JPH04364054A - 検査装置およびその方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、微細ピッチパターンの
検査に用いる検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の検査装置としては、たと
えば図５および図６に示す構成のものが知られている。

【０００３】この図５および図６に示す検査装置は、ガ
ラスエポキシなどの熱変化の少ない材料にて形成された
プリント基板１の中央に、矩形状の窓孔２が形成されて
いる。この窓孔２の周囲には放射状にプリント電極３が
形成され、このプリント電極３には、このプリント電極
３に対応して、タングステンなどの材料を用いた複数の
針状接触子４を電気的に接続し、この針状接触子４をガ
イド５にて整列固定したものである。また、プリント電
極３には、図示しない検査回路を接続する。

【０００４】そして、半導体のウェハ検査や、その他の
パターン検査を電気的に行なう場合、被測定物６の検査
パッド７に、針状接触子４を電気的に接触させ、測定用
の閉回路を構成する。これにより、必要な電気的特性の
検査を行なう。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図５お
よび図６に示す構成の場合、針状接触子４を、被測定物
６の検査パッド７のピッチに合わせなければならないた
め、検査パッド７のピッチが微細になると、同一ピッチ
で針状接触子４を整列、固定することが困難になる。ま
た、針状接触子４を整列、固定した場合でもたとえば１
００ピン以上になる場合は、中央部の針状接触子４の修
正が困難となり、保守性が非常に悪い問題を有している
。

【０００６】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、簡単な構成で微細ピッチに対応でき、保守性も容易
な検査装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の検査装置は、フ
ィルムの一面に被測定物と同一ピッチで形成されたプロ
ーブパターンと、このプローブパターンに対応して前記
フィルムの一面と他面とを挿通するスルーホールと、前
記フィルムの他面に形成され前記スルーホールを介して
前記プローブパターンに電気的に接続されるバンプと、
このバンプを前記被測定物に加圧接触させる保持機構と
を具備したものである。

【０００８】

【作用】本発明の検査装置は、フィルムの一面に被測定
物と同一ピッチでプローブパターンを形成し、スルーホ
ールを介してプローブパターンに電気的に接続されるバ
ンプを形成し、保持機構でバンプを被測定物に加圧接触
させるため、プローブパターンは、半導体製造技術によ
り微細ピッチに形成でき、また、針状接触子などのよう
な保守が不要なので、簡単な構成で保守性も容易になる
。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の検査装置の一実施例を図面を
参照して説明する。

【００１０】図１ないし図４に示す検査装置は、図３お
よび図４に示すように、透光性の有機フィルム１１の上
面に、フォトエッチングプロセスの２層テープキャリア
形成方式を用いて、微細ピッチのプローブパターン１２
および位置合わせ用の十字形状のアライメントマーク１
３が形成されている。また、各プローブパターン１２に
対応して、上面と下面とを連通するスルーホール１４が
形成されている。そして、有機フィルム１１の裏面には
、スルーホール１４を介して、プローブパターン１２に
電気的に接続され突出形成された金（Ａｕ）のバンプ１
５が設けられている。

【００１１】さらに、プローブパターン１２には、図示
しない検査回路または機構部との固定に用いる有機フィ
ルム１１の周囲に取り付けられる口字状のプリント基板
１６が設けられている。このプリント基板１６は、下面
に配線パターン１７が形成され、この配線パターン１７
と有機フィルム１１のプローブパターン１２とが電気的
に接続されている。

【００１２】またさらに、このプリント基板１６の内側
には、絶縁材料にて形成された加圧保持機構１８が取り
付けられている。この加圧保持機構１８は、中央部にア
ライメントマーク１３の確認用の窓孔１９が形成され、
下部にはバンプ１５の略上面のみに位置してバンプ１５
を押圧する押圧突部２０が突出形成されている。すなわ
ち、バンプ１５以外の部分を押圧すると有機フィルム１
１が変形などのおそれがあるため、バンプ１５の上部の
みを押圧する。

【００１３】一方、２１は被測定物で、この被測定物２
１の上面には、有機フィルム１１のバンプ１５に対応す
る位置に検査パッド２２が形成され、さらに、有機フィ
ルム１１のアライメントマーク１３に対応する十字形状
のアライメントマーク２３が中央に形成されている。

【００１４】次に、上記実施例の動作について説明する
。

【００１５】まず、保持機構１８の中央の窓孔１９より
透光性の有機フィルム１１を介して確認して、被測定物
２１のアライメントマーク２３に対して、有機フィルム
１１に形成されたアライメントマーク１３が直上の位置
に位置するように、たとえば上方に設けられた図示しな
いカメラなどで位置合わせを行なう。有機フィルム１１
のアライメントマーク１３はプローブパターン１２とと
もに形成され、被測定物２１のアライメントマーク２３
は検査パッド２２とともに形成されているので、２つの
アライメントマーク１３，２３の位置合わせを行なうこ
とにより、プローブパターン１２に対応するバンプ１５
と、検査パッド２２とを高精度に位置合わせできる。

【００１６】この状態で、有機フィルム１１を下降、あ
るいは、被測定物２１を上昇させることにより、バンプ
１５と検査パッド２２を電気的に接触させ、測定用の閉
回路を構成する。そして、保持機構１８により、バンプ
１５と検査パッド２２の電気的接触を確実にする。これ
により、たとえば半導体のウェハー検査、ＬＣＤのパタ
ーン検査などの必要な電気的特性の検査を行なう。

【００１７】上記実施例によれば、微細ピッチの要求さ
れるいわゆる接触子であるプローブパターン１２は、フ
ォトエッチングプロセスを用いて形成されているため、
容易に形成でき、量産性にも富み、また、接触子のよう
な位置合わせの保守が必要ではないので、保守性が向上
する。

【００１８】また、有機フィルム１１のプローブパター
ン１２は、有機フィルム１１の上面に形成されているの
で、被測定物と不慮の接触を避けることができ、機械的
および電気的に安全である。

【００１９】上記実施例では、アライメントマーク１３
の位置を中央とし、十字状に形成したが、位置および形
状は、任意のものでよい。

【００２０】また、バンプ１５は接触抵抗値の低い金（
Ａｕ）にて形成したが、被測定物のパターンの材質に従
い任意の材質としてもよい。

【００２１】さらに、プローブパターン１２の形状を従
来の接触子の配設形状に合わせれば、従来の装置に置き
換えることができる。

【００２２】

【発明の効果】本発明の検査装置によれば、フィルムの
一面に被測定物と同一ピッチでプローブパターンを形成
し、スルーホールを介してプローブパターンに電気的に
接続されるバンプを形成し、保持機構でバンプを被測定
物に加圧接触させるため、プローブパターンは、半導体
製造技術により微細ピッチに形成でき、また、針状接触
子などのような保守が不要なので、簡単な構成にするこ
とができ保守性も容易にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査装置の一実施例を示す図２に示す
構成のＩ−Ｉ断面図である。

【図２】同上平面図である。

【図３】同上検査装置の有機フィルムを示す図４に示す
構成のＩＩＩ　−ＩＩＩ　断面図である。

【図４】同上平面図である。

【図５】従来例の検査装置の一実施例を示す図６に示す
構成のＶ−Ｖ断面図である。

【図６】同上平面図である。

【符号の説明】

１１　　　　有機フィルム １２　　　　プローブパターン １４　　　　スルーホール １５　　　　バンプ １８　　　　保持機構

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　フィルムの一面に被測定物と同一ピッ
   チで形成されたプローブパターンと、このプローブパタ
   ーンに対応して前記フィルムの一面と他面とを挿通する
   スルーホールと、前記フィルムの他面に形成され前記ス
   ルーホールを介して前記プローブパターンに電気的に接
   続されるバンプと、このバンプを前記被測定物に加圧接
   触させる保持機構とを具備したことを特徴とする検査装
   置。