JP2008205282A - プローブカード - Google Patents
プローブカード Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008205282A JP2008205282A JP2007040924A JP2007040924A JP2008205282A JP 2008205282 A JP2008205282 A JP 2008205282A JP 2007040924 A JP2007040924 A JP 2007040924A JP 2007040924 A JP2007040924 A JP 2007040924A JP 2008205282 A JP2008205282 A JP 2008205282A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- probe card
- semiconductor integrated
- integrated circuit
- dielectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
【課題】半導体集積回路素子のデバイス特性測定に用いるプローブカードの電気特性向上のために、特に、差動インターフェースを有する素子の電気的特性を精度良く測定すること、差動信号とその他の信号を同一のプローブカードで測定することによりコストを低減する。
【解決手段】プローブカードはプローブ針14となる金属線をプリント基板13上の配線電極から固定樹脂17まで、差動インピーダンスを考慮した間隔に配列する。またこの金属線を誘電体15で被覆する。電気的特性を精度良く測定することができる。またプローブ針となる金属線は、固定樹脂から半導体集積回路素子の電極に接触するプローブ針の先端部分において、差動信号を測定するプローブ針と、その他の信号を測定するプローブ針とが同じ形状であるために、これらの信号を同一プローブカードで測定できる。
【選択図】図2
【解決手段】プローブカードはプローブ針14となる金属線をプリント基板13上の配線電極から固定樹脂17まで、差動インピーダンスを考慮した間隔に配列する。またこの金属線を誘電体15で被覆する。電気的特性を精度良く測定することができる。またプローブ針となる金属線は、固定樹脂から半導体集積回路素子の電極に接触するプローブ針の先端部分において、差動信号を測定するプローブ針と、その他の信号を測定するプローブ針とが同じ形状であるために、これらの信号を同一プローブカードで測定できる。
【選択図】図2
Description
本発明は、ウエーハ状態の半導体集積回路素子の電気的特性を測定するプローブカードに関するものである。
従来のプローブカードは、一般に円形プリント基板の中央に開口部を設け、この周辺に被測定物であるシリコンなどの半導体基板で構成されたウェーハ内に形成された複数の半導体集積回路素子に配置された接続電極(通常パッドといわれている)の配列に合わせてプローブ針を配列したものである。プローブ針は、タングステン等の弾性のある金属材料で出来ており、カンチレバータイプのばね構造となっている。このプローブ針をプリント基板の配線電極にはんだ付け等で固定し、電気的な接続と機械的な固定を行っている。プリント基板中では、配線がストリップライン構造となっており、インピーダンスマッチングされた状態で信号が伝送される。プローブカードは、更にプローバ(テスト装置)に接続されて半導体集積回路等の電気的特性評価に使用される(特許文献1参照)。
半導体集積回路等の被測定デバイスの電気特性は年々向上しており、検査装置の周波数特性の向上が望まれている。しかし、従来技術のプローブカードでは、プローブ針がインピーダンスマッチングされないままに30mm以上も空気中に露出しているために、この部分のインダクタンスがプローブカードの電気的特性を低下させる原因になっている(特許文献1参照)。
半導体集積回路等の被測定デバイスの電気特性は年々向上しており、検査装置の周波数特性の向上が望まれている。しかし、従来技術のプローブカードでは、プローブ針がインピーダンスマッチングされないままに30mm以上も空気中に露出しているために、この部分のインダクタンスがプローブカードの電気的特性を低下させる原因になっている(特許文献1参照)。
カンチレバータイプのばね構造はそのままに、周波数特性向上を実現したプローブ針に同軸プローブを用いた技術がある(特許文献2参照)。しかし、この同軸プローブを用いた同軸プローブカードは、カンチレバータイプと比較して同軸プローブの外径が太いために多数の電極が微小ピッチで配列された半導体集積回路への適用が困難である。
また、多数の電極が微小ピッチで配列された半導体集積回路への適用ができ、周波数特性の向上を実現したプローブカードとして、薄膜プローブカードがある(特許文献3参照)。薄膜プローブカードは、多数の電極が微小ピッチで配列された半導体集積回路への適用も可能であると共に、インピーダンス整合用部品を測定部近傍に設けることも可能であるが、フォトリソグラフィックプロセスを用いてプローブを製造するため高価である。
特開平11−352150号公報
特開2001−153885号公報
特開2001−13168号公報
また、多数の電極が微小ピッチで配列された半導体集積回路への適用ができ、周波数特性の向上を実現したプローブカードとして、薄膜プローブカードがある(特許文献3参照)。薄膜プローブカードは、多数の電極が微小ピッチで配列された半導体集積回路への適用も可能であると共に、インピーダンス整合用部品を測定部近傍に設けることも可能であるが、フォトリソグラフィックプロセスを用いてプローブを製造するため高価である。
本発明は、以上のような問題を解決するためになされたものであり、高速差動インターフェースを有する半導体集積回路の電気的特性をウエーハレベルで精度良く測定することができると共に、従来に比べて多数の電極が微小ピッチで配列された半導体集積回路への適用が可能になるプローブカードを提供する。
本発明のプローブカードの一態様は、ウエーハ状態の半導体集積回路素子に所定のピッチで設けられた複数の電極にそれぞれ相対する複数のプローブ針を介して信号を入出力させることによって前記半導体集積回路素子の電気的特性を測定するプローブカードにおいて、配線基板と、前記配線基板に植設され、前記半導体集積回路素子の前記電極と同一ピッチで形成された複数のプローブ針と、前記複数のプローブ針のうち、高速信号を入出力するプローブ針の少なくとも1本に被覆された空気より比誘電率の大きい誘電体とを具備していることを特徴としている。
高速差動インターフェースを有する半導体集積回路の電気的特性をウエーハレベルで精度良く測定することができると共に、従来に比べて多数の電極が微小ピッチで配列された半導体集積回路への適用が可能になる。
以下、実施例を参照して発明の実施の形態を説明する。
まず、図1乃至図3を参照して実施例1を説明する。
図1は、この実施例を説明するプローブカードの平面図、図2は、図1のA−B線に沿う部分の断面図及びプローブカードに近接して配置され、被測定物である半導体ウェーハを搭載したプローバの断面図、図3は、図1のプローブカード内部の配線構造を説明する断面図である。
図1は、この実施例を説明するプローブカードの平面図、図2は、図1のA−B線に沿う部分の断面図及びプローブカードに近接して配置され、被測定物である半導体ウェーハを搭載したプローバの断面図、図3は、図1のプローブカード内部の配線構造を説明する断面図である。
図1に示すプローブカードは、プリント基板13、プローブ針14、誘電体15、配線電極16、固定樹脂17及び補強板18から構成されている。このプローブカードは、円形のプリント基板13を配線基板とし、中央部に開口が設けられている。開口周辺に被測定物である半導体集積回路素子の接続電極の配列に合わせてプローブ針14が配列されている。即ち、プリント基板13上に開口の各辺に沿って複数の配線電極16が配列形成されており、プローブ針14の一端が配線電極16にはんだ等により接続固定され、他端が開口に向かい、開口から下方に突出するように成形されている。このプローブ針14は、カンチレバータイプのばね構造となっている。プローブ針14と配線電極16との接続は、電気的な接続と機械的な固定を兼ねている。開口にはエポキシ樹脂などからなる固定樹脂17が配置されている。この固定樹脂17がプローブ針14の自由端である他端近傍を固定している。プローブ針14の他端は、固定樹脂17から露出している。プリント基板13のプローブ針14が形成されている表面とは反対側には、開口を覆うように銅、アルミニウム、SUSなどの放熱性の高い金属から構成されている補強板18が取り付けられている。補強板18は、放熱板として用いられると共に、固定樹脂17を固定する。
この実施例では、配線電極16と固定樹脂17間のプローブ針14となる金属線のうち、差動信号を入出力するプローブ針を差動インピーダンスを考慮した間隔、例えば、50μm程度の間隔に配列する。
更に、配線電極16と固定樹脂17との間のプローブ針14となる金属線のうち、差動信号を入出力するプローブ針14となる金属線を誘電体15で被覆する。誘電体としては、ポリイミドなどの空気の比誘電率より大きい比誘電率を有する材料を使用する。ポリイミドは、比誘電率が4であって空気より十分大きい。
この実施例では誘電体としてポリイミドを用いているが、誘電体材料は、固定樹脂と同じ材料を用いることができ、誘電体材料としてはこの他にフェノール樹脂系、エポキシ樹脂系等がある。
図3を参照して、プローブカードの内部構造を説明する。配線基板には、プリント基板13を用い、プリント基板13の一面に形成された配線電極16は、プリント基板13内部に形成された配線19を介して他面に形成された接続電極(パッド)20に電気的に接続されている。半導体ウェーハ1をテストするテスタは、接続電極20を介してプローブカードに電気的に接続されている。プローブ針14の配線電極16に固定された一端から固定樹脂17までの部分が誘電体15により被覆され、その長さは、例えば、3cm程度である。
更に、配線電極16と固定樹脂17との間のプローブ針14となる金属線のうち、差動信号を入出力するプローブ針14となる金属線を誘電体15で被覆する。誘電体としては、ポリイミドなどの空気の比誘電率より大きい比誘電率を有する材料を使用する。ポリイミドは、比誘電率が4であって空気より十分大きい。
この実施例では誘電体としてポリイミドを用いているが、誘電体材料は、固定樹脂と同じ材料を用いることができ、誘電体材料としてはこの他にフェノール樹脂系、エポキシ樹脂系等がある。
図3を参照して、プローブカードの内部構造を説明する。配線基板には、プリント基板13を用い、プリント基板13の一面に形成された配線電極16は、プリント基板13内部に形成された配線19を介して他面に形成された接続電極(パッド)20に電気的に接続されている。半導体ウェーハ1をテストするテスタは、接続電極20を介してプローブカードに電気的に接続されている。プローブ針14の配線電極16に固定された一端から固定樹脂17までの部分が誘電体15により被覆され、その長さは、例えば、3cm程度である。
プローブ針14に誘電体15を被覆するには、複数のプローブ針14を纏めて誘電体15で被覆する方法と、各プローブ針14をそれぞれ誘電体15で被覆してから複数のプローブ針14を誘電体で1つに纏める方法がある。
プローブカードに配置されたプローブ針14は、プローバ4を構成するウェーハ保持チャック3により保持された半導体ウェーハ1に形成された半導体集積回路素子の接続電極2に接触させる。プローブカードをプローバ4の上方に配置し、プローブカードを下降させるか、プローバ4を上昇させて接続電極2とプローブ針14とを電気的に接続させる。
プローブカードに配置されたプローブ針14は、プローバ4を構成するウェーハ保持チャック3により保持された半導体ウェーハ1に形成された半導体集積回路素子の接続電極2に接触させる。プローブカードをプローバ4の上方に配置し、プローブカードを下降させるか、プローバ4を上昇させて接続電極2とプローブ針14とを電気的に接続させる。
プローバ4は、複数の半導体集積回路素子が形成されたシリコンなどの半導体ウェーハ上のこれら半導体集積回路素子の電気的特性を試験するために、各半導体集積回路素子の接続電極(パッド)2にプローブカードのプローブ針14を順次接触させる装置である。この装置は、接続された外部のテストシステムにより各半導体集積回路素子1の電気的試験を可能とすると共に、不良と判断された半導体集積回路素子1を識別可能にするものである。
従来は、差動インピーダンスを考慮せずに十分間隔をおいてプローブ針が配列されていたが、差動インピーダンスを考慮するためには、プローブ間隔を極端に狭くしなくてはならない(厳しい寸法公差管理が必要)。樹脂固定部分のプローブ間隔と上記間隔の差が大きく樹脂固定部分の前後で差動インピーダンスが不連続となる。本事例の場合、誘電体で被覆すると空気の場合よりプローブ間の容量が増え、差動インピーダンスが下がるので、(1)プローブ間隔(P信号−N信号、信号−GND)が同じ間隔でも、誘電体を挟むと差動インピーダンス、特性インピーダンスが低くなる。(2)差動インピーダンス、特性インピーダンスを同じ値に設定しようとした場合のプローブ間隔は、
誘電体で被覆した場合の間隔 > 被覆なし(空気)の場合の間隔
となる。
誘電体で被覆した場合の間隔 > 被覆なし(空気)の場合の間隔
となる。
誘電体で被覆しない場合の問題点は、次の通りである。
(1)該当部分のプローブ間隔と“固定樹脂内部のプローブ間隔”の差
が大きくなる。
(2)プローブ間隔がずれた場合の差動インピーダンスの値変動が大きいので、厳しい寸法公差管理が要求される(一般に物理長が短い程、厳しい寸法公差管理が要求される)。
誘電体で被覆、または、プローブ間を誘電体で充填した場合の利点は、次の通りである。
(1)該当部分のプローブ間隔と“固定樹脂内部のプローブ間隔”の差
を小さくできる。
(2)プローブ間隔がずれた場合の差動インピーダンスの値変動が(相対的に)小さくなるので、寸法公差管理が緩和できる(一般に物理長が長くなれば、寸法公差管理が緩和される)。
(1)該当部分のプローブ間隔と“固定樹脂内部のプローブ間隔”の差
が大きくなる。
(2)プローブ間隔がずれた場合の差動インピーダンスの値変動が大きいので、厳しい寸法公差管理が要求される(一般に物理長が短い程、厳しい寸法公差管理が要求される)。
誘電体で被覆、または、プローブ間を誘電体で充填した場合の利点は、次の通りである。
(1)該当部分のプローブ間隔と“固定樹脂内部のプローブ間隔”の差
を小さくできる。
(2)プローブ間隔がずれた場合の差動インピーダンスの値変動が(相対的に)小さくなるので、寸法公差管理が緩和できる(一般に物理長が長くなれば、寸法公差管理が緩和される)。
次に、図4を参照して実施例2を説明する。
図4は、この実施例を説明するプローブカードの部分平面図である。この平面図は、図1のプローブカードの領域Cの部分に相当する。この実施例のプローブカードは、円形のプリント基板の中央に開口を設け、この周辺に被測定物である半導体集積回路素子の接続電極(パッド)の配列に合わせてプローブ針を配列する。このプローブ針は、カンチレバータイプのばね構造となっている。このプローブ針をプリント基板の配線電極にはんだ付け等で固定し、電気的な接続と機械的な固定を行っている。
図4は、この実施例を説明するプローブカードの部分平面図である。この平面図は、図1のプローブカードの領域Cの部分に相当する。この実施例のプローブカードは、円形のプリント基板の中央に開口を設け、この周辺に被測定物である半導体集積回路素子の接続電極(パッド)の配列に合わせてプローブ針を配列する。このプローブ針は、カンチレバータイプのばね構造となっている。このプローブ針をプリント基板の配線電極にはんだ付け等で固定し、電気的な接続と機械的な固定を行っている。
図4に示すプリント基板27は、グランド用配線電極34、37及び信号用配線電極35、36を有している。また、プリント基板27は、配線電極34〜37と固定樹脂33間のプローブ針28〜31となる金属線のうち、差動信号を入出力するプローブ針29、30となる金属線をポリイミドなどの空気の比誘電率より大きい誘電率の誘電体44で被覆している。配線電極34〜37と固定樹脂33間のプローブ針28〜31は、差動インピーダンスを考慮した間隔に配列する。
この実施例では誘電体として空気より大きな比誘電率を有する誘電体32を差動インピーダンスを考慮する必要のある差動信号を入出力するプローブ針29、30のみに被覆しているので、誘電体の使用を必要最小限に押さえることができる。
この実施例では誘電体として空気より大きな比誘電率を有する誘電体32を差動インピーダンスを考慮する必要のある差動信号を入出力するプローブ針29、30のみに被覆しているので、誘電体の使用を必要最小限に押さえることができる。
次に、図5を参照して実施例3を説明する。
図5は、この実施例を説明するプローブカードの部分平面図である。この平面図は、図1のプローブカードの領域Cの部分に相当する。この実施例のプローブカードは、円形のプリント基板の中央に開口を設け、この周辺に被測定物である半導体集積回路素子の接続電極(パッド)の配列に合わせてプローブ針を配列する。このプローブ針は、カンチレバータイプのばね構造となっている。このプローブ針をプリント基板の配線電極にはんだ付け等で固定し、電気的な接続と機械的な固定を行っている。
図5は、この実施例を説明するプローブカードの部分平面図である。この平面図は、図1のプローブカードの領域Cの部分に相当する。この実施例のプローブカードは、円形のプリント基板の中央に開口を設け、この周辺に被測定物である半導体集積回路素子の接続電極(パッド)の配列に合わせてプローブ針を配列する。このプローブ針は、カンチレバータイプのばね構造となっている。このプローブ針をプリント基板の配線電極にはんだ付け等で固定し、電気的な接続と機械的な固定を行っている。
図5に示すプリント基板38は、グランド用配線電極45、48及び信号用配線電極46、47を有している。また、プリント基板38では、配線電極45〜48と固定樹脂39間のプローブ針40〜43となる全ての金属線をポリイミドなどの空気の比誘電率より大きい誘電率の誘電体44で被覆する。配線電極45〜48と固定樹脂39間のプローブ針40〜43は、差動インピーダンスを考慮した間隔に配列する。
この実施例では誘電体として空気より大きな比誘電率を有する誘電体32を全てのプローブ針に被覆しているので、プローブ針の配列ピッチを小さくすることができる。
この実施例では誘電体として空気より大きな比誘電率を有する誘電体32を全てのプローブ針に被覆しているので、プローブ針の配列ピッチを小さくすることができる。
次に、図6を参照して実施例4を説明する。
図6は、この実施例を説明するプローブカードの部分平面図である。この平面図は、図1のプローブカードの領域Cの部分に相当する。この実施例のプローブカードは、円形のプリント基板の中央に開口を設け、この周辺に被測定物である半導体集積回路素子の接続電極(パッド)の配列に合わせてプローブ針を配列する。このプローブ針は、カンチレバータイプのばね構造となっている。このプローブ針をプリント基板の配線電極にはんだ付け等で固定し、電気的な接続と機械的な固定を行っている。
図6は、この実施例を説明するプローブカードの部分平面図である。この平面図は、図1のプローブカードの領域Cの部分に相当する。この実施例のプローブカードは、円形のプリント基板の中央に開口を設け、この周辺に被測定物である半導体集積回路素子の接続電極(パッド)の配列に合わせてプローブ針を配列する。このプローブ針は、カンチレバータイプのばね構造となっている。このプローブ針をプリント基板の配線電極にはんだ付け等で固定し、電気的な接続と機械的な固定を行っている。
図6に示すプリント基板49は、グランド用配線電極56、59及び信号用配線電極57、58を有している。また、プリント基板49では、配線電極56〜59と固定樹脂50間のプローブ針51〜54となる全ての金属線をポリイミドなどの空気の比誘電率より大きい誘電率の誘電体55、60で被覆する。配線電極56〜59と固定樹脂50間のプローブ針51〜54は、差動インピーダンスを考慮した間隔に配列する。この実施例では、実施例3とは異なり、グランド配線電極及び信号配線電極を一対として1つの誘電体で被覆し、複数対の誘電体を用いることに特徴がある(この実施例の説明では2対用いている)。
この実施例では誘電体として空気より大きな比誘電率を有する誘電体32を全てのプローブ針に被覆しているので、プローブ針の配列ピッチを小さくすることができる。
この実施例では誘電体として空気より大きな比誘電率を有する誘電体32を全てのプローブ針に被覆しているので、プローブ針の配列ピッチを小さくすることができる。
実施例で説明したプローブ針を用いると、従来技術のプローブカードと比較して、組立が容易になり、低価格および短期間でプローブカードを製作できる。
1・・・半導体ウェーハ
2、20・・・接続電極(パッド)
3・・・ウェーハ保持チャック
4・・・プローバ
13、27、38、49・・・プリント基板
14、28、29、30、31、40、41、42、43、51、52、53、54・・・プローブ針
15、32、44、55、60・・・誘電体
16、34、35、36、37、45、46、47、48、56、57、58、59・・・配線電極
17、33、39、50・・・固定樹脂
18・・・補強板
19・・・配線
2、20・・・接続電極(パッド)
3・・・ウェーハ保持チャック
4・・・プローバ
13、27、38、49・・・プリント基板
14、28、29、30、31、40、41、42、43、51、52、53、54・・・プローブ針
15、32、44、55、60・・・誘電体
16、34、35、36、37、45、46、47、48、56、57、58、59・・・配線電極
17、33、39、50・・・固定樹脂
18・・・補強板
19・・・配線
Claims (5)
- ウエーハ状態の半導体集積回路素子に所定のピッチで設けられた複数の電極にそれぞれ相対する複数のプローブ針を介して信号を入出力させることによって前記半導体集積回路素子の電気的特性を測定するプローブカードにおいて、
配線基板と、
前記配線基板に植設され、前記半導体集積回路素子の前記電極と同一ピッチで形成された複数のプローブ針と、
前記複数のプローブ針のうち、高速信号を入出力するプローブ針の少なくとも1本に被覆された空気より比誘電率の大きい誘電体とを具備していることを特徴とするプローブカード。 - 前記高速信号を入出力するプローブ針は、インピーダンスを考慮した間隔に配列されていることを特徴とする請求項1に記載されたプローブカード。
- 前記高速信号は、差動信号であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のプローブカード。
- 前記配線基板に植設されたプローブ針の前記配線基板から離れた部分の一部は、固定樹脂により固定されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記固定樹脂は、前記誘電体と同じ材料からなることを特徴とする請求項4に記載のプローブカード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007040924A JP2008205282A (ja) | 2007-02-21 | 2007-02-21 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007040924A JP2008205282A (ja) | 2007-02-21 | 2007-02-21 | プローブカード |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008205282A true JP2008205282A (ja) | 2008-09-04 |
Family
ID=39782441
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007040924A Pending JP2008205282A (ja) | 2007-02-21 | 2007-02-21 | プローブカード |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008205282A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013250145A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd | プローブカード |
US9207260B2 (en) | 2011-11-07 | 2015-12-08 | Kabushiki Kaisha Nihon Micronics | Probe block, probe card and probe apparatus both having the probe block |
-
2007
- 2007-02-21 JP JP2007040924A patent/JP2008205282A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9207260B2 (en) | 2011-11-07 | 2015-12-08 | Kabushiki Kaisha Nihon Micronics | Probe block, probe card and probe apparatus both having the probe block |
JP2013250145A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd | プローブカード |
TWI572865B (zh) * | 2012-05-31 | 2017-03-01 | Sv探針私人有限公司 | 探針卡 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5426161B2 (ja) | プローブカード | |
TW502354B (en) | Inspection device for semiconductor | |
KR100309889B1 (ko) | 프로우브장치 | |
KR101127030B1 (ko) | 검사용 치구 및 검사용 접촉자 | |
EP1930734A1 (en) | Probe card | |
KR100500452B1 (ko) | 모듈기판 상에 실장된 볼 그리드 어레이 패키지 검사장치및 검사방법 | |
TWI758677B (zh) | 中介物、基座、基座組裝體及電路板組裝體 | |
EP1788401A1 (en) | Method and apparatus for testing electrical characteristics of object under test | |
KR101186915B1 (ko) | 검사용 접촉 구조체 | |
JP2008082734A (ja) | 電気的接触装置、高周波測定システムおよび高周波測定方法 | |
JP5024861B2 (ja) | プローブカード | |
JP2010021362A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR20150024063A (ko) | 블록단위 결합용 프로브블록을 구비하는 프로브카드 | |
JP5086783B2 (ja) | カンチレバー型プローブカード | |
KR20120005941A (ko) | 회로 기판 검사용 프로브 유닛 및 회로 기판 검사 장치 | |
TW201820575A (zh) | 用於探針卡之空間轉換器及相關之系統及方法 | |
JP2008205282A (ja) | プローブカード | |
CN110392839B (zh) | 电连接装置 | |
JP2005183863A (ja) | 半導体集積回路装置の製造方法 | |
JP2006098064A (ja) | プローブカード | |
JP2011064705A (ja) | 半導体集積回路の製造方法 | |
JP2018189458A (ja) | 電気的接続装置及びその製造方法 | |
JP2003270267A (ja) | プローブユニット、プローブカード、測定装置及びプローブカードの製造方法 | |
KR20090029337A (ko) | 반도체 소자 검사 장치 | |
US11215641B2 (en) | Probe card assembly in automated test equipment |