JP5086783B2 - カンチレバー型プローブカード - Google Patents
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Description
3a:針先 3b:針元 4:回路基板 4−1:端子
5:中間支持体 6:樹脂固定部 7:コンデンサ
8:フレキシブル配線基板 8a:針元端子 8b:回路
9:コネクタ 10:補強材 11:固定ネジ
20:半導体チップ
Claims (1)
- 回路基板、該回路基板上に配設されプローブ群を支持する中間支持体、および該中間支持体に固着されたプローブユニットを備え、該プローブユニットが、該中間支持体の側面に着脱自在に螺着された補強材と、該補強材に固定されたフレキシブル配線基板と、該補強材に固定され、該フレキシブル配線基板が接続され、該回路基板に固定されたコネクタの一方に嵌る他方のコネクタと、中間部分が該中間支持体に固定され、針元が該フレキシブル配線基板に接続されたプローブと、を有していることを特徴とするカンチレバー型プローブカード。
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2007
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