KR102241061B1 - 프로브 블록 조립체 - Google Patents

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KR102241061B1
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김경호
윤형일
구황섭
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Abstract

본 발명에 따른 프로브 블록 조립체는, 기판에 형성되어 있는 기판 패드부와의 연결을 위한 패드 팁과, 피검사체와의 접촉을 위한 프로브 팁을 구비하는 복수 개의 프로브 핀; 상기 복수 개의 프로브 핀을 서로 이격 배치되도록 수용하는 가이드 블록; 및 상기 프로브 핀 및 상기 기판과 각각 연결되고, 상기 패드 팁과 상기 기판 패드부를 서로 전기 연결하도록 형성되는 배선부를 구비하는 배선부 필름을 포함한다.

Description

프로브 블록 조립체{PROBE BLOCK ASSEMBLY}
본 발명은 평판디스플레이(Flat Panel Display, FPD) 패널 등 피검사체의 결함 유무 검사를 위한 프로브 블록 조립체에 관한 것이다.
프로브 블록 조립체는 평판디스플레이(Flat Panel Display, FPD) 패널 등 피검사체의 전기적 특성 및 결함을 검사하는데 사용된다. 평판디스플레이의 핵심 기술인 TFT LCD와 OLED는 모바일과 TV에 이르기까지 그 적용 분야가 확대되었다.
일반적으로, 제조 완료된 평판디스플레이 패널 등은 제품화되기 전 제조 공정에서 발생할 수 있는 결함 유무를 검사하는 과정을 거치게 된다. 검사 방법으로는 평판디스플레이 패널 라인의 단선 검사와 색상 검사를 위한 프로브 블록 조립체를 이용한 점등 검사가 주를 이룬다.
한편, 평판디스플레이 패널 등은 고화질 및 고화소화 추세로 화소의 밀도 역시 지속적으로 증가하고 있다. 따라서, 최근 프로브 블록 조립체는 피검사체(평판디스플레이 패널 등)의 피치 간격 소형화에 대응하여 프로브 핀 간의 피치 또한 극미세로 정렬하여 검사의 정확성을 높일 필요성이 있다.
이와 관련하여, 한국특허 등록 제10-0854757호는 프로브 및 이를 이용한 디스플레이 패널 검사용 프로브 블록을 개시한다. 상기 공보에 개시되어 있는 디스플레이 패널 검사용 프로브블록은, 프로브핀, 다수의 전극 패드가 배열된 피치에 상응하는 피치를 구현하고 인접 배열되는 프로브핀 상호간을 절연시키는 피치구현부를 포함하는 프로브, 피치구현부에 의해 피치가 구현되는 프로브조립체 및 검사시스템에 장착되는 블록베이스로 구성된다. 상기 공보에 따른 디스플레이 패널 검사용 프로브블록은 조밀화되는 다수의 전극 패드에 상응하여 정확한 검사공정을 수행할 수 있으며, 다수의 프로브 중 일부에 손상 또는 변형이 발생하여 보수가 불가능한 경우에는 손상 또는 변형이 발생한 부분만을 교체할 수 있다.
한편, 상술한 한국특허 등록 제10-0854757호의 프로브 및 이를 이용한 디스플레이 패널 검사용 프로브블록은 지속적으로 화소의 밀도가 증가하고 있는 피검사체의 피치 소형화에 대하여 완벽하게 대응하기 어렵고, 서로 간격이 조밀하게 배치되어 있는 프로브 핀은 피검사체(평판디스플레이 패널 등)의 검사 진행 중 좌우 방향 및 상하 방향으로 유동하여, 고정된 위치에서 이탈할 수 있는 등의 문제점이 존재한다. 피검사체의 검사 진행 중 이웃한 프로브 핀이 서로 붙어버리거나, 피검사체와의 접촉 위치에서 이탈하게 되면, 피검사체의 정확한 검사가 불가능할 수도 있다.
본 발명의 일 목적은 지속적으로 증가하고 있는 피검사체(평판디스플레이 패널 등)의 화소 밀도에 대응할 수 있는 미세한 피치로 배치되는 프로브 핀을 갖는 프로브 블록 조립체를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 일 목적은 디스플레이 검사 시 프로브 핀을 미세한 피치로 지지할 수 있고, 좌우 방향 및 상하 방향으로 이탈할 수 있는 것을 방지한 프로브 블록 조립체를 제공하는 것이다.
다만, 본 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.
본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 프로브 블록 조립체는, 기판에 형성되어 있는 기판 패드부와의 연결을 위한 패드 팁과, 피검사체와의 접촉을 위한 프로브 팁을 구비하는 복수 개의 프로브 핀; 상기 복수 개의 프로브 핀을 서로 이격 배치되도록 수용하는 가이드 블록; 및 상기 프로브 핀 및 상기 기판과 각각 연결되고, 상기 패드 팁과 상기 기판 패드부를 서로 전기 연결하도록 형성되는 배선부를 구비하는 배선부 필름을 포함한다.
본 발명의 목적을 달성하기 위하여 상기 배선부 필름은, 상기 배선부가 형성되는 필름 베이스; 상기 배선부와 연결되고 상기 필름 베이스의 제1 면에 상기 패드 팁과 접촉하도록 형성되는 프로브 패드; 및 상기 배선부와 연결되고 상기 필름 베이스의 제2 면에 상기 기판 패드부와 접촉하도록 형성되는 연결 패드를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 목적을 달성하기 위하여 상기 배선부는 상기 필름 베이스의 상기 제1 면에 형성되고, 상기 배선부 필름은, 상기 배선부와 상기 연결 패드를 서로 연결하도록 상기 필름 베이스를 관통하는 전도층을 포함할 수 있다.
본 발명의 목적을 달성하기 위하여 상기 기판 패드부와 상기 연결 패드가 서로 접합되도록 상기 배선부 필름이 상기 기판에 결합되는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 목적을 달성하기 위하여 서로 이웃한 상기 프로브 패드의 간격은, 서로 이웃한 상기 프로브 패드 각각에 대응하여 상기 배선부에 의해 연결되는 상기 연결 패드의 간격보다 작게 형성될 수 있다.
본 발명의 목적을 달성하기 위하여 상기 가이드 블록의 반대편에서 상기 복수 개의 프로브 핀을 지지하도록 배치되는 필름 가이드; 및 상기 필름 가이드를 개재하여 상기 복수 개의 프로브 핀을 지지하도록 형성되는 커버 블록을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 목적을 달성하기 위하여 상기 필름 가이드에는, 상기 프로브 핀의 일부가 삽입되어 지지되도록 형성되는 지지부가 기설정된 간격으로 배치될 수 있다.
본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 프로브 블록 조립체는 중공부를 구비하는 바디; 상기 바디에 장착되고, 상기 중공부에 삽입되는 커넥터부와, 상기 커넥터부의 반대편에 형성되는 기판 패드부를 구비하는 기판; 상기 기판 패드부와의 연결을 위한 패드 팁과, 피검사체와의 접촉을 위한 프로브 팁을 구비하는 복수 개의 프로브 핀; 상기 복수 개의 프로브 핀을 서로 이격 배치되도록 수용하는 가이드 블록; 및 상기 프로브 핀 및 상기 기판과 각각 연결되고, 상기 패드 팁과 상기 기판 패드부를 서로 전기 연결하도록 형성되는 배선부를 구비하는 배선부 필름을 포함할 수 있다.
상술한 과제 해결 수단은 단지 예시적인 것으로서, 본 발명을 제한하려는 의도로 해석되지 않아야 한다. 상술한 예시적인 실시예 외에도, 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 추가적인 실시예가 존재할 수 있다.
본 발명에 따르면, 지속적으로 증가하고 있는 피검사체(평판디스플레이 패널 등)의 화소 밀도에 대응할 수 있는 미세한 피치로 배치되는 프로브 핀을 갖는 프로브 블록 조립체를 제공하여, 피검사체와 정밀하게 대응할 수 있도록 하여 피검사체의 결함을 정확하게 검사할 수 있도록 지원한다.
또한, 본 발명에 따르면, 배선부 필름 상에 프로브 핀의 피치에 대응되는 프로브 패드가 형성되고 배선부 및 연결 패드에 의해 피치 변환이 이루어질 수 있어, 미세 피치의 프로브 핀 배치에 대응하는 연결 구조가 구현될 수 있다. 또한, 디스플레이 검사 시 프로브 핀이 고정된 위치에서 좌우 방향 및 상하 방향으로 이탈할 수 있는 것을 방지하는 프로브 블록 조립체를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 블록 조립체의 전체적인 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 블록 조립체의 분해도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 블록 조립체의 측면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 배선부 필름을 설명하는 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 배선부 필름에서 연결 패드를 설명하는 측면도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미하며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 블록 조립체의 전체적인 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 블록 조립체의 분해도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 블록 조립체의 측면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 배선부 필름을 설명하는 평면도이다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 배선부 필름에서 연결 패드를 설명하는 측면도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 블록 조립체는, 피검사체의 피치 소형화에 대응할 수 있는 프로브 핀을 구성하고, 피검사체의 결함 검사 중 프로브 핀이 고정된 위치에서 좌우 방향 및 상하 방향으로 이탈하지 않도록 구성된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 블록 조립체(100)는, 도 1 및 도 2를 참도하면, 바디(110), 기판(120), 가이드 블록(130), 프로브 핀(140), 배선부 필름(150)을 포함할 수 있다.
바디(110)는 기판(120) 및 프로브 핀(140)을 지지하기 위한 구성요소로, 중공부(111)를 포함할 수 있다. 기판(120)은 피검사체의 테스트를 위한 전기 신호를 프로브 핀(140)으로부터 전기 신호를 전달하는 구성요소로, 커넥터부(121) 및 기판 패드부(122)를 더 포함할 수 있다.
도시된 것과 같이, 기판(120)은 바디(110)에 장착되고, 커넥터부(121)는 중공부(111)에 삽입될 수 있으며, 기판 패드부(122)는 커넥터부(121)의 반대편에 형성될 수 있다. 도 1을 기준으로, 커넥터부(121)는 기판(120)의 상면에 형성되고, 기판 패드부(122)는 기판(120)의 하면에 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가이드 블록(130)은 복수 개의 프로브 핀(140)이 서로 이격 배치되도록 수용할 수 있다. 가이드 블록(130)은 프로브 핀(140)이 기설정된 간격으로 용이하게 안착, 고정될 수 있도록 형성된다.
보다 상세하게는, 가이드 블록(130)은 복수 개의 프로브 핀(140)을 피검사체의 피치(pitch)에 대응하여 수용할 수 있다. 일 예로, 가이드 블록(130)은, 도 2에 도시된 바와 같이, “L” 형상의 단면을 가질 수 있으며, 가이드 블록(130)의 형상에 맞추어 프로브 핀(140)은 안착 가능한 구조로 형성될 수 있다. 가이드 블록(130)은 프로브 핀(140)이 안착, 고정될 수 있는 구조라면 다양하게 설계 변경될 수 있으며, 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 핀(140)은, 도 3을 참조하면, 가이드 블록(130)의 형상에 맞추어 안착 가능한 구조로 형성될 수 있다. 프로브 핀(140)은 패드 팁(141) 및 프로브 팁(142)을 포함할 수 있다. 패드 팁(141)은 기판 패드부(122)와의 연결을 위한 부분이고, 프로브 팁(142)은 피검사체와 접촉되는 부분이다.
구체적으로 도 3을 참조하면, 프로브 핀(140)의 한 쪽에는 패드 팁(141)이 형성될 수 있고, 다른 쪽에는 프로브 팁(142)이 형성될 수 있다. 프로브 팁(142)은 피검사체와 직접적으로 접촉되는 부분으로 서로 이웃하는 프로브 팁(142) 간의 간격은 피검사체의 피치에 대응하도록 배치될 수 있다.
패드 팁(141)은 기판(120)의 기판 패드부(122)와 연결을 위하여 후술하는 프로브 패드(153)와 접촉되는 부분으로, 마찬가지로 서로 이웃하는 패드 팁(141) 간의 간격은 프로브 팁(142) 간의 간격에 대응하도록 형성될 수 있다. 즉, 복수 개의 프로브 핀(140)은 피검사체의 피치에 대응하도록 서로 나란하게 배치될 수 있다. 프로브 핀(140)은 전도성 재질로 이루어지며, 복수 개의 프로브 핀(140)이 피검사체의 패드에 접촉되는 것을 보장하는 오버 드라이브(over drive)가 가능하도록 탄성 변형이 가능한 형상을 가질 수 있다. 도시된 것과 같이, 프로브 핀(140)은 측면에서 보았을 때 절곡된 또는 휘어진 형상으로 연장될 수 있고, 피검사체와 접촉되는 프로브 팁(142)이 자유단이 될 수 있다.
이하에서는, 피검사체의 테스트를 위한 전기적 신호를 프로브 핀(140)을 통해 기판(120)에 전달하기 위해, 간격(피치)이 미세하게 배치된 프로브 핀(140)의 패드 팁(141)과 기판(120)의 기판 패드부(122) 간의 연결을 가능케 하는 배선부 필름(150)의 구성 및 특징에 대해 설명한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 배선부 필름(150)은, 도 4를 참조하면, 배선부(151), 필름 베이스(152), 프로브 패드(153), 연결 패드(154) 및 전도층(155)을 포함할 수 있다. 기판 패드부(122)와 연결 패드(154)가 서로 접합되도록 배선부 필름(150)이 기판(120)에 결합될 수 있다.
배선부(151)는 필름 베이스(152)의 제1 면(152a)에 형성될 수 있으며, 배선부(151)의 일단은 프로브 핀(140)과 연결되고, 타단은 기판(120)에 각각 연결되어, 패드 팁(141)과 기판 패드부(122)를 서로 전기 연결시킬 수 있다.
필름 베이스(152)는 폴리이미드(polyimide, PI) 등 연성 재질로 이루어질 수 있다. 필름 베이스(152)의 제1 면(152a)에는 배선부(151)와 프로브 패드(153)가 형성될 수 있고, 제2 면(152b)에는 연결 패드(154)가 형성될 수 있다. 프로브 패드(153)는 패드 팁(141)과 접촉하고, 연결 패드(154)는 기판 패드부(122)와 접촉할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 연결 패드(154)는, 도 5를 참조하면, 필름 베이스(152)의 제2 면을 바라보도록 배치되는 기판 패드부(122)와 접촉하도록 형성될 수 있다. 그리고, 전도층(155)은 필름 베이스(152)의 제1 면의 배선부(151)와 제2 면의 연결 패드(154)를 서로 연결하도록 필름 베이스(152)를 관통하여 형성될 수 있다.
피검사체의 전기적 신호는 프로브 핀(140)의 패드 팁(141)으로부터 프로브 패드(153) 및 배선부(151)를 통해 전달될 수 있다. 그리고, 배선부(151)를 통해 전달되는 전기적 신호는 필름 베이스(152)를 관통하는 전도층(155)을 거쳐 연결 패드(154)에 전달될 수 있다. 더 구체적으로, 필름 베이스(152)에는 전도층(155)을 포함시킬 수 있는 비아 홀(152c)이 형성될 수 있다. 비아 홀(152c) 및 전도층(155)은 관통 전극에 해당하며, 외부와 내부 회로 또는 앞면과 뒷면의 회로를 연결하는 통로를 일컫는다.
연결 패드(154)에 전달된 피검사체의 전기적 신호는 필름 베이스(152)의 제2 면을 바라보도록 배치된 기판 패드부(122)로 전달되어, 피검사체의 전기적 특성 및 결함 검사를 시행할 수 있게 된다.
본 발명의 일 실시예에 따라, 필름 베이스(152)의 제1 면(152a)에는, 도 4(a)를 참조하면, 배선부(151) 및 프로브 패드(153)가 형성될 수 있고, 제2 면(152b)에는, 도 4(b)를 참조하면, 연결 패드(154)가 형성될 수 있다.
서로 이웃한 프로브 패드(153)의 간격은 서로 이웃한 프로브 패드(153) 각각에 대응하여 배선부(151)에 의해 연결되는 연결 패드(154)의 간격보다 작게 형성될 수 있다. 배선부(151)는 프로브 패드(153)의 간격과 연결 패드(154)의 간격을 상이하게 형성할 수 있도록 지원한다. 프로브 패드(153)에서의 피치는 피검사체의 피치에 대응하도록 조밀하게 배치하되, 연결 패드(154)에서의 피치는 배선부(151)를 통해 프로브 패드(153)와 연결됨으로써, 프로브 패드(153)에서의 피치와 같이 조밀하게 배치하지 않을 수 있다. 이처럼, 배선부 필름(150)에 의해 피치 변환이 가능하게 됨으로써, 프로브 핀(140)의 피치와 기판(120)의 기판 패드부(122)를 서로 다른 피치를 갖도록 설계하는 것이 가능하다.
보다 구체적으로, 도 4를 참조하면, 배선부(151) 및 전도층(155)에 의해, 제1 프로브 패드(153a)는 제1 연결 패드(154a)와 연결되고, 제2 프로브 패드(153b)는 제2 연결 패드(154b)와 연결되고, 제3 프로브 패드(153c)는 제3 연결 패드(154c)와 연결될 수 있다.
여기서, 제1 프로브 패드(153a), 제2 프로브 패드(153b) 및 제3 프로브 패드(153c) 간의 간격은 피검사체의 피치에 대응할 수 있도록 조밀하게 정렬되어, 제1 연결 패드(154a), 제2 연결 패드(154b) 및 제3 연결 패드(154c) 간의 간격보다 세밀하게 형성될 수 있다. 제1 연결 패드(154a), 제2 연결 패드(154b) 및 제3 연결 패드(154c)의 피치는 제1 프로브 패드(153a), 제2 프로브 패드(153b) 및 제3 프로브 패드(153c)의 피치보다 여유를 가지고 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따라, 배선부 필름(150)을 활용하여 프로브 핀(140)과 기판(120)의 기판 패드부(122)를 전기적으로 연결함으로써, 기판(120)에 형성되는 기판 패드부(122)들은 설계 제약 조건에 따라 거리를 확보하여 이격되게 형성되면서도, 프로브 핀(140)들은 피검사체에 대응하여 간격을 좁혀 배치할 수 있다. 따라서, 기판(120)에 기판 패드부(122)의 간격을 유지하면서도, 그에 연결되는 프로브 핀(140) 들의 간격은 피검사체의 요구에 맞추어 더 축소할 수 있게 된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 프로브 블록 조립체(100)는 기판(120), 커넥터부(121), 기판 패드부(122) 등을 소형화함에 따르는 제약 조건을 극복하여 더 소형화된 프로브 핀(140) 배치를 구현할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 블록 조립체(100)는, 도 3을 참조하면, 필름 가이드(160) 및 커버 블록(170)을 더 포함할 수 있다. 필름 가이드(160)는 가이드 블록(130)의 반대편에서 복수 개의 프로브 핀(140)을 지지하도록 배치될 수 있다.
필름 가이드(160)는 프로브 핀(140)이 고정된 위치에서 좌우 방향 유동을 방지하는 기능을 한다. 서로 인접하는 프로브 핀(140)의 좌우 방향 유동을 방지함으로써 디스플레이 검사 시 프로브 핀(140) 간의 쇼트를 방지하고, 정확한 검사를 가능하게 할 수 있다. 예를 들어, 피검사체 검사 시 프로브 핀(140)에 외부 압력이 가해지더라도 프로브 핀(140)은 고정된 위치를 유지할 수 있게 되어 피검사체를 정확하게 검사할 수 있게 된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 필름 가이드(160)는 프로브 핀(140)의 일부가 삽입되어 지지되도록 형성되는 지지부(미도시)가 기설정된 간격으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 지지부(미도시)는 프로브 핀(140)의 패드 팁(141)을 수용할 수 있도록, 필름 가이드(160)의 일 측면 상에서 패드 팁(141)에 대응되는 간격으로 형성될 수 있다. 패드 팁(141)은 지지부(미도시)에 수용되어, 피검사체의 검사 진행 중 프로브 핀(140)이 고정된 위치에서 좌우방향으로 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
커버 블록(170)은 필름 가이드(160)를 개재하여 복수 개의 프로브 핀(140)을 지지하도록 형성될 수 있다. 커버 블록(170)은 프로브 핀(140)의 상하 방향 유동을 방지하는 기능을 한다. 프로브 핀(140) 일단이 디스플레이 회로 패턴에 접촉되면 프로브 핀(140)에 힘이 가해져 상하 방향으로 유동되고, 이러한 과정이 반복되면 프로브 핀(140)이 변형되므로, 이를 커버 블록(170)이 프로브 핀(140)을 수직 및 수평 방향으로 고정하여 프로브 핀(140)이 상하 방향으로 유동하는 것을 방지할 수 있다. 나아가, 프로브 핀(140)의 변형을 방지할 수 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100: 프로브 블록 조립체
110: 바디
111: 중공부
120: 기판
121: 커넥터부
122: 기판 패드부
130: 가이드 블록
140: 프로브 핀
141: 패드 팁
142: 프로브 팁
150: 배선부 필름
151: 배선부
152: 필름 베이스
152a: 제1 면
152b: 제2 면
152c: 비아 홀
153: 프로브 패드 (153a, 153b, 153c)
154: 연결 패드 (154a, 154b, 154c)
155: 전도층
160: 필름 가이드
170: 커버 블록

Claims (8)

  1. 중공부를 구비하는 바디;
    상기 바디에 장착되고, 상기 중공부에 삽입되는 커넥터부와, 상기 커넥터부의 반대편에 형성되는 기판 패드부를 구비하는 기판;
    상기 기판 패드부와의 연결을 위한 패드 팁과, 피검사체와의 접촉을 위한 프로브 팁을 구비하는 복수 개의 프로브 핀;
    상기 복수 개의 프로브 핀을 서로 이격 배치되도록 수용하는 가이드 블록; 및
    상기 프로브 핀 및 상기 기판과 각각 연결되고, 상기 패드 팁과 상기 기판 패드부를 서로 전기 연결하도록 형성되는 배선부를 구비하는 배선부 필름을 포함하는, 프로브 블록 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 배선부 필름은,
    상기 배선부가 형성되는 필름 베이스;
    상기 배선부와 연결되고 상기 필름 베이스의 제1 면에 상기 패드 팁과 접촉하도록 형성되는 프로브 패드; 및
    상기 배선부와 연결되고 상기 필름 베이스의 제2 면에 상기 기판 패드부와 접촉하도록 형성되는 연결 패드를 더 포함하는, 프로브 블록 조립체.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 배선부는 상기 필름 베이스의 상기 제1 면에 형성되고,
    상기 배선부 필름은, 상기 배선부와 상기 연결 패드를 서로 연결하도록 상기 필름 베이스를 관통하는 전도층을 포함하는, 프로브 블록 조립체.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 기판 패드부와 상기 연결 패드가 서로 접합되도록 상기 배선부 필름이 상기 기판에 결합되는 것을 특징으로 하는, 프로브 블록 조립체.
  5. 제 2 항에 있어서,
    서로 이웃한 상기 프로브 패드의 간격은, 서로 이웃한 상기 프로브 패드 각각에 대응하여 상기 배선부에 의해 연결되는 상기 연결 패드의 간격보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하는, 프로브 블록 조립체.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 가이드 블록의 반대편에서 상기 복수 개의 프로브 핀을 지지하도록 배치되는 필름 가이드; 및
    상기 필름 가이드를 개재하여 상기 복수 개의 프로브 핀을 지지하도록 형성되는 커버 블록을 더 포함하는, 프로브 블록 조립체.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 필름 가이드에는, 상기 프로브 핀의 일부가 삽입되어 지지되도록 형성되는 지지부가 기설정된 간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는, 프로브 블록 조립체.
  8. 삭제
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