KR100725456B1 - 웨이퍼 검사용 프로브 카드 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 니들 형태의 프로브들(123)과 상기 프로브들의 일 측 끝이 동일 평면 상에 위치하며 웨이퍼 상에 형성된 집적회로 칩의 외부접속단자용 패드들과 동일한 배열 상태를 가지게 상기 프로브들(123)이 고정되는 프로브 고정 블록(121) 및 상기 프로브 고정 블록(121)에 결합되고 상기 프로브들(123)의 다른 쪽 끝 부분이 전기적으로 연결되는 서브 보드(127)를 가지는 프로브 블록(120);원판 형태이며 중심으로부터 일정 거리의 프로브 블록 설치 영역(111a)과 그 바깥쪽의 회로 배선 영역(111b)을 가지며, 상기 서브 보드(127)와 떨어진 상태에서 상기 프로브 설치 영역 내에 탄성을 가지는 핀 형태의 인터포저(117)에 의해 상기 서브 보드(127)와 탄력적으로 접촉되면서 전기적으로 연결되는 메인 보드(111);상기 메인 보드(111)의 상기 프로브 블록(120)이 설치된 면의 반대쪽 면에 밀착되게 상기 메인 보드(111)와 결합되어 상기 메인 보드(111)를 지지하는 메인 프레임(131); 및상기 메인 보드(111)가 결합된 쪽의 반대쪽에 위치하게 상기 메인 프레임(131)의 중앙 부분에 국부 고정되고, 상기 메인 프레임(131)과 상기 메인 보드(111)를 관통하면서 상기 메인 프레임(131)과 상기 메인 보드(111)와 분리 구성되는 서포트 블록(161)을 개재하여 상기 프로브 고정 블록들(121)을 고정시키며, 상기 메인 프레임(131)과 상기 메인 보드(111)보다 작은 열팽창계수를 갖는 서브 프레임(151);을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브 카드.
- 제1 항에 있어서,상기 프로브 고정 블록(121)과 상기 서브 프레임(151)은 세라믹(Ceramic), 인바(INVAR), 노비나이트(Novinite) 주철 중에서 선택된 어느 하나의 재질인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브 카드.
- 제1 항에 있어서,상기 메인 보드(111)는 FR-4 보드이며, 상기 메인 프레임(131)은 SUS, 탄소강 중에서 선택된 어느 하나의 재질인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브 카드.
- 제1 항에 있어서,상기 서브 프레임(151)과 상기 프로브 고정 블록(121)은 동일 재질인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브 카드.
- 제1 항에 있어서,상기 서브 프레임(151)은 중심을 가로지르는 중심선의 양쪽 가장자리 부분에 중심선의 방향으로 길이가 길게 형성된 장공 형태의 가이드 홀(155)을 가지며, 상기 메인 프레임(131)이 상기 가이드 홀(155)에 대응되는 위치에 상기 가이드의 홀(155)의 단폭에 대응되는 직경의 가이드 핀(135)을 갖는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브 카드.
- 제1 항에 있어서,상기 인터포저(117)는 상기 프로브 블록(120)의 웨이퍼 접촉 하중보다 큰 탄성을 가지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브 카드.
- 제1 항 또는 제6 항에 있어서,상기 인터포저(117)는 포고 핀인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브 카드.
- 제1 항에 있어서,상기 서브 프레임(151)과 상기 프로브 고정 블록(121)은 상기 서포트 블록(161)을 관통하는 체결 부재에 의해 결합된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브 카드.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020060044279A KR100725456B1 (ko) | 2006-05-17 | 2006-05-17 | 웨이퍼 검사용 프로브 카드 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020060044279A KR100725456B1 (ko) | 2006-05-17 | 2006-05-17 | 웨이퍼 검사용 프로브 카드 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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KR100725456B1 true KR100725456B1 (ko) | 2007-06-07 |
Family
ID=38358477
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR1020060044279A KR100725456B1 (ko) | 2006-05-17 | 2006-05-17 | 웨이퍼 검사용 프로브 카드 |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR100725456B1 (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101506623B1 (ko) * | 2009-02-04 | 2015-03-27 | (주) 미코에스앤피 | 프로브 카드 |
KR101684449B1 (ko) * | 2016-04-05 | 2016-12-09 | 주식회사 프로이천 | 프로브블록의 지지기구를 구비한 프로브장치 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20020093381A (ko) * | 2001-06-08 | 2002-12-16 | 주식회사 유림하이테크산업 | 반도체 검사용 프로브 카드 |
KR20050029066A (ko) * | 2003-09-20 | 2005-03-24 | (주)티에스이 | 프로브 카드 |
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2006
- 2006-05-17 KR KR1020060044279A patent/KR100725456B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (2)
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