CN115763337B - 一种净化台放置舟的方法及其净化台 - Google Patents
一种净化台放置舟的方法及其净化台 Download PDFInfo
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Abstract
本申请涉及太阳能电池制备技术领域,特别是涉及一种净化台放置舟的方法及其净化台。包括:获取净化台状态参数,控制模块根据净化台状态参数判断是否生成放舟路径指令;若生成放舟路径指令,则控制模块根据放舟路径指令设定净化台搬舟循环指令,机械手根据搬舟循环指令执行搬舟动作;预设多个监测点,获取监测点的舟体数据生成舟实时位置参数,控制模块根据舟实时位置参数修正机械手工作参数;监测点设置有监测模块。通过采集机械手运输舟的实时工作参数,根据预设位置进行定位,实现对于舟的位置识别,并根据舟的实时位置偏差量调整机械手工作参数,提高输送舟位置的准确性,及时校准舟位置,提高生产效率,降低人工参与频率。
Description
技术领域
本申请涉及太阳能电池制备技术领域,特别是涉及一种净化台放置舟的方法及其净化台。
背景技术
目前,在晶体硅太阳能电池的加工生产中,硅片在由花篮装入至硅片舟以后,需要将装满硅片的硅片舟搬运到净化台中进行相应的工艺处理。
现有技术中,硅片舟在装满硅片后竖直放置在待取位置,由人工将搬运至输送小车中,再推送该输送小车进入净化台中进行相应的工艺处理。由于硅片舟装载硅片后较重,人工搬运劳动强度大,效率低下,且操作不当容易出现硅片舟放置位置不准确、硅片舟损坏等问题,降低了太阳能电池的加工效率。随着自动化生产的日益完善,实现晶体硅太阳能电池加工生产自动化、提高生产效率是大势所趋。
发明内容
本申请的目的:为解决上述技术问题,本申请提供了一种净化台放置舟的方法及其净化台,旨在提高放舟效率,减少人工参与频率。
本申请的一些实施例中,通过采集机械手运输舟的实时工作参数,根据预设位置进行定位,实现对于舟的位置识别,并根据舟的实时位置偏差量调整机械手工作参数,提高输送舟位置的准确性,及时校准舟位置,提高生产效率,降低人工参与频率。
本申请的一些实施例中,提供了一种净化台放置舟的方法,包括:
获取净化台状态参数,控制模块根据所述净化台状态参数判断是否生成放舟路径指令;
若生成放舟路径指令,则控制模块根据所述放舟路径指令设定净化台搬舟循环指令,机械手根据所述搬舟循环指令执行搬舟动作;
预设多个监测点,获取所述监测点的舟体数据生成舟实时位置参数,控制模块根据所述舟实时位置参数修正机械手工作参数;所述监测点设置有监测模块。
本申请的一些实施例中,根据所述净化台状态参数判断是否生成放舟路径指令时,还包括:
获取机械手状态参数和放舟位置状态参数;
若所述机械手为有舟状态且放舟位置为空舟状态时,生成放舟路径指令;
若所述机械手为空舟状态或放舟位置为非空舟状态时,不生成放路径舟指令。
本申请的一些实施例中,机械手根据所述搬舟循环指令执行搬舟动作时,包括:
获取通道位指令,机械手X轴根据所述通道位指令控制舟至通道位;
当舟到达通道位并完成定位时,生成托舟下位指令,机械手Z轴根据所述托舟下位指令控制舟到达第一预设位置;
当舟到达第一预设位置并完成定位时,生成产品工位指令,机械手X轴根据所述产品工位指令控制舟到达产品工位;
当舟到达产品工位并完成定位时,生成托舟上位指令,机械手Z轴根据所述托舟上位指令控制舟到达第二预设位置;
当舟到达第二预设位置并完成定位时,生成返回通道位指令,机械手X轴执行所述返回通道位指令,当完成通道位二次定位时,机械手停止运行。
本申请的一些实施例中,当舟到达产品工位并完成定位时,包括:
关闭所述监测模块;
当所述监测模块关闭后,机械手Z轴执行所述托舟上位指令;
当完成第二预设位置定位时,开启监测模块采集舟体数据,并根据所述舟体数据判断是否生成预警指令;
当生成预警指令时,所述机械手停止运行;
当不生成预警指令时,机械手X轴执行所述返回通道位指令。
本申请的一些实施例中,根据所述舟体数据判断是否生成预警指令时,包括:
获取多个监测模块采集的舟体数据;
根据所述舟体数据生成监测点托舟参数;
若所述监测点托舟参数不一致,预警模块生成摔舟预警指令。
本申请的一些实施例中,所述当舟到达第一预设位置并完成定位时,还包括:
根据第一预设位置和实时下位定位位置,生成舟位置Z轴偏差值,根据所述舟位置Z轴偏差值修正机械手Z轴执行所述托舟上位指令时的运行速度。
本申请的一些实施例中,所述修正机械手Z轴执行所述托舟上位指令时的运行速度时,包括:
预设舟位置Z轴偏差值矩阵A,设定A=(A1,A2,A3),其中,A1为预设第一舟位置Z轴偏差值,A2为预设第二舟位置Z轴偏差值,A3为预设第三舟位置Z轴偏差值,且A1<A2<A3;
预设上位指令运行速度修正系数矩阵N,设定N=(n1,n2,n3),其中,n1为预设第一上位指令运行速度修正系数,n2为预设第二上位指令运行速度修正系数,n3为预设第三上位指令运行速度修正系数,且0.7<n1<n2<n3<1;
获取实时舟位置Z轴偏差值a和预设上位指令运行速度V0;
当a<A1时,根据预设第三上位指令运行速度修正系数n3对上位指令运行速度V0进行修正,修正后上位指令运行速度V1=n3*V0;
当A1<a<A2时,根据预设第二上位指令运行速度修正系数n2对上位指令运行速度V0进行修正,修正后上位指令运行速度V1=n2*V0;
当A2<a<A3时,根据预设第一上位指令运行速度修正系数n1对上位指令运行速度V0进行修正,修正后上位指令运行速度V1=n1*V0。
本申请的一些实施例中,所述当舟到达产品工位并完成定位时,包括:
获取托舟下位指令运行速度V2;
根据预设舟产品工位位置和实时舟产品工位位置,生成舟产品工位偏差值,根据所述舟产品工位偏差值修正下一托舟下位指令运行速度。
本申请的一些实施例中,所述修正下一托舟下位指令运行速度时,包括:
获取托舟下位指令运行速度V2;
预设托舟下位指令运行速度修正系数矩阵M,设定M=(m1,m2,m3),其中,m1为预设第一托舟下位指令运行速度修正系数,m2为预设第二托舟下位指令运行速度修正系数,m3为预设第三托舟下位指令运行速度修正系数,且0.7<m1<m2<m3<1;
预设舟产品工位偏差值矩阵D,设定D=(D1,D2,D3),其中,D1为预设第一舟产品工位偏差值,D2为预设第二舟产品工位偏差值,D3为预设第三舟产品工位偏差值,且D1<D2<D3;
获取实时舟产品工位偏差值d和托舟下位指令运行速度V2,并根据所述舟产品工位偏差值d修正下一托舟下位指令运行速度V3;
当d<D1时,根据预设第三下位指令运行速度修正系数m3对下一托舟下位指令运行速度V3进行修正,修正后下位指令运行速度V3=m3*V2;
当D1<d<D2时,根据预设第二下位指令运行速度修正系数m2对下一托舟下位指令运行速度V3进行修正,修正后下位指令运行速度V3=m2*V2;
当D2<d<D3时,根据预设第一下位指令运行速度修正系数m1对下一托舟下位指令运行速度V3进行修正,修正后下位指令运行速度V3=m1*V2。
本申请的一些实施例中,提供了一种净化台,包括:
主体,所述主体上设置有通道位和产品工位;
机械手,与所述主体连接,所述机械手用于抓取舟;
X轴运行单元,用于控制所述机械手的运行方向;
Z轴运行单元,用于控制所述机械手的运行方向;
控制模块,与机械手通过导线连接,所述控制模块用于设定所述机械手工作参数;
监测模块,与所述控制模块通过无线信号进行连接,所述监测模块用于采集舟体数据,并根据所述舟体数据生成监测点托舟参数,所述监测模块还用于根据舟体数据生成舟实时位置参数;
预警模块,与所述控制模块和所述监测模块通过无线信号进行连接,所述预警模块用于根据所述监测点托舟参数生成预警指令;
所述控制模块还用于获取所述舟实时位置参数,并根据所述舟实时位置参数修正机械手工作参数;
所述控制模块还用于获取净化台状态参数,并根据所述净化台状态参数判断是否生成放舟路径指令;
若生成放舟路径指令,控制模块还用于根据所述放舟路径指令设定净化台搬舟循环指令,所述机械手根据所述搬舟循环指令执行搬舟动作。
本申请实施例一种净化台放置舟的方法及其净化台与现有技术相比,其有益效果在于:
通过采集机械手运输舟的实时工作参数,根据预设位置进行定位,实现对于舟的位置识别,并根据舟的实时位置偏差量调整机械手工作参数,提高输送舟位置的准确性,及时校准舟位置,提高生产效率,降低人工参与频率。
通过设置多个监测点,并通过处理监测点舟参数,判断舟状态,当存在监测点与其他监测点的光信号不一致时,生成摔舟预警指令,机械手停止动作,及时处理,提高对净化台的监测效率。
附图说明
图1是本申请实施例优选实施例中一种净化台放置舟的方法的流程示意图;
图2是本申请实施例优选实施例中一种净化台放置舟的方法中搬舟循环指令流程示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本申请的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本申请,但不用来限制本申请的范围。
在本申请的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。
术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
在本申请的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
如图1和图2所示,本申请实施例优选实施例的一种净化台放置舟的方法,包括:
S101:获取净化台状态参数,控制模块根据净化台状态参数判断是否生成放舟路径指令;
S102:若生成放舟路径指令,则控制模块根据放舟路径指令设定净化台搬舟循环指令,机械手根据搬舟循环指令执行搬舟动作;
S103:预设多个监测点,获取监测点的舟体数据生成舟实时位置参数,控制模块根据舟实时位置参数修正机械手工作参数;监测点设置有监测模块。
具体而言,根据净化台状态参数判断是否生成放舟路径指令时,还包括:
获取机械手状态参数和放舟位置状态参数;
若机械手为有舟状态且放舟位置为空舟状态时,生成放舟路径指令;
若机械手为空舟状态或放舟位置为非空舟状态时,不生成放舟路径指令。
具体而言,机械手根据搬舟循环指令执行搬舟动作时,包括:
获取通道位指令,机械手X轴根据通道位指令控制舟至通道位;
当舟到达通道位并完成定位时,生成托舟下位指令,机械手Z轴根据托舟下位指令控制舟到达第一预设位置;
当舟到达第一预设位置并完成定位时,生成产品工位指令,机械手X轴根据产品工位指令控制舟到达产品工位;
当舟到达产品工位并完成定位时,生成托舟上位指令,机械手Z轴根据托舟上位指令控制舟到达第二预设位置;
当舟到达第二预设位置并完成定位时,生成返回通道位指令,机械手X轴执行返回通道位指令,当完成通道位二次定位时,机械手停止运行。
具体而言,当舟到达产品工位并完成定位时,还包括:
关闭监测模块;
当监测模块关闭后,机械手Z轴执行托舟上位指令;
具体而言,此时关闭监测模块是避免在运动过程中进行错误判断。
当完成第二预设位置定位时,开启监测模块采集舟体数据,并根据舟体数据判断是否生成预警指令;
当生成预警指令时,机械手停止运行;
当不生成预警指令时,机械手X轴执行返回通道位指令。
具体而言,当开启监测模块后,判断有无舟信息和监测模块的光电监测信号是否一致,当有一个以上光电信号与其他信号不一致时,判断存在摔舟危险,同时暂停机械手动作。
具体而言,根据舟体数据判断是否生成预警指令,包括:
获取多个监测模块采集的舟体数据;
根据舟体数据生成监测点托舟参数;
若监测点托舟参数不一致,预警模块生成摔舟预警指令。
可以理解的是,上述实施例中,通过设置多个监测点,并通过处理监测点舟参数,判断舟状态,当存在监测点与其他监测点的光信号不一致时,生成摔舟预警指令,机械手停止动作,及时处理,提高对净化台的监测效率
本申请实施例优选实施例中,当舟到达第一预设位置并完成定位时,还包括:
根据第一预设位置和实时下位定位位置,生成舟位置Z轴偏差值,根据舟位置Z轴偏差值修正机械手Z轴执行托舟上位指令时的运行速度。
具体而言,修正机械手Z轴执行托舟上位指令时的运行速度时,包括:
预设舟位置Z轴偏差值矩阵A,设定A=(A1,A2,A3),其中,A1为预设第一舟位置Z轴偏差值,A2为预设第二舟位置Z轴偏差值,A3为预设第三舟位置Z轴偏差值,且A1<A2<A3;
预设上位指令运行速度修正系数矩阵N,设定N=(n1,n2,n3),其中,n1为预设第一上位指令运行速度修正系数,n2为预设第二上位指令运行速度修正系数,n3为预设第三上位指令运行速度修正系数,且0.7<n1<n2<n3<1;
获取实时舟位置Z轴偏差值a和预设上位指令运行速度V0;
当a<A1时,根据预设第三上位指令运行速度修正系数n3对上位指令运行速度V0进行修正,修正后上位指令运行速度V1=n3*V0;
当A1<a<A2时,根据预设第二上位指令运行速度修正系数n2对上位指令运行速度V0进行修正,修正后上位指令运行速度V1=n2*V0;
当A2<a<A3时,根据预设第一上位指令运行速度修正系数n1对上位指令运行速度V0进行修正,修正后上位指令运行速度V1=n1*V0。
可以理解的是,上述实施例中通过获取实时舟位置Z轴偏差值a,对机械手在执行托舟上位指令时的运行速度,避免因机械手在执行托舟上位指令时,舟偏移量过大,造成摔舟故障。
本申请实施例优选实施例中,当舟到达产品工位并完成定位时,包括:
获取托舟下位指令运行速度V2;
根据预设舟产品工位位置和实时舟产品工位位置,生成舟产品工位偏差值,根据舟产品工位偏差值修正下一托舟下位指令运行速度。
具体而言,修正下一托舟下位指令运行速度时,包括:
获取托舟下位指令运行速度V2;
预设托舟下位指令运行速度修正系数矩阵M,设定M=(m1,m2,m3),其中,m1为预设第一托舟下位指令运行速度修正系数,m2为预设第二托舟下位指令运行速度修正系数,m3为预设第三托舟下位指令运行速度修正系数,且0.7<m1<m2<m3<1;
预设舟产品工位偏差值矩阵D,设定D=(D1,D2,D3),其中,D1为预设第一舟产品工位偏差值,D2为预设第二舟产品工位偏差值,D3为预设第三舟产品工位偏差值,且D1<D2<D3;
获取实时舟产品工位偏差值d和托舟下位指令运行速度V2,并根据舟产品工位偏差值d修正下一托舟下位指令运行速度V3;
当d<D1时,根据预设第三下位指令运行速度修正系数m3对下一托舟下位指令运行速度V3进行修正,修正后下位指令运行速度V3=m3*V2;
当D1<d<D2时,根据预设第二下位指令运行速度修正系数m2对下一托舟下位指令运行速度V3进行修正,修正后下位指令运行速度V3=m2*V2;
当D2<d<D3时,根据预设第一下位指令运行速度修正系数m1对下一托舟下位指令运行速度V3进行修正,修正后下位指令运行速度V3=m1*V2。
可以理解的是,上述实施例中,通过获取实时舟产品工位偏差值d和托舟下位指令运行速度V2,修正下一托舟下位指令运行速度V3,从而提高舟到达产品工位时的准确性,提高输送舟位置的准确性,及时校准舟位置,提高生产效率,降低人工参与频率。
基于上述任一优选实施例中的净化台放置舟的方法,本优选实施例提供了一种净化台,包括:
主体,主体上设置有通道位和产品工位;
机械手,与主体连接,机械手用于抓取舟;
X轴运行单元,用于控制机械手的运行方向;
Z轴运行单元,用于控制机械手的运行方向;
控制模块,与机械手通过导线连接,控制模块用于设定机械手工作参数;
监测模块,与控制模块通过无线信号进行连接,监测模块用于采集舟体数据,并根据舟体数据生成监测点托舟参数,监测模块还用于根据舟体数据生成舟实时位置参数;
预警模块,与控制模块和监测模块通过无线信号进行连接,预警模块用于根据监测点托舟参数生成预警指令;
控制模块还用于获取舟实时位置参数,并根据舟实时位置参数修正机械手工作参数;
控制模块还用于获取净化台状态参数,并根据净化台状态参数判断是否生成放舟路径指令;
若生成放舟路径指令,控制模块还用于根据放舟路径指令设定净化台搬舟循环指令,机械手根据搬舟循环指令执行搬舟动作。
具体而言,X轴运行单元用于执行到通道位指令,到产品工位指令和返回通道位指令。
具体而言,Z轴运行单元用于执行托舟下位指令和托舟上位指令。
根据本申请的第一构思,通过采集机械手运输舟的实时工作参数,根据预设位置进行定位,实现对于舟的位置识别,并根据舟的实时位置偏差量调整机械手工作参数,提高输送舟位置的准确性,及时校准舟位置,提高生产效率,降低人工参与频率。
根据本申请的第二构思,通过设置多个监测点,并通过处理监测点舟参数,判断舟状态,当存在监测点与其他监测点的光信号不一致时,生成摔舟预警指令,机械手停止动作,及时处理,提高对净化台的监测效率。
以上-仅是本申请的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本申请技术原理的前提下,还可以做出多个改进和替换,这些改进和替换也应视为本申请的保护范围。
Claims (7)
1.一种净化台放置舟的方法,其特征在于,包括:
获取净化台状态参数,控制模块根据所述净化台状态参数判断是否生成放舟路径指令;
若生成放舟路径指令,则控制模块根据所述放舟路径指令设定净化台搬舟循环指令,机械手根据所述搬舟循环指令执行搬舟动作;
预设多个监测点,获取所述监测点的舟体数据生成舟实时位置参数,控制模块根据所述舟实时位置参数修正机械手工作参数;所述监测点设置有监测模块;
所述机械手根据所述搬舟循环指令执行搬舟动作时,包括:
获取通道位指令,机械手X轴根据所述通道位指令控制舟至通道位;
当舟到达通道位并完成定位时,生成托舟下位指令,机械手Z轴根据所述托舟下位指令控制舟到达第一预设位置;
当舟到达第一预设位置并完成定位时,生成产品工位指令,机械手X轴根据所述产品工位指令控制舟到达产品工位;
当舟到达产品工位并完成定位时,生成托舟上位指令,机械手Z轴根据所述托舟上位指令控制舟到达第二预设位置;
当舟到达第二预设位置并完成定位时,生成返回通道位指令,机械手X轴执行所述返回通道位指令,当完成通道位二次定位时,机械手停止运行;
所述当舟到达第一预设位置并完成定位时,还包括:
根据第一预设位置和实时下位定位位置,生成舟位置Z轴偏差值,根据所述舟位置Z轴偏差值修正机械手Z轴执行所述托舟上位指令时的运行速度;
预设舟位置Z轴偏差值矩阵A,设定A=(A1,A2,A3),其中,A1为预设第一舟位置Z轴偏差值,A2为预设第二舟位置Z轴偏差值,A3为预设第三舟位置Z轴偏差值,且A1<A2<A3;
预设上位指令运行速度修正系数矩阵N,设定N=(n1,n2,n3),其中,n1为预设第一上位指令运行速度修正系数,n2为预设第二上位指令运行速度修正系数,n3为预设第三上位指令运行速度修正系数,且0.7<n1<n2<n3<1;
获取实时舟位置Z轴偏差值a和预设上位指令运行速度V0;
当a<A1时,根据预设第三上位指令运行速度修正系数n3对上位指令运行速度V0进行修正,修正后上位指令运行速度V1=n3*V0;
当A1<a<A2时,根据预设第二上位指令运行速度修正系数n2对上位指令运行速度V0进行修正,修正后上位指令运行速度V1=n2*V0;
当A2<a<A3时,根据预设第一上位指令运行速度修正系数n1对上位指令运行速度V0进行修正,修正后上位指令运行速度V1=n1*V0。
2.如权利要求1所述的净化台放置舟的方法,其特征在于,根据所述净化台状态参数判断是否生成放舟路径指令时,包括:
获取机械手状态参数和放舟位置状态参数;
若所述机械手为有舟状态且放舟位置为空舟状态时,生成放舟路径指令;
若所述机械手为空舟状态或放舟位置为非空舟状态时,不生成放舟路径指令。
3.如权利要求1所述的净化台放置舟的方法,其特征在于,当舟到达产品工位并完成定位时,包括:
关闭所述监测模块;
当所述监测模块关闭后,机械手Z轴执行所述托舟上位指令;
当完成第二预设位置定位时,开启所述监测模块采集舟体数据,并根据所述舟体数据判断是否生成预警指令;
当生成预警指令时,所述机械手停止运行;
当不生成预警指令时,机械手X轴执行所述返回通道位指令。
4.如权利要求3所述的净化台放置舟的方法,其特征在于,根据所述舟体数据判断是否生成预警指令时,包括:
获取多个所述监测模块采集的舟体数据;
根据所述舟体数据生成监测点托舟参数;
若所述监测点托舟参数不一致,预警模块生成摔舟预警指令。
5.如权利要求1所述的净化台放置舟的方法,其特征在于,所述当舟到达产品工位并完成定位时,包括:
获取托舟下位指令运行速度V2;
根据预设舟产品工位位置和实时舟产品工位位置,生成舟产品工位偏差值,根据所述舟产品工位偏差值修正下一托舟下位指令运行速度。
6.如权利要求5所述的净化台放置舟的方法,其特征在于,所述修正下一托舟下位指令运行速度时,包括:
获取托舟下位指令运行速度V2;
预设托舟下位指令运行速度修正系数矩阵M,设定M=(m1,m2,m3),其中,m1为预设第一托舟下位指令运行速度修正系数,m2为预设第二托舟下位指令运行速度修正系数,m3为预设第三托舟下位指令运行速度修正系数,且0.7<m1<m2<m3<1;
预设舟产品工位偏差值矩阵D,设定D=(D1,D2,D3),其中,D1为预设第一舟产品工位偏差值,D2为预设第二舟产品工位偏差值,D3为预设第三舟产品工位偏差值,且D1<D2<D3;
获取实时舟产品工位偏差值d和托舟下位指令运行速度V2,并根据所述舟产品工位偏差值d修正下一托舟下位指令运行速度V3;
当d<D1时,根据预设第三下位指令运行速度修正系数m3对下一托舟下位指令运行速度V3进行修正,修正后下位指令运行速度V3=m3*V2;
当D1<d<D2时,根据预设第二下位指令运行速度修正系数m2对下一托舟下位指令运行速度V3进行修正,修正后下位指令运行速度V3=m2*V2;
当D2<d<D3时,根据预设第一下位指令运行速度修正系数m1对下一托舟下位指令运行速度V3进行修正,修正后下位指令运行速度V3=m1*V2。
7.如权利要求1所述的净化台放置舟的方法,其特征在于,净化台包括:
主体,所述主体上设置有通道位和产品工位;
机械手,与所述主体连接,所述机械手用于抓取舟;
X轴运行单元,用于控制所述机械手的运行方向;
Z轴运行单元,用于控制所述机械手的运行方向;
控制模块,与机械手通过导线连接,所述控制模块用于设定所述机械手工作参数;
监测模块,与所述控制模块通过无线信号进行连接,所述监测模块用于采集舟体数据,并根据所述舟体数据生成监测点托舟参数,所述监测模块还用于根据舟体数据生成舟实时位置参数;
预警模块,与所述控制模块和所述监测模块通过无线信号进行连接,所述预警模块用于根据所述监测点托舟参数生成预警指令;
所述控制模块还用于获取所述舟实时位置参数,并根据所述舟实时位置参数修正机械手工作参数;
所述控制模块还用于获取净化台状态参数,并根据所述净化台状态参数判断是否生成放舟路径指令;
若生成放舟路径指令,控制模块还用于根据所述放舟路径指令设定净化台搬舟循环指令,所述机械手根据所述搬舟循环指令执行搬舟动作。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310031723.7A CN115763337B (zh) | 2023-01-10 | 2023-01-10 | 一种净化台放置舟的方法及其净化台 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310031723.7A CN115763337B (zh) | 2023-01-10 | 2023-01-10 | 一种净化台放置舟的方法及其净化台 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN115763337A CN115763337A (zh) | 2023-03-07 |
CN115763337B true CN115763337B (zh) | 2023-06-02 |
Family
ID=85348888
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202310031723.7A Active CN115763337B (zh) | 2023-01-10 | 2023-01-10 | 一种净化台放置舟的方法及其净化台 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN115763337B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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PB01 | Publication | ||
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