CN102951401B - 一种搬运卡匣的装置及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明实施例公开了一种搬运卡匣的装置,用于在仓储柜的堆垛机、装载加工口和卸载加工口之间搬运卡匣,其通过在所述装载加工口和卸载加工口前段设置搬运口区,并在所述搬运口区设置水平搬运机构和垂直搬运机构,将装载加工口处的空卡匣搬运至预定的卸载加工口。本发明还提供了相应的搬运卡匣的方法。根据本发明的实施例,可以减少了仓储柜中堆垛机的搬运量,有效地解决现有仓储柜中堆垛机搬运量过大的瓶颈,从而提升产能。

Description

一种搬运卡匣的装置及方法
技术领域
本发明涉及本发明涉及液晶面板制造领域,尤其是涉及一种搬运卡匣的装置及方法。
背景技术
在液晶面板制造行业中,玻璃基板分层存储于卡匣(Cassette,CST)之中,而CST存储于各个仓储柜(Stocker)中,全部仓储柜加上相应的搬运装置(如堆垛机)以及控制装置共同构成了一个自动化物料搬运系统(Automated Material Handling System, AMHS),每个仓储柜中的CST由堆垛机(Crane)搬送到各制程机台(EQ)以完成相应工序。如图1所示,示出了一个现有的自动化仓储柜搬送系统,其中示出了两排仓储柜1,在每个仓储柜1中至少存放有一个卡匣2,所述卡匣2通过堆垛机搬运至装载加工口41(Load Port)中,每个装载加工口41均对应有搬运装置5 (conveyer,CV),该搬运装置5与制程机台(EQ)相连,在装载加工口41旁边设有卸载加工口40(Unload Port)。
如图2所示,示出了在现有的自动化仓储柜搬送系统搬运卡匣的示意图。
首先,仓储柜中堆垛机(Crane)分别将装有玻璃基板的第一卡匣CST1、第二CST2搬运至装载加工口1和装载加工口2;
通过装载加工口中的分片装置将玻璃基板分别从CST1和CST2中取出,该玻璃基板分别从装载加工口1、装载加工口2流出,经过搬运装置(CV)传送至进程机台(EQ)以完成相应制程;
已完成相应制程的玻璃基板需要经由搬运装置(CV)分别流进卸载加工口3、卸载加工口4,通过卸载加工口3、卸载加工口4中的分片装置,将玻璃基板装回CST3、CST4。在此之前就需要通过堆垛机将空CST3、CST4搬运至卸载加工口3和卸载加工口4处。等CST1、CST2流完玻璃基板变为空卡匣,堆垛机又需将空CST1、CST2搬运至卸载加工口3、卸载加工口4用于存放下一批玻璃基板。
从这一过程中可以看出,在每次玻璃流转的过程中,堆垛机均需要进行两次搬运,其中第一次搬运为将CST搬运至装载加工口,第二次搬运为将空CST搬运至卸载加工口。由于仓储柜中搭载的装载加工加工口和卸载加工口较多,往往会造成堆垛机搬运量过大,超过其最大搬运量,从而造成CST滞留无法搬运,影响产能。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于,提供一种搬运卡匣的装置及方法,可以降低堆垛机的搬运次数,提高产能。
为了解决上述技术问题,本发明的实施例的一方面提供一种搬运卡匣的装置,用于在仓储柜的堆垛机、装载加工口和卸载加工口之间搬运卡匣,包括:
设置于所述装载加工口和卸载加工口前段的搬运口区,所述搬运口区包括至少两排搬运口,其中,每一排搬运口中搬运口的数量与所述装载加工口和卸载加工口的总数相对应;
水平搬运机构,设置于每排搬运口上,用于将卡匣在当前排的各搬运口之间水平搬运;
垂直搬运机构,设置于相邻排搬运口上,用于将卡匣在相邻排的搬运口之间垂直搬运;
控制装置,用于控制所述垂直搬运机构或/和水平搬运机构,将从堆垛机处接收的存放有玻璃基板的卡匣搬运至装载加工口,或将装载加工口处的空卡匣搬运至预定的卸载加工口,或将卸载加工口处的存放有玻璃基板的卡匣传送给堆垛机。
其中,将所述卸载加工口前段的至少一个搬运口设置为卡匣缓冲区,用于在所述预定的卸载加工口当前存放有卡匣时,接收所述来自装载加工口处的空卡匣。
其中,在所述装载加工口、卸载加工口、卡匣缓冲区均安装有检测传感器,用于检测当前是否存放有卡匣。
其中,控制装置进一步用于在所述检测传感器检测到所述预定的卸载加工口所存放的卡匣被移走后,控制所述垂直搬运机构或/和水平搬运机构将所述存放于卡匣缓冲区的空卡匣传送至所述预定的卸载加工口。
其中,进一步包括有:
存储装置,存储有预先设计的路线,所述路线包括存放有玻璃基板的卡匣搬运至装载加工口、将空卡匣从装载加工口搬运至预定的卸载加工口、将空卡匣从装载加工口搬运至卡匣缓冲区、将空卡匣从卡匣缓冲区搬运至预定的卸载加工口,将卡匣从卸载加工口传送给堆垛机的路线;
所述控制装置根据所述存储装置存储预先设计的路线,驱动所述垂直搬动机构或/水平搬动机构,搬运所述卡匣或空卡匣。
相应地,本发明实施例的另一方面,提供一种搬运卡匣的方法,其采用前述的一种搬运卡匣的装置实现,包括如下步骤:
通过垂直搬运机构将从堆垛机处接收的存放有玻璃基板的卡匣搬运至的装载加工口;
在所述卡匣中的玻璃基板被分片装置取出后,通过垂直搬运机构或/水平搬运机构,将所述空卡匣搬运至预定的卸载加工口,进一步包括:检测所述预定的卸载加工口当前是否存放有卡匣;如果所述预定的卸载加工口当前存放有卡匣,则将所述空卡匣搬运至一卡匣缓冲区,在检测到所述预定的卸载加工口中的卡匣被移走后,将所述空卡匣从所述卡匣缓冲区搬运至所述预定的卸载加工口;否则,则直接将所述空卡匣搬运至所述预定的卸载加工口。
其中,进一步包括:
在所述卸载加工口的空卡匣被分片装置重新放入玻璃基板后,通过垂直搬动机构或/水平搬动机构,将所述已放入玻璃基板的卡匣传送给堆垛机。
其中,所述将所述空卡匣搬运至预定的卸载加工口的步骤具体为:
预先设计将空卡匣从装载加工口搬运至预定的卸载加工口、将空卡匣从装载加工口搬运至卡匣缓冲区、将空卡匣从卡匣缓冲区搬运至预定的卸载加工口的路线;
根据所述预先设计的路线,驱动所述垂直搬动机构或/水平搬动机构,将所述空卡匣搬运至预定的卸载加工口。
其中,所述将所述已放入玻璃基板的卡匣传送给堆垛机的步骤具体为:
预先设计将卡匣从卸载加工口传送给堆垛机的路线;
根据所述预先设计的路线,驱动所述垂直搬动机构或/水平搬动机构,将所述卡匣传送给堆垛机。
实施本发明实施例,具有如下有益效果:
由于采用了垂直搬运机构或/和水平搬运机构,将空卡匣从装载加工口搬运至预定的卸载加工口,无需堆垛机的参与,大大减少了仓储柜中堆垛机的搬运量,有效地解决现有仓储柜中堆垛机的搬运量过大瓶颈,提升产能;
直接采用垂直搬运机构或/和水平搬运机构根据预定的路线,将空卡匣从装载加工口搬运至预定的卸载加工口,提高了搬运效率;
通过设置卡匣缓冲区,可以将空卡匣寄存在卡匣缓冲区,可以有效地调节卡匣传送量,降低卡匣移动的节拍时间(Tact time),从而提升产能。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1示出了现有的一种自动化物料搬运系统示意图;
图2示出了在现有的自动化仓储柜搬送系统搬运卡匣的示意图;
图3示出了本发明卡匣搬运装置一个实施例的示意图;
图4示出了本发明卡匣搬运装置一个实施例中在搬运口区垂直搬运卡匣的示意图;
图5示出了本发明卡匣搬运装置一个实施例中在搬运口区水平搬运卡匣的示意图;
图6示出了本发明搬运卡匣的方法的一个实施例中搬运卡匣的线路示意图。
具体实施方式
下面参考附图对本发明的优选实施例进行描述。
如图3所示,是本发明的实施例中一种搬运卡匣的装置的示意图;
本发明的搬运卡匣的装置,用于在仓储柜的堆垛机、装载加工口和卸载加工口之间搬运卡匣,其包括:
设置于所述装载加工口和卸载加工口前段的搬运口区7,所述搬运口区7包括至少两排搬运口,其中,每一排搬运口中搬运口的数量与所述装载加工口和卸载加工口的总数相对应,且其中有一排搬运口与装载加工口和卸载加工口相邻。在图2中示出了一个具有两排,每排具有四个搬运口的搬运口区,即在第一排中包括操作口1至操作口4,在第二排中包括操作口5至操作口8,易于理解的是,此仅为举例;
水平搬运机构,设置于每排搬运口上,用于将卡匣在当前排的各搬运口之间水平搬运;
垂直搬运机构,设置于相邻排搬运口上,用于将卡匣在相邻排的搬运口之间垂直搬运;
控制装置,用于控制所述垂直搬运机构或/和水平搬运机构,将从堆垛机处接收的存放有玻璃基板的卡匣搬运至装载加工口,或将装载加工口处的空卡匣搬运至预定的卸载加工口,或将卸载加工口处的存放有玻璃基板的卡匣传送给堆垛机,在具体地实施中,该控制装置可以是诸如工业电脑、可编程逻辑器件PLC或其他具有控制能力的装置。
其中,将所述卸载加工口前段的至少一个搬运口设置为卡匣缓冲区,用于在所述预定的卸载加工口当前存放有卡匣时,接收所述来自装载加工口处的空卡匣。在图3中,将操作口3设置为卡匣缓冲区,可以理解的是,根据需要可以将多个操作口设置为卡匣缓冲区。在一些实施例中,最好将所述卡匣缓冲区设置于远离所述装载加工口或卸载加工口的操作口中,即在与所述装载加工口或卸载加工口相邻的操作口中不设置卡匣缓冲区。
在所述装载加工口、卸载加工口、卡匣缓冲区均安装有检测传感器,用于检测在这些区域中当前是否存放有卡匣。
在检测到所述预定的卸载加工口所存放的卡匣被移走后,控制装置还会控制驱动所述垂直搬动机构或/水平搬动机构,将所述存放于卡匣缓冲区的空卡匣传送至所述预定的卸载加工口。
在该搬运卡匣的装置中,进一步包括有:
存储装置,存储有预先设计的路线,所述路线包括存放有玻璃基板的卡匣搬运至装载加工口、将空卡匣从装载加工口搬运至预定的卸载加工口、将空卡匣从装载加工口搬运至卡匣缓冲区、将空卡匣从卡匣缓冲区搬运至预定的卸载加工口,将卡匣从卸载加工口传送给堆垛机的路线;
所述控制装置根据所述存储装置存储预先设计的路线,驱动所述垂直搬动机构或/水平搬动机构,搬运所述卡匣或空卡匣。
如图4所示,示出了本发明实施例中在搬运口区垂直搬运卡匣的示意图;
通过垂直搬运机构,可以将卡匣在相邻排的搬运口之间垂直搬运,在图4中示出了将CST1从操作口1垂直搬运到操作口5,同理也可以将CST1从操作口5搬运至操作口1;同样,通过垂直搬运机构可以将卡匣在操作口2的操作口6、对于操作口3的操作口7、对于操作口4的操作口8之间垂直搬运。
如图5所示,示出了本发明实施例中在搬运口区水平搬运卡匣的示意图;
通过水平搬运机构,可以将卡匣在同一排的搬运口之间水平搬运,在图5中示出了将卡匣从操作口5水平搬运到操作口8,同理也可以卡匣从操作口8水平搬运到操作口5;同样,通过水平搬运机构可以将卡匣在操作口1、操作口2、操作口3和操作口4之间水平搬运。
如图6所示,是本发明搬运卡匣的方法的一个实施例中搬运卡匣的线路示意图。结合图6,下面进一步说明本发明搬运卡匣的方法的详细流程示意图。
其中,分别采用实线和虚线表示第一卡匣CST1和第二卡匣CST2的搬运过程。为描述方便,下述以第一卡匣CST1为例进行说明。
首先,仓储柜中堆垛机(Crane)将装有玻璃基板的第一卡匣CST1、搬运至搬运口1;
通过垂直搬运机构将第一卡匣CST1搬运至的装载加工口1;
在所述第一卡匣CST1中的玻璃基板被分片装置取出后,通过垂直搬运机构/水平搬运机构,将所述空卡匣搬运至预定的卸载加工口,在图6中,所述第一卡匣CST1对应的卸载加工口为卸载加工口3,该过程具体地包括:
预先设计将空卡匣从装载加工口搬运至预定的卸载加工口、将空卡匣从装载加工口搬运至卡匣缓冲区、将空卡匣从卡匣缓冲区搬运至预定的卸载加工口的路线;
根据所述预先设计的路线,驱动所述垂直搬动机构或/水平搬动机构,将所述空卡匣搬运至预定的卸载加工口。
具体地,进一步包括:
检测所述预定的卸载加工口当前是否存放有卡匣;
如果所述预定的卸载加工口当前存放有卡匣,则将所述空卡匣搬运至一卡匣缓冲区,在检测到所述预定的卸载加工口中的卡匣被移走后,将所述空卡匣从所述卡匣缓冲区搬运至所述预定的卸载加工口;
否则,则直接将所述空卡匣搬运至所述预定的卸载加工口。
在图6中,搬运口3作为卡匣缓冲区,并且在搬运过程中检测到卸载加工口3中暂存有卡匣。故在图6中,第一卡匣CST1玻璃基板被取出后的空卡匣,首先通过垂直搬运机构搬运至搬运口5,然后通过水平搬运机构搬运至搬运口7,然后通过垂直搬运机构搬运至卡匣缓冲区,在检测到卸载加工口3中的卡匣被移走后,然后通过垂直搬运装置搬运至预定的卸载加工口3。
在卸载加工口3处,空卡匣被分片装置重新放入经处理后的玻璃基板后,通过垂直搬动机构或/水平搬动机构,将所述已放入玻璃基板的卡匣传送给堆垛机,具体地,通过垂直搬运机构搬运至搬运口7,然后通过水平搬运机构搬运至搬运口8,然后通过垂直搬运机构搬运至搬运口4,等待堆垛机搬运到相应的仓储柜中。
同理,对CTS2的搬运可以参见图中的虚线所示,原理与对CTS1的搬运的说明类似,不再赘述。
可以理解的是,上述CTS1和CTS2的搬运路线仅为举例,当可根据具体的运用场合为各卡匣预先设定各种不同的路线。具体地,可以将预先设定的路线进行存储,通过控制装置(如工业电脑)来驱运所述的垂直搬运机构或水平机构控制所述路线来搬运相应的卡匣。
实施本发明实施例,具有如下有益效果:
由于采用了垂直搬运机构或/和水平搬运机构,将空卡匣从装载加工口搬运至预定的卸载加工口,无需堆垛机的参与,大大减少了仓储柜中堆垛机的搬运量,有效地解决现有仓储柜中堆垛机的搬运量过大瓶颈,提升产能;
直接采用垂直搬运机构或/和水平搬运机构根据预定的路线,将空卡匣从装载加工口搬运至预定的卸载加工口,提高了搬运效率;
通过设置卡匣缓冲区,可以将空卡匣寄存在卡匣缓冲区,可以有效地调节卡匣传送量,降低卡匣移动的节拍时间(Tact time),从而提升产能。
以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已,当然不能以此来限定本发明之权利范围,因此等同变化,仍属本发明所涵盖的范围。

Claims (9)

1.一种搬运卡匣的装置,用于在仓储柜的堆垛机、装载加工口和卸载加工口之间搬运卡匣,其特征在于,包括:
设置于所述装载加工口和卸载加工口前段的搬运口区,所述搬运口区包括至少两排搬运口,其中,每一排搬运口中搬运口的数量与所述装载加工口和卸载加工口的总数相对应;
水平搬运机构,设置于每排搬运口上,用于将卡匣在当前排的各搬运口之间水平搬运;
垂直搬运机构,设置于相邻排搬运口上,用于将卡匣在相邻排的搬运口之间垂直搬运;
控制装置,用于控制所述垂直搬运机构或/和水平搬运机构,将从堆垛机处接收的存放有玻璃基板的卡匣搬运至装载加工口,或将装载加工口处的空卡匣搬运至预定的卸载加工口,或将卸载加工口处的存放有玻璃基板的卡匣传送给堆垛机。
2.如权利要求1所述的一种搬运卡匣的装置,其特征在于,将所述卸载加工口前段的至少一个搬运口设置为卡匣缓冲区,用于在所述预定的卸载加工口当前存放有卡匣时,接收所述来自装载加工口处的空卡匣。
3.如权利要求2所述的一种搬运卡匣的装置,其特征在于,在所述装载加工口、卸载加工口、卡匣缓冲区均安装有检测传感器,用于检测当前是否存放有卡匣。
4.如权利要求3所述的一种搬运卡匣的装置,其特征在于,控制装置进一步用于在所述检测传感器检测到所述预定的卸载加工口所存放的卡匣被移走后,控制所述垂直搬运机构或/和水平搬运机构将所述存放于卡匣缓冲区的空卡匣传送至所述预定的卸载加工口。
5.如权利要求2至4任一项所述的一种搬运卡匣的装置,其特征在于,进一步包括有:
存储装置,存储有预先设计的路线,所述路线包括存放有玻璃基板的卡匣搬运至装载加工口、将空卡匣从装载加工口搬运至预定的卸载加工口、将空卡匣从装载加工口搬运至卡匣缓冲区、将空卡匣从卡匣缓冲区搬运至预定的卸载加工口,将卡匣从卸载加工口传送给堆垛机的路线;
所述控制装置根据所述存储装置存储预先设计的路线,驱动所述垂直搬动机构或/水平搬动机构,搬运所述卡匣或空卡匣。
6.一种搬运卡匣的方法,其采用如权利要求1所述的一种搬运卡匣的装置实现,其特征在于,所述方法包括如下步骤:
通过垂直搬运机构将从堆垛机处接收的存放有玻璃基板的卡匣搬运至的装载加工口;
在所述卡匣中的玻璃基板被分片装置取出后,通过垂直搬运机构或/水平搬运机构,将所述空卡匣搬运至预定的卸载加工口,进一步包括:检测所述预定的卸载加工口当前是否存放有卡匣;如果所述预定的卸载加工口当前存放有卡匣,则将所述空卡匣搬运至一卡匣缓冲区,在检测到所述预定的卸载加工口中的卡匣被移走后,将所述空卡匣从所述卡匣缓冲区搬运至所述预定的卸载加工口;否则,则直接将所述空卡匣搬运至所述预定的卸载加工口。
7.如权利要求6所述的一种搬运卡匣的方法,其特征在于,进一步包括:
在所述卸载加工口的空卡匣被分片装置重新放入玻璃基板后,通过垂直搬动机构或/水平搬动机构,将所述已放入玻璃基板的卡匣传送给堆垛机。
8.如权利要求6或7所述的一种搬运卡匣的方法,其特征在于,所述将所述空卡匣搬运至预定的卸载加工口的步骤具体为:
预先设计将空卡匣从装载加工口搬运至预定的卸载加工口、将空卡匣从装载加工口搬运至卡匣缓冲区、将空卡匣从卡匣缓冲区搬运至预定的卸载加工口的路线;
根据所述预先设计的路线,驱动所述垂直搬动机构或/水平搬动机构,将所述空卡匣搬运至预定的卸载加工口。
9.如权利要求7所述的一种搬运卡匣的方法,其特征在于,所述将所述已放入玻璃基板的卡匣传送给堆垛机的步骤具体为:
预先设计将卡匣从卸载加工口传送给堆垛机的路线;
根据所述预先设计的路线,驱动所述垂直搬动机构或/水平搬动机构,将所述卡匣传送给堆垛机。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108602619B (zh) * 2016-02-18 2020-09-29 株式会社大福 物品输送装置
CN107203804B (zh) * 2017-05-19 2021-04-09 苏州易信安工业技术有限公司 一种数据处理方法、装置及系统
CN109018809B (zh) * 2018-09-18 2020-09-11 惠科股份有限公司 一种仓储管理方法和仓储系统
US11288625B2 (en) 2018-09-18 2022-03-29 HKC Corporation Limited Warehousing management method and warehousing system
CN109607024A (zh) * 2019-01-09 2019-04-12 惠科股份有限公司 卡匣搬运系统
US11527425B2 (en) * 2019-12-31 2022-12-13 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Systems and methods for tray cassette warehousing
CN114275427B (zh) * 2021-11-26 2023-11-03 乐金显示光电科技(中国)有限公司 显示面板搬运方法、系统及用于其的计算机设备和介质

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1646401A (zh) * 2002-02-19 2005-07-27 弗蒂卡尔索鲁申斯公司 晶片加工操作台的本地储存器
CN1648019A (zh) * 2004-01-28 2005-08-03 满留安机械株式会社 玻璃基板的搬送系统
CN101847572A (zh) * 2009-03-27 2010-09-29 宰体有限公司 半导体器件分拣装置及其分拣方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07316814A (ja) * 1994-05-27 1995-12-05 Sumitomo Heavy Ind Ltd 薄膜処理設備
JP2914949B1 (ja) * 1998-02-16 1999-07-05 株式会社カイジョー 基板処理装置
JPH11243075A (ja) * 1998-02-25 1999-09-07 Shin Meiwa Ind Co Ltd ウエハ処理装置
JP2009035414A (ja) * 2007-08-03 2009-02-19 Hitachi Plant Technologies Ltd 別階層工程間搬送システム
KR20100074343A (ko) * 2008-12-24 2010-07-02 주식회사 동부하이텍 웨이퍼 소팅부가 구비된 웨트 스테이션

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1646401A (zh) * 2002-02-19 2005-07-27 弗蒂卡尔索鲁申斯公司 晶片加工操作台的本地储存器
CN1648019A (zh) * 2004-01-28 2005-08-03 满留安机械株式会社 玻璃基板的搬送系统
CN101847572A (zh) * 2009-03-27 2010-09-29 宰体有限公司 半导体器件分拣装置及其分拣方法

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Publication number Publication date
WO2014067177A1 (zh) 2014-05-08
CN102951401A (zh) 2013-03-06

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