JPH0338833Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0338833Y2 JPH0338833Y2 JP1985186812U JP18681285U JPH0338833Y2 JP H0338833 Y2 JPH0338833 Y2 JP H0338833Y2 JP 1985186812 U JP1985186812 U JP 1985186812U JP 18681285 U JP18681285 U JP 18681285U JP H0338833 Y2 JPH0338833 Y2 JP H0338833Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- card
- jig
- probe card
- fixing
- clamper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 20
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 4
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
（利用分野）
この考案は、半導体の製造工程中、ウエハー上
に多数配列されたチツプの電気的性能を検査する
ためのプロービングマシンに於いて、各チツプの
電極パツドに押し付ける触針を有するプローブカ
ードをプロービングマシンに取り付ける装置に関
するものである。
に多数配列されたチツプの電気的性能を検査する
ためのプロービングマシンに於いて、各チツプの
電極パツドに押し付ける触針を有するプローブカ
ードをプロービングマシンに取り付ける装置に関
するものである。
（従来技術）
プロービングマシンにおいては検査すべきチツ
プの品種が変わるとプローブカードも交換するの
であるが、この場合新たに装着されるカードは、
その触針位置を、チツプのパツドに合わせるよう
に、取付方向の微細な調整を行なうようにして対
処していた。この作業は顕微鏡で観察しながら、
多数本の針の先端とパツドとが一致するように位
置、方向の調整等をするもので、これには多くの
時間と煩雑な操作とを要していた。
プの品種が変わるとプローブカードも交換するの
であるが、この場合新たに装着されるカードは、
その触針位置を、チツプのパツドに合わせるよう
に、取付方向の微細な調整を行なうようにして対
処していた。この作業は顕微鏡で観察しながら、
多数本の針の先端とパツドとが一致するように位
置、方向の調整等をするもので、これには多くの
時間と煩雑な操作とを要していた。
そこでこれを能率的に行なうために、カードを
固定しておいて、針を圧接させて針跡を作り、こ
の針跡の方向、位置を検知することによつてその
誤差を検出して、この誤差に見合うだけのウエハ
ーの位置決め補正、もしくはカードの補正を行な
うことが考えられていた。
固定しておいて、針を圧接させて針跡を作り、こ
の針跡の方向、位置を検知することによつてその
誤差を検出して、この誤差に見合うだけのウエハ
ーの位置決め補正、もしくはカードの補正を行な
うことが考えられていた。
（考案が解決しようとする問題点）
しかしこれらの方法で行なうためには形状認識
測定・演算の装置を必要とし、全体として高価に
なる欠点があつた。
測定・演算の装置を必要とし、全体として高価に
なる欠点があつた。
（問題点を解決する為の手段）
本考案は、プローブカードが一枚毎に手作業に
よつて作成されるので、各カード毎に触針の方
向、位置の誤差が生じる点に着目して、プローブ
カードをクランパにより固定したカード固定治具
をプロービングマシンのカード取付部に取り付け
固定するものであつて、該カード取付部にはカー
ド固定治具を固定するクランパを設けると共に該
カード固定治具の取付位置規制手段を設けて、上
記従来問題点を解決したものである。
よつて作成されるので、各カード毎に触針の方
向、位置の誤差が生じる点に着目して、プローブ
カードをクランパにより固定したカード固定治具
をプロービングマシンのカード取付部に取り付け
固定するものであつて、該カード取付部にはカー
ド固定治具を固定するクランパを設けると共に該
カード固定治具の取付位置規制手段を設けて、上
記従来問題点を解決したものである。
（作用）
検査されるチツプに対応して作成された各カー
ドを治具の上に予め方向を正確に規制して固定す
ることにより、カードを治具に固定した状態にお
いて取り扱うようにする、これにより一度治具上
に正確に取り付けられれば、以後は治具をプロー
ビングマシンの取付部にセツトするだけで自動的
にカードは正確に取り付けられる。
ドを治具の上に予め方向を正確に規制して固定す
ることにより、カードを治具に固定した状態にお
いて取り扱うようにする、これにより一度治具上
に正確に取り付けられれば、以後は治具をプロー
ビングマシンの取付部にセツトするだけで自動的
にカードは正確に取り付けられる。
（実施例）
第１図、第２図において、プロービングマシン
のプローブカードの取付部１は中央に開口が設け
られ、プローブカード取付治具４の位置規制のた
めのピン２，３及び該治具４を固定するクランパ
５，６を該取付部周辺の適宜個所に設けている。
治具４はピン２，３に対応する取付孔４ａ，４ｂ
を有し、プローブカード７を固定するためのクラ
ンパ８，９を適宜個所に設けている。ここで図示
の通り、ピン２，３はほぼ直径位置に設けられ、
孔４ａはピン２に正確に一致する丸孔であり、他
の孔４ｂは孔４ａと対称位置に設けられ、二つの
ピンの中心を結ぶ線に沿つた長孔である。なおカ
ード７の中央の開口部には下向きに多数本の触針
１０が植えてあつて、その下に位置するウエハー
１１は載置テーブル１２の上にセツトされ、その
上下動によつて触針１０がウエハー１１のチツプ
に接触する。ここで治具４はピン２，３によつて
正確な位置に固定されるようにしている。
のプローブカードの取付部１は中央に開口が設け
られ、プローブカード取付治具４の位置規制のた
めのピン２，３及び該治具４を固定するクランパ
５，６を該取付部周辺の適宜個所に設けている。
治具４はピン２，３に対応する取付孔４ａ，４ｂ
を有し、プローブカード７を固定するためのクラ
ンパ８，９を適宜個所に設けている。ここで図示
の通り、ピン２，３はほぼ直径位置に設けられ、
孔４ａはピン２に正確に一致する丸孔であり、他
の孔４ｂは孔４ａと対称位置に設けられ、二つの
ピンの中心を結ぶ線に沿つた長孔である。なおカ
ード７の中央の開口部には下向きに多数本の触針
１０が植えてあつて、その下に位置するウエハー
１１は載置テーブル１２の上にセツトされ、その
上下動によつて触針１０がウエハー１１のチツプ
に接触する。ここで治具４はピン２，３によつて
正確な位置に固定されるようにしている。
以上のような構成に於いて、プローブカードを
位置決めするに当たつては、治具のクランパ８，
９を緩め、プローブカード７を自由とし、ウエハ
ー１１のチツプのパツドと針先の位置を正確に一
致するように位置調整を行なつて、クランパ８，
９を締めて治具とカードとを一体とする。そして
カードはその取り出しに際しては、プローブカー
ド取付部のクランパ５，６を緩めて、治具に固定
された状態で取り出す。すなわち以降はカードは
治具に取り付けられた状態において取り扱われ
る。そこで一回だけ最初に正確にカードを位置決
めしておけば、治具とカード取付部１がピン２，
３のような規制手段により位置を整合されている
ので、以下は何らの調整を必要とせずに、能率的
にカードの交換が可能となる。
位置決めするに当たつては、治具のクランパ８，
９を緩め、プローブカード７を自由とし、ウエハ
ー１１のチツプのパツドと針先の位置を正確に一
致するように位置調整を行なつて、クランパ８，
９を締めて治具とカードとを一体とする。そして
カードはその取り出しに際しては、プローブカー
ド取付部のクランパ５，６を緩めて、治具に固定
された状態で取り出す。すなわち以降はカードは
治具に取り付けられた状態において取り扱われ
る。そこで一回だけ最初に正確にカードを位置決
めしておけば、治具とカード取付部１がピン２，
３のような規制手段により位置を整合されている
ので、以下は何らの調整を必要とせずに、能率的
にカードの交換が可能となる。
（効果）
プローブカードは一旦位置決め固定しておけ
ば、治具により位置合わせを保証されているの
で、以後の着脱を治具ごと行なえば再調整等煩雑
な作業を不要にして、至極便利な装置を提供する
ことができる。
ば、治具により位置合わせを保証されているの
で、以後の着脱を治具ごと行なえば再調整等煩雑
な作業を不要にして、至極便利な装置を提供する
ことができる。
第１図は本考案のプローブカード固定治具にプ
ローブカードを取り付けた状態の平面図、第２図
はプローブカード取付部に取り付けた状態を示す
の断面図。 １：カード取付部、２，３：位置規制用ピン、
４：プローブカード固定治具、５，６，８，９：
クランパ、７：プローブカード、１０：触針。
ローブカードを取り付けた状態の平面図、第２図
はプローブカード取付部に取り付けた状態を示す
の断面図。 １：カード取付部、２，３：位置規制用ピン、
４：プローブカード固定治具、５，６，８，９：
クランパ、７：プローブカード、１０：触針。
Claims (1)
- プロービングマシンのプローブカード取付装置
に於いて、プローブカードをクランパにより固定
したカード固定治具をプロービングマシンのカー
ド取付部に取り付けて固定するものであつて、該
カード取付部にはカード固定治具を固定するクラ
ンパを設けると共に、カード取付部にはほぼ直径
位置に二本のピンを有し、かつカード固定治具に
はこのピンに対応して円孔並びにピン中心を結ぶ
方向に長孔を設けることを特徴とするプローブカ
ードの取付装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985186812U JPH0338833Y2 (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985186812U JPH0338833Y2 (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6294635U JPS6294635U (ja) | 1987-06-17 |
| JPH0338833Y2 true JPH0338833Y2 (ja) | 1991-08-15 |
Family
ID=31136710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985186812U Expired JPH0338833Y2 (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0338833Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102006054735A1 (de) * | 2005-12-05 | 2007-06-06 | Feinmetall Gmbh | Elektrische Kontakteinrichtung und elektrische Prüfvorrichtung für die Prüfung eines elektrischen Prüflings |
| JP4842640B2 (ja) * | 2005-12-28 | 2011-12-21 | 日本発條株式会社 | プローブカードおよび検査方法 |
| US8456184B2 (en) * | 2007-03-14 | 2013-06-04 | Nhk Spring Co., Ltd. | Probe card for a semiconductor wafer |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55125639A (en) * | 1979-03-23 | 1980-09-27 | Hitachi Ltd | Inspection apparatus |
| JPS601840A (ja) * | 1983-06-20 | 1985-01-08 | Nec Corp | プロ−ブカ−ドの固定装置 |
| JPS60206149A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-17 | Toshiba Corp | ウエハの試験装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4849958U (ja) * | 1971-10-14 | 1973-06-30 | ||
| JPS60143372U (ja) * | 1984-03-06 | 1985-09-24 | 株式会社東芝 | 半導体素子の電気特性測定装置 |
-
1985
- 1985-12-04 JP JP1985186812U patent/JPH0338833Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55125639A (en) * | 1979-03-23 | 1980-09-27 | Hitachi Ltd | Inspection apparatus |
| JPS601840A (ja) * | 1983-06-20 | 1985-01-08 | Nec Corp | プロ−ブカ−ドの固定装置 |
| JPS60206149A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-17 | Toshiba Corp | ウエハの試験装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6294635U (ja) | 1987-06-17 |
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