 제2탄성빔부(156) 그리고 제2탄성빔부(156)로부터 절곡되어 형성되는 제3탄성빔부(158)를 갖는다.

프로브(150)의 제1탄성빔부(152)와 제2탄성빔부(156) 그리고 연결빔부(154)는 가이드블록(132)의 홈(132a)에 삽입되는 부분으로, 제1탄성빔부(152)는 저면슬롯(136a)에 끼워져 고정되고, 제2탄성빔부(156)는 상면슬롯(136b)에 끼워져 고정된다. 이처럼, 제1,2탄성빔부(152,156)는 저면/상면슬롯(136a,136b)속에 은폐되기 때문에 별도의 절연이 필요 없을 뿐만 아니라 안정적인 신호 전달이 가능한 각별한 효과를 갖는다. 또한, 도 3a 및 도3b에 도시된 바와 같이, 제1접촉단(152b)은 LCD 패널(10)의 패턴과 접촉될 때, 제1접촉단(152b)이 받는 힘을 제1탄성빔부(152)가 흡수하여 휘어지면서 제1접촉단(152b)들간의 오버 드라이브(over drive)값을 확보할 수 있는 것이다.

제1탄성빔부(152)는 홈(132a)의 저면쪽으로 향해 돌출된 걸림후크(152a)와, 제1탄성빔부(152)의 끝단에 하향 절곡되어 가이드 블록(132)의 저면(135a)으로부터 노출되는 제1접촉단(152b)을 갖는다. 이 제1접촉단(152b)은 피검사체인 LCD 패널(10)의 패턴에 접촉되는 부분이며, 걸림후크(152a)는 가이드 블록(132)의 홈(132a)의 저면에 형성된 걸림턱(134)에 걸리는 부분이다.

제2탄성빔부(156)는 제1탄성빔부(152)와 나란한 방향으로 형성되며, 제2탄성빔부(156) 역시 제1탄성빔부(152)와 마찬가지로 걸림후크(156a)를 갖고 있으며, 이 걸림후크(156a)는 홈(132a)의 상면에 형성된 걸림턱(134)에 걸리게 된다.

제3탄성빔부(158)는 제2탄성빔부(156)로부터 절곡되어 가이드블록(132)의 상면(135b)에 형성된 슬롯(135c)에 삽입되며, 제3탄성빔부(158)는 상향 절곡된 제2접촉단(158a)을 갖는다. 제2접촉단(158a)은 기판 홀더(120)의 저면쪽으로 돌출된다. 제2접촉단(158a)은 LCD 패널(10)의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 회로기판(122)의 패턴과 접촉되는 부분이다. 여기서, 회로기판(122)은 검사장치의 테스트 신호를 받아서 LCD 패널(10)로 보내주기 위한 것으로, 이 회로기판(122)은 LCD 패널(10)에 부착되는 구동 IC와 동일한 구동 IC(124)를 갖는다. 회로기판(122)은 기판 홀더(120) 저면에 설치되며 일단은 가이드 블록(132)과 프로브 홀더(140) 사이에 삽입된다. 한편, 기판 홀더(120)에는 구동IC(124)가 위치되는 홈(120a)이 형성되어 있다. 이러한 회로기판(122)은 플렉시블 기판을 사용하는 것이 바람직하다.

상술한 바와 같이, 프로브(150)는 제1탄성빔부(152)와 제2탄성빔부(156)가 가이드 블록(132)의 홈(132a)에 삽입되고 가이드 블록(132)에 형성된 저면슬롯(136a)과 상면슬롯(136b)에 끼워지면서 프로브(150)들 간의 간격이 유지되게 되고, 제1탄성빔부(152)와 제2탄성빔부(156)의 걸림후크(152a,156a)가 가이드 블록(132)의 걸림턱(134)에 걸리면서 프로브(150)가 가이드 블록(132)의 홈(132a)으로부터 빠지지 않도록 잡아주게 된다.

가이드 블록(132)은 세라믹 재질의 소정길이를 갖는 사각 블록으로, 일측면에는 프로브(150)들이 삽입되어 장착되는 장착부(131)를 갖는다. 장착부(131)는 일측면으로부터 형성된 홈(132a)과, 일측면과 홈(132a)의 내부에 프로브(150)들이 끼워져 고정되는 수개의 슬롯(136a,136b)들이 일정간격으로 제공되며, 저면슬롯(136a)들과 상면슬롯(136b)들을 가로지르는 방향으로 걸림턱(134)이 제공된다. 이 걸림턱(134)에는 프로브(150)의 걸림후크(152a,156a)가 걸리면서 고정이 된다. 저면슬롯(136a)과 상면슬롯(136b)은 가이드 블록(132)의 일측면으로 연장되며, 특히 가이드 블록(132)의 상면(135b)에는 상면슬롯(136b)으로부터 연장되어 형성된 슬롯(135c)들이 제공된다. 가이드 블록(132)의 상면(135b)에 형성된 슬롯(135c)에는 프로브(150)의 제3탄성빔부(158)가 위치된다. 한편, 도 5에서와 같이 가이드 블록(132)은 홈(132a)과 슬롯들(136a,136b) 가공을 위해 상부 블록(a)과 하부 블록(b)으로 나누어 각각 제작된 후 조립될 수 있다. 본 실시예에서는 가이드 블록(132)의 일측면에만 장착부(131)가 제공된 것으로 설명하였으나, 이는 하나의 예에 불과하며, 장착부(131)는 필요에 따라 가이드 블록(132)의 양측면에 서로 대응되게 제공될 수 있다.

가이드 블록(132)과 프로브 홀더(140)의 결합은 측면에 형성된 나사홀(142;도 5에 도시됨)들에 나사 결합되는 측면 고정판(144)들에 의해 이루어진다.

프로브 블록(130)이 결합된 프로브 홀더(140)는 고정 플레이트(110)의 저면 일측에 나사 결합되며, 그 옆으로는 기판 홀더(120)가 고정 플레이트(110)에 결합된다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 프로브 어셈블리(100)는 프로브(150)가 가이드 블록(132)에 고정되는 구조 방식 자체가 프로브(150)의 제1탄성빔부(132)와 제2탄성빔부(136)의 자체 탄성력을 이용하기 때문에 별도의 프로브(150) 고정을 위한 부품이 필요치 않다는데 그 특징이 있다. 특히, 프로브 블록(130)은 가이드 블록(132)에서 프로브(150)의 분리 교체가 선택적으로 가능하기 때문에 프로브(150)의 교체 작업이 용이할 수 있다.

(프로브 어셈블리의 다른 실시예)

도 9 내지 도 10은 프로브 어셈블리의 다른 실시예를 보여주는 도면들이다.

도 9 내지 도 10을 참조하면, 프로브 어셈블리(100')는 앞에서 설명한 첫 번째 실시예에 따른 프로브 어셈블리(100)와 동일한 구성과 기능을 갖는 아암(102), 헤드(104), 리니어 가이드(106), 고정 플레이트(110), 프로브 블록(130'), 기판 홀더(120) 등을 포함하여, 이들에 대한 설명은 첫 번째 실시예에서 상세하게 설명하였기에 본 실시예에서는 생략하기로 한다. 다만, 본 실시예에서는 첫 번째 실시예의 프로브(150)보다 단순한 형상의 프로브(150')를 갖는데 그 특징이 있다.

프로브(150')는 제2접촉단(156b)이 제2탄성빔부(156)의 끝단부에 형성된 것 이 특징이다. 이처럼, 제2접촉단(156b)이 제2탄성빔부(156)의 끝단부에 형성된 프로브(150')를 적용하는 경우에는 회로기판(122)과 기판 홀더(120)의 위치가 다소 변경될 수 있다. 즉, 회로기판(122)은 가이드 블록(132')과 프로브 홀더(140) 사이에 배치되고, 그 회로기판(122) 위에 기판 홀더(120)가 배치되며, 그 기판 홀더(120) 위에 프로브 홀더(140)가 배치되게 된다.

이와 같이, 본 실시예의 프로브(150')는 제1접촉단(152b)과 제2접촉단(156a) 사이의 길이를 짧게 구현할 수 있고, 단순한 형상이기 때문에 신호 전달과정에서의 누설 전류를 최소화할 수 있는 각별한 효과를 갖는다.

도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 2개의 가이드 블록(132'-1,132'-2)을 서로 대칭적으로 이웃하여 배치하되, 어느 하나의 가이드 블록(132'-1)에 장착되는 프로브(150')들은 다른 하나의 가이드블록(132'-2)에 장착된 프로브(150')들 사이사이에 배치될 수 있도록 제공된다. 이러한 구조적인 특징에 의해, 하나의 가이드 블록(132'-1)과 다른 하나의 가이드 블록(132'-2)에 설치되는 프로브(150')들은 서로 이웃하는 프로브(150')들의 제1접촉단(152b)간의 피치(L1)를 첫 번째 실시예 보다 좁게 형성할 수 있는 것이다.

이와 같이, 본 발명의 변형예에서는 가이드 블록(132')이 2개가 사용되는 단점은 있지만, LCD 패널(10)의 패턴 간격이 조밀한 경우에 용이하게 적용할 수 있는 이점이 있다.

도 13에 도시된 바와 같이, 고정 플레이트(110)의 저면에는 프로브 블록(130')이 나사(점선으로 표시됨)에 의해 고정되며, 가이드 블록(132')과 프로브 홀더(140)의 결합은 나사(점선으로 표시됨) 체결에 의해 이루어진다. 한편, 가이드 블록(132')에 설치되는 프로브(150")는 도 10에 도시된 프로브(150')와 유사한 구조를 갖되, 제1탄성빔부(152)로부터 절곡되어 형성된 제4탄성빔부(159)를 갖으며, 가이드 블록(132')의 저면에는 슬롯(133)이 형성된다는데 그 특징이 있다. 특히, 제4탄성빔부(159)의 제1접촉단(152b)이 위치되는 슬롯(133)의 일부분은 충분한 깊이를 갖음으로써, 탄성력에 의해 슬롯(133) 안쪽으로 이동되는 제4탄성빔부(159)의 끝단부를 충분히 수용할 수 있다. 도 14에서와 같이, 제1접촉단(152b')은 스프링 타입으로 형성될 수 있다. 이처럼 스프링 타입의 제1접촉단(152b')은 피검사체인 LCD 패널(10)의 패턴과 접촉될 때 충분한 탄성력을 갖기 때문에, 제1접촉단(152b')들의 높이차이로 인한 접촉 불량을 최소화할 수 있는 이점이 있다. 참고로, 도 14에서 LCD 패널(10)과 접촉될 때 제1접촉단(152b')의 변형 상태는 점선으로 표시하였다. 이러한 구조의 프로브(150")는 제1접촉단(152b)들의 높낮이에 대한 오차값을 충분히 보상할 수 있는 탄성력을 갖기 때문에, 오버드라이브 값을 확보할 수 있는 것이다.

한편, 본 발명은 상기의 구성으로 이루어진 프로브 어셈블리에 있어 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있다. 하지만, 본 발명은 상기의 상 세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 프로브 어셈블리는 프로브의 자체 탄성력을 이용하기 때문에 가이드 블록에 프로브들을 장착하는 조립성이 뛰어나다. 또한, 본 발명의 프로브 어셈블리는 프로브를 통한 신호 전달 효율을 증대시키게 되어 신호 전달 과정에서의 누설 전류를 최소화함으로써 디스플레이 패널 검사에 대한 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명의 프로브 어셈블리는 가이드 블록에서 프로브의 분리 교체가 선택적으로 가능하여 교체 작업 등이 용이하다.

그리고, 본 발명의 프로브 어셈블리는 LCD 패널의 패턴 간격이 조밀한 파인피치에 대응이 가능하다.

Claims

삭제
평판 디스플레이 검사를 위한 프로브 블록에 있어서:

일측면에 홈을 갖는 그리고 상기 일측면에는 슬롯들이 형성된 장착부를 갖는 가이드 블록; 및

상기 가이드 블록의 홈에 삽입되면서 상기 슬롯에 끼워져 탄력적으로 고정되는 프로브들을 포함하되;

상기 프로브는 상기 가이드 블록의 홈에 위치되는 연결빔부, 상기 연결빔부의 양단으로부터 절곡되어 연장되고 상기 가이드 블록의 홈에 탄력적으로 고정되는 제1탄성빔부와 제2탄성빔부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
제2항에 있어서,

상기 가이드블록의 장착부는 상기 홈의 상면과 하면에 각각 상기 슬롯들을 가로지르는 방향으로 형성된 걸림턱을 더 포함하고,

상기 프로브는 상기 제1탄성빔부와 제2탄성빔부가 각각 상기 가이드 블록의 상기 홈의 하면과 상면에 형성된 걸림턱에 끼워져 고정되도록 상기 제1탄성빔부와 제2탄성빔부에 형성되는 걸림후크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
제2항 또는 제3항에 있어서,

상기 프로브는

피검사체의 패턴과 접촉되는 제1접촉단과, 상기 피검사체의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 회로기판의 패턴과 접촉되는 제2접촉단을 더 포함하되,

상기 제1접촉단은 상기 제1탄성빔부의 끝단부에 형성되고,

상기 제2접촉단은 상기 제 2 탄성빔부의 끝단부에 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
제2항 또는 제3항에 있어서,

상기 프로브는

상기 제2탄성빔부로부터 절곡되어 형성되는 제3탄성빔부를 더 포함하고,

상기 제3탄성빔부는 상기 피검사체의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 회로기판의 패턴과 접촉되는 제2접촉단을 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
제5항에 있어서,

상기 가이드블록은 상면에 상기 프로브의 제3탄성빔부가 끼워져 고정되는 슬롯들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
제2항 또는 제3항에 있어서,

상기 프로브는 상기 제1탄성빔부로부터 절곡되어 형성되는 그리고 상기 가이드 블록의 저면에 위치되는 제4탄성빔부를 더 포함하고,

상기 제4탄성빔부는 피검사체의 패턴과 접촉되는 제1접촉단을 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
제7항에 있어서,

상기 제1접촉단은 스프링 타입으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
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평판 디스플레이 검사를 위한 프로브 어셈블리에 있어서:

검사 장비의 프로브 아암부에 결합되는 고정 플레이트;

상기 고정 플레이트 하부에 구비되는 그리고 일측면에 홈이 형성된 장착부를 갖는 가이드 블록;

상기 검사 장비와 전기적 신호가 연결되도록 형성되고, 상기 고정 플레이트 하부에 위치되는 회로기판;

상기 가이드 블록의 장착부에 삽입되어 탄력적으로 고정되되, 피검사체와 접촉되는 일단과, 상기 피검사체의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 상기 회로기판과 접촉되는 타단을 갖는 프로브들을 포함하되;

상기 프로브는

상기 가이드 블록의 장착부의 홈에 삽입되어 탄력적으로 고정되는 제1탄성빔부와 제 2 탄성빔부를 포함하고,

상기 가이드 블록은 상기 장착부에 상기 프로브의 제1탄성빔부가 끼워져 고정되는 슬롯들과 상기 프로브의 제2탄성빔부가 끼워져 고정되는 슬롯들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 어셈블리.
제13항에 있어서,

상기 프로브는 상기 제1탄성빔부와 상기 제2탄성빔부를 탄력적으로 연결하는 연결빔부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 어셈블리.
제13항에 있어서,

상기 프로브는

상기 제2탄성빔부로부터 절곡되어 형성되는 제3탄성빔부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 어셈블리.
제15항에 있어서,

상기 가이드블록은 상면에 상기 프로브의 제3탄성빔부가 끼워져 고정되는 슬롯들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.
제15항에 있어서,

상기 프로브는 피검사체와 접촉되도록 프로브의 일단에 형성된 제1접촉단과, 상기 피검사체로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 회로기판과 접촉되도록 프로브의 타단에 형성된 제2접촉단을 갖되;

상기 프로브의 제1접촉단은 제1탄성빔부의 끝단부에 위치되고, 상기 가이드블록의 저면으로 돌출되며,

상기 프로브의 제2접촉단은 제3탄성빔부의 끝단부에 위치되고 상기 기판 홀더의 저면으로 돌출되는 것을 특징으로 하는 프로브 어셈블리.
평판 디스플레이 검사를 위한 프로브 어셈블리에 있어서:

검사 장비의 프로브 아암부에 결합되는 고정 플레이트;

상기 고정 플레이트 하부에 구비되는 그리고 일측면에 홈이 형성된 장착부를 갖는 가이드 블록;

상기 검사 장비와 전기적 신호가 연결되도록 형성되고, 상기 고정 플레이트 하부에 위치되는 회로기판;

상기 가이드 블록의 장착부에 삽입되어 탄력적으로 고정되되, 피검사체와 접촉되는 일단과, 상기 피검사체의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 상기 회로기판과 접촉되는 타단을 갖는 프로브들을 포함하되;

상기 프로브는

상기 가이드 블록의 장착부의 홈에 삽입되어 탄력적으로 고정되는 제1탄성빔부와 제 2 탄성빔부 그리고 상기 제1탄성빔부로부터 절곡되어 형성되는 그리고 상기 가이드 블록의 저면에 위치되는 제4탄성빔부를 포함하고,

상기 제4탄성빔부는 피검사체의 패턴과 접촉되는 제1접촉단을 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 어셈블리.
제18항에 있어서,

상기 제1접촉단은 스프링 타입으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로브 어셈블리.