JP6785375B2 - 検査システム - Google Patents
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Description
まず、第1の実施形態について説明する。
図1は第1の実施形態に係る検査システムの概略構成を示す平面図、図2は図1の検査システムを示す縦断面図である。
図3は、検査室21内でウエハWに形成されたデバイスの電気的検査を行っている際のテスタ部22およびチャックトップ23の状態を示す図である。
テスタ部22のテスタ50を構成する複数のテスタモジュールボードは発熱するため、テスタ50(テスタモジュールボード)を冷却する必要がある。このため、従来、テスタモジュールボードに熱伝導シートを介して冷却プレートを貼り付け、冷却プレート内に冷却水チューブを介してチラーユニットから冷却水を循環供給していた。冷却水により熱交換し、昇温した冷却水をチラーユニット(熱交換器)により冷却することによりテスタ50の冷却を行っていた。しかし、本実施形態のようにテスタ50が移動する場合には、冷却水チューブをテスタ50とともに移動させる必要があり冷却水チューブの引き回しが複雑となる。
チラーユニット27は熱交換器として機能し、冷却液供給配管91および冷却液返戻配管92が接続されており、冷却液供給配管91へ所定の温度に冷却された冷却液が供給される。また、冷却液返戻配管92から冷却に供せられて昇温した冷却液がチラーユニット27に返戻される。冷却液供給配管91および冷却液返戻配管92は中継部材93に接続される。
図2では、シャッター25を垂直に描いているが、検査モジュール2が複数配列され、各検査モジュール2の検査室21は多段に設けられているため、実際には、シャッター25を垂直に設けるとシャッター25を上下方向に移動して開口24を開閉しようとするとシャッターどうしの干渉が問題となる。また、シャッター25を横方向に開閉すると、検査モジュール2の配置に制限が生じるとともに、検査システム自体のフットプリントが大きくなってしまう。本実施形態ではこのような問題を解消した、以下に説明するようなシャッターユニットを設ける。
図15および図16に示すように、シャッターユニット110は、ベースプレート101と、シャッター25と、パッキン102と、ガイド部材103と、シリンダ機構104とを有する。ベースプレート101は、検査室21の前面に設けられている。シャッター25は、ベースプレート101上を移動して検査室21前面の開口24を開閉する。パッキン102は、シャッター25を気密にシールする。ガイド部材103は、ベース部材101に設けられており、シャッター25をガイドする。シリンダ機構104は、シャッター25をガイド部材103に沿って移動させる。
そして、以上のような動作を繰り返し行う。
(1)ローダ部300のうち、検査部200とのインターフェイスとなる搬送部3、バッファ部4、プリアライメント部5もドライ雰囲気とする。
(2)バッファ部4およびプリアライメント部5と大気雰囲気との間をシャッター43およびシャッター44で仕切るようにする。
(3)搬送部3とアライメントエリア1との間にシャッター42を設ける。
次に、第2の実施形態について説明する。
図18は第2の実施形態に係る検査システムの概略構成を示す平面図である。本実施形態において、図1と同じものには同じ符号を付して説明を省略する。
次に、第3の実施形態について説明する。
図19は、第3の実施形態に係る検査システムの概略構成を示す縦断面図である。本実施形態では、検査システムの構成は、第1の実施形態と類似しているが、アライナーモジュールの構成が第1の実施形態とは異なり、また、アライメントの位置も第1の実施形態とは異なっている。なお、本実施形態において、図2と同じものには同じ符号を付して説明を省略する。
以上、実施形態について説明したが、今回開示された実施形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の特許請求の範囲およびその主旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。
Claims (28)
- 被検査体の電気的検査を行うためのテスタとプローブカードとを有するテスタ部が収容される検査室を複数段有する検査モジュールと、
被検査体と前記テスタ部のアライメントを行うアライナーモジュールと、
前記アライナーモジュールを収容するアライメントエリアと、
被検査体を前記アライナーモジュールに搬入出するローダ部と
を有し、
前記検査モジュールは、前記アライメントエリアに隣接して設けられており、
前記アライナーモジュールは、アライナーを有し、前記アライナーは被検査体を載置するステージが接続され、前記ステージの上に被検査体が載置され、
前記アライナーモジュールは、前記アライナーを収容し、昇降および昇降軸回りに回転可能に設けられた筐体を有する、検査システム。 - 前記筐体の上面に清浄気体のダウンフローを形成するためのファンフィルターユニットを有する、請求項1に記載の検査システム。
- 被検査体を前記テスタ部に装着する際に、所定の前記検査室の前記テスタ部が、該検査室から前記アライナーの上方に移動され、前記アライナーが前記ステージを上昇させて、前記被検査体が前記プローブカードのコンタクトプローブに接触された状態で前記ステージを前記テスタ部に密着させ、その状態で前記テスタ部が前記ステージとともに前記検査室に移動される、請求項1または請求項2に記載の検査システム。
- 被検査体の電気的検査を行うためのテスタとプローブカードとを有するテスタ部が収容される検査室を複数段有する検査モジュールと、
被検査体と前記テスタ部のアライメントを行うアライナーモジュールと、
前記アライナーモジュールを収容するアライメントエリアと、
被検査体を前記アライナーモジュールに搬入出するローダ部と
を有し、
前記検査モジュールは、前記アライメントエリアに隣接して設けられており、
前記アライナーモジュールは、アライナーを有し、前記アライナーは被検査体を載置するステージが接続され、前記ステージの上に被検査体が載置され、
被検査体を前記テスタ部に装着する際に、所定の前記検査室の前記テスタ部が、該検査室から前記アライナーの上方に移動され、前記アライナーが前記ステージを上昇させて、前記被検査体が前記プローブカードのコンタクトプローブに接触された状態で前記ステージを前記テスタ部に密着させ、その状態で前記テスタ部が前記ステージとともに前記検査室に移動される、検査システム。 - 前記アライナーモジュールは、昇降および昇降軸回りに回転可能に設けられている、請求項4に記載の検査システム。
- 少なくとも前記アライメントエリアおよび前記検査室は、検査に適した環境に保持される、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の検査システム。
- 前記ローダ部は、
被検査体収納容器から被検査体を搬入出するローダを有するローダモジュールと、
前記ローダモジュールから搬出された被検査体を前記アライメントエリアに対して搬送する搬送エリアとを有し、
前記搬送エリアが前記検査に適した環境に保持され、前記搬送エリアと前記アライメントエリアとの間にシャッターを有する、請求項6に記載の検査システム。 - 前記ローダは、前記被検査体収納容器に対して被検査体を受け渡しする位置と、前記搬送エリアに対して被検査体を受け渡しする位置との間で昇降可能に設けられている、請求項7に記載の検査システム。
- 前記搬送エリアは、被検査体を仮置きするバッファ部と、被検査体のプリアライメントを行うプリアライメント部と、前記バッファ部および前記プリアライメント部と前記アライナーモジュールとの間で被検査体を搬送する搬送機構を有する搬送部とを有し、
前記ローダからの被検査体の受け渡しは前記バッファ部および前記プリアライメント部に対して行われ、前記ローダモジュールと前記バッファ部との間、および前記ローダモジュールと前記プリアライメント部との間、および前記搬送部と前記アライメントエリアとの間に前記シャッターが設けられている、請求項7または請求項8に記載の検査システム。 - 前記搬送機構は前記バッファ部と前記プリアライメント部と前記アライナーモジュールの受け渡し部との間で昇降可能に設けられている、請求項9に記載の検査システム。
- 前記複数の検査室は、それぞれ独立して、または一体的に、前記検査に適した環境に制御される、請求項6から請求項10のいずれか1項に記載の検査システム。
- 前記複数の検査室のそれぞれと前記アライメントエリアとの間にシャッターが設けられている、請求項6から請求項11のいずれか1項に記載の検査システム。
- 前記検査室の前記アライメントエリア側に、前面が鉛直方向から傾いたベースプレートを有し、前記シャッターが前記鉛直方向から傾いた前面に沿って上下方向斜めに移動して、前記検査室の前記アライメントエリア側の開口を開閉する、請求項12に記載の検査システム。
- 前記ベースプレートには、前記シャッターをガイドするガイド部材が設けられ、前記シャッターは、複数のカムフォロアを有し、前記カムフォロアにより前記ガイド部材にガイドされ、前記ガイド部材は、前記シャッターが閉じられる際に、前記シャッターが前記ベースプレート側に押し付けられるように角度を付けられた落とし込み部を有する、請求項13に記載の検査システム。
- 前記複数の検査室のうち、少なくともメンテナンスされているものの前記シャッターが閉じられている、請求項12から請求項14のいずれか1項に記載の検査システム。
- 前記検査は低温で行われ、前記検査に適した環境は、ドライ雰囲気である、請求項6から請求項15のいずれか1項に記載の検査システム。
- 前記テスタを冷却する冷却機構を有する、請求項1から請求項16のいずれか1項に記載の検査システム。
- 前記冷却機構は、前記テスタ内に冷却液を供給する冷却液チューブを有し、前記冷却液チューブは、真空ラインおよび給電ケーブルとともに、多関節ケーブルダクト内に収容されている、請求項17に記載の検査システム。
- 前記冷却機構は、前記テスタの背面に、検査時に前記テスタに接触することで前記テスタを冷却する冷却部材を有し、前記テスタは、前記冷却部材に対して接離可能である、請求項17に記載の検査システム。
- 前記冷却部材は伝熱により前記テスタを冷却する、請求項19に記載の検査システム。
- 前記冷却機構は、前記テスタに設けられた、冷却媒体が循環する冷却媒体流路を有し、前記テスタが前記冷却部材から離間したときに前記冷却媒体流路を循環する冷却媒体により前記テスタが冷却される、請求項20に記載の検査システム。
- 前記冷却部材および前記テスタはそれぞれ冷却媒体流路を有し、
前記冷却部材が前記テスタに接触している際には、前記冷却部材の冷却媒体流路と前記テスタの冷却媒体流路がカプラにより接続されて、前記冷却部材からの冷却媒体が前記テスタに流れて冷却され、
前記テスタが前記冷却部材から離間したときには、前記冷却媒体が前記テスタの冷却媒体流路を流れて前記テスタが冷却される、請求項19に記載の検査システム。 - 前記冷却機構は、冷却部材と、前記冷却部材に対して接離可能に設けられたテスタ側冷却部材と、基端部が前記テスタ側冷却部材に挿入され、先端部が前記テスタ内部の発熱部に接続されたヒートパイプとを有する、請求項17に記載の検査システム。
- 前記ヒートパイプは、前記テスタ側の先端部に向けて下側方向に傾斜するように配置されている、請求項23に記載の検査システム。
- 前記テスタは、チャックに保持された被検査体に前記プローブカードのプローブが接触されることにより前記被検査体の電気的検査が行われ、前記チャックは、前記チャックに冷却液を循環供給するチャック用チラーユニットにより冷却され、前記冷却機構は、前記チャック用チラーユニットからの冷却液を循環供給することにより前記テスタを冷却する、請求項17から請求項24のいずれか1項に記載の検査システム。
- 前記冷却機構は、前記検査システムが設置される工場の工場内水を循環供給することにより前記テスタを冷却する、請求項17から請求項24のいずれか1項に記載の検査システム。
- 前記検査モジュールは、前記アライメントエリアの周囲に複数放射状に設けられている、請求項1から請求項26のいずれか1項に記載の検査システム。
- 前記アライメントエリアは、長い直方体状をなし、前記検査モジュールは前記アライメントエリアの長手方向の両面に沿って複数配列されており、前記アライナーモジュールは、前記アライメントエリアの長手方向にも移動可能に設けられている、請求項1から請求項26のいずれか1項に記載の検査システム。
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