JP5024861B2 - プローブカード - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態について、図面に基づいて説明する。
(実施の形態)
図1は、インターポーザを含むプローブカードAの実施形態の断面構造の概念図を示す。図1において、プローブカードAは、テスター等の検査測定機器(図示省略)に導通接続するための第1基板(メイン基板:別名マザー基板)1と、ICチップ等の被検査対象である半導体デバイス3に導通接続するための第2基板(サブ基板)2と、これら第1基板1,第2基板2の間に介在される縦型のインターポーザIとから構成されている。
2 第2基板
5、8 接続用電極
11、31 接続子
15〜24、32、33 支持板
A〜N インターポーザ
13、13’ 位置決めピン
14、14’、14”、44 位置決めピン穴
34 筒部
35 先端
36 装着用端子
37 基端部
38 接触部
Claims (1)
- 主面に複数の電極を有する第1基板、
前記第1基板の主面に対向するように配置され、前記第1基板の主面と対向する面に複数の電極を有し、前記面と反対の面に複数の検査用外部電極が設けられた第2基板、
前記第1基板と前記第2基板との間で前記両基板に平行に配置され、全体を複数枚に分割され配列された支持板と、前記各支持板に設けられ、前記各支持板から前記第1基板及び前記第2基板に向う弾性バネ状の導電体電極である複数の接続子とを有し、前記接続子によって前記第1基板の主面の複数の電極と前記第2基板の対向面上の複数の電極とを接続するインターポーザ、および
前記第1基板の主面に一端が取付けられ、他端が前記インターポーザの前記各支持板の複数の位置決めピン穴に通されて前記複数の支持板のそれぞれを独立して前記第1基板に対して位置決めする複数の位置決めピン
を備えたことを特徴とするプローブカード。
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