JPS614968A - プロ−ブ装置及びプロ−ブカ−ド - Google Patents
プロ−ブ装置及びプロ−ブカ−ドInfo
- Publication number
- JPS614968A JPS614968A JP12452584A JP12452584A JPS614968A JP S614968 A JPS614968 A JP S614968A JP 12452584 A JP12452584 A JP 12452584A JP 12452584 A JP12452584 A JP 12452584A JP S614968 A JPS614968 A JP S614968A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- probe
- wafer
- card
- alignment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、プローブ装置に関するものであり、特にプロ
ーブカードの自動位置合わせ機能を持つプローブ装置に
関するものである。
ーブカードの自動位置合わせ機能を持つプローブ装置に
関するものである。
一般に半導体素子製造工程において、個々のチップに切
断する前のウェハ状態でＩＣチップの特性をテストする
ための装置としてＩＣテスタ及びプローブ装置（以下ウ
ェハブロー八という。）が使われている。実際のテスト
はＩＣテスタで行われるが、このＩＣテスタとウェ／＼
上のＩＣチップとの電気的コンタクトを行うのがウェハ
ブロー八である。
断する前のウェハ状態でＩＣチップの特性をテストする
ための装置としてＩＣテスタ及びプローブ装置（以下ウ
ェハブロー八という。）が使われている。実際のテスト
はＩＣテスタで行われるが、このＩＣテスタとウェ／＼
上のＩＣチップとの電気的コンタクトを行うのがウェハ
ブロー八である。
この電気的コンタクトを行うためにウェハブロー八にお
いては、テストすべきウェハをｘｙｚ方向に移動可能に
配置し、他方ウェハの各チップのポンディングパッドの
位置に対応してプローブ針を取り付けたプローブカード
を回転可能に配置する。したがって上述のプローブ針と
ＩＣチップのポンディングパッドとを正確に電気的なコ
ンタクトを行なわせるためには、プローブカードをウェ
ハブロー八に取付ける際に、プローブカードの正確な位
置合わせが必要となる。
いては、テストすべきウェハをｘｙｚ方向に移動可能に
配置し、他方ウェハの各チップのポンディングパッドの
位置に対応してプローブ針を取り付けたプローブカード
を回転可能に配置する。したがって上述のプローブ針と
ＩＣチップのポンディングパッドとを正確に電気的なコ
ンタクトを行なわせるためには、プローブカードをウェ
ハブロー八に取付ける際に、プローブカードの正確な位
置合わせが必要となる。
従来この種の装置は、ウェハをプローブカードの下方に
移動した後に、プローブカードのプローブ劃の配列方向
と、ウェハ上のＩＣチップのポンディングパッドの配列
方向とが平行になるように、プローブカードを手動によ
り回転する。更にプローブ針の下方にウェハの１つのＩ
Ｃチップのポンディングパッドが配置されるように、ウ
ェハを手動により移動し、この時のウェハの位置データ
からプローブカードのｘｙＸ方向誤差データを算出する
。この誤差データが実際の各チップ毎のブロービング時
にウェハの位置データの補正に用いられる。
移動した後に、プローブカードのプローブ劃の配列方向
と、ウェハ上のＩＣチップのポンディングパッドの配列
方向とが平行になるように、プローブカードを手動によ
り回転する。更にプローブ針の下方にウェハの１つのＩ
Ｃチップのポンディングパッドが配置されるように、ウ
ェハを手動により移動し、この時のウェハの位置データ
からプローブカードのｘｙＸ方向誤差データを算出する
。この誤差データが実際の各チップ毎のブロービング時
にウェハの位置データの補正に用いられる。
ここで、テストするウェハの種類が異なり、当該ポンデ
ィングパッドに対応するプローブ劃を有するプローブカ
ードに交換したり、またプローブ針の補修などの場合に
はプローブカードをブロー八から着脱しなければならな
い。しかしながらこのような場合にはプローブカードの
位置誤差検出や位置合わせを必ず手動で行なわなければ
ならず、したがって操作者にとって非常に煩雑であり、
またテスト時間が長くなるという欠点があった。
ィングパッドに対応するプローブ劃を有するプローブカ
ードに交換したり、またプローブ針の補修などの場合に
はプローブカードをブロー八から着脱しなければならな
い。しかしながらこのような場合にはプローブカードの
位置誤差検出や位置合わせを必ず手動で行なわなければ
ならず、したがって操作者にとって非常に煩雑であり、
またテスト時間が長くなるという欠点があった。
本発明は、上記従来例の欠点に鑑み、プローブカードの
位置合わせを自動的に行うことのできるプローブ装置を
提供することを目的とする。
位置合わせを自動的に行うことのできるプローブ装置を
提供することを目的とする。
（実施例〕
以下図面を参照して本発明の詳細な説明すあり、プロー
ブカード１には、テストするウェハのチップのポンディ
ングパッドの配置位置に対応したプローブ針２が取り付
けられている。またプローブカード１の下面には、カー
ド１０表面（特に下面）と異なる反射率の７ライメント
マーク３ ａ、３ ｂ、３ ｃが設けられている。アラ
イメントマーク３ａはＸ方向に伸び、アライメントマー
ク３ｂ、３ｃはＸ方向に伸びた直線で構成きれている。
ブカード１には、テストするウェハのチップのポンディ
ングパッドの配置位置に対応したプローブ針２が取り付
けられている。またプローブカード１の下面には、カー
ド１０表面（特に下面）と異なる反射率の７ライメント
マーク３ ａ、３ ｂ、３ ｃが設けられている。アラ
イメントマーク３ａはＸ方向に伸び、アライメントマー
ク３ｂ、３ｃはＸ方向に伸びた直線で構成きれている。
不図示のブロー八本体上には、カードエツジコネクタ４
と、プローブカードｌを保持するカードホルダ５が、回
転台６を介して取り付けられ、回転台６はウオームギア
７を介してステップモータ８により回転可能である。コ
ネクタ４はプローブカード１のプローブ針２と不図示の
ＩＣテスタとの電気的接続を行う。
と、プローブカードｌを保持するカードホルダ５が、回
転台６を介して取り付けられ、回転台６はウオームギア
７を介してステップモータ８により回転可能である。コ
ネクタ４はプローブカード１のプローブ針２と不図示の
ＩＣテスタとの電気的接続を行う。
図示右方において、ウェハステージ９はプローブ装置に
おいて＞（ｙｚＸ方向移動可能に配置され、ウェハステ
ージ９上にはウェハチャック１０を介して、テストを行
うウェハ１１が載置されている。ウェハステージ９上に
は更にファイバセンサなどの反射型のフォートセンサ１
２が配置されている。
おいて＞（ｙｚＸ方向移動可能に配置され、ウェハステ
ージ９上にはウェハチャック１０を介して、テストを行
うウェハ１１が載置されている。ウェハステージ９上に
は更にファイバセンサなどの反射型のフォートセンサ１
２が配置されている。
コントローラ１３は、使用するプローブカードｌの種類
により、プローブ針２と７ライメントマーク３ａ、３ｂ
、３ｃとの相対位置情報を書込み可能なメモリを有し、
また後述するプローブカードｌの位置検出、モータ８及
びウニハス手−ジ９の駆動を行う。
により、プローブ針２と７ライメントマーク３ａ、３ｂ
、３ｃとの相対位置情報を書込み可能なメモリを有し、
また後述するプローブカードｌの位置検出、モータ８及
びウニハス手−ジ９の駆動を行う。
上記構成において、まずウェハステージ９をプローブカ
ード１の下方においてｘｙＸ方向移動することにより、
フォトセンサ１２でアライメントマーク３ａ、３ｂ、３
ｃ上を走査し、プローブカードｌの位置合わせ誤差を検
出する。すなわちアライメントマーク３ａ上をＸ方向に
フォトセンサ１２か走査することによりプローブカード
１のＸ方向の位置情報が得られ、同様にアライメントマ
ーク３ｂ又は３Ｃ上をＸ方向に走査することによりプロ
ーブカードｌのＸ方向の情報が得られる。またプローブ
カードｌの回転方向の情報は、アライメントマーク３ｂ
と３０の距離、及びアライメントマーク３ｂと３０のＸ
方向の位置情報により得られる。上記のプローブカード
ｌの位置情報の演算はコントローラ１３で行なわれる。
ード１の下方においてｘｙＸ方向移動することにより、
フォトセンサ１２でアライメントマーク３ａ、３ｂ、３
ｃ上を走査し、プローブカードｌの位置合わせ誤差を検
出する。すなわちアライメントマーク３ａ上をＸ方向に
フォトセンサ１２か走査することによりプローブカード
１のＸ方向の位置情報が得られ、同様にアライメントマ
ーク３ｂ又は３Ｃ上をＸ方向に走査することによりプロ
ーブカードｌのＸ方向の情報が得られる。またプローブ
カードｌの回転方向の情報は、アライメントマーク３ｂ
と３０の距離、及びアライメントマーク３ｂと３０のＸ
方向の位置情報により得られる。上記のプローブカード
ｌの位置情報の演算はコントローラ１３で行なわれる。
次いでコントローラ１３は、上記の回転方向の情報によ
りパルスモータ８に指令を出して回転板６を回転し、プ
ローブカード１の回転方向の誤差を補正する。
りパルスモータ８に指令を出して回転板６を回転し、プ
ローブカード１の回転方向の誤差を補正する。
ｘｙＸ方向誤差は、各ブロービング時、即ちウェハ９の
各チップ毎にウェハステージ９をステ・ンプ移動する際
に同時に行なわれる。
各チップ毎にウェハステージ９をステ・ンプ移動する際
に同時に行なわれる。
尚反射型のフォトセンサ１２として用いることが可能な
ファイバセンサは、繰り返し精度が１鱗程度あり、プロ
ーブカードの位置合わせ要求精度を十分満たすことがで
きる。
ファイバセンサは、繰り返し精度が１鱗程度あり、プロ
ーブカードの位置合わせ要求精度を十分満たすことがで
きる。
前記実施例では、プローブカードｌのＸ方向とＸ方向と
の位置検出用にアライメントマークラ別個に設けたが、
代りに第２図のプローブカード１′のアライメントマー
ク３ｄ、３ｅに示すように３角形の２辺をマークとして
用いることにより、フォトセンサの走査を一方向（Ｘ方
向）のみで位置検出することができる。この場合位置合
わせ時間を一層短縮することができる。
の位置検出用にアライメントマークラ別個に設けたが、
代りに第２図のプローブカード１′のアライメントマー
ク３ｄ、３ｅに示すように３角形の２辺をマークとして
用いることにより、フォトセンサの走査を一方向（Ｘ方
向）のみで位置検出することができる。この場合位置合
わせ時間を一層短縮することができる。
」二記のいずれの実施例においても、プローブカードの
位置検出は一組のアライメントマークを用いて行なって
いるが、複数組のアライメントドとのより正確な位置合
わせが可能となる。
位置検出は一組のアライメントマークを用いて行なって
いるが、複数組のアライメントドとのより正確な位置合
わせが可能となる。
以上説明したように、プローブカードにアライメントマ
ークを設け、ウェハプローパのウェハーステージ側にア
ライメントマーク検出用の装置を設けるという簡単な改
造により、従来、非常に煩雑であった手動によるプロー
ブカードの位置合わせな自動化でき、またテスト時間を
短縮することかできるという効果かある。
ークを設け、ウェハプローパのウェハーステージ側にア
ライメントマーク検出用の装置を設けるという簡単な改
造により、従来、非常に煩雑であった手動によるプロー
ブカードの位置合わせな自動化でき、またテスト時間を
短縮することかできるという効果かある。
第１図は本発明の一実施例の概略斜視図、第２図は本発
明の他の実施例の部分斜視図である。 １．１゛はプローブカード、２はプローブ針、３ａ、３
ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅはアライメントマーク、４はカー
ドエツジコネクタ、５はカードホルダ、６は回転板、７
はウオームギア、８はステップモータ、９はウェハステ
ージ、１０はウェハチャック、１１はウェハ、 ＋２は
ファイバーセンサー、１３はコントローラである。 第１図 第２図 手続補正書（自制 昭和６０年７月 ４日
明の他の実施例の部分斜視図である。 １．１゛はプローブカード、２はプローブ針、３ａ、３
ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅはアライメントマーク、４はカー
ドエツジコネクタ、５はカードホルダ、６は回転板、７
はウオームギア、８はステップモータ、９はウェハステ
ージ、１０はウェハチャック、１１はウェハ、 ＋２は
ファイバーセンサー、１３はコントローラである。 第１図 第２図 手続補正書（自制 昭和６０年７月 ４日
Claims (2)
- （１）プローブカードの位置合わせ用マークを検出し、
プローブカードの位置合わせを行う手段を有するプロー
ブ装置。 - （２）位置合わせ用マークを有するプローブカード
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12452584A JPS614968A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | プロ−ブ装置及びプロ−ブカ−ド |
| US06/743,818 US4755747A (en) | 1984-06-15 | 1985-06-12 | Wafer prober and a probe card to be used therewith |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12452584A JPS614968A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | プロ−ブ装置及びプロ−ブカ−ド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS614968A true JPS614968A (ja) | 1986-01-10 |
Family
ID=14887639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12452584A Pending JPS614968A (ja) | 1984-06-15 | 1984-06-19 | プロ−ブ装置及びプロ−ブカ−ド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS614968A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61164165A (ja) * | 1985-01-16 | 1986-07-24 | Tokyo Erekutoron Kk | プロ−ブ装置 |
| JPS63119544A (ja) * | 1986-11-07 | 1988-05-24 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
| JPS63301537A (ja) * | 1987-05-30 | 1988-12-08 | Tokyo Electron Ltd | ウエハプロ−バ |
-
1984
- 1984-06-19 JP JP12452584A patent/JPS614968A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61164165A (ja) * | 1985-01-16 | 1986-07-24 | Tokyo Erekutoron Kk | プロ−ブ装置 |
| JPH0562699B2 (ja) * | 1985-01-16 | 1993-09-09 | Tokyo Electron Ltd | |
| JPS63119544A (ja) * | 1986-11-07 | 1988-05-24 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
| JPS63301537A (ja) * | 1987-05-30 | 1988-12-08 | Tokyo Electron Ltd | ウエハプロ−バ |
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