JP4842640B2 - プローブカードおよび検査方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1に係るプローブカード要部の構成を示す分解斜視図である。また、図2は、本実施の形態1に係るプローブカードの上面図である。さらに、図3は、本実施の形態1に係るプローブカードを用いた検査の概要を示す図であり、プローブカードについては図2のA−A線断面を模式的に示す図である。これらの図1〜図3に示すプローブカード1は、複数のプローブを用いて検査対象である半導体ウェハ100と検査用の信号を生成する回路構造を備える検査装置とを電気的に接続するものである。
本発明の実施の形態2に係るプローブカードは、プローブヘッドとスペーストランスフォーマとの位置決めを行う一対の位置決めピンを備え、この一対の位置決めピンを挿通する位置決め孔のうちの一つを長手方向の長さが位置決めピンの径よりも大きい長孔形状としたことを特徴とする。
本発明の実施の形態3に係るプローブカードは、上記実施の形態2と同様にプローブヘッドとスペーストランスフォーマとの位置決めを行う位置決めピンを備える。本実施の形態3においては、中心対称な形状をなすプローブヘッドの表面の中心に対して対称な位置に複数の位置決めピンが挿通され、各位置決めピンを挿通する位置決め孔のプローブヘッド表面の径方向の長さを位置決めピンの径よりも大きい長孔形状としたことを特徴とする。
ここまで、本発明を実施するための最良の形態として、実施の形態1〜3を詳述してきたが、本発明はそれら3つの実施の形態によってのみ限定されるべきものではない。例えば、本発明に係るプローブカードは円盤状以外の形状として多角形の表面形状をなすプローブヘッドを備えてもよく、それらの形状は検査対象の形状または電極パッドの配置パターンによって変更可能である。
2、42 プローブ
3 コネクタ座
4 ウェハチャック
11 基板
12 補強部材
13 インターポーザ
14、22、25、32、44 スペーストランスフォーマ
15、23、26、33、43 プローブヘッド
15p プローブ収容領域
16 保持部材
17 リーフスプリング
18 配線
19 オスコネクタ
20 メスコネクタ
21 プローブカード
20 メスコネクタ
24a、24b、27a、27b、34a、34b、34c、34d 位置決めピン
45、101、141 電極パッド
100 半導体ウェハ
121 外周部
122 中心部
123 連結部
171 爪部
231、232、261、232、331、332、333、334 位置決め孔
Claims (5)
- シリコンを主成分とする検査対象である半導体ウェハと検査用の信号を生成する回路構造との間を電気的に接続するプローブカードであって、
導電性材料から成り、前記半導体ウェハが有する電極パッドに接触して電気信号の入力または出力を行う複数のプローブと、
前記複数のプローブを収容保持するプローブヘッドと、
前記回路構造に対応する配線パターンを有する基板と、
前記プローブヘッドに積層され、前記基板が有する前記配線パターンの間隔を変えて中継し、この中継した配線に対応して前記プローブヘッドと対向する側の表面に設けられた電極パッドを有するスペーストランスフォーマと、
を備え、
前記プローブヘッド、前記スペーストランスフォーマおよび前記シリコンの熱膨張係数は互いに異なり、かつ前記プローブヘッドの熱膨張係数は、前記スペーストランスフォーマおよび前記シリコンの熱膨張係数の中間の値を有し、
前記プローブの一端は、前記半導体ウェハの不良品を検出するために常温を含む複数の異なる温度環境下で前記半導体ウェハの導通を検査する際の最低温度と最高温度との平均値の温度環境下で前記スペーストランスフォーマの電極パッドのうち中央部付近と接触し、前記最低温度環境下で前記スペーストランスフォーマの電極パッドのうち該スペーストランスフォーマの径方向における外縁部付近および内縁部付近の一方と接触し、前記最高温度環境下で前記スペーストランスフォーマの電極パッドのうち前記外縁部付近および前記内縁部付近の他方と接触することを特徴とするプローブカード。 - 前記スペーストランスフォーマに固着され、当該スペーストランスフォーマと前記プローブヘッドとの位置決めを行う複数の位置決めピンを備え、
前記プローブヘッドおよび前記スペーストランスフォーマは同じ中心軸に対してそれぞれ中心対称な形状をなし、
前記プローブヘッドは、前記中心軸に対して対称な位置に、互いに同じ形状をなし、前記中心軸から見て放射状に広がる開口を有し、前記複数の位置決めピンのいずれかが挿通される複数の位置決め孔が形成され、
前記位置決め孔は、前記プローブヘッドの径方向に沿った前記開口の長さが前記位置決めピンの径よりも大きく、
前記位置決めピンは、前記平均値の温度環境下で前記位置決め孔の前記径方向における中央部付近に位置することを特徴とする請求項1記載のプローブカード。 - 前記基板に装着されて前記基板を補強する補強部材と、
導電性材料から成り、前記基板と前記スペーストランスフォーマとの間に介在して前記基板の配線を中継するインターポーザと、
前記基板に固着され、前記インタポーザおよび前記スペーストランスフォーマに圧力を加えて保持する保持部材と、
前記保持部材に固着され、前記プローブヘッドの表面であって前記複数のプローブが突出する表面の縁端部近傍を全周に渡って前記基板の方向へ押さえ付けるリーフスプリングと、
をさらに備えたことを特徴とする請求項1または2記載のプローブカード。 - 検査対象である半導体ウェハの不良品を検出するために常温を含む複数の異なる温度環境下で前記半導体ウェハの導通を検査する検査方法であって、
導電性材料から成り、前記半導体ウェハが有する電極パッドに接触して電気信号の入力または出力を行う複数のプローブと、前記複数のプローブを収容保持するプローブヘッドと、検査用信号を生成する回路構造に対応する配線パターンを有する基板と、前記プローブヘッドに積層され、前記基板が有する前記配線パターンの間隔を変えて中継し、この中継した配線に対応して前記プローブヘッドと対向する側の表面に設けられた電極パッドを有するスペーストランスフォーマと、を備え、前記プローブヘッド、前記スペーストランスフォーマおよび前記半導体ウェハの熱膨張係数は互いに異なり、かつ前記プローブヘッドの熱膨張係数は、前記スペーストランスフォーマおよび前記半導体ウェハの熱膨張係数の中間の値を有し、前記プローブの一端は、前記複数の異なる温度環境のうち最低温度と最高温度との平均値の温度環境下で前記スペーストランスフォーマの電極パッドのうち中央部付近と接触し、前記最低温度環境下で前記スペーストランスフォーマの電極パッドのうち該スペーストランスフォーマの径方向における外縁部付近および内縁部付近の一方と接触し、前記最高温度環境下で前記スペーストランスフォーマの電極パッドのうち前記外縁部付近および前記内縁部付近の他方と接触するプローブカードを用いることにより、前記半導体ウェハと前記回路構造との間を電気的に接続し、
前記プローブの他端と前記半導体ウェハが有する電極パッドとの接触位置を、前記平均値の温度環境下で該電極パッドの中央部付近とすることを特徴とする検査方法。 - 前記半導体ウェハは、シリコンを主成分とすることを特徴とする請求項4記載の検査方法。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005380380A JP4842640B2 (ja) | 2005-12-28 | 2005-12-28 | プローブカードおよび検査方法 |
PCT/JP2006/325431 WO2007077743A1 (ja) | 2005-12-28 | 2006-12-20 | プローブカード |
US12/087,244 US7795892B2 (en) | 2005-12-28 | 2006-12-20 | Probe card |
KR1020087015549A KR101010948B1 (ko) | 2005-12-28 | 2006-12-20 | 프로브 카드 및 프로브 카드를 이용하여 반도체 웨이퍼의 fwlt를 수행하는 방법 |
MYPI20082372A MY146841A (en) | 2005-12-28 | 2006-12-20 | Probe card |
CN2006800492122A CN101346633B (zh) | 2005-12-28 | 2006-12-20 | 探针卡 |
EP06835051A EP1970715A4 (en) | 2005-12-28 | 2006-12-20 | test card |
TW095149161A TWI355704B (en) | 2005-12-28 | 2006-12-27 | Probe card |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005380380A JP4842640B2 (ja) | 2005-12-28 | 2005-12-28 | プローブカードおよび検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007178405A JP2007178405A (ja) | 2007-07-12 |
JP4842640B2 true JP4842640B2 (ja) | 2011-12-21 |
Family
ID=38228099
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005380380A Active JP4842640B2 (ja) | 2005-12-28 | 2005-12-28 | プローブカードおよび検査方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7795892B2 (ja) |
EP (1) | EP1970715A4 (ja) |
JP (1) | JP4842640B2 (ja) |
KR (1) | KR101010948B1 (ja) |
CN (1) | CN101346633B (ja) |
MY (1) | MY146841A (ja) |
TW (1) | TWI355704B (ja) |
WO (1) | WO2007077743A1 (ja) |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
MY147876A (en) * | 2005-12-05 | 2013-01-31 | Nhk Spring Co Ltd | Probe card |
JP5426365B2 (ja) * | 2007-03-14 | 2014-02-26 | 日本発條株式会社 | プローブカード |
JP5326240B2 (ja) * | 2007-08-24 | 2013-10-30 | 富士通株式会社 | プローブボードおよび電子デバイスの検査方法 |
JP5188161B2 (ja) | 2007-11-30 | 2013-04-24 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブカード |
JP2009133722A (ja) | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
JP5288248B2 (ja) * | 2008-06-04 | 2013-09-11 | 軍生 木本 | 電気信号接続装置 |
US8622752B2 (en) * | 2011-04-13 | 2014-01-07 | Teradyne, Inc. | Probe-card interposer constructed using hexagonal modules |
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JP6259590B2 (ja) * | 2013-06-12 | 2018-01-10 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブカード及びその製造方法 |
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JP6615680B2 (ja) * | 2016-04-08 | 2019-12-04 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブカード |
JP6872943B2 (ja) * | 2017-03-24 | 2021-05-19 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置 |
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JP7101457B2 (ja) | 2017-04-13 | 2022-07-15 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置 |
JP7075725B2 (ja) | 2017-05-30 | 2022-05-26 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置 |
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JP7198127B2 (ja) * | 2019-03-20 | 2022-12-28 | 株式会社アドバンテスト | インタポーザ、ソケット、ソケット組立体、及び、配線板組立体 |
TWI738201B (zh) * | 2019-03-29 | 2021-09-01 | 日商日本麥克隆尼股份有限公司 | 探針卡 |
TWI750552B (zh) * | 2019-12-16 | 2021-12-21 | 旺矽科技股份有限公司 | 可定位之探針卡及其製作方法 |
CN113430495B (zh) * | 2021-06-11 | 2022-12-09 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种半导体工艺设备 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6294635A (ja) * | 1985-10-22 | 1987-05-01 | 三井建設株式会社 | コンクリ−ト柱の施工法 |
JPH0338833Y2 (ja) * | 1985-12-04 | 1991-08-15 | ||
JPH0815171B2 (ja) * | 1987-05-27 | 1996-02-14 | 株式会社日立製作所 | 半導体素子検査装置 |
JPH07270816A (ja) * | 1994-04-01 | 1995-10-20 | Enplas Corp | 液晶パネル検査用コンタクト装置 |
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KR100496583B1 (ko) * | 2002-11-02 | 2005-06-22 | 윤수 | 반도체 검사용 프로브카드 |
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-
2005
- 2005-12-28 JP JP2005380380A patent/JP4842640B2/ja active Active
-
2006
- 2006-12-20 EP EP06835051A patent/EP1970715A4/en not_active Withdrawn
- 2006-12-20 CN CN2006800492122A patent/CN101346633B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-20 WO PCT/JP2006/325431 patent/WO2007077743A1/ja active Application Filing
- 2006-12-20 US US12/087,244 patent/US7795892B2/en active Active
- 2006-12-20 KR KR1020087015549A patent/KR101010948B1/ko active IP Right Grant
- 2006-12-20 MY MYPI20082372A patent/MY146841A/en unknown
- 2006-12-27 TW TW095149161A patent/TWI355704B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
MY146841A (en) | 2012-09-28 |
KR101010948B1 (ko) | 2011-01-25 |
KR20080079289A (ko) | 2008-08-29 |
EP1970715A4 (en) | 2012-10-03 |
WO2007077743A1 (ja) | 2007-07-12 |
TW200735247A (en) | 2007-09-16 |
CN101346633B (zh) | 2011-05-25 |
US7795892B2 (en) | 2010-09-14 |
JP2007178405A (ja) | 2007-07-12 |
TWI355704B (en) | 2012-01-01 |
CN101346633A (zh) | 2009-01-14 |
US20090167335A1 (en) | 2009-07-02 |
EP1970715A1 (en) | 2008-09-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080603 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110614 |
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