JPH0685409B2 - ウェハ搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ウエハ搬送装置に関し、特に半導体チップの
プローブ検査を行なうためのウエハプローバ等に適用可
能なウエハ搬送装置に関する。

［従来の技術］ ウエハプローバとは半導体ウエハ上に形成された多数の
ICチップを、切断およびパッケージングする前のウエハ
状態のままでそのチップの特性を測定する際に用いられ
る装置である。実際のテストはICテスタが行うが、ウエ
ハプローバはこのICテスタと前記ウエハ上の各ICチップ
とを電気的に正確にコンタクトするための装置である。

ところで、従来のウエハプローバにおいては、そのウエ
ハ搬送系は第11図に図示される構成となっていた。図
中、40は搬送ユニット、41はウエハプローバ本体、42は
供給用ウエハキャリヤ、43は収納用ウエハキャリヤ、44
はウエハプローバ本体41に供給される未検査ウエハ、45
は既に測定を終了してウエハキャリヤ42に収納される検
査済みウエハである。このような搬送系においては、供
給用ウエハキャリヤ42および収納用ウエハキャリヤ43が
別なものであったが、近年のウエハの大型化、さらには
自動化のため多数のウエハキャリヤを使用することにな
り、供給および収納のためにそれぞれ別のウエハキャリ
ヤを用いることによって生じる搬送系の大型化の問題が
無視出来ないものとなってきた。

そこで上記問題点を解決するために第12図に示される構
成の搬送系が提案された。図中、46,47および48は供給
兼収納ウエハキャリヤ、49はウエハ、50はウエハキャリ
ヤに対してウエハを引き出しまたは押し入れるウエハハ
ンドであり、その他の符号は第11図と同一である。この
ような構成によれば、ウエハの供給、収納が１つのウエ
ハキャリヤで可能となったが、複数のウエハキャリヤ4
6,47,48各々に対し、ウエハを引き出すための空領域が
必要なため、やはり無駄なスペースが多かった。

そこで、第11および12図に示した搬送系の欠点を除去す
るために、本出願人は既に第13図に示す搬送系を提案し
た。図中、51および52は供給兼収納ウエハキャリヤ、53
はウエハ、54はウエハキャリヤからウエハを引き出しま
たは押し入れるウエハハンドである。ウエハハンド54は
同図に示されるように回転可能である。このような構成
にれば、図示される２つのウエハキャリヤ51および52の
それぞれからウエハを引出すために必要な空領域を共通
にし無駄なスペースを少なくして装置を小型化してい
る。

第14図は、第13図の搬送系をウエハプローバに適用した
際のウエハプローバの周囲状況を示す図である。図中、
54はオペレータ、55はオペレーションエリア、56は通路
であり、その他の符号は第13図と同一である。

しかし、第14図のような構成のウエハプローバは、第11
または12図に示すウエハプローバに対して確かに小型化
はされるものの、同様の欠点、すなわちウエハキャリヤ
をオペレーションエリア55から遠い位置にも配置してお
り操作性に劣るという欠点がある。この欠点はウエハサ
イズが６インチ程度までは大した問題ではなかったが、
ウエハサイズが８インチ以上になるとそのウエハキャリ
ヤの大きさおよび重量ゆえに重大な問題となる。つまり
ウエハプローバ正面から奥側のウエハキャリヤ51の取外
しや設定等の操作が困難となり、ウエハプローバ側面か
らこのような操作をすることが必要となる。従ってこの
ような搬送系を有するウエハプローバにおいては、第14
図に示すようにウエハプローバ横にウエハキャリヤ設定
用の通路56が必要となる。このため、ウエハプローバを
第15図に示すように工場内配置することが不可能とな
り、第16図に示すような配置に限定されてしまう。第15
図と第16図を比較すると、第15図の方がスペースの有効
利用の面で優れていることは明らかである。

また第12図において、供給兼収納ウエハキャリヤ46,47
および48を１枚の板上に搭載し、ウエハキャリヤ交換時
にはその板を引出して全ウエハキャリヤ46,47および48
を正面に引出せるようにしたものも知られているが、こ
の場合、後側のウエハキャリヤ46の交換時には手前のウ
エハキャリヤ47および48に関する装置動作まで中止され
るという欠点があった。

また、供給兼収納ウエハキヤリヤ46,47および48におい
ては、ウエハの引出しまたは押し入れを確実に行うため
にそのウエハキャリヤ内のウエハの正確な位置を計測す
る必要がある。しかし全ウエハキャリヤ引き出し方式で
は、１つのウエハキャリヤを交換すると他のウエハキャ
リヤ内のウエハも動いてしまうため、それ以前に行なっ
た正確な位置計測が無意味なものとなってしまうという
欠点もあった。

さらに、従来のウエハプローバにおいては、プリアライ
メント部やアンロードストップ部が装置内において比較
的大きな面積を占めており、これがウエハプローバの大
型化の原因の１つになっていた。ここで、プリアライメ
ント部はウエハキャリヤから引き出したウエハをXYステ
ージ上のウエハチャックに乗せる前にプリアライメント
を行うものであり、アンロードストップ部はプロービン
グが終了したウエハをウエハチャックから回収した後、
人が目視でその表面状態を見るめにウエハを一時的に置
く位置である。

［発明の目的］ 本発明は、上述従来技術の欠点を除去するためになされ
たもので、ウエハプローバ等のウエハ搬送系に用いら
れ、ウエハサイズの変更によっても搬送系ユニットの交
換、調整等が不要なウエハ搬送装置を提供することを目
的とする。

［発明の構成］ この目的を達成するため本発明のウエハ搬送装置は、互
いに直角をなす方向に移動可能な２つのウエハ搬送用ハ
ンドと、一方のウエハ搬送用ハンドに設けられたウエハ
外周検知用センサと、２つのウエハ搬送用ハンドを協動
させ、その際の前記ウエハ外周検知用センサの出力を利
用してウエハの外周及び外周位置を検知する制御手段と
を有することを特徴とする。

［実施例の説明］ 以下、本発明の実施例に基づいて詳細に説明する。

第１図は、本発明の一実施例に係るウエハプローバの概
略構成図を示す。図中、１はウエハキャリヤ出入口、２
はスライド機構を有するウエハキャリヤ台、３はウエハ
キャリヤ、４はプローピング済みのウエハを目視する時
にウエハを置くアンロードストップ位置、５はアンロー
ドストップ状態のウエハ、６は操作パネル、７はウエハ
の粗位置合わせを行うプリアライメントステーション、
８はプリアライメント中のウエハ、10はウエハをバキュ
ームによりホールドするウエハチャック、11は測定持ち
状態ウエハ、12は内部にプローブカード（図示せず）を
ホールドしているヘッドプレート、13はプローブカード
の設定時等に用いる実体顕微鏡、14はウエハプローバに
設定されたパラメータ表示およびオートアライメントに
用いる参照画像（以下テンプレートという）の設定等に
用いるモニタである。

第２図は、第１図に示すウエハプローバの内部概略図で
ある。図中、15はウエハキャリヤ３の任意の位置からウ
エハを引出しまたは挿入可能なパンタグラフハンド、16
はパンタグラフハンドを上下駆動させるパンタグラフハ
ンド上下機構部、17はプリアライメントステーション７
からウエハチャック10にウエハを運ぶ搬入ハンド、18は
ウエハチャック10を回転させたまたは高さ方向の駆動を
行うθＺステージ、19および20はそれぞれＸステージお
よびＹステージ、21はウエハの外周計測およびウエハの
表面の高さの計測を行う静電容量型センサ、22はウエハ
の自動位置合わせ（以下、オートアライメントと称す）
のためにウエハ表面のパターンを捕えるオートアライメ
ント用顕微鏡である。

第３図は、第１図のウエハプローバの外観概略図であ
り、30はパラメータ等の設定に用いるフラットキーボー
ド（操作部）、31および32は透明カバーである。

第４図は、第２図に示すパンタグラフハンド15の側断面
図である。図中、３はウエハキャリヤ、60はウエハ、70
はウエハの有無検知およびウエハの位置計測に光源とし
て用いるコリメータ付半導体レーザ、71は平面ミラー73
によって反射して来たレーザ光を検知するホトディテク
タ、72はハーフミラー、74はパンタグラフハンド15の伸
縮駆動部、75はパンタグラフハンド15の全体を回転させ
る回転駆動部である。

第５および６図はパンタグラフハンド15の上面図であ
り、それぞれ伸縮駆動部74の動作によってパンタグラフ
ハンド15が伸びた状態および縮んだ状態を示す図であ
る。符号は第４図と同一である。

第７図はプリアライメントステーション周りの概略図で
ある。図中、80は搬入ハンド17をＹ軸方向に移動させる
リニアパルスモータ、81はリニアパルスモータのステー
タになるスケール、82は搬入ハンドを上下動させる搬入
ハンド上下駆動部、83はプリアライメント時にウエハ裏
面からウエハの外形を検知するためのウエハセンサ、84
はパンタグラフハンドフィンガ、85はプリアライメント
時にウエハを回転させるためのプリアライメント用ウエ
ハ回転機構部、86はウエハをウエハチャックからリフト
させるウエハチャックピンである。

第８および９図はプリアライメント動作を説明する図で
あり、第８図はパンタグラフハンド15上のウエハの外形
をウエハセンサ83により検出している状態、第９図はプ
リアライメントステーション７でのプリアライメント実
行状態を示す図である。

以下、上記構成に係るウエハプローバの動作を説明す
る。

まず、ウエハキャリヤ３の設定について説明する。

第１図を参照して、ウエハキャリヤ３の設定のためには
操作パネル６にあるキャリヤセットスイッチ（図示せ
ず）を押す。これにより、装置正面にあるウエハキャリ
ヤ出入口１からウエハキャリヤ台２が手前に出てくる。
このウエハキャリヤ台２の移動は、本実施例ではリニア
パルスモータにより行なっている。なお、第１図は左側
のウエハキャリヤ台２が出ている状態を示しているが、
右側のウエハキャリヤ台２も同様な動きが可能となって
いる。ウエハキャリヤ台２にウエハキャリヤ３を設定
後、再度キャリヤセットスイッチを押すことによりこの
ウエハキャリヤ台２は装置内に移動し、この状態で本装
置はスタート待ち状態となる。

次に、プローブテスト動作について説明する。

上記スタート待ち状態において、操作パネル６のスター
トスイッチが押されるとパンタグラフハンド15は縮んだ
状態（第６図参照）のままで、指定されたウエハキャリ
ヤの方向を向き、パンタグラフハンド上下機構部16によ
り上から下方向に移動を行なう。パンタグラフハンド15
は第４図に示されるように内部にウエハセンス用の半導
体レーザ70およびホトディテクタ71を有しており、これ
らによりウエハキャリヤ内のウエハの有無およびその正
確な位置を検出することが可能となっている。パンタグ
ラフハンド15は、このような機能によりウエハキャリヤ
３中任意の位置からウエハ60を引出すことが可能となっ
ている。ウエハキャリヤ３からウエハ60を引き出す様子
を第５図および第６図に示す。

パンタグラフハンド15はウエハキャリヤ３からウエハ60
を引き出した後、パンタグラフハンド上下機構部16によ
り上昇し、さらにパンタグラフハンド回転駆動部１後に
より回転することによりウエハを第７図に示すようにプ
リアライメントステーション７の上方に位置させる。

ここで、第７〜９図を参照してプリアライメント動作に
ついて説明する。

パンタグラフハンドフィンガ84上のウエハが、プリアラ
イメントステーション７上に位置するとウエハセンサ83
を有する搬入ハンド17はこのウエハの下方（パンタグラ
フハンドフィンガ84の下側）でスキャンを始める。この
スキャン時にウエハセンサ83はパンタグラフハンドフィ
ンガ84上のウエハの周辺部のセンスを行ないＹ軸方向の
ウエハ周辺位置のデータを得る。この後パンタグラフハ
ンド15を第７図に示すＸ軸方向に伸縮させ、上記と同様
に周辺部のセンスを行ないこのウエハのＸ軸方向の外周
位置を検出する。この様子を第８図に示す。この後、上
記のようにして求めたウエハ外周位置データから、ウエ
ハの中心位置を求めこの中心が第７図に示すＸ軸方向に
ついてプリアライメント用ウエハ回転機構部85の中心と
一致するようにパンタグラフハンド15の伸縮状態を設定
し、この後パンタグラフハンド15を下降させることによ
りウエハをウエハ回転機構部85に移す。なお、この動作
の前に搬入ハンド17は第９図に示す位置まで移動させて
おく。パンタグラフハンド15はウエハをウエハ回転機構
部85に移した後、第９図に示すように縮んだ状態になり
プリアライメントステーション７へのウエハ搬入動作を
終了する。

上述においては、本実施例のウエハプローバの主な動作
であるフルオート動作におけるオートローディングにつ
いて説明したが、このウエハプローバはマニュアル操作
によるウエハのローディングおよびアンローディングも
極めて容易かつ高速に可能となっている。本実施例にお
いてマニュアル操作する場合は、ウエハのローディング
は第３図に示す装置右手前のフラットキーボード30を上
げ、この下に位置するプリアライメントステーション７
上のプリアライメント用ウエハ回転機構部85上にウエハ
を置くだけでよい。なお、この時には搬入ハンド17は第
９図に示すようにプリアライメントステーションに位置
する。

ウエハ回転機構部85は、ウエハがオートまたはマニュア
ルで載置されると、ウエハをバキューム吸着して回転動
作に入る。載置されたウエハが割れウエハまたは変形ウ
エハでない場合にはウエハはウエハ回転機構部85によっ
て回転させられ、この時搬入ハンド17はこのウエハの外
周をリニアパルスモータ80の動作によりトレースするこ
とによりオリエンテーションフラット部の検出を行な
う。そしてウエハ回転機構部85によってこのウエハのオ
リエンテーションフラット部を所定の方向に向ける。

なお、このパンタグラフハンド15から回転機構部85に渡
されたウエハの中心位置がウエハ回転機構部85の中心に
対して第７図に示すＹ軸方向に大きく誤差を有する場合
には、ウエハ回転機構部85上のウエハを搬入ハンド17で
再度持ち上げ、この誤差を補正するようにＹ軸方向に動
かした後、再度ウエハ回転機構部８後に降ろすことによ
りこの誤差を取り除くことができる。このような動作に
よってウエハの中心をウエハ回転機構部85の起点中心と
一致させることが可能となりより安定した回転を実行さ
せることが可能となるばかりでなく、ウエハセンサ83に
よる前述のオリエンテーションフラット部の検出を容易
に、より高速に精度よく行なうことが可能となる。

本実施例においてウエハセンサ83として反射型の光セン
サを用いているが、これは透過型の光センサ、または静
電容量型センサ等を用いてもよい。

ウエハ回転機構部85上でオリエンテーションフラット部
の検出が完了すると、ウエハは指定された方向にオリエ
ンテーションフラット部が向くようにさらに回転させら
れ、その後搬入ハンド17によってプリアライメントステ
ーション７から持ち上げられ、第７図に示す位置に待機
しているウエハチャック10の上に搬入される。

ウエハチャック10は、その表面から突出可能な３本のウ
エハチャックピン86を有しており、搬入ハンド17からウ
エハを受け取る際にはウエハチャックピン86をウエハチ
ャックから突出させている。この状態で搬入ハンド17は
搬入ハンド上下駆動部82により下降し、このことにより
搬入ハンド17上のウエハはウエハチャック10から突出し
ているウエハチャックピン86上に渡される。この後、搬
入ハンド17はプリアライメントステーション７側に戻
り、さらにウエハチャック10から突出しているウエハチ
ャックピン86が下がることによりウエハはウエハチャッ
ク10上に渡され、バキューム吸着により固定される。

なお、本実施例ではウエハを搬入する際にウエハチャッ
クピン86をウエハチャック10から突出させているが、ウ
エハチャックピン86を固定しておき、ウエハチャック10
を下降させても本実施例と同様な動きが可能である。

ここで、第２図を参照してXYステージ19,20上のウエハ
チャック10上にウエハが渡された後の動作について説明
する。

ウエハがウエハチャック10上に渡されると、ウエハチャ
ック10は静電容量型センサ21の下でスキャン動作を行な
ってウエハの外周位置を検出し、より正確なオリエンテ
ーションフラット部の方向合わせを行ないさらにウエハ
の中心を計測する。

なお、この位置でのオリエンテーションフラット部の方
向合わせはθＺステージ18をθ回転させて行なう。さら
に上記のより正確なプリアライメント後、ウエハチャッ
ク10は静電容量型センサ21の下で再度スキャン動作を行
ない、ウエハ表面の高さ方向の検出を行なう。この高さ
方向の検出はプローブカードのプローブ針とウエハとの
コンタクト圧をウエハ上の全ての位置で一定に保つため
の補正データを得るためである。

この後、ウエハチャック10はウエハ上の所定の位置がオ
ートアライメント用顕微鏡22の下に位置するように移動
する。この位置では、予め記憶しておいたウエハ上のテ
ンプレートと、実際にこの位置にウエハが置かれた時に
オートアライメント用顕微鏡22によって観察されるパタ
ーンとを比較して、チャック上のウエハのパターンが予
め定めた位置からどれだけXY方向に誤差をもった位置に
あるかを検出する。

なお、このXY方向の誤差検出は不図示の装置下部のパタ
ーンマッチングによる誤差位置検出装置によって自動的
に行なわれる。この操作はθ方向の誤差検出のためウエ
ハ上の別なもう１点の所定位置においても同様に行なわ
れる。

以上、２点のXY方向の誤差検出からウエハ上のパターン
のX,Y,θ方向誤差の算出を行ない、θ成分誤差について
はウエハチャック10を回転させることによって補正し、
XY方向成分誤差についてはプロービングの際にこの誤差
成分を取り除くようにXYステージの補正駆動を行なう。

オートアライメント用顕微鏡22の下でθ成分誤差の補正
動作およびXY成分誤差の検出が完了すると、ウエハ上の
最初のICチップ（以下、ファーストチップという）をヘ
ッドプレート12に固定されているプローブカード（図示
せず）の下に移動させる。この動作はXYステージ19,20
によって行なわれ、この際には前述のようにオートアラ
イメント時に検出したXY成分誤差の補正も同時に行なわ
れる。ファーストチップがプローブカード下に移動した
後θＸステージ18のＺ駆動機構によりウエハチャック10
は所定のストローク上昇し、ウエハのICチップのボンデ
ィングパッドとプローブカードのプローブ針とのコンタ
クトが行なわれる。この状態においてウエハプローバが
外部のテスタ（図示せず）にテストスタート信号を送信
すると、テスタはこのICチップのテストを開始する。こ
のテストの結果ICチップが良品と判定されると、テスタ
はテスト終了信号をウエハプローバに送信して来る。ま
た、このICチップが不良品と判定されると、テスタはテ
スト終了信号と不良を示す信号を送信して来る。ウエハ
プローバはこのテスト終了信号受信時に、不良を示す信
号が受信されるか否かによりこのICチップの良、不良を
判別し不良ならばインカー（図示せず）によってこのIC
チップに印を付ける。

以上のようにしてファーストチップの検査の一連の動作
が終了すると、XYステージ19,20を移動させて順次未検
査のICチップをプローブカードの下に位置させファース
トチップと同様に処理する。

ウエハ上の全てのICチップのテストが完了すると、うえ
はチャック10は第２図に示す最初の位置に戻り、バキュ
ーム吸着を止めウエハチャック10から３本のウエハチャ
ックピン86を突出させることによりウエハをウエハチャ
ック10らリフトさせる。この状態において、パンタグラ
フハンド15は縮んだ状態で第２図に示すウエハチャック
10の方向を向き、さらにパンタグラフハンド15が伸びる
ことによりパンタグラフハンドフィンガ84をウエハチャ
ック10とウエハの間に挿入し、さらにパンタグラフハン
ド15が若干上昇した後縮むことによりこのウエハをウエ
ハチャック10から回収する。

パンタグラフハンド15は、もしアンロードストップ動作
が設定されていれば、アンロードストップ位置４にウエ
ハを渡し、さらに予め設定した時間後または入手による
ウエハ収納指示後このウエハをアンロードストップ位置
４から回収して、一方、もしアンロードストップ動作が
設定されていなければ直接、ウエハキャリヤ３内のこの
ウエハが検査前にあった位置に戻す。

なお、ウエハチャック10上のウエハがプロービング動作
中、次のウエハがウエハキャリヤ３内からパンタグラフ
ハンド15により引き出され、プリアライメントステーシ
ョン７に渡される。この後、プリアライメントステーシ
ョン７では前述と同様なプリアライメント動作が行なわ
れる。つまり、ウエハチャック10からウエハが搬送され
る時には次のウエハがプリアライメントステーション７
においてプリアライメント完了状態で待機しており、次
のウエハのウエハチャック10への搬入はプリアライメン
ト等のための無駄時間をかけることなく実行される。

以上の動作により１ウエハキャリヤ内の全てのウエハの
テストが終了すると、操作パネル６上のキャリヤセット
スイッチ（図示せず）がブリンク状態となり、１ウエハ
キャリヤのウエハテストが終了したことをオペレータに
知らせる。もし、オペレータがこの状態でこのキャリヤ
セットスイッチを押せば、ウエハキャリヤ台２が手前に
出て来て、このウエハキャリヤの取り外しおよび交換等
が容易に行なえるようになっている。なお、オペレータ
によるキャリヤ交換待ち時において、もし他方のウエハ
キャリヤ台２にテストすべきウエハが入っているウエハ
キャリヤが設定されていれば、ウエハプローバはこのウ
エハキャリヤ内のウエハについて上述のプローブテスト
動作を自動的に実行する。

次に、第10図に基づいて本発明のウエハプローバを適用
したウエハプーバラインの自動化例について説明する。
図中、90はウエハカセット自動搬送車、91はウエハキャ
リヤ、92はウエハキャリヤ搬送ハンド、93は搬送車の光
通信用窓、99はウエハプロバーの光通信用窓である。

同図において、搬送車90は、搬送車通路94を常時往復移
動しており、この移動の途中で光通信用窓93をウエハプ
ローバの光通信用窓99に対向させながらウエハプローバ
と通信を行なっている。この通信の結果、いずれかのウ
エハプローバで１ウエハキャリヤ91内のウエハのテスト
が終了していることを検知すれば、搬送車90はそのウエ
ハプローバの前で停止する。さらに光通信用窓からの入
力光が最大になる位置にまで低速移動することによりウ
エハプローバに対しての位置出しを行なう。この後搬送
車90はウエハプローバに対してウエハキャリヤ交換を行
なうことを送信する。ウエハプローバはこの信号を受信
すると、検査済みのウエハキャリヤ91のウエハキャリヤ
台２を搬送車90側を押し出し、ウエハキャリヤ台２を出
したことを光通信用窓99を通じて搬送車90に対して送信
する。搬送車90はこの信号を受信後、ウエハキャリヤ搬
送ハンド92によってウエハキャリヤ台２上のウエハキャ
リヤ91を持ち上げ、搬送車90内の所定の位置に収納す
る。さらに搬送車90は、未検査ウエハが入っているウエ
ハキャリヤ91をウエハキャリヤ搬送ハンド92を用いてウ
エハプローバのウエハキャリヤ台２に乗せ、ウエハプロ
ーバにウエハキャリヤ交換が終了したことを送信する。
ウエハプローバはこの信号を受信するとウエハキャリヤ
台２を本体内に戻し、ウエハキャリヤ91の交換を終了す
る。

なお、第10図には搬送車通路94の片側にしか、ウエハプ
ローバを図示していないが、ウエハプローバをこの通路
の両側に配置することも当然容易に実現可能である。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、一方にウエハ外周
検知用センサを設けた、互いに直角をなす方向に移動可
能な２つのウエハ搬送用ハンドを協動させ、その際のウ
エハ外周検知用センサの出力を利用してウエハの外周及
び外周位置を検知するようにしたため、ウエハの大きさ
に無関係にウエハの中心計測が可能である。また搬送路
途中のプリアライメント部においてウエハを回転させる
と共に搬送ハンドを移動させれば、ウエハの大きさに無
関係にオリエンテーションフラット部の検出ができる。

このように本発明によれば、ウエハサイズの変更によっ
ても搬送系ユニットの交換、調整等を不要にすることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係るウエハプローバの概
略構成図、 第２図は、第１図のウエハプローバの内部概略図、 第３図は、第１図のウエハプローバの外観概略図、 第４〜６図は、第２図におけるパンタグラフハンドの構
造および動作説明図、 第７図は、第２図におけるプリアライメントステーショ
ンの概略斜視図、 第８および９図は、第７図のプリアライメントステーシ
ョンの動作説明図、 第10図は、第１図のウエハプローバを適用したウエハプ
ローバラインの概略構成図、 第11〜13図は、従来のウエハプローバの搬送系を説明す
る図、 第14図は、第13図の搬送系を用いたウエハプローバの周
囲の状況を説明する図、そして 第15および16図は、ウエハプローバの工場内における配
置例を示す図である。 1:ウエハキャリヤ出入口、 2:ウエハキヤリヤ台、3:ウエハキャリヤ、 4:アンロードストップ位置、6:操作パネル、 7:プリアライメントステーション、 10:ウエハチャック、12:ヘッドプレート、 13:実体顕微鏡、14:モニタ、 15:パンタグラフハンド、17:搬入ハンド、 18:θＺステージ、19:Yステージ、 20:Xステージ、21:静電容量型センサ、 22:オートアライメント用顕微鏡、 90:ウエハキャリヤ自動搬送車。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】互いに直角をなす方向に移動可能な２つの
   ウエハ搬送用ハンドと、一方のウエハ搬送用ハンドに設
   けられたウエハ外周検知用センサと、２つのウエハ搬送
   用ハンドを協動させ、その際の前記ウエハ外周検知用セ
   ンサの出力を利用してウエハの外周及び外周位置を検知
   する制御手段とを有することを特徴とするウエハ搬送装
   置。
2. 【請求項２】前記ウエハの外周及び外周位置の検知を搬
   送路上または搬送途中のプリアライメント部で行う特許
   請求の範囲第１項記載のウエハ搬送装置。
3. 【請求項３】前記外周検知用センサの出力を利用して前
   記ウエハの中心を求め、この中心を前記プリアライメン
   ト部の回転中心に一致させる特許請求の範囲第２項記載
   のウエハ搬送装置。
4. 【請求項４】プリアライメント部に対してウエハを搬入
   または搬出するウエハ搬送ハンドと、前記ウエハ搬送ハ
   ンド上に設けられたウエハ外周検知用センサと、前記プ
   リアライメント部において前記ウエハを回転させるウエ
   ハ回転機構と、前記ウエハ回転機構によって前記ウエハ
   が回転されている際に前記ウエハ外周検知用センサを前
   記ウエハ搬送ハンドと共に移動する移動機構を有するこ
   とを特徴とするウエハ搬送装置。
5. 【請求項５】前記ウエハ外周検知用センサの出力は前記
   ウエハのオリエンテーションフラットを検出するために
   利用される特許請求の範囲第４項記載のウエハ搬送装
   置。