CN103713219A - 一种电子元件检测设备及其检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种电子元件检测设备及其检测方法，包括：移载梭车的进料承置部位于进料区，而装填部分待测电子元件，且出料承置部位于测试区，而测完电子元件被搬至出料承置部上；出料承置部移入出料区而部分测完电子元件被搬至出料承载盘；进料承置部移入进料区而填满进料承置部；出料承置部移入出料区内而清空出料承置部，此时进料承置部上全部的待测电子元件搬运至检测装置进行测试。本发明充分利用检测时间、以及搬运过程的空档，而多批次的装填及清空电子元件，以减少各装置的闲置时间，进而大幅提高检测效率。

Description

一种电子元件检测设备及其检测方法

技术领域

本发明涉及一种电子元件检测设备及其检测方法，尤指一种适用于测试积体电路良窳的检测设备与检测方法。

背景技术

随着半导体制造产业蓬勃发展的需求，除了追求制造设备的产能效率外，半导体测试设备厂商也极力地朝向提升测试效率的趋势发展。然而，半导体测试设备制造商于提升测试效率的目标下，不外乎通过包括缩短测试时间、减少闲置时间、以及减少晶片的移载次数或移载时间等手段来进行调整。

再者，上述众多因素中唯一最难以调控的大概就是测试时间的长短，因为测试时间关乎于测试的项目以及测试的流程。然而，一旦测试的项目、以及测试的流程经确定后，测试时间几乎也无可调整了。因此，半导体测试设备厂商大多朝向减少测试装置的闲置时间、以及减少晶片的移载次数或移载时间等方向着手改良。

举例而言，例如中华民国公告第I372135号「电子元件测试分类机的测试装置」一案所载，其主要目的也是为了缩短测试装置闲置的等待时间。其中，该发明专利主要是因针对测试时间较短的电子元件，其通过增加每次移载的数量，来减少测试站待机时间，进而增加机器产能利用率。

然而，当针对测试时间较长的测试方式时，如系统级测试(SYSTEM LEVEL TEST)，而上述发明专利所载的技术手段则无法适用，一旦采用上述技术则反而会造成晶片取放装置、以及移载装置闲置的等待时间过长，严重影响产能利用率。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种电子元件检测设备及其检测方法，其适用于测试时间较长的电子元件，能显著减少包括测试装置、取放装置、以及移载梭车的闲置等待时间，进而有效提升产能效率。

为达成上述目的，本发明一种电子元件检测方法，包括以下步骤：首先，一移载梭车移动使一移载梭车的一进料承置部位于一进料区内，一进料取放装置自一进料承载盘搬运至少一待测电子元件至一移载梭车的一进料承置部，且移载梭车的出料承置部位于一测试区内，至少一取放臂将一检测装置上的至少一测完电子元件搬至出料承置部上；接着，移载梭车移动，使移载梭车的出料承置部移入一出料区内，一出料取放装置自出料承置部搬出至少一测完电子元件至一出料承载盘；再者，移载梭车移动使进料承置部移入进料区内，进料取放装置自进料承载盘搬运至少一待测电子元件而填满进料承置部；接着，移载梭车移动使出料承置部移入出料区内，出料取放装置搬出至少一测完电子元件而清空出料承置部；以及，进料承置部位于测试区内，至少一取放臂将进料承置部上全部的待测电子元件搬运至检测装置进行测试。

据此，本发明的移载梭车利用进料、出料取放装置于每次搬运过程的时间空档、以及检测装置上进行检测的时间空档，往返于进料区、测试区、及出料区间，进行多批次装填或清空电子元件，可充分利用并大幅降低进料、出料取放装置、以及取放臂的闲置等待时间，进而显着提升产能之测试效率。此外，本发明一种电子元件检测方法可通过多批次的搬运待测、或测完电子元件，以因应需较长测试时间的检测态样，进而减少设备需求，降低设备成本。

较佳的是，本发明一种电子元件检测方法的进料承置部所承载的待测电子元件数量、及出料承置部所承载的测完电子元件数量可分别为进料取放装置、及出料取放装置所搬运的电子元件数量的倍数。换言之，进料取放装置可分批次搬运填满进料承置部，且出料取放装置可分批次搬运清空出料承置部中的电子元件，进而减少设备需求，降低设备成本。

另外，本发明一种电子元件检测方法可使用二取放臂，其可包括一第一取放臂、及一第二取放臂；其中，第一取放臂、及第二取放臂交替执行将进料承置部上全部的待测电子元件搬运至一检测装置进行测试、以及将检测装置上的至少一测完电子元件搬至出料承置部上。此外，在本发明所提供的电子元件检测方法中，当第一取放臂执行将进料承置部上全部的待测电子元件搬运至一检测装置进行测试时，该第二取放臂则执行将检测装置上的至少一测完电子元件搬至出料承置部上。据此，本发明可设置多个取放臂，以提高测试效率，减少等待移载电子元件的闲置时间。

本发明一种电子元件检测设备，主要包括一进料区、一出料区、一测试区、以及一移载梭车。其中，进料区内设置有一进料承载盘、及一进料取放装置；出料区内设置有一出料承载盘、及一出料取放装置；测试区内设置有一检测装置、及至少一取放臂；移载梭车移动于进料区、出料区、以及测试区之间。其中，测试区位于进料区与出料区之间；而进料取放装置于进料区内，并用以搬运至少一待测电子元件于进料承载盘与移载梭车之间；出料取放装置于出料区内，并用于搬运至少一测完电子元件于出料承载盘与移载梭车之间。另外，至少一取放臂于测试区内，并用于搬运至少一待测电子元件、及至少一测完电子元件于检测装置与移载梭车之间。

本发明电子元件检测设备的移载梭车可包括一进料承置部、及一出料承置部，而进料承置部移动于进料区与测试区之间，出料承置部移动于出料区与测试区之间。换言之，本发明可采用单一移载梭车往返于进料区、出料区、及测试区之间，据此可更提高移载效率、以及降低设备成本。此外，进料承置部、及出料承置部所分别承载的待测电子元件、及测完电子元件的数量分别为进料取放装置、及出料取放装置所能搬运数量的倍数。

再且，本发明电子元件检测设备中，进料取放装置可于搬运至少一待测电子元件至进料承置部，且至少一取放臂将检测装置上全部的测完电子元件移载至移载梭车的出料承置部后；移载梭车移动而出料承置部移入出料区内，且出料取放装置搬出至少一测完电子元件至出料承载盘。接着，移载梭车移动而进料承置部可移入进料区内，而进料取放装置搬运至少一待测电子元件而填满进料承置部。再者，移载梭车移动而出料承置部移入出料区内，而出料取放装置搬出至少一测完电子元件而清空出料承置部，且至少一取放臂将进料承置部上全部的待测电子元件移载至检测装置进行测试。

简单的说，本发明的电子元件检测设备为配合较久的电子元件检测时间，可利用每一批电子元件的检测时间的空档、以及进出料取放装置于每次搬运过程的空档，采用多批次的装填进料承置部、以及多批次的清空出料承置部，以减少各装置间的闲置等待时间，大幅提高检测效率。

较佳的是，本发明电子元件检测设备的至少一取放臂可包括一第一取放臂、及一第二取放臂，而第一取放臂、及第二取放臂可交替地运行将进料承置部上全部的待测电子元件移载至检测装置进行测试、以及将检测装置上全部的测完电子元件移载至移载梭车的出料承置部。据此，本发明可采用二取放臂交替地移载电子元件进行测试，同样可显着减少检测装置的闲置时间，提高测试效率。此外，本发明电子元件检测设备的进料区、测试区、以及出料区大致呈一直线配置，藉此可缩短并简单化移载梭车的移动路径，以提高检测效率。

附图说明

图1为本发明一较佳实施例的设备俯视示意图。

图2为本发明一较佳实施例的设备前视示意图。

图3为本发明一较佳实施例的测试流程图。

其中：

2   移载梭车

21  进料承置部

22  出料承置部

3   进料承载盘

4   进料取放装置

5   出料承载盘

6   出料取放装置

7   取放臂

71  第一取放臂

72  第二取放臂

8   检测装置

C1  待测电子元件

C2  测完电子元件

Ia  进料区

Oa  出料区

Ta  测试区

具体实施方式

本发明电子元件检测设备及其检测方法在本实施例中被详细描述之前，要特别注意的是，以下的说明中，类似的元件将以相同的元件符号来表示。

请同时参阅图1、及图2，图1为本发明电子元件检测设备一较佳实施例的设备俯视示意图，图2为本发明电子元件检测设备一较佳实施例的设备前视示意图。如图中所示，本实施例的电子元件检测设备主要包括三个区域，一进料区Ia、一出料区Oa、以及一测试区Ta，本实施例的此三个区域为虚拟划设的区域，未有实体上的间隔。不过，于本发明其他实施例中可为有实际区隔的区域，例如欲进行高低温测试时，此三个区域可为具备温度调控功能的腔室。

再如图所示，进料区Ia、测试区Ta、以及出料区Oa于机台上大致呈一直线配置，且测试区Ta位于进料区Ia与出料区Oa之间，藉此可缩短及简化移载路径，以提高检测效率。再者，进料区Ia内设置有一进料承载盘3、及一进料取放装置4，而出料区Oa内设置有一出料承载盘5、及一出料取放装置6，且测试区Ta内设置有一检测装置8、及二取放臂7。

另外，一移载梭车2移动于进料区Ia、出料区Oa、以及测试区Ta之间，且移载梭车2包括一进料承置部21、及一出料承置部22。详言之，移载梭车2的进料承置部21可移动于进料区Ia与测试区Ta之间，而出料承置部22可移动于出料区Oa与测试区Ta之间。亦即，当进料承置部21位于进料区Ia时，出料承置部22则位于测试区Ta内；另一方面，当进料承置部21位于测试区Ta时，出料承置部22则位于出料区Oa内。据此，本实施例采用单一移载梭车2往返于进料区Ia、出料区Oa、及测试区Ta之间，且每一承置部也仅停靠起点及终点二端点，故可简化移载手段，以更提高移载效率，并节省硬体设备上的设置及维护成本。

再者，又如图1、及图2所示，进料取放装置4于进料区Ia内搬运待测电子元件C1于进料承载盘3与移载梭车2之间，而出料取放装置6于出料区Oa内搬运测完电子元件C2于出料承载盘5与移载梭车2之间。而且，二取放臂7包括一第一取放臂71、及一第二取放臂72，分别于测试区Ta内搬运待测电子元件C1、及测完电子元件C2于检测装置8与移载梭车2之间。

在本实施例中，进料取放装置4每次可取放四个待测电子元件C1，而出料取放装置6每次也可取放四个测完电子元件C2。至于，移载梭车2的进料承置部21、及出料承置部22则可分别容纳八个待测电子元件C1、及测完电子元件C2，第一取放臂71与第二取放臂72每次也可移载八个电子元件，而检测装置8上每批次可检测的电子元件的数量亦为八个。

换言之，本实施例的检测装置8上每批次可检测的电子元件的数量、以及进料承置部21与出料承置部22所分别承载的电子元件的数量为进料取放装置4、及出料取放装置6所能搬运数量的二倍。不过，本发明并不以二倍为限，可视实际情况调整增减其倍数。然而，此一设计的意义在于，采分批次装填或清空，可有效利用闲置的等待时间，并可减少硬体设备设置的需求，例如可减少进料取放装置4和出料取放装置6上吸取头的设置数量。

请一并参阅图3，图3为本发明一较佳实施例的测试流程图。以下详述整个检测流程，于此特别说明的是，本实施例以连续测试中某一循环来进行说明，亦即其中有一批次的电子元件已测完作为启始状态进行说明。

首先，移载梭车2移动使进料承置部21位于进料区Ia内，而进料取放装置4自一进料承载盘3搬运四个待测电子元件C1至移载梭车2的进料承置部21；同时第二取放臂72将检测装置8上的八个测完电子元件C2搬至出料承置部22上，亦即图3的步骤S100。其中，此时第一取放臂71搬运前一批次的待测电子元件C1至检测装置8上正进行测试中。

接着，移载梭车2移动，使移载梭车2的出料承置部22移入出料区Oa内，而出料取放装置6自出料承置部22先搬出四个测完电子元件C2至出料承载盘5，亦即图3的步骤S105。然而，此时第二取放臂72停留在原处等待下一批次的待测电子元件C1到来，而第一取放臂71上所吸取的待测电子元件C1仍在检测装置8上进行测试。

再者，移载梭车2移动使进料承置部21再次移入进料区Ia内，而进料取放装置4自进料承载盘3又搬运四个待测电子元件C1而填满进料承置部21，亦即图3的步骤S110。同样地，此时第二取放臂72仍停留在原处等待下一批次的待测电子元件C1到来，而第一取放臂71上所吸取的待测电子元件C1仍在检测装置8上进行测试。

下一步，移载梭车2移动使出料承置部22移入出料区Oa内，而出料取放装置6搬出另外剩余的四个测完电子元件C2而清空出料承置部22。另一方面，进料承置部21位于一测试区Ta内，而第二取放臂72将进料承置部21上全部的待测电子元件C1搬运至检测装置8进行测试，亦即图3的步骤S115。此时，第一取放臂71将测完电子元件C2搬运至移载梭车2上方，等待进行下一步骤。

承上所述，本发明为配合较久的电子元件检测时间，可利用每一批电子元件的检测时间的空档、以及进出料取放装置4、6于每次搬运过程的空档，进行多批次的装填进料承置部21、以及多批次的清空出料承置部22，以减少各装置间闲置的等待时间，大幅提高检测效率。此外，也因为本发明采分批次装填或清空，可减少硬体设备设置的需求，例如可减少进料取放装置4和出料取放装置6上吸取头的设置数量，故可有效降低设备成本。

上述实施例仅为了方便说明而举例而已，本发明所主张的权利范围自应以申请专利范围所述为准，而非仅限于上述实施例。

Claims (9)

1.一种电子元件检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

(A)一移载梭车的一进料承置部位于一进料区内，一进料取放装置自一进料承载盘搬运至少一待测电子元件至该移载梭车的该进料承置部；该移载梭车的一出料承置部位于一测试区内，至少一取放臂将该测试区内的一检测装置上的至少一测完电子元件搬至该出料承置部上；

(B)该移载梭车移动，使该出料承置部移入一出料区内，一出料取放装置自该出料承置部搬出该至少一测完电子元件至一出料承载盘；

(C)该移载梭车移动使该进料承置部移入该进料区内，该进料取放装置自该进料承载盘搬运该至少一待测电子元件而填满该进料承置部；以及

(D)该移载梭车移动使该出料承置部移入该出料区内，该出料取放装置搬出该至少一测完电子元件而清空该出料承置部；该进料承置部位于该测试区内，该至少一取放臂将该进料承置部上全部的该待测电子元件搬运至该检测装置进行测试。

2.根据权利要求1所述的电子元件检测方法，其特征在于：其中，该进料承置部所承载的该待测电子元件数量、及该出料承置部所承载的该测完电子元件数量分别为该进料取放装置、及该出料取放装置所搬运的电子元件数量的倍数。

3.根据权利要求1所述的电子元件检测方法，其特征在于：所述电子元件检测方法包括二取放臂，其包括一第一取放臂、及一第二取放臂；其中，该第一取放臂、及该第二取放臂交替执行该步骤(A)和该步骤(D)。

4.根据权利要求3所述的电子元件检测方法，其中，当该第一取放臂执行步骤(A)时，该第二取放臂执行步骤(D)。

5.一种电子元件检测设备，其特征在于，包括：

一进料区，其内设置有一进料承载盘、及一进料取放装置；

一出料区，其内设置有一出料承载盘、及一出料取放装置；

一测试区，其内设置有一检测装置、及至少一取放臂，该测试区位于该进料区与该出料区之间；以及

一移载梭车，其包括一进料承置部、及一出料承置部，该进料承置部移动于该进料区与该测试区之间，该出料承置部移动于该出料区与该测试区之间；

其中，该进料取放装置于该进料区内搬运至少一待测电子元件于该进料承载盘与该移载梭车之间，该出料取放装置于该出料区内搬运至少一测完电子元件于该出料承载盘与该移载梭车之间，该至少一取放臂于该测试区内搬运该至少一待测电子元件、及该至少一测完电子元件于该检测装置与该移载梭车之间。

6.根据权利要求5所述的电子元件检测设备，其特征在于：其中，该进料承置部、及该出料承置部所分别承载的该待测电子元件、及该测完电子元件的数量分别为该进料取放装置、及该出料取放装置所搬运数量的倍数。

7.根据权利要求6所述的电子元件检测设备，其特征在于：其中，该进料取放装置搬运该至少一待测电子元件至该进料承置部，且该至少一取放臂将该检测装置上全部的测完电子元件移载至该移载梭车的该出料承置部后；该移载梭车移动而该出料承置部移入该出料区内，该出料取放装置搬出该至少一测完电子元件至该出料承载盘；该移载梭车移动而该进料承置部移入该进料区内，该进料取放装置搬运该至少一待测电子元件而填满该进料承置部；该移载梭车移动而该出料承置部移入该出料区内，该出料取放装置搬出该至少一测完电子元件而清空该出料承置部，且该至少一取放臂将该进料承置部上全部的该待测电子元件移载至该检测装置进行测试。

8.根据权利要求7所述的电子元件检测设备，其特征在于：其中，该至少一取放臂包括一第一取放臂、及一第二取放臂，该第一取放臂、及该第二取放臂交替地运行将该进料承置部上全部的该待测电子元件移载至该检测装置进行测试、以及将该检测装置上全部的该测完电子元件移载至该移载梭车的该出料承置部。

9.根据权利要求5所述的电子元件检测设备，其特征在于：其中，该进料区、该测试区、以及该出料区呈一直线配置。

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