JP6906128B2 - ウエハー試験装置 - Google Patents
ウエハー試験装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6906128B2 JP6906128B2 JP2020093761A JP2020093761A JP6906128B2 JP 6906128 B2 JP6906128 B2 JP 6906128B2 JP 2020093761 A JP2020093761 A JP 2020093761A JP 2020093761 A JP2020093761 A JP 2020093761A JP 6906128 B2 JP6906128 B2 JP 6906128B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- slide
- unit
- tray
- drive mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
Description
ウエハーの電極とプローブカードの端子間の位置合せを行うウエハー位置決めステージと、位置情報撮影機構と、昇降機構とを有するウエハー位置決めユニットと、
複数のウエハー試験ユニットを搭載する装置フレームと、を備え、
ウエハーの電極とプローブカードの端子間を真空圧で加圧接触させて試験を行うウエハー試験装置に関する。
しかしながら、ウエハー試験装置の下側に移動ステージが設置され、さらに移動ステージでウエハープレートを上下に移動させる為、ウエハー試験装置の必要とする高さ方向のスペースは大きくなり、一列の装置フレームに多数の試験装置を積載することは困難であった。
また、移動ステージの昇降でウエハーを載置したウエハープレートを昇降させることから、移動ステージの昇降時の垂直走行性とウエハー試験装置に搭載されるプローブカードの水平性が重要になり、ウエハー試験装置を多段に積載する場合それぞれのウエハー試験装置の水平搭載と移動ステージの垂直走行性が位置精度に大きく影響してくるという課題がある。
ウエハーの電極とプローブカードの端子間を、真空圧で加圧接触させて試験を行うウエハー試験装置であり、
テスト回路等を搭載するロードボードと、前記プローブカードと、前記ウエハーを載置するウエハートレーと、前記ロードボードと前記プローブカードで挟まれる空間及び前記プローブカードと前記ウエハートレーで挟まれる空間の周囲を囲んで密閉空間を形成する真空チャンバーと、を有するウエハー試験ユニットと、
前記ウエハー試験ユニットの前面側に配置され、前記ウエハートレーを載置し前記ウエハーの電極と前記プローブカードの端子間の位置合せを行うウエハー位置決めステージと、カメラを有する位置情報撮影機構と、前記ウエハー位置決めステージと前記位置情報撮影機構を昇降させるユニット昇降機構と、を有するウエハー位置決めユニットと、
前記ウエハー試験ユニットを搭載する装置フレームと、
を備え、
前記ウエハー試験ユニットは、
前記プローブカードに相対するように前記真空チャンバーに保持されている前記ウエハートレーが、該ウエハー試験ユニットの前面側に配置された前記ウエハー位置決めステージに相対するように、該ウエハー試験ユニットをスライドさせるユニットスライド機構を備えることを特徴とするウエハー試験装置。
前記ユニットスライド機構は、
スライドユニットとスライドガイドを有するリニアスライド機構と、
前記スライドユニットをスライドさせる駆動機構と、
前記リニアスライド機構と前記駆動機構が搭載されるフレーム部材と、
を備え、
前記スライドユニットが前記ウエハー試験ユニットに連結され、
前記フレーム部材が前記装置フレームに設置されることを特徴とする第1に記載するウエハー試験装置。
前記ウエハー位置決めステージは、
スライドした前記ウエハー試験ユニットのウエハートレーに相対するように配置され、
X方向とY方向と回転方向の位置制御を行うアライメントステージと、
前記アライメントステージのウエハートレー載置面の傾きを、前記ウエハートレーの傾きに追随させるアライメントステージ揺動機構と、
前記ウエハートレーを、前記真空チャンバーに保持される位置と前記ウエハーが載置される位置との間を昇降させるアライメントステージ昇降機構と、
を備えることを特徴とする第1から第2に記載するウエハー試験装置。
前記アライメントステージ揺動機構は、
前記ウエハー試験ユニットがスライドし前記ウエハー位置決めステージが前記ユニット昇降機構で押し上げられる時、前記真空チャンバーの下面の四隅に接触する突き当て部材と、
前記突き当て部材を有する揺動板と、
可動部と固定部を有する球面滑り軸受と、
前記突き当て部材が前記真空チャンバーに接触した時、前記揺動板の外周部に加わる荷重を支えるバネ部材と、
前記揺動板の下側に該揺動板が揺動するスペースを保って設置される揺動機構取付け板と、を備え、
前記突き当て部材は、
前記真空チャンバーに接触した時、前記位置情報撮影機構が前記ウエハートレーと前記プローブカードの間に挿入され、前記ウエハーの電極と前記プローブカードの端子の位置情報を取得できる高さを有し、
前記球面滑り軸受は、
前記揺動板と前記揺動機構取付け板の間の中央部に設置され、
前記バネ部材は、
前記球面滑り軸受の外周部に複数配置されることを特徴とする第3に記載するウエハー試験装置。
前記アライメントステージ昇降機構は、
前記揺動板と、
前記アライメントステージを搭載するアライメントステージ取付け板と、
ボールネジと、前記ボールネジの駆動でスライドする駆動機構スライド軸と、前記駆動機構スライド軸と嵌合する駆動機構スライドユニットと、を有する駆動機構と、
前記駆動機構を駆動する駆動モーターと、
スライド軸とスライドユニットを有するスライド機構と、
を備え、
前記駆動機構は、
前記駆動機構スライドユニットが、前記揺動板の四隅の所要の箇所に設置され、
前記駆動機構スライド軸の先端が、前記アライメントステージ取付け板の四隅の前記駆動機構スライドユニットが設置される箇所と相対する箇所に連結され、
前記ボールネジが前記揺動板に設置された前記駆動モーターに連結され、
前記スライド機構は、
前記スライドユニットが、前記揺動板の四隅の前記駆動機構スライドユニットが設置されない箇所に設置され、
前記スライド軸の先端が、前記アライメントステージ取付け板の四隅の前記スライドユニットが設置される箇所と相対する箇所に連結されることを特徴とする第3に記載するウエハー試験装置。
前記アライメントステージ昇降機構の駆動機構が設置される所要の箇所は、
前記アライメントステージ取付け板に加わる荷重と、該アライメントステージ取付け板を昇降させる速度によって、必要数を1から4の間で選ぶことができ、設置される場所は2カ所の場合のみ定め、2カ所設置の場合は四隅の斜めに対向する2カ所に設置されることを特徴とする第5に記載するウエハー試験装置。
前記アライメントステージ昇降機構は、
前記駆動機構にボールネジ一体型ボールスプラインが使用され、
前記スライド機構にボールスプラインが使用されることを特徴とする第5から第6に記載のウエハー試験装置。
前記ウエハー試験ユニットは、
前記ユニットスライド機構と、
前記ウエハートレーを、前記真空チャンバーに保持される位置と前記ウエハーが載置される位置との間を昇降させるウエハートレー昇降機構と、
を備えることを特徴とする第1に記載するウエハー試験ユニット。
前記ウエハートレー昇降機構は、
前記真空チャンバーと、
前記ウエハートレーを載置するウエハートレー保持板と、
ボールネジと、前記ボールネジの駆動でスライドする駆動機構スライド軸と、前記駆動機構スライド軸と嵌合する駆動機構スライドユニットと、を有する前記駆動機構と、
ボールネジを駆動する前記駆動モーターと、
スライド軸とスライドユニットを有する前記スライド機構と、
を備え、
前記駆動機構は、
前記駆動機構スライドユニットが、前記真空チャンバーの四隅の所要の箇所に設置され、前期駆動機構スライド軸の先端が、前記ウエハートレー保持板の四隅の前記駆動機構スライドユニットが設置される箇所と相対する箇所に連結され、
前期ボールネジが前記真空チャンバーに設置された前記駆動モーターに連結され、
前記スライド機構は、
前記スライドユニットが、前記真空チャンバーの四隅の前記駆動機構スライドユニットが設置されない箇所に設置され、
前記スライド軸の先端が、前記ウエハートレー保持板の四隅の前記スライドユニットが設置される箇所と相対する箇所に連結されることを特徴とする第8に記載のウエハー試験装置。
前記ウエハートレー昇降機構の駆動機構が設置される所要の箇所は、
前記ウエハートレー保持板に加わる荷重と該ウエハートレー保持板を昇降させる速度によって、必要数を1から4の間で選ぶことができ、設置される場所は2カ所設置の場合のみ定め、2カ所設置の場合は四隅の斜めに対向する2カ所に設置されることを特徴とする第9に記載のウエハー試験装置。
前記ウエハートレー昇降機構は、
前記駆動機構にボールネジ一体型ボールスプラインが使用され、
前記スライド機構にボールスプラインが使用されることを特徴とする第9から第10に記載のウエハー試験装置。
前記ウエハー位置決めステージは、
スライドした前記ウエハー試験ユニットのウエハートレーに相対するように配置され、
X方向とY方向と回転方向の位置制御を行うアライメントステージと、
前記アライメントステージのウエハートレー載置面の傾きを前記ウエハートレーの傾きに追随させるアライメントステージ揺動機構と、
を備えることを特徴とする第8に記載のウエハー試験装置。
前記アライメントステージ揺動機構は、
前記ウエハー試験ユニットがスライドし前記ウエハー位置決めステージが前記ユニット昇降機構で押し上げられる時、前記ウエハートレー保持板の下面の四隅に接触する突き当て部材と、
前記突き当て部材を有する前記揺動板と、
可動部と固定部を有する前記球面滑り軸受と、
前記突き当て部材が前記ウエハートレー保持板に接触した時、前記揺動板の外周部に加わる荷重を支える前記バネ部材と、
前記揺動板の下側に該揺動板が揺動するスペースを保って設置される揺動機構取付け板と、を備え、
前記突き当て部材は、
前記ウエハートレー保持板に接触した時、前記アライメントステージが前記ウエハートレーを押し上げて位置制御が行える高さを有し、
前記球面滑り軸受は、
前記揺動板と前記揺動機構取付け板の間の中央部に設置され、
前記バネ部材は、
前記球面軸受が設置される外周部に複数配置されることを特徴とする第12に記載のウエハー試験ユニット。
前記ウエハー位置決めユニットは、
前記ウエハー位置決めステージと、前記位置情報撮影機構と、前記ユニット昇降機構と、
該ウエハー位置決めユニットを列方向にスライドさせる横方向ユニットスライド機構と、を備え、
前記横方向ユニットスライド機構は、
スライドユニットとスライドガイドを有するリアスライド機構と、前記スライドユニットをスライドさせる駆動機構と、前記リニアスライド機構と前記駆動機構が搭載されるフレーム部材と、
を備えることを特徴とする第1から第13に記載のウエハー試験装置。
ウエハーの電極とプローブカードの端子間を、真空圧で加圧接触させて試験を行うウエハー試験装置であり、
テスト回路等を搭載するロードボードと、前記プローブカードと、前記ウエハーを載置するウエハートレーと、前記ロードボードと前記プローブカードで挟まれる空間及び前記プローブカードと前記ウエハートレーで挟まれる空間の周囲を囲んで密閉空間を形成する真空チャンバーと、を有するウエハー試験ユニットと、
前記ウエハー試験ユニットの前面側に配置され、前記ウエハートレーを載置し前記ウエハーの電極と前記プローブカードの端子間の位置合せを行うウエハー位置決めステージと、カメラを有する位置情報撮影機構と、前記ウエハー位置決めステージと前記位置情報撮影機構を昇降させるユニット昇降機構と、を有するウエハー位置決めユニットと、
前記ウエハー試験ユニットを搭載する装置フレームと、
を備え、
前記ウエハー試験ユニットは、
前記プローブカードに相対するように前記真空チャンバーに保持されている前記ウエハートレーが、該ウエハー試験ユニットの前面側に配置された前記ウエハー位置決めステージに相対するように、該ウエハー試験ユニットをスライドさせるユニットスライド機構を備えることにより、
前記ウエハー試験ユニットの下側に前記ウエハー位置決めステージのスペースが不要になり、前記ウエハー試験ユニットを連続して前記装置フレームに搭載することができる。
さらに、前記ウエハー位置決めステージにより前記ウエハー試験ユニットがスライドした後、前記ウエハーと前記プローブカードの位置合せを行うことができる。
前記ユニットスライド機構は、
スライドユニットとスライドガイドを有するリニアスライド機構と、
前記スライドユニットをスライドさせる駆動機構と、
前記リニアスライド機構と前記駆動機構が搭載されるフレーム部材と、
を備え、
前記スライドユニットが前記ウエハー試験ユニットに連結され、
前記フレーム部材が前記装置フレームに設置されることにより、
前記駆動機構の駆動で、前記ウエハートレーが前記ウエハー位置決ステージと相対するように、前記ウエハー試験ユニットをスライドさせることができ、前記ウエハー試験ユニットの下側に前記ウエハー位置決めユニットの設置スペースを無くし、前記ウエハー試験ユニットを連続して前記装置フレームに搭載することができる。
前記ウエハー位置決めステージは、
スライドした前記ウエハー試験ユニットのウエハートレーに相対するように配置され、
X方向とY方向と回転方向の位置制御を行うアライメントステージと、
前記アライメントステージのウエハートレー載置面の傾きを、前記ウエハートレーの傾きに追随させるアライメントステージ揺動機構と、
前記ウエハートレーを、前記真空チャンバーに保持される位置と前記ウエハーが載置される位置との間を昇降させるアライメントステージ昇降機構と、
を備えることにより、
前記ウエハートレーに相対するように配置された前記ウエハー位置決めステージは、
前記ウエハートレーの傾きに前記アライメントステージの傾きを追随させ、該ウエハートレーの傾きを変えることなく、該ウエハートレーを前記真空チャンバーに保持される位置と前記ウエハーを載置する位置との間を昇降させることができる。
この昇降により、前記ウエハーの該ウエハートレーへの載置と、前記ウエハーの電極と前記プローブカードの端子の位置合せを行うことができる。
さらに該ウエハートレーを上昇させて前記ウエハーの電極と前記プローブカードの端子を接触させる工程において、前記アライメントステージ揺動機構と前記アライメントステージ昇降機構の機能により、該ウエハートレーは前記プローブカードに対し水平度をもって垂直に上昇することができ、上昇による位置ずれを発生させることなく高精度に端子間の接続を行うことができる。
前記アライメントステージ揺動機構は、
前記ウエハー試験ユニットがスライドし前記ウエハー位置決めステージが前記ユニット昇降機構で押し上げられる時、前記真空チャンバーの下面の四隅に接触する突き当て部材と、
前記突き当て部材を有する揺動板と、
可動部と固定部を有する球面滑り軸受と、
前記突き当て部材が前記真空チャンバーに接触した時、前記揺動板の外周部に加わる荷重を支えるバネ部材と、
前記揺動板の下側に該揺動板が揺動するスペースを保って設置される揺動機構取付け板と、を備え、
前記突き当て部材は、
前記真空チャンバーに接触した時、前記位置情報撮影機構が前記ウエハートレーと前記プローブカードの間に挿入され、前記ウエハーの電極と前記プローブカードの端子の位置情報を取得できる高さを有し、
前記球面滑り軸受は、
前記揺動板と前記揺動機構取付け板の間の中央部に設置され、
前記バネ部材は、
前記球面滑り軸受の外周部に複数配置されることにより、
前記アライメントステージが全方向に揺動することができ、前記揺動板の外周部に加わる荷重は、複数の前記バネ部材が前記球面滑り軸受の周囲に配置されることにより均衡を保つことができる。
また、前記ウエハー位置決めステージが前記ユニット昇降機構により上昇させられ、前記揺動板に配置された前記突き当て部材が前記真空チャンバーの下面の四隅に接触することにより、前記揺動板の傾きが前記真空チャンバーの傾きに追随する。
該揺動板が前記アライメントステージを搭載していることから、該アライメントステージのウエハートレー載置面が、前記真空チャンバーの傾きに追随することができる。
さらに、前記ウエハートレーが前記真空チャンバーに吸引保持されていることから、前記アライメントステージのウエハートレー載置面が、前記ウエハートレーと同じ傾きを得ることができている。
なお前記突き当て部材は、前記位置情報撮影機構が前記ウエハーと前記プローブカードの間で、それぞれの位置情報を取得できる高さを有していることから、前記位置情報撮影機構による位置情報の取得ができる。
前記アライメントステージ昇降機構は、
前記揺動板と、
前記アライメントステージを搭載するアライメントステージ取付け板と、
ボールネジと、前記ボールネジの駆動でスライドする駆動機構スライド軸と、前記駆動機構スライド軸と嵌合する駆動機構スライドユニットと、を有する駆動機構と、
前記駆動機構を駆動する駆動モーターと、
スライド軸とスライドユニットを有するスライド機構と、
を備え、
前記駆動機構は、
前記駆動機構スライドユニットが、前記揺動板の四隅の所要の箇所に設置され、
前記駆動機構スライド軸の先端が、前記アライメントステージ取付け板の四隅の前記駆動機構スライドユニットが設置される箇所と相対する箇所に連結され、
前記ボールネジが前記揺動板に設置された前記駆動モーターに連結され、
前記スライド機構は、
前記スライドユニットが、前記揺動板の四隅の前記駆動機構スライドユニットが設置されない箇所に設置され、
前記スライド軸の先端が、前記アライメントステージ取付け板の四隅の前記スライドユニットが設置される箇所と相対する箇所に連結されることにより、
ボールネジと、前記ボールネジの駆動でスライドする駆動機構スライド軸と、前記駆動機構スライド軸と嵌合する駆動機構スライドユニットとが一体化された前記駆動機構は、前記ウエハートレーの傾きに追随した前記アライメントステージを高速、且つ低振動で昇降させることができる。
さらに、第6の発明で記述しているように前記駆動機構が設置される箇所が、1カ所から4カ所までの間で選ぶことができ、前記アライメントステージが必要とする可搬重量と昇降速度により最適な所要数の選定を行うことができる。
また、複数設置される前記駆動機構が同期して駆動されることにより、前記アライメントステージの可搬重量を大きくでき、且つ振動を抑えて高速に昇降させることができる。
前記アライメントステージ昇降機構の駆動機構が設置される所要の箇所は、
前記アライメントステージ取付け板に加わる荷重と該アライメントステージ取付け板を昇降させる速度によって、必要数を1から4の間で選ぶことができ、設置される場所は2カ所の場合のみ定め、2カ所設置の場合は四隅の斜めに対向する2カ所に設置されることにより、
前記アライメントステージが必要とする可搬重量と昇降速度により最適な所要数の選定を行うことができる。
また前記駆動機構が複数設置される場合は、複数の前記駆動機構が同期して駆動されることにより、前記アライメントステージの可搬重量を大きくでき、振動を抑えて高速に昇降させることができる。
前記アライメントステージ昇降機構は、
前記駆動機構にボールネジ一体型ボールスプラインが使用され、
前記スライド機構にボールスプラインが使用されることにより、
前記駆動機構と前記スライド機構に市販製品を利用でき、前記アライメントステージ昇降機構を容易に構築できると共に、前記アライメントステージを垂直に、高速且つ低振動で昇降させることができ、前記駆動機構の設置数により該アライメントステージの可搬重量を50kg、80kg、100kg等の大きな重量にも対応させることができる。
前記ウエハー試験ユニットは、
前記ユニットスライド機構と、
前記ウエハートレーを、前記真空チャンバーに保持される位置と前記ウエハーが載置される位置との間を昇降させるウエハートレー昇降機構と、
を備えることにより、
前記ウエハー試験ユニットの下側に前記ウエハー位置決めステージのスペースが不要になり、前記ウエハー試験ユニットを連続して前記装置フレームに搭載することができる。
さらに前記ウエハートレー昇降機構を備えることで、前記ウエハートレーの昇降を前記ウエハー位置決めステージに依存することなく、前記ウエハー試験ユニット自身で行うことができる。このことにより、前記ウエハー位置決めステージは位置合せが終了後次の試験に備えて移動することができ、試験装置の稼働率を向上させることができる。
前記ウエハートレー昇降機構は、
前記真空チャンバーと、
前記ウエハートレーを載置するウエハートレー保持板と、
ボールネジと、前記ボールネジの駆動でスライドする駆動機構スライド軸と、前記駆動機構スライド軸と嵌合する駆動機構スライドユニットと、を有する前記駆動機構と、
ボールネジを駆動する前記駆動モーターと、
スライド軸とスライドユニットを有する前記スライド機構と、を備え、
前記駆動機構は、
前記駆動機構スライドユニットが、前記真空チャンバーの四隅の所要の箇所に設置され、前期駆動機構スライド軸の先端が、前記ウエハートレー保持板の四隅の前記駆動機構スライドユニットが設置される箇所と相対する箇所に連結され、
前期ボールネジが前記真空チャンバーに設置された前記駆動モーターに連結され、
前記スライド機構は、
前記スライドユニットが、前記真空チャンバーの四隅の前記駆動機構スライドユニットが設置されない箇所に設置され、
前記スライド軸の先端が、前記ウエハートレー保持板の四隅の前記スライドユニットが設置される箇所と相対する箇所に連結されることにより、
ボールネジと、前記ボールネジの駆動でスライドする駆動機構スライド軸と、前記駆動機構スライド軸と嵌合する駆動機構スライドユニットとが一体化された前記駆動機構は、前記ウエハートレー保持板を高速且つ低振動で昇降させることができる。
さらに、第10の発明で記述しているように前記駆動機構が設置される箇所は1カ所から4カ所まで選ぶことができ、前記ウエハートレー保持板が必要とする可搬重量と昇降速度により最適な所要数の選定を行うことができる。
また、複数設置される前記駆動機構が同期して駆動されることにより、前記ウエハートレー保持板の可搬重量を大きくでき、高速且つ低振動で昇降させることができる。
前記ウエハートレー昇降機能の駆動機構が設置される所要の箇所は、
前記ウエハートレー保持板に加わる荷重と該ウエハートレー保持板を昇降させる速度によって、必要数を1から4の間で選ぶことができ、設置場所は2カ所の場合のみ定め、2カ所設置の場合は四隅の斜めに対向する2カ所に設置されることにより、
前記ウエハートレー保持板が必要とする可搬重量と昇降速度により最適な所要数の選定を行うことができ、前記駆動機構が複数設置される場合は、複数の前記駆動機構が同期して駆動されることにより、前記ウエハートレー保持板の可搬重量を大きくでき、高速且つ低振動で昇降させることができる。
前記ウエハートレー昇降機構は、
前記駆動機構にボールネジ一体型ボールスプラインが使用され、
前記スライド機構にボールスプラインが使用されることにより、
前記駆動機構と前記スライド機構に市販製品を利用でき、前記トレー昇降機構を容易に構築できると共に、前記ウエハートレー保持板を垂直に、高速且つ低振動で昇降させることができ、前記駆動機構の設置数により該ウエハートレー保持板の可搬重量を50kg、80kg、100kg等の大きな重量にも対応させることができる。
前記ウエハー位置決めステージは、
スライドした前記ウエハー試験ユニットのウエハートレーに相対するように配置され、
X方向とY方向と回転方向の位置制御を行うアライメントステージと、
前記アライメントステージのウエハートレー載置面の傾きを前記ウエハートレーの傾きに追随させるアライメントステージ揺動機構と、
を備えることにより、
前記ウエハートレーに相対するように配置された前記ウエハー位置決めステージは、
前記ユニット昇降機構が上昇することにより、前記ウエハーが載置される位置に降下している前記ウエハートレー保持板の裏面に接触するまで押し上げられ、前記アライメントステージ揺動機構の機能により、前記ウエハートレーの傾きに前記アライメントステージの傾きを追随させることができる。
このことにより、前記ウエハートレーの傾きを変えることなく、前記ウエハートレー保持板に保持された前記ウエハートレーを前後左右に移動できる位置に押し上げ、前記ウエハーの電極と前記プローブカードの端子の位置合せを行うことができる。なお前記ウエハートレーを押し上げる高さは数ミリメートルで十分対応できる。
前記アライメントステージ揺動機構は、
前記ウエハー試験ユニットがスライドし前記ウエハー位置決めステージが前記ユニット昇降機構で押し上げられる時、前記ウエハートレー保持板の下面の四隅に接触する突き当て部材と、
前記突き当て部材を有する前記揺動板と、
可動部と固定部を有する前記球面滑り軸受と、
前記突き当て部材が前記ウエハートレー保持板に接触した時、前記揺動板の外周部に加わる荷重を支える前記バネ部材と、
前記揺動板の下側に該揺動板が揺動するスペースを保って設置される揺動機構取付け板と、を備え、
前記突き当て部材は、
前記ウエハートレー保持板に接触した時、前記アライメントステージが前記ウエハートレーを押し上げて位置制御が行える高さを有し、
前記球面滑り軸受は、
前記揺動板と前記揺動機構取付け板の間の中央部に設置され、
前記バネ部材は、
前記球面軸受が設置される外周部に複数配置されることにより、
前記アライメントステージが全方向に揺動することができ、前記揺動板の外周部に加わる荷重は、複数の前記バネ部材が周囲に配置されることにより均衡を保つことができる。
さらに前記ウエハー位置決めステージが前記ユニット昇降機構により上昇させられることで、前記揺動板に配置された前記突き当て部材が前記ウエハートレー保持板の下面の四隅に接触すると同時に、前記アライメントステージのウエハートレー載置面が前記ウエハートレーに接触して数ミリメートル押し上げている。
この接触により、前記揺動板の傾きが前記ウエハートレー保持板の傾きに追随し、該揺動板が前記アライメントステージを搭載していることから、該アライメントステージのウエハートレー載置面が、前記ウエハートレー保持板の傾きに追随することができる。
また、前記ウエハートレーも該ウエハートレー保持板に載置されていることから、前記アライメントステージのウエハートレー載置面が前記ウエハートレーと同じ傾きを得ることができている。
さらに前記突き当て部材は、前記アライメントステージが前記ウエハートレーを数ミリメートル押し上げて、位置制御が行える高さを有していることから、前記アライメントステージによる前記ウエハートレーのX方向とY方向と回転方向の位置制御を行うことができる。
前記ウエハー位置決めユニットは、
前記ウエハー位置決めステージと、
前記位置情報撮影機構と、
前記ユニット昇降機構と、
該ウエハー位置決めユニットを列方向にスライドさせる横方向ユニットスライド機構と、を備え、
前記横方向ユニットスライド機構は、
スライドユニットとスライドガイドを有するリアスライド機構と、
前記スライドユニットをスライドさせる駆動機構と、
前記リニアスライド機構と前記駆動機構が搭載されるフレーム部材と、
を備えることにより、
列方向に複数配置された前記装置フレームに搭載された前記ウエハー試験ユニットに対応できる。
特に前記ウエハートレー昇降機構を備えた前記ウエハー試験装置において、前記ウエハー位置決めユニットの機能は、前記ウエハーと前記プローブカードの位置合せだけになるため、複数のウエハー試験装置への対応も可能になり、該ウエハー試験装置を効率的に稼働することが可能になる。
ここで、添付図面において同一の部材には同一符号を付しており、また重複した説明は省略されている。
なお、ここでの説明は本発明が実施される一形態であることから、本発明は該当形態に限定されるものではない。
また前記ウエハートレー23は、前記ウエハー位置決めステージ32により前記ウエハー試験ユニット20から切り離され、ウエハー15の載置が行われる位置に移動した状態を示している。
スライドユニット28bが組み込まれるリニアスライド機構28aと、前記スライドユニット28bをスライドさせる駆動機構28cと、前記リニアスライド機構28aと前記駆動機構28cが搭載されるフレーム部材28dと、駆動モーター28eとを備えている。
これにより、前記駆動機構28cが駆動モーター28eで駆動されることで前記ウエハー試験ユニット20がスライドすることができる。
前記駆動機構28cにはボールネジが使用され、前記スライドユニット28bにはナットが組み込まれ、前記ボールネジの駆動で前記スライドユニット28bがスライドする機構になっている。
なお、前記ウエハー試験ユニット20が軽量で、且つスライドする速度が低速の場合は片側に設置することも可能である。
また、位置情報撮影機構33は上下面を撮影するカメラと照明を有している。
図示は省略するが、前記ウエハートレー載置面35は前記ウエハートレー23を吸引保持する吸引口を有し、バキューム機構29(図示は省略)で吸引している。
前記駆動機構55を構成する前記駆動機構スライド軸57の先端が1カ所、及び前記スライド機構52を構成する前記スライド軸53の先端が3カ所前記アライメントステージ取付け板51の四隅に連結されている。前記駆動機構55が駆動されることで、前記アライメントステージ取付け板51が昇降する。
前記第二の密閉空間24bを真空吸引することで、前記プローブカード21と前記ウエハー15間の電気的接続が行われる。
なお、前記バキューム機構29の圧力調整で密閉空間の減圧と大気圧への開放を行うことができる。
図7と同様に、前記突き当て部材42は前記真空チャンバー24の下面に接触している。
このことにより、市販製品が使用可能なことと、前記ウエハートレーの垂直昇降、大きな荷重への対応、及び高速且つ低振動での昇降を行うことができる。
前記スライド機構52はスライド軸53とスライドユニット54を備えている。
前記駆動機構55と前記スライド機構52は、図5で説明の駆動機構55及びスライド機構52と同じ機構が使用されている。
前記真空チャンバー24と、前記シール部材22bと、前期プローブカード21と、前記シール部材22と、前記ウエハートレー23とで第二の密閉空間24bが形成される。
なお、真空吸引は前記バキューム機構29で行われ、該バキューム機構29の圧力調整で密閉空間の減圧と加圧及び大気圧への開放が行われる。
前記ウエハー位置決めユニット30が前記横方向ユニットスライド機構37を備えることで、該ウエハー位置決めユニット30を列方向にスライドさせることができる。
ウエハー試験ユニットにユニットスライド機構を設け、さらにウエハー位置決めステージに、アライメントステージ揺動機構とアライメントステージ昇降機構を設けることにより、
ウエハー試験ユニットの下側にウエハー位置決めステージのスペースを無くすことができ、ウエハートレーに載置されたウエハーとプローブカードの位置合せを行い、ウエハートレーを上昇させてウエハーの電極とプローブカードの端子を接触させる工程において、ウエハートレーの上昇による位置ズレを発生させることなく、ウエハーの電極とプローブカードの端子を高精度に接触させることができる。
また、ウエハー試験ユニットにユニットスライド機構とウエハートレー昇降機構を設ける方式の場合、ウエハー位置決めステージがウエハートレーを昇降させる工程を、ウエハー位置決めステージから切り離し、ウエハートレー昇降機構に行わせることができ、ウエハー位置決めステージには、ウエハーの位置合せの工程のみを行わせることで、ウエハーの電極とプローブカードの端子間の高精度の位置合せと、高稼働率のウエハー試験装置を提供することができる。
本方式の場合ウエハー試験ユニットのコストは高くなるデメリットもあるが、本発明の第14の実施形態に係るウエハー位置決めユニットを使用することで、高稼働率のウエハー試験装置が実現する。
さらに、本発明におけるウエハー試験装置は従来の多段構成の試験装置に比較し、より多くのウエハー試験ユニットの搭載を可能にすることから、一度に多数のウエハーの試験が要求されるウエハーレベルバーンイン試験などの試験装置として期待できる。
11 装置フレーム
15 ウエハー
16 ロードボード
20 ウエハー試験ユニット
21 プローブカード
22 シール部材
22a シール部材
22b シール部材
23 ウエハートレー
24 真空チャンバー
24a 第一の密閉空間
24b 第二の密閉空間
25 ユニットフレーム
26 テスター部
27 接続部材
28 ユニットスライド機構
28a リニアスライド機構
28b スライドユニット
28c 駆動機構
28d フレーム部材
28e 駆動モーター
29 バキューム機構
30 ウエハー位置決めユニット
31 ユニット昇降機構
32 ウエハー位置決めステージ
33 位置情報撮影機構
34 アライメントステージ
35 ウエハートレー載置面
36 昇降テーブル
37 横方向ユニットスライド機構
37a フレーム部材
38 リニアスライド機構
38a スライドガイド
38b スライドユニット
39 駆動機構
40 アライメントステージ揺動機構
41 揺動板
42 突き当て部材
42a 突き当て部材
44 揺動機構取付け板
44a 揺動機構取付け板
45 球面滑り軸受
46 バネ部材
50 アライメントステージ昇降機構
51 アライメントステージ取付け板
52 スライド機構
53 スライド軸
54 スライドユニット
55 駆動機構
56 ボールネジ
57 駆動機構スライド軸
58 駆動機構スライドユニット
59 駆動モーター
60 ウエハートレー昇降機構
61 ウエハートレー保持板
Claims (8)
- ウエハーの電極とプローブカードの端子間を、真空圧で加圧接触させて試験を行うウエハー試験装置であり、
テスト回路等を搭載するロードボードと、前記プローブカードと、前記ウエハーを載置するウエハートレーと、前記ロードボードと前記プローブカードで挟まれる空間及び前記プローブカードと前記ウエハートレーで挟まれる空間の周囲を囲んで密閉空間を形成する真空チャンバーと、を有するウエハー試験ユニットと、
前記ウエハー試験ユニットの前面側に配置され、前記ウエハートレーを載置し前記ウエハーの電極と前記プローブカードの端子間の位置合せを行うウエハー位置決めステージと、カメラを有する位置情報撮影機構と、前記ウエハー位置決めステージと前記位置情報撮影機構を昇降させるユニット昇降機構と、を有するウエハー位置決めユニットと、
前記ウエハー試験ユニットを搭載する装置フレームと、
を備え、
前記ウエハー試験ユニットは、
前記プローブカードに相対するように前記真空チャンバーに保持されている前記ウエハートレーが、該ウエハー試験ユニットの前面側に配置された前記ウエハー位置決めステージに相対するように、該ウエハー試験ユニットをスライドさせるユニットスライド機構を備え、
前記ウエハー位置決めステージは、
スライドした前記ウエハー試験ユニットのウエハートレーに相対するように配置され、
X方向とY方向と回転方向の位置制御を行うアライメントステージと、
前記アライメントステージのウエハートレー載置面の傾きを、前記ウエハートレーの傾きに追随させるアライメントステージ揺動機構と、
前記ウエハートレーを、前記真空チャンバーに保持される位置と前記ウエハーが載置される位置との間を昇降させるアライメントステージ昇降機構と、
を備え、
前記アライメントステージ揺動機構は、
前記ウエハー試験ユニットがスライドし前記ウエハー位置決めステージが前記ユニット昇降機構で押し上げられる時、前記真空チャンバーの下面の四隅に接触する突き当て部材と、
前記突き当て部材を有する揺動板と、
可動部と固定部を有する球面滑り軸受と、
前記突き当て部材が前記真空チャンバーに接触した時、前記揺動板の外周部に加わる荷重を支えるバネ部材と、
前記揺動板の下側に該揺動板が揺動するスペースを保って設置される揺動機構取付け板と、
を備え、
前記突き当て部材は、
前記真空チャンバーに接触した時、前記位置情報撮影機構が前記ウエハートレーと前記プローブカードの間に挿入され、前記ウエハーの電極と前記プローブカードの端子の位置情報を取得できる高さを有し、
前記球面滑り軸受は、
前記揺動板と前記揺動機構取付け板の間の中央部に設置され、
前記バネ部材は、
前記球面滑り軸受の外周部に複数配置されることを特徴とするウエハー試験装置。 - ウエハーの電極とプローブカードの端子間を、真空圧で加圧接触させて試験を行うウエハー試験装置であり、
テスト回路等を搭載するロードボードと、前記プローブカードと、前記ウエハーを載置するウエハートレーと、前記ロードボードと前記プローブカードで挟まれる空間及び前記プローブカードと前記ウエハートレーで挟まれる空間の周囲を囲んで密閉空間を形成する真空チャンバーと、を有するウエハー試験ユニットと、
前記ウエハー試験ユニットの前面側に配置され、前記ウエハートレーを載置し前記ウエハーの電極と前記プローブカードの端子間の位置合せを行うウエハー位置決めステージと、カメラを有する位置情報撮影機構と、前記ウエハー位置決めステージと前記位置情報撮影機構を昇降させるユニット昇降機構と、を有するウエハー位置決めユニットと、
前記ウエハー試験ユニットを搭載する装置フレームと、
を備え、
前記ウエハー試験ユニットは、
前記プローブカードに相対するように前記真空チャンバーに保持されている前記ウエハートレーが、該ウエハー試験ユニットの前面側に配置された前記ウエハー位置決めステージに相対するように、該ウエハー試験ユニットをスライドさせるユニットスライド機構を備え、
前記ウエハー位置決めステージは、
スライドした前記ウエハー試験ユニットのウエハートレーに相対するように配置され、
X方向とY方向と回転方向の位置制御を行うアライメントステージと、
前記アライメントステージのウエハートレー載置面の傾きを、前記ウエハートレーの傾きに追随させるアライメントステージ揺動機構と、
前記ウエハートレーを、前記真空チャンバーに保持される位置と前記ウエハーが載置される位置との間を昇降させるアライメントステージ昇降機構と、
を備え、
前記アライメントステージ昇降機構は、
前記アライメントステージ揺動機構に設けられ、前記ウエハー試験ユニットがスライドし前記ウエハー位置決めステージが前記ユニット昇降機構で押し上げられる時、前記真空チャンバーの下面の四隅に接触する突き当て部材を有する揺動板と、
前記アライメントステージを搭載するアライメントステージ取付け板と、
ボールネジと、前記ボールネジの駆動でスライドする駆動機構スライド軸と、
前記駆動機構スライド軸と嵌合する駆動機構スライドユニットと、を有する駆動機構と、
前記駆動機構を駆動する駆動モーターと、
スライド軸とスライドユニットを有するスライド機構と、
を備え、
前記駆動機構は、
前記駆動機構スライドユニットが、前記揺動板の四隅の所要の箇所に設置され、前記駆動機構スライド軸の先端が、前記アライメントステージ取付け板の四隅の前記駆動機構スライドユニットが設置される箇所と相対する箇所に連結され、
前記ボールネジが前記揺動板に設置された前記駆動モーターに連結され、
前記スライド機構は、
前記スライドユニットが、前記揺動板の四隅の前記駆動機構スライドユニットが設置されない箇所に設置され、
前記スライド軸の先端が、前記アライメントステージ取付け板の四隅の前記スライドユニットが設置される箇所と相対する箇所に連結されることを特徴とするウエハー試験装置。 - 前記アライメントステージ昇降機構の駆動機構が設置される所要の箇所は、1乃至4カ所のいずれかであり、2カ所設置の場合は四隅の斜めに対向する2カ所に設置されることを特徴とする請求項2に記載のウエハー試験装置。
- 前記アライメントステージ昇降機構は、
前記駆動機構にボールネジ一体型ボールスプラインが使用され、
前記スライド機構にボールスプラインが使用されることを特徴とする請求項2または3に記載のウエハー試験装置。 - ウエハーの電極とプローブカードの端子間を、真空圧で加圧接触させて試験を行うウエハー試験装置であり、
テスト回路等を搭載するロードボードと、前記プローブカードと、前記ウエハーを載置するウエハートレーと、前記ロードボードと前記プローブカードで挟まれる空間及び前記プローブカードと前記ウエハートレーで挟まれる空間の周囲を囲んで密閉空間を形成する真空チャンバーと、を有するウエハー試験ユニットと、
前記ウエハー試験ユニットの前面側に配置され、前記ウエハートレーを載置し前記ウエハーの電極と前記プローブカードの端子間の位置合せを行うウエハー位置決めステージと、カメラを有する位置情報撮影機構と、前記ウエハー位置決めステージと前記位置情報撮影機構を昇降させるユニット昇降機構と、を有するウエハー位置決めユニットと、
前記ウエハー試験ユニットを搭載する装置フレームと、
を備え、
前記ウエハー試験ユニットは、
前記プローブカードに相対するように前記真空チャンバーに保持されている前記ウエハートレーが、該ウエハー試験ユニットの前面側に配置された前記ウエハー位置決めステージに相対するように、該ウエハー試験ユニットをスライドさせるユニットスライド機構と、
前記ウエハートレーを、前記真空チャンバーに保持される位置と前記ウエハーが載置される位置との間を昇降させるウエハートレー昇降機構を備え、
前記ウエハートレー昇降機構は、
前記真空チャンバーと、
前記ウエハートレーを載置するウエハートレー保持板と、
ボールネジと、前記ボ−ルネジの駆動でスライドする駆動機構スライド軸と、
前記駆動機構スライド軸と嵌合する駆動機構スライドユニットと、を有する駆動機構と、
ボールネジを駆動する駆動モーターと、
スライド軸とスライドユニットを有するスライド機構と、
を備え、
前記駆動機構は、
前記駆動機構スライドユニットが、前記真空チャンバーの四隅の所要の箇所に設置され、
前記駆動機構スライド軸の先端が、前記ウエハートレー保持板の四隅の前記駆動機構スライドユニットが設置される箇所と相対する箇所に連結され、
前記ボールネジが前記真空チャンバーに設置された前記駆動モーターに連結され、
前記スライド機構は、
前記スライドユニットが、前記真空チャンバーの四隅の前記駆動機構スライドユニットが設置されない箇所に設置され、
前記スライド軸の先端が、前記ウエハートレー保持板の四隅の前記スライドユニットが設置される箇所と相対する箇所に連結されることを特徴とするウエハー試験装置。 - 前記ウエハートレー昇降機構の駆動機構が設置される所要の箇所は、
1乃至4カ所のいずれかであり、2カ所設置の場合は四隅の斜めに対向する2カ所に設置されることを特徴とする請求項5に記載のウエハー試験装置。 - 前記ウエハートレー昇降機構は、
前記駆動機構にボールネジ一体型ボールスプラインが使用され、
前記スライド機構にボールスプラインが使用されることを特徴とする請求項5または6に記載のウエハー試験装置。 - 前記ウエハー位置決めステージは、
スライドした前記ウエハー試験ユニットのウエハートレーに相対するように配置され、
X方向とY方向と回転方向の位置制御を行うアライメントステージと、
前記アライメントステージのウエハートレー載置面の傾きを前記ウエハートレーの傾きに追随させるアライメントステージ揺動機構と、
を備え、
前記アライメントステージ揺動機構は、
前記ウエハー試験ユニットがスライドし前記ウエハー位置決めステージが前記ユニット昇降機構で押し上げられる時、前記ウエハートレー保持板の下面の四隅に接触する突き当て部材と、
前記突き当て部材を有する揺動板と、
可動部と固定部を有する球面滑り軸受と、
前記突き当て部材が前記ウエハートレー保持板に接触した時、前記揺動板の外周部に加わる荷重を支えるバネ部材と、
前記揺動板の下側に該揺動板が揺動するスペースを保って設置される揺動機構取付け板と、
を備え、
前記突き当て部材は、
前記ウエハートレー保持板に接触した時、前記アライメントステージが前記ウエハートレーを押し上げて位置制御が行える高さを有し、
前記球面滑り軸受は、
前記揺動板と前記揺動機構取付け板の間の中央部に設置され、
前記バネ部材は、
前記球面滑り軸受が設置される外周部に複数配置されることを特徴とする請求項5に記載のウエハー試験装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019130610 | 2019-06-26 | ||
JP2019130610 | 2019-06-26 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021005700A JP2021005700A (ja) | 2021-01-14 |
JP2021005700A5 JP2021005700A5 (ja) | 2021-02-25 |
JP6906128B2 true JP6906128B2 (ja) | 2021-07-21 |
Family
ID=74060838
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020093761A Active JP6906128B2 (ja) | 2019-06-26 | 2020-04-24 | ウエハー試験装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6906128B2 (ja) |
WO (1) | WO2020261949A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114054385B (zh) * | 2021-11-11 | 2024-02-09 | 四川和恩泰半导体有限公司 | 全自动双头晶片测试机 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6267928B2 (ja) * | 2013-10-29 | 2018-01-24 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査装置の整備用台車及びウエハ検査装置の整備方法 |
JP6515007B2 (ja) * | 2015-09-30 | 2019-05-15 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査方法及びウエハ検査装置 |
JP6785375B2 (ja) * | 2017-06-21 | 2020-11-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム |
JP6956030B2 (ja) * | 2018-02-28 | 2021-10-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム |
-
2020
- 2020-04-24 JP JP2020093761A patent/JP6906128B2/ja active Active
- 2020-06-01 WO PCT/JP2020/022452 patent/WO2020261949A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2020261949A1 (ja) | 2020-12-30 |
JP2021005700A (ja) | 2021-01-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4457180B1 (ja) | ウエハトレイおよび試験装置 | |
JP4437508B1 (ja) | 試験装置 | |
US6879180B2 (en) | Display panel inspection apparatus and inspection method | |
KR102361259B1 (ko) | 웨이퍼 시험장치 | |
KR20200138002A (ko) | 위치 결정 기구 및 위치 결정 방법 | |
JP6471401B1 (ja) | 半導体ウエハーの試験ユニット | |
JP6906128B2 (ja) | ウエハー試験装置 | |
CN110211889B (zh) | 检查系统 | |
JP5161975B2 (ja) | コネクタ着脱装置およびテストヘッド | |
JP2009539112A (ja) | Tft−lcd検査のための小型プローバ | |
TWI613452B (zh) | 電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置 | |
JP4398513B1 (ja) | 配線基板ユニットおよび試験装置 | |
JP2021118344A (ja) | ウエハー試験装置 | |
KR101354690B1 (ko) | 터치스크린 패널의 조립장치에 적용되는 패널 이송장치 | |
JP4482707B1 (ja) | 試験装置 | |
JP2021136425A (ja) | ウエハー試験装置 | |
KR20030040913A (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러의 테스트 트레이의 소자탈부착장치 | |
KR20130010761A (ko) | 향상된 기구적 강성을 갖는 수평수직 이동기구 | |
JP3817258B2 (ja) | 基板位置合わせ装置 | |
JP2017161326A (ja) | 電子部品搬送装置、および電子部品検査装置 | |
JP2018148060A (ja) | ウエハーレベルパッケージの試験装置 | |
KR102295435B1 (ko) | 미세 피치를 갖는 디바이스의 얼라인 및 테스트장치 그리고 디바이스의 얼라인방법 | |
JP3400735B2 (ja) | 傾き調整装置およびボンディング装置 | |
KR102297834B1 (ko) | 대형 패널 검사용 회전스테이지 장치 | |
KR100536474B1 (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송용 픽커 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200514 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200701 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20201127 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201127 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20210107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210202 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210219 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210511 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210519 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6906128 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |