KR200415777Y1 - 엘시디 검사용 프로브 카드 - Google Patents

Abstract

본 고안은 엘시디 검사용 프로브 카드에 대한 것으로서, 이를 위하여 본 고안은 바디(10)의 선단에 결합되면서 저면 후단부에는 저면으로부터 소정의 높이로 하향 돌출되도록 위치결정용 핀(21)을 복수로 형성하고, 저면에는 마그네트(22)가 삽입된 헤드(20)와; 상기 헤드(20)의 저면 선단부에 결합되며, 저면으로는 니들 어셈블리(31)와 기판 어셈블릭(32)가 결합되는 프로브 블록(30)과; 상기 프로브 블록(30)의 후방에서 상기 헤드(20)의 저면 후단부에 결합되는 콘넥트 블록(40); 상기 콘넥트 블록(40)은, 상기 헤드(20)의 위치결정용 핀(21)과 동일 수직선상에 판면을 수직 관통시켜 핀 홀(41a)을 형성하고, 선단부는 소정의 높이로 하향 연장되도록 하여 돌출부(41b)를 형성하는 금속 재질의 블록 바디(41)와; 상기 블록 바디(41)의 선단부측 상기 돌출부(41b)의 저면에 접합되며, 저면으로는 하향 개방되면서 소정의 높이로 상향 요입되도록 한 슬릿(42a)이 일정한 간격으로 형성되도록 절연성 재질로 이루어지는 니들 가이드(42)와; 상기 니들 가이드(42)의 각 슬릿(42a)에 삽입되면서 일단이 상기 프로브 블록(30)측 기판 어셈블리(32)의 접속 단자와 접속되는 니들(43)과; 상기 블록 바디(41)에서 상기 돌출부(41b) 후방의 저면에 접합되며, 일단은 상기 니들(43과 솔더링 접합되고, 타단은 인터페이스부로부터 인출되는 플렉시블 기판과 솔더링 접합되는 하드 기판(44)으로 구비되도록 하는 구성으로서, 인터페이스부와 프로브 블록(30)간 전기적 신호 연결을 안정적으로 중계할 수 있도록 하는 동시에 프로브 블록(30)측 니들 어셈블리(31)의 교체에 따른 작업성과 조 립성이 개선되도록 하는 특징이 있다.

엘시디 검사, 프로브 카드, 인터페이스부, 콘넥트

Description

엘시디 검사용 프로브 카드{Probe card for testing LCD}

도 1은 본 고안에 따른 엘시디 검사용 프로브 카드의 사시도,

도 2는 본 고안에 따른 엘시디 검사용 프로브 카드를 도시한 측면도,

도 3은 본 고안의 콘넥트 블록의 분리된 구성을 도시한 측단면도,

도 4는 본 고안에 따른 콘넥트 블록의 결합 구조를 도시한 요부 확대도,

도 5는 본 고안의 니들 가이드를 도시한 사시도,

도 6은 본 고안에 따른 콘넥트 블록과 프로브 블록의 조립에서 상호 접속되는 접속 구조를 도시한 요부 확대도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 바디 20 : 헤드

21 : 위치결정용 핀 22 : 마그네트

30 : 프로브 블록 31 : 니들 어셈블리

32 : 기판 어셈블리 40 : 콘넥트 블록

41 : 블록 바디 42 : 니들 가이드

43 : 니들 44 : 하드 기판

본 고안은 엘시디 검사용 프로브 카드에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 프로브 블록에 전원을 인가하는 신호선의 조립 구성과 프로브 블록의 리페어(repair) 특성이 개선되도록 하는 엘시디 검사용 프로브 카드에 관한 것이다.

일반적으로 LCD(액정표시장치)는 텔레비젼이나 노트북, 컴퓨터와 같은 영상 표시 장치로서 주로 사용되고 있고, 그 외에도 사용 분야가 확대되면서 최근 그 수요가 대폭적으로 급증하고 있다.

LCD는 통상 제조과정에서 가장자리 부분에 전기적 신호(영상신호, 동기신호, 색상신호 등)를 인가하는 수 십 내지 수 백개의 접속 단자가 고밀도로 배치되도록 하고 있다.

이러한 LCD는 제품에 장착되기 전에 전기적 시험신호를 인가하여 화면의 불량여부를 검사 및 시험하는 출화검사(出畵檢査)를 실시하도록 하고 있고, 이때 LCD의 전기적 특성을 검사하기 위한 수단으로서 구비되는 것이 프로브 카드(probe card)이다.

LCD 검사용 프로브 카드는 본 출원인에 의해서도 이미 다양하게 제안되어 일부는 등록된 바 있다.

LCD 검사용 프로브 카드는 LCD에 형성되는 패턴이 더욱 고밀도화 및 고집적화되고, 그에 따라 패턴 자체의 선폭도 마이크로 단위로 대단히 좁아지고 있으므로 그에 적절히 대응하기 위한 기술 또한 계속적으로 발전을 거듭하고 있다.

즉 LCD의 고화질 구현을 위하여 패턴의 선폭을 줄이기만 하면 되는 것이 아니라 이러한 LCD의 패턴을 정확히 검사하기 위해서는 이들 패턴에 접속 가능한 검사 패턴이 필요로 된다.

따라서 현재는 LCD의 회로 선폭이 마이크로 단위로 형성되면서 이러한 LCD 패턴과의 접속을 위하여 프로브 카드에서의 접속 회로 패턴 또는 접속 단자의 선폭도 LCD 패턴의 선폭과 대응하는 미세한 선폭을 갖도록 해야만 한다.

이와 같이 더욱 선폭이 고집적화되는 LCD의 검사에 적절히 대응할 수 있도록 하기 위하여 프로브 카드의 접속 패턴도 LCD의 패턴에 대응하도록 고집적화시키지 않으면 안된다.

한편 프로브 카드에서의 LCD 패턴과 직접 접속하게 되는 구성을 니들 어셈블리라고 하고, 이 니들 어셈블리에는 LCD 패턴 단자와 접속되도록 하는 복수의 접속 단자가 구비되도록 하고 있다.

프로브 카드에서의 니들 어셈블리에 구비되는 각 니들은 테스터 핸들러로부터 전기적 신호가 인가된다.

다시말해 테스터 핸들러로부터 인가되는 전기적 신호는 인터페이스부를 통해서 다수의 프로브 카드에 전달된다.

이때 인터페이스부로부터 각 프로브 카드에 전기적 신호를 전달하게 되는 수단이 회로 기판이며, 이 회로 기판으로 주로 사용되고 있는 것이 플렉시블 기판이다.

즉 플렉시블 기판은 일단이 인터페이스부에 볼트 체결에 의해 결합되고, 타단은 프로브 카드에 접착제에 의해 접합되도록 하고 있다.

따라서 프로브 카드를 이용하여 장시간동안 LCD 검사를 수행하게 되면 불가피하게 프로브 카드의 접속 니들이 부분적으로 손상 또는 변형되면서 검사 효율을 저하시키게 되므로 그 즉시 교체시켜주는 것이 바람직하다.

하지만 니들 교체를 위해서는 프로브 카드에서 니들 어셈블리가 접착되어 있는 프로브 블록을 반드시 헤드로부터 분리시켜야만 하나 이 프로브 블록에는 니들 어셈블리 이외에도 인터페이스부로부터 전기적 신호를 전달하는 플렉시블 기판의 일단이 접착되어 있으므로 프로브 블록을 헤드로부터 분리시키기 위해서는 인터페이스부에서 플렉시블 기판의 볼트 체결되어 있는 타단을 우선 분리시켜야만 하는 불편함이 있다.

따라서 니들 교체 및 보수를 위해서는 프로브 카드로부터 이격된 거리의 인터페이스부를 우선 분해해야 하고, 다시 프로브 블록을 헤드로부터 분해시켜야만 하므로 작업 시간이 지체되어 검사 효율을 저하시키게 되는 문제점이 있다.

따라서 본 고안은 상술한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위하여 고안된 것으로서, 본 고안의 주된 목적은 프로브 블록과 인터페이스부의 사이로 콘넥트 블록이 구비되도록 하여 조립성이 향상되도록 하는 엘시디 검사용 프로브 카드를 제공하는데 있다.

또한 본 고안의 다른 목적은 니들 교체 및 보수를 위하여 헤드로부터 프로브 블록만을 분리시키기만 하면 되므로 유지 관리가 용이한 엘시디 검사용 프로브 카드를 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 바디의 선단에 결합되면서 저면 후단부에는 저면으로부터 소정의 높이로 하향 돌출되도록 위치결정용 핀을 복수로 형성하고, 저면에는 마그네트가 삽입된 헤드와; 상기 헤드의 저면 선단부에 결합되며, 저면으로는 니들 어셈블리가 결합되도록 한 프로브 블록과; 상기 프로브 블록의 후방에서 상기 헤드의 저면 후단부에 결합되는 콘넥트 블록; 상기 콘넥트 블록은, 상기 헤드의 위치결정용 핀과 동일 수직선상에 판면을 수직 관통시켜 핀 홀을 형성하고, 선단부는 소정의 높이로 하향 연장되도록 하여 돌출부를 형성하는 금속 재질의 블록 바디와; 상기 블록 바디의 선단부측 상기 돌출부의 저면에 접합되며, 저면으로는 하향 개방되면서 소정의 높이로 상향 요입되도록 한 슬릿이 일정한 간격으로 형성되도록 절연성 재질로 이루어지는 니들 가이드와; 상기 니들 가이드의 각 슬릿에 삽입되면서 일단이 상기 프로브 블록측 플렉시블 기판의 접속 단자와 접속되는 니들과; 상기 블록 바디에서 상기 돌출부 후방의 저면에 접합되며, 일단은 상기 니들과 솔더링 접합되고, 타단은 인터페이스부로부터 인출되는 플렉시블 기판과 솔더링 접합되는 하드 기판으로 구비되는 구성이다.

이하 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 더욱 상세히 설명 하면 다음과 같다.

도 1은 본 고안에 따른 엘시디 검사용 프로브 카드를 도시한 사시도이고, 도 2는 본 고안에 따른 엘시디 검사용 프로브 카드를 도시한 측면도이다.

도시한 바와 같이 본 고안의 엘시디 검사용 프로브 카드는 바디(10)와, 바디(10)의 선단에 구비되는 헤드(20)와, 헤드(20)의 저면에서 선단부에 결합되는 프로브 블록(30)과 후단부에 결합되는 콘넥트 블록(40)으로 이루어지는 구성이다.

바디(10)는 엘시디 검사용 프레임에 견고하게 고정되는 고정 수단이다.

이런 바디(10)의 선단에는 헤드(20)가 볼트 및 스크류 결합에 의해서 견고하게 결합되도록 한다.

헤드(20)는 바디(10)의 선단에서 실제 LCD의 패턴과 접속이 가능하도록 구비되는 구성이다.

프로브 블록(30)은 헤드(20)의 저면에서 선단부에 결합되는 구성이며, 이 프로브 블록(30)의 저면으로는 니들 어셈블리(31)가 결합된다.

프로브 블록(30)에서 니들 어셈블리(31)는 저면의 선단부에 구비되며, 니들 어셈블리(31)는 도시하지는 않았으나 니들 가이드에 다수의 박판형 니들 플레이트가 일정 간격으로 구비되도록 하는 구성이다.

즉 니들 어셈블리(31)는 실제 LCD의 패턴 단자에 접촉되면서 전기적 신호를 전달하게 되는 부위로서, 이 니들 어셈블리(31)에 구비되는 니들 플레이트는 식각 등의 박막 패턴 공정을 이용하여 마이크로 단위의 크기로 제작되는 구성이다.

이 니들 플레이트는 LCD의 패턴 단자의 폭보다 얇은 두께로 형성되며, 그 갯 수도 LCD의 접속 단자와 동일한 갯수로서 구비되도록 한다.

이때 니들 어셈블리(31)에서 니들 플레이트는 일단이 LCD의 패턴 단자와 접속이 가능하도록 프로브 블록(30)의 저면 선단에서 전방으로 미세한 길이로서 돌출되는 형상으로 구비되며, 반대측 타단에는 드라이버 IC가 부착된 기판 어셈블리(32)의 일단부측의 접속 단자와 접촉되도록 하고 있다.

이때의 기판 어셈블리(32)는 통상 플렉시블 기판을 사용하고 있다.

니들 어셈블리(31)의 니들 플레이트는 통상 다수의 슬릿이 형성된 절연성 재질의 니들 가이드에 하나씩 삽입되고, 니들 가이드가 프로브 블록(30)에 접합되는 구성으로 이루어진다.

그리고 프로브 블록(30)의 저면에서 니들 어셈블리(31)의 니들 가이드가 선단부측으로 접합되는 구성인데 반해 기판 어셈블리(32)의 플렉시블 기판은 프로브 블록(30) 저면의 니들 가이드 뒤쪽에서 적어도 선단부와 후단부가 접착제에 의해서 접합되어 고정되는 구성으로 구비되도록 한다.

한편 콘넥트 블록(40)은 헤드(20)의 저면에서 선단부에 결합되는 프로브 블록(30)의 후방에 구비되는 구성이다.

도 3은 본 발명의 콘넥트 블록의 분리된 구성을 도시한 측단면도이다.

도시한 바와 같이 콘넥트 블록(40)은 다시 블록 바디(41)와 니들 가이드(42)와 니들(43) 및 하드 기판(44)으로 이루어진다.

콘넥트 블록(40)의 블록 바디(41)는 금속 재질로 이루어지는 구성으로서, 일단부가 소정의 높이로 하향 돌출되게 형성하고, 판면에는 일정한 위치에 수직으로 관통되도록 한 복수의 핀 홀(41a)이 형성되도록 한 구성이다.

그리고 도 4에서 보는바와 같이 콘넥트 블록(40)이 결합되는 헤드(20)의 저면에는 하향 돌출되게 위치결정용 핀(21)이 형성되도록 하고, 이 위치결정용 핀(21)은 헤드(20)의 저면에서 콘넥트 블록(40)의 블록 바디(41)에 형성한 핀 홀(40a)에 맞춤 끼워질 수 있도록 하는 외경을 가지며, 핀 홀(40a)과 동일한 위치와 갯수로서 형성되도록 한다.

또한 헤드(20)의 저면에는 핀결합되는 블록 바디(41)의 결합 상태가 견고하게 유지될 수 있도록 마그네트(22)이 인서트 삽입되도록 한다.

따라서 블록 바디(41)를 헤드(20)의 저면에 밀착시키면서 헤드(20)의 위치결정용 핀(21)이 블록 바디(41)의 핀 홀(40a)로 맞춤 끼워지도록 하면 블록 바디(41)의 상부면이 헤드(20)에 삽입된 마그네트(22)에 견고하게 붙게 된다.

한편 니들 가이드(42)는 블록 바디(41)의 일단부를 하향 돌출되게 한 돌출부(41b)의 저면에 접착제에 의해 접합되는 부도체이다.

도 5는 본 발명의 니들 가이드를 도시한 사시도이다.

도시한 바와 같이 본 발명의 니들 가이드(42)는 판면에 다수의 슬릿(42a)이 형성되도록 한 구성이다.

슬릿(42a)은 니들 가이드(42)의 일단부에서 타단부를 관통되도록 하면서 저면이 폭방향으로 일정한 폭과 간격으로 소정의 깊이로 상향 요입시킨 형상이다.

슬릿(42a)의 갯수는 전술한 프로브 블록(30)의 니들 어셈블리(31)에 구비한 니들 플레이트와 동일한 개수이다.

슬릿(42a)을 형성한 니들 가이드(42)로서 재질은 세라믹이 가장 바람직하며, 그 외의 절연성 재질로도 사용이 가능하다.

니들(43)은 박판을 미세 가공하여 제작되는 마이크로 단위의 미세한 크기로 형성되는 구성으로서, 전도성이 양호한 재질의 박판을 박막 가공 기술 즉 식각 가공 기술을 이용하여 형성한다.

도 2에서 니들(43)은 특정한 형상으로 도시하고 있으나, 이 형상에만 한정되지 않으며, 다만 니들(43)의 선단부는 상하로 휨변형되는 탄성을 갖도록 한다.

하드 기판(44)은 플렉시블 기판에 대해서 휨변형이 없는 인쇄회로기판이다.

하드 기판(44)은 블록 바디(41)의 돌출부(41b)의 뒤쪽에서 블록 바디(41)의 저면과 접착제에 의해 견고하게 접합되는 구성이다.

하드 기판(44)의 선단부에는 접속 단자 패턴이 형성되도록 하여 니들(43)의 후단부가 솔더링되도록 하며, 후단부에는 인터페이스부로부터의 전기적 신호를 전달하게 되는 플렉시블 기판(50)이 솔더링에 의해 접합된다.

이때의 플렉시블 기판(50)은 인터페이스부에서 통상 볼트 체결에 의하여 연결되도록 하고 있다.

따라서 하드 기판(44)은 블록 바디(41)에 견고하게 접합되어 일단에는 니들(43)이 접속되고, 타단에서는 플렉시블 기판(50)의 일단이 단자 접속되면서 전기적 신호를 안정되게 전달하게 된다.

즉 인터페이스부로부터 전달되는 전기적 신호를 플렉시블 기판(50)을 통해서 인가되도록 하고, 플렉시블 기판(50)은 블록 바디(41)에 견고하게 접합시킨 하드 기판(44)으로 신호를 전달하며, 하드 기판(44)에서는 니들(43)의 일단이 솔더링되어 고정되도록 한다.

이와 같이 구성된 본 고안에 따른 프로브 카드의 조립 과정과 그의 작용에 대해 살펴보면 다음과 같다.

헤드(20)는 이미 바디(10)의 선단에 견고하게 체결되어 있으며, 헤드(20)의 저면에는 통상 프로브 블록(30)이 견고하게 결합된다.

그리고 인터페이스부에는 플렉시블 기판(50)의 일단이 볼트 체결에 의해서 결합되도록 한다.

한편 헤드(20)의 저면 뒤쪽에는 저면으로부터 소정의 길이로 하향 돌출되게 위치결정용 핀(21)이 형성되어 있고, 동시에 일면이 저면과 나란하도록 마그네트(22)가 삽입되어 있다.

이러한 헤드(20)의 저면에는 콘넥트 블록(40)이 조립되도록 한다.

콘넥트 블록(40)에는 판면에 수직으로 관통시킨 핀 홀(41a)을 형성하고, 저면에는 접착제를 사용하여 일정한 패턴이 형성되도록 한 하드 기판(44)이 견고하게 접합되도록 한다. 접합된 하드 기판(44)의 선단부는 블록 바디(41)의 돌출부(41b)가 받치고 있게 되며, 이 돌출부(41b)의 저면에는 다수의 슬릿(42a)이 형성되도록 한 니들 가이드(42)가 접착제에 의해 견고하게 접합되도록 한다.

이와 같은 구성의 콘넥트 블록(40)에는 하드 기판(44)의 후단부에 플렉시블 기판(50)의 선단이 솔더링에 의해 고정되도록 한다.

그리고 니들 가이드(42)의 각 슬릿(42a)에는 니들(43)이 각각 삽입되면서 니 들(43)의 후단부는 하드 기판(44)의 선단부에 솔더링 접합되도록 한다.

하드 기판(44)에 니들(43)을 견고하게 고정시키게 되면 결국 콘넥트 블록(40)에는 니들(43)과 하드 기판(44) 및 플렉시블 기판(50)이 일체로 결합된 상태에서 콘넥트 블록(40)을 헤드(20)의 저면에 결합시키게 된다.

이때 콘넥트 블록(40)에는 판면에 수직으로 핀 홀(41a)이 형성되어 있으므로 이 핀 홀(41a)에 헤드(20)의 위치결정용 핀(21)이 맞춤 끼워지도록 한다.

헤드(20)의 위치결정용 핀(21)에 맞추어서 콘넥트 블록(40)을 헤드(20)에 결합시키게 되면 콘넥트 블록(40)의 상부면이 헤드(20)의 저면에 삽입된 마그네트(22)에 의해 견고하게 밀착되는 상태가 된다.

따라서 콘넥트 블록(40)은 헤드(20)의 위치결정용 핀(21)에 의해서 가이드되므로 항상 일정한 면에 결합되는 동시에 마그네트(22)에 상부면이 부착되면서 안전한 결합 상태를 유지할 수가 있다.

한편 콘넥트 블록(40)이 결합되면 그 앞쪽의 헤드(20) 저면 선단부에는 프로브 카드에서 가장 중요하다고 할 수 있는 프로브 블록(30)이 결합되도록 한다.

이때 프로브 블록(30)에는 그 저면으로 이미 니들 어셈블리(31)와 함께 기판 어셈블리(32)가 구비되도록 하고 있고, 이때 기판 어셈블리(32)의 후단부에는 플렉시블 기판의 접속 단자부가 후방으로 미세하게 돌출되어 있는 상태이다.

따라서 헤드(20)에 프로브 블록(30)을 결합시키게 되면 기판 어셈블리(32)측의 후단부에서 플렉시블 기판의 접속 단자부가 콘넥트 블록(40)의 니들(43)에 접촉되는 상태가 된다.

도 6에서와 같이 프로브 블록(30)을 헤드(20)에 결합 시 콘넥트 블록(40)의 니들(43)에 기판 어셈블리(32)의 접속 단자부가 탄력적으로 접촉되면서 안정적으로 전기적 신호가 전달될 수 있도록 한다.

이때 니들(43)의 접속 단부는 상하로 탄력을 갖는 구성이므로 프로브 블록(30)을 헤드(20)에 결합시키게 되면 기판 어셈블리(32)의 플렉시블 기판에 의해 접속 단부가 미세하게 상부로 상승되면서 탄력적으로 눌려지게 된다.

이렇게 프로브 카드를 구비하게 되면 지속적인 LCD의 전기적 특성 검사에 의해 니들 어셈블리(31)의 니들 플레이트가 일부 손상될 수가 있다.

니들 플레이트가 손상되면 안정적인 검사를 위하여 손상된 니들 플레이트 및 니들 플레이트가 구비된 니들 어셈블리(31)를 교체시켜야만 한다.

이를 위해서는 우선 프로브 블록(30)을 헤드(20)로부터 분리시켜야만 하는데 종전에는 프로브 블록(30)을 분리시키기 위해서는 반드시 인터페이스부에 연결된 회로 기판을 분리시키는 작업이 선행되어야만 한다.

하지만 본원고안에서는 헤드(20)로부터 간단히 프로브 블록(30)만을 분리시킬 수가 있고, 분리된 프로브 블록(30)으로부터 손상된 니들 플레이트를 교체할 수가 있다.

따라서 니들 플레이트가 손상되어 교체하게 되는 시간을 최대한 줄일 수가 있게 되며, 또한 교체 작업성을 개선하게 되어 보다 편리하게 유지 관리를 할 수 있도록 한다.

특히 콘넥트 블록(40)은 헤드(20)에 자력에 의해서 고정되므로 별도의 체결 수단이 불필요할 뿐만 아니라 인터페이스부와 프로브 블록(30)으로의 전기적 신호를 안정적으로 중계하도록 한다.

상술한 바와 같이 본 고안은 헤드(20)의 위치결정 핀(21)과 마그네트(22)에 의해서 콘넥트 블록(40)이 항상 일정하고 견고하면서 손쉽게 결합되게 함으로써 인터페이스부와 프로브 블록(30)간 전기적 신호 연결을 안정적으로 중계할 수 있도록 하고, 이 콘넥트 블록(40)에 의해서 프로브 블록(30)측 니들 어셈블리(31)의 니들 플레이트를 교체 시 니들 어셈블리(21)가 결합된 프로브 블록(30)만을 헤드(20)로부터 간단히 분리시키기만 하면 니들 플레이트를 쉽게 교체할 수가 있으므로 더욱 간소화한 작업성 개선과 조립 시 안정된 접속성을 유지시킬 수가 있는 매우 유용한 효과를 제공하게 된다.

Claims (4)

1. 바디(10)의 선단에 결합되면서 저면 후단부에는 저면으로부터 소정의 높이로 하향 돌출되도록 위치결정용 핀(21)을 복수로 형성하고, 저면에는 마그네트(22)가 삽입된 헤드(20)와;

   상기 헤드(20)의 저면 선단부에 결합되며, 저면으로는 니들 어셈블리(31)와 기판 어셈블릭(32)가 결합되는 프로브 블록(30)과;

   상기 프로브 블록(30)의 후방에서 상기 헤드(20)의 저면 후단부에 결합되는 콘넥트 블록(40);

   상기 콘넥트 블록(40)은,

   상기 헤드(20)의 위치결정용 핀(21)과 동일 수직선상에 판면을 수직 관통시켜 핀 홀(41a)을 형성하고, 선단부는 소정의 높이로 하향 연장되도록 하여 돌출부(41b)를 형성하는 금속 재질의 블록 바디(41)와;

   상기 블록 바디(41)의 선단부측 상기 돌출부(41b)의 저면에 접합되며, 저면으로는 하향 개방되면서 소정의 높이로 상향 요입되도록 한 슬릿(42a)이 일정한 간격으로 형성되도록 절연성 재질로 이루어지는 니들 가이드(42)와;

   상기 니들 가이드(42)의 각 슬릿(42a)에 삽입되면서 일단이 상기 프로브 블록(30)측 기판 어셈블리(32)의 접속 단자와 접속되는 니들(43)과;

   상기 블록 바디(41)에서 상기 돌출부(41b) 후방의 저면에 접합되며, 일단은 상기 니들(43과 솔더링 접합되고, 타단은 인터페이스부로부터 인출되는 플렉시블 기판과 솔더링 접합되는 하드 기판(44);

   으로 구비되는 엘시디 검사용 프로브 카드.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 블록 바디(41)의 핀 홀(41a)은 상기 헤드(20)의 위치결정용 핀(21)을 맞춤 끼워지도록 하면서 수용하는 크기의 직경으로 이루어지는 엘시디 검사용 프로브 카드.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 니들 가이드(42)는 세라믹 재질로 구비되는 엘시디 검사용 프로브 카드.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 니들은 상기 기판 어셈블리(32)와 접속되는 선단부가 상하로 휨변형 가능하도록 탄성을 갖는 형상으로 구비되는 엘시디 검사용 프로브 카드.

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