TW201527771A - 電子元件檢測設備及其檢測方法 - Google Patents

Abstract

本發明係有關於一種電子元件檢測設備及其檢測方法，包括：移載梭車之進料承置部位於進料區，而裝填部分待測電子元件，且出料承置部位於測試區，而完測電子元件被搬至出料承置部上；出料承置部移入出料區而部分完測電子元件被搬至出料承載盤；進料承置部移入進料區而填滿進料承置部；出料承置部移入出料區內而清空出料承置部，此時進料承置部上全部的待測電子元件搬運至檢測裝置進行測試。據此，本發明充分利用檢測時間、以及搬運過程的空檔，而多批次的裝填及清空電子元件，以減少各裝置的閒置時間，進而大幅提高檢測效率。

Description

電子元件檢測設備及其檢測方法

本發明係關於一種電子元件檢測設備及其檢測方法，尤指一種適用於測試積體電路良窳之檢測設備與檢測方法。

隨著半導體製造產業蓬勃發展的需求，除了追求製造設備之產能效率外，半導體測試設備廠商也極力地朝向提升測試效率的趨勢發展。然而，半導體測試設備製造商於提升測試效率的目標下，不外乎透過包括縮短測試時間、減少閒置時間、以及減少晶片的移載次數或移載時間等手段來進行調整。

再者，上述眾多因素中唯一最難以調控的大概就是測試時間的長短，因為測試時間關乎於測試的項目以及測試的流程。然而，一旦測試的項目、以及測試的流程經確定後，測試時間幾乎也無可調整了。因此，半導體測試設備廠商大多朝向減少測試裝置的閒置時間、以及減少晶片的移載次數或移載時間等方向著手改良。

舉例而言，例如中華民國公告第I372135號「電子元件測試分類機之測試裝置」一案所載，其主要目的也是為了縮短測試裝置閒置的等待時間。其中，該發 明專利主要係因應測試時間較短的電子元件，其透過增加每次移載的數量，來減少測試站待機時間，進而增加機器產能利用率。

然而，當針對測試時間較長的測試方式時，如系統級測試(SYSTEM LEVEL TEST)，而上述發明專利所載之技術手段則無法適用，一旦採用上述技術則反而會造成晶片取放裝置、以及移載裝置閒置的等待時間過長，嚴重影響產能利用率。

提供一種電子元件檢測設備及其檢測方法，其適用於測試時間較長的電子元件，俾能顯著減少包括測試裝置、取放裝置、本發明之主要目的係以及移載梭車的閒置等待時間，進而有效提升產能效率。

為達成上述目的，本發明一種電子元件檢測方法，包括以下步驟：首先，一移載梭車移動使一移載梭車之一進料承置部位於一進料區內，一進料取放裝置自一進料承載盤搬運至少一待測電子元件至一移載梭車之一進料承置部，且移載梭車之出料承置部位於一測試區內，至少一取放臂將一檢測裝置上之至少一完測電子元件搬至出料承置部上；接著，移載梭車移動，使移載梭車之出料承置部移入一出料區內，一出料取放裝置自出料承置部搬出至少一完測電子元件至一出料承載盤；再者，移載梭車移動使進料承置部移入進料區內，進料取放裝置自進料承載盤搬運至少一待測電子元件而填滿進料承置部；接著，移載梭車移動使出料承置部移入出 料區內，出料取放裝置搬出至少一完測電子元件而清空出料承置部；以及，進料承置部位於測試區內，至少一取放臂將進料承置部上全部的待測電子元件搬運至檢測裝置進行測試。

據此，本發明之移載梭車利用進料、出料取放裝置於每次搬運過程的時間空檔、以及檢測裝置上進行檢測的時間空檔，往返於進料區、測試區、及出料區間，進行多批次裝填或清空電子元件，可充分利用並大幅降低進料、出料取放裝置、以及取放臂的閒置等待時間，進而顯著提升產能之測試效率。此外，本發明一種電子元件檢測方法可藉由多批次的搬運待測、或完測電子元件，以因應需較長測試時間之檢測態樣，進而減少設備需求，降低設備成本。

較佳的是，本發明一種電子元件檢測方法的進料承置部所承載之待測電子元件數量、及出料承置部所承載之完測電子元件數量可分別為進料取放裝置、及出料取放裝置所搬運之電子元件數量的倍數。換言之，進料取放裝置可分批次搬運填滿進料承置部，且出料取放裝置可分批次搬運清空出料承置部中的電子元件，進而減少設備需求，降低設備成本。

另外，本發明一種電子元件檢測方法可使用二取放臂，其可包括一第一取放臂、及一第二取放臂；其中，第一取放臂、及第二取放臂交替執行將進料承置部上全部的待測電子元件搬運至一檢測裝置進行測試、以及將檢測裝置上之至少一完測電子元件搬至出料承置 部上。此外，於本發明所提供之電子元件檢測方法中，當第一取放臂執行將進料承置部上全部的待測電子元件搬運至一檢測裝置進行測試時，該第二取放臂則執行將檢測裝置上之至少一完測電子元件搬至出料承置部上。據此，本發明可設置複數取放臂，以提高測試效率，減少等待移載電子元件的閒置時間。

本發明一種電子元件檢測設備，主要包括一進料區、一出料區、一測試區、以及一移載梭車。其中，進料區內設置有一進料承載盤、及一進料取放裝置；出料區內設置有一出料承載盤、及一出料取放裝置；測試區內設置有一檢測裝置、及至少一取放臂；移載梭車係移動於進料區、出料區、以及測試區之間。其中，測試區係位於進料區與出料區之間；而進料取放裝置係於進料區內，並用以搬運至少一待測電子元件於進料承載盤與移載梭車之間；出料取放裝置係於出料區內，並用於搬運至少一完測電子元件於出料承載盤與移載梭車之間。另外，至少一取放臂係於測試區內，並用於搬運至少一待測電子元件、及至少一完測電子元件於檢測裝置與移載梭車之間。

本發明電子元件檢測設備的移載梭車可包括一進料承置部、及一出料承置部，而進料承置部移動於進料區與測試區之間，出料承置部移動於出料區與測試區之間。換言之，本發明可採用單一移載梭車往返於進料區、出料區、及測試區之間，據此可更提高移載效率、以及降低設備成本。此外，進料承置部、及出料承置 部所分別承載之待測電子元件、及完測電子元件之數量係分別為進料取放裝置、及出料取放裝置所能搬運數量的倍數。

再且，本發明電子元件檢測設備中，進料取放裝置可於搬運至少一待測電子元件至進料承置部，且至少一取放臂將檢測裝置上全部的完測電子元件移載至移載梭車之出料承置部後；移載梭車移動而出料承置部移入出料區內，且出料取放裝置搬出至少一完測電子元件至出料承載盤。接著，移載梭車移動而進料承置部可移入進料區內，而進料取放裝置搬運至少一待測電子元件而填滿進料承置部。再者，移載梭車移動而出料承置部移入出料區內，而出料取放裝置搬出至少一完測電子元件而清空出料承置部，且至少一取放臂將進料承置部上全部的待測電子元件移載至檢測裝置進行測試。

簡單的說，本發明之電子元件檢測設備為配合較久的電子元件檢測時間，可利用每一批電子元件的檢測時間的空檔、以及進出料取放裝置於每次搬運過程的空檔，採用多批次的裝填進料承置部、以及多批次的清空出料承置部，以減少各裝置間的閒置等待時間，大幅提高檢測效率。

較佳的是，本發明電子元件檢測設備之至少一取放臂可包括一第一取放臂、及一第二取放臂，而第一取放臂、及第二取放臂可交替地運行將進料承置部上全部的待測電子元件移載至檢測裝置進行測試、以及將檢測裝置上全部的完測電子元件移載至移載梭車之出料 承置部。據此，本發明可採用二取放臂交替地移載電子元件進行測試，同樣可顯著減少檢測裝置的閒置時間，提高測試效率。此外，本發明電子元件檢測設備之進料區、測試區、以及出料區大致呈一直線配置，藉此可縮短並簡單化移載梭車的移動路徑，以提高檢測效率。

〔本創作〕

2‧‧‧移載梭車

21‧‧‧進料承置部

22‧‧‧出料承置部

3‧‧‧進料承載盤

4‧‧‧進料取放裝置

5‧‧‧出料承載盤

6‧‧‧出料取放裝置

7‧‧‧取放臂

71‧‧‧第一取放臂

72‧‧‧第二取放臂

8‧‧‧檢測裝置

C1‧‧‧待測電子元件

C2‧‧‧完測電子元件

Ia‧‧‧進料區

Oa‧‧‧出料區

Ta‧‧‧測試區

第1圖係本發明一較佳實施例之設備俯視示意圖。

第2圖係本發明一較佳實施例之設備前視示意圖。

第3圖係本發明一較佳實施例之測試流程圖。

本發明電子元件檢測設備及其檢測方法在本實施例中被詳細描述之前，要特別注意的是，以下的說明中，類似的元件將以相同的元件符號來表示。

請同時參閱第1圖、及第2圖，第1圖係本發明電子元件檢測設備一較佳實施例之設備俯視示意圖，第2圖係本發明電子元件檢測設備一較佳實施例之設備前視示意圖。如圖中所示，本實施例之電子元件檢測設備主要包括三個區域，一進料區Ia、一出料區Oa、以及一測試區Ta，本實施例之此三個區域為虛擬劃設的區域，未有實體上的間隔。不過，於本發明其他實施例中可為有實際區隔之區域，例如欲進行高低溫測試時，此三個區域可為具備溫度調控功能之腔室。

再如圖所示，進料區Ia、測試區Ta、以及出料區Oa於機台上大致呈一直線配置，且測試區Ta係位於 進料區Ia與出料區Oa之間，藉此可縮短及簡化移載路徑，以提高檢測效率。再者，進料區Ia內設置有一進料承載盤3、及一進料取放裝置4，而出料區Oa內設置有一出料承載盤5、及一出料取放裝置6，且測試區Ta內設置有一檢測裝置8、及二取放臂7。

另外，一移載梭車2移動於進料區Ia、出料區Oa、以及測試區Ta之間，且移載梭車2包括一進料承置部21、及一出料承置部22。詳言之，移載梭車2之進料承置部21可移動於進料區Ia與測試區Ta之間，而出料承置部22可移動於出料區Oa與測試區Ta之間。亦即，當進料承置部21位於進料區Ia時，出料承置部22則位於測試區Ta內；另一方面，當進料承置部21位於測試區Ta時，出料承置部22則位於出料區Oa內。據此，本實施例採用單一移載梭車2往返於進料區Ia、出料區Oa、及測試區Ta之間，且每一承置部也僅停靠起點及終點二端點，故可簡化移載手段，以更提高移載效率，並節省硬體設備上的設置及維護成本。

再者，又如第1圖、及第2圖所示，進料取放裝置4係於進料區Ia內搬運待測電子元件C1於進料承載盤3與移載梭車2之間，而出料取放裝置6係於出料區Oa內搬運完測電子元件C2於出料承載盤5與移載梭車2之間。而且，二取放臂7包括一第一取放臂71、及一第二取放臂72，分別於測試區Ta內搬運待測電子元件C1、及完測電子元件C2於檢測裝置8與移載梭車2之間。

在本實施例中，進料取放裝置4每次可取放四 個待測電子元件C1，而出料取放裝置6每次也可取放四個完測電子元件C2。至於，移載梭車2之進料承置部21、及出料承置部22則可分別容納八個待測電子元件C1、及完測電子元件C2，第一取放臂71與第二取放臂72每次也可移載八個電子元件，而檢測裝置8上每批次可檢測之電子元件的數量亦為八個。

換言之，本實施例之檢測裝置8上每批次可檢測之電子元件的數量、以及進料承置部21與出料承置部22所分別承載之電子元件的數量係為進料取放裝置4、及出料取放裝置6所能搬運數量的二倍。不過，本發明並不以二倍為限，可視實際情況調整增減其倍數。然而，此一設計的意義在於，採分批次裝填或清空，可有效利用閒置的等待時間，並可減少硬體設備設置的需求，例如可減少進料取放裝置4和出料取放裝置6上吸取頭的設置數量。

請一併參閱第3圖，第3圖係本發明一較佳實施例之測試流程圖。以下詳述整個檢測流程，於此特別說明的是，本實施例係以連續測試中某一循環來進行說明，亦即其中有一批次之電子元件已完測作為啟始狀態進行說明。

首先，移載梭車2移動使進料承置部21位於進料區Ia內，而進料取放裝置4自一進料承載盤3搬運四個待測電子元件C1至移載梭車2之進料承置部21；同時第二取放臂72將檢測裝置8上之八個完測電子元件C2搬至出料承置部22上，亦即第3圖之步驟S100。其中，此時第一 取放臂71搬運前一批次之待測電子元件C1至檢測裝置8上正進行測試中。

接著，移載梭車2移動，使移載梭車2之出料承置部22移入出料區Oa內，而出料取放裝置6自出料承置部22先搬出四個完測電子元件C2至出料承載盤5，亦即第3圖之步驟S105。然而，此時第二取放臂72停留在原處等待下一批次之待測電子元件C1到來，而第一取放臂71上所吸取之待測電子元件C1仍在檢測裝置8上進行測試。

再者，移載梭車2移動使進料承置部21再次移入進料區Ia內，而進料取放裝置4自進料承載盤3又搬運四個待測電子元件C1而填滿進料承置部21，亦即第3圖之步驟S110。同樣地，此時第二取放臂72仍停留在原處等待下一批次之待測電子元件C1到來，而第一取放臂71上所吸取之待測電子元件C1仍在檢測裝置8上進行測試。

下一步，移載梭車2移動使出料承置部22移入出料區Oa內，而出料取放裝置6搬出另外剩餘的四個完測電子元件C2而清空出料承置部22。另一方面，進料承置部21位於一測試區Ta內，而第二取放臂72將進料承置部21上全部的待測電子元件C1搬運至檢測裝置8進行測試，亦即第3圖之步驟S115。此時，第一取放臂71將完測電子元件C2搬運至移載梭車2上方，等待進行下一步驟。

承上所述，本發明為配合較久的電子元件檢測時間，可利用每一批電子元件的檢測時間的空檔、以及進出料取放裝置4、6於每次搬運過程的空檔，進行多批次的裝填進料承置部21、以及多批次的清空出料承置 部22，以減少各裝置間閒置的等待時間，大幅提高檢測效率。此外，也因為本發明採分批次裝填或清空，亦可減少硬體設備設置的需求，例如可減少進料取放裝置4和出料取放裝置6上吸取頭的設置數量，故可有效降低設備成本。

上述實施例僅係為了方便說明而舉例而已，本發明所主張之權利範圍自應以申請專利範圍所述為準，而非僅限於上述實施例。

2‧‧‧移載梭車

21‧‧‧進料承置部

22‧‧‧出料承置部

3‧‧‧進料承載盤

4‧‧‧進料取放裝置

5‧‧‧出料承載盤

6‧‧‧出料取放裝置

7‧‧‧取放臂

71‧‧‧第一取放臂

72‧‧‧第二取放臂

8‧‧‧檢測裝置

C1‧‧‧待測電子元件

C2‧‧‧完測電子元件

Ia‧‧‧進料區

Oa‧‧‧出料區

Ta‧‧‧測試區

Claims (9)

1. 一種電子元件檢測方法，包括以下步驟：(A)一移載梭車之一進料承置部位於一進料區內，一進料取放裝置自一進料承載盤搬運至少一待測電子元件至該移載梭車之該進料承置部；該移載梭車之一出料承置部位於一測試區內，至少一取放臂將該測試區內之一檢測裝置上之至少一完測電子元件搬至該出料承置部上；(B)該移載梭車移動，使該出料承置部移入一出料區內，一出料取放裝置自該出料承置部搬出該至少一完測電子元件至一出料承載盤；(C)該移載梭車移動使該進料承置部移入該進料區內，該進料取放裝置自該進料承載盤搬運該至少一待測電子元件而填滿該進料承置部；以及(D)該移載梭車移動使該出料承置部移入該出料區內，該出料取放裝置搬出該至少一完測電子元件而清空該出料承置部；該進料承置部位於該測試區內，該至少一取放臂將該進料承置部上全部的該待測電子元件搬運至該檢測裝置進行測試。
2. 如請求項1之電子元件檢測方法，其中，該進料承置部所承載之該待測電子元件數量、及該出料承置部所承載之該完測電子元件數量係分別為該進料取放裝置、及該出料取放裝置所搬運之電子元件數量的倍數。
3. 如請求項1之電子元件檢測方法，其係使用二取放臂，其包括一第一取放臂、及一第二取放臂；其中，該第 一取放臂、及該第二取放臂交替執行該步驟(A)和該步驟(D)。
4. 如請求項3之電子元件檢測方法，其中，當該第一取放臂執行步驟(A)時，該第二取放臂執行步驟(D)。
5. 一種電子元件檢測設備，包括：一進料區，其內設置有一進料承載盤、及一進料取放裝置；一出料區，其內設置有一出料承載盤、及一出料取放裝置；一測試區，其內設置有一檢測裝置、及至少一取放臂，該測試區係位於該進料區與該出料區之間；以及一移載梭車，其包括一進料承置部、及一出料承置部，該進料承置部移動於該進料區與該測試區之間，該出料承置部移動於該出料區與該測試區之間；其中，該進料取放裝置係於該進料區內搬運至少一待測電子元件於該進料承載盤與該移載梭車之間，該出料取放裝置係於該出料區內搬運至少一完測電子元件於該出料承載盤與該移載梭車之間，該至少一取放臂係於該測試區內搬運該至少一待測電子元件、及該至少一完測電子元件於該檢測裝置與該移載梭車之間。
6. 如請求項5之電子元件檢測設備，其中，該進料承置部、及該出料承置部所分別承載之該待測電子元件、及該完測電子元件之數量係分別為該進料取放裝置、及 該出料取放裝置所搬運數量的倍數。
7. 如請求項6之電子元件檢測設備，其中，該進料取放裝置搬運該至少一待測電子元件至該進料承置部，且該至少一取放臂將該檢測裝置上全部的完測電子元件移載至該移載梭車之該出料承置部後；該移載梭車移動而該出料承置部移入該出料區內，該出料取放裝置搬出該至少一完測電子元件至該出料承載盤；該移載梭車移動而該進料承置部移入該進料區內，該進料取放裝置搬運該至少一待測電子元件而填滿該進料承置部；該移載梭車移動而該出料承置部移入該出料區內，該出料取放裝置搬出該至少一完測電子元件而清空該出料承置部，且該至少一取放臂將該進料承置部上全部的該待測電子元件移載至該檢測裝置進行測試。
8. 如請求項7之電子元件檢測設備，其中，該至少一取放臂包括一第一取放臂、及一第二取放臂，該第一取放臂、及該第二取放臂係交替地運行將該進料承置部上全部的該待測電子元件移載至該檢測裝置進行測試、以及將該檢測裝置上全部的該完測電子元件移載至該移載梭車之該出料承置部。
9. 如請求項5之電子元件檢測設備，其中，該進料區、該測試區、以及該出料區大致呈一直線配置。