JPH0715931B2 - ウェハ処理装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ウエハ処理装置、例えば半導体チップのプロ
ーブ検査を行なうためのウエハプローバに関し、特に、
ウエハキャリア台とプリアライメント機構とを上下方向
に並べて配置することにより装置の小型化等を図ったウ
エハ処理装置に関する。

さらに本発明は、ウエハキャリヤ台とプリアライメント
機構を上下方向に関して並べて配置するとともに、他の
ウエハキャリヤ台とアンロードストップ部を上下方向に
関して並べて配置することにより、ウエハキャリヤ台を
装置内に複数設ける場合にも装置の小型化を図ったウエ
ハ処理装置に関する。

［従来の技術］ ウエハプローバとは半導体ウエハ上に形成された多数の
ICチップを、切断およびパッケージングする前のウエハ
状態のままでそのチップの特性を測定する際に用いられ
る装置である。実際のテストはICテスタが行うが、ウエ
ハプローバはこのICテスタと前記ウエハ上の各ICチップ
とを電気的に正確にコンタクトするための装置である。

ところで、従来のウエハプローバにおいては、そのウエ
ハ搬送系は第11図に図示される構成となっていた。図
中、40は搬送ユニット、41はウエハプローバ本体、42は
供給用ウエハキャリヤ、43は収納用ウエハキャリヤ、44
はウエハプローバ本体41に供給される未検査ウエハ、45
は既に測定を終了してウエハキャリヤ42に収納される検
査済みウエハである。このような搬送系においては、供
給用ウエハキャリヤ42および収納用ウエキャリヤ43が別
なものであったが、近年のウエハの大型化、さらには自
動化のため多数のウエハキャリヤを使用することにな
り、供給および収納のためにそれぞれ別のウエハキャリ
ヤを用いることによって生じる搬送系の大型化の問題が
無視出来ないものとなってきた。

そこで上記問題点を解決するために第12図に示される構
成の搬送系が提案された。図中、46,47および48は供給
兼収納ウエハキャリヤ、49はウエハ、50はウエハキャリ
ヤに対してウエハを引き出しまたは押し入れるウエハハ
ンドであり、その他の符号は第11図と同一である。この
ような構成によれば、ウエハの供給、収納が１つのウエ
ハキャリヤで可能となったが、複数のウエハキャリヤ4
6,47,48各々に対し、ウエハを引き出すための空領域が
必要なため、やはり無駄なスペースが多かった。

そこで、第11および12図に示した搬送系の欠点を除去す
るために、本出願人は既に第13図に示す搬送系を提案し
た。図中、51および52は供給兼収納ウエハキャリヤ、53
はウエハ、54はウエハキャリヤからウエハを引き出しま
たは押し入れるウエハハンドである。ウエハハンド54は
同図に示されるように回転可能である。このような構成
によれば、図示される２つのウエハキャリヤ51および52
のそれぞれからウエハを引出すために必要な空領域を共
通にし無駄なスペースを少なくして装置を小型化してい
る。

第14図は、第13図の搬送系をウエハプローバに適用した
際のウエハプローバの周囲状況を示す図である。図中、
54はオペレータ、55はオペレーションエリア、56は通路
であり、その他の符号は第13図と同一である。

しかし、第14図のような構成のウエハプローバは、第11
または12図に示すウエハプローバに対して確かに小形化
はされるものの、同様の欠点、すなわちウエハキャリヤ
をオペレーションエリア55から遠い位置にも配置してお
り操作性に劣るという欠点がある。この欠点はウエハサ
イズが６インチ程度までは大した問題ではなかったが、
ウエハサイズが８インチ以上になるとそのウエハキャリ
ヤの大きさおよび重量ゆえに重大な問題となる。つまり
ウエハプローバ正面から奥側のウエハキャリヤ51の取外
しや設定等の操作が困難となり、ウエハプローバ側面か
らこのような操作をすることが必要となる。従ってこの
ような搬送系を有するウエハプローバにおいては、第14
図に示すようにウエハプローバ横にウエハキャリヤ設定
用の通路56が必要となる。このため、ウエハプローバを
第15図に示すように工場内配置することが不可能とな
り、第16図に示すような配置に限定されてしまう。第15
図と第16図を比較すると、第15図の方がスペースの有効
利用の面で優れていることは明らかである。

また第12図において、供給兼収納ウエハキャリヤ46,47
および48を１枚の板上に搭載し、ウエハキャリヤ交換時
にはその板を引出して全ウエハキャリヤ46,47および48
を正面に引出せるようにしたものも知られているが、こ
の場合、後側のウエハキャリヤ46の交換時には手前のウ
エハキャリヤ47および48に関する装置動作まで中止され
るという欠点があった。

また、供給兼収納ウエハキャリヤ46,47および48におい
ては、ウエハの引出しまたは押し入れを確実に行うため
にそのウエハキャリヤ内のウエハの正確な位置を計測す
る必要がある。しかも全ウエハキャリヤ引き出し方式で
は、１つのウエハキャリヤを交換すると他のウエハキャ
リヤ内のウエハも動いてしまうため、それ以前に行なっ
た正確な位置計測が無意味なものとなってしまうという
欠点もあった。

さらに、従来のウエハプローバにおいては、プリアライ
メント部やアンロードストップ部が装置内において比較
的大きな面積を占めており、これがウエハプローバの大
型化の原因の１つになっていた。ここで、プリアライメ
ント部はウエハキャリヤから引き出したウエハをXYステ
ージ上のウエハチャックに乗せる前にプリアライメント
を行うものであり、アンロードストップ部はプロービン
グが終了したウエハをウエハチャックから回収した後、
人が目視でその表面状態を見るためにウエハを一時的に
置く位置である。

［発明の概要］ 本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、その
目的は、装置本体を小型化し、その設置面積を小さくす
ることが可能なウエハ処理装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、本第１発明のウエハ処理装
置は、ウエハを搭載して移動可能なウエハステージと、
複数のウエハを収納しているウエハキャリアが載置され
るウエハキャリア台と、前記ウエハキャリヤからウエハ
を取り出すハンド機構と、前記ウエハキャリアから取り
出されたウエハを前記ウエハステージに搬送する前にウ
エハの粗位置合せを行うプリアライメント機構を有し、
前記ウエハキャリア台と前記プリアライメント機構は上
下方向に関して並んで配置されていることを特徴として
いる。

また、本第２発明のウエハ処理装置は、ウエハを搭載し
て移動可能なウエハステージと、複数のウエハを収納し
ているウエハキャリヤがそれぞれ載置される第１及び第
２ウエハキャリヤ台と、前記ウエハキャリヤからウエハ
を取り出すハンド機構と、前記ウエハキャリヤから取り
出されたウエハを前記ウエハステージに搬送する前にウ
エハの粗位置合せを行なうプリアライメント機構と、前
記ウエハステージから搬送されてきたウエハが載置され
るアンロードストップ部を有し、前記第１ウエハキャリ
ヤ台と前記プリアライメント機構は上下方向に関して並
んで配置され、前記第２ウエハキャリヤ台と前記アンロ
ードストップ部が上下方向に関して並んで配置されてい
ることを特徴とする。

さらに、本第１及び第２発明において、前記ハンド機構
と前記ウエハキャリヤ台を装置本体正面部に配置した
り、情報入力用操作部を前記ウエハキャリヤ台と上下方
向に並べて配置したり、前記ウエハキャリヤを前記ウエ
ハキャリヤ台と共に装置本体正面に取り出すようにして
もよい。

本第１発明によれば、装置内で比較的大きな面積を占め
ているプリアライメント機構を効率よく装置本体内に収
納することができるので、装置の小型化を図ることがで
き、その設置面積を小さくすることができる。また、ウ
エハキャリヤからプリアライメント機構部までのウエハ
の搬送距離を比較的短くすることもできる。また、本第
２発明によれば、本第１発明が奏する効果に加え、ウエ
ハキャリヤ台を装置内に複数設ける場合にも装置自体の
小型化を可能にし、その設置面積を小さくすることを可
能にする。

［実施例の説明］ 以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明する。

第１図は、本発明の一実施例に係るウエハプローバの概
略構成図を示す。図中、１はウエハキャリヤ出入口、２
はスライド機構を有するウエハキャリヤ台、３はウエハ
キャリヤ、４はプロービング済みのウエハを目視する時
にウエハを置くアンロードストップ位置、５はアンロー
ドストップ状態のウエハ、６は操作パネル、７はウエハ
の粗位置合わせを行うプリアライメントステーション、
８はプリアライメント中のウエハ、10はウエハをバキュ
ームによりホールドするウエハチャック、11は測定待ち
状態ウエハ、12は内部にプローブカード（図示せず）を
ホールドしているヘッドプレート、13はプローブカード
の設定時等に用いる実体顕微鏡、14はウエハプローバに
設定されたパラメータ表示およびオートアライメントに
用いる参照画像（以下テンプレートという）の設定等に
用いるモニタである。

第２図は、第１図に示すウエハプローバの内部概略図で
ある。図中、15はウエハキャリヤ３の任意の位置からウ
エハを引出しまたは挿入可能なパンタグラフハンド、16
はパンタグラフハンドを上下駆動させるパンタグラフハ
ンド上下機構部、17はプリアライメントステーション７
からウエハチャック10にウエハを運ぶ搬入ハンド、18は
ウエハチャック10を回転させまたは高さ方向の駆動を行
うθＺステージ、19および20はそれぞれＸステージおよ
びＹステージ、21はウエハの外周計測およびウエハの表
面の高さの計測を行う静電容量型センサ、22はウエハの
自動位置合わせ（以下、オートアライメントと称す）の
ためにウエハ表面のパターンを捕えるオートアライメン
ト用顕微鏡である。

第３図は、第１図のウエハプローバの外観概略図であ
り、30はパラメータ等の設定に用いるフラットキーボー
ド（操作部）、31および32は透明カバーである。

第４図は、第２図に示すパンタグラフハンド15の側断面
図である。図中、３はウエハキャリヤ、60はウエハ、70
はウエハの有無検知およびウエハの位置計測に光源とし
て用いるコリメータ付半導体レーザ、71は平面ミラー73
によって反射して来たレーザ光を検知するホトディテク
タ、72はハーフミラー、74はパンタグラフハンド15の伸
縮駆動部、75はパンタグラフハンド15全体を回転させる
回転駆動部である。

第５および６図はパンタグラフハンド15の上面図であ
り、それぞれ伸縮駆動部74の動作によってパンタグラフ
ハンド15が伸びた状態および縮んだ状態を示す図であ
る。符号は第４図と同一である。

第７図はプリアライメントステーション周りの概略図で
ある。図中、80は搬入ハンド17をＹ軸方向に移動させる
リニアパルスモータ、81はリニアパルスモータになるス
ケール、82は搬入ハンドを上下動させる搬入ハンド上下
駆動部、83はプリアライメント時にウエハ裏面からウエ
ハの外形を検知するためのウエハセンサ、84はパンタグ
ラフハンドフィンガ、85はプリアライメント時にウエハ
を回転させるためのプリアライメント用ウエハ回転機構
部、86はウエハをウエハチャックからリフトさせるウエ
ハチャックピンである。

第８および９図はプリアライメント動作を説明する図で
あり、第８図はパンタグラフハンド15上のウエハの外形
をウエハセンサ83により検出している状態、第９図はプ
リアライメントステーション７でのプリアライメント実
行状態を示す図である。

以下、上記構成に係るウエハプローバの動作を説明す
る。

まず、ウエハキャリヤ３の設定について説明する。

第１図を参照して、ウエハキャリヤ３の設定のためには
操作パネル６にあるキャリヤセットスイッチ（図示せ
ず）を押す。これにより、装置正面にあるウエハキャリ
ヤ出入口１からウエハキャリヤ台２が手前に出てくる。
このウエハキャリヤ台２の移動は、本実施例ではリニア
パルスモータにより行なっている。なお、第１図は左側
のウエハキャリヤ台２が出ている状態を示しているが、
右側のウエハキャリヤ台２も同様な動きが可能となって
いる。ウエハキャリヤ台２にウエハキャリヤ３を設定
後、再度キャリヤセットスイッチを押すことによりこの
ウエハキャリヤ台２は装置内に移動し、この状態で本装
置はスタート待ち状態となる。

次に、プローブテスト動作について説明する。

上記スタート待ち状態において、操作パネル６のスター
トスイッチが押されるとパンタグラフハンド15は縮んだ
状態（第６図参照）のままで、指定されたウエハキャリ
ヤの方向を向き、パンタグラフハンド上下機構部16によ
り上から下方向に移動を行なう。パンタグラフハンド15
は第４図に示されるように内部にウエハセンス用の半導
体レーザ70およびホトディテクタ71を有しており、これ
らによりウエハキャリヤ内のウエハの有無およびその正
確な位置を検出することが可能となっている。パンタグ
ラフハンド15は、このような機能によりウエハキャリヤ
３中任意の位置からウエハ60を引出すことが可能となっ
ている。ウエハキャリヤ３からウエハ60を引き出す様子
を第５図および第６図に示す。

パンタグラフハンド15はウエハキャリヤ３からウエハ60
を引き出した後、パンタグラフハンド上下機構部16によ
り上昇し、さらにパンタグラフハンド回転駆動部15によ
り回転することによりウエハを第７図に示すようにプリ
アライメントステーション７の上方に位置させる。

ここで、第７〜９図を参照してプリアライメント動作に
ついて説明する。

パンタグラフハンドフィンガ84上にウエハが、プリアラ
イメントステーション７上に位置するとウエハセンサ83
を有する搬入ハンド17はこのウエハの下方（パンタグラ
フハンドフィンガ84の下側）でスキャンを始める。この
スキャン時にウエハセンサ83はパンタグラフハンドフィ
ンガ84上のウエハの周辺部のセンスを行ないＹ軸方向の
ウエハ周辺位置のデータを得る。この後パンタグラフハ
ンド15を第７図に示すＸ軸方向に伸縮させ、上記と同様
に周辺部のセンスを行ないこのウエハのＸ軸方向の外周
位置を検出する。この様子を第８図に示す。この後、上
記のようにして求めたウエハ外周位置データから、ウエ
ハの中心位置を求めこの中心が第７図に示すＸ軸方向に
ついてプリアライメント用ウエハ回転機構部85の中心と
一致するようにパンタグラフハンド15の伸縮状態を設定
し、この後パンタグラフハンド15を下降させることによ
りウエハをウエハ回転機構部85に移す。なお、この動作
の前に搬入ハンド17は第９図に示す位置まで移動させて
おく。パンタグラフハンド15はウエハをウエハ回転機構
部85に移した後、第９図に示すように縮んだ状態になり
プリアライメントステーション７へのウエハ搬入動作を
終了する。

上述においては、本実施例のウエハプローバの主な動作
であるフルオート動作におけるオートローディングにつ
いて説明したが、このウエハプローバはマニュアル操作
によるウエハのローディングおよびアンローディングも
極めて容易かつ高速に可能となっている。本実施例にお
いてマニュアル操作する場合は、ウエハのローディング
は第３図に示す装置右手前のフラットキーボード30を上
げ、この下に位置するプリライメントステーション７上
のプリアライメント用ウエハ回転機構部85上にウエハを
置くだけでよい。なお、この時には搬入ハンド17は第９
図に示すようにプリアライメントステーションに位置す
る。

ウエハ回転機構部85は、ウエハがオートまたはマニュア
ルで載置されると、ウエハをバキューム吸着して回転動
作に入る。載置されたウエハが割れウエハまたは変形ウ
エハでない場合にはウエハはウエハ回転機構部85によっ
て回転させられ、この時搬入ハンド17はこのウエハの外
周をリニアパルスモータ80の動作によりトレースするこ
とによりオリエンテーションフラット部の検出を行な
う。そしてウエハ回転機構部85によってこのウエハのオ
リエンテーションフラット部を所定の方向に向ける。

なお、もしパンタグラフハンド15から回転機構部85に渡
されたウエハの中心位置がウエハ回転機構部85の中心に
対して第７図に示すＹ軸方向に大きく誤差を有する場合
には、ウエハ回転機構部85上のウエハを搬入ハンド17で
再度持ち上げ、この誤差を補正するようにＹ軸方向に動
かした後、再度ウエハ回転機構部85に降ろすことにより
この誤差を取り除くことができる。このような動作によ
ってウエハの中心をウエハ回転機構部85の回転中心と一
致させることが可能となりより安定した回転を実行させ
ることが可能となるばかりでなく、ウエハセンサ83によ
る前述のオリエンテーションフラット部の検出を容易
に、より高速に精度よく行なうことが可能となる。

本実施例においてウエハセンサ83としては反射型の光セ
ンサを用いているが、これは透過型の光センサ、または
静電容量型センサ等を用いてもよい。

ウエハ回転機構部85上でオリエンテーションフラット部
の検出が完了すると、ウエハは指定された方向にオリエ
ンテーションフラット部が向くようにさらに回転させら
れ、その後搬入ハンド17によってプリアライメントステ
ーション７から持ち上げられ、第７図に示す位置に待機
しているウエハチャック10の上に搬入される。

ウエハチャック10は、その表面から突出可能な３本のウ
エハチャックピン86を有しており、搬入ハンド17からウ
エハを受け取る際にはウエハチャックピン86をウエハチ
ャックから突出させている。この状態で搬入ハンド17は
搬入ハンド上下駆動部82により下降し、このことにより
搬入ハント17上のウエハはウエハチャック10から突出し
ているウエハチャックピン86上に渡される。この後、搬
入ハンド17はプリアライメントステーション７側に戻
り、さらにウエハチャック10から突出しているウエハチ
ャックピン86が下がることによりウエハはウエハチャッ
ク10上に渡され、バキューム吸着により固定される。

なお、本実施例ではウエハを搬入する際にウエハチャッ
クピン86をウエハチャック10から突出させているが、ウ
エハチャックピン86を固定しておき、ウエハチャック10
を下降させても本実施例と同様な動きが可能である。

ここで、第２図を参照してXYステージ19,20上のウエハ
チャック10上にウエハが渡された後の動作について説明
する。

ウエハがウエハチャック10上に渡されると、ウエハチャ
ック10は静電容量型センサ21の下でスキャン動作を行な
ってウエハの外周位置を検出し、より正確なオリエンテ
ーションフラット部の方向合わせを行ないさらにウエハ
の中心を計測する。

なお、この位置でのオリエンテーションフラット部の方
向合わせはθＺステージ18をθ回転させて行なう。さら
に上記のより正確なプリアライメント後、ウエハチャッ
ク10は静電容量型センサ21の下で再度スキャン動作を行
ない、ウエハ表面の高さ方向の検出を行なう。この高さ
方向の検出はプローブカードのプローブ針とウエハとの
コンタクト圧をウエハ上の全ての位置で一定に保つため
の補正データを得るためである。

この後、ウエハチャック10はウエハ上の所定の位置がオ
ートアライメント用顕微鏡22の下に位置するように移動
する。この位置では、予め記憶しておいたウエハ上のテ
ンプレートと、実際にこの位置にウエハが置かれた時に
オートアライメント用顕微鏡22によって観察されるパタ
ーンとを比較して、チャック上のウエハのパターンが予
め定めた位置からどれだけXY方向に誤差をもった位置に
あるかを検出する。

なお、このXY方向の誤差検出は不図示の装置下部のパタ
ーンマッチングによる誤差位置検出装置によって自動的
に行なわれる。この操作はθ方向の誤差検出のためウエ
ハ上の別なもう１点の所定位置においても同様に行なわ
れる。

以上、２点のXY方向の誤差検出からウエハ上のパターン
のX,Y,θ方向誤差の算出を行ない、θ成分誤差について
はウエハチャック10を回転させることによって補正し、
XY方向成分誤差についてはプロービングの際にこの誤差
成分を取り除くようにXYステージの捕正駆動を行なう。

オートアライメント用顕微鏡22の下でθ成分誤差を補正
動作およびXY成分誤差の検出が完了すると、ウエハ上の
最初のICチップ（以下、ファーストチップという）をヘ
ッドプレート12に固定されているプローブカード（図示
せず）の下に移動させる。この動作はXYステージ19,20
によって行なわれ、この際には前述のようにオートアラ
イメント時に検出したXY成分誤差の補正も同時に行なわ
れる。ファーストチップがプローブカード下に移動した
後θＺステージ18のＺ駆動機構によりウエハチャック10
は所定ストローク上昇し、ウエハのICチップのボンディ
ングパッドとプローブカードのプローブ針とのコンタク
トが行なわれる。この状態においてウエハプローバが外
部のテスタ（図示せず）にテストスタート信号を送信す
ると、テスタはこのICチップのテストを開始する。この
テストの結果ICチップが良品と判定されると、テスタは
テスト終了信号をウエハプローバに送信して来る。ま
た、このICチップが不良品と判定されると、テスタはテ
スト終了信号と不良を示す信号を送信して来る。ウエハ
プローバはこのテスト終了信号受信時に、不良を示す信
号が受信されるか否かによりこのICチップの良、不良を
判別し不良ならばインカー（図示せず）によってこのIC
チップに印を付ける。

以上のようにしてファーストチップの検査の一連の動作
が終了すると、XYステージ19,20を移動させて順次未検
査のICチップをプローブカードの下に位置させファース
トチップと同様に処理する。

ウエハ上の全てのICチップのテストが完了すると、ウエ
ハチャック10は第２図に示す最初の位置に戻り、バキュ
ーム吸着を止めウエハチャック10から３本のウエハチャ
ックピン86を突出させることによりウエハをウエハチャ
ック10からリフトさせる。この状態において、パンタグ
ラフハンド15は縮んだ状態で第２図に示すウエハチャッ
ク10の方向を向き、さらにパンタグラフハンド15が伸び
ることによりパンタグラフハンドフィンガ84をウエハチ
ャック10とウエハの間に挿入し、さらにパンタグラフハ
ンド15が若干上昇した後縮むことによりこのウエハをウ
エハチャック10から回収する。

パンタグラフハンド15は、もしアンロードストップ動作
が設定されていれば、アンロードストップ位置４にウエ
ハを渡し、さらに予め設定した時間後または人手による
ウエハ収納指示後このウエハをアンロードストップ位置
４から回収して、一方、もしアンロードストップ動作が
設定されていなければ直接、ウエハキャリヤ３内のこの
ウエハが検査前にあった位置に戻す。

なお、ウエハチャック10上のウエハがプロービング動作
中、次のウエハがウエハキャリヤ３内からパンタグラフ
ハンド15により引き出され、プリアライメントステーシ
ョン７に渡される。この後、プリアライメントステーシ
ョン７では前述と同様なプリアライメント動作が行なわ
れる。つまり、ウエハチャック10からウエハが搬出され
る時には次のウエハがプリアライメントステーション７
においてプリアライメント完了状態で待機しており、次
のウエハのウエハチャック10への搬入はプリアライメン
ト等のための無駄時間をかけることなく実行される。

以上の動作により１ウエハキャリヤ内の全てのウエハの
テストが終了すると、操作パネル６上のキャリヤセット
スイッチ（図示せず）がブリンク状態となり、１ウエハ
キャリヤのウエハテストが終了したことをオペレータに
知らせる。もし、オペレータがこの状態でこのキャリヤ
セットスイッチを押せば、ウエハキャリヤ台２が手前に
出て来て、このウエハキャリヤの取り外しおよび交換等
が容易に行なえるようになっている。なお、オペレータ
によるキャリヤ交換待ち時において、もし他方のウエハ
キャリヤ台２にテストすべきウエハが入っているウエハ
キャリヤが設定されていれば、ウエハプローバはこのウ
エハキャリヤ内のウエハについて上述のプローブテスト
動作を自動的に実行する。

次に、第10図に基づいて本発明のウエハプローバを適用
したウエハプローバラインの自動化例について説明す
る。図中、90はウエハカセット自動搬送車、91はウエハ
キャリヤ、92はウエハキャリヤ搬送ハンド、93は搬送車
の光通信用窓、99はウエハプロバーの光通信用窓であ
る。

同図において、搬送車90は、搬送車通路94を常時往復移
動しており、この移動の途中で光通信用窓93をウエハプ
ローバの光通信用窓99に対向させながらウエハプローバ
と通信を行なっている。この通信の結果、いずれかのウ
エハプローバで１ウエハキャリヤ91内のウエハのテスト
が終了していることを検知すれば、搬送車90はそのウエ
ハプローバの前で停止する。さらに光通信用窓からの入
力光が最大になる位置にまで低速移動することによりウ
エハプローバに対しての位置出しを行なう。この後搬送
車90はウエハプローバに対してウエハキャリヤ交換を行
なうことを送信する。ウエハプローバはこの信号を受信
すると、検査済みのウエハキャリヤ91のウエハキャリヤ
台２を搬送車90側に押し出し、ウエハキャリヤ台２を出
したことを光通信用窓99を通じて搬送車90に対して送信
する。搬送車90はこの信号を受信後、ウエハキャリヤ搬
送ハンド92によってウエハキャリヤ台２上のウエハキャ
リヤ91を持ち上げ、搬送車90内の所定の位置に収納す
る。さらに搬送車90は、未検査ウエハが入っているウエ
ハキャリヤ91をウエハキャリヤ搬送ハンド92を用いてウ
エハプローバのウエハキャリヤ台２に乗せ、ウエハプロ
ーバにウエハキャリア交換が終了したことを送信する。
ウエハプローバはこの信号を受信するとウエハキャリヤ
台２を本体内に戻し、ウエハキャリヤ91の交換を終了す
る。

なお、第10図には搬送車通路94の片側にしか、ウエハプ
ローバを図示していないが、ウエハプローバをこの通路
の両側に配置することも当然容易に実現可能である。

［発明の効果］ 以上説明したように、本第１発明によれば、ウエハキャ
リヤ台とプリアライメント機構を上下方向に関して並ん
で配置したので、装置内で比較的大きな面積を占めてい
るプリアライメント機構を効率よく装置本体内に収納す
ることができる。このため、本発明によれば、ウエハ処
理装置自体の小型化を図ることができ、その設置面積を
小さくすることができる。また、ウエハキャリヤからプ
リアライメント機構部までのウエハの搬送距離を比較的
短くすることもできる。また、本第２発明によれば、本
第１発明が奏する効果に加え、ウエハキャリヤ台を装置
内に複数設ける場合にも装置自体の小型化を可能にし、
その設置面積を小さくすることができる。更に本第１お
よび第２発明において、ハンド機構とウエハキャリア台
を装置本体正面部に配置すれば、装置正面からのウエハ
キャリア交換が可能となり、操作性の向上を図ることが
できる。また、装置側面等にウエハキャリア交換のため
の余分なスペースを必要としないので、工場内でのスペ
ースの有効利用を図ることができる。更に、大きなウエ
ハキャリアの交換も容易になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係るウエハプローバの概
略構成図、 第２図は、第１図のウエハプローバの内部概略図、 第３図は、第１図のウエハプローバの外観概略図、 第４〜６図は、第２図におけるパンタグラフハンドの構
造および動作説明図、 第７図は、第２図におけるプリアライメントステーショ
ンの概略斜視図、 第８および９図は、第７図のプリアライメントステーシ
ョンの動作説明図、 第10図は、第１図のウエハプローバを適用したウエハプ
ローバラインの概略構成図、 第11〜13図は、従来のウエハプローバの搬送系を説明す
る図、 第14図は、第13図の搬送系を用いたウエハプローバの周
囲の状況を説明する図、そして 第15および16図は、ウエハプローバの工場内における配
置例を示す図である。 1:ウエハキャリヤ出入口、 2:ウエハキャリア台、3:ウエハキャリヤ、 4:アンロードストップ位置、6:操作パネル、 7:プリアライメントステーション、 10:ウエハチャック、12:ヘッドプレート、 13:実体顕微鏡、14:モニタ、 15:パンタグラフハンド、17:搬入ハンド、 18:θＺステージ、19:Yステージ、 20:Xステージ、21:静電容量型センサ、 22:オートアライメント用顕微鏡、 90:ウエハキャリヤ自動搬送車。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｒ 31/28 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｂ 7630−4Ｍ

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ウエハを搭載して移動可能なウエハステー
   ジと、複数のウエハを収納しているウエハキャリヤが載
   置されるウエハキャリヤ台と、前記ウエハキャリヤから
   ウエハを取り出すハンド機構と、前記ウエハキャリヤか
   ら取り出されたウエハを前記ウエハステージに搬送する
   前にウエハの粗位置合せを行なうプリアライメント機構
   を有し、前記ウエハキャリヤ台と前記プリアライメント
   機構は上下方向に関して並んで配置されていることを特
   徴とするウエハ処理装置。
2. 【請求項２】前記ハンド機構と前記ウエハキャリヤ台は
   装置本体正面部に配置されていることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載のウエハ処理装置。
3. 【請求項３】情報入力用操作部が前記ウエハキャリヤ台
   と上下方向に関して並んで配置されていることを特徴と
   する特許請求の範囲第２項記載のウエハ処理装置。
4. 【請求項４】前記ウエハキャリヤを前記ウエハキャリヤ
   台と共に装置本体正面に取り出すようにしたことを特徴
   とする特許請求の範囲第３項記載のウエハ処理装置。
5. 【請求項５】ウエハを搭載して移動可能なウエハステー
   ジと、複数のウエハを収納しているウエハキャリヤがそ
   れぞれ載置される第１及び第２ウエハキャリヤ台と、前
   記ウエハキャリヤからウエハを取り出すハンド機構と、
   前記ウエハキャリヤから取り出されたウエハを前記ウエ
   ハステージに搬送する前にウエハの粗位置合せを行なう
   プリアライメント機構と、前記ウエハステージから搬送
   されてきたウエハが載置されるアンロードストップ部を
   有し、前記第１ウエハキャリヤ台と前記プリアライメン
   ト機構は上下方向に関して並んで配置され、前記第２ウ
   エハキャリヤ台と前記アンロードストップ部が上下方向
   に関して並んで配置されていることを特徴とするウエハ
   処理装置。
6. 【請求項６】前記ハンド機構と前記第１及び第２ウエハ
   キャリヤ台は装置本体正面部に配置されていることを特
   徴とする特許請求の範囲第５項記載のウエハ処理装置。
7. 【請求項７】情報入力用操作部が前記第１及び第２ウエ
   ハキャリヤ台の一方と上下方向に関して並んで配置され
   ていることを特徴とする特許請求の範囲第６項記載のウ
   エハ処理装置。
8. 【請求項８】前記第１及び第２ウエハキャリヤ台のそれ
   ぞれに載置されている前記ウエハキャリヤを前記第１及
   び第２ウエハキャリヤ台のそれぞれに載置したまま装置
   本体正面に取り出すようにしたことを特徴とする特許請
   求の範囲第７項記載のウエハ処理装置。